JPWO2017057590A1 - 露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図9(b)を用いて説明する。
次に第2の実施形態に係る液晶露光装置について、図14〜図20(b)を用いて説明する。第2の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、基板ステージ装置420の構成が異なる点を除き、上記第1の実施形態と同じであるので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
Claims (26)
- 光学系を介して照明光を物体に照射して、前記照明光に対して前記物体を相対駆動して前記物体の複数の領域をそれぞれ走査露光する露光装置であって、
前記複数の領域のうち第1領域と第1方向に関して前記第1領域と並んで設けられた第2領域の少なくとも一部の領域とを非接触支持する第1支持部と、
前記第1方向と交差する第2方向に関して前記第1支持部と重ならない位置で前記第1支持部により非接触支持された前記物体を保持する保持部と、
前記第2方向に関して前記第1支持部と離間して配置され、前記第2領域の他部の領域が前記第1支持部に支持されるように、前記物体を保持する前記保持部を前記第1支持部に対して前記第1方向へ相対駆動させる第1駆動部と、を備える露光装置。 - 前記第1支持部は、前記物体のほぼ全面を支持可能な大きさを有し、
前記物体のほぼ全面が前記第1支持部により非接触支持される第1状態と、前記第1駆動部の駆動により前記物体の一部が前記第1支持部から外れ前記物体の他部が前記第1支持部により非接触支持される第2状態とを切り替え可能に前記第1駆動部を制御する制御部を、さらに備える請求項1に記載の露光装置。 - 前記制御部は、前記走査露光時と前記走査露光時以外とで前記第1状態と前記第2状態とを切り替える請求項2に記載の露光装置。
- 前記物体が有する複数のマークを検出するマーク検出動作を行うマーク検出部をさらに備え、
前記制御部は、前記マーク検出動作時に前記第1状態となるように前記第1駆動部を制御する請求項3に記載の露光装置。 - 前記支持部を前記第2方向へ駆動する第2駆動部をさらに備え、
前記第1及び2駆動部は、前記走査露光時に、前記保持部と前記第1支持部とをそれぞれ前記第2方向へ駆動させる請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1支持部を前記第2方向へ駆動する第2駆動部をさらに備え、
前記第2駆動部は、前記走査露光時に、前記保持部を前記第1方向へ駆動させ、
前記第1及び前記第2駆動部は、前記保持部と前記第1支持部とをそれぞれ前記第2駆動部へ駆動させ、前記走査露光を行う前記物体内の領域を変更する前記請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置。 - 照明光を物体に照射して、前記照明光に対して前記物体を第1方向に相対移動して前記物体の複数の領域をそれぞれ走査露光する露光装置であって、
前記複数の領域のうち少なくとも第1領域を非接触支持する第1支持部と、
前記支持部により非接触支持された前記物体を保持する保持部と、
前記保持部を、前記第1方向と前記第1方向に交差する第2方向との一方の方向に関して、前記第1領域の一部が前記支持部を外れるように前記支持部に対して相対駆動する第2駆動系と、
前記支持部を他方の方向へ駆動する第2駆動系と、を備える露光装置。 - 光学系を介して照明光を物体に照射して、前記照明光に対して前記物体を駆動して前記物体を走査露光する露光装置であって、
前記物体のほぼ全面を非接触支持する第1支持部と、
前記第1支持部により非接触支持された前記物体を保持する保持部と、
前記保持部を前記第1支持部に対して相対駆動させる駆動部と、を備え、
前記駆動部は、前記第1支持部にほぼ全面が非接触支持された前記物体を保持する前記保持部を、前記物体の一部が前記第1支持部から外れるように、前記物体内の前記照明光が照射される領域に対して相対駆動する露光装置。 - 前記物体のうち、前記第1支持部に支持された領域以外の領域を支持する第2支持部をさらに備える請求項1〜8のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記保持部は、一対の第1部材と前記第1部材の上に設けられた一対の第2部材とにより構成され、
前記第1部材は、上下方向に関して前記支持部よりも低い位置に設けられる1〜9のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1及び第2方向に関する前記保持部の位置情報を求めるエンコーダシステムを更に備え、
