JPWO2016189579A1 - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

基板収納容器の底部は、基板収納空間に収納された基板を処理装置に搬送するためのロードポートに設けられた複数の位置合わせ部９２１、９２２であって、容器本体をロードポートに対して位置決めするための複数の位置合わせ部９２１、９２２にそれぞれ当接する当接部７と、容器本体開口部と奥壁２２とを結ぶ方向において、最も容器本体開口部寄りに位置する当接部７と、最も奥壁２２寄りに位置する当接部７と、の中央位置ＣＰよりも奥壁２２寄りに位置し、ロードポートの容器係止部９１１に係止されて固定される奥側底部被係止部６１５と、を有する。

Description

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。

半導体ウェーハからなる基板を収納して、工場内の工程等において搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。

容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。

蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。

容器本体の壁部は、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有しており、上壁の一端部、下壁の一端部、及び側壁の一端部によって容器本体開口部が形成されている。下壁を有する基板収納容器の容器本体の底部は、基板収納空間に収納された基板を処理装置に搬送するためのロードポート等のキネマピンが当接する当接部を有している。また、底部は、ロードポート等の中央容器係止部に係止されて固定される被中央係止部を有している。被中央係止部は、複数の各当接部から略等距離に位置している。被中央係止部がロードポート等の中央容器係止部に固定されることにより、容器本体は、ロードポート等のキネマピンに支持された状態で、ロードポート等に対して固定される（特許文献１〜３参照）。

また、容器本体の下壁には、逆止弁が設けられている。逆止弁を通して、容器本体の外部から基板収納空間へ、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエア（以下、パージガスという）が流入して、ガスパージが行われる。逆止弁は、ガスパージにより基板収納空間に充填されたガスが、漏れ出ることを防止する。

特許第４３７３３１６号公報 特開平４−３４０２５０号公報 特開２００５−２０９８９１号公報

ガスパージを行う際には、逆止弁を通して不活性ガスやドライエアを基板収納空間へ流入させるため、ガスパージの工程には時間を要する。ガスパージにかかる時間を短縮するために、逆止弁から基板収納空間へ流入する気体の単位時間当たりの量を多くすると、流入する気体の圧力により、容器本体が上方へ持上げられ、容器本体の当接部がロードポート等のキネマピンに安定して当接している状態を維持することが、困難になると考えられる。

本発明は、ガスパージにおいて逆止弁から基板収納空間へ流入する気体の単位時間当たりの量が多い場合であっても、容器本体が上方へ持上げられることを抑制することができる、基板収納容器を提供することを目的とする。

本発明は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備え、前記下壁は、前記容器本体の底部を構成し、前記下壁における前記奥壁寄りの部分は、給気用フィルタ部を有し、前記下壁における前記容器本体開口部寄りの部分は、排気用フィルタ部を有し、前記給気用フィルタ部は、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、を有し、前記フィルタを通して前記容器本体の外部の空間から前記基板収納空間へ気体が通過可能であり、前記排気用フィルタ部は、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、を有し、前記フィルタを通して前記基板収納空間から前記容器本体の外部の空間へ気体が通過可能であり、前記底部は、前記基板収納空間に収納された基板を処理装置に搬送するためのロードポートに設けられた複数の位置合わせ部であって、前記容器本体を前記ロードポートに対して位置決めするための複数の位置合わせ部にそれぞれ当接する当接部と、前記容器本体開口部と前記奥壁とを結ぶ方向において、最も前記容器本体開口部寄りに位置する前記当接部と、最も前記奥壁寄りに位置する前記当接部と、の中央位置よりも前記奥壁寄りに位置し、前記ロードポートの容器係止部に係止されて固定される奥側底部被係止部と、を有する基板収納容器に関する。

また、前記奥側底部被係止部は、前記容器本体開口部と前記奥壁とを結ぶ方向において、最も前記奥壁寄りに位置する前記当接部よりも前記奥壁寄りに位置することが好ましい。

また、前記給気用フィルタ部は、前記容器本体開口部と前記奥壁とを結ぶ方向における、最も前記奥壁寄りに位置する前記当接部よりも前記奥壁寄りの位置に、前記容器本体開口部と前記奥壁とを結ぶ方向に対して交差する方向に沿って複数存在し、前記奥側底部被係止部は、複数の前記給気用フィルタ部を結ぶ直線上に位置することが好ましい。

また、前記給気用フィルタ部は、前記容器本体の外部の空間から前記基板収納空間へ、毎分２０Ｌ（リットル）以上の窒素ガスを通過可能であることが好ましい。

本発明によれば、ガスパージにおいて逆止弁から基板収納空間へ流入する気体の単位時間当たりの量が多い場合であっても、容器本体が上方へ持上げられることを抑制することができる、基板収納容器を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す右側面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す底面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す正面図である。 図２ＢのＡ−Ａ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２の下壁２４に中央容器係止部９０１を接近させた様子を示す拡大断面図である。 図２ＢのＡ−Ａ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２のボトムプレート６の中央部分の被中央係止部６２３に中央容器係止部９０１を係止させた様子を示す拡大断面図である。 図２ＢのＡ−Ａ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２の下壁２４に中央容器係止部９０１を接近させた様子を示す拡大断面図である。 図２ＢのＡ−Ａ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２のボトムプレート６の中央部分の被中央係止部６２３に中央容器係止部９０１を係止させた様子を示す拡大断面図である。 図２ＢのＢ−Ｂ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２の奥側底部被係止部６１５の平坦面部６１７に後部容器係止部９１１を係止させた様子を示す拡大断面図である。 図２ＢのＢ−Ｂ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２の奥側底部被係止部６１５の斜面部６１６に後部容器係止部９１１を係止させた様子を示す拡大断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の底部をロードポートに固定した様子を示す模式図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａを示す底面図である。 図１１ＡのＣ−Ｃ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａの容器本体２Ａの奥側底部被係止部６１５Ａに後部容器係止部９１１Ａを係止させた様子を示す拡大断面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａを示す後方斜視図である。 本発明の第３実施形態に係る基板収納容器１Ｂを示す底面図である。 図１２ＡのＤ−Ｄ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器１Ｂの容器本体２Ｂの奥側底部被係止部６１５Ｂに後部容器係止部９１１Ｂを係止させた様子を示す拡大断面図である。 本発明の第３実施形態に係る基板収納容器１Ｂを示す後方斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１Ｃを示す底面図である。 図１３ＡのＥ−Ｅ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１Ｃの容器本体２Ｃの奥側底部被係止部６１５Ｃに後部容器係止部９１１Ｃを係止させた様子を示す拡大断面図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１Ｃを示す後方斜視図である。 本発明の第５実施形態に係る基板収納容器１Ｄを示す底面図である。 図１４ＡのＦ−Ｆ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第５実施形態に係る基板収納容器１Ｄの容器本体２Ｄの奥側底部被係止部６１５Ｄに後部容器係止部９１１Ｄを係止させた様子を示す拡大断面図である。 本発明の第５実施形態に係る基板収納容器１Ｄを示す後方斜視図である。 本発明の第６実施形態に係る基板収納容器１Ｅを示す底面図である。 図１５ＡのＧ−Ｇ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第６実施形態に係る基板収納容器１Ｅの容器本体２Ｅの奥側底部被係止部６１５Ｅに後部容器係止部９１１Ｅを係止させた様子を示す拡大断面図である。 本発明の第６実施形態に係る基板収納容器１Ｅを示す後方斜視図である。 本発明の第７実施形態に係る基板収納容器１Ｆに基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。

