JPWO2015107656A1 - 光学測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1を用いて、光学測定装置3で測定する発光素子101の発光状況について説明する。
図1は、光学測定装置3で測定する発光素子101の発光状況を示す。
図1(a)に示すように、発光素子101は、発光面101aから光を放射状に出射する。
発光面101aは、発光素子101の表面に位置する。発光素子101の発光面101aの法線を発光中心軸LCAという。発光面101aは、図1(a)において発光中心軸LCAの正方向側にある発光素子101の表面である。
発光面101aを含む平面上の一方向を基準軸(x軸)とした場合に、当該平面上のx軸からの反時計回りの角度をφと定義する。また、φを固定した場合における、発光中心軸LCAとなす角度をθと定義する。
発光素子101が発光して、発光面101aから出射される光の強度は、発光中心軸LCAからの角度θ等によって異なる。
この光量を知ることによって、その発光素子101が各種の使用に適切であるか否かを検査することが可能となる。
図1(b)において、x軸とy軸との交点部分がθ=0°を表わしている。円上の各点がθ=90°の各φの位置をそれぞれ表わしている。
図1(c)は、φの値が一定の位置における断面図である。
すなわち、配光強度E(θ)を、発光中心軸LCA周りの円周で積分して(φ=0°から360°まで積分)、周配光強度J(θ)を求める。周配光強度J(θ)は、J(θ)=E(θ)・2πr・sinθで表される。この周配光強度J(θ)を、θ=0°からθ°積分して、発光素子101の表面側の光量K(θ)を求めることができる。
また、発光素子101の裏面側の光量は、K(θ)に一定の係数κを乗算することで求めることができる。
すると、発光素子101の光量は、表面側の光量K(θ)と裏面側の光量K(θ)・κとを加算することで求めることができる。
なお、発光素子101の表面側の光量と裏面側の光量との差は、同一工程で製造された発光素子101では略一定となることが分かっている。このため、係数κは、1つの発光素子101について光量を実測して求めておけば、他の発光素子101についても同じ値を適用することができる。
図2及び図3を用いて、光学測定装置3の構成について説明する。
図2は、光学測定装置3の構成を概略的に示す。図3は、光学測定装置3に含まれる光ファイバ117と発光素子101とを拡大した図を示す。
光学測定装置3は、発光素子101に電力を供給して発光させ、当該発光素子101が発光した光の光学特性を測定する。発光素子101が複数配列された状態であれば、光学測定装置3は、複数配列された発光素子101のうち測定対象の発光素子101に順次電力を供給して、測定対象の発光素子101が発光した光の光学特性を測定する。
光学測定装置3は、発光素子101の製造工程に含まれる検査工程で使用する検査装置に適用され得る。光学測定装置3は、発光素子101の光学特性に加えて電気特性も測定可能である。
テーブル103は、略一様な平板形状を有し、略水平に設置されている。
テーブル103と、これに載置された発光素子101とは、互いに略平行となる。
ガラステーブル103aは、サファイアやガラス等の光透過材料を用いて、略一様な平板形状に形成されている。
ダイシングシート103bは、表面に粘着性を有し、ガラステーブル103a上に積層されている。発光素子101は、このダイシングシート103b上に載置される。
ダイシングシート103bを有するテーブル103は、測定時に発光素子101をテーブル103に移載し易く、位置ズレを抑制することができる。
なお、発光素子101の製造工程において、発光素子101がダイシングシート103b上に予め複数配列されている場合には、発光素子101及びダイシングシート103bを一括してガラステーブル103a上に載置させてもよい。
図2のプローブ針109は、発光素子101の光学特性測定時、発光素子101の電極に接触して電圧を印加する。また、プローブ針109は、電気特性計測部125と接続されており、発光素子101の電気特性も同時に測定することができる。プローブ針109は、発光素子101の電極の位置に応じて、発光素子101の上面、下面、又は両面に配置される。
光ファイバ117は、図3に示すように、ヘッド117aと、光伝送路117b、入射口117cとを含む。
ヘッド117aは、筒形状に形成されている。ヘッド117aの先端には、光を入射させるための開口である入射口117cが設けられている。ヘッド117aは、入射口117cが発光素子101の発光面101aに対向するように配置される。入射口117cの中心軸は、測定対象の発光素子101の発光中心軸LCAと略一致する。ヘッド117aの中心軸は、入射口117cの中心軸と略一致する。
入射口117cは、予め定められた光ファイバ117の開口数に応じた範囲の光を入射させる。
光伝送路117bは、入射口117cが設けられたヘッド117aの先端とは反対側の端部と、フォトディテクタ105及び分光器121とを光学的に接続する。
