JPWO2015133490A1 - 内燃機関用シリンダブロック及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
本発明は、内燃機関用シリンダブロック(10)及びその製造方法に関する。内燃機関用シリンダブロック(10)において、シリンダボア(12)の内壁には、SiC中間膜(20)とDLC膜(22)が形成される。SiC中間膜(20)の膜厚をT1、DLC膜(22)の膜厚をT2とするとき、下記の式(1)〜式(3)が成り立つ。T1≧0.2μm …(1)T1<T2 …(2)T1+T2≧7μm …(3)なお、0.2μm≦T1≦1μm、7μm≦T1+T2≦13μmであることが好ましい。
Description
本発明は、自動車の走行駆動力の発生源である内燃機関を構成し、ピストンが摺動するシリンダボアが形成された内燃機関用シリンダブロック及びその製造方法に関する。
自動車の走行駆動力である内燃機関は、シリンダボアが形成されたシリンダブロックを含んで構成される。この種のシリンダブロックは、アルミニウム合金の溶湯から鋳造加工によって作製されるのが一般的である。
通常、シリンダブロックをなすアルミニウム合金は耐摩耗性がさほど大きくない。このため、シリンダボア内に、耐摩耗性に優れるAl−Si合金からなるシリンダライナ(「シリンダスリーブ」とも呼称される)を配置し、該シリンダライナ内にピストンを摺動させるようにしている。これに対し、近時、耐摩耗性及び潤滑性が発現する表面処理を施したシリンダボアの内壁に、ピストンを摺動させることが提案されている。例えば、特開2006−220018号公報には、鉄系金属材料からなる溶射皮膜を形成した後、シリンダボアの内面に潤滑剤を含浸させる処理を行う技術が開示されている。
また、特許第3555844号公報、特許第4973971号公報の記載に基づき、潤滑性及び耐摩耗性に優れるダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜をシリンダボアの内壁に形成することも考えられる。なお、特許第4973971号公報には、成膜対象である基材からDLC膜が剥離することを回避するべく、DLC膜の成膜に先んじ、基材の表面に対してクロムメッキ処理、窒化クロム処理又は窒化処理等の予備処理を施すことが推奨されている。
特許第3555844号公報記載の技術を適用する場合、実用上、DLC膜中の水素含有量、窒素含有量及び酸素含有量を規定し、さらに、該DLC膜の表面粗さを規定する必要がある。また、特許第4973971号公報記載の技術においては、DLC膜の内部と最表面部とで水素原子濃度を変化させることが必須であり、これを実現するためには、成膜の際、雰囲気に含まれる水素量を減少させる作業を行わなければならない。
以上のように、摺動部材に対してDLC膜を形成する従来技術には、該DLC膜に含まれる成分の濃度、ないしその濃度分布を制御する必要があり、このため、煩雑な管理を行わなければならないという不都合がある。
しかも、上記の通り、DLC膜は金属に対する接合力が小さく、特許第4973971号公報に記載されたような予備処理を施してもなお、DLC膜が剥離する懸念がある。
本発明の主たる目的は、シリンダボアの内壁に形成されたDLC膜が剥離する懸念を払拭し得る内燃機関用シリンダブロックを提供することにある。
本発明の別の目的は、シリンダボアの内壁に、煩雑な管理を行うことなくDLC膜を形成し得る内燃機関用シリンダブロックの製造方法を提供することにある。
本発明の一実施形態によれば、アルミニウム合金からなり、シリンダボアの内壁がダイヤモンドライクカーボン膜で被覆された内燃機関用シリンダブロックであって、
前記内壁と前記ダイヤモンドライクカーボン膜との間に、SiC中間膜が形成され、
前記SiC中間膜の膜厚をT1、前記ダイヤモンドライクカーボン膜の膜厚をT2とするとき、下記の式(1)〜式(3)が成り立つ内燃機関用シリンダブロックが提供される。
T1≧0.2μm …(1)
T1<T2 …(2)
T1+T2≧7μm …(3)
前記内壁と前記ダイヤモンドライクカーボン膜との間に、SiC中間膜が形成され、
前記SiC中間膜の膜厚をT1、前記ダイヤモンドライクカーボン膜の膜厚をT2とするとき、下記の式(1)〜式(3)が成り立つ内燃機関用シリンダブロックが提供される。
T1≧0.2μm …(1)
T1<T2 …(2)