以下、第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２Ａは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す右側面図である。図２Ｂは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す底面図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す正面図である。図４は、図２ＢのＡ−Ａ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２の下壁２４に中央容器係止部９０１を接近させた様子を示す拡大断面図である。図５は、図２ＢのＡ−Ａ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２のボトムプレート６の中央部分の被中央係止部６２３に中央容器係止部９０１を係止させた様子を示す拡大断面図である。

図６は、図２ＢのＡ−Ａ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２の下壁２４に中央容器係止部９０１を接近させた様子を示す拡大断面図である。図７は、図２ＢのＡ−Ａ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２のボトムプレート６の中央部分の被中央係止部６２３に中央容器係止部９０１を係止させた様子を示す拡大断面図である。図８は、図２ＢのＢ−Ｂ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２の奥側底部被係止部６１５の平坦面部６１７に後部容器係止部９１１を係止させた様子を示す拡大断面図である。図９は、図２ＢのＢ−Ｂ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２の奥側底部被係止部６１５の斜面部６１６に後部容器係止部９１１を係止させた様子を示す拡大断面図である。図１０は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の底部をロードポートに固定した様子を示す模式図である。

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。

また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。

図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられたり、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成され、容器本体２は基板支持板状部５と奥側基板支持部５６（図３等参照）とを、蓋体３はフロントリテーナ（図示せず）を備えている。なお、図１においては、後述のハンドリング部材２５１、２６１の図示を、省略している。

容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部５６（図３等参照）が設けられている。

奥側基板支持部５６は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ（図示せず）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部５６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部５６と対をなすように配置されている。

フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部５６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。

基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチルテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。

以下、各部について、詳細に説明する。
図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。

第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。

また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。

図２Ｂに示すように、下壁２４の四隅には、通気路として、２種類の貫通孔である給気孔４５と排気孔４６が形成されている。本実施形態においては、下壁２４の前方向Ｄ１１の端部の２箇所、即ち、下壁２４における容器本体開口部２１寄りの部分の２箇所の貫通孔は、容器本体２内部の気体を排出するための排気孔４６であり、後方向Ｄ１２の端部の２箇所、即ち、下壁２４における奥壁２２寄りの部分の２箇所の貫通孔は、容器内部に気体を給気するための給気孔４５である。給気孔４５と排気孔４６の貫通孔には、それぞれ給気用フィルタ部８０と排気用フィルタ部８１が配置されている。

即ち、給気用フィルタ部８０は、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向である前後方向Ｄ１における、最も奥壁２２寄りに位置する当接部としての後述の溝部材７よりも奥壁２２寄りの位置に、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向（前後方向Ｄ１）に対して直交する方向に沿って２つ存在している。排気用フィルタ部８１は、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向である前後方向Ｄ１における、最も容器本体開口部２１寄りに位置する当接部としての後述の溝部材７よりも容器本体開口部２１寄りの位置に、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向（前後方向Ｄ１）に対して直交する方向に沿って２つ存在している。

ハンドリング部材２５１、２６１は、第１側壁２５、第２側壁２６の外面に沿うように、それぞれ第１側壁２５、第２側壁２６の外面に対向して配置されて設けられている。ハンドリング部材２５１、２６１は、第１側壁２５と第２側壁２６及び後述のボトムプレート６に固定されることにより、容器本体２に装着可能であり、また、第１側壁２５と第２側壁２６及びボトムプレート６から取外されることにより、容器本体２から取外される。

給気用フィルタ部８０及び排気用フィルタ部８１の内部の気体の流路は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路の一部を構成する。また、給気用フィルタ部８０と排気用フィルタ部８１とは、下壁２４を有する壁部２０に配置されており、給気用フィルタ部８０と排気用フィルタ部８１とにおいては、フィルタ（図示せず）を通して容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能である。給気用フィルタ部８０は、容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ、毎分２０Ｌ（リットル）以上の、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエア（以下、パージガスという）を通過可能である。同様に、排気用フィルタ部８１は、基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間へ、エアやパージガスを通過可能である。

具体的には、図２Ｂに示すように、給気用フィルタ部８０は、ハウジング８０１と、フィルタ（図示せず）と、逆止弁（図示せず）とを有している。フィルタ（図示せず）と逆止弁（図示せず）は、ハウジング８０１の部分に固定されている。フィルタ（図示せず）は、ハウジング８０１の内部に形成された通気路に配置されており、逆止弁（図示せず）よりも基板収納空間２７側に配置されている。給気用フィルタ部８０は、逆止弁（図示せず）によりフィルタ（図示せず）を通して容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へのみ気体を通過可能である。その際、フィルタ（図示せず）は、容器本体２の外部空間からの気体に含まれるパーティクル等が通過することを阻止する。

また、排気用フィルタ部８１は、給気用フィルタ部８０と同様な構成を有している。即ち、排気用フィルタ部８１は、給気用フィルタ部８０のフィルタ（図示せず）と、逆止弁（図示せず）と同様のフィルタ（図示せず）と、逆止弁（図示せず）とを有している。但し、排気用フィルタ部８１の逆止弁の機能は、給気用の逆止弁（図示せず）の機能とは異り、排気用フィルタ部８１は、基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間へのみ気体を通過可能である。

下壁２４の外面には、下壁２４とともに底部を構成するボトムプレート６が固定されている。ボトムプレート６は、下壁２４に対向し、下壁２４との間に空間が形成されるように配置されており、ネジ２４３によって下壁２４に固定されている。前後方向Ｄ１における下壁２４の略中央位置に対向するボトムプレート６の部分には、一対の側方貫通孔６０１が形成されており、また、一対の側方貫通孔６０１の中央位置には、中央貫通孔６２１が形成されている。また、ボトムプレート６には、後述の溝部材７をボトムプレート６の下方へ向って露出させるための貫通孔６１２や、基板収納容器１の内容物の状態等を示す為のインフォパッドを取り付けるためのインフォパッド取付部６１３が、形成されている。

より詳細には、ボトムプレート６の後端部は、図２Ｂに示すように、略半円形状を有する湾曲部６１０を有している。また、左右方向Ｄ３におけるボトムプレート６の端部は、図２Ｂに示すように、帯状の板状を有して前後方向Ｄ１に直線状に延びる容器本体脚部６１１を有している。容器本体脚部６１１は、ボトムプレート６の左右両端縁に沿って存在している。

