JP6784721B2 - ボール逆止弁及びダイヤフラムポンプ - Google Patents

ボール逆止弁及びダイヤフラムポンプ Download PDF

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Description

本発明は、流体の逆流を防止するために用いられるボール逆止弁及びダイヤフラムポンプに関する。
従来、ダイヤフラムポンプには、搬送する液体の逆流を防止するために、液体の流通経路を開閉可能なボール等の弁体を備えた逆止弁が吸込弁及び吐出弁として用いられている(特許文献1参照)。このボール逆止弁として、例えば、バルブシートと、バルブケースと、ボール弁と、からなる逆止弁が知られている。バルブシートは、ボール弁で開閉される貫通孔を有し、バルブケースは、大径開口部と、縮径部を介して大径開口部と連通する小径開口部と、を有する円筒体であり、バルブシートの段部に大径開口部の内周縁が嵌合されている。バルブケースは、特許文献1の図1に示すように、ポンプ本体の逆止弁取付部に取り付けられているものが知られている。
実開昭62−95186号公報
上述のボール逆止弁では、移送する流体によってバルブシート、及びバルブケース等に用いる材質が制限されることがあり、薬品等の腐食性のある流体の移送に使用されるポンプでは、該当する流体に対し、耐食性がある金属素材がない場合がある。そのため、バルブシートにその流体に対する耐食性材、例えば、ポリプロピレン(PP)が、シール材としてのOリングに耐食性材、例えば、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)が、使用される。
ところが、Oリングに用いられるPTFE材は、バルブシートに用いられるPP材よりも相対的に強度が高い材料のため、バルブ組立て時の応力によりバルブシートにひずみが生じた場合に、バルブシートが変形してしまい、ボールとバルブシートの密閉性が低下し、ポンプ内で液漏れ(逆流)が発生してしまう。
密閉性が維持されるボール逆止弁を用いたダイヤフラムポンプの液体吐出口を全て閉じると、本来であればエア室のエア圧力とポンプ室の液体側の圧力が、ダイヤフラムを隔ててバランスしてポンプは停止するが、上述の液漏れ(逆流)による液体側の圧力低下のため、一方のポンプ室の圧力が低下してポンプ停止の状態が維持できずダイヤフラムが移動することで低速作動を継続してしまうという問題があった。
そこで、本発明の目的は、ダイヤフラムポンプ等に一体化可能なボール逆止弁において、バルブ組立時の応力により発生したひずみがボールシール部まで伝達せず、安定した密閉性を維持することができるボール逆止弁及びダイヤフラムポンプを提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明のボール逆止弁は、バルブケースと、バルブシートと、ボールを有するボール逆止弁において、耐食性材製の前記バルブシートは、前記ボールで流動体の流通が開閉される貫通孔を有し、前記バルブシートは、前記ボールを支持して前記貫通孔を密閉可能な第1バルブシートと、該第1バルブシートを囲む略円筒状第2バルブシートと、で構成され、前記第1バルブシートの外周面の下部には、フランジ部が形成され、前記第2バルブシートの内周面の下部には、前記フランジ部を収容できる切り欠き部が形成され、前記第1バルブシートの上部外径と、前記第2バルブシートの上部内径と、の間に第1クリアランスが形成され、前記第1バルブシートの下部外径と、前記第2バルブシートの下部内径と、の間に第2クリアランスが形成され、前記第2バルブシートの前記切り欠き部の水平面は、前記第1バルブシートの前記フランジ部の上面の上に載置していることを特徴とする。
なお第2バルブシートをOリングによって前記バルブケースとの間をシールしたものでも良い。
更に、前記バルブケースは、前記貫通孔より下方に、前記第1バルブシートが載置可能な載置面を有し、前記第1バルブシートは、前記載置面上を、水平方向に移動可能であることを特徴とする。
更に、前記バルブケースは、前記第2バルブシートを収容できるバルブシート収容凹部を有し、前記第2バルブシートは、前記バルブケースの前記バルブシート収容凹部と嵌合し、前記Oリングを介してシールされることを特徴とする。
更に、前記第2バルブシートの内周面の上部は、下方から上方に向けて拡径したテーパー面を有することを特徴とする。
更に、前記第2バルブシートの前記切り欠き部の下端には、前記バルブケースの前記載置面と面接触する水平載置面が形成されることを特徴とする。
更に、ポンプ本体の内部における線対称位置に、対称軸から近い順にエア室、及び該エア室とダイヤフラムで仕切られたポンプ室が一対配置され、前記ポンプ室に吸込用逆止弁を介して吸込口が接続されると共に、吐出用逆止弁を介して吐出口が接続され、一対の前記ダイヤフラムに両端が連結したセンターロッドが、前記対称軸と直交する方向を軸として該軸方向に移動自在に前記エア室を貫通して支持され、一対の前記エア室にエアを交互に給排気することで、一対の前記エア室の容積を交互に増減させることで、一対の前記ダイヤフラムを変動させると共に、これに連動する前記センターロッドをその前記軸方向に往復動させるダイヤフラムポンプにおいて、前記吸込用逆止弁、及び前記吐出用逆止弁として上述されたボール逆止弁が用いられていることを特徴とする。