T1+T2≧7μm …(3)
また、本発明の別の一実施形態によれば、アルミニウム合金からなり、シリンダボアの内壁がダイヤモンドライクカーボン膜で被覆された内燃機関用シリンダブロックの製造方法であって、
前記内燃機関用シリンダブロックを陰極、前記シリンダボアを閉塞する第1閉塞部材及び第2閉塞部材を陽極として、前記シリンダボア内にSiC源ガスを供給することで、プラズマ化学的気相成長法によって前記内壁上にSiC中間膜を成膜する工程と、
前記SiC源ガスの供給を停止するとともに、前記SiC中間膜が形成された前記シリンダボア内にダイヤモンドライクカーボン源ガスを供給することで、プラズマ化学的気相成長法によって前記SiC中間膜上にダイヤモンドライクカーボン膜を成膜する工程と、
を有し、
前記SiC中間膜及び前記ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜時のプラズマ化ガスの温度を130〜190℃の範囲内とするとともに、
前記SiC中間膜の膜厚をT1、前記ダイヤモンドライクカーボン膜の膜厚をT2とするとき、下記の式(1)〜式(3)が成り立つ成膜を行う内燃機関用シリンダブロックの製造方法が提供される。
T1≧0.2μm …(1)
T1<T2 …(2)
T1+T2≧7μm …(3)
前記内燃機関用シリンダブロックを陰極、前記シリンダボアを閉塞する第1閉塞部材及び第2閉塞部材を陽極として、前記シリンダボア内にSiC源ガスを供給することで、プラズマ化学的気相成長法によって前記内壁上にSiC中間膜を成膜する工程と、
前記SiC源ガスの供給を停止するとともに、前記SiC中間膜が形成された前記シリンダボア内にダイヤモンドライクカーボン源ガスを供給することで、プラズマ化学的気相成長法によって前記SiC中間膜上にダイヤモンドライクカーボン膜を成膜する工程と、
を有し、
前記SiC中間膜及び前記ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜時のプラズマ化ガスの温度を130〜190℃の範囲内とするとともに、
前記SiC中間膜の膜厚をT1、前記ダイヤモンドライクカーボン膜の膜厚をT2とするとき、下記の式(1)〜式(3)が成り立つ成膜を行う内燃機関用シリンダブロックの製造方法が提供される。
T1≧0.2μm …(1)
T1<T2 …(2)
T1+T2≧7μm …(3)
SiC中間膜の膜厚T1を0.2μm以上とすることにより、該SiC中間膜が下地であるシリンダボアの内壁(アルミニウム合金)に強固に接合する。このため、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜が堅牢に保持され、剥離し難くなる。加えて、合計膜厚T1+T2を7μm以上とすることで、SiC中間膜とDLC膜との積層膜にクラックが発生し難くなる。
すなわち、上記の条件を満足させることにより、剥離し難く、且つクラックが発生し難いDLC膜を形成することができる。しかも、この場合、DLC膜に含まれる成分の濃度、ないしその濃度分布を制御する必要がない。従って、成膜の最中に煩雑な管理を行う必要もない。
このシリンダブロックを備える内燃機関では、シリンダボアの内壁に形成されたDLC膜の存在に基づいて、潤滑性及び耐摩耗性が長期間にわたって維持される。このためにシリンダ内の摩擦損失が低減するので、内燃機関の燃費特性等が良好となる。
なお、SiC中間膜の出発原料は概して高価である。このため、SiC中間膜の膜厚T1を過度に大きくすると、コストが高騰する。これを回避するべく、T1は1μm以下とすることが好ましい。また、積層膜の合計膜厚T1+T2を過度に大きくすると、サイドクラックが生じ易くなる。従って、合計膜厚T1+T2は13μm以下とすることが好ましい。要するに、0.2μm≦T1≦1μm、7μm≦T1+T2≦13μmとするとよい。T1は、0.4μm以上であることがより好ましい。
合計膜厚T1+T2の一層好ましい範囲は、9μm≦T1+T2≦13μmである。この場合、成膜温度を比較的低温とすることができるので、シリンダブロック(アルミニウム合金)に熱歪等が生じることを回避することができる。
DLC膜は、ナノインデンテーション法による硬度が6〜14GPaであることが好ましく、8〜10GPaであることが一層好ましい。これにより、DLC膜に対して摺接するピストンスカートに擦過傷が発生する懸念を払拭し得るとともに、DLC膜にクラック等が生じることを回避することが容易となる。
