JPWO2016114003A1 - ガス透過度測定装置 - Google Patents
ガス透過度測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2016114003A1 JPWO2016114003A1 JP2016569241A JP2016569241A JPWO2016114003A1 JP WO2016114003 A1 JPWO2016114003 A1 JP WO2016114003A1 JP 2016569241 A JP2016569241 A JP 2016569241A JP 2016569241 A JP2016569241 A JP 2016569241A JP WO2016114003 A1 JPWO2016114003 A1 JP WO2016114003A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- gas
- ring
- downstream
- upstream
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000035699 permeability Effects 0.000 title claims abstract description 82
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 85
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 69
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 31
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 38
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 29
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 6
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 204
- 239000010408 film Substances 0.000 description 86
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 8
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000002336 sorption--desorption measurement Methods 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000000274 adsorptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
Description
前記差圧法による前記フィルム部材の前記ガス透過度測定装置としては、例えば、フィルムを保持するためのフランジと、前記フィルムにガスを暴露するための容器と、前記フィルムのガス暴露面と逆側のガス透過面に対して所定の圧力まで排気することが可能な真空部とが接続され、前記真空部に取付けられる質量分析計により、前記ガス透過面から前記真空部内に透過するガスのガス透過度を測定する装置が提案されている(特許文献1参照)。
今、一般的に用いられるサイズである縦横90mmのフィルム試料を考えたとき、10−6g/m2/dayの水蒸気透過度(WVTR;Water Vapour Transmission Rate)は、1.3×10−11Pa・m3/sの水蒸気流量に対応する。排気速度0.01m3/sの真空ポンプで真空排気された真空容器に、1.3×10−11Pa・m3/sの前記水蒸気流量を導入すると、前記真空容器内の水蒸気分圧は、1.3×10−9Paとなる。即ち、前記差圧法で、10−6g/m2/day台の前記水蒸気透過度を測定するためには、10−9Pa台の前記水蒸気分圧を測定する必要が生じる。そして、10−9Pa台といった極微小の前記水蒸気分圧を測定するためには、バックグラウンドの前記水蒸気分圧を、少なくとも10−8Pa台、望ましくは10−9Pa台以下まで下げることが求められる。
しかしながら、こうしたロードロック装置の機構に基づく前記フィルム部材のガス透過度を測定する方法としては、これまで何ら検討されておらず、10−6g/m2/dayといったハイガスバリア性のものを含め、前記フィルム試料のガス透過度を短時間、高効率かつ高精度に測定するためには、新たな機構の開発が求められる。