本発明のボール逆止弁によれば、バルブケースと、バルブシートと、ボールを有するボール逆止弁において、耐食性材製のバルブシートは、ボールで流動体の流通が開閉される貫通孔を有し、バルブシートは、ボールを支持して貫通孔を密閉可能な第1バルブシートと、第1バルブシートを囲む略円筒状の第2バルブシートと、で構成され、第1バルブシートの外周面の下部には、フランジ部が形成され、第2バルブシートの内周面の下部には、フランジ部を収容できる切り欠き部が形成され、第1バルブシートの上部外径と、第2バルブシートの上部内径と、の間に第1クリアランスが形成され、第1バルブシートの下部外径と、第2バルブシートの下部内径と、の間に第2クリアランスが形成され、第2バルブシートの切り欠き部の水平面は、第1バルブシートのフランジ部の上面の上に載置しているので、バルブ組立時の応力により発生したひずみがボールシール部まで伝達せず、安定した密閉性を維持することができる。
なお第2バルブシートをOリングによってバルブケースとの間をシールしたもので、安定した密封性を維持できる。
更に、本発明のボール逆止弁によれば、バルブケースは、貫通孔より下方に、第1バルブシートが載置可能な載置面を有し、第1バルブシートは、載置面上を、水平方向に移動可能であるので、バルブ組立時の応力により発生したひずみがボールシール部まで伝達せず、安定した密閉性を維持することができる。
更に、本発明のボール逆止弁によれば、バルブケースは、第2バルブシートを収容できるバルブシート収容凹部を有し、第2バルブシートは、バルブケースのバルブシート収容凹部と嵌合し、Oリングを介してシールされるので、第2バルブシートを効率的にシールすることができる。
更に、本発明のボール逆止弁によれば、第2バルブシートの内周面の上部は、下方から上方に向けて拡径したテーパー面を有するので、ボールシール部がボールとの衝突によって変形しても、第1バルブシートが第2バルブシートに接触することがなく、接触の衝撃に伴うひずみによりボールと第1バルブシートの密閉性が低下することを防止できる。
更に、本発明のボール逆止弁によれば、第2バルブシートの切り欠き部の下端には、バルブケースの載置面と面接触する水平載置面が形成されるので、第2バルブシートをより効率的にシールすることができる。
更に、本発明のダイヤフラムポンプによれば、ポンプ本体の内部における線対称位置に、対称軸から近い順にエア室、及びエア室とダイヤフラムで仕切られたポンプ室が一対配置され、ポンプ室に吸込用逆止弁を介して吸込口が接続されると共に、吐出用逆止弁を介して吐出口が接続され、一対のダイヤフラムに両端が連結したセンターロッドが、対称軸と直交する方向を軸として軸方向に移動自在にエア室を貫通して支持され、一対のエア室にエアを交互に給排気することで、一対のエア室の容積を交互に増減させることで、一対のダイヤフラムを変動させると共に、これに連動するセンターロッドをその軸方向に往復動させるダイヤフラムポンプにおいて、吸込用逆止弁、及び吐出用逆止弁として上述されたボール逆止弁が用いられているので、ポンプ内部での液漏れが防止され、液体吐出口を全て閉じると、低速作動を継続することなくポンプを確実に停止することができる。
本発明の一実施の形態に係るボール逆止弁が用いられたダイヤフラムポンプの構造を示す一部断面図、及びダイヤフラムポンプにおけるポンプ作動エア切替機構(スプール切替)の一部断面図である。 図1のダイヤフラムポンプにおけるスプール切替の一部断面図であり、(a)はスプールが上端の位置にある際の各ポートにおけるエアの給排気経路図、(b)はスプールが下端の位置にある際の各ポートにおけるエアの給排気経路図である。 図1のダイヤフラムポンプにおける切替ポート機構と各ボール逆止弁の断面図であり、(a)はセンターロッドがガイドブッシュAの外径側内方のOリング溝に支持されたOリングを超えた際の、スプール切替の切替ポートへのエアの給気、並びにポンプ室内の流動体の吸い込み及び吐出の状態図、(b)はセンターロッドがガイドブッシュAの外径側内方のOリング溝に支持されたOリングを超えた際の、スプール切替の排気専用口へのエアの排気、並びにポンプ室内の流動体の吸い込み及び吐出の状態図である。 図1のダイヤフラムポンプに使用されるボール逆止弁の構造を示す断面図である。 図4のボール逆止弁の分解断面図である。 (a)は図4の第2バルブシートの平面図、平面図のX1−X1線断面図、側面図、及び底面図、(b)は図4の第1バルブシートの平面図、平面図のX2−X2線断面図、側面図、及び底面図、(c)は図4のOリングの平面図、平面図のX3−X3線断面図、側面図、及び底面図である。 図4のボール逆止弁におけるバルブシートの分割構造部分の拡大断面図である。 比較例1の単一体バルブシートの断面図である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態に係るボール逆止弁が用いられたダイヤフラムポンプを例として詳細を説明する。なお、ダイヤフラムポンプの左右エア室へのエアの切替機構の一例として、後述するスプール切替30、及び切替ポート機構40を採用した。
