JPWO2015181879A1

JPWO2015181879A1 - ガス分析計

Info

Publication number: JPWO2015181879A1
Application number: JP2016523000A
Authority: JP
Inventors: 幸造赤尾; 亮一東; 谷口　裕; 裕谷口; 和裕小泉; 平山　紀友; 紀友平山
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 2014-05-27
Filing date: 2014-05-27
Publication date: 2017-04-20
Anticipated expiration: 2034-05-27
Also published as: JP6024856B2; WO2015181879A1; CN105556284A; CN105556284B

Abstract

簡易な構成でサンプルガスに含まれる一酸化窒素ガス（ＮＯガス）および二酸化窒素ガス（ＮＯ２ガス）の２成分、または二酸化硫黄ガス（ＳＯ２ガス）を加えた３成分のガス濃度を計測可能とするガス分析計を提供する。供給されるオゾンガス（Ｏ３ガス）のガス濃度ｃ０から、測定されたオゾンガス（Ｏ３ガス）のガス濃度ｃ３を、減じて算出された反応消費時のガス濃度が、測定対象ガス中の一酸化窒素ガス（ＮＯガス）のガス濃度ｃ１に五酸化二窒素ガス（Ｎ２Ｏ５ガス）のガス濃度（ｃ１＋ｃ２−ｃｍ）／２を加えたガス濃度に等しいことに基づいて、算出されたｃ０、ｃｍ、ｃ３、ｃ２、から一酸化窒素ガス（ＮＯガス）のガス濃度ｃ１を算出するガス分析計とした。

Description

本発明は、サンプルガスに含まれる複数ガスのガス濃度を測定するガス分析計に関する。

ガス分析計の従来技術が、例えば、特許文献１に開示されている。この従来技術について、図を参照しつつ説明する。図１２は、特許文献１に記載の従来技術の吸光分析計である。
吸光分析計３００は、サンプルガスに含まれるＮＯ_２ガス（二酸化窒素ガス）濃度を紫外吸収法により測定する。吸光分析計３００は、紫外光源３０１と、可視光源３０２と、リファレンスセル３０３と、サンプルセル３０４と、光案内機構３０５と、光検出部３０６と、制御部３０７と、演算部３０８と、を備えている。

紫外光源３０１は、紫外光を発光する発光ダイオードである。この紫外光の中心発光波長は波長３６０〜４００ｎｍであり、図１３の波長−吸光係数特性図で示すように、ＮＯ_２ガスの吸光波長帯域内に含まれる。このような紫外光をＮＯ_２ガスに照射すると、ＮＯ_２ガスによる吸光が行われる。

可視光源３０２は、可視光を発光する発光ダイオードである。この可視光の中心発光波長は、紫外光の波長よりも大きく、図１３の波長−吸光係数特性図で示すように、ＮＯ_２ガスの吸光波長帯域内に含まれるが、紫外光の中心波長とは異なる。このような可視光をＮＯ_２ガスに照射するとＮＯ_２ガスによる吸光が行われるが、上記のＮＯ_２ガスによる紫外光の吸光と比較すると、ＮＯ_２ガスによる可視光の吸光が小さくなるように、可視光源３０２の波長が設定される。

リファレンスセル３０３は、基準ガスが封入されている。この基準ガスは例えば窒素ガスである。窓３０３ａ、３０３ｂを通じて紫外光や可視光が入射される。

サンプルセル３０４は、測定対象であるサンプルガスが供給される。窓３０４ａ、３０４ｂを通じて紫外光や可視光が入射される。サンプルガスは、ガス入口３０４ｃを通じてサンプルセル３０４内に流入し、ガス出口３０４ｄを通じて流出する。

光案内機構３０５は、ミラー３０５ａ、ハーフミラー３０５ｂを備える。紫外光源３０１からの紫外光や可視光源３０２からの可視光がハーフミラー３０５ｂおよびミラー３０５ａで反射し、リファレンスセル３０３の窓３０３ａを介してリファレンスセル３０３内に一端側から導入される。また、紫外光源３０１からの紫外光や可視光源３０２からの可視光が、ハーフミラー３０５ｂを透過し、サンプルセル３０４の窓３０４ａを介してサンプルセル３０４内に一端側から導入される。サンプルセル３０４内ではＮＯ_２ガスによる吸光が行われる。

光検出部３０６は、光検出器３０６ａ、３０６ｂを備える。光検出器３０６ａは、リファレンスセル３０３の他端側に設けられ、このリファレンスセル３０３の窓３０３ｂを透過した紫外光や可視光を検出する。光検出器３０６ｂは、サンプルセル３０４の他端側に設けられ、サンプルセル３０４の窓３０４ｂを透過した紫外光や可視光を検出する。

制御部３０７は、紫外光源３０１および可視光源３０２を時分割発光させる。光検出部３０６は、リファレンスセル３０３およびサンプルセル３０４を透過する２波長の透過光を得る。これにより二光路、二波長を有することとなり、紫外透過光のサンプル信号、可視透過光のサンプル信号、紫外透過光のリファレンス信号、および、可視透過光のリファレンス信号という４つの信号を得る。

演算部３０８は、光検出部３０６からの４つの信号を制御部３０７経由で受信し、この４つの信号に基づいてＮＯ_２ガス濃度を演算する。これにより、紫外光源３０１および可視光源３０２のドリフトの補償、測定成分以外の他成分干渉の補正、サンプルセル３０４の透過窓３０４ａ、３０４ｂの汚れや曇りによる光量低下の補正、感度ドリフトの補正、を可能とする。これら補正を行った上でＮＯ_２ガス濃度を算出することができ、測定精度を向上させている。

特開２０１１−１４９９６５号公報（発明の名称「吸光分析計」）

しかしながら、上記の従来技術は、測定可能なガス成分が１種類に限られていた。したがって、２種類以上のガスの濃度を吸光法によって測定するためには、あるガスを吸光する波長を発光する発光手段と、この光を受光する受光手段と、が、それぞれガス別に複数個必要となる。このように従来技術では２種類以上のガスの濃度を測定するには、構成が多くなるという課題があった。

また、従来技術では、測定しようとするガスが１種類であっても、ＳＯ_２ガス（二酸化硫黄ガス）やＮＯガス（一酸化窒素ガス）を測定できなかった。例えば図１３に示すように、紫外波長領域のＮＯガスの吸光では、ＳＯ_２ガスおよびＮＯ_２ガスの吸光もあり、他のガスの影響を受ける。また、紫外波長領域のＳＯ_２ガスの吸光では、ＮＯ_２ガスの吸光もあり、他のガスの影響を受ける。

さらに、可視波長領域（波長４００ｎｍ以上）のＮＯ_２ガスの吸光波長では、ＮＯガスおよびＳＯ_２ガスの吸光はなく、可視透過光にＮＯガスおよびＳＯ_２ガスについての情報が含まれていない。したがって、ＮＯガスやＳＯ_２ガスによる干渉を補正すること、または、ＮＯガスやＳＯ_２ガスの濃度測定に利用することが不可能である。
このようにサンプルガスにＮＯガスおよびＳＯ_２ガスのガス成分が含まれている場合には、従来技術では、これらのＮＯガスおよびＳＯ_２ガスのガス成分の分析が困難であった。

また、ＮＯガスを吸光により測定する場合、図１３に示すように波長２２６ｎｍ以下の波長で発光する光源が必要となる。この波長領域で発光する光源は、重水素ランプやキセノンランプなどのランプ光源、または、窒化アルミニウム系化合物半導体（ＡｌＧａＮなど）を用いた発光ダイオードに限られる。

前者の重水素ランプやキセノンランプなどのランプ光源は、光源の発熱や寿命、安定性に問題があるうえ、波長フィルタなどの光学系を追加する必要があり、装置が大型、複雑である。

後者の発光ダイオードは、ランプ光源と比べて装置の小型化や簡略化が可能であるが、光パワーが不足し、寿命も短い。また、波長２２６ｎｍ以下の波長領域においては、ＳＯ_２ガス、ＮＯ_２ガス以外にもさまざまなガスの吸光があり、それらの干渉を除去することは困難である。

そこで本発明は、上記の課題を全て解決するためになされたものであり、その目的は、簡易な構成でサンプルガスに含まれる少なくとも一酸化窒素ガス（ＮＯガス）および二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）の２成分のガス濃度を計測可能とするガス分析計を提供することにある。
好ましくは、二酸化硫黄ガス（ＳＯ_２ガス）、一酸化窒素ガス（ＮＯガス）および二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）の３成分のガス濃度を計測可能とするガス分析計を提供することにある。

