JPWO2016021254A1 - チタン合金材料研磨用組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の一形態に係るチタン合金材料研磨用組成物は、チタン合金材料を研磨する用途に用いられる。本発明の一形態に係るチタン合金材料は、主成分であるチタン、および少なくとも1種の副成分であるチタン以外の金属元素(以下、「副成分の金属元素」とも称する)を含有する。合金材料を製造するための方法には特に制限はないが、例えば鋳造、鍛造或いは圧延などにより得られるものであることが好ましい。
金属溶解性向上剤は、チタン合金材料の全質量に対して0.5質量%より多い含有量で存在するチタン以外の金属元素の少なくとも1種を、チタンよりも高い溶解度で溶解させる機能を有する。「溶解させる機能を有する」とは、金属溶解性向上剤が副成分の金属元素の少なくとも1種を溶解させる機能であってもよく、または金属溶解性向上剤と副成分の金属元素の少なくとも1種とが反応して得られる生成物(複数の反応が生じる場合はその最終生成物)を溶解させる機能であってもよい。
砥粒は、チタン合金材料研磨用組成物中にて主に機械的な研磨加工を担う。砥粒の具体例としては、特に制限されないが、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化セリウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化マンガン、炭化ケイ素、炭化ホウ素、炭化チタン、窒化チタン、窒化ケイ素、ホウ化チタン、ホウ化タングステン等が挙げられる。これらの中でも、表面粗さの低減が容易であり、低コストが実現できるとの観点から、砥粒は金属酸化物であることが好ましく、高研磨速度が可能であり、且つ容易に入手が可能であるアルミナ(α−アルミナ、中間アルミナ、ヒュームドアルミナ、アルミナゾルやその混合)を用いることがより好ましい。
本発明の一形態に係るチタン合金材料研磨用組成物は、必要に応じて、上述した以外の成分の、例えば、合金材料の溶解を促進するエッチング剤、合金材料の表面を酸化させる酸化剤、合金材料の表面や砥粒表面に作用する水溶性重合体、共重合体やその塩、誘導体、合金材料の表面の腐食を抑制する防食剤やキレート剤、砥粒の凝集体の再分散を容易にする分散助剤、その他機能を有する防腐剤、防黴剤等の成分を含んでもよい。
本発明の一形態に係るチタン合金材料研磨用組成物は、各成分を分散または溶解するための分散媒または溶媒として、水を含むことが好ましい。他の成分の作用を阻害することを抑制するという観点から、不純物をできる限り含有しない水が好ましく、具体的には、イオン交換樹脂にて不純物イオンを除去した後、フィルタを通して異物を除去した純水や超純水、または蒸留水が好ましい。
本発明の一形態に係るチタン合金材料研磨用組成物のpHの下限は、1以上であることが好ましく、1.5以上であることがより好ましい。チタン合金材料研磨用組成物のpHを大きくすることで、安全性が向上するため好ましい。
本発明の一形態に係るチタン合金材料研磨用組成物は、前述のように、チタン合金材料の全質量に対して0.5質量%より多い含有量で存在するチタン以外の金属元素の少なくとも1種を、チタンよりも高い溶解度で溶解させる機能を有する化合物(金属溶解性向上剤)、および砥粒を含有する。また、本発明の効果を損なわない限りは、必要に応じて他の成分を含んでもよい。本発明のチタン合金材料研磨用組成物としては、例えば、酸または酸性化合物、砥粒、および水を含有するもの等が挙げられる。このようなチタン合金材料研磨用組成物としては、例えば、pH値が1以上7以下であるチタン合金材料研磨用組成物等が挙げられる。
本発明の一形態に係るチタン合金材料研磨用組成物の製造方法は、上記で説明したチタン合金材料研磨用組成物の各成分を混合するものであれば、特に制限されない。すなわち、チタン合金材料中にチタン合金材料の全質量に対して0.5質量%より多い含有量で存在するチタン以外の金属元素の少なくとも1種を、チタンよりも高い溶解度で溶解させる機能を有する化合物(金属溶解性向上剤)、および砥粒を混合する工程を含むものであればよい。例えば、分散媒中に金属溶解性向上剤および砥粒を添加して混合する工程、液体状の金属溶解性向上剤中に砥粒を添加して混合する工程、予め作製した金属溶解性向上剤溶液中に砥粒を添加して混合する工程、予め作製した砥粒の分散液中に金属溶解性向上剤を添加して混合する工程、予め作製した金属溶解性向上剤溶液と予め作製した砥粒の分散液とを混合する工程等が挙げられるが、これらに限定されない。混合の条件や混合方法等は任意に選択することができる。また、前記混合工程の他に、さらに他の工程を有していてもよい。他の工程としては、例えば、チタン合金材料研磨用組成物を構成するための各成分の混合の後、分散媒をさらに加える工程等が挙げられるが、これに限定されない。
上述のように、本発明の形態に係るチタン合金材料研磨用組成物は、チタン合金材料の研磨に好適に用いられる。よって、本発明の他の一形態としては、チタン合金材料を本発明の一形態に係るチタン合金材料研磨用組成物を用いて研磨する研磨方法を提供する。また、本発明のその他の一形態としては、チタン合金材料を前記研磨方法で研磨する工程を含む研磨済チタン合金材料の製造方法を提供する。
研磨パッドとチタン合金材料との間に本発明の一形態に係るチタン合金材料研磨用組成物を供給することと、
研磨パッドをチタン合金材料に押し当てることと、
研磨パッドおよび/またはチタン合金材料を回転または移動させてチタン合金材料を研磨することと、
を含む方法を使用することができる。
エッチングレート比より、実施例1〜4、ならびに比較例1および2の各チタン合金研磨用組成物にて使用した、各化合物によるチタン合金材料中に存在する主成分のチタン、および副成分の金属元素を溶解させる機能を確認した。
上記チタン、およびチタン合金材料を、実施例1〜4、ならびに比較例1および2の各チタン合金材料研磨用組成物を用いて、片面研磨機にて研磨した。具体的には、保持具でチタン合金材料を保持し、チタン合金材料研磨用組成物を供給しながらチタン合金材料の片面に研磨布(研磨パッド)を貼付した定盤を押しつけ、定盤を回転させることにより、表2に示す条件でチタン合金材料を研磨した。
実施例1〜4、ならびに比較例1および2の各チタン合金研磨用組成物を用いて研磨された研磨済チタン合金材料について、非接触表面形状測定器(レーザー顕微鏡VK−X200、キーエンス社製)を用いて、測定エリアサイズを248×213μmとして、算術平均粗さRaを求めた。この結果を表1の「Ra」に示す。
Claims (8)
- チタン合金材料を研磨するためのチタン合金材料研磨用組成物であって、前記チタン合金材料の全質量に対して0.5質量%より多い含有量で存在するチタン以外の金属元素の少なくとも1種を、チタンよりも高い溶解度で溶解させる機能を有する化合物、および砥粒を含有する、チタン合金材料研磨用組成物。
- 前記化合物は、酸性化合物、またはその塩である、請求項1に記載のチタン合金材料研磨用組成物。
- 前記化合物は、有機酸化合物、またはその塩である、請求項1または2に記載のチタン合金材料研磨用組成物。
- 前記砥粒は、金属酸化物である、請求項1から3のいずれか1項に記載のチタン合金材料研磨用組成物。
- 前記砥粒は、アルミナである、請求項1から4のいずれか1項に記載のチタン合金材料研磨用組成物。
- 前記チタン以外の金属元素の少なくとも1種が、アルミニウムであることを特徴とする、請求項1から5のいずれか1項に記載のチタン合金材料研磨用組成物。
- チタン合金材料中にチタン合金材料の全質量に対して0.5質量%より多い含有量で存在するチタン以外の金属元素の少なくとも1種を、チタンよりも高い溶解度で溶解させる機能を有する化合物、および砥粒を混合する工程を含む、チタン合金材料研磨用組成物の製造方法。
- 研磨パッドとチタン合金材料との間に請求項1〜6のいずれか1項に記載のチタン合金材料研磨用組成物、または請求項7に記載の製造方法により得られたチタン合金材料研磨用組成物を供給することと、
前記研磨パッドを前記チタン合金材料に押し当てることと、
前記研磨パッドおよび/または前記チタン合金材料を回転または移動させて前記チタン合金材料を研磨することと、
を含む、研磨済チタン合金材料の製造方法。
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