図1は、本発明の実施の形態に係るボール逆止弁が用いられたダイヤフラムポンプの構造を示す一部断面図、及びダイヤフラムポンプにおけるポンプ作動エア切替機構30(スプール切替)の一部断面図であり、図面における矢印A1〜A7は、エアの給気又は排気の向きを示し、両方向矢印は給排気が交互に行われることを示している。図2は、図1のダイヤフラムポンプにおけるスプール切替30の一部断面図であり、(a)はスプール36が上端の位置にある際の各ポートにおけるエアの給排気経路図、(b)はスプール36が下端の位置にある際の各ポートにおけるエアの給排気経路図である。図面における矢印B1〜B6は、エアの給気又は排気の向きを示している。なお、以下では、説明の便宜上、スプール切替30のランド39a側を上、ランド39c側を下とする。
ダイヤフラムポンプは、ポンプ本体1の内部における線対称位置に、対称軸から近い順にエア室7,8、及び、エア室7,8とダイヤフラム5,6で仕切られたポンプ室9,10が一対配置されている。一対のダイヤフラム5,6は、ディスク部材2,3でその中央部が挟持され、かつその外周部がポンプ本体1に挟持固定されるとともに、センターロッド4の両端に連結されている。センターロッド4は、対称軸と直交する方向を軸として、当該軸方向に移動自在にエア室7,8を貫通して支持されている。そして、スプール切替30の操作によって、エア給排気口31,32からポンプ本体のエア給排気孔23,24を通って一対のエア室7,8にエアを交互に給排気することで、一対のエア室7,8の容積を交互に増減させる。それにより、一対のダイヤフラム5,6を変動させると共に、これに連動するセンターロッド4をその軸方向に往復動させている。
両側のポンプ室9,10には、吸込用逆止弁11A,11Bを介して吸込口13が接続されると共に、吐出用逆止弁12A,12Bを介して吐出口16が接続される。また、両側のエア室7,8には、スプール切替30によってエアを交互に給排気するエア給排気口31,32がエア給排気孔23,24を介して連通されている。スプール切替30はポンプ本体1の中央部にボルト締めで設置される。ボルトの着脱は容易であり、それに伴いスプール切替30内部のメンテナンスも容易となっている。なお、図1では説明の便宜上、スプール切替30を外部に出してある。
また、センターロッド4の中央部の溝28が、スプール切替30のスプール36の上下の移動方向切替用のエアポートとしての機能を有し、センターロッド4がその軸方向に往復動する際の軸受けであるガイドブッシュA17,18及びガイドブッシュB19,20とを含めて、スプール切替30のスプール36の切替ポート機構40として機能する。
ガイドブッシュA17,18は、円環形状であり、内径側外方と外形側内方に、切替ポート機構40のエア室を構成するためにOリング52A,52B,53A,53Bを保持するOリング溝を有する。そして、ガイドブッシュA17,18は、ポンプ本体1の両側の外方から内部における線対称軸の中心に向かって挿入され、ポンプ本体1及びセンターロッド4とOリング52A,52B,53A,53Bを介してシールされ、センターロッド4を支持する。
ガイドブッシュB19,20は、円環形状であり、内径側外方に段差が設けられ、内径側から外径側に向かって内方から外方に1段上がる形状であり、内方の1段下がった外周面に、内径方向中心に向かって切替ポート用給気口21,切替ポート用排気口22としての穴が開いている。また、ガイドブッシュB19,20は、内径側外方の1段上がった外周面と外形側内方に、切替ポート機構40のエア室を構成するためにOリング52C,52D,53C,53Dを保持するOリング溝を有する。そして、ガイドブッシュB19,20は、ガイドブッシュA17,18の上記挿入後に、ポンプ本体1の両側の外方から内部における線対称軸の中心に向かって挿入され、ポンプ本体1及びセンターロッド4とOリング52C,52D,53C,53Dを介してシールされ、センターロッド4を支持する。
ガイドブッシュA17,18、及びガイドブッシュB19,20は、ガイドブッシュオサエ54,55によって、外方からポンプ本体に固定されている。
図3の(a),(b)に示されるように、切替ポート用給気口21には、ポンプ本体1のエア給気専用孔26から常にエアが供給(図1の矢印A5参照)され、切替ポート用排気口22は、ポンプ本体のエア排気専用孔27と連通しており、センターロッド4の中央溝28がガイドブッシュA17,18の外径側内方のOリング溝に支持されたOリング52B,53Bを超えることで、中央エア室56にエアの給排気が行われ、切替ポート機構40としての機能を果たす。
図3は、図1のダイヤフラムポンプにおける切替ポート機構40と各ボール逆止弁の断面図であり、(a)はセンターロッド4がガイドブッシュA17の外径側内方のOリング溝に支持されたOリング52Bを超えた際の、スプール切替30の切替ポート33へのエアの給気(C2の矢印)、並びにポンプ室内の流動体の吸い込み(E1の矢印)及び吐出(E2の矢印)の状態図、(b)はセンターロッドがガイドブッシュA18の外径側内方のOリング溝に支持されたOリング53Bを超えた際の、スプール切替30のエア排気専用口35へのエアの排気(C4の矢印)、並びにポンプ室内の流動体の吸い込み(E3の矢印)及び吐出(E4の矢印)の状態図である。図3における矢印C1は図1の矢印A5からの供給エアの給気、矢印C3は図1の矢印A2からのエアの排気、矢印D1,D2はセンターロッド4の移動方向を示している。
この切替ポート機構40により、スプール切替30において、スプール36が中立位置で停止することを防止でき、ダイヤフラム5,6によるエア給排気動作終了直前の動きに連動して、ポンプ本体1の中心孔25からスプール切替30の切替ポート33へのエアの給排気が行われることで、スプール36の切替が確実に行われる。
