JPWO2017169156A1 - 平衡式磁界検知装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被測定磁界H0を検知する磁気検知部11が設けられ、その検知出力に応じてフィードバックコイル30にキャンセル電流Id1が与えられ、磁気検知部11にキャンセル磁界Hdが与えられる。被測定磁界H0とキャンセル磁界Hdが平衡状態となったときのコイル電流が検知出力となる。1条のコイル導体35に複数条の磁気抵抗効果素子11aを対向させることで、検知出力の線形性を向上させ、ヒステリシスを低減でき、検知感度を高めることができる。
【選択図】図4
Description
1つの前記磁気検知部では、複数本の前記磁気抵抗効果素子が平行に配置され且つ直列に接続され、それぞれの前記磁気抵抗効果素子の検知軸が同じ向きに設定されており、
前記1本の前記コイル導体に対して、同じ前記磁気検知部を構成する前記磁気抵抗効果素子が複数本対向していることを特徴するものである。
図7に示すように、電流路40においてX方向へ流れる被測定電流I0によって被測定磁界H0が誘導される。被測定電流I0は交流電流または直流電流であるが、ここでは、被測定電流I0が、図7において図示上向きに流れ、図4(A)において紙面奥方向へ流れている瞬間を想定する。このときの被測定磁界H0の向きは図4(A)と図7において矢印で示され、磁気検知部11,12,13,14に、磁界のY方向の成分が印加される。
3 シールド層
5,6,7,8 配線層
11,12,13,14 磁気検知部
11a 磁気抵抗効果素子
17 電流検知部
30 フィードバックコイル
30a 対向検知部
35 コイル導体
40 電流路
H0 被測定磁界
Hd キャンセル磁界
I0 被測定電流
Id コイル電流
P 固定磁性層の磁化の固定方向(感度軸の方向)
Claims (6)
- コイル導体が平面に巻き形成されたフィードバックコイルと、前記コイル導体に沿って長尺形状に形成された複数の磁気抵抗効果素子を有する磁気検知部と、前記磁気検知部が被測定磁界を検知したときの検知出力に応じて前記コイル導体に前記被測定磁界を打ち消す向きの磁界を誘導する電流を与えるコイル通電部と、前記コイル導体に流れる電流量を検知する電流検知部、とが設けられた平衡式磁界検知装置において、
1つの前記磁気検知部では、複数本の前記磁気抵抗効果素子が平行に配置され且つ直列に接続され、それぞれの前記磁気抵抗効果素子の検知軸が同じ向きに設定されており、
前記1本の前記コイル導体に対して、同じ前記磁気検知部を構成する前記磁気抵抗効果素子が複数本対向していることを特徴する平衡式磁界検知装置。 - 前記磁気抵抗効果素子は、前記コイル導体の直線状に延びる部分に対向している請求項1記載の平衡式磁界検知装置。
- 前記コイル導体の断面形状は、幅方向の寸法よりも高さ方向の寸法が短い長方形状であり、前記断面の前記幅方向に延びる長辺に、前記磁気抵抗効果素子が対向している請求項1または2記載の平衡式磁界検知装置。
- 前記磁気抵抗効果素子が、前記コイル導体から前記幅方向へ突出していない請求項1ないし3のいずれかに記載の平衡式磁界検知装置。
- 前記磁気抵抗効果素子へ至る被測定磁界を減衰させる磁気シールド層が設けられている請求項1ないし4のいずれかに記載の平衡式磁界検知装置。
- 電流路が設けられ、前記電流路で誘導された前記被測定磁界が、前記磁気抵抗効果素子に与えられる請求項1ないし5のいずれかに記載の平衡式磁界検知装置。
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