底部を構成する下壁２４には、底部を構成する当接部としての溝部材７が設けられている。溝部材７は、基板収納空間２７に収納された基板Ｗを処理装置に搬送するためのロードポート（図示せず）に設けられた複数の位置合わせ部としてのキネマピンであって、容器本体２をロードポートに対して位置決めするための複数のキネマピンにそれぞれ当接する。このキネマピンとの当接により、基板収納容器１は、前後方向Ｄ１，左右方向Ｄ３、上下方向Ｄ２において、位置決めされる。

具体的には、溝部材７は、切妻状部７０１と、下壁固定部７０２と、を有する。切妻状部７０１は、切妻屋根形状を有している。切妻状部７０１の長手方向における両端部は、板状を有する下壁固定部７０２に一体成形されて接続されている。下壁固定部７０２が下壁２４の一部にネジ２４３で固定されることにより、溝部材７は、下壁２４に固定されている。溝部材７は３つ設けられており、中央貫通孔６２１の前部を中心として、下壁２４の外面に沿って、底面視で１２０°の中心角をなす間隔で、下壁２４の３か所に固定されている。全ての切妻状部７０１の長手方向が中央貫通孔６２１へ指向するように、溝部材７は、下壁２４に対して固定されている。本実施形態においては、溝部材７は、下壁２４に固定されているが、ボトムプレート６に固定されていても良い。

ボトムプレート６の一対の側方貫通孔６０１は、左右方向Ｄ３に対をなして左右対称形状を有しており、それぞれボトムプレート６を上下方向Ｄ２に貫通している。図２Ｂに示すように、底面視では、側方貫通孔６０１の後部は、後辺６０２を有している。後辺６０２は、左右方向Ｄ３に平行に下壁２４の中央から第１側壁、第２側壁それぞれに向って延びる中央寄り直線部６０３と、中央寄り直線部６０３よりも一段後側に下がった位置において中央寄り直線部６０３から第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに向って延びる側壁寄直線部６０４と、を有している。

後辺６０２の側壁寄直線部６０４を形成しているボトムプレート６の部分は、図２Ｂにおいて二点鎖線で示すように、ロードポート（図示せず）の容器係止部を構成する後部容器係止部９１１に係止されて固定される奥側底部被係止部６１５を構成する。奥側底部被係止部６１５は、底部を構成し、図８、図９に示すように、斜面部６１６と、平坦面部６１７とを有している。斜面部６１６は、側壁寄直線部６０４（図２Ｂ参照）に沿って延びており、側壁寄直線部６０４から後方向Ｄ１２へ進むにつれて、上下方向Ｄ２における厚さが厚くなるように傾斜している。平坦面部６１７は、斜面部６１６の後端から後方向Ｄ１２へ延びる、平坦面により構成されている。

中央貫通孔６２１は、下壁２４の中央に対向するボトムプレート６の部分に形成されている。中央貫通孔６２１は、前後方向Ｄ１に長手方向が一致する略長方形状を有しており、ボトムプレート６を上下方向Ｄ２に貫通している。中央貫通孔６２１を形成しているボトムプレート６の中央部分は、図２Ｂに示すように、その中央部分の左右両側のボトムプレート６の部分の前端縁よりも後方向Ｄ１２へ一段下がった、前端縁直線部６２２を有している。前端縁直線部６２２より後側のボトムプレート６の部分であって、中央貫通孔６２１よりも前側の部分は、ロードポートの容器係止部を構成する中央容器係止部９０１に係止されて固定される被中央係止部６２３を構成する。また、中央貫通孔６２１の左右両側のボトムプレート６の部分は、略Ｔ字状を有する中央容器係止部（図示せず）に係止されて固定される被中央係止部６２３を構成する。図４等に示すように、中央容器係止部９０１に係止される被中央係止部６２３の部分は、中央斜面部６２４と中央平坦面部６２５とを有している。中央斜面部６２４は、前端縁直線部６２２（図２Ｂ参照）に沿って左右方向Ｄ３へ延びており、前端縁直線部６２２から後方向Ｄ１２へ進むにつれて、上方向Ｄ２１へ向うように傾斜している。中央平坦面部６２５は、中央斜面部６２４の後端から後方へ延びる、平坦面により構成されている。

図１０に示すように、奥側底部被係止部６１５を構成する斜面部６１６及び平坦面部６１７は、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向である前後方向Ｄ１において、最も容器本体開口部２１寄りに位置する当接部としての溝部材７と、最も奥壁２２寄りに位置する当接部としての溝部材７と、の中央位置ＣＰよりも、奥壁２２寄り（後方向Ｄ１２）に位置する。具体的には、前後方向Ｄ１において、最も前方向Ｄ１１寄りに位置する溝部材７と、被中央係止部６２３との間の距離Ｌ１が、被中央係止部６２３と、最も後方向Ｄ１２寄りに位置する溝部材７との間の距離Ｌ２の略１／３倍程度となるように、斜面部６１６及び平坦面部６１７を有する被中央係止部６２３は位置している。

蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部（図示せず）を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部（図示せず）が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４１Ａ、４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。

蓋体３の内側（図１に表れている蓋体３の外面に対する反対側）においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。

フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。

次に、ロードポート（図示せず）への基板収納容器１の固定について説明する。ロードポートは、位置合わせ部を有している。位置合わせ部は、具体的には、上方向Ｄ２１へ向って突出する位置決め用のキネマピンにより構成されている。キネマピンは、平面視で、中央貫通孔６２１に対向する位置を中心として１２０°の中心角をなす間隔で３本配置されている。キネマピンの先端部は、当接部を構成する３つの溝部材７の切妻状部７０１に、それぞれ１つずつ当接し、これにより、３本のキネマピンは、基板収納容器１を支持する。

また、ロードポート（図示せず）は、中央容器係止部９０１と後部容器係止部９１１（容器係止部）とを有している。中央容器係止部９０１、後部容器係止部９１１は、ロードポートに設けられたシリンダ等の駆動装置（図示せず）により前後方向Ｄ１や上下方向Ｄ２等に移動可能である。中央容器係止部９０１は、図３〜図７に示すように、基部側延出部９０３と先端部直交部９０２とを有するＬ字状の部材を有している。また、後部容器係止部９１１は、図８、図９に示すように、先端部直交部９１２と基部側延出部９１３とを有するＬ字状の部材を、左右方向Ｄ３において対称の位置関係で一対有している。中央容器係止部９０１、後部容器係止部９１１としては、先端部直交部９０２、９１２が水平の位置関係を有する状態で、先端部直交部９０２、９１２が、中央平坦面部６２５、平坦面部６１７にそれぞれ当接するタイプのものと、先端部直交部９０２、９１２が水平に対して交差する斜めの位置関係を有する状態で、先端部直交部９０２、９１２が、中央斜面部６２４、斜面部６１６にそれぞれ当接するタイプのものとが存在する。