図2の(a),(b)に示されるように、スプール切替30は、ポンプへのエア供給口37を備え、スリーブ38内でスプール36が摺動し、ダイヤフラム5,6の内側エア室7,8へのエアの給排気を行う。ランド39cにおいてエア圧力が上から生じる受圧面積s1、ランド39bにおいてエア圧力が下から生じる受圧面積s2、ランド39aにおいてエア圧力が上から生じる受圧面積s3の大きさには、s1<s2<s3の関係があり、受圧面積比に応じて生じるエア圧力の差を利用してスプール36が摺動する仕組みとなっている。
また、スプール切替30で給排気されたエアは、図2の(a),(b)に示されるように、スプール36とスリーブ38によって形成された経路を通り、切替ポート機構40によるエアの給排気がなされる切替ポート33、ポンプ本体1のエア室7,8へのエア給排気口31,32、及びエア排気専用口34,35、の各ポートを通ってポンプ本体1の側との移動が行われる。
次にダイヤフラムポンプの作用を説明する。エア供給口37から所定の圧力でスプール切替30にエアを入れる。スプール36が上端の位置にある場合(図2(a)参照)、エアがエア給排気口31を通ってポンプ本体1のエア室7に給気(図2(a)の矢印B2)される。このとき、反対側のエア室8のエアは、エア給排気口32からエア排気専用口35を通って大気に排気(図2(a)の矢印B3の方向)される。
したがって、ダイヤフラム5,6及びセンターロッド4は左方向(図3(a)の矢印D1)に移動し、ダイヤフラム5が、左側のポンプ室9内の流動体を吐出口16に押し出す(図3(a)の矢印E2)と共に、ダイヤフラム6が、吸込口13より右側のポンプ室10内に流動体を吸い込む(図3(a)の矢印E1)。
このセンターロッド4の左方向への移動の終了直前に、ガイドブッシュA17の外径側内方のOリング溝に支持されたOリング52Bを超え、ポンプ本体1のエア給気専用孔26からのエアが、切替ポート用給気口21、中央エア室56及びポンプ本体の中心孔25を通って切替ポート33内に供給(図2(b)の矢印B4)される。
このとき、スプール36のエア圧力が生じる受圧面積s1,s2,s3の大きさに、上述したs1<s2<s3の関係があるため、切替ポート33内にエアが供給(図2(b)の矢印B4)されて受圧面積s3に発生する下向きの圧力は、エア給排気口32を通って給気される経路で受圧面積差s2−s1に発生している上向きの圧力よりも大きく、スプール36は下端の位置(図2(b)参照)へ向けて下方へ移動する。
スプール36が下端の位置にある場合、エアがエア給排気口32を通ってポンプ本体1のエア室8に給気(図2(b)の矢印B6)される。このとき、反対側のエア室7のエアは、エア給排気口31からエア排気専用口34を通って大気に排気(図2(b)の矢印B5)される。
したがって、ダイヤフラム5,6及びセンターロッド4は右方向(図3(b)の矢印D2)に移動し、ダイヤフラム6が、右側のポンプ室10内の流動体を吐出口16に押し出す(図3(b)の矢印E4)と共に、ダイヤフラム5が、吸込口13より左側のポンプ室9内に流動体を吸い込む(図3(b)の矢印E3)。
このセンターロッド4の右方向への移動の終了直前に、ガイドブッシュA18の外径側内方のOリング溝に支持されたOリング53Bを超え、切替ポート33内のエアが、ポンプ本体の中心孔25、中央エア室56、切替ポート用排気口22、及びポンプ本体1のエア排気専用孔27を通って大気へ排気(図3(b)の矢印C4)される。
このとき、切替ポート33内は排気状態(図2(a)の矢印B1)のため、受圧面積s3にはエアによる圧力は発生しない。エア給排気口31を通って給気される経路で受圧面積s2に発生している上向きの圧力と、受圧面積s1に発生している下向きの圧力は、s2>s1の関係となっているため、スプール36は上端の位置(図2(a)参照)へ向けて上方へ移動する。
この切替ポート機構40における切替ポート33へのエアの給排気による、スプール36の上下方向の移動により、ポンプ本体1の左右のエア室7,8へのエア給排気が行われ、ポンプ作用が繰り返し行われる。
ところで、ダイヤフラムポンプにおけるボール逆止弁11A,11B,12A,12Bは、例えば、図4〜図7に示すように、バルブケース80と、バルブシート60と、ボール50と、Oリング51と、からなるボール逆止弁14が用いられる。
バルブシート60は、ボール50で流動体の流通が開閉される貫通孔90を有し、バルブケース80は、ボール50を流動体の流通を開とする位置と閉とする位置とに移動可能に覆い、バルブシート60の貫通孔90から連通して流動体が流通する開口部を有し、バルブシート60及びOリング51に対して上方から覆せる上部バルブケース81と、貫通孔90へ連通して流動体が流通する開口部を有し、バルブシート60及びOリングに対して下方から支持する下部バルブケース82と、の別体構造であっても、一体構造であってもよい。
バルブシート60は、耐食性材、例えば、ポリプロピレン(PP)、ポリビニリデンフルオライド(PVDF)、パーフルオロアルコキシアルカン(PFA)等が使用され、シール材としてのOリング51は、耐食性材、例えば、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、パーフルオロアルコキシアルカン(PFA)、パーフルオロエラストマー(FFKM)等が使用されている。