<1> 開口部が形成され、前記開口部からフィルム試料のガス暴露面及びガス透過面の両面が露出する状態で前記フィルム試料が挿脱自在に内挿される金属製の試料ホルダと、一端側が前記試料ホルダと脱着自在に取着可能とされるトランスファーロッドと、前記トランスファーロッドを内部空間に気密状態で進退動自在として挿通させる挿通部が形成されるとともに前記試料ホルダが前記内部空間に滞留可能とされる試料準備部と、前記トランスファーロッドの進退動により内部空間で前記試料ホルダが搬出入可能とされる試料分析部と、開状態で前記試料準備部内−前記試料分析部内間で前記試料ホルダが搬出入可能とされ、閉状態で前記試料準備部内−前記試料分析部内間を気密状態で密閉可能とされるゲート弁とを有する真空容器部と、下流側Oリングが前記試料ホルダから露出する前記フィルム試料の前記ガス透過面と当接するよう一部が突出した状態で埋設される下流側Oリング保持部を有し、前記試料分析部の内壁に固定される下流側シール部材と、上流側Oリングが前記試料ホルダから露出する前記フィルム試料の前記ガス暴露面と当接するよう一部が突出した状態で埋設され、前記上流側Oリングと前記下流側Oリングとで前記試料ホルダから露出する前記フィルム試料を狭持可能に前記下流側Oリング保持部と対向配置される上流側Oリング保持部及びガス供給源と接続されるガス導入部が形成され、前記下流側Oリング保持部に接近させて前記上流側Oリングと前記下流側Oリングとで前記フィルム試料を狭持させ、前記下流側Oリング保持部から離間させて前記上流側Oリングと前記下流側Oリングとの間に前記試料ホルダを挿通させるように少なくとも前記上流側Oリング保持部を移動可能として前記試料分析部に支持される上流側シール部材とで構成され、前記上流側Oリングと前記下流側Oリングとで前記フィルム試料を狭持した状態で、前記フィルム試料の前記ガス暴露面と前記上流側Oリングの内側と前記上流側シール部材の内側とで画成されるガス暴露室及び前記フィルム試料の前記ガス透過面と前記下流側Oリングの内側と前記下流側シール部材の内側と前記試料分析部の内壁で画成されるガス透過量測定室を形成するシール機構と、前記試料準備部と接続され、前記真空容器内を排気する第1の真空ポンプと、前記試料分析部の前記下流側Oリングからみて前記下流側シール部材の外側の位置に接続され、前記真空容器内を排気する第2の真空ポンプと、前記試料分析部の前記ガス透過量測定室を画成する部分と接続され、前記フィルム試料から前記ガス透過量測定室内に透過した測定用ガスの透過量を測定するガス透過量計測器と、を備えることを特徴とするガス透過度測定装置。
<2> 更に、試料分析部のガス透過量測定室を画成する部分と接続され、前記ガス透過量測定室内を排気する第3の真空ポンプを備える前記<1>に記載のガス透過度測定装置。
<3> 下流側シール部材から一部が突出する下流側Oリングの内側に一部が開口された金属板が嵌着される前記<1>から<2>のいずれかに記載のガス透過度測定装置。
<4> 上流側シール部材が、一の面の外周側に厚肉の部として形成される上流側Oリング保持部と、前記一の面側を他の面側に押し出すように前記他の面上に立設され、胴部が前記上流側シール部材の下流側シール部材に対する離間移動及び接近移動の移動操作部をなすとともに試料分析部内の気密を取りつつ立設端側から測定用ガスを管内に導入可能な中空管状のガス導入部とを有する全体略円盤状部材として形成される前記<1>から<3>のいずれかに記載のガス透過度測定装置。
<5> 試料準備部の内部空間を加熱するヒータが配設される前記<1>から<4>のいずれかに記載のガス透過度測定装置。
<6> 試料準備部内に配され、試料ホルダをストックするストック部を有する前記<1>から<5>のいずれかに記載のガス透過度測定装置。
図1は、本発明の一実施形態に係るガス透過度測定装置の概要を示す説明図である。
該図1に示すように、ガス透過度測定装置100は、主として、シール機構1と、試料分析部10と、試料準備部20と、ゲート弁30と、トランスファーロッド31と、試料ホルダ32とを有して構成される。
真空容器21は、ステンレス鋼材等の公知の真空容器形成材料から形成される筒状部材であり、内部空間が試料準備室27とされる。
また、真空容器21は、側面に図示しない密閉扉が形成され、前記密閉扉を通じてトランスファーロッド31に対する試料ホルダ32の脱着操作や、必要に応じて、試料ホルダストック機構25に対する試料ホルダ32のストック操作を行うことが可能とされる。
また、真空容器21の他端側は、ゲート弁30を介して試料分析部10の真空容器11と連結され、ゲート弁30を閉じた状態で、真空容器21に接続される第1の真空ポンプ28により試料準備室27内が試料分析部10と独立して排気可能とされる。
なお、第1の真空ポンプ28としては、公知の真空ポンプから適宜選択して用いることができるが、ハイガスバリア性のフィルムを測定対象とする場合、試料準備室27内を、 10−3Pa以下に排気可能なものが好ましく、例えば、ターボ分子ポンプ等を用いることができる。