ピストンにおいては、燃焼室で燃料を圧縮する関係上、燃焼室に近接する上死点側の摺動抵抗(摩擦抵抗)が大きくなる。このため、ピストンの上死点側で、下死点側に比してDLC膜の膜厚を大きく設定することが好ましい。これにより、上死点側の潤滑性を大きくして摩擦抵抗を低減することが可能となるからである。また、熱管理も最適化されるので、内燃機関の燃費特性が一層向上する。
そして、SiC中間膜の成膜前、又はDLC膜の成膜前の少なくともいずれかにおいて、プラズマ化酸素ガスによるプラズマエッチングを行うことが好ましい。これにより成膜対象が清浄化されるので、SiC中間膜又はDLC膜に異物が混入することを回避することができる。
さらに、SiC中間膜及びダイヤモンドライクカーボン膜の成膜時のプラズマ化ガスの温度は、150〜170℃が一層好適である。
以下、本発明に係る内燃機関用シリンダブロック及びその製造方法につき好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本実施の形態に係る内燃機関用シリンダブロック(以下、単に「シリンダブロック」とも表記する)10の概略縦断面側面図である。この場合、シリンダブロック10は、複数個のシリンダボア12が並列するように形成された多気筒型のものであるが、図1においては、その中の1つのみを示している。
該シリンダブロック10は、アルミニウム合金から設けられた鋳造品であり、各シリンダボア12の内部において図示しないピストンが摺動する、いわゆるライナレスタイプである。なお、ピストンは、クランクケース14内に収容されるクランクシャフト(図示せず)に対し、コネクティングロッド(図示せず)を介して連結される。このため、ピストンは、クランクシャフトの回転に伴ってシリンダボア12内を往復動作する。また、シリンダボア12の近傍には、冷却水が導入されるウォータジャケット16が形成される。以上の構成については周知であり、従って、詳細な説明は省略する。
図2は、シリンダボア12の内壁の断面図である。この図2に示すように、シリンダボア12の内壁には、SiC中間膜20、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜22がこの順序で積層されている。なお、図2中の矢印X方向、Y方向は、図1中の矢印X方向、Y方向に対応する。
SiC中間膜20は、シリンダボア12の内壁(すなわち、アルミニウム合金)と、DLC膜22との双方に良好に接合し、これにより、DLC膜22が剥離することを防止する。
ここで、SiC中間膜20の膜厚をT1、DLC膜22の膜厚をT2とするとき、SiC中間膜20及びDLC膜22は、T1及びT2の間に下記の式(1)〜(3)が成り立つように成膜されている。なお、理由については後述する。
T1≧0.2μm …(1)
T1<T2 …(2)
T1+T2≧7μm …(3)
T1≧0.2μm …(1)
T1<T2 …(2)
T1+T2≧7μm …(3)
T1は、0.2μm以上であり且つT2よりも小さければ特に限定されるものではないが、SiC中間膜20の出発原料であるトリメチルシランは高価であるので、膜厚が大きくなるとコストの高騰を招く。これを回避するべく、T1は、1μm以下であることが好ましい。
また、SiC中間膜20とDLC膜22の合計膜厚、すなわち、T1+T2は、9μm以上であり、且つ13μm以下であることが好ましい。
DLC膜22の硬度が過度に大きいと、靭性が小さくなるとともに、DLC膜22に対して摺接するピストンスカートに擦過傷が発生する懸念がある。一方、硬度が過度に小さいと、剛性が小さくなるためにクラック等が生じ易くなる傾向がある。これを回避するべく、DLC膜22は、ナノインデンテーション法(「超微小押し込み硬度試験」とも指称される)によって求められる硬度が6〜14GPaであることが好ましい。なお、8〜10GPaであると一層好適である。
SiC中間膜20及びDLC膜22を成膜するためには、図3にシステム系統図として示す成膜装置30を構成し、プラズマ化学的気相成長(プラズマCVD)法を行う。ここで、成膜装置30は、シリンダブロック10に連結されてシリンダボア12を封止する供給系32及び排出系34と、制御系36とを有する。この中の供給系32は、第1ボンベ38、第2ボンベ40、第3ボンベ42及び第4ボンベ44と、これらのボンベ38、40、42、44に接続された第1供給管46、第2供給管48、第3供給管50及び第4供給管52を含む。