また、バルブシート60は、ボール50を支持して貫通孔90を密閉可能な第1バルブシート61と、第1バルブシート61を囲む略円筒状で、Oリング51によってバルブケース80との間をシールされる第2バルブシート63と、の独立した2つの部品からなる構成である。また、第1バルブシート61は、収容したボール50を脱落させないために、その内径d1がボール50の直径d2より小さくなるように設計されている。
更に、第1バルブシート61の外周面の下部には、フランジ部62が形成され、第2バルブシート63の内周面の下部には、フランジ部62を収容できる切り欠き部65が形成されており、第2バルブシート63の切り欠き部65の水平面71は、第1バルブシートのフランジ部62の上面72の上に一部が載置していることを特徴とする。
更に、第2バルブシート63の内周面の上部は、下方から上方に向けて拡径したテーパー面66を有している。このテーパー面66により、ボールシール部67がボール50との衝突によって変形しても、第1バルブシート61が第2バルブシート63に接触することがなく、接触の衝撃に伴うひずみによりボール50と第1バルブシート61の密閉性が低下することを防止できる。
更に、第1バルブシート61は、内周面の上部にボール50の直径d2よりも僅かに大きな直径を有する球の表面に沿った凹状の部分球形状部(ボールシール部)67を有していてもよい。これにより、ボール50との密閉性をさらに高めることができる。
更に、下部バルブケース82には、貫通孔90より下方に、第1バルブシート61が載置可能な載置面84が形成され、上部バルブケース81には、第2バルブシート63を収容できるバルブシート収容凹部83が形成されてもよい。
更に、第1バルブシート61の上部外径d5と、第2バルブシート63の上部内径d6と、の間に第1クリアランスd3が形成され、第1バルブシート61の下部外径d7と、第2バルブシート63の下部内径d8と、の間に第2クリアランスd4が形成されることを特徴とする。このとき、第1バルブシート61は、下部バルブケース82の載置面84上を、水平方向に移動可能となる。
このように構成されることにより、バルブ組立て時に、バルブケース80、及びOリング51から第2バルブシート63へ発生した応力によるひずみが、第1バルブシート61まで伝達せず、第1バルブシート61の変形が防止され、ボール50との密閉性を安定して維持することが可能となる。
クリアランスd3が0.45〜0.65mm、クリアランスd4が0.50〜0.60mm、の範囲では、バルブの安定した密閉性が維持されることを確認した。なお、クリアランスd3,d4が小さすぎると、温度変化等によってバルブシート60が収縮、又は膨張して接触する可能性が高まり、バルブ組立て時に発生した応力によるひずみが第2バルブシート63から第1バルブシート61まで伝達しやすくなる。また、クリアランスd3,d4が大きすぎると、バルブの密閉性が損なわれる。
次に、このボール逆止弁14における第2バルブシート63のシール構造について説明する。図7に示されるように、上部バルブケース81には、第2バルブシート63を収容できるバルブシート収容凹部83が形成され、第2バルブシート63は、バルブシート収容凹部83と嵌合し、Oリング51を介してシールされる。
ここで、第2バルブシート63は、外周面の一部にOリング51が接触するシール面64を有していてもよい。このとき、前記第2バルブシート63の上面68は、上部バルブケース81のバルブシート収容凹部83の水平面85と嵌合し、第2バルブシート63のシール面64と、上部バルブケース81のバルブシート収容凹部83の内周面86と、下部バルブケース82の上面84と、がOリング51によってシールされる。
上記シール構造により、第2バルブシート63を効率的にシールすることが可能となる。また、第2バルブシート63の切り欠き部65の下端には、下部バルブケース82の上面と面接触する水平載置面73を設けてもよい。これにより、第2バルブシート63のシール性能をさらに高めることができる。
ダイヤフラムポンプにおける吸込用ボール逆止弁11A,11B及び吐出用ボール逆止弁12A,12Bとして、図4に示す構造のボール逆止弁14を用いた場合は、バルブ組立時の応力により発生したひずみがボールシール部67まで伝達せず、安定した密閉性を維持することができるため、ポンプ内部での液漏れ(逆流)が防止され、液体吐出口を全て閉じると、低速作動を継続することなく確実にポンプを停止することができる。
以下に、実施例、及び比較例を示して、本発明を更に詳細、かつ具体的に説明する。
ここで、バルブ組立時の応力により発生したひずみがボールシール部67まで伝達せず、安定した密閉性を維持することを可能にするバルブシート60の製品規格要件を、スプール切替30に供給されるエア圧力が常用使用範囲の最低値である0.2MPa時において、流動体の吐出口16を閉ざすことによりポンプが停止することした。
供給されるエア圧力が常用使用範囲の最低値という要件は、供給エア圧力が低い方が、ボール50がシール面67に押さえつけられる力が弱く、シール面67のひずみの影響を受けやすくシールが効きにくくなるためである。また、前記製品規格要件を満たす試験条件として、供給エア圧力の最低値である0.2MPa時に流動体の吐出口16を閉ざすことにより、ポンプが停止状態を3分間以上キープすることとした。3分以上としたのは、バルブシート、及びバルブケースが金属製である他ポンプで3分程度停止するモデルがあることから定めた。