なお、本例では、ヒータ22が真空容器21の外周に周設されるが、ヒータ22としては、別の態様で配してもよく真空容器21内に配されていてもよい。
ただし、この試料ホルダストック機構25の構成は、一例を示すものであり、試料準備室27内に試料ホルダ32をストック可能なストック部を有する構成であれば、こうした構成に限定されない。
真空容器11は、ステンレス鋼材等の公知の真空容器形成材料から形成される筒状部材であり、内部空間が試料分析室12とされる。
真空容器11の一端側は、ゲート弁30を介して試料準備部20の真空容器21と連結され、ゲート弁30を閉じた状態で、真空容器11に接続される第2の真空ポンプ13により試料分析室12内が試料準備部20と独立して排気可能とされる。
なお、第2の真空ポンプ13としては、公知の真空ポンプから適宜選択して用いることができるが、ハイガスバリア性のフィルムを測定対象とする場合、試料分析室12内を10−3Pa以下に排気可能なものが好ましく、例えば、ターボ分子ポンプ等を用いることができる。
真空容器11の側面では、後述するガス透過量測定室41の一部を構成するよう、下流側シール部材3の内側の一部壁面が外方に突出するよう形成されるが、真空容器11としては、このような形状で形成されなくともよい。
また、試料分析室12内に搬入された試料ホルダ32を安定的に支持するため、真空容器11の底部には、一例として試料分析室12内に搬入された試料ホルダ32を保持する試料ホルダ支持部14が形成される。
なお、真空容器11と真空容器21とは、例えば、ゲート弁30を連結部材として別々の真空容器を連結させて形成することができる。
また、トランスファーロッド31は、一端側が試料ホルダ32と脱着自在に取着可能とされる棒状部材であり、公知のロードロック装置で用いられるものを好適に使用することができる。
該図2に示すように、シール機構1は、上流側シール部材2と下流側シール部材3とで構成される。なお、本明細書において、「上流」とは、測定用ガスの流通経路において、供給元のガス供給源6(図1参照)に近いことを指し、「下流」とは、測定用ガスの流通経路において、供給元のガス供給源6(図1参照)から遠いことを指す。
上流側Oリング保持部2aは、上流側Oリング4aが試料ホルダ32から露出するフィルム試料Fのガス暴露面と当接するよう一部が突出した状態で埋設され、上流側Oリング4aと下流側Oリング4bとで試料ホルダ32から露出するフィルム試料Fを狭持可能に下流側Oリング保持部3’と対向配置される。
また、ガス導入部2bは、ガス供給源6と接続され、ガス供給源6から供給される測定用ガスを上流側シール部材2内側に形成されるガス暴露室40に導入可能とされる。
また、上流側シール部材2は、下流側Oリング保持部3’に接近させて上流側Oリング4aと下流側Oリング4bとでフィルム試料Fを狭持させ、下流側Oリング保持部3’から離間させて上流側Oリング4aと下流側Oリング4bとの間に試料ホルダFを挿通させるように少なくとも上流側Oリング保持部4aを移動可能として試料分析部10に支持される。なお、ここでは、上流側シール部材2全体が移動可能とされる。また、上流側シール部材2(上流側Oリング保持部4a)を下流側シール部材3に対して安定状態で移動させ、支持することを目的として、試料分析部10の真空容器11内壁に上流側シール部材2を搬送し支持するレール部材(不図示)が形成されていてもよい。
これにより、ガス導入部2bの真空容器11外に突出して延在する部分又は当該部分と接続される配管をスライド操作させて、試料分析室12内と気密を取りつつ上流側シール部材2を下流側シール部材3側に容易に移動させることができる。ただし、上流側シール部材2としては、このような構成でなくともよい。例えば、本例では、ガス導入部2bを前記一の面側を他の面側に押し出すように前記他の面上に立設された中空管状の部材とし、上流側Oリング4aと下流側Oリング4bとでフィルム試料Fを狭持した状態で一部が試料分析部10(試料分析室12)内と気密を取りつつ試料分析部10(試料分析室12)外に突出して延在させ、該一部を直接操作して試料分析部10(試料分析室12)外部からの前記移動操作を行うこととしているが、これに代えて、試料分析部10の真空容器11の開口部分に、ガス導入部2bと接続され気密を取りつつ上流側シール部材2をガス導入部2bを介して前記移動操作させることが可能なベローズ配管等の管継手部を配し、これによりガス導入部2bを間接的に操作させることとしてもよい。
なお、上流側シール部材2としては、上流側Oリング4aを除き、ステンレス鋼等の公知の金属材料で形成することができる。
また、本例では、下流側シール部材3は、一の面の外周側に厚肉の部として下流側Oリング保持部3’が形成され、中央が開口された略円盤状の部材として形成される。