第1ボンベ38には、酸素(O2)ガスが充填されている。また、第2ボンベ40、第3ボンベ42の各々は、アルゴン(Ar)、Si(CH3)3(トリメチルシラン)ガスの供給源であり、第4ボンベ44は、C2H2(アセチレン)の供給源である。
第1供給管46には、第1バルブ54、第1マスフローコントローラ(MFC)56、第2バルブ58が上流側からこの順序で介装される。同様に、第2供給管48には第3バルブ60、第2MFC62、第4バルブ64が上流側からこの順序で介装され、第3供給管50には第5バルブ66、第3MFC68、第6バルブ70が上流側からこの順序で介装される。さらに、第4供給管52には第7バルブ72、第4MFC74、第8バルブ76が上流側からこの順序で介装される。
第1供給管46、第2供給管48、第3供給管50及び第4供給管52は、1本の集合管78に収斂される。集合管78には、第9バルブ80が介装される。
集合管78は、シリンダボア12の一端を閉塞する第1閉塞部材82を介してシリンダボア12に接続される。勿論、シリンダブロック10と第1閉塞部材82との間には、所定のシールがなされている。
一方の排出系34は、第2閉塞部材84を介してシリンダボア12に連結された1本の排気管86を有する。排気管86には、制御弁88、サーボポンプ90及び真空ポンプ92が設けられる。また、第1閉塞部材82とシリンダブロック10との間と同様に、シリンダブロック10と第2閉塞部材84との間にも所定のシールがなされる。
制御系36は、制御装置(例えば、コンピュータ)94と、該制御装置94によって制御されるバイアス電源96、圧力コントローラ98とを含む。制御装置94は、前記第1バルブ54〜第9バルブ80、前記サーボポンプ90及び前記真空ポンプ92の動作も制御する。すなわち、かかる制御によって第1バルブ54〜第9バルブ80が個別に開閉され、また、サーボポンプ90及び前記真空ポンプ92が付勢又は滅勢される。
バイアス電源96は、リード線100を介してシリンダブロック10の外表面に電気的に接続されている。バイアス電源96により、シリンダブロック10に対し、負のバイアスが付与される。すなわち、シリンダブロック10は陰極として機能する。その一方で、第1閉塞部材82及び第2閉塞部材84の各々には、接地(アース)された陽極102が設けられる。
圧力コントローラ98は、排気管86に接地された図示しない圧力センサからの情報に基づき、制御弁88の開度を調節する。この開度調節により、排気管86内、ひいてはシリンダボア12内の圧力が制御される。
SiC中間膜20及びDLC膜22は、上記した成膜装置30を用い、以下のようにして成膜される。この点につき、本実施の形態に係るシリンダブロック10の製造方法との関係で説明する。
はじめに、制御装置94は、サーボポンプ90及び真空ポンプ92を付勢するとともに、制御弁88を所定の開度で開放する。これに伴い、排気管86、第2閉塞部材84、シリンダボア12、第1閉塞部材82及び集合管78内から排気がなされる。
さらに、制御装置94は、第1供給管46に設けられた第1バルブ54及び第2バルブ58、集合管78に設けられた第9バルブ80を開放する。これにより、第1ボンベ38からの酸素ガスの供給が開始される。酸素ガスの流量は、第1MFC56によって制御される。
酸素ガスの供給開始と同時、又は前後して、制御装置94の制御作用下にバイアス電源96が付勢され、その結果、シリンダブロック10に負のバイアスが印加される。一方、第1閉塞部材82には、接地された陽極102が設けられている。このため、第1閉塞部材82が陰極として作用し、該第1閉塞部材82内で酸素ガスがプラズマ化されてプラズマ化酸素ガスが生成する。プラズマ化される際には所定のエネルギが付与されるので、プラズマ化酸素ガスは、酸素ガスに比して高温である。
このように高温となったプラズマ化酸素ガスにより、第1閉塞部材82の内部、及びシリンダボア12の内壁が清浄化される。すなわち、いわゆるプラズマエッチングがなされる。第2閉塞部材84にも、接地された陽極102が設けられているので、第2閉塞部材84内も同様にして清浄化される。清浄化に要する時間は、シリンダボア12の容積にもよるが、最大でも、酸素ガスの流通を開始してから30秒程度で十分である。