以下、先ず、先端部直交部９０２、９１２が水平の位置関係を有する状態で、先端部直交部９０２、９１２が、平坦面部６１７、中央平坦面部６２５にそれぞれ当接するタイプの中央容器係止部９０１、後部容器係止部９１１による、基板収納容器１の固定について説明する。

ロードポート（図示せず）への基板収納容器１の固定に際しては、先ず、３つの溝部材７の切妻状部７０１（図２Ｂ参照）に、３本のキネマピン（図示せず）をそれぞれ１つずつ対向するように配置し、３つの溝部材７の切妻状部７０１に対して３本のキネマピンを相対的に接近させる。そして、３つの溝部材７の切妻状部７０１に、３本のキネマピンの先端部をそれぞれ１つずつ当接させる。これにより、３本のキネマピンは、基板収納容器１を支持する状態となり、基板収納容器１は、３本のキネマピンの上に載置された状態となる。

次に、中央容器係止部９０１を上方向Ｄ２１へ移動させてゆき、被中央係止部６２３よりも前方向Ｄ１１の位置において、先端部直交部９０２をボトムプレート６よりも上側に位置させる。次に、中央容器係止部９０１を後方向Ｄ１２へ移動させて図４に示す状態とし、その後、中央容器係止部９０１を下方向Ｄ２２へ移動させて、図５に示すように、先端部直交部９０２を中央平坦面部６２５に当接させる。これにより、被中央係止部６２３は、中央容器係止部９０１に係止される。この結果、基板収納容器１は、ロードポート（図示せず）に固定される。

同様に、一対の後部容器係止部９１１を上方向Ｄ２１へ移動させてゆき、側方貫通孔６０１（図２Ｂ参照）にそれぞれ１つずつ挿入する。次に、一対の後部容器係止部９１１を後方向Ｄ１２へそれぞれ移動させ、その後、一対の後部容器係止部９１１を下方向Ｄ２２へそれぞれ移動させて、図８に示すように、先端部直交部９１２を平坦面部６１７に１つずつ当接させる。これにより、側方貫通孔６０１が形成されているボトムプレート６の部分は、後部容器係止部９１１に係止される。この結果、基板収納容器１の後部は、ロードポート（図示せず）に確実に固定される。この際の、後部容器係止部９１１による、側方貫通孔６０１が形成されているボトムプレート６の部分である奥側底部被係止部６１５を係止する強さは、奥側底部被係止部６１５を下方向Ｄ２２へ引っ張り押下げる程には強くない。給気用フィルタ部８０におけるパージガスの流通に際して容器本体２が上方向Ｄ２１に持上げられる力に抗して、奥側底部被係止部６１５が容器本体２の後部とともに持上げられることを阻む程度の強さである。

次に、先端部直交部９０２、９１２が水平に対して交差する斜めの位置関係を有する状態で、先端部直交部９０２、９１２が、中央斜面部６２４、斜面部６１６にそれぞれ当接するタイプの中央容器係止部９０１、後部容器係止部９１１による基板収納容器１の固定について説明する。３本のキネマピンによって基板収納容器１を支持し、基板収納容器１を、３本のキネマピン（図示せず）の上に載置された状態とする工程までは、前述と同様であるため、説明を省略する。

基板収納容器１を、３本のキネマピン（図示せず）の上に載置された状態とした後に、図６に示すように、先端部直交部９０２を水平に対して略３０°程度傾斜させた状態として、中央容器係止部９０１を、上方向Ｄ２１へ移動させてゆき、図６に示すように、被中央係止部６２３よりも前方向Ｄ１１の位置において、先端部直交部９０２をボトムプレート６よりも上側に位置させる。次に、中央容器係止部９０１を後方向Ｄ１２へ移動させ、その後、中央容器係止部９０１を下方向Ｄ２２へ移動させて、図７に示すように、先端部直交部９０２を中央斜面部６２４に当接させる。これにより、被中央係止部６２３は、中央容器係止部９０１に係止される。この結果、基板収納容器１は、ロードポートに固定される。

同様に、一対の後部容器係止部９１１を上方向Ｄ２１へ移動させてゆき、側方貫通孔６０１にそれぞれ１つずつ挿入する。次に、一対の後部容器係止部９１１を後方向Ｄ１２へそれぞれ移動させ、その後、一対の後部容器係止部９１１を下方向Ｄ２２へそれぞれ移動させて、図９に示すように、先端部直交部９１２を斜面部６１６に１つずつ当接させる。これにより、側方貫通孔６０１が形成されているボトムプレート６の部分は、後部容器係止部９１１に係止される。この結果、基板収納容器１の後部は、ロードポート（図示せず）に確実に固定される。この際の、後部容器係止部９１１による、側方貫通孔６０１が形成されているボトムプレート６の部分である奥側底部被係止部６１５を係止する強さは、前述の先端部直交部９１２、９０２が平坦面部６１７、中央平坦面部６２５に当接するタイプの中央容器係止部９０１、後部容器係止部９１１の場合と同様である。即ち、奥側底部被係止部６１５を下方向Ｄ２２へ引っ張り押下げる程には強くない。給気用フィルタ部８０におけるパージガスの流通に際して容器本体２が上方向Ｄ２１に持上げられる力に抗して、奥側底部被係止部６１５が容器本体２の後部とともに持上げられることを阻む程度の強さである。

上述のように固定されることにより、給気用フィルタ部８０の下端部が、気体供給装置（図示せず）の給気ノズルの気体供給口開口部に、密着した状態で接続される。その後、気体供給装置（図示せず）の給気ノズルの気体供給口開口部から、給気用フィルタ部８０を通して、容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へパージガスが供給される。パージガスの供給量は、１つの給気用フィルタ部８０あたり毎分２０Ｌ（リットル）以上である。

このとき、給気用フィルタ部８０においてパージガスが流通する通気路には、フィルタ（図示せず）等が存在するため、パージガスの流通に際して容器本体２が上方向Ｄ２１に持上げられる力が容器本体２に作用する。具体的には、図１０に示すように、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向である前後方向Ｄ１においては、容器本体２は、最も容器本体開口部２１寄りに位置するキネマピン９２１（図１０参照）と、最も奥壁２２寄りに位置するキネマピン９２２（図１０参照）と、により支持されている。そして、これらのキネマピン９２１、９２２の中央位置ＣＰではなく、中央位置ＣＰよりも前方向Ｄ１１の位置において、被中央係止部６２３は、中央容器係止部９０１に係止されている。更に、これらのキネマピン９２１、９２２の中央位置ＣＰよりも後方向Ｄ１２の位置において、奥側底部被係止部６１５を構成するボトムプレート６の部分は、後部容器係止部９１１に係止されている。このため、パージガスの供給量が、１つの給気用フィルタ部８０あたり毎分２０Ｌ（リットル）以上と多量であっても、容器本体２に作用する力であって、パージガスの流通に際して容器本体２が上方向Ｄ２１に持上げられる力に抗して、安定して、溝部材７がロードポート等のキネマピン９２２に当接している状態が維持される。