なお、下流側シール部材3としては、下流側Oリング4bを除き、ステンレス鋼等の公知の金属材料で形成することができる。
また、試料ホルダ32は、取付部35が形成され、トランスファーロッド31の一端側と取付部35とのスイッチ式の嵌合やこれらの磁着等により、トランスファーロッド31と脱着自在に取着可能とされる。なお、磁着等させる場合には、必ずしも、取付部35を設ける必要はない。
上流側及び下流側Oリング4a,bの外径Φ2は、試料ホルダ32開口部の直径Φ1よりも小さく上流側及び下流側Oリング4a,bで、直接、試料ホルダ32から露出する状態のフィルム試料Fを狭持可能とされ、内径Φ3で囲まれた領域がフィルム試料Fのガス透過領域とされる。また、上流側及び下流側Oリング4a,bとしては、非シール時における断面形状が円形状のものであってもよいが、高い気密性を得る観点から、断面形状が四角形状のものが好ましい。
なお、この例は、説明を簡単にするためのものであり、試料ホルダ32の前記開口部は、上流側及び下流側Oリング4a,bの外径がΦ2よりも大きいサイズであれば、特に円形である必要はなく、また、上流側及び下流側Oリング4a,bは、フィルム試料Fを狭持可能である限り、同じ材質、全く同じ大きさである必要はない。
シール機構1では、上流側Oリング4aと下流側Oリング4bとでフィルム試料Fを狭持した状態で、フィルム試料Fの前記ガス暴露面と上流側Oリング4aの内側と上流側シール部材2の内側とで画成されるガス暴露室40及びフィルム試料Fの前記ガス透過面と下流側Oリング4bの内側と下流側シール部材3の内側と試料分析部10(真空容器11)の内壁で画成されるガス透過量測定室41を形成する。
なお、金属板5としては、ステンレス鋼等の公知の金属材料で形成され、任意の場所に一又は複数の開口が形成された金属板やメッシュ状に開口が形成された金属板等を用いることができる。
また、ガス透過度の測定方法に応じて、試料分析部10(真空容器11)のガス透過量測定室を画成する部分と接続され、ガス透過量測定室41内を排気する第3の真空ポンプ43が配される。即ち、ガス透過度をガス透過量測定室41内を真空排気しつつ、ガス透過量測定室41内壁への気体の吸脱着反応が平衡で、かつ、ガス透過量測定室41内でのガス透過量と真空ポンプの排気量とが平衡となった時点における圧力等を計測してガス透過度を測定する場合、その真空ポンプとして第3の真空ポンプ43が配される。
第3の真空ポンプ43としては、公知の真空ポンプを用いることができるが、ハイガスバリア性のフィルムを測定対象とする場合、ガス透過量測定室41内を10−6Pa以下に排気可能なものが好ましく、例えば、ターボ分子ポンプ等を用いることができる。
試料分析室12内を第2の真空ポンプ13で真空排気した後、ガス透過量測定室41を形成し、フィルム試料Fからのガス透過量をガス透過量測定室41内における圧力上昇又はガス量の増加として測定する場合には、必ずしも第3の真空ポンプ43を配する必要はない。
なお、ガス透過度測定装置100は、試料準備部20と試料分析部10とを鉛直方向に連結させた例に係るが、水平方向に連結させてもよい。この場合、フィルム試料Fが水平面に対して垂直に配されるよう、シール機構1を構成することが好ましい。
また、ガス透過度測定装置100は、本発明の一実施形態を示すものであり、本発明は、この実施形態に限定されない。
ゲート弁30を閉じた状態で、試料分析室12内を第2の真空ポンプ13で排気する。ガス透過度測定対象のフィルム試料Fがハイバリア性(ガス透過度が高い)のフィルムである場合、試料分析室12内を10−3Pa以下程度に真空排気する。
また、試料準備室27内に滞留される試料ホルダ32等に吸着される水蒸気等は、ヒータ22による加熱により脱離され、第1の真空ポンプ28で効率的に排気可能とされる。ヒータ22による加熱は、フィルム試料Fの耐熱温度未満の温度で行う。また、第1の真空ポンプ28では、フィルム試料Fがハイバリア性のフィルムである場合、試料準備室27内を10−3Pa以下程度に真空排気させる。
ストック部23にストックされた試料ホルダ32をトランスファーロッド31に取着させた後、ゲート弁30を開き、トランスファーロッド31を試料分析部12内の所定の深さまで搬送操作することで、試料ホルダ32を内挿される試料フィルムFの上流側Oリング4aと下流側Oリング4bとによる狭持位置まで搬送する。
この状態で、上流側シール部材2のスライド操作により、上流側Oリング保持部2aを下流側Oリング保持部3に接近させて上流側Oリング4aと下流側Oリング4bとでフィルム試料Fを狭持させる。
この時、シール機構1内では、フィルム試料Fの前記ガス暴露面(一の面)と上流側Oリング4aの内側と上流側シール部材2の内側とで画成されるガス暴露室40と、フィルム試料Fの前記ガス透過面(一の面と反対側の他の面)と下流側Oリング4bの内側と下流側シール部材3の内側と試料分析部10(真空容器11)の内壁で画成されるガス透過量測定室41とが気密状態で形成される。