所定の時間が経過した後、制御装置94の制御作用下に第1バルブ54及び第2バルブ58が閉塞される。その後直ちに、第3バルブ60、第4バルブ64、第5バルブ66及び第6バルブ70が開放され、第2ボンベ40、第3ボンベ42からアルゴンガス、トリメチルシランガスがそれぞれ供給される。アルゴンガス、トリメチルシランガスの各流量は、第2MFC62、第3MFC68によって制御される。
アルゴンガスは、負のバイアスが印加されて陰極として機能するシリンダブロック10と、第1閉塞部材82に設けられて接地された陽極102との作用下にプラズマ化される。同様に、トリメチルシランガスもプラズマ化され、プラズマ化アルゴンガス及びプラズマ化トリメチルシランガスが生成する。これらプラズマ化アルゴンガス及びプラズマ化トリメチルシランガスの温度は、130〜190℃の範囲内、好適には150℃となるように制御される。なお、この温度制御は、シリンダブロック10に印加する電圧を調節したり、ヒータを利用したりすることによって行われる。
プラズマ化トリメチルシランガスが活性であり、且つ活性なプラズマ化アルゴンガスが存在するため、トリメチルシランを源として活性なSiCが生成する。SiCは、電気的作用によって陰極であるシリンダブロック10に引き寄せられて付着する。この現象が逐次的に継続されることにより、SiC中間膜20が形成される。
ここで、SiC膜を形成したアルミニウム合金サンプル片に対し、ロックウェル圧痕試験を行った結果を、SiC膜の膜厚との関係で図4に示す。なお、圧子としてはダイヤモンドを選定し、付与荷重は6.25kgとしている。そして、圧痕を観察し、SiC膜が剥離して下地(アルミニウム合金)が露出しているとき、その露出面積を算出した。
図4は、SiC膜の膜厚を種々変更したときの試験結果、すなわち、下地の露出面積を示している。下地の露出面積が小さいほど、SiC膜と下地との接合(密着)が強固であることを意味する。
この図4から、SiC膜が0.2μm未満であるときには露出面積が大きくなる場合があるのに対し、0.2μm以上となると、露出面積が最大でも1000μm2以下の小さな規模で安定することが分かる。このような理由から、SiC中間膜20の膜厚T1(図2参照)は0.2μm以上、一層好ましくは0.4μm以上に設定される。SiC中間膜20の膜厚T1は、0.2μm以上であり且つDLC膜22の膜厚T2を下回る大きさであれば特に制限はないが、上記したようにSiC膜の出発原料であるトリメチルシランは高価であるので、コストが高騰することを回避するべく、1μm以下であることが好ましい。
なお、SiC中間膜20の膜厚T1が0.2μmに到達したか否かは、予備成膜試験に基づいて判断することができる。すなわち、予備成膜試験を同一条件下で行い、成膜時間と、SiC中間膜20の膜厚T1との関係を求める。そして、SiC中間膜20を成膜する際、予備成膜試験において、膜厚T1が0.2μmに到達した成膜時間となったときに、SiC中間膜20の膜厚T1が0.2μmに到達したと判断する。
制御装置94は、所定の時間が経過すると、「SiC中間膜20の成膜が終了した」と判断する。そして、第3バルブ60、第4バルブ64、第5バルブ66及び第6バルブ70を閉止し、第1バルブ54及び第2バルブ58を再開放する。これにより、特に、第1閉塞部材82内及び第2閉塞部材84内の残留トリメチルシランガスや、反応残渣である炭化水素等がプラズマ化酸素ガスに捕捉される。すなわち、プラズマエッチングによる清浄化がなされる。
その後、制御装置94は、第1バルブ54及び第2バルブ58を閉塞し、その後直ちに、第3バルブ60、第4バルブ64、第7バルブ72及び第8バルブ76を開放する。その結果、第2ボンベ40、第4ボンベ44からアルゴンガス、アセチレンガスがそれぞれ供給される。アルゴンガスの流量は、上記したように第2MFC62によって制御され、一方、アセチレンガスの流量は、第4MFC74によって制御される。
アルゴンガス及びアセチレンガスは、上記と同様にプラズマ化され、プラズマ化アルゴンガス及びプラズマ化アセチレンガスが生成する。これらプラズマ化アルゴンガス及びプラズマ化アセチレンガスの温度も、130〜190℃の範囲内、好適には150℃となるように制御される。
プラズマ化アセチレンガスが活性であり、且つ活性なプラズマ化アルゴンガスが存在するため、アセチレンを源として活性な炭素が生成する。炭素は、電気的作用によってシリンダブロック10に引き寄せられ、付着して堆積する。これにより、DLC膜22が形成される。