前記エンコーダシステムを構成するヘッド及びスケールの少なくとも一方は、前記保持部に設けられる請求項10に記載の露光装置。 - 前記ヘッド及びスケールの一方は、前記第2部材に設けられる請求項11に記載の露光装置。
- 前記保持部の位置情報を求める際の基準となる基準部材をさらに備え、
前記基準部材は、前記第1部材に設けられる請求項10〜12のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第1支持部は、前記物体の下面に対して空気を供給する供給孔を有する請求項1〜13のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1支持部は、前記物体の下面に介在する空気を吸引する吸引孔を有する請求項14に記載の露光装置。
- 前記物体は、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である請求項1〜15のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項16に記載の露光装置。
- 請求項1〜17のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項1〜17のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 光学系を介して照明光を物体に照射して、前記照明光に対して前記物体を相対駆動して前記物体の複数の領域をそれぞれ走査露光する露光方法であって、
前記複数の領域のうち第1領域と第1方向に関して前記第1領域と並んで設けられた第2領域の少なくとも一部の領域とを第1支持部により非接触支持することと、
前記第1方向と交差する第2方向に関して前記第1支持部と重ならない位置で前記第1支持部により非接触支持された前記物体を保持部により保持することと、
前記第2方向に関して前記第1支持部と離間して配置された第1駆動部により、前記第2領域の他部の領域が前記第1支持部に支持されるように、前記物体を保持する前記保持部を前記第1支持部に対して前記第1方向へ相対駆動することと、を含む露光方法。 - 前記第1支持部は、前記物体のほぼ全面を支持可能な大きさを有し、
前記物体のほぼ全面が前記第1支持部により非接触支持される第1状態と、前記第1駆動部の駆動により前記物体の一部が前記第1支持部から外れ前記物体の他部が前記第1支持部により非接触支持される第2状態とを切り替え可能に前記第1駆動部を制御することを、さらに含む請求項20に記載の露光方法。 - 前記制御することでは、前記走査露光時と前記走査露光時以外とで前記第1状態と前記第2状態とを切り替える請求項21に記載の露光方法。
- 前記制御することでは、前記物体が有する複数のマークを検出するマーク検出動作を行うマーク検出部による前記マーク検出動作時に前記第1状態となるように前記第1駆動部を制御する請求項22に記載の露光方法。
- 前記第1駆動部と前記支持部を前記第2方向へ駆動する第2駆動部とにより、前記走査露光時に、前記保持部と前記第1支持部とをそれぞれ前記第2方向へ駆動することを更に含む請求項20〜23のいずれか一項に記載の露光方法。
- 照明光を物体に照射して、前記照明光に対して前記物体を第1方向に相対移動して前記物体の複数の領域をそれぞれ走査露光する露光方法であって、
前記複数の領域のうち少なくとも第1領域を第1支持部により非接触支持することと、
前記支持部により非接触支持された前記物体を保持部により保持することと、
前記保持部を、前記第1方向と前記第1方向に交差する第2方向との一方の方向に関して、前記第1領域の一部が前記支持部を外れるように前記支持部に対して相対駆動することと、
前記支持部を他方の方向へ駆動することと、を含む露光方法。 - 光学系を介して照明光を物体に照射して、前記照明光に対して前記物体を駆動して前記物体を走査露光する露光方法であって、
前記物体のほぼ全面を第1支持部により非接触支持することと、
前記第1支持部により非接触支持された前記物体を保持部により保持することと、
前記保持部を前記第1支持部に対して相対駆動することと、を含み、
前記相対駆動することでは、前記第1支持部にほぼ全面が非接触支持された前記物体を保持する前記保持部を、前記物体の一部が前記第1支持部から外れるように、前記物体内の前記照明光が照射される領域に対して相対駆動する露光方法。
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