その後、試料ホルダ32からトランスファーロッド31を脱着させ、トランスファーロッド31を試料準備室27に戻し、ゲート弁30を再び閉じ、引き続き第2の真空ポンプ13で試料分析室12内を真空排気し、ガス透過度測定の測定準備を完了させる。
ガス透過度測定装置100では、装置に対してフィルム試料Fを搬出入する度に装置内を大気に暴露することがなく、予め所望の真空環境にまで真空排気された試料分析部10でガス透過度を測定するため、短時間で測定条件の真空環境を得ることができ、延いては、フィルム試料Fのガス透過度を短時間で効率的に測定することができる。
また、フィルム試料F、試料ホルダ32等に吸着したガスをガス透過度測定前に予め試料準備部20で排除することができるため、試料分析部10において、これらが脱離せず短時間で測定条件の真空環境を得ることができ、延いては、フィルム試料Fのガス透過度を短時間で効率的に測定することができる。
また、試料準備部20において、試料ホルダストック機構25に試料ホルダ32をストックしておくことで、試料ホルダ32に吸着したガス、水蒸気等が排除された試料ホルダ32を予め準備することができる。したがって、試料分析部10においてより短時間で測定条件の真空環境を得ることができ、延いては、フィルム試料Fのガス透過度を短時間で効率的に測定することができる。
この点について、更に、図2,図5〜7を参照しつつ、下記参考例1及び2に係るガス透過度測定装置と比較した説明を行う。なお、図5は、参考例1に係るガス透過度測定装置のシール機構を拡大して示す説明図であり、図6は、参考例1に係るガス透過度測定装置の変形例に係るガス透過度測定装置のシール機構を拡大して示す説明図であり、図7は、参考例2に係るガス透過度測定装置シール機構を拡大して示す説明図である。
2 上流側シール部材
2a 上流側Oリング保持部
2b ガス導入部
3 下流側シール部材
3’ 下流側Oリング保持部
4a,b,52a,b Oリング
5 金属板
6 ガス供給源
10 試料分析部
11,21 真空容器
12 試料分析室
13 第2の真空ポンプ
14 試料ホルダ支持部
20 試料準備部
22 ヒータ
23 ストック部
24 ストック部支持部
25 試料ホルダストック機構
26 挿通部
27 試料準備室
28 第1の真空ポンプ
30 ゲート弁
31 トランスファーロッド
32,50,60 試料ホルダ
33a,b,51a,b,61a,b 金属板
34a〜d ビス
35,53,63 取付部
40 ガス暴露室
41 ガス透過量測定室
42 ガス透過量計測部(ガス分析器)
43 第3の真空ポンプ
100 ガス透過度測定装置
Claims (6)
- 開口部が形成され、前記開口部からフィルム試料のガス暴露面及びガス透過面の両面が露出する状態で前記フィルム試料が挿脱自在に内挿される金属製の試料ホルダと、
一端側が前記試料ホルダと脱着自在に取着可能とされるトランスファーロッドと、
前記トランスファーロッドを内部空間に気密状態で進退動自在として挿通させる挿通部が形成されるとともに前記試料ホルダが前記内部空間に滞留可能とされる試料準備部と、前記トランスファーロッドの進退動により内部空間で前記試料ホルダが搬出入可能とされる試料分析部と、開状態で前記試料準備部内−前記試料分析部内間で前記試料ホルダが搬出入可能とされ、閉状態で前記試料準備部内−前記試料分析部内間を気密状態で密閉可能とされるゲート弁とを有する真空容器部と、
下流側Oリングが前記試料ホルダから露出する前記フィルム試料の前記ガス透過面と当接するよう一部が突出した状態で埋設される下流側Oリング保持部を有し、前記試料分析部の内壁に固定される下流側シール部材と、上流側Oリングが前記試料ホルダから露出する前記フィルム試料の前記ガス暴露面と当接するよう一部が突出した状態で埋設され、前記上流側Oリングと前記下流側Oリングとで前記試料ホルダから露出する前記フィルム試料を狭持可能に前記下流側Oリング保持部と対向配置される上流側Oリング保持部及びガス供給源と接続されるガス導入部が形成され、前記下流側Oリング保持部に接近させて前記上流側Oリングと前記下流側Oリングとで前記フィルム試料を狭持させ、前記下流側Oリング保持部から離間させて前記上流側Oリングと前記下流側Oリングとの間に前記試料ホルダを挿通させるように少なくとも前記上流側Oリング保持部を移動可能として前記試料分析部に支持される上流側シール部材とで構成され、前記上流側Oリングと前記下流側Oリングとで前記フィルム試料を狭持した状態で、前記フィルム試料の前記ガス暴露面と前記上流側Oリングの内側と前記上流側シール部材の内側とで画成されるガス暴露室及び前記フィルム試料の前記ガス透過面と前記下流側Oリングの内側と前記下流側シール部材の内側と前記試料分析部の内壁で画成されるガス透過量測定室を形成するシール機構と、