ここで、アルミニウム合金サンプル片に対してSiC中間膜20及びDLC膜22を形成したときのプラズマ化ガスの温度(成膜温度)と、周知のスクラッチ試験におけるLc1値との関係を図5に示す。なお、SiC中間膜20の膜厚T1は0.5μm、SiC中間膜20とDLC膜22の合計膜厚T1+T2は10μmに設定している。すなわち、このスクラッチ試験においては、成膜温度のみが相違する。
図5から、成膜温度が高いほどLc1値が大きいこと、換言すれば、DLC膜22の緻密性が大きいことが分かる。
また、図6に、成膜温度を130℃、150℃、170℃、190℃としたときの合計膜厚T1+T2と、Lc1値との関係を示す。なお、この場合も、各サンプル片におけるSiC中間膜20の膜厚T1を0.5μmに設定している。
この図6から、成膜温度が高いほど、合計膜厚T1+T2が小さくても緻密で高強度のDLC膜22が得られることが分かる。例えば、成膜温度が190℃である場合、合計膜厚T1+T2が7μm程度でも十分大きなLc1値を示す。
ここで、シリンダブロック10はアルミニウム合金からなる。周知の通り、アルミニウム合金の融点は低く、このため、成膜温度を過度に高くすると、シリンダブロック10に熱歪が生じる。190℃では熱歪が生じることはないが、熱歪を一層確実に回避するべく、190℃よりも低温で成膜を行うことが好ましい。例えば、170℃や150℃等で成膜を行っても、合計膜厚T1+T2を8〜9μm程度とすることで、190℃で成膜されて合計膜厚T1+T2が7μmである積層膜と同程度のLc1値を示す積層膜が得られる。
図6からは、成膜温度が低温であっても、合計膜厚T1+T2を大きくすることにより、同程度のLc1値を示す積層膜が得られることが分かる。しかしながら、合計膜厚T1+T2が13μmを超えると、DLC膜22にサイドクラックが生じ易くなる。この理由は、積層膜の膜厚が大きくなったことに伴って膜中の応力が増大するとともに、SiC中間膜20の膜厚T1が相対的に小さくなるので該SiC中間膜20の靭性が低下するためであると考えられる。
成膜温度を過度に低温にすると、十分に大きなLc1値を示す積層膜を得るには、合計膜厚T1+T2を13μm超とすることが必要となる。この場合、上記したようにサイドクラックが生じ易くなるので、潤滑性等を維持することが困難となる。また、このような厚膜を形成するためには成膜時間を長くせざるを得ないので、アセチレンガス等の出発原料の消費量が多くなり、不経済である。
以上のような理由から、成膜温度を150〜170℃程度とし、合計膜厚T1+T2を7〜13μmの範囲内とすることが好ましい。勿論、DLC膜22の膜厚T2は、SiC中間膜20の膜厚T1よりも大きくする。
制御装置94は、所定の時間が経過すると、「DLC膜22の成膜が終了した」と判断し、第3バルブ60、第4バルブ64、第7バルブ72及び第8バルブ76を閉止する。以上により、シリンダボア12の内壁に対するSiC中間膜20及びDLC膜22の成膜が終了する。
さらに、第9バルブ80、制御弁88が閉止され、サーボポンプ90及び真空ポンプ92が滅勢(停止)されるとともに、バイアス電源96からのバイアスの印加が停止される。
なお、DLC膜22の膜厚T2が所定の厚み(例えば、7.5〜9μm)に到達したか否かは、SiC中間膜20と同様に、予備成膜試験での結果に基づいて判断することができる。SiC中間膜20及びDLC膜22の成膜の最中、シリンダボア12内の圧力は、制御弁88の開度が調節されることで略一定に保たれる。
以上のようにして得られたDLC膜22は、ナノインデンテーション法による硬度が6〜14GPaの範囲内である。
別のシリンダブロック10のシリンダボア12の内壁に対してSiC中間膜20及びDLC膜22の成膜を行うには、第1閉塞部材82及び第2閉塞部材84を、該別のシリンダブロック10に取り付けてシリンダボア12を閉塞する。その後、制御装置94の制御作用下に、上記と同様にして先ずプラズマエッチングが行われる。
すなわち、制御装置94は、その後、第1バルブ54及び第2バルブ58を開放する。これにより、第1閉塞部材82内及び第2閉塞部材84内の残留アセチレンガスや、反応残渣である炭素等がプラズマ化酸素ガスに捕捉されて清浄化がなされる。
