JPWO2016204170A1 - ウエハレベルパッケージ及びウエハレベルチップサイズパッケージ - Google Patents
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Abstract
ダイシングの際に封止枠にかかるストレスを低減する。本発明に係るウエハレベルパッケージは、第1ウエハと、第1ウエハに対向して設けられた第2ウエハと、第1ウエハと第2ウエハとの間に設けられ、アレイ状に配置された複数の略矩形のチップと、所定の間隔で設けられ、複数の略矩形のチップそれぞれを囲んで当該チップを封止する、複数の封止枠と、複数のチップのうち、互いに角が対向するチップをそれぞれ封止する封止枠同士を連結する連結部と、を備える。
Description
本発明は、ウエハレベルパッケージ及びウエハレベルチップサイズパッケージに関する。
近年、ウエハの状態で、配線や保護膜、端子の形成を行い、その後ダイシング等によって個片化してパッケージを形成するウエハレベルチップサイズパッケージ技術が注目されてきている。ウエハレベルチップサイズパッケージでは、最終的にウエハを切断したチップの大きさがそのままパッケージの大きさになり、チップの小型化、軽量化を図ることができる。
例えば特許文献1には、基板ウエハに複数の電子装置を設け、貫通して延びる複数の導電性経路を含むカバーウエハを設け、複数の導電性経路が基板ウエハの複数の電子装置と整列するようにして、カバーウエハを基板ウエハと整列させ、接合する技術が開示されている。
特許文献1に開示されているような、従来のウエハレベルパッケージ技術では、ウエハ上に整列される電子装置同士は、隙間なく形成された半田接合部によって区画される。そのため、特許文献1に記載の技術で製造されたウエハレベルパッケージをチップサイズに切断する場合、半田接合部を分断する必要がある。従って、ダイシングの際に半田接合部にかかるストレスによって、封止不良が発生し易く、良品率低下や信頼性低下を生じ易い。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ダイシングの際に封止枠にかかるストレスを低減することを目的とする。
本発明の一側面に係るウエハレベルパッケージは、第1ウエハと、第1ウエハに対向して設けられた第2ウエハと、第1ウエハと第2ウエハとの間に設けられ、アレイ状に配置された複数の略矩形のチップと、所定の間隔で設けられ、複数の略矩形のチップそれぞれを囲んで当該チップを封止する、複数の封止枠と、複数のチップのうち、互いに角が対向するチップをそれぞれ封止する封止枠同士を連結する連結部と、を備える。
かかるウエハレベルパッケージによると、封止枠同士は離間して設けられるため、ダイシングによって封止枠にかかるストレスを、低減することができる。
また、封止枠は、矩形の形状であって、連結部は、封止枠の角部に接続することが好ましい。この場合、連結部の長さを長くすることができるため、ダイシングによって封止枠にかかるストレスを、より一層低減することが可能になる。
特に、封止枠の角部は、円弧状であることが好ましい。この好ましい態様では、ダイシングラインの幅に依存せずに、連結部の長さを調整することが可能になる。
また、連結部の幅は、前記封止枠の幅よりも細いことが好ましい。この好ましい態様では、ダイシングによって切断される連結部が細く形成されるので、ダイシングによって封止枠にかかるストレスを、より一層低減することが可能になる。
本発明の一側面に係るウエハレベルチップサイズパッケージは、上記のいずれかに記載のウエハレベルパッケージが有する連結部を、ダイシング工程によって切断して形成されたものである。
本発明によれば、ダイシングの際に封止枠にかかるストレスを低減することができる。
[第1の実施形態]
以下、添付の図面を参照して本発明の第1実施形態について説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係るウエハレベルパッケージ1の構造を概略的に示す分解斜視図である。
以下、添付の図面を参照して本発明の第1実施形態について説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係るウエハレベルパッケージ1の構造を概略的に示す分解斜視図である。
(1.ウエハレベルパッケージ1の概略構成)
図1に示すように、このウエハレベルパッケージ1は、上側基板(第2ウエハの一例である。)13と、下側基板(第1ウエハの一例である。)14とを備えている。上側基板13及び、下側基板14は円形の形状をしている。また、上側基板13及び、下側基板14は、互いに対向するように設けられている。
図1に示すように、このウエハレベルパッケージ1は、上側基板(第2ウエハの一例である。)13と、下側基板(第1ウエハの一例である。)14とを備えている。上側基板13及び、下側基板14は円形の形状をしている。また、上側基板13及び、下側基板14は、互いに対向するように設けられている。
下側基板14上には複数の略矩形のデバイスDが形成されている。デバイスDは、例えば、MEMSや電子回路等の半導体チップである。
デバイスDは、下側基板14の全面にアレイ状に配置されている。具体的には、デバイスDが配置された各列は、互いに平行になるように下側基板14に複数配置されている。同様に、デバイスDが配置された各行は、互いに平行になるように下側基板14に複数配置されている。
本実施形態では、各列又は各行に含まれるデバイスDの数は一定ではない。具体的には、複数の行のうち、中心付近の行に含まれるデバイスDの数は、外側の行に含まれるデバイスDの数よりも多い。また、複数の列のうち、中心付近の列に含まれるデバイスDの数は、外側の列に含まれるデバイスDの数よりも多い。これによって、デバイスDは、下側基板14の端部まで配置される。なお、デバイスDの配置はこれに限定されず、例えば、すべての行と列とに含まれるデバイスDの数が一定となるような行列に配置されていてもよい。
複数のデバイスDのそれぞれの周りには、封止枠Fが形成されている。また、下側基板14には、封止枠F同士を連結する連結部Cが形成されている。
(2.封止枠F及び連結部Cの構造)
図2は、図1の領域Bを拡大した図である。図2を用いて、封止枠F及び連結部Cの構造の一例について説明する。以下の説明では、連結部C1、C2をまとめて「連結部C」とも呼び、封止枠F1〜F4をまとめて「封止枠F」とも呼び、さらにデバイスD1〜D4をまとめて「デバイスD」とも呼ぶ。
図2は、図1の領域Bを拡大した図である。図2を用いて、封止枠F及び連結部Cの構造の一例について説明する。以下の説明では、連結部C1、C2をまとめて「連結部C」とも呼び、封止枠F1〜F4をまとめて「封止枠F」とも呼び、さらにデバイスD1〜D4をまとめて「デバイスD」とも呼ぶ。
封止枠F1〜F4は、それぞれデバイスD1〜D4を囲むように設けられ、各デバイスを封止している。本実施形態において、封止枠F1〜F4は略矩形の形状をしている。
封止枠F1及びF3と、F2及びF4とは、所定の間隔d1を隔てて設けられる。また、封止枠F1及びF2、とF3及びF4とは、所定の間隔d2を隔てて設けられる。
封止枠F1及びF3と、F2及びF4とは、所定の間隔d1を隔てて設けられる。また、封止枠F1及びF2、とF3及びF4とは、所定の間隔d2を隔てて設けられる。
間隔d1、d2は、ダイシング工程において、ダイシングブレードやレーザによって切断される領域をいう。間隔d1、d2は、少なくともダイシングに用いるブレードやレーザにより切断される幅(ダイシングライン)よりも大きいことが望ましい。
連結部C1は、間隔d1及びd2の交点付近に設けられる。連結部C1は、隣接する複数のデバイスD1〜D4のうち、互いに角が対向するデバイスD1、D4を封止する、封止枠F1とF4とを連結する。連結部C1は、封止枠F1、F4を当該封止枠F1、F4それぞれの角部同士で連結することが望ましい。これによって、連結部C1の長さを長く形成することができる。これにより、ダイシング工程によって、連結部C1が切断される際に、封止枠F1、F4へとかかるストレスを低減することができる。
連結部C2は、間隔d1及びd2の交点付近に設けられる。連結部C2は、隣接する複数のデバイスD1〜D4のうち、互いに角が対向するデバイスD2、D3を封止する、封止枠F2とF3とを連結する。連結部C2は、封止枠F2、F3を、当該封止枠F2、F3それぞれの角部同士で連結することが望ましい。これによって、連結部C2の長さを長く形成することができる。これにより、ダイシング工程によって、連結部C2が切断される際に、封止枠F2、F3へとかかるストレスを低減することができる。
また、連結部C1、C2は、間隔d1、d2の交点付近において交差する。連結部C1、C2は、交差する点において、一体に形成される。
このように、連結部Cによって封止枠F同士が連結されることで、上側基板13及び下側基板14の間の空間に薬液が侵入することを防ぐことができる。より具体的には、例えばウエット工程において、薬液が封止枠Fの隙間を経由して、上側基板13及び下側基板14の隙間に侵入し、残留してしまうことを防ぐことができる。これによって、残留した薬液が、他の工程で染み出たり、気化したりすることによる設備の汚染を防ぐことができる。また、熱処理工程において、残留した薬液が気化して膨張することで、誘発されるウエハ破損を防ぐことができる。