前記試料準備部と接続され、前記真空容器内を排気する第1の真空ポンプと、
前記試料分析部の前記下流側Oリングからみて前記下流側シール部材の外側の位置に接続され、前記真空容器内を排気する第2の真空ポンプと、
前記試料分析部の前記ガス透過量測定室を画成する部分と接続され、前記フィルム試料から前記ガス透過量測定室内に透過した測定用ガスの透過量を測定するガス透過量計測器と、
を備えることを特徴とするガス透過度測定装置。 - 更に、試料分析部のガス透過量測定室を画成する部分と接続され、前記ガス透過量測定室内を排気する第3の真空ポンプを備える請求項1に記載のガス透過度測定装置。
- 下流側シール部材から一部が突出する下流側Oリングの内側に一部が開口された金属板が嵌着される請求項1から2のいずれかに記載のガス透過度測定装置。
- 上流側シール部材が、一の面の外周側に厚肉の部として形成される上流側Oリング保持部と、前記一の面側を他の面側に押し出すように前記他の面上に立設され、胴部が前記上流側シール部材の下流側シール部材に対する離間移動及び接近移動の移動操作部をなすとともに試料分析部内の気密を取りつつ立設端側から測定用ガスを管内に導入可能な中空管状のガス導入部とを有する全体略円盤状部材として形成される請求項1から3のいずれかに記載のガス透過度測定装置。
- 試料準備部の内部空間を加熱するヒータが配設される請求項1から4のいずれかに記載のガス透過度測定装置。
- 試料準備部内に配され、試料ホルダをストックするストック部を有する請求項1から5のいずれかに記載のガス透過度測定装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015005830 | 2015-01-15 | ||
JP2015005830 | 2015-01-15 | ||
PCT/JP2015/082853 WO2016114003A1 (ja) | 2015-01-15 | 2015-11-24 | ガス透過度測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016114003A1 true JPWO2016114003A1 (ja) | 2017-07-27 |
JP6337293B2 JP6337293B2 (ja) | 2018-06-06 |
Family
ID=56405560
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016569241A Active JP6337293B2 (ja) | 2015-01-15 | 2015-11-24 | ガス透過度測定装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6337293B2 (ja) |
WO (1) | WO2016114003A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6446683B2 (ja) * | 2015-03-05 | 2019-01-09 | 埼玉県 | 試料の水蒸気透過度測定装置及び水蒸気透過度測定方法 |
KR102497995B1 (ko) * | 2017-02-27 | 2023-02-10 | 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 상교기쥬츠 소고켄큐쇼 | 가스 배리어성 평가 장치 및 가스 배리어성 평가 방법 |
KR102538826B1 (ko) * | 2018-11-12 | 2023-06-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 수분투습도 측정장치 |
CN109813643B (zh) * | 2019-01-01 | 2021-06-08 | 中国人民解放军63653部队 | 一种混凝土及其表面覆膜涂层材料的气体渗透率测量方法 |
DE102020209493A1 (de) * | 2020-07-28 | 2022-02-03 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen einer Gaspermeationskennzahl einer Materialschicht |
KR102515087B1 (ko) * | 2022-12-06 | 2023-03-29 | 한국건설기술연구원 | 콘크리트 시편의 투기계수 측정용 시험장치 및 이를 이용한 시험방법 |
KR102632280B1 (ko) * | 2023-04-28 | 2024-02-02 | 한국표준과학연구원 | 이중 실링 및 배기 구조를 포함하는 시료홀더 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6170758U (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-14 | ||