ヘッド117aの先端とは反対側の光伝送路117bの端部は、第1経路117dと第2経路117eとに分岐されている。第1経路117dは、分光器121に向かって延び、分光器121と接続されている。第2経路117eは、フォトディテクタ105に向かって延び、フォトディテクタ105と接続されている。
光伝送路117bは、入射口117cから入射した光をフォトディテクタ105及び分光器121に導光する。光伝送路117bは、入射口117cから入射した光を内部で全反射させ、伝送損失を極力抑制してフォトディテクタ105及び分光器121に導光する。
フォトディテクタ105が測定する光学特性には、発光素子101が発光した光の光量が少なくとも含まれる。
フォトディテクタ105は、受光素子を含む。フォトディテクタ105は、受光素子に入射光が入射すると、光電変換によって入射光に応じた電荷を生成する。フォトディテクタ105の受光素子は、例えばフォトダイオード等である。
分光器121が測定する光学特性には、発光素子101が発光した光の光量、波長、色度が少なくとも含まれる。
分光器121は、受光素子を含む。分光器121は、受光素子に光が入射すると、光電変換によって入射光に応じた電荷を生成する。分光器121の受光素子は、例えばCCD(Charge Coupled Device)やフォトダイオードアレイ等である。
分光器121は、求めた各種光学特性に応じた電気信号を生成する。分光器121は、生成した電気信号を、信号線111を介して制御部151に出力する。この電気信号は、分光器121によって測定された波長スペクトル情報、色度情報、及び光量情報等に相当する。
また、光ファイバ117内で全反射し得る光の入射角の最大値をαとする。光ファイバ117と発光素子101との間の媒質は空気であるとし、屈折率=1であるとする。光ファイバ117の開口数をNAとし、開口数NAが示す範囲をS0とする。範囲S0を発光素子101に投影したときの、発光素子101の中心から範囲S0の外縁までの距離をDとする。
このとき、開口数NAは、NA=sinαである。距離Xは、X=A+Bである。距離Dは、D=Ltanαである。
このため、開口数NAが示す範囲S0は、フォトディテクタ105及び分光器121によって検出可能な光の範囲に相当する。
本実施形態では、フォトディテクタ105及び分光器121によって検出される光の範囲を、「検出範囲」ともいう。
また、フォトディテクタ105及び分光器121の検出範囲は、光学測定装置3が光学特性を測定可能な光の範囲に相当する。
A/tanα≦L≦X/tanα
これにより、光学測定装置3は、複数の発光素子101が配列された状態において、測定対象以外の発光素子101が出射する意図しない光を検出せずに、測定対象の発光素子101が発光した光を検出することができる。
「測定対象以外の発光素子101が出射する意図しない光」とは、測定対象の発光素子101の発光に起因して測定対象以外の発光素子101が出射する光である。
例えば、測定対象の発光素子101が発光する光が測定対象以外の発光素子101に入射して、測定対象以外の発光素子101が励起されることによって出射される光がある。
例えば、測定対象の発光素子101が発光する光が測定対象以外の発光素子101に入射して、測定対象以外の発光素子101で反射されることによって出射される光がある。
通常、このHVユニット153からの電圧の印加状態で、発光素子101が発光する光をフォトディテクタ105及び分光器121が測定を行う。
HVユニット153が検出した各種特性情報は制御部151に出力される。
ESDユニット155が検出した静電破壊情報は制御部151に出力される。
切替えユニット157によって、プローブ針109を介して発光素子101に印加される電圧が変更される。そして、この変更によって、発光素子101の検査項目が、定格電圧での各種特性を検出、又は、静電破壊の有無を検出にそれぞれ変更される。
制御部151は、フォトディテクタ105によって測定された光量情報が入力される。制御部151は、分光器121によって測定された波長スペクトル情報、色度情報、及び光量情報が入力される。制御部151は、HVユニット153によって出力された各種電気特性情報が入力される。制御部151は、ESDユニット155が検出した静電破壊情報が入力される。
制御部151は、これらの入力から発光素子101の各種特性を分別・分析を行う。各種特性の分析後、制御部151は、その分析結果を出力部163から画像出力等の情報出力を行う。更に、制御部151は、その分析結果に基づき必要に応じて、光学測定装置3の各構成要素を制御する。
図4〜図5Bを用いて、フォトディテクタ105及び分光器121の測定性能について説明する。
図4は、フォトディテクタ105の光電変換特性を示す。図5Aは、分光器121の光電変換特性を示す。
ここで、「直線性」とは、入力と出力とが比例関係にあることをいう。フォトディテクタ105の光電変換特性における直線性は、入射光量と出力電流とが比例関係にあることである。