本発明は、
サンプルガスに含まれる一酸化窒素ガス（ＮＯガス）および二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）の２成分のガス濃度を測定するガス分析計であって、
サンプルガスに含まれる一酸化窒素ガス（ＮＯガス）をオゾンの酸化により全て二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）に反応させ、さらに二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）の一部をオゾンの酸化により五酸化二窒素ガス（Ｎ_２Ｏ_５ガス）に反応させた測定対象ガスとして出力する酸化出力と、サンプルガスを無反応のまま測定対象ガスとして出力する通常出力と、を行うガス調整部と、
二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）が吸光する紫外領域から可視領域までの波長のＮＯ_２ガス吸光用照射光を照射するＮＯ_２ガス吸光用発光部と、
オゾンガス（Ｏ_３ガス）および二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）が吸光する紫外領域の波長のＯ_３ガス吸光用照射光を照射するＯ_３ガス吸光用発光部と、
ＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光の一部を反射し、残りを透過する部分反射部と、
ガス調整部からの測定対象ガスが流通する検出空間と、部分反射部を透過したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を検出空間へ入射させる光透過窓と、を有するガス流通セルと、
光透過窓を透過しガス流通セル内を伝播したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を受光する透過光受光部と、
部分反射部で反射したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を受光する基準光受光部と、
ガス調整部、ＮＯ_２ガス吸光用発光部、Ｏ_３ガス吸光用発光部、透過光受光部および基準光受光部と接続される信号処理・駆動制御部と、
を備え、
この信号処理・駆動制御部は、
ガス調整部を酸化出力状態に制御してＮＯ_２ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）のガス濃度ｃ_ｍを算出し、
ガス調整部を酸化出力状態に制御してＯ_３ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、オゾンガス（Ｏ_３ガス）のガス濃度ｃ_３を算出し、
ガス調整部を通常出力状態に制御してＮＯ_２ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）のガス濃度ｃ_２を算出し、
供給されるオゾンガス（Ｏ_３ガス）のガス濃度ｃ_０から、測定されたオゾンガス（Ｏ_３ガス）のガス濃度ｃ_３を、減じて算出された反応消費時のガス濃度が、測定対象ガス中の一酸化窒素ガス（ＮＯガス）のガス濃度ｃ_１に五酸化二窒素ガス（Ｎ_２Ｏ_５ガス）のガス濃度（ｃ_１＋ｃ_２−ｃ_ｍ）／２を加えたガス濃度に等しいことに基づいて、算出されたｃ_０、ｃ_ｍ、ｃ_３、ｃ_２、から一酸化窒素ガス（ＮＯガス）のガス濃度ｃ_１を算出するようなガス分析計とした。

また、本発明は、
サンプルガスに含まれる一酸化窒素ガス（ＮＯガス）、二酸化窒素ガス（ＮＯ_２）および二酸化硫黄ガス（ＳＯ_２ガス）の３成分のガス濃度を測定するガス分析計であって、
サンプルガスに含まれる一酸化窒素ガス（ＮＯガス）をオゾンの酸化により全て二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）に反応させ、さらに二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）の一部をオゾンの酸化により五酸化二窒素ガス（Ｎ_２Ｏ_５ガス）に反応させた測定対象ガスとして出力する酸化出力と、サンプルガスを無反応のまま測定対象ガスとして出力する通常出力と、を行うガス調整部と、
二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）が吸光する紫外領域から可視領域までの波長のＮＯ_２ガス吸光用照射光を照射するＮＯ_２ガス吸光用発光部と、
オゾンガス（Ｏ_３ガス）、二酸化硫黄ガス（ＳＯ_２ガス）および二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）が吸光する紫外領域の波長のＯ_３ガス吸光用照射光を照射するＯ_３ガス吸光用発光部と、
ＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光の一部を反射し、残りを透過する部分反射部と、
ガス調整部からの測定対象ガスが流通する検出空間と、部分反射部を透過したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を検出空間へ入射させる光透過窓と、を有するガス流通セルと、
光透過窓を透過しガス流通セル内を伝播したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を受光する透過光受光部と、
部分反射部で反射したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を受光する基準光受光部と、
ガス調整部、ＮＯ_２ガス吸光用発光部、Ｏ_３ガス吸光用発光部、透過光受光部および基準光受光部と接続される信号処理・駆動制御部と、
を備え、
この信号処理・駆動制御部は、
ガス調整部を酸化出力状態に制御してＮＯ_２ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）のガス濃度ｃ_ｍを算出し、
ガス調整部を酸化出力状態に制御してＯ_３ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、オゾンガス（Ｏ_３ガス）のガス濃度ｃ_３および二酸化硫黄ガス（ＳＯ_２ガス）のガス濃度ｃ_ｓを算出し、
ガス調整部を通常出力状態に制御してＮＯ_２ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）のガス濃度ｃ_２を算出し、
ガス調整部を通常出力状態に制御してＯ_３ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、二酸化硫黄ガス（ＳＯ_２ガス）のガス濃度ｃ_ｓを算出し、
供給されるオゾンガス（Ｏ_３ガス）のガス濃度ｃ_０から、測定されたオゾンガス（Ｏ_３ガス）のガス濃度ｃ_３を、減じて算出された反応消費時のガス濃度が、測定対象ガス中の一酸化窒素ガス（ＮＯガス）のガス濃度ｃ_１に五酸化二窒素ガス（Ｎ_２Ｏ_５ガス）のガス濃度（ｃ_１＋ｃ_２−ｃ_ｍ）／２を加えたガス濃度に等しいことに基づいて、算出されたｃ_０、ｃ_ｍ、ｃ_３、ｃ_２、から一酸化窒素ガス（ＮＯガス）のガス濃度ｃ_１を算出するようなガス分析計とした。

そして、好ましくは、
前記基準光受光部、前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部および前記Ｏ_３ガス吸光用発光部と接続される補正部を有し、
前記基準光受光部は、部分反射部により一部反射したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を受光して検出信号を補正部へ出力し、
補正部は、この検出信号に基づいて変動を抑止するような駆動電流を前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部および前記Ｏ_３ガス吸光用発光部へ出力するようなガス分析計にするとよい。

また、好ましくは、
前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部からのＮＯ_２ガス吸光用照射光を集光して前記ガス流通セルへ入射させるレンズおよび前記Ｏ_３ガス吸光用発光部からのＯ_３ガス吸光用照射光を集光して前記ガス流通セルへ入射させるレンズを備えるようなガス分析計にするとよい。

また、好ましくは、
前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部および前記Ｏ_３ガス吸光用発光部を隣接させて一体収容した発光部と、
前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部からのＮＯ_２ガス吸光用照射光および前記Ｏ_３ガス吸光用発光部からのＯ_３ガス吸光用照射光を集光して前記ガス流通セルへ入射させるレンズと、
を備えるようなガス分析計にするとよい。

また、好ましくは、
前記ガス流通セルを透過した後のＮＯ_２ガス吸光用照射光および前記ガス流通セルを透過した後のＯ_３ガス吸光用照射光を集光するレンズを備えるようなガス分析計にするとよい。

また、好ましくは、
前記ガス流通セルは一方に光透過窓を、また、他方に反射部を備え、光透過窓を透過してＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を反射部で反射させた後に光透過窓を通過するようにして検出空間内を往復させ、前記部分反射部で反射させたＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を前記透過光受光部が検出するようなガス分析計にするとよい。

また、好ましくは、
前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部、前記Ｏ_３ガス吸光用発光部および前記透過光受光部を隣接させて一体収容した発受光部を更に備え、
前記ガス流通セルは一方に光透過窓を、また、他方に反射部を有するようになされており、
光透過窓を透過して発受光部から発せられたＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を反射部で反射させた後に光透過窓を通過するようにして検出空間内を往復させ、前記部分反射部を透過したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を発受光部の前記透過光受光部が検出するようなガス分析計にするとよい。

また、好ましくは、
前記信号処理・駆動制御部は、前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部および前記Ｏ_３ガス吸光用発光部の出力と停止とを交互に行うパルスであって停止より出力が短くなるようなデューティー比の駆動電流とするようなガス分析計にするとよい。

本発明によれば、簡易な構成でサンプルガスに含まれる少なくとも一酸化窒素ガス（ＮＯガス）および二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）の２成分のガス濃度を計測可能とするガス分析計を提供することができる。
加えて、二酸化硫黄ガス（ＳＯ_２ガス）、一酸化窒素ガス（ＮＯガス）および二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）の３成分のガス濃度を計測可能とするガス分析計を提供することができる。

本発明を実施するための形態に係るガス分析計の全体構成図である。ＮＯガス、ＮＯ_２ガス、ＳＯ_２ガス、Ｏ_３ガスの可視領域および紫外領域における吸光係数を示す波長−吸光係数特性図である。本発明を実施するための他の形態に係るガス分析計の全体構成図である。本発明を実施するための他の形態に係るガス分析計の一部構成図である。本発明を実施するための他の形態に係るガス分析計の一部構成図である。本発明を実施するための他の形態に係るガス分析計の一部構成図である。本発明を実施するための他の形態に係るガス分析計の一部構成図である。本発明を実施するための他の形態に係るガス分析計の一部構成図である。発光ダイオードのデューティー比−許容電流特性を示す特性図である。パルス信号によって生成された発光ダイオードの駆動信号の時間変化の説明図である。小デューティー比パルス信号によって生成された発光ダイオードの駆動信号の時間変化の説明図である。従来技術の吸光分析計の構成図である。ＮＯガス、ＮＯ_２ガス、ＳＯ_２ガスの可視領域および紫外領域における吸光係数を示す波長−吸光係数特性図である。

続いて、本発明を実施するための第１の形態に係るガス分析計について、図を参照しつつ以下に説明する。図１は、本形態のガス分析計の全体構成図である。なお、本形態ではサンプルガスに一酸化窒素ガス（以下単にＮＯガスという）および二酸化窒素ガス（以下、単にＮＯ_２ガスという）の２成分は含まれるが二酸化硫黄ガス（以下単にＳＯ_２ガスという）は含まれないものとする。ガス分析計は、これらＮＯガスおよびＮＯ_２ガスについて分析する。図１において、太い実線の矢印はガスの流通経路を、点線の矢印は光の経路を、細い実線の矢印は電気信号の経路を、それぞれ示す。

まず、本形態のガス分析計１００が備える構成要素とそれらの機能について説明する。ガス分析計１００は、図１で示すように、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１、Ｏ_３ガス吸光用発光部１２、部分反射部１３、ガス流通セル２１、透過光受光部３１、基準光受光部３２、ガス調整部４１、ガス吸引部５１、信号処理・駆動制御部６１を備える。

ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１は、ＮＯ_２ガスが吸光する波長であって、かつＯ_３ガスが吸光しない波長のＮＯ_２ガス吸光用照射光を発光する発光部である。例えば、紫外光から可視光にまたがる領域の波長３５０ｎｍ〜５００ｎｍに中心発光波長を有する照射光の発光ダイオード（ＬＥＤ）を選ぶことができる。図２に示されるように、この波長領域においてはＮＯ_２ガスのみが吸光する。

Ｏ_３ガス吸光用発光部１２は、Ｏ_３ガスが吸光する波長のＯ_３ガス吸光用照射光を発光する発光部である。例えば、紫外光領域の波長２４０ｎｍ〜３３０ｎｍに中心発光波長を有する照射光の発光ダイオード（ＬＥＤ）を選ぶことができる。なお、図２に示されるように、この波長領域においてはＯ_３ガスが吸光するのみならずＮＯ_２ガスも吸光する。なお、ＳＯ_２ガスは存在しないので考慮しない。

部分反射部１３はハーフミラーであり、所定透過率でＮＯ_２ガス吸光用照射光やＯ_３ガス吸光用照射光（以下単に照射光というときはＮＯ_２ガス吸光用照射光とＯ_３ガス吸光用照射光と両方を含めるものとする。なお、ＮＯ_２ガス吸光用照射光とＯ_３ガス吸光用照射光は同時に出力されることはなく、例えば時間別にそれぞれが単独で出力される）を透過させ、また、所定反射率で照射光を反射させる。

ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２から照射された照射光は、部分反射部１３に入射する。部分反射部１３において、照射光の一部は反射し、照射光の残りは透過する。部分反射部１３で反射した照射光は基準光受光部３２へ入射される。また、部分反射部１３を透過した照射光はガス流通セル２１へ入射される。

ガス流通セル２１は、さらに管２２、光透過窓２３，２４、検出空間２５、ガス流入口２６、ガス流出口２７を備える。

管２２は、筒体である。管２２の内面は、例えば研磨されたステンレスの内面とすることができる。これにより測定対象ガスの吸着を防ぎつつ、照射光の反射率を良好に保つことができる。管２２内では、照射光は、管２２の内面により反射しつつ伝播する。

光透過窓２３、光透過窓２４は、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２から照射される照射光の発光波長領域において光透過性を示す材料で作られている。例えば、合成石英、フッ化カルシウムを材料とすることができる。

検出空間２５は、管２２、光透過窓２３、および、光透過窓２４により区画された閉空間である。
ガス流入口２６、ガス流出口２７はこの検出空間２５と連通する。測定対象ガスは、ガス流入口２６から検出空間２５へ流入し、ガス流出口２７から流出する。
このようなガス流通セル２１内では、流通する測定対象ガスに照射光が照射されて吸光が起こる。

透過光受光部３１は、ガス流通セル２１を透過した照射光を受光して光強度に応じた検出信号を出力する。透過光受光部３１には、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２から照射される照射光の発光波長に対して感度を有するような、フォトダイオードや光電子増倍管などを選ぶことができる。例えば、シリコンフォトダイオードを選ぶことができる。

このような透過光受光部３１は、測定対象ガスによる吸光を検出する機能を有する。すなわち、測定対象ガスによる吸光が無い場合と比較して、吸光がある場合は透過光受光部３１で受光される照射光の光強度が減少するために、その光強度の減少量とガス濃度との相関を利用してガス濃度を測定する。

このように部分反射部１３を透過した照射光がガス流通セル２１の一端を構成する光透過性の光透過窓２３を透過し、管２２の内部の検出空間２５を伝播し、もう一端を構成する光透過性の光透過窓２４を透過し、透過光受光部３１に入射する。

基準光受光部３２は、部分反射部１３で反射した照射光を受光するために設けられている。基準光受光部３２には、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２から照射される照射光の発光波長に対して感度を有する、フォトダイオードや光電子増倍管などを選ぶことができる。例えば、シリコンフォトダイオードを選ぶことができる。

基準光受光部３２は、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２から照射される照射光の変動を検出する機能を有する。照射光の変動がある場合には基準光受光部３２で受光される照射光の光強度が変動する。この光強度の変動量を利用してガス濃度の補正が行われる。

ガス調整部４１は、さらにオゾン発生部４２、ガス混合部４３を備えている。

オゾン発生部４２は、オゾンガスを発生する機能を有する。オゾン発生部４２に酸素を含む大気、計装空気、または、酸素ガス（Ｏ_２ガス）などの原料ガスＧ_Ｏが流入する。オゾン発生部４２は、信号処理・駆動制御部６１により動作制御がなされている。オゾン発生部４２の動作時では、オゾン発生部４２は、無声放電などの電気的な手段により、原料ガスＧ_ＯのＯ_２ガスを用いてＯ_３ガスを生成し、Ｏ_３ガスを充分に含む原料ガスＧ_Ｏを流出させる。不動作時では、オゾン発生部４２は、Ｏ_３ガスを生成せずに原料ガスＧ_Ｏをそのまま通過させる。このように信号処理・駆動制御部６１が、オゾン発生部４２の動作・不動作の動作制御を行う。

ガス混合部４３は、サンプルガスＧ_Ｓとオゾン発生部４２からの原料ガスＧ_Ｏ（動作時ではＯ_３ガスを大量に含む原料ガスＧ_Ｏであり、また、不動作時ではＯ_３ガスを含まない原料ガスＧ_Ｏである）を混合するために設けられている。

オゾン発生部４２の動作時には、後述するがガス混合部４３においてＯ_３ガスの一部とサンプルガスＧ_Ｓの一部とで化学反応が発生して反応ガスが生成され、この反応ガス、余剰のＯ_３ガス、余剰の原料ガスＧ_Ｏおよび余剰のサンプルガスＧ_Ｓを測定対象ガスとして流出させる。

また、オゾン発生部４２の不動作時には、オゾン発生部４２からの原料ガスＧ_ＯとサンプルガスＧ_Ｓとをそのまま混合して流出させる。

また、後述するが、ガス混合部４３は、ゼロガスＧ_ＺＥＲＯやスパンガスＧ_ＳＰＡＮが流入したとき、そのまま測定対象ガスとして流出させる。このガス混合部４３から流出した測定対象ガスは、ガス流入口２６からガス流通セル２１内の検出空間２５を流通し、ガス流出口２７から流出する。

ガス吸引部５１は、ガスを吸引する機能を有している。ガス流通セル２１の検出空間２５内を排気することで検出空間２５内へガス混合部４３からの測定対象ガスを引き入れる。なお、このガス吸引部５１は、ガス混合部４３とガス流入口２６との間に設けることもできる。

信号処理・駆動制御部６１は、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２を発光させるために必要な駆動電流を供給する機能を有する。また、信号処理・駆動制御部６１は、透過光受光部３１および基準光受光部３２からの受光信号に基づいてガス濃度を算出するための受光信号処理機能を有する。また、信号処理・駆動制御部６１は、オゾン発生部４２の動作・不動作を切り替える制御機能を有する。
ガス分析計１００の構成はこのようなものである。

続いて、ガス分析計１００による分析について説明する。まず、吸光による測定の原理について説明する。測定の原理は、下記のランベルト−ベールの法則に基づく吸光法である。

［数１］
Ｐ_１＝Ｐ_０・ｅｘｐ（−ε・ｃ・Ｌ）

ここで、Ｐ_１は検出空間２５内を流通する測定対象ガスを透過した透過光の出力強度、Ｐ_０は測定対象ガスを透過する前の基準光の出力強度、εはモル吸光係数、ｃはガス濃度、Ｌは光路長を表す。モル吸光係数εはガスの種類と光源の波長とを決めると一意に決まり、また、光路長Ｌは一定であるため、出力強度Ｐ_１とＰ_０の比はガス濃度ｃの指数関数となる。出力強度Ｐ_１とＰ_０とを測定し、上記の数１によりガス濃度を検出するというものである。

ガス分析計１００においてＮＯ_２ガス吸光用照射光かＯ_３ガス吸光用照射光かいずれか一方である照射光が照射される。このときの照射光の一部は、部分反射部１３によって既知の一定の反射率で反射し、基準光受光部３２に入射する。この基準光受光部３２の信号から基準光による出力強度Ｐ_０を求めることができる。また、照射光の一部は、部分反射部１３を既知の一定の透過率で透過し、光透過窓２３を経て検出空間２５を伝播し、吸光を受けた後に光透過窓２４を経て透過光受光部３１に入射する。この透過光受光部３１の信号から透過光による出力強度Ｐ_１を求めることができる。したがって、出力強度Ｐ_１とＰ_０の比からガス濃度ｃを求めることができる。この原理は、ＮＯ_２ガス吸光用照射光による分析とＯ_３ガス吸光用照射光による分析との両方に適用できる。検出原理はこのようなものとなる。

なお、透過光受光部３１および基準光受光部３２は、ＮＯ_２ガス濃度およびＯ_３ガス濃度の測定時に共通に利用される。したがって、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２が同時に発光すると、受光信号が両者の和になってしまい分離できなくなる。

そこで、信号処理・駆動制御部６１は、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２を同時には発光させないで、交互に発光させるように制御する。また、受光信号の測定および処理も上記の発光期間に同期するように行うことで、信号を分離している。吸光による測定はこのようなものである。

このような測定は、オゾン発生部４２を動作状態としてガス調整部４１を酸化出力としたときと、オゾン発生部４２を不動作状態としてガス調整部４１を通常出力としたときと、でそれぞれ行われる。したがって、このようなガス分析計１００は、
（ａ）酸化出力時のＮＯ_２ガス吸光用照射光による分析、
（ｂ）酸化出力時のＯ_３ガス吸光用照射光による分析、
（ｃ）通常出力時のＮＯ_２ガス吸光用照射光による分析、
（ｄ）通常出力時のＯ_３ガス吸光用照射光による分析、
という４種類の分析が可能である。

次に、このガス分析計１００によってサンプルガスＧ_Ｓ中に含まれるＮＯガス、ＮＯ_２ガスの２成分のガス濃度を測定する方法について説明する。ＮＯガス、ＮＯ_２ガスの２成分のガス濃度を計測する場合は、上記の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の分析を行い、これらで得た測定値を用いてガス濃度を算出する。

まず、（ａ）酸化出力時のＮＯ_２ガス吸光用照射光による分析を行うものとして説明する。オゾン発生部４２を動作状態としてガス調整部４１を酸化出力させた上での測定である。この際に、酸化出力時のＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍを求める。

オゾン発生部４２は動作状態である。このとき、オゾン発生部４２は、大気、計装エア、または酸素ガスなどの原料ガスＧ_０に含まれているＯ_２ガスからオゾンガス（以下、単にＯ_３ガスという）を生成する。Ｏ_３ガスの発生量は、適宜定めることができるが、少なくともＮＯガスの測定濃度レンジにおける最大量よりも過剰に供給する。オゾン発生部４２からガス混合部４３へ、Ｏ_３ガスを充分に含む原料ガスＧ_Ｏを供給する。

ガス混合部４３においてＯ_３ガスを充分に含む原料ガスＧ_ＯとサンプルガスＧ_Ｓとが混合される。ここで、サンプルガスＧ_Ｓ中の全てのＮＯガスと、一部のＯ_３ガスと、が以下のような化学反応を起こす。

［化１］
ＮＯ＋Ｏ_３ → ＮＯ_２＋Ｏ_２・・・化学反応式（１）

オゾン発生部４２から供給するＯ_３ガス量が、サンプルガスＧ_Ｓ中のＮＯガス量に対して過剰であることから、サンプルガスＧ_Ｓ中のＮＯガスは、化学反応式（１）にしたがって、全てＮＯ_２ガスに変換される。

さらに、この化学反応式（１）で使用されなかった余剰のＯ_３ガスは、サンプルガスＧ_Ｓ中に元より含まれていたＮＯ_２ガスの一部、および、化学反応式（１）にしたがって生成したＮＯ_２ガスの一部、と以下のような化学反応を起こす。

［化２］
２ＮＯ_２＋Ｏ_３ → Ｎ_２Ｏ_５＋Ｏ_２・・・化学反応式（２）

このように、ガス混合部４３において、サンプルガスＧ_Ｓ中のＮＯガスは全てＮＯ_２ガスに変換される。さらに、サンプルガスＧ_Ｓ中のＮＯ_２ガスの一部、および、化学反応式（１）によって生成したＮＯ_２ガスの一部はＮ_２Ｏ_５ガスに変換される。したがって、ＮＯ_２ガスのガス量は、サンプルガスＧ_Ｓ中のＮＯより生成したＮＯ_２ガスのガス量と、サンプルガスＧ_Ｓ中のＮＯ_２ガスのガス量との和から、さらにＮ_２Ｏ_５ガスのガス量の２倍を減じたものとなっている。これは化学反応式（２）により、反応後のＮ_２Ｏ_５ガス量がＮＯ_２ガスのガス量の半分になるためである。さらに余剰のＯ_３ガスが一部残留している。

このようにガス調整部４１は、サンプルガスＧ_Ｓに含まれるＮＯガスをＯ_３ガスにより酸化して全てＮＯ_２ガスに反応させた測定対象ガスとして出力する酸化出力を行う。これらのようなＮＯ_２ガス、Ｎ_２Ｏ_５ガス、余剰のＯ_３ガス、余剰の原料ガスＧ_Ｏおよび余剰のサンプルガスＧ_Ｓを含む測定対象ガスがガス流通セル２１へ導入される。

続いて、酸化出力時におけるガス分析計１００のＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍの算出について説明する。ＮＯ_２ガス濃度測定時ではＮＯ_２ガス吸光用発光部１１のみ発光する。ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１からのＮＯ_２ガス吸光用照射光は、部分反射部１３によって既知の一定の反射率によって反射され、基準光受光部３２に入射する。したがって基準光受光部３２の信号から出力強度Ｐ_０を求めることができる

また、部分反射部１３を透過して光透過窓２３を経てガス流通セル２１内の検出空間２５に入射したＮＯ_２ガス吸光用照射光は、検出空間２５を伝播しながら、ＮＯ_２ガスによって吸光される。このような吸光されたＮＯ_２ガス吸光用照射光が、光透過窓２４を透過し、透過光受光部３１に入射する。したがって、透過光受光部３１の信号から出力強度Ｐ_１を求めることができる。

なお、このように受光素子として透過光受光部３１および基準光受光部３２を用いることにより、単に濃度を測定できるだけでなく、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１の出力がさまざまな要因で変動しても、２個の受光信号の比を算出することにより濃度測定の誤差を低減できるという効果がある。

透過光受光部３１、基準光受光部３２からの出力信号は、信号処理・駆動制御部６１に伝送される。信号処理・駆動制御部６１は、上記の数式１に基づいて、ガス流通セル２１の検出空間２５内におけるＮＯ_２ガス濃度を算出する。なお、Ｏ_３ガスを生成するための原料ガスＧ_Ｏがガス混合部４３において混合されているため、ＮＯ_２ガス濃度は原料ガスＧ_ＯとサンプルガスＧ_Ｓの流量混合比に応じて希釈されている。そこで、ガス混合部４３での流量混合比を乗じることにより、サンプルガスＧ_Ｓに含まれているＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍを算出する。

次に、ガス分析計１００による反応後に残留するＯ_３ガス濃度ｃ_３の算出について説明する。これは（ｂ）酸化出力時のＯ_３ガス吸光用照射光による分析である。酸化出力時では、上記のようなＮＯ_２ガス、Ｎ_２Ｏ_５ガス、余剰のＯ_３ガス、余剰の原料ガスＧ_Ｏおよび余剰のサンプルガスＧ_Ｓを含む測定対象ガスがガス流通セル２１へ導入される。

Ｏ_３ガス濃度測定時ではＯ_３ガス吸光用発光部１２のみ発光する。Ｏ_３ガス吸光用発光部１２からのＯ_３ガス吸光用照射光は、部分反射部１３によって既知の一定の反射率によって反射され、基準光受光部３２に入射する。したがって基準光受光部３２の信号から出力強度Ｐ_０を求めることができる。

また、部分反射部１３を透過して光透過窓２３を経てガス流通セル２１内の検出空間２５に入射したＯ_３ガス吸光用照射光は、検出空間２５を伝播しながら、Ｏ_３ガスおよびＮＯ_２ガスによって吸光される。このような吸光されたＯ_３ガス吸光用照射光が、光透過窓２４を透過し、透過光受光部３１に入射する。したがって、透過光受光部３１の信号から出力強度Ｐ_１を求めることができる。ただし、この出力強度Ｐ_１はＮＯ_２ガスによる吸光も含んでいる。

なお、このように受光素子として透過光受光部３１および基準光受光部３２を用いることにより、単に濃度を測定できるだけでなく、Ｏ_３ガス吸光用発光部１２の出力がさまざまな要因で変動しても、２個の受光信号の比を算出することにより濃度測定の誤差を低減できるという効果がある。

透過光受光部３１、基準光受光部３２からの出力信号は、信号処理・駆動制御部６１に伝送される。信号処理・駆動制御部６１では出力強度Ｐ_０、Ｐ_１を算出し、数式１に基づいて、Ｏ_３ガス濃度＋ＮＯ_２ガス濃度を算出し、さらにガス混合部４３での流量混合比を乗じることにより、サンプルガスＧ_Ｓに含まれているＯ_３ガス濃度ｃ_３＋ＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍを算出する。

続いて、オゾン発生部４２を不動作状態としてガス調整部４１を通常出力させた上での測定である。この際に、サンプルガスＧ_Ｓに含まれるＮＯ_２ガス濃度ｃ_２を求める。これは上記の（ｃ）通常出力時のＮＯ_２ガス吸光用照射光による分析である。

オゾン発生部４２は不動作状態である。このとき、前述のように原料ガスＧ_Ｏがオゾン発生部４２をそのまま通過し、ガス混合部４３においてサンプルガスＧ_Ｓと混合される。Ｏ_３ガスが存在しないため化学反応が起きることはなく、無反応の原料ガスＧ_ＯとサンプルガスＧ_Ｓとがそのままガス混合部４３から流出する。ガス調整部４１は無反応のサンプルガスＧ_Ｓと原料ガスＧ_Ｏとを測定対象ガスとして出力するという通常出力を行う。

このようにＯ_３ガスが存在しないために、ガス混合部４３で化学反応式（１）および化学反応式（２）で示される化学反応式は起きない。

この結果、ガス流通セル２１に流通するサンプルガスＧ_Ｓに含まれるガスの状態は、サンプルガスＧ_Ｓに含まれていたＮＯガス、ＮＯ_２ガスが全てそのままの状態となっている。また、原料ガスがガス混合部４３において混合されているため、ＮＯガス、ＮＯ_２ガスの各濃度は原料ガスＧ_ＯとサンプルガスＧ_Ｓの流量混合比に応じて希釈されている。このような原料ガスＧ_ＯとサンプルガスＧ_Ｓとがガス流通セル２１へ導入される。

そしてガス濃度の検出自体は先に説明したオゾン発生部４２の動作時（酸化出力時）と同様にして求められる。このようにしてＮＯ_２ガス濃度ｃ_２が算出される。

次に、オゾン発生部４２の動作時で酸化出力時のガス濃度と、不動作時で通常出力時のガス濃度と、の組み合わせにより、サンプルガスＧ_Ｓ中のＮＯガス濃度ｃ_１を算出する。
先に説明したように、
（ａ）酸化出力時のＮＯ_２ガス吸光用照射光による分析で算出されたＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍ、
（ｂ）酸化出力時のＯ_３ガス吸光用照射光による分析で算出されたＯ_３ガス濃度ｃ_３＋ＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍ
（ｃ）通常出力時のＮＯ_２ガス吸光用照射光による分析で算出されたＮＯ_２ガス濃度ｃ_２、
が測定されている。ここで、ＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍが判別しているため、Ｏ_３ガス濃度ｃ_３も判別している。

ここで、酸化出力状態のＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍは、測定対象ガスのうちで、サンプルガスＧ_Ｓに含まれていた元のＮＯガス濃度ｃ_１及び元のＮＯ_２ガス濃度ｃ_２の和から、Ｎ_２Ｏ_５ガス濃度の２倍を減じた濃度である。Ｎ_２Ｏ_５の生成には、２個のＮＯ_２が必要なためである。換言すれば、Ｎ_２Ｏ_５ガス濃度は元のＮＯガス濃度ｃ_１及び元のＮＯ_２ガス濃度ｃ_２の和から、ＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍを減じた濃度の１／２である。なお、オゾン発生部４２により供給されるＯ_３ガス濃度は、オゾン発生部４２が内蔵するオゾン計等により予め知ることができ、その値をｃ_０とする。

ここで、ｃ_０、ｃ_１、ｃ_２、ｃ_３、ｃ_ｍの関係は、次式のようになる。

［数２］
反応で消費されたＯ_３ガス濃度
＝供給されるＯ_３ガス濃度−測定されたＯ_３ガス濃度
＝ｃ_０−ｃ_３

ここで反応により消費されるＯ_３ガスは、ＮＯガスからＮＯ_２ガスへの反応に用いられ、さらにＮＯ_２ガスからＮ_２Ｏ_５ガスへの反応に用いられる。従って、次式のようになる。

［数３］
反応で消費されたＯ_３ガス濃度
＝測定対象ガス中のＮＯガス濃度＋測定対象ガス中のＮ_２Ｏ_５ガス濃度
＝ｃ_１＋（ｃ_１＋ｃ_２−ｃ_ｍ）／２

この二式は等しいため以下の式のようになる。

［数４］
ｃ_０−ｃ_３＝ｃ_１＋（ｃ_１＋ｃ_２−ｃ_ｍ）／２

したがって、ＮＯガス濃度ｃ_１は次式のようになる。

［数５］
ｃ_１＝｛２（ｃ_０−ｃ_３）−（ｃ_２−ｃ_ｍ）｝／３

上記（ａ）によりｃ_ｍが、上記（ｂ）によりｃ_３が、上記（ｃ）によりｃ_２が、それぞれ測定により算出される。また、ｃ_０は予め知り得ている。
これにより、ＮＯガス濃度ｃ_１を算出することができる。

このようにして、ＮＯガス濃度ｃ_１、ＮＯ_２ガス濃度ｃ_２を測定することができる。
これらの測定方法を組み合わせることにより、ＮＯガス、ＮＯ_２のガス濃度を測定することができる。

また、ガス濃度の校正のために、ゼロガスＧ_ＺＥＲＯまたはスパンガスＧ_ＳＰＡＮを用いることができる。ゼロガスＧ_ＺＥＲＯは、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２が吸光を示さないガス、例えば窒素ガス（Ｎ_２ガス）である。スパンガスＧ_ＳＰＡＮは、所望の測定レンジの最大濃度値で校正されたガスで、例えばＮＯガス、ＮＯ_２ガスが用いられる。

サンプルガスＧ_Ｓの供給を止め、その後にゼロガスＧ_ＺＥＲＯの供給を行ってゼロガスＧ_ＺＥＲＯ流通時の受光信号を測定して校正し、または、スパンガスＧ_ＳＰＡＮの供給を行ってスパンガスＧ_ＳＰＡＮ流通時の吸光された受光信号を測定して校正を行うことができる。この校正は随時実施できるが、構成部品の経年変化によってガス濃度指示値が変動することが想定される場合に行われ、正確な値を指示させる。
ガス分析計１００はこのようなものである。

続いて他の第２形態について説明する。本形態ではガス分析計としての構成は図１を用いて説明した先の第１形態と同じであるが分析対象が相違している。先の第１形態ではＮＯガス濃度ｃ_１、ＮＯ_２ガス濃度ｃ_２を算出したが、以上の測定と同時にＳＯ_２ガス濃度ｃ_Ｓの測定を併せて行う。本形態では、サンプルガスがＮＯガス、ＮＯ_２ガス、ＳＯ_２ガスを含み、これらのＮＯガス濃度ｃ_１、ＮＯ_２ガス濃度ｃ_２、ＳＯ_２ガス濃度ｃ_Ｓを測定するものである。

ＳＯ_２ガスの紫外線吸収スペクトルは、図２に示すように２７０ｎｍ〜３１０ｎｍ付近であり、Ｏ_３ガスの紫外線吸収スペクトルと重なっている。Ｏ_３ガス吸光用発光部１２の中心波長を２８０ｎｍ付近とすることにより、ＳＯ_２ガスの吸収信号を得ることが可能となる。

このような測定は、オゾン発生部４２を動作状態としてガス調整部４１を酸化出力としたときと、オゾン発生部４２を不動作状態としてガス調整部４１を通常出力としたときと、でそれぞれ行われる。したがって、このようなガス分析計１００は、
（ａ）酸化出力時のＮＯ_２ガス吸光用照射光による分析、
（ｂ）酸化出力時のＯ_３ガス吸光用照射光による分析、
（ｃ）通常出力時のＮＯ_２ガス吸光用照射光による分析、
（ｄ）通常出力時のＯ_３ガス吸光用照射光による分析、
という４種類の分析が可能であり、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の全ての分析を行い、これらで得た測定値を用いてガス濃度を算出する。

次に、このガス分析計１００によってサンプルガスＧ_Ｓ中に含まれるＮＯガス、ＮＯ_２ガスおよびＳＯ_２ガスの３成分のガス濃度を測定する方法について説明する。

オゾン発生部４２は動作状態である。このときは上記のようにガス調整部４１は、サンプルガスＧ_Ｓに含まれるＮＯガスをＯ_３ガスにより酸化して全てＮＯ_２ガスに反応させた測定対象ガスとして出力する酸化出力を行う。なお、ＳＯ_２ガスとＯ_３ガスとは化学反応を起こさない。これらのようなＳＯ_２ガス、ＮＯ_２ガス、Ｎ_２Ｏ_５ガス、余剰のＯ_３ガス、余剰の原料ガスＧ_Ｏおよび余剰のサンプルガスＧ_Ｓを含む測定対象ガスがガス流通セル２１へ導入される。

続いて、酸化出力時におけるガス分析計１００のＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍの算出について説明する。ＮＯ_２ガス濃度測定時ではＮＯ_２ガス吸光用発光部１１のみ発光する。ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１からのＮＯ_２ガス吸光用照射光は、部分反射部１３によって既知の一定の反射率によって反射され、基準光受光部３２に入射する。したがって基準光受光部３２の信号から出力強度Ｐ_０を求めることができる。

次に、ガス分析計１００による反応後に残留するＯ_３ガス濃度ｃ_３およびＳＯ_２ガス濃度ｃ_Ｓの算出について説明する。これは（ｂ）酸化出力時のＯ_３ガス吸光用照射光による分析である。酸化出力時では、上記のようなＳＯ_２ガス、ＮＯ_２ガス、Ｎ_２Ｏ_５ガス、余剰のＯ_３ガス、余剰の原料ガスＧ_Ｏおよび余剰のサンプルガスＧ_Ｓを含む測定対象ガスがガス流通セル２１へ導入される。なお、ＳＯ_２ガスは酸化出力時でも無反応でそのままである。

また、部分反射部１３を透過して光透過窓２３を経てガス流通セル２１内の検出空間２５に入射したＯ_３ガス吸光用照射光は、検出空間２５を伝播しながら、ＳＯ_２ガス、Ｏ_３ガスおよびＮＯ_２ガスによって吸光される。このような吸光されたＯ_３ガス吸光用照射光が、光透過窓２４を透過し、透過光受光部３１に入射する。したがって、透過光受光部３１の信号から出力強度Ｐ_１を求めることができる。当然に出力強度Ｐ_１はＳＯ_２ガス、Ｏ_３ガスおよびＮＯ_２ガスによる吸光を含んでいる。

透過光受光部３１、基準光受光部３２からの出力信号は、信号処理・駆動制御部６１に伝送される。信号処理・駆動制御部６１では出力強度Ｐ_０、Ｐ_１を算出し、数式１に基づいて、Ｏ_３ガス濃度＋ＳＯ_２ガス濃度＋ＮＯ_２ガス濃度を算出し、さらにガス混合部４３での流量混合比を乗じることにより、サンプルガスＧ_Ｓに含まれているＯ_３ガス濃度ｃ_３＋ＳＯ_２ガス濃度ｃ_Ｓ＋ＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍを算出する。

オゾン発生部４２は不動作状態である。このときガス流通セル２１に流通するサンプルガスＧ_Ｓに含まれるガスの状態は、サンプルガスＧ_Ｓに含まれていたＮＯガス、ＮＯ_２ガス、ＳＯ_２ガスが全てそのままの状態となっている。また、原料ガスＧ_Ｏがガス混合部４３において混合されているため、ＮＯガス、ＮＯ_２ガス、ＳＯ_２ガスの各濃度は原料ガスＧ_ＯとサンプルガスＧ_Ｓの流量混合比に応じて希釈されている。このような原料ガスＧ_ＯとサンプルガスＧ_Ｓとがガス流通セル２１へ導入される。

そして、ガス濃度の検出自体は先に説明したオゾン発生部４２の動作時（酸化出力時）と同様にして求められるものであり、ＮＯ_２ガス濃度が算出される。さらにガス混合部４３での流量混合比を乗じることにより、サンプルガスＧ_Ｓに含まれているＮＯ_２ガス濃度ｃ_２を算出する。

続いて、オゾン発生部４２を不動作状態としてガス調整部４１を通常出力させた上での測定である。この際に、サンプルガスＧ_Ｓに含まれるＳＯ_２ガス濃度ｃ_Ｓ＋ＮＯ_２ガス濃度ｃ_２を求める。これは上記の（ｄ）通常出力時のＯ_３ガス吸光用照射光による分析である。

そして、ガス濃度の検出自体は先の説明と同様にして求められるものであり、ＳＯ_２ガス濃度＋ＮＯ_２ガス濃度が算出される。さらにガス混合部４３での流量混合比を乗じることにより、サンプルガスＧ_Ｓに含まれているＳＯ_２ガス濃度ｃ_Ｓ＋ＮＯ_２ガス濃度ｃ_２を算出する。

次に、オゾン発生部４２の動作時で酸化出力時のガス濃度と、不動作時で通常出力時のガス濃度と、の組み合わせにより、サンプルガスＧ_Ｓ中のＮＯガス濃度ｃ_１を算出する。
先に説明したように、
（ａ）酸化出力時のＮＯ_２ガス吸光用照射光による分析で算出されたＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍ、
（ｂ）酸化出力時のＯ_３ガス吸光用照射光による分析で算出されたＯ_３ガス濃度ｃ_３＋ＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍ＋ＳＯ_２ガス濃度ｃ_Ｓ
（ｃ）通常出力時のＮＯ_２ガス吸光用照射光による分析で算出されたＮＯ_２ガス濃度ｃ_２、
（ｄ）通常出力時のＮＯ_２ガス吸光用照射光による分析で算出されたＮＯ_２ガス濃度ｃ_２＋ＳＯ_２ガス濃度ｃ_Ｓ、
が測定されている。

ここで、通常出力時のＮＯ_２ガス濃度ｃ_２が判別しているため、ＳＯ_２ガス濃度ｃ_Ｓが判別している。また、酸化出力時のＮＯ_２ガス濃度ｃ_ｍが判別しているため、Ｏ_３ガス濃度ｃ_３が判別している。また、ＮＯガス濃度ｃ_１も上記した［数５］で表される。

このようにして、ＮＯガス濃度ｃ_１、ＮＯ_２ガス濃度ｃ_２、ＳＯ_２ガス濃度ｃ_Ｓを測定することができる。
これらの測定方法を組み合わせることにより、ＮＯガス、ＮＯ_２ガス、ＳＯ_２ガスのガス濃度を測定することができる。

また、ガス濃度の校正のために、ゼロガスＧ_ＺＥＲＯまたはスパンガスＧ_ＳＰＡＮを用いることができる。ゼロガスＧ_ＺＥＲＯは、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２が吸光を示さないガス、例えば窒素ガスである。スパンガスＧ_ＳＰＡＮは、所望の測定レンジの最大濃度値で校正されたガスで、例えばＮＯ、ＮＯ_２、ＳＯ_２ガスが用いられる。

従って、装置構成を変更することなく、ＳＯ_２濃度測定機能を付加することが可能である。ガス分析計１００はこのようにして分析を行う。
本発明によれば、簡易な構成で、ＮＯガス、ＮＯ_２ガス、ＳＯ_２ガスのガス濃度を精度よく測定することができる。

続いて第３の形態について図３を参照しつつ説明する。ガス分析計２００は、図３で示すように、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１、Ｏ_３ガス吸光用発光部１２、部分反射部１３、ガス流通セル２１、透過光受光部３１、基準光受光部３２、ガス調整部４１、ガス吸引部５１、信号処理・駆動制御部６１、補正部７１を備える。

図１を用いて説明した上記の第１、第２の形態と比較すると、特に補正部７１が追加された点が相違する。ここでは補正部７１およびその動作について重点的に説明するとともに他の構成については同じ番号を付すとともに重複する説明を省略する。

補正部７１は、基準光受光部３２、信号処理・駆動制御部６１、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２と接続され、特に基準光受光部３２からの信号に基づいてＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２を駆動させる電流を補正する機能を有する。

基準光受光部３２がＮＯ_２ガス吸光用発光部１１からのＮＯ_２ガス吸光用照射光による基準光を受光してその強度信号を出力する。補正部７１は、強度信号に基づき、出力強度が一定になるように発光ダイオード駆動電流である駆動信号を補正した上で出力する。
同様に、基準光受光部３２がＯ_３ガス吸光用発光部１２からのＯ_３ガス吸光用照射光による基準光を受光してその強度信号を出力する。補正部７１は、強度信号に基づき、出力強度が一定になるように発光ダイオード駆動電流である駆動信号を補正した上で出力する。

このような補正部７１を追加した構成とすることで、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２から出力される照射光の変動が少なくなっており、検出精度を向上させることができる。

続いて、上記の第１、第２、第３形態をそれぞれ改良する第４形態について図を参照しつつ説明する。図４では、先に説明した第１、第２、第３形態のガス分析計の構成に加え、さらに、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１の光軸上にレンズ１４を備え、また、Ｏ_３ガス吸光用発光部１２の光軸上にレンズ１５を備えたものである。

一般に、発光ダイオードからの発光は指向性が弱く拡散する。そのため、光透過窓２３を通じてガス流通セル２１の検出空間２５内に入射する光の割合が低下するという問題がある。そこで、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２から拡散しつつ照射される照射光の指向性を、レンズ１４、レンズ１５により鋭く高めている。これにより、光透過窓２３を通じてガス流通セル２１の検出空間２５内に入射する光の割合を増やしている。その結果、信号強度を増加させ、ひいてはガス濃度測定の精度や安定性を改善する効果がある。

なお、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１とレンズ１４とがモジュール化により一体に構成され、また、Ｏ_３ガス吸光用発光部１２とレンズ１５とがモジュール化により一体に構成されていてもよい。

続いて、上記の第１、第２、第３形態を改良する第５形態について図を参照しつつ説明する。図５に示すように、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２に代えて発光部１６が配置されている。この発光部１６は、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２を近接させて一体化した発光ダイオードアレイである。さらに、この発光部１６のＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２の光軸上にレンズ１７を配置している。

これにより、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２の光軸が近接するため、指向性を高めるためのレンズ１７が１個で良い。また、光軸が近接しているため基準光受光部３２への入射効率も向上する。その結果、信号強度を増加させ、ひいてはガス濃度測定の精度や安定性を改善する効果がある。

続いて、上記の第１、第２、第３、第４、第５形態をそれぞれ改良する第６形態について図を参照しつつ説明する。図６では、先に説明した第１、第２、第３、第４、第５形態のガス分析計の構成に加え、さらに、光透過窓２４と透過光受光部３１の間にレンズ１８を配置したものである。レンズ１８により、光透過窓２４を透過してきたＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を集光し、効率よく透過光受光部３１に入射させる。その結果、信号強度を増加させ、ひいてはガス濃度測定の精度や安定性を改善する効果がある。

なお、光透過窓２４とレンズ１８とがモジュール化により一体に構成されていてもよい。さらには、光透過窓２４自体を、光透過性があり、集光効果がある凸面形状のレンズ１８とし、このレンズ１８を管２２に固着してガス流通セル２１を構成してもよい。

続いて、上記の第１、第２、第３形態を改良する第６形態について図７を参照しつつ説明する。これは、ガス流通セル２１の光透過窓２４を反射部２８に置き換え、また、透過光受光部３１を部分反射部１３で復路光が反射する位置に配置したものである。

この構成においては、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２から照射される照射光である往路光が光透過窓２３を透過し、管２２の検出空間２５内を伝播し、反射部２８において反射され、復路光となる。反射された復路光は管２２の検出空間２５内を反対向きに伝播し、光透過窓２３から出射し、部分反射部１３で反射して、透過光受光部３１に入射する。

この構成によれば、図１、図３の第１、第２、第３形態と比較して、ガスによる吸光のある光路長が２倍に伸びるため、吸光信号の向上、ガス濃度測定の精度や安定性を改善する効果が期待できる。

続いて、上記の第１、第２、第３形態を改良する第７形態について図８を参照しつつ説明する。これは、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１、Ｏ_３ガス吸光用発光部１２および透過光受光部３１を近接させつつモジュール化により一体化した発受光部１９を備えたものである。さらに、ガス流通セル２１の光透過窓２４を反射部２８に置き換え、また、透過光受光部３１を部分反射部１３で復路光が透過する位置に配置したものである。

これによれば、レンズ１７はＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２からの照射光の指向性を高める機能と、透過光受光部３１に入射する照射光を集光する機能を兼ね備えることとなる。また、ガスによる吸光のある光路長が２倍に伸びるため、吸光信号の向上、ガス濃度測定の精度や安定性を改善する効果が期待できる。

続いて、上記の第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７形態を改良する第８形態について図を参照しつつ説明する。図９は発光ダイオードのデューティー比−許容電流特性図である。本形態は先に説明した第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７形態のガス分析計の測定精度をさらに向上させるものである。

まず原理について説明する。図９に示すように、発光ダイオードの許容電流は、一般にデューティー比を小さくして出力期間が短いほど、電流値を大きく確保できるという特徴がある。そこで、ＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２の駆動電流を、図１０に示すように大きいデューティー比から、図１１に示すように小さいデューティー比（出力期間が停止期間よりも短い）とする。この際、図１１に示すように出力時間は短くなるが駆動電流値を大きくすることができる。したがって、照射光の出力強度を高めて信号レベルを高く確保でき、相対的にノイズに対する信号レベルが高くなり、安定的なガス濃度値を算出することができる。

さらに、発光ダイオードであるＮＯ_２ガス吸光用発光部１１およびＯ_３ガス吸光用発光部１２の発光時間を短くすることができるため、熱等による劣化を抑制し、連続発光と比較して寿命を長く保つことが可能となる。

このような本発明のガス分析計は、一酸化窒素ガス（ＮＯガス）および二酸化窒素ガス（ＮＯ_２）の２成分、または、一酸化窒素ガス（ＮＯガス）、二酸化窒素ガス（ＮＯ_２）および二酸化硫黄ガス（ＳＯ_２）の３成分を測定する分析に良好であり、例えば、ボイラ、ゴミ焼却等の燃焼排ガス測定用として最適である。その他、鉄鋼用ガス分析［高炉、転炉、熱処理炉、焼結（ペレット設備）、コークス炉］、青果貯蔵及び熟成、生化学（微生物）［発酵］、大気汚染［焼却炉、排煙脱硫・脱硝］、自動車・船等の内燃機関の排ガス（除テスタ）、防災［爆発性ガス検知、有毒ガス検知、新建築材燃焼ガス分析］、植物育成用、化学用分析［石油精製プラント、石油化学プラント、ガス発生プラント］、環境用［着地濃度、トンネル内濃度、駐車場、ビル管理］、理化学各種実験用などの分析計としても有用である。

１００、２００：ガス分析計
１１：ＮＯ_２ガス吸光用発光部
１２：Ｏ_３ガス吸光用発光部
１３：部分反射部
１４：レンズ
１５：レンズ
１６：発光部
１７：レンズ
１８：レンズ
１９：受発光部
２１：ガス流通セル
２２：管
２３、２４：光透過窓
２５：検出空間
２６：ガス流入口
２７：ガス流出口
２８：反射部
３１：透過光受光部
３２：基準光受光部
４１：ガス調整部
４２：オゾン発生部
４３：ガス混合部
５１：ガス吸引部
６１：信号処理・駆動制御部
７１：補正部

Claims

サンプルガスに含まれる一酸化窒素ガス（ＮＯガス）および二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）の２成分のガス濃度を測定するガス分析計であって、
サンプルガスに含まれる一酸化窒素ガス（ＮＯガス）をオゾンの酸化により全て二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）に反応させ、さらに二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）の一部をオゾンの酸化により五酸化二窒素ガス（Ｎ_２Ｏ_５ガス）に反応させた測定対象ガスとして出力する酸化出力と、サンプルガスを無反応のまま測定対象ガスとして出力する通常出力と、を行うガス調整部と、
二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）が吸光する紫外領域から可視領域までの波長のＮＯ_２ガス吸光用照射光を照射するＮＯ_２ガス吸光用発光部と、
オゾンガス（Ｏ_３ガス）および二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）が吸光する紫外領域の波長のＯ_３ガス吸光用照射光を照射するＯ_３ガス吸光用発光部と、
ＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光の一部を反射し、残りを透過する部分反射部と、
ガス調整部からの測定対象ガスが流通する検出空間と、部分反射部を透過したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を検出空間へ入射させる光透過窓と、を有するガス流通セルと、
光透過窓を透過しガス流通セル内を伝播したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を受光する透過光受光部と、
部分反射部で反射したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を受光する基準光受光部と、
ガス調整部、ＮＯ_２ガス吸光用発光部、Ｏ_３ガス吸光用発光部、透過光受光部および基準光受光部と接続される信号処理・駆動制御部と、
を備え、
この信号処理・駆動制御部は、
ガス調整部を酸化出力状態に制御してＮＯ_２ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）のガス濃度ｃ_ｍを算出し、
ガス調整部を酸化出力状態に制御してＯ_３ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、オゾンガス（Ｏ_３ガス）のガス濃度ｃ_３を算出し、
ガス調整部を通常出力状態に制御してＮＯ_２ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）のガス濃度ｃ_２を算出し、
供給されるオゾンガス（Ｏ_３ガス）のガス濃度ｃ_０から、測定されたオゾンガス（Ｏ_３ガス）のガス濃度ｃ_３を、減じて算出された反応消費時のガス濃度が、測定対象ガス中の一酸化窒素ガス（ＮＯガス）のガス濃度ｃ_１に五酸化二窒素ガス（Ｎ_２Ｏ_５ガス）のガス濃度（ｃ_１＋ｃ_２−ｃ_ｍ）／２を加えたガス濃度に等しいことに基づいて、算出されたｃ_０、ｃ_ｍ、ｃ_３、ｃ_２、から一酸化窒素ガス（ＮＯガス）のガス濃度ｃ_１を算出することを特徴とするガス分析計。
サンプルガスに含まれる一酸化窒素ガス（ＮＯガス）、二酸化窒素ガス（ＮＯ_２）および二酸化硫黄ガス（ＳＯ_２ガス）の３成分のガス濃度を測定するガス分析計であって、
サンプルガスに含まれる一酸化窒素ガス（ＮＯガス）をオゾンの酸化により全て二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）に反応させ、さらに二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）の一部をオゾンの酸化により五酸化二窒素ガス（Ｎ_２Ｏ_５ガス）に反応させた測定対象ガスとして出力する酸化出力と、サンプルガスを無反応のまま測定対象ガスとして出力する通常出力と、を行うガス調整部と、
二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）が吸光する紫外領域から可視領域までの波長のＮＯ_２ガス吸光用照射光を照射するＮＯ_２ガス吸光用発光部と、
オゾンガス（Ｏ_３ガス）、二酸化硫黄ガス（ＳＯ_２ガス）および二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）が吸光する紫外領域の波長のＯ_３ガス吸光用照射光を照射するＯ_３ガス吸光用発光部と、
ＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光の一部を反射し、残りを透過する部分反射部と、
ガス調整部からの測定対象ガスが流通する検出空間と、部分反射部を透過したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を検出空間へ入射させる光透過窓と、を有するガス流通セルと、
光透過窓を透過しガス流通セル内を伝播したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を受光する透過光受光部と、
部分反射部で反射したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を受光する基準光受光部と、
ガス調整部、ＮＯ_２ガス吸光用発光部、Ｏ_３ガス吸光用発光部、透過光受光部および基準光受光部と接続される信号処理・駆動制御部と、
を備え、
この信号処理・駆動制御部は、
ガス調整部を酸化出力状態に制御してＮＯ_２ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）のガス濃度ｃ_ｍを算出し、
ガス調整部を酸化出力状態に制御してＯ_３ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、オゾンガス（Ｏ_３ガス）のガス濃度ｃ_３および二酸化硫黄ガス（ＳＯ_２ガス）のガス濃度ｃ_ｓを算出し、
ガス調整部を通常出力状態に制御してＮＯ_２ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、二酸化窒素ガス（ＮＯ_２ガス）のガス濃度ｃ_２を算出し、
ガス調整部を通常出力状態に制御してＯ_３ガス吸光用照射光を発光したときの透過光受光部および基準光受光部からの信号を用いて、二酸化硫黄ガス（ＳＯ_２ガス）のガス濃度ｃ_ｓを算出し、
供給されるオゾンガス（Ｏ_３ガス）のガス濃度ｃ_０から、測定されたオゾンガス（Ｏ_３ガス）のガス濃度ｃ_３を、減じて算出された反応消費時のガス濃度が、測定対象ガス中の一酸化窒素ガス（ＮＯガス）のガス濃度ｃ_１に五酸化二窒素ガス（Ｎ_２Ｏ_５ガス）のガス濃度（ｃ_１＋ｃ_２−ｃ_ｍ）／２を加えたガス濃度に等しいことに基づいて、算出されたｃ_０、ｃ_ｍ、ｃ_３、ｃ_２、から一酸化窒素ガス（ＮＯガス）のガス濃度ｃ_１を算出することを特徴とするガス分析計。
請求項１または請求項２に記載のガス分析計において、
前記基準光受光部、前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部および前記Ｏ_３ガス吸光用発光部と接続される補正部を有し、
前記基準光受光部は、部分反射部により一部反射したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を受光して検出信号を補正部へ出力し、
補正部は、この検出信号に基づいて変動を抑止するような駆動電流を前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部および前記Ｏ_３ガス吸光用発光部へ出力することを特徴とするガス分析計。
請求項１または請求項２に記載のガス分析計において、
前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部からのＮＯ_２ガス吸光用照射光を集光して前記ガス流通セルへ入射させるレンズおよび前記Ｏ_３ガス吸光用発光部からのＯ_３ガス吸光用照射光を集光して前記ガス流通セルへ入射させるレンズを備えることを特徴とするガス分析計。
請求項１または請求項２に記載のガス分析計において、
前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部および前記Ｏ_３ガス吸光用発光部を隣接させて一体収容した発光部と、
前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部からのＮＯ_２ガス吸光用照射光および前記Ｏ_３ガス吸光用発光部からのＯ_３ガス吸光用照射光を集光して前記ガス流通セルへ入射させるレンズと、
を備えることを特徴とするガス分析計。
請求項１または請求項２に記載のガス分析計において、
前記ガス流通セルを透過した後のＮＯ_２ガス吸光用照射光および前記ガス流通セルを透過した後のＯ_３ガス吸光用照射光を集光するレンズを備えることを特徴とするガス分析計。
請求項１または請求項２に記載のガス分析計において、
前記ガス流通セルは一方に光透過窓を、また、他方に反射部を備え、光透過窓を透過してＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を反射部で反射させた後に光透過窓を通過するようにして検出空間内を往復させ、前記部分反射部で反射させたＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を前記透過光受光部が検出することを特徴とするガス分析計。
請求項１または請求項２に記載のガス分析計において、
前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部、前記Ｏ_３ガス吸光用発光部および前記透過光受光部を隣接させて一体収容した発受光部を更に備え、
前記ガス流通セルは一方に光透過窓を、また、他方に反射部を有するようになされており、
光透過窓を透過して発受光部から発せられたＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を反射部で反射させた後に光透過窓を通過するようにして検出空間内を往復させ、前記部分反射部を透過したＮＯ_２ガス吸光用照射光およびＯ_３ガス吸光用照射光を発受光部の前記透過光受光部が検出することを特徴とするガス分析計。
請求項１または請求項２に記載のガス分析計において、
前記信号処理・駆動制御部は、前記ＮＯ_２ガス吸光用発光部および前記Ｏ_３ガス吸光用発光部の出力と停止とを交互に行うパルスであって停止より出力が短くなるようなデューティー比の駆動電流とすることを特徴とするガス分析計。