JPS63157870A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-30 | Anelva Corp | 基板処理装置 |
JPH06241978A (ja) * | 1993-02-17 | 1994-09-02 | Mitsui Toatsu Chem Inc | フィルム用ガス透過率測定装置 |
JP2007147648A (ja) * | 2000-12-01 | 2007-06-14 | Ebara Corp | 欠陥検査方法及び基板検査装置 |
US20070227233A1 (en) * | 2006-03-30 | 2007-10-04 | Holger Norenberg | Method and apparatus for measuring the rate of permeation |
US20100294025A1 (en) * | 2007-09-28 | 2010-11-25 | Daisuke Omori | Apparatus and method for measurement of water vapor permeability |
US20110168023A1 (en) * | 2010-01-13 | 2011-07-14 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Apparatus to measuer permeation of a gas through a membrane |
JP2013003028A (ja) * | 2011-06-20 | 2013-01-07 | Sumika Chemical Analysis Service Ltd | 測定装置および測定方法 |
JP2014002038A (ja) * | 2012-06-19 | 2014-01-09 | Seinan Kogyo Kk | 気体透過率測定装置および気体透過率測定方法 |
WO2014119689A1 (ja) * | 2013-01-31 | 2014-08-07 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | ガスバリア性評価装置および評価方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3930871B2 (ja) * | 2004-06-04 | 2007-06-13 | 株式会社クリエテック | 透湿度・気体透過度測定装置及び気体透過度測定方法 |
-
2015
- 2015-11-24 JP JP2016569241A patent/JP6337293B2/ja active Active
- 2015-11-24 WO PCT/JP2015/082853 patent/WO2016114003A1/ja active Application Filing
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6170758U (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-14 | ||
JPS63157870A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-30 | Anelva Corp | 基板処理装置 |
JPH06241978A (ja) * | 1993-02-17 | 1994-09-02 | Mitsui Toatsu Chem Inc | フィルム用ガス透過率測定装置 |
JP2007147648A (ja) * | 2000-12-01 | 2007-06-14 | Ebara Corp | 欠陥検査方法及び基板検査装置 |
US20070227233A1 (en) * | 2006-03-30 | 2007-10-04 | Holger Norenberg | Method and apparatus for measuring the rate of permeation |
US20100294025A1 (en) * | 2007-09-28 | 2010-11-25 | Daisuke Omori | Apparatus and method for measurement of water vapor permeability |
US20110168023A1 (en) * | 2010-01-13 | 2011-07-14 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Apparatus to measuer permeation of a gas through a membrane |