その後、SiC中間膜20の成膜が行われる。第1閉塞部材82及び第2閉塞部材84の内部は、上記したようにプラズマエッチングによって清浄化されている。このため、この成膜時に異物が混入すること、すなわち、コンタミネーションを回避することができる。
なお、DLC膜22の膜厚T2は、ピストンの下死点側に比して摺動抵抗が大きな上死点側、すなわち、燃焼室に近接する側で大きいことが好ましい。このようにすることにより、燃焼室の熱管理が最適化される。従って、内燃機関の燃費特性が向上する。
このような成膜を行うには、ピストンの上死点側となる部位の成膜速度を大きくすればよい。このためには、例えば、シリンダブロック10のシリンダヘッド側端部をヒータで加熱する等すればよい。
本発明の一実施形態によれば、アルミニウム合金からなり、シリンダボアの内壁がダイヤモンドライクカーボン膜で被覆された内燃機関用シリンダブロックであって、
前記内壁と前記ダイヤモンドライクカーボン膜との間に、SiC中間膜が形成され、
前記SiC中間膜の膜厚をT1、前記ダイヤモンドライクカーボン膜の膜厚をT2とするとき、下記の式(1)〜式(3)が成り立つ内燃機関用シリンダブロックが提供される。
T1≧0.2μm …(1)
T1<T2 …(2)
7μm≦T1+T2≦13μm …(3)
前記内壁と前記ダイヤモンドライクカーボン膜との間に、SiC中間膜が形成され、
前記SiC中間膜の膜厚をT1、前記ダイヤモンドライクカーボン膜の膜厚をT2とするとき、下記の式(1)〜式(3)が成り立つ内燃機関用シリンダブロックが提供される。
T1≧0.2μm …(1)
T1<T2 …(2)
7μm≦T1+T2≦13μm …(3)
また、本発明の別の一実施形態によれば、アルミニウム合金からなり、シリンダボアの内壁がダイヤモンドライクカーボン膜で被覆された内燃機関用シリンダブロックの製造方法であって、
前記内燃機関用シリンダブロックを陰極、前記シリンダボアを閉塞する第1閉塞部材及び第2閉塞部材を陽極として、前記シリンダボア内にSiC源ガスを供給することで、プラズマ化学的気相成長法によって前記内壁上にSiC中間膜を成膜する工程と、
前記SiC源ガスの供給を停止するとともに、前記SiC中間膜が形成された前記シリンダボア内にダイヤモンドライクカーボン源ガスを供給することで、プラズマ化学的気相成長法によって前記SiC中間膜上にダイヤモンドライクカーボン膜を成膜する工程と、
を有し、
前記SiC中間膜及び前記ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜時のプラズマ化ガスの温度を130〜190℃の範囲内とするとともに、
前記SiC中間膜の膜厚をT1、前記ダイヤモンドライクカーボン膜の膜厚をT2とするとき、下記の式(1)〜式(3)が成り立つ成膜を行う内燃機関用シリンダブロックの製造方法が提供される。
T1≧0.2μm …(1)
T1<T2 …(2)
7μm≦T1+T2≦13μm …(3)
前記内燃機関用シリンダブロックを陰極、前記シリンダボアを閉塞する第1閉塞部材及び第2閉塞部材を陽極として、前記シリンダボア内にSiC源ガスを供給することで、プラズマ化学的気相成長法によって前記内壁上にSiC中間膜を成膜する工程と、
前記SiC源ガスの供給を停止するとともに、前記SiC中間膜が形成された前記シリンダボア内にダイヤモンドライクカーボン源ガスを供給することで、プラズマ化学的気相成長法によって前記SiC中間膜上にダイヤモンドライクカーボン膜を成膜する工程と、
を有し、
前記SiC中間膜及び前記ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜時のプラズマ化ガスの温度を130〜190℃の範囲内とするとともに、
前記SiC中間膜の膜厚をT1、前記ダイヤモンドライクカーボン膜の膜厚をT2とするとき、下記の式(1)〜式(3)が成り立つ成膜を行う内燃機関用シリンダブロックの製造方法が提供される。
T1≧0.2μm …(1)
T1<T2 …(2)
7μm≦T1+T2≦13μm …(3)
酸素ガスの供給開始と同時、又は前後して、制御装置94の制御作用下にバイアス電源96が付勢され、その結果、シリンダブロック10に負のバイアスが印加される。一方、第1閉塞部材82には、接地された陽極102が設けられている。このため、第1閉塞部材82が陽極として作用し、該第1閉塞部材82内で酸素ガスがプラズマ化されてプラズマ化酸素ガスが生成する。プラズマ化される際には所定のエネルギが付与されるので、プラズマ化酸素ガスは、酸素ガスに比して高温である。