上記構成の実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。

上述のように基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部２０であって、奥壁２２、上壁２３、下壁２４、及び一対の側壁２５、２６を有し上壁２３の一端部、下壁２４の一端部、及び側壁２５、２６の一端部によって容器本体開口部２１が形成された壁部２０を備え、上壁２３の内面、下壁２４の内面、側壁２５、２６の内面、及び奥壁２２の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、を備える。下壁２４は、容器本体２の底部を構成する。下壁２４における奥壁２２寄りの部分は、給気用フィルタ部８０を有する。下壁２４における容器本体開口部２１寄りの部分は、排気用フィルタ部８１を有する。
給気用フィルタ部８０は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路と、通気路に配置されたフィルタと、を有し、フィルタを通して容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ気体が通過可能である。排気用フィルタ部８１は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路と、通気路に配置されたフィルタと、を有し、フィルタを通して基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間へ気体が通過可能である。底部は、当接部としての溝部材７と、奥側底部被係止部６１５と、を有する。溝部材７は、基板収納空間２７に収納された基板Ｗを処理装置に搬送するためのロードポートに設けられた複数の位置合わせ部としてのキネマピンであって、容器本体２をロードポートに対して位置決めするための複数のキネマピンにそれぞれ当接する。奥側底部被係止部６１５は、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向において、最も容器本体開口部２１寄りに位置する溝部材７と、最も奥壁２２寄りに位置する溝部材７と、の中央位置ＣＰよりも奥壁２２寄りに位置し、ロードポートの後部容器係止部９１１に係止されて固定される。

この構成により、後部容器係止部９１１により容器本体２の後部を、ロードポートに係止することができ、容器本体２の後部をロードポートに安定して固定することができる。即ち、中央容器係止部９０１による容器本体２の前部の固定と相まって、より確実に容器本体２をロードポートに安定して固定することができる。このため、各給気用フィルタ部８０において、容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ、毎分２０Ｌ（リットル）以上の多量のパージガスを流通させた場合に生ずる、容器本体２を上方向Ｄ２１に持上げる力に抗して、安定して、溝部材７がロードポート等のキネマピンに当接している状態を維持することができ、容器本体２が上方向Ｄ２１へ持上げられることを抑制することができる。

この結果、容器本体２の後部が持上げられることによって基板収納空間２７に収納された基板Ｗの位置が変わることを、抑えることができる。また、給気用フィルタ部８０の下端部が、気体供給装置（図示せず）の給気ノズルの気体供給口開口部に、密着した状態で安定して接続され、この接続部分からパージガスが漏れることを極力抑えることができる。

また、給気用フィルタ部８０は、容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ、毎分２０Ｌ（リットル）以上の窒素ガスを通過可能である。この構成により、より短い時間で基板収納空間２７のエアをパージガスに置換することができる。

次に、本発明の第２実施形態による基板収納容器について図１１Ａ〜図１１Ｃを参照しながら説明する。図１１Ａは、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａを示す底面図である。図１１Ｂは、図１１ＡのＣ−Ｃ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａの容器本体２Ａの奥側底部被係止部６１５Ａに後部容器係止部９１１Ａを係止させた様子を示す拡大断面図である。図１１Ｃは、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａを示す後方斜視図である。

第２実施形態による基板収納容器１Ａにおいては、ボトムプレート６Ａにおいて奥側底部被係止部６１５Ａを構成する斜面部６１６Ａ及び平坦面部６１７Ａの位置が、第１実施形態による基板収納容器１における奥側底部被係止部６１５を構成する斜面部６１６及び平坦面部６１７の位置とは異なる。また、これに伴い、ボトムプレート６Ａの形状が第１実施形態による基板収納容器１のボトムプレート６の形状とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。

ボトムプレート６Ａの後部は、図１１Ａに示すように、略半円形状を有する湾曲部６１０Ａの前端と容器本体脚部６１１Ａの後端とを結び、左右方向Ｄ３に延びる接続後端縁部６３１Ａを有している。二点鎖線で示す、接続後端縁部６３１Ａを形成するボトムプレート６Ａの部分は、斜面部６１６Ａ及び平坦面部６１７Ａを有しており、奥側底部被係止部６１５Ａを構成する。

図１１Ａに示すように、斜面部６１６Ａは、接続後端縁部６３１Ａに沿って延びており、図１１Ｂに示すように、接続後端縁部６３１Ａの端縁から前方向Ｄ１１へ進むにつれて、上下方向Ｄ２における厚さが厚くなるように傾斜している。平坦面部６１７Ａは、斜面部６１６Ａの前端から前方向Ｄ１１へ延びる、平坦面により構成されている。図１１Ｂに示すように、図８に示すタイプと同様のタイプの後部容器係止部９１１Ａの先端部直交部９１２Ａが平坦面部６１７Ａに当接することにより、奥側底部被係止部６１５Ａを構成するボトムプレート６Ａの部分は、後部容器係止部９１１Ａに係止される。また、図９に示すタイプと同様のタイプの後部容器係止部（図示せず）の先端部直交部が斜面部６１６Ａに当接することにより、奥側底部被係止部６１５Ａを構成するボトムプレート６Ａの部分は、後部容器係止部に係止される。

上記構成の実施形態に係る基板収納容器１Ａによれば、以下のような効果を得ることができる。
奥側底部被係止部６１５Ａとしての斜面部６１６Ａ及び平坦面部６１７Ａは、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向において、第１実施形態の奥側底部被係止部６１５としての斜面部６１６及び平坦面部６１７よりも奥壁２２寄りに位置する。この構成により、より後方向Ｄ１２の位置において容器本体２を後部容器係止部９１１Ａにより係止することができ、容器本体２の後部を上方向Ｄ２１に持上げる力に抗して、より安定して、溝部材７がロードポート等のキネマピンに当接している状態を維持することができる。

また、後部容器係止部９１１Ａの基部側延出部９１３Ａが奥側底部被係止部６１５Ａの後端縁部である接続後端縁部６３１Ａに当接することにより、前後方向Ｄ１において、基板収納容器１の位置がずれることを抑えることができる。

次に、本発明の第３実施形態による基板収納容器１Ｂについて図１２Ａ〜図１２Ｃを参照しながら説明する。図１２Ａは、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器１Ｂを示す底面図である。図１２Ｂは、図１２ＡのＤ−Ｄ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器１Ｂの容器本体２Ｂの奥側底部被係止部６１５Ｂに後部容器係止部９１１Ｂを係止させた様子を示す拡大断面図である。図１２Ｃは、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器１Ｂを示す後方斜視図である。

第３実施形態による基板収納容器１Ｂにおいては、ボトムプレート６Ｂにおいて奥側底部被係止部６１５Ｂを構成する斜面部６１６Ｂ及び平坦面部６１７Ｂの位置が、第１実施形態による基板収納容器１における奥側底部被係止部６１５を構成する斜面部６１６及び平坦面部６１７の位置とは異なる。また、これに伴い、ボトムプレート６Ｂの形状が第１実施形態による基板収納容器１のボトムプレート６の形状とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。

ボトムプレート６Ｂの後部においては、図１２Ａに示すように、前後方向Ｄ１における略半円形状を有する湾曲部６１０Ｂの前端と後端との中間部分に、前後方向Ｄ１に延びる縁部と左右方向Ｄ３に縁部とにより構成される角部が、計２つ形成されている。角部を形成するボトムプレート６Ｂの部分は、図１２Ｂ等に示すように、斜面部６１６Ｂ及び平坦面部６１７Ｂを有しており、二点鎖線で示す奥側底部被係止部６１５Ｂを構成する。斜面部６１６Ｂ及び平坦面部６１７Ｂを有する奥側底部被係止部６１５Ｂは、複数の給気用フィルタ部８０を結ぶ直線上に位置する。

図１２Ｂに示すように、斜面部６１６Ｂは、前後方向Ｄ１に延びる奥側底部被係止部６１５Ｂの縁部６３１Ｂに沿って延びており、当該縁部６３１Ｂから左右方向Ｄ３におけるボトムプレート６Ｂの中央へ進むにつれて、上下方向Ｄ２における厚さが厚くなるように傾斜している。平坦面部６１７Ｂは、斜面部６１６Ｂの後端から、左右方向Ｄ３におけるボトムプレート６Ｂの中央へ向って延びる平坦面により構成されている。図１２Ｂに示すように、図８に示すタイプと同様のタイプの後部容器係止部９１１Ｂの先端部直交部９１２Ｂが平坦面部６１７Ｂに当接することにより、奥側底部被係止部６１５Ｂを構成するボトムプレート６Ｂの部分は、後部容器係止部９１１Ｂに係止される。また、図９に示すタイプと同様のタイプの後部容器係止部（図示せず）の先端部直交部９１２Ｂが斜面部６１６Ｂに当接することにより、奥側底部被係止部６１５Ｂを構成するボトムプレート６Ｂの部分は、後部容器係止部に係止される。

上記構成の実施形態に係る基板収納容器１Ｂによれば、以下のような効果を得ることができる。
給気用フィルタ部８０は、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向における、最も奥壁２２寄りに位置する当接部よりも奥壁２２寄りの位置に、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向に対して直交する方向（左右方向Ｄ３）に沿って２つ存在している。奥側底部被係止部６１５Ｂは、複数の給気用フィルタ部８０を結ぶ直線上に位置する。

この構成により、容器本体２を上方向Ｄ２１に持上げる力が作用する複数の給気用フィルタ部８０の近傍のボトムプレート６Ｂの部分を後部容器係止部９１１Ｂにより係止することができ、容器本体２を上方向Ｄ２１に持上げる力に抗して、更に安定して、溝部材７がロードポート等のキネマピンに当接している状態を維持することができる。

次に、本発明の第４実施形態による基板収納容器１Ｃについて図１３Ａ〜図１３Ｃを参照しながら説明する。図１３Ａは、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１Ｃを示す底面図である。図１３Ｂは、図１３ＡのＥ−Ｅ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１Ｃの容器本体２Ｃの奥側底部被係止部６１５Ｃに後部容器係止部９１１Ｃを係止させた様子を示す拡大断面図である。図１３Ｃは、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１Ｃを示す後方斜視図である。

第４実施形態による基板収納容器１Ｃにおいては、ボトムプレート６Ｃにおいて奥側底部被係止部６１５Ｃを構成する斜面部６１６Ｃ及び平坦面部６１７Ｃの位置が、第１実施形態による基板収納容器１における奥側底部被係止部６１５を構成する斜面部６１６及び平坦面部６１７の位置とは異なる。また、これに伴い、ボトムプレート６Ｃの形状が第１実施形態による基板収納容器１のボトムプレート６の形状とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。

ボトムプレート６Ｃの後部においては、図１３Ａに示すように、湾曲部６１０Ｃの後端部分に、前後方向Ｄ１に延びる縁部と左右方向Ｄ３に延びる縁部とにより構成される角部が、計２つ形成されている。角部を形成するボトムプレート６Ｃの部分は、斜面部６１６Ｃ及び平坦面部６１７Ｃを有しており、二点鎖線で示す奥側底部被係止部６１５Ｃを構成する。即ち、奥側底部被係止部６１５Ｃは、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向において、最も奥壁２２寄りに位置する当接部としての溝部材７よりも奥壁２２寄りに位置する。

斜面部６１６Ｃは、左右方向Ｄ３に延びる縁部６３１Ｃに沿って延びており、図１３Ｂに示すように、当該縁部６３１Ｃから前方向Ｄ１１へ進むにつれて、上下方向Ｄ２における厚さが厚くなるように傾斜している。平坦面部６１７Ｃは、斜面部６１６Ｃの前端から、前方向Ｄ１１へ向って延びる平坦面により構成されている。図１３Ｂに示すように、図８に示すタイプと同様のタイプの後部容器係止部９１１Ｃの先端部直交部９１２Ｃが平坦面部６１７Ｃに当接することにより、奥側底部被係止部６１５Ｃを構成するボトムプレート６Ｃの部分は、後部容器係止部９１１Ｃに係止される。また、図９に示すタイプと同様のタイプの後部容器係止部（図示せず）の先端部直交部が斜面部６１６Ｃに当接することにより、奥側底部被係止部６１５Ｃを構成するボトムプレート６Ｃの部分は、後部容器係止部に係止される。

上記構成の実施形態に係る基板収納容器１Ｃによれば、以下のような効果を得ることができる。
奥側底部被係止部６１５Ｃとしての斜面部６１６Ｃ及び平坦面部６１７Ｃは、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向において、最も奥壁２２寄りに位置する当接部としての溝部材７よりも奥壁２２寄りに位置する。この構成により、より後方向Ｄ１２の位置において容器本体２を後部容器係止部９１１Ｃにより係止することができ、容器本体２を上方向Ｄ２１に持上げる力に抗して、より安定して、溝部材７がロードポート（図示せず）等のキネマピンに当接している状態を維持することができる。

また、後部容器係止部９１１Ｃの基部側延出部９１３Ｃが奥側底部被係止部６１５Ｃの後端縁部である縁部６３１Ｃに当接することにより、前後方向Ｄ１において、基板収納容器１Ｃの位置がずれることを抑えることができる。

次に、本発明の第５実施形態による基板収納容器１Ｄについて図１４Ａ〜図１４Ｃを参照しながら説明する。
図１４Ａは、本発明の第５実施形態に係る基板収納容器１Ｄを示す底面図である。図１４Ｂは、図１４ＡのＦ−Ｆ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第５実施形態に係る基板収納容器１Ｄの容器本体２Ｄの奥側底部被係止部６１５Ｄに後部容器係止部９１１Ｄを係止させた様子を示す拡大断面図である。図１４Ｃは、本発明の第５実施形態に係る基板収納容器１Ｄを示す後方斜視図である。

第５実施形態による基板収納容器１Ｄにおいては、ボトムプレート６Ｄにおいて奥側底部被係止部６１５Ｄを構成する斜面部６１６Ｄ及び平坦面部６１７Ｄの位置が、第１実施形態による基板収納容器１における奥側底部被係止部６１５を構成する斜面部６１６及び平坦面部６１７の位置とは異なる。また、斜面部６１６Ｄ及び平坦面部６１７Ｄにより構成される奥側底部被係止部６１５Ｄは、１つのみ存在する。また、これに伴い、ボトムプレート６Ｄの形状が第１実施形態による基板収納容器１のボトムプレート６の形状とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。

ボトムプレート６Ｄの後部においては、図１４Ａに示すように、湾曲部６１０Ｄの最後端部分であって、左右方向Ｄ３の中央部分に、斜面部６１６Ｄ及び平坦面部６１７Ｄにより構成される奥側底部被係止部６１５Ｄが存在する。即ち、奥側底部被係止部６１５Ｄは、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向において、最も奥壁２２寄りに位置する当接部としての溝部材７よりも奥壁２２寄りに位置する。

斜面部６１６Ｄは、ボトムプレート６Ｄの後端縁６３１Ｄに沿って略左右方向Ｄ３に延びており、ボトムプレート６Ｄの後端縁６３１Ｄから前方向Ｄ１１へ進むにつれて、図１４Ｂに示すように、上下方向Ｄ２における厚さが厚くなるように傾斜している。平坦面部６１７Ｄは、斜面部６１６Ｄの前端から、前方向Ｄ１１へ向って延びる、平坦面により構成されている。図１４Ｂに示すように、図８に示すタイプと同様のタイプの後部容器係止部９１１Ｄの先端部直交部９１２Ｄが平坦面部６１７Ｄに当接することにより、奥側底部被係止部６１５Ｄを構成するボトムプレート６Ｄの部分は、後部容器係止部９１１Ｄに係止される。また、図９に示すタイプと同様のタイプの後部容器係止部（図示せず）の先端部直交部が斜面部６１６Ｄに当接することにより、奥側底部被係止部６１５Ｄを構成するボトムプレート６Ｄの部分は、後部容器係止部に係止される。

上記構成の実施形態に係る基板収納容器１Ｄによれば、以下のような効果を得ることができる。
奥側底部被係止部６１５Ｄとしての斜面部６１６Ｄ及び平坦面部６１７Ｄは、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向において、最も奥壁２２寄りに位置する当接部としての溝部材７よりも奥壁２２寄りであって、ボトムプレート６Ｄの最後端部分に位置する。この構成により、最も後方向Ｄ１２の位置において容器本体２を後部容器係止部９１１Ｄにより係止することができ、容器本体２を上方向Ｄ２１に持上げる力に抗して、極めて安定して、溝部材７がロードポート等のキネマピンに当接している状態を維持することができる。

また、後部容器係止部９１１Ｄの基部側延出部９１３Ｄが奥側底部被係止部６１５Ｄの後端縁部である後端縁６３１Ｄに当接することにより、前後方向Ｄ１において、基板収納容器１Ｄの位置がずれることを抑えることができる。

次に、本発明の第６実施形態による基板収納容器１Ｅについて図１５Ａ〜図１５Ｃを参照しながら説明する。
図１５Ａは、本発明の第６実施形態に係る基板収納容器１Ｅを示す底面図である。図１５Ｂは、図１５ＡのＧ−Ｇ線に沿った拡大断面図であり、本発明の第６実施形態に係る基板収納容器１Ｅの容器本体２Ｅの奥側底部被係止部６１５Ｅに後部容器係止部９１１Ｅを係止させた様子を示す拡大断面図である。図１５Ｃは、本発明の第６実施形態に係る基板収納容器１Ｅを示す後方斜視図である。

第６実施形態による基板収納容器１Ｅにおいては、奥側底部被係止部６１５Ｅを構成する斜面部６１６Ｅ及び平坦面部６１７Ｅの位置が、第１実施形態による基板収納容器１における奥側底部被係止部６１５を構成する斜面部６１６及び平坦面部６１７の位置とは異なる。また、斜面部６１６Ｅ及び平坦面部６１７Ｅにより構成される奥側底部被係止部６１５Ｅは、１つのみ存在する。また、これに伴い、ボトムプレート６Ｅの形状が第１実施形態による基板収納容器１のボトムプレート６の形状とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。

下壁２４の後端部であって左右方向Ｄ３の中央部分には、斜面部６１６Ｅ及び平坦面部６１７Ｅにより構成される奥側底部被係止部６１５Ｅが存在する。即ち、奥側底部被係止部６１５Ｅは、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向である前後方向Ｄ１において、最も奥壁２２寄りに位置する当接部としての溝部材７よりも奥壁２２寄りに位置する。

図１５Ｂに示すように、斜面部６１６Ｅ及び平坦面部６１７Ｅは、下壁２４に一体成形されて接続された奥側底部被係止部６１５Ｅに存在する。奥側底部被係止部６１５Ｅは、側方視でＬ字形状を有する、直角に折れ曲がった板状の部材により構成されている。奥側底部被係止部６１５Ｅは、下壁２４の下面の後端部から下方向Ｄ２２へ延び、途中で直角に折れ曲がり、後方向Ｄ１２へ延びている。そしてその最後端部に斜面部６１６Ｅが存在している。

斜面部６１６Ｅは、奥側底部被係止部６１５Ｅの後端縁６３１Ｅに沿って左右方向Ｄ３に延びており、ボトムプレート６Ｅの後端縁６３１Ｅから前方向Ｄ１１へ進むにつれて、上下方向Ｄ２における厚さが厚くなるように傾斜している。平坦面部６１７Ｅは、斜面部６１６Ｅの前端から、前方向Ｄ１１へ向って延びる、平坦面により構成されている。図１５Ｂに示すように、図８に示すタイプと同様のタイプの後部容器係止部９１１Ｅの先端部直交部９１２Ｅが平坦面部６１７Ｅに当接することにより、下壁２４と一体成形された奥側底部被係止部６１５Ｅは、後部容器係止部９１１Ｅに係止される。また、図９に示すタイプと同様のタイプの後部容器係止部（図示せず）の先端部直交部が斜面部６１６Ｅに当接することにより、下壁２４と一体成形された奥側底部被係止部６１５Ｅは、後部容器係止部に係止される。