JP2013003028A (ja) * | 2011-06-20 | 2013-01-07 | Sumika Chemical Analysis Service Ltd | 測定装置および測定方法 |
JP2014002038A (ja) * | 2012-06-19 | 2014-01-09 | Seinan Kogyo Kk | 気体透過率測定装置および気体透過率測定方法 |
WO2014119689A1 (ja) * | 2013-01-31 | 2014-08-07 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | ガスバリア性評価装置および評価方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6337293B2 (ja) | 2018-06-06 |
WO2016114003A1 (ja) | 2016-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6337293B2 (ja) | ガス透過度測定装置 | |
JP4431144B2 (ja) | 密封品における大規模漏れの検出方法および装置 | |
CN103454125B (zh) | 测量样品中氢含量的系统和方法 | |
JP2011107036A (ja) | 漏洩検知システム | |
Trott et al. | An experimental assembly for precise measurement of thermal accommodation coefficients | |
JP5292261B2 (ja) | リークディテクタ | |
CN108151961B (zh) | 一种极高真空校准装置及方法 | |
JP4759096B2 (ja) | 透過性評価装置および評価方法 | |
JP6281915B2 (ja) | ガス透過度測定装置 | |
US10502651B2 (en) | Creating a mini environment for gas analysis | |
KR101298043B1 (ko) | 판상형 시편의 개스 투과율 측정장치 | |
WO2015028338A3 (de) | Dichtheitsprüfung während der evakuierung einer folienkammer | |
JP7041665B2 (ja) | ガスバリア性評価装置およびガスバリア性評価方法 | |
JP5405218B2 (ja) | 試料分析方法、試料搬入部材、試料搬入方法および昇温脱離分析装置 | |
CN115718133A (zh) | 一种测量密封真空管中气体成分的装置及方法 | |
JPH06241978A (ja) | フィルム用ガス透過率測定装置 | |
JP2014002038A (ja) | 気体透過率測定装置および気体透過率測定方法 | |
JP6508674B2 (ja) | 流量校正装置 | |
JP2014149215A (ja) | 気体透過性評価装置 | |
JP6324861B2 (ja) | クライオスタット及び超電導磁石構成材料用アウトガス評価装置及びそのアウトガス評価方法 | |
JP2015017846A (ja) | 漏洩検知装置 | |
RU2680159C9 (ru) | Способ определения объёмов замкнутых полостей | |
CN110553948A (zh) | 一种基于质谱分析的动态气体渗透率测试装置及方法 | |
JP2001330534A (ja) | 減圧処理装置のリークチェック方法および減圧処理装置 | |
KR101063089B1 (ko) | 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170330 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20170321 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170330 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180327 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180405 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6337293 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |