JPWO2016199262A1 - カセグレン鏡保持機構及びこれを備えた顕微鏡、並びに、カセグレン鏡の取付方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図3は、本発明の一実施形態に係る顕微鏡100の構成例を示した概略図である。この顕微鏡100は、例えば試料に対して赤外光又は可視光を選択的に照射することができる赤外顕微鏡である。顕微鏡100には、図1及び図2に示したカセグレン鏡200の他、試料ステージ1、赤外光源2、可視光源3、検出器4及びカメラ5などが備えられている。
図4は、下カセグレン鏡200Bを保持するカセグレン鏡保持機構6の構成例を示した断面図である。このカセグレン鏡保持機構6は、下カセグレン鏡200Bを保持する保持部61を備えている。保持部61は、副鏡202が主鏡201に対して上方に位置するような姿勢で下カセグレン鏡200Bを下方から保持する。
図5A〜図5Cは、回転調整機構60を用いて複数の支持棒232の回転位置を調整する際の態様について説明するための図である。図5A〜図5Cでは、上カセグレン鏡200Aの複数(例えば3本)の支持棒232及び下カセグレン鏡200Bの複数(例えば3本)の支持棒232を軸線Lに沿って見たときの図が示されている。
(1)本実施形態では、回転調整機構60により、軸線Lに対して副鏡202を支持する複数の支持棒232の回転位置を調整することができる。したがって、当該回転位置を適切に調整すれば、複数の支持棒232による光の遮蔽を最小限に抑えることができる。
上記実施形態では、同軸上に1対のカセグレン鏡200(上カセグレン鏡200A及び下カセグレン鏡200B)が配置された場合に、下カセグレン鏡200Bにおける複数の支持棒232を回転させるような構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、上カセグレン鏡200Aにも回転調整機構60及び保持部61などの同様の構成を採用することができる。この場合、上カセグレン鏡200Aの回転位置のみを調整するような構成であってもよいし、上カセグレン鏡200A及び下カセグレン鏡200Bの両方の回転位置を調整するような構成であってもよい。
2 赤外光源
3 可視光源
4 検出器
5 カメラ
6 カセグレン鏡保持機構
60 回転調整機構
61 保持部
62 ナット部
63 取付部材
64 固定ネジ
100 顕微鏡
200 カセグレン鏡
200A 上カセグレン鏡
200B 下カセグレン鏡
201 主鏡
202 副鏡
203 ケーシング
204 筒状部材
211 反射面
212 開口部
221 反射面
231 開口部
232 支持棒
241 円錐面
242 ネジ部
611 凹部
612 位置決め突起
621 テーパ面
631 内周面
632 内周面
633 段差面
Claims (7)
- 主鏡、及び、当該主鏡と同軸上に配置され、側方から複数の支持棒によって支持された副鏡を有し、前記主鏡の軸線上に形成された開口部から入射する光を前記副鏡で反射させた後、前記主鏡で反射させて前記副鏡の側方から測定位置に出射させるカセグレン鏡を保持するためのカセグレン鏡保持機構であって、
前記カセグレン鏡を保持する保持部と、
前記軸線を中心として、前記保持部に保持された前記カセグレン鏡における前記複数の支持棒の回転位置を調整する回転調整機構とを備えたことを特徴とするカセグレン鏡保持機構。 - 前記回転調整機構は、前記カセグレン鏡における前記複数の支持棒の回転位置を固定する固定部を有することを特徴とする請求項1に記載のカセグレン鏡保持機構。
- 前記カセグレン鏡は、前記保持部に対して前記回転調整機構とともに着脱可能であることを特徴とする請求項1又は2に記載のカセグレン鏡保持機構。
- 前記保持部は、前記カセグレン鏡が前記回転調整機構とともに回転するのを防止するための位置決め部を有することを特徴とする請求項3に記載のカセグレン鏡保持機構。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のカセグレン鏡保持機構と、
前記カセグレン鏡保持機構により保持されたカセグレン鏡と、
前記カセグレン鏡を介して試料に光を照射する光源と、
前記測定位置における試料からの反射光又は透過光を受光する検出器とを備えたことを特徴とする顕微鏡。 - 主鏡、及び、当該主鏡と同軸上に配置され、側方から複数の支持棒によって支持された副鏡を有し、前記主鏡の軸線上に形成された開口部から入射する光を前記副鏡で反射させた後、前記主鏡で反射させて前記副鏡の側方から測定位置に出射させるカセグレン鏡の取付方法であって、
前記測定位置を挟んで1対の前記カセグレン鏡を同軸上に設置する設置ステップと、
前記軸線を中心として、前記1対のカセグレン鏡の少なくとも一方における前記複数の支持棒を回転させることにより、前記1対のカセグレン鏡の前記複数の支持棒が、前記軸線に沿って見たときに重なるように回転位置を調整する調整ステップとを含むことを特徴とするカセグレン鏡の取付方法。 - 主鏡、及び、当該主鏡と同軸上に配置され、側方から複数の支持棒によって支持された副鏡を有し、前記主鏡の軸線上に形成された開口部から入射する光を前記副鏡の第1領域で反射させた後、前記主鏡で反射させて前記副鏡の側方から測定位置に出射させるとともに、前記測定位置における試料からの反射光を前記主鏡で反射させた後、前記副鏡の第2領域で反射させて前記開口部から出射させるカセグレン鏡の取付方法であって、
前記測定位置に対向するように前記カセグレン鏡を設置する設置ステップと、