また、本実施形態に係る連結部Cが封止枠Fの角部同士を接続することによって、連結部Cの長さを長くすることができる。これにより、ダイシング工程によって、連結部Cが切断される際に、封止枠Fへとかかるストレスを低減することができる。さらに、連結部Cの幅は、封止枠Fの幅よりも細いことが望ましい。これによって、封止枠Fにかかるダイシングストレスをより低減させることができ、さらに、廃棄材料を削減することができるため、耐環境性を高めることができる。
さらに、例えば、封止枠Fと、上側基板13及び下側基板14との接合に金属接合が用いられる場合、加熱処理による線膨張差によって、封止枠Fの角部に強い熱応力が残留する。封止枠Fの角部に連結部Cを連結することによって、封止枠Fの角部にかかる残留応力が、連結部Cとの連結箇所へ分散されるため、熱応力による封止枠破壊を抑制することができる。
(3.積層構造)
図3は、図1のAA´断面図の一部を示す図である。AA´断面はデバイスDの対角線に沿ってウエハレベルパッケージ1を切断する断面である。図3に示すように、本実施形態に係るウエハレベルパッケージ1では、下側基板14の上に、封止枠F及び連結部Cが接合され、さらに、封止枠F及び連結部Cの上に、上側基板13が覆いかぶさって接合される。
図3は、図1のAA´断面図の一部を示す図である。AA´断面はデバイスDの対角線に沿ってウエハレベルパッケージ1を切断する断面である。図3に示すように、本実施形態に係るウエハレベルパッケージ1では、下側基板14の上に、封止枠F及び連結部Cが接合され、さらに、封止枠F及び連結部Cの上に、上側基板13が覆いかぶさって接合される。
上側基板13、及び下側基板14は、所定の厚みのシリコンウエハやガラス等から形成される。
封止枠Fは、例えばAu(金)膜やSn(錫)膜、Al(アルミニウム)膜、AlCu(アルミニウム銅)膜、Ge(ゲルマニウム)膜、樹脂等から形成される。封止枠Fは、上側基板13と下側基板14上に、上側基板13と下側基板14とを接合するために形成される。また、連結部Cは、封止枠Fと同一プロセスによって一体形成される。
封止枠F及び連結部Cと、上側基板13及び下側基板14との接合には、金属接合や共晶接合、直接接合等が用いられる。
封止枠F及び連結部Cと、上側基板13及び下側基板14との接合には、金属接合や共晶接合、直接接合等が用いられる。
下側基板14と上側基板13と封止枠Fとによって、デバイスDが気密に封止されている。この空間は、例えば不活性ガス等の気体が充填されてもよいし、真空状態としてもよい。
(4.プロセスフロー)
図4は、本実施形態に係るウエハレベルパッケージ1を製造するためのプロセスフローの一例を示す図である。
図4は、本実施形態に係るウエハレベルパッケージ1を製造するためのプロセスフローの一例を示す図である。
図4(A)は、図1の領域Bに対応する平面透視図である。図4(1B)〜(1D)は、図4(A)のa1−b1断面からみたプロセスフローである。
図4(1B)に示すように、まず、上側基板13に接合材f3´及びf4´が形成される。また、下側基板14に接合材f3及びf4が形成される(図4(1B))。
次の工程で、接合材f3−f3´が接合されて、封止枠F3が形成される。また、接合材f4−f4´が接合されて、封止枠F4が形成される(図4(1C))。接合材f3−f3´及び接合材f4−f4´の接合には、例えば、共晶接合や直接接合が用いられる。接合材f3−f3´及び接合材f4−f4´が接合されることで、ウエハレベルパッケージ1が形成される。
次に、ダイシング工程において、ウエハレベルパッケージ1をダイシングすることで、ウエハレベルチップサイズパッケージが製造される。ダイシング工程では、ダイシングテープTの上に、下側基板14が載置される。ブレードやレーザによって、ダイシングラインLに沿って、上側基板13と下側基板14とがダイシングされる(図4(1D))。
他方、連結部Cを含む断面から見たプロセスフローについて説明する。図4(2B)〜(2D)は、図4(A)のa2−b2断面からみたプロセスフローである。
図4(2B)に示すように、まず、上側基板13に接合材c1´及びc2´が形成される。また、下側基板14に接合材c1及びc2が形成される(図4(2B))。
次の工程で、接合材c1−c1´が接合されて、連結部C1が形成される。また、接合材c2−c2´が接合されて、連結部C2が形成される(図4(2C))。接合材c1−c1´及び接合材c2−c2´の接合には、例えば、共晶接合や直接接合が用いられる。接合材c1−c1´及び接合材c2−c2´が接合されることで、ウエハレベルパッケージ1が形成される。
