JPWO2017195603A1 - 光学部品及びレーザ加工機 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施の形態1に係る光学部品は、Ge基板の少なくとも片面に、該Ge基板側から、フッ化物膜、Ge膜及びダイヤモンドライクカーボン膜(DLC膜)がこの順に積層されたことを特徴とするものである。
そこで、本発明の光学部品では、熱伝導率が高いGeを基板に用いている。Ge基板10には、光学性能や機械特性に影響が出なければ、Ge以外の元素がドープされていてもよい。また、Ge基板10の形状は限定されるものではないが、例えばレーザ加工機用保護ウィンドウとしては、80mm〜140mmの直径及び2mm〜10mmの厚さを有する円板であることが好ましい。
実施の形態2に係る光学部品は、Ge基板の少なくとも片面に、該Ge基板側から、フッ化物膜、Ge膜及びDLC膜がこの順に積層されており、フッ化物膜及びGe膜が露出することなくDLC膜で覆われていることを特徴とするものである。
実施の形態3に係るレーザ加工機は、上記した実施の形態1又は2による光学部品を備えることを特徴とするものである。
光学部品として、Ge基板の一方の面(レーザ光の出射面となる面)に多層膜(Ge基板側からMgF2膜(膜厚500nm)/Ge膜(膜厚80nm)/DLC膜(膜厚500nm))を形成し、他方の面(レーザ光の入射面となる面)に反射防止膜(Ge基板側からYF3膜(膜厚650nm)/Ge膜(膜厚130nm)/MgF2膜(膜厚200nm))を形成したレーザ加工機用保護ウィンドウを作製した。Ge基板としては、直径90mm及び厚さ5mmの円板を使用した。多層膜を構成するMgF2膜及びGe膜並びに反射防止膜は、真空蒸着法により形成し、多層膜を構成するDLC膜は、スパッタリング法により形成した。また、作製した光学部品の透過率は、フーリエ変換型赤外分光光度計を使用して評価した。
実施例1で作製した光学部品の構成は、DLC膜(膜厚500nm)/Ge膜(膜厚80nm)/MgF2膜(膜厚500nm)/Ge基板(厚さ5mm)/YF3膜(膜厚650nm)/Ge膜(膜厚130nm)/MgF2膜(膜厚200nm)であった。
光学部品として、Ge基板の一方の面(レーザ光の出射面となる面)に、Ge基板側から、MgF2膜、Ge膜及びDLC膜をこの順に形成し且つMgF2膜及びGe膜が露出することなくDLC膜で覆われていて、他方の面(レーザ光の入射面となる面)に反射防止膜(Ge基板側からYF3膜(膜厚650nm)/Ge膜(膜厚130nm)/MgF2膜(膜厚200nm))を形成したレーザ加工機用保護ウィンドウを作製した。Ge基板としては、直径90mm及び厚さ5mmの円板を使用した。多層膜を構成するMgF2膜及びGe膜は、真空蒸着法により形成し、多層膜を構成するDLC膜は、所定の開口部を有するマスクを用いてスパッタリング法により形成した。また、作製した光学部品の透過率は、フーリエ変換型赤外分光光度計を使用して評価した。
実施例2で作製した光学部品の構成は、DLC膜(膜厚500mm)/Ge膜(膜厚80nm)/MgF2膜(膜厚500nm)/Ge基板(厚さ5mm)/YF3膜(膜厚650nm)/Ge膜(膜厚130nm)/MgF2膜(膜厚200nm)であった。
比較例1では、特許文献1に対応する光学部品の光学解析を実施した。
比較例1の光学部品の構成は、DLC膜(膜厚300nm)/Ge膜(膜厚30nm)/Y2O3膜(膜厚30nm)/YF3膜(膜厚600nm)/Y2O3膜(膜厚30nm)/ZnS基板(厚さ5mm)/Y2O3膜(膜厚80nm)/YF3膜(1300nm)/MgF2膜(膜厚400nm)とした。
図6は、比較例1の光学部品について、光学薄膜設計ソフトEssential Macleodを使用して光学解析を実施した際の、透過率の波長依存性を示す図である。図6から分かるように、比較例1の光学部品では、レーザ波長である9.3μmにおいて、95%以下の透過率であった。この光学部品をレーザ加工機用保護ウィンドウとして適用した場合、熱レンズ効果が生じるため、高速加工時に加工精度が悪化するという問題が生じる。
光学部品として、Ge基板の両面に、多層膜(Ge基板側からYF3膜(膜厚660nm)/Ge膜(膜厚120nm)/DLC膜(膜厚80nm))を形成したレーザ加工機用保護ウィンドウを作製した。Ge基板としては、直径110mm及び厚み5mmの円板を使用した。多層膜を構成するMgF2膜及びGe膜並びに反射防止膜は、真空蒸着法により形成し、多層膜を構成するDLC膜は、プラズマCVD法により形成した。また、作製した光学部品の透過率は、フーリエ変換型赤外分光光度計を使用して評価した。