[実施例1]
図4に示される本実施形態に係るボール逆止弁14が用いられた。すなわち、ボール逆止弁は、ボール50を支持して貫通孔90を密閉可能な第1バルブシート61と、第1バルブシート61を囲む略円筒状で、Oリング51によってバルブケース80との間をシールされる第2バルブシート63と、の独立した2つの部品からなり、第1バルブシート61の上部外径d5と、第2バルブシート63の上部内径d6と、の間に第1クリアランスd3が形成され、第1バルブシート61の下部外径d7と、第2バルブシート63の下部内径d8と、の間に第2クリアランスd4が形成され、第2バルブシート63の切り欠き部65の水平面71は、第1バルブシート61のフランジ部62の上面72の上に載置しており、バルブシート60はPP材、OリングはPTFE材である等といった特徴を有している。
[比較例1]
次に、実施例1の分割式バルブシートの代わりとして、図8に示される断面形状の単一体バルブシートを用いるボール逆止弁が比較例1として供試された。バルブ組立時の応力がボールシール部まで伝達しにくいと考えられる設計となっているが、いずれもバルブシートの前記試験条件を満たす水準を大きく下回った。
[比較例2]
更に、比較例1の単一体バルブシートにPP製より強度が優れたPTFE製で検証したが、バルブシートの前記試験条件を満たさなかった。なお、PTFEはPPよりも強度は優れているが、繰り返しの折り曲げにいてはPPの方が強い特性が知られている。
[比較例3]
更に、比較例1のOリングの代わりとして、高価であるが、芯材がゴムのために純粋なPTFE製よりも変形しやすく、バルブ組立時のバルブシートへの反力を弱めることができるフッ素ゴム(FKM)を芯材に、フッ素樹脂(PFA)を被覆に使用したフッ素樹脂被覆Oリングを用いるボール逆止弁を検証した。3D解析により、バルブシートのひずみは、PEFE製のOリングよりも小さくなることは確認できた。しかし、バルブシートの前記試験条件を満たす場合と、満たさない場合と、の結果にばらつきがあり、前記試験条件を十分に満たすまでには至らなかった。
[比較例4]
更に、比較例1のOリングの代わりとして、フッ素樹脂系の板ガスケットを用いるボール逆止弁を検証した。バルブシートの前記試験条件を満たす例があったが、供給圧力0.4MPa以上の中〜高供給圧力時にポンプ外部への液漏れが発生したため、採用不可となった。
[比較例5]
更に、実施例1で第1バルブシート61と第2バルブシート63にクリアランスがないボール逆止弁14を検証した。初回バルブ組立時はバルブシートの前記試験条件を満たすものの、一回の再組立でシール機能が低下、又は変形により再組立が不可能になる例があり、採用不可となった。
(総合評価)
バルブシールの構造、材質、及びクリアランス、並びにOリングの材質(代替品を含む)に基づいて、実施例1、並びに比較例1〜5のボール逆止弁の総合評価がなされた。表1には、総合評価の結果が示されている。〇:良好、△:前記試験条件を満たすこともあるが良好ではない、×:適性なし、で表記されている。
Figure 0006784721
上述された実施例から以下の点が導き出された。表1に示すように、実施例1のバルブシート分割構造は、バルブシートに金属以外の材質として耐食性材、例えばPP材を、シール材としてのOリングにPP材より相対的に強度が高い耐食性材、例えばPTFEを用いた場合に、バルブ組立時の応力によるひずみの悪影響を軽減する効果があった。
上述された実施例から、本実施形態に係るボール逆止弁14は、その構成によって、バルブ組立時の応力により発生したひずみがボールシール部67まで伝達せず、安定したシール性を維持することができることが示された。
上述の実施形態では、ダイヤフラムポンプで用いられるボール逆止弁について説明しているが、本発明のボール逆止弁は、これに限らず種々のポンプや流路管に適用可能である。また、本開示は、上述された実施形態、及び実施例に限定されるものではない。
1 ポンプ本体
2,3 ディスク部材
4 センターロッド
5,6 ダイヤフラム
7,8 エア室
9,10 ポンプ室
11A,11B 吸込用ボール逆止弁
12A,12B 吐出用ボール逆止弁
13 吸込口
14 ボール逆止弁
16 吐出口
17,18 ガイドブッシュA
19,20 ガイドブッシュB
21 切替ポート用給気口
22 切替ポート用排気口
23,24 ポンプ本体のエア給排気孔
25 ポンプ本体の中心孔
26 ポン部本体のエア給気専用孔
27 ポンプ本体のエア排気専用孔
28 センターロッドの中央部の溝
30 ポンプ作動エア切替機構(スプール切替)
31,32 エア給排気口
33 切替ポート
34,35 エア排気専用口
36 スプール
37 エア供給口
38 スリーブ
39a,39b,39c ランド
40 切替ポート機構
50 ボール
51,52A,52B,52C,52D,53A,53B,53C,53D Oリング
54,55 ガイドブッシュオサエ
56 中央エア室
60 バルブシート
61 第1バルブシート
62 第1バルブシートのフランジ部
63 第2バルブシート
64 第2バルブシートのシール面
65 第2バルブシートの切り欠き部
66 第2バルブシートのテーパー面
67 第1バルブシートの凹状の部分球形状部(ボールシール部、シール面)
68 第2バルブシートの上面
71 第2バルブシートの切り欠き部の水平面