Claims (11)
- アルミニウム合金からなり、シリンダボア(12)の内壁がダイヤモンドライクカーボン膜(22)で被覆された内燃機関用シリンダブロック(10)であって、
前記内壁と前記ダイヤモンドライクカーボン膜(22)との間に、SiC中間膜(20)が形成され、
前記SiC中間膜(20)の膜厚をT1、前記ダイヤモンドライクカーボン膜(22)の膜厚をT2とするとき、下記の式(1)〜式(3)が成り立つことを特徴とする内燃機関用シリンダブロック(10)。
T1≧0.2μm …(1)
T1<T2 …(2)
T1+T2≧7μm …(3) - 請求項1記載のシリンダブロック(10)において、0.2μm≦T1≦1μm、7μm≦T1+T2≦13μmが成り立つことを特徴とする内燃機関用シリンダブロック(10)。
- 請求項2記載のシリンダブロック(10)において、9μm≦T1+T2≦13μmが成り立つことを特徴とする内燃機関用シリンダブロック(10)。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載のシリンダブロック(10)において、前記ダイヤモンドライクカーボン膜(22)のナノインデンテーション法による硬度が6〜14GPaであることを特徴とする内燃機関用シリンダブロック(10)。
- 請求項4記載のシリンダブロック(10)において、前記ダイヤモンドライクカーボン膜(22)のナノインデンテーション法による硬度が8〜10GPaであることを特徴とする内燃機関用シリンダブロック(10)。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のシリンダブロック(10)において、ピストンの上死点側で、ピストンの下死点側に比してダイヤモンドライクカーボン膜(22)の膜厚が大きく設定されていることを特徴とする内燃機関用シリンダブロック(10)。
- アルミニウム合金からなり、シリンダボア(12)の内壁がダイヤモンドライクカーボン膜(22)で被覆された内燃機関用シリンダブロック(10)の製造方法であって、
前記内燃機関用シリンダブロック(10)を陰極、前記シリンダボア(12)を閉塞する第1閉塞部材(82)及び第2閉塞部材(84)を陽極として、前記シリンダボア(12)内にSiC源ガスを供給することで、プラズマ化学的気相成長法によって前記内壁上にSiC中間膜(20)を成膜する工程と、
前記SiC源ガスの供給を停止するとともに、前記SiC中間膜(20)が形成された前記シリンダボア(12)内にダイヤモンドライクカーボン源ガスを供給することで、プラズマ化学的気相成長法によって前記SiC中間膜(20)上にダイヤモンドライクカーボン膜(22)を成膜する工程と、
を有し、
前記SiC中間膜(20)及び前記ダイヤモンドライクカーボン膜(22)の成膜時のプラズマ化ガスの温度を130〜190℃の範囲内とするとともに、
前記SiC中間膜(20)の膜厚をT1、前記ダイヤモンドライクカーボン膜(22)の膜厚をT2とするとき、下記の式(1)〜式(3)が成り立つ成膜を行うことを特徴とする内燃機関用シリンダブロック(10)の製造方法。
T1≧0.2μm …(1)
T1<T2 …(2)
T1+T2≧7μm …(3) - 請求項7記載の製造方法において、前記SiC中間膜(20)の成膜前、又は前記ダイヤモンドライクカーボン膜(22)の成膜前の少なくともいずれかに、プラズマ化酸素ガスによるプラズマエッチングを行うことを特徴とする内燃機関用シリンダブロック(10)の製造方法。
- 請求項7又は8記載の製造方法において、0.2μm≦T1≦1μm、7μm≦T1+T2≦13μmが成り立つ成膜を行うことを特徴とする内燃機関用シリンダブロック(10)の製造方法。
- 請求項9記載の製造方法において、9μm≦T1+T2≦13μmが成り立つ成膜を行うことを特徴とする内燃機関用シリンダブロック(10)の製造方法。
- 請求項7〜10のいずれか1項に記載の製造方法において、前記SiC中間膜(20)及び前記ダイヤモンドライクカーボン膜(22)の成膜時のプラズマ化ガスの温度を150〜170℃の範囲内とすることを特徴とする内燃機関用シリンダブロック(10)の製造方法。
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