上記構成の実施形態に係る基板収納容器１Ｅによれば、以下のような効果を得ることができる。
奥側底部被係止部６１５Ｅとしての斜面部６１６Ｅ及び平坦面部６１７Ｅは、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向である前後方向Ｄ１において、最も奥壁２２寄りに位置する当接部としての溝部材７よりも奥壁２２寄りであって、下壁２４の最後端部分に位置する。この構成により、奥側底部被係止部６１５Ｅを介して、最も後方向Ｄ１２の位置において容器本体２の下壁２４を後部容器係止部９１１Ｅにより直接係止することができまる。この結果、容器本体２を上方向Ｄ２１に持上げる力に抗して、極めて安定して、溝部材７がロードポート等のキネマピンに当接している状態を維持することができる。

また、後部容器係止部９１１Ｅの基部側延出部９１３Ｅが奥側底部被係止部６１５Ｅの後端縁部である後端縁６３１Ｅに当接することにより、前後方向Ｄ１において、基板収納容器１Ｅの位置がずれることを抑えることができる。

次に、本発明の第７実施形態による基板収納容器１Ｆについて図１６を参照しながら説明する。図１６は、本発明の第７実施形態に係る基板収納容器１Ｆに基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。

第７実施形態による基板収納容器１Ｆにおいては、基板Ｗとして直径４５０ｍｍのシリコンウェーハを基板収納空間２７Ｆに収納可能である点で、第１実施形態による基板収納容器１とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。また、第１実施形態における各構成に相当する構成であって、形状が異なる構成については、同様の符号に「Ｆ」を付して説明を省略する。

基板収納容器１Ｆの容器本体２Ｆに固定されたボトムプレート６Ｆは、第１実施形態の斜面部６１６及び平坦面部６１７と同様の斜面部（図示せず）及び平坦面部（図示せず）を有する奥側底部被係止部（図示せず）を有している。図８に示すタイプと同様のタイプの後部容器係止部（図示せず）の先端部直交部が平坦面部（図示せず）に当接することにより、奥側底部被係止部を構成するボトムプレート６Ｆの部分は、後部容器係止部に係止される。また、図９に示すタイプと同様のタイプの後部容器係止部（図示せず）の先端部直交部が斜面部（図示せず）に当接することにより、奥側底部被係止部を構成するボトムプレート６Ｆの部分は、後部容器係止部に係止される。

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
例えば、底部の構成は、本実施形態の下壁２４等により構成される底部の構成に限定されない。従って、当接部や奥側底部被係止部の構成は、本実施形態の溝部材７や奥側底部被係止部６１５等の構成に限定されない。

例えば、給気用フィルタ部８０は、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向における、最も奥壁２２寄りに位置する当接部（溝部材７）よりも奥壁２２寄りの位置に、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向に対して直交する方向に沿って２つ存在していたが、これに限定されない。給気用フィルタ部８０は、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向における、最も奥壁２２寄りに位置する当接部（溝部材７）よりも奥壁２２寄りの位置に、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向に対して交差する方向に沿って複数存在していればよい。
また、例えば、奥側底部被係止部は、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向において、最も奥壁２２寄りに位置する当接部（溝部材７）よりも奥壁２２寄りに位置し、且つ、容器本体開口部２１と奥壁２２とを結ぶ方向に対して交差する方向に沿って存在する複数の給気用フィルタ部８０を結ぶ直線上に位置していてもよい。

また、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚や寸法に限定されない。
また、中央容器係止部、後部容器係止部の形状については、Ｌ字形状に限定されず、適宜設計変更可能である。また、被中央係止部と中央容器係止部との係止は、中央貫通孔６２１に中央容器係止部を挿入し、中央部貫通孔６２１の周囲に形成された被中央係止部に中央部容器係止部を係止・固定させることも可能である。例えば、中央容器係止部は、水平状の部分と、水平状の部分に直交する垂直状の部分とを有するＴ字状を有していてもよい。この場合には、水平状の部分の長手方向を中央貫通孔６２１の長手方向に一致させた位置関係として水平状の部分を中央貫通孔６２１に挿入し、その後、垂直状の部分を回転させて、水平状の部分の長手方向を中央貫通孔６２１の長手方向に直交する位置関係とし、そして中央容器係止部を下方向Ｄ２２へ下げて、中央貫通孔６２１の左右両側のボトムプレート６の部分により構成される被中央係止部６２３の部分に、水平状の部分を係止させればよい。

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ 基板収納容器
２、２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄ、２Ｅ、２Ｆ 容器本体
３、３Ｆ 蓋体
７ 溝部材（当接部）
２０、２０Ｆ 壁部
２１、２１Ｆ 容器本体開口部
２２、２２Ｆ 奥壁
２３、２３Ｆ 上壁
２４、２４Ｆ 下壁（底部）
２５、２５Ｆ 第１側壁
２６、２６Ｆ 第２側壁
２７、２７Ｆ 基板収納空間
８０ 給気用フィルタ部
８１ 排気用フィルタ部
６１５、６１５Ａ、６１５Ｂ、６１５Ｃ、６１５Ｄ、６１５Ｅ 奥側底部被係止部
９１１、９１１Ａ、９１１Ｂ、９１１Ｃ、９１１Ｄ、９１１Ｅ 後部容器係止部（位置合わせ部）
Ｗ 基板

Claims (4)

1. 一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
   前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備え、
   前記下壁は、前記容器本体の底部を構成し、
   前記下壁における前記奥壁寄りの部分は、給気用フィルタ部を有し、
   前記下壁における前記容器本体開口部寄りの部分は、排気用フィルタ部を有し、
   前記給気用フィルタ部は、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、を有し、前記フィルタを通して前記容器本体の外部の空間から前記基板収納空間へ気体が通過可能であり、
   前記排気用フィルタ部は、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、を有し、前記フィルタを通して前記基板収納空間から前記容器本体の外部の空間へ気体が通過可能であり、
   前記底部は、
   前記基板収納空間に収納された基板を処理装置に搬送するためのロードポートに設けられた複数の位置合わせ部であって、前記容器本体を前記ロードポートに対して位置決めするための複数の位置合わせ部にそれぞれ当接する当接部と、
   前記容器本体開口部と前記奥壁とを結ぶ方向において、最も前記容器本体開口部寄りに位置する前記当接部と、最も前記奥壁寄りに位置する前記当接部と、の中央位置よりも前記奥壁寄りに位置し、前記ロードポートの容器係止部に係止されて固定される奥側底部被係止部と、
   を有する基板収納容器。
2. 前記奥側底部被係止部は、前記容器本体開口部と前記奥壁とを結ぶ方向において、最も前記奥壁寄りに位置する前記当接部よりも前記奥壁寄りに位置する請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記給気用フィルタ部は、前記容器本体開口部と前記奥壁とを結ぶ方向における、最も前記奥壁寄りに位置する前記当接部よりも前記奥壁寄りの位置に、前記容器本体開口部と前記奥壁とを結ぶ方向に対して交差する方向に沿って複数存在し、
   前記奥側底部被係止部は、複数の前記給気用フィルタ部を結ぶ直線上に位置する請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記給気用フィルタ部は、前記容器本体の外部の空間から前記基板収納空間へ、毎分２０Ｌ（リットル）以上の窒素ガスを通過可能である請求項１〜請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
   

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