72 第1バルブシートのフランジ部の上面
73 第2バルブシートの水平載置面
80 バルブケース
81 上部バルブケース
82 下部バルブケース
83 上部バルブケースのバルブシート収容凹部
84 下部バルブケースの載置面(上面)
85 バルブシート収容凹部の水平面
86 バルブシート収容凹部の内周面
90 貫通孔
s1,s2,s3 ランドにおけるエア圧力が生じる受圧面積
d1 第1バルブシートの内径
d2 ボールの直径
d3 第1クリアランス
d4 第2クリアランス
d5 第1バルブシートの上部外径
d6 第2バルブシートの上部内径
d7 第1バルブシートの下部外径
d8 第2バルブシートの下部内径

Claims (7)

  1. バルブケースと、バルブシートと、ボール有するボール逆止弁において、
    耐食性材製の前記バルブシートは、前記ボールで流動体の流通が開閉される貫通孔を有し、
    前記バルブシートは、前記ボールを支持して前記貫通孔を密閉可能な第1バルブシートと、該第1バルブシートを囲む略円筒状の第2バルブシートと、で構成され、
    前記第1バルブシートの外周面の下部には、フランジ部が形成され、
    前記第2バルブシートの内周面の下部には、前記フランジ部を収容できる切り欠き部が形成され、
    前記第1バルブシートの上部外径と、前記第2バルブシートの上部内径と、の間に第1クリアランスが形成され、
    前記第1バルブシートの下部外径と、前記第2バルブシートの下部内径と、の間に第2クリアランスが形成され、
    前記第2バルブシートの前記切り欠き部の水平面は、前記第1バルブシートの前記フランジ部の上面の上に載置していることを特徴とする、ボール逆止弁。
  2. 前記ボール逆止弁の前記第2バルブシートをOリングによって前記バルブケースとの間をシールした請求項1に記載のボール逆止弁。
  3. 前記バルブケースは、前記貫通孔より下方に、前記第1バルブシートが載置可能な載置面を有し、前記第1バルブシートは、前記載置面上を、水平方向に移動可能であることを特徴とする、請求項2に記載のボール逆止弁。
  4. 前記バルブケースは、前記第2バルブシートを収容できるバルブシート収容凹部を有し、 前記第2バルブシートは、前記バルブケースの前記バルブシート収容凹部と嵌合し、前記Oリングを介してシールされることを特徴とする、請求項2または3に記載のボール逆止弁。
  5. 前記第2バルブシートの内周面の上部は、下方から上方に向けて拡径したテーパー面を有することを特徴とする、請求項2乃至4のいずれか1項に記載のボール逆止弁。
  6. 前記第2バルブシートの前記切り欠き部の下端には、前記バルブケースの前記載置面と面接触する水平載置面が形成されることを特徴とする、請求項3に記載のボール逆止弁。
  7. ポンプ本体の内部における線対称位置に、対称軸から近い順にエア室、及び該エア室とダイヤフラムで仕切られたポンプ室が一対配置され、
    前記ポンプ室に吸込用逆止弁を介して吸込口が接続されると共に、吐出用逆止弁を介して吐出口が接続され、
    一対の前記ダイヤフラムに両端が連結したセンターロッドが、前記対称軸と直交する方
    向を軸として該軸方向に移動自在に前記エア室を貫通して支持され、
    一対の前記エア室にエアを交互に給排気することで、一対の前記エア室の容積を交互に増減させることで、一対の前記ダイヤフラムを変動させると共に、これに連動する前記センターロッドをその前記軸方向に往復動させるダイヤフラムポンプにおいて、
    前記吸込用逆止弁、及び前記吐出用逆止弁として請求項1乃至のいずれか1項に記載のボール逆止弁が用いられていることを特徴とするダイヤフラムポンプ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020186816A (ja) * 2020-07-20 2020-11-19 株式会社ヤマダコーポレーション ボール逆止弁及びダイヤフラムポンプ
US11608821B2 (en) 2018-06-18 2023-03-21 Yamada Corporation Ball non-return valve and diaphragm pump

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20230265845A1 (en) * 2022-02-22 2023-08-24 Warren Rupp, Inc. Diaphragm pump with off-set ball check valve and elbow cavity
CN114623069B (zh) * 2022-05-17 2022-08-09 成都科建生物医药有限公司 一种泵及具有该泵的脂质体制备装置
CN117028215B (zh) * 2023-08-23 2024-01-23 浙江普尔树脂有限公司 一种甲缩醛清洗套用过程的气动隔膜泵及隔膜泵利用方法

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2252924A (en) * 1939-04-24 1941-08-19 Byford C Hale Valve
US2776172A (en) * 1954-03-08 1957-01-01 Nat Supply Co Rod guide and packing means