次に、ウエハレベルチップサイズパッケージを製造するダイシング工程において、ダイシングテープTの上に、下側基板14が載置される。ブレードやレーザによって、連結部C1及びC2を切断するように設けられるダイシングラインLに沿って、上側基板13と下側基板14とがダイシングされる(図4(2D))。
このように、本実施形態に係るウエハレベルパッケージ1において、連結部Cは、角が対向するデバイスDをそれぞれ封止する封止枠F同士の角同士を接続する。これによって、連結部Cの長さを長くすることができ、ダイシングによる、封止枠Fへのストレスを低減することができる。
[第2の実施形態]
第2の実施形態以降では第1の実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については実施形態毎には逐次言及しない。
第2の実施形態以降では第1の実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については実施形態毎には逐次言及しない。
図5は、本実施形態に係る、ウエハレベルパッケージ1の封止枠F及び連結部Cの構造の一例を示す図である。以下に、本実施形態に係るウエハレベルパッケージ1の詳細構成のうち、第1の実施形態との差異点を中心に説明する。
図5に示すように、本実施形態では、封止枠FはR形状(円弧状の一例である。)の角部を有した略矩形の形状をしている。連結部C1は、封止枠F1とF4との角部を、当該角部同士が最も近づく点で連結する。同様に、連結部C2は、封止枠F2とF3との角部を、当該角部同士が最も近づく点で連結する。
このように、本実施形態に係る封止枠FがR形状の角部を有することによって、ダイシングラインの幅や、間隔d1、d2の幅によらずに、連結部Cの長さを調整することができる。これによって、ダイシングによって封止枠Fにかかるストレスを低減することができるのと同時に、下側基板14上に、より多くのデバイスDを形成することができる。
その他の構成、効果は第1の実施形態と同様である。
その他の構成、効果は第1の実施形態と同様である。
以上説明した各実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更/改良され得るととともに、本発明にはその等価物も含まれる。即ち、各実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、各実施形態が備える各要素およびその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。例えば、既述の実施形態において、封止枠Fは略矩形の形状として説明したが、これに限定されず、多角形や円形、楕円形等であってもよい。
また、各実施形態は例示であり、異なる実施形態で示した構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることは言うまでもなく、これらも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
1 ウエハレベルパッケージ
13 上側基板
14 下側基板
D デバイス
C 連結部
F 封止枠
13 上側基板
14 下側基板
D デバイス
C 連結部
F 封止枠
Claims (5)
- 第1ウエハと、
前記第1ウエハに対向して設けられた第2ウエハと、
前記第1ウエハと前記第2ウエハとの間に設けられ、アレイ状に配置された複数の略矩形のチップと、
所定の間隔で設けられ、前記複数の略矩形のチップそれぞれを囲んで当該チップを封止する、複数の封止枠と、
前記複数のチップのうち、互いに角が対向するチップをそれぞれ封止する封止枠同士を連結する連結部と、
を備えるウエハレベルパッケージ。 - 前記封止枠は、矩形の形状であって、
前記連結部は、前記封止枠の角部に接続すること
を特徴とする請求項1に記載のウエハレベルパッケージ。 - 前記封止枠の角部は、円弧状であること
を特徴とする、請求項2に記載のウエハレベルパッケージ。 - 前記連結部の幅は、前記封止枠の幅よりも細いことを特徴とする、請求項1〜3いずれか一項に記載のウエハレベルパッケージ。
- 請求項1〜4いずれか一項に記載されたウエハレベルパッケージが有する前記連結部を、ダイシング工程によって切断して形成された、ウエハレベルチップサイズパッケージ。
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