前記軸線を中心として、前記カセグレン鏡における前記複数の支持棒を回転させることにより、前記副鏡における前記第1領域と前記第2領域との境界線に対して、前記軸線に沿って見たときに前記複数の支持棒が線対称となるように回転位置を調整する調整ステップとを含むことを特徴とするカセグレン鏡の取付方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2015/066816 WO2016199262A1 (ja) | 2015-06-11 | 2015-06-11 | カセグレン鏡保持機構及びこれを備えた顕微鏡、並びに、カセグレン鏡の取付方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016199262A1 true JPWO2016199262A1 (ja) | 2017-11-09 |
JP6540799B2 JP6540799B2 (ja) | 2019-07-10 |
Family
ID=57504710
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017523041A Active JP6540799B2 (ja) | 2015-06-11 | 2015-06-11 | カセグレン鏡保持機構及びこれを備えた顕微鏡、並びに、カセグレン鏡の取付方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10649190B2 (ja) |
EP (1) | EP3309594A4 (ja) |
JP (1) | JP6540799B2 (ja) |
WO (1) | WO2016199262A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107037567B (zh) * | 2017-05-19 | 2020-09-18 | 北京空间机电研究所 | 一种三点球头结合径向胶结的反射镜支撑结构 |
KR20190052516A (ko) * | 2017-11-08 | 2019-05-16 | 삼성전자주식회사 | 표면 검사 장치 |
CN110531531B (zh) * | 2019-09-27 | 2021-08-03 | 昆明北方红外技术股份有限公司 | 卡塞格林光学系统主次反射镜的装调方法 |
CN112903608B (zh) * | 2020-12-30 | 2023-07-25 | 安徽宝龙环保科技有限公司 | 一种多通道长光程望远镜系统及其应用 |
CN114089582A (zh) * | 2021-11-16 | 2022-02-25 | Oppo广东移动通信有限公司 | 遮光组件及其制备方法、光学镜头、摄像头、电子设备 |
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Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3058000B2 (ja) * | 1994-02-28 | 2000-07-04 | キヤノン株式会社 | ミラー光学装置 |
ATE538407T1 (de) * | 2000-08-29 | 2012-01-15 | Perkinelmer Singapore Pte Ltd | Mikroskop für infrarotabbildung |
KR101040981B1 (ko) | 2010-01-20 | 2011-06-16 | 한국기초과학지원연구원 | 정밀 광학계 정렬용 틸팅장치 |
-
2015
- 2015-06-11 JP JP2017523041A patent/JP6540799B2/ja active Active
- 2015-06-11 WO PCT/JP2015/066816 patent/WO2016199262A1/ja active Application Filing
- 2015-06-11 US US15/580,477 patent/US10649190B2/en active Active
- 2015-06-11 EP EP15894947.9A patent/EP3309594A4/en active Pending
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WO2012166461A1 (en) * | 2011-06-01 | 2012-12-06 | Thermo Electron Scientific Instruments Llc | Macro area camera for an infrared (ir) microscope |
JP2013190554A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Shimadzu Corp | 顕微鏡 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6540799B2 (ja) | 2019-07-10 |
US20180143417A1 (en) | 2018-05-24 |
EP3309594A1 (en) | 2018-04-18 |
EP3309594A4 (en) | 2019-02-27 |
US10649190B2 (en) | 2020-05-12 |
WO2016199262A1 (ja) | 2016-12-15 |
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