GB1244158A (en) * 1967-10-18 1971-08-25 Tecalemit Engineering Fluid displacement unit
AT290700B (de) * 1968-08-03 1971-06-11 Danfoss As Entlüftungseinrichtung für Ölpumpen
US4252510A (en) * 1978-08-28 1981-02-24 Bruce A. Bromley Diaphragm pump
US4445532A (en) * 1979-10-15 1984-05-01 The Garrett Corporation Pressure regulator system
US4313495A (en) * 1980-06-13 1982-02-02 Halliburton Services Downhole pump with pressure limiter
JPS6295186U (ja) * 1985-12-06 1987-06-17
FR2705130B1 (fr) * 1993-05-12 1995-06-23 Snecma Organe de distribution de fluide avec siege auto-centreur.
JP2848807B2 (ja) * 1996-01-26 1999-01-20 株式会社イワキ 自動ガス抜き機構付き往復動ポンプ
JP3083275B2 (ja) * 1997-09-18 2000-09-04 株式会社ワイ・テイ・エス ダブルダイヤフラム式ポンプ
JP2000002350A (ja) * 1998-06-17 2000-01-07 Tsudakoma Corp 逆止弁
JP2002267032A (ja) * 2001-03-12 2002-09-18 Jiro Matsuyama ボール式逆止め弁
US6899127B1 (en) * 2001-08-09 2005-05-31 Spears Manufacturing Co. Non-vibrating ball check valve
DE102006048903A1 (de) * 2006-10-17 2008-04-30 Robert Bosch Gmbh Pumpe für ein Fahrzeugbremssystem mit einem Ventil
CN201053524Y (zh) * 2007-06-22 2008-04-30 广东恒基金属制品实业有限公司 一种用于热泵制冷系统的单向阀
JP5139405B2 (ja) * 2009-12-03 2013-02-06 株式会社ヤマダコーポレーション ポンプ用バルブ本体
CN201844072U (zh) * 2010-11-16 2011-05-25 王健能 一种钢珠式止回阀
JP4977791B1 (ja) * 2011-07-01 2012-07-18 株式会社タクミナ ポンプ及びポンプの運転方法
CN202203647U (zh) * 2011-08-10 2012-04-25 浙江超润润滑元件有限公司 油脂泵出油单向阀
CN202381322U (zh) * 2011-12-26 2012-08-15 重庆永泰水处理系统工程有限公司 软密封式计量泵阀组件
JP5912847B2 (ja) * 2012-05-21 2016-04-27 日本ピラー工業株式会社 横型ベローズポンプ
JP6118155B2 (ja) * 2013-03-27 2017-04-19 株式会社ワイ・テイ・エス 逆止弁及びダイアフラムポンプ
CN203797066U (zh) * 2014-04-22 2014-08-27 上海中韩杜科泵业制造有限公司 一种集成式止回阀芯
JP6523844B2 (ja) * 2015-07-18 2019-06-05 ボーグワーナー インコーポレーテッド 一体型チェック・リリーフバルブ
JP6709119B2 (ja) * 2016-07-12 2020-06-10 積水化学工業株式会社 ウィープホール装置
WO2018109905A1 (ja) * 2016-12-15 2018-06-21 株式会社イワキ 往復動ポンプ
DE202017103236U1 (de) * 2017-05-30 2017-07-28 Samson Ag Ventilgehäuse und damit ausgestattetes Ventil
JP6784721B2 (ja) 2018-06-18 2020-11-11 株式会社ヤマダコーポレーション ボール逆止弁及びダイヤフラムポンプ

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11608821B2 (en) 2018-06-18 2023-03-21 Yamada Corporation Ball non-return valve and diaphragm pump
JP2020186816A (ja) * 2020-07-20 2020-11-19 株式会社ヤマダコーポレーション ボール逆止弁及びダイヤフラムポンプ
JP7128864B2 (ja) 2020-07-20 2022-08-31 株式会社ヤマダコーポレーション ボール逆止弁及びダイヤフラムポンプ

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