実施例3で作製した光学部品の構成は、DLC膜(膜厚80nm)/Ge膜(膜厚120nm)/YF3膜(膜厚660nm)/Ge基板(厚さ5mm)/YF3膜(膜厚660nm)/Ge膜(膜厚120nm)/DLC膜(膜厚80nm)であった。
光学部品の構成を、DLC膜(膜厚130nm)/Ge膜(膜厚110nm)/YbF3膜(膜厚670nm)/Ge基板(厚さ5mm)/YbF3膜(膜厚670nm)/Ge膜(膜厚110nm)/DLC膜(膜厚130nm)に変更したこと以外は、実施例3と同様にして実施例4の光学部品を作製した。
光学部品の構成を、DLC膜(膜厚50nm)/Ge膜(膜厚130nm)/MgF2膜(膜厚640nm)/Ge基板(厚さ5mm)/MgF2膜(膜厚640nm)/Ge膜(膜厚130nm)/DLC膜(膜厚50nm)に変更したこと以外は、実施例3と同様にして実施例5の光学部品を作製した。
光学部品として、Ge基板の一方の面(レーザ光の出射面となる面)に多層膜(Ge基板側からYF3膜(膜厚700nm)/Ge膜(膜厚110nm)/DLC膜(膜厚300nm))を形成し、他方の面(レーザ光の入射面となる面)に反射防止膜(Ge基板側からYF3膜(膜厚750nm)/Ge膜(膜厚150nm)/MgF2膜(膜厚200nm))を形成したレーザ加工機用保護ウィンドウを作製した。Ge基板としては、直径110mm及び厚さ5mmの円板を使用した。多層膜を構成するYF3膜及びGe膜並びに反射防止膜は、真空蒸着法により形成し、多層膜を構成するDLC膜は、プラズマCVD法により形成した。また、作製した光学部品の透過率は、フーリエ変換型赤外分光光度計を使用して評価した。
実施例6で作製した光学部品の構成は、DLC膜(膜厚300nm)/Ge膜(膜厚110nm)/YF3膜(膜厚700nm)/Ge基板(厚さ5mm)/YF3膜(膜厚750nm)/Ge膜(膜厚150nm)/MgF2膜(膜厚200nm)であった。
光学部品の構成を、DLC膜(膜厚50nm)/Ge膜(膜厚110nm)/YbF3膜(膜厚950nm)/Ge基板(厚さ5mm)/YF3膜(膜厚750nm)/Ge膜(膜厚150nm)/MgF2膜(膜厚200nm)に変更したこと以外は、実施例6と同様にして実施例7の光学部品を作製した。
光学部品の構成を、DLC膜(膜厚170nm)/Ge膜(膜厚150nm)/MgF2膜(膜厚600nm)/Ge基板(厚さ5mm)/YF3膜(膜厚750nm)/Ge膜(膜厚150nm)/MgF2膜(膜厚200nm)に変更したこと以外は、実施例6と同様にして実施例8の光学部品を作製した。
光学部品として、Ge基板の両面に、多層膜(Ge基板側からYF3膜(膜厚660nm)/Ge膜(膜厚120nm)/DLC膜(膜厚80nm))を形成したレーザ加工機用保護ウィンドウを作製した。Ge基板としては、直径110mm及び厚み5mmの円板を使用した。多層膜を構成するYF 3 膜及びGe膜は、真空蒸着法により形成し、多層膜を構成するDLC膜は、プラズマCVD法により形成した。また、作製した光学部品の透過率は、フーリエ変換型赤外分光光度計を使用して評価した。
実施例3で作製した光学部品の構成は、DLC膜(膜厚80nm)/Ge膜(膜厚120nm)/YF3膜(膜厚660nm)/Ge基板(厚さ5mm)/YF3膜(膜厚660nm)/Ge膜(膜厚120nm)/DLC膜(膜厚80nm)であった。
Claims (5)
- Ge基板の少なくとも片面に、該Ge基板側から、フッ化物膜、Ge膜及びダイヤモンドライクカーボン膜(DLC膜)がこの順に積層されたことを特徴とする光学部品。
- 前記フッ化物膜が、YF3、YbF3及びMgF2からなる群から選択される少なくとも一種からなることを特徴とする請求項1に記載の光学部品。
- 前記フッ化物膜及び前記Ge膜が露出することなく前記ダイヤモンドライクカーボン膜で覆われていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学部品。
- 前記フッ化物膜の膜厚が500nm〜950nmであり、前記Ge膜の膜厚が50nm〜150nmであり、前記DLC膜の膜厚が50nm〜300nmであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学部品。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の光学部品を備えることを特徴とするレーザ加工機。
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