更に、入力と出力との比例関係が成立する範囲のことを「ダイナミックレンジ」という。ダイナミックレンジは、直線性が成立する範囲のことである。フォトディテクタ105の光電変換特性におけるダイナミックレンジは、入射光量と出力電流との比例関係が成立する範囲であり、光電変換特性における直線性が成立する範囲である。フォトディテクタ105は、図4Aに示すように、広範なダイナミックレンジを有する。
なお、フォトディテクタ105は、図示していないが、高い再現性で光量を測定することができる。
図5Aの例では、分光器121の光電変換特性におけるダイナミックレンジは、フォトディテクタ105と比べて5桁以上も狭いことが分かる。
図5Bは、電力が供給されると特定の波長領域の光を発光する素子の分光特性を分光器121で測定した例を示している。
図5Bに示すように、分光器121は、少なくとも870nmより短い波長領域や1000nmより大きい波長領域では、相対強度が10%以下であり、感度不良である。このため、分光器121は、少なくとも870nmより短い波長領域や1000nmより大きい波長領域の光については、光量を測定することができない。図5Bの黒色部分は、分光器121で光量を測定できない範囲を示す。
一定の測定精度の光量を得るため、例えば相対強度が20〜80%の範囲で分光器121を使用するときには、分光器121は、880nm〜920nm、950nm〜990nmの波長領域の光についてしか光量を測定することができない。これは、相対強度が20%以下の範囲や80%以上の範囲では、分光器121の光電変換特性における直線性が低下し、測定精度が低下するためである。図5Bの斜線部分は、分光器121で光量を測定可能な範囲を示す。
なお、分光器121は、図示していないが、フォトディテクタ105ほどの高い再現性で光量を測定することができない。
よって、発光素子101の光学特性を高い信頼性で測定し得る技術が望まれている。
発光素子101の光学特性測定時、測定対象の発光素子101が発光した光は、光ファイバ117に入射する。
本実施形態の光学測定装置3では、光ファイバ117の光伝送路117bが分岐してフォトディテクタ105及び分光器121にそれぞれ接続されている。
測定対象の発光素子101が発光した光は、光ファイバ117に入射した後、フォトディテクタ105及び分光器121にそれぞれ導光される。
フォトディテクタ105は、光ファイバ117が導光した光を検出すると、検出した光の光量を測定する。フォトディテクタ105は、光量測定結果を制御部151に出力する。
分光器121は、光ファイバ117が導光した光を検出すると、検出した光の光量を含む各種光学特性を測定する。分光器121は、光量を含む各種光学特性の測定結果を制御部151に出力する。
すなわち、フォトディテクタ105及び分光器121で測定される光学特性は、同一の発光素子101の光学特性である。
光学測定装置3の動作を統括的に制御する制御部151は、光学特性測定時に主として次のような処理を行う。
図6は、光学測定装置3の制御部151が光学特性測定時に行う処理を説明するためのフローチャートを示す。
制御部151は、フォトディテクタ105の光量測定結果及び分光器121の測定結果が入力されるまで待機する。一方、制御部151は、フォトディテクタ105の光量測定結果及び分光器121の測定結果が入力されたと判定されたならば、各結果を対応付けて所定の記憶領域に記憶する。そして、制御部151は、ステップS20に移行する。
制御部151は、分光器121の測定結果の妥当性を、例えば、次のような方法で検証し得る。
制御部151は、ステップS20での検証により、分光器121の測定結果が妥当であると判定されたならば、ステップS40に移行する。一方、制御部151は、ステップS20での検証によって、分光器121の測定結果が妥当ではないと判定されたならば、ステップS60に移行する。
分光器121の測定結果は、出力部163にて情報出力される。
このため、光学測定装置3は、発光素子101の光学特性測定時に、信頼性の高い測定結果のみを有効として出力することができる。
よって、光学測定装置3の光学特性の測定結果は、高い信頼性を得ることができる。
図7〜図11を用いて、光学測定装置3の変形例について説明する。
図7〜図11に示す光学測定装置3の構成において、図2〜図6に示された光学測定装置3と同様の構成については説明を省略する。
図7は、光学測定装置3の変形例1を説明するための図を示す。
変形例1の光学測定装置3は、図2〜図6に示された光学測定装置3に光導波路120を追加した構成を備える。
光導波路120は、光伝送路117bを、分光器121に向かう第1経路117dとフォトディテクタ105に向かう第2経路117eとに分岐する。第1経路117dは、光導波路120と分光器121との間を接続する光伝送路117bである。第2経路117eは、光導波路120とフォトディテクタ105との間を接続する光伝送路117bである。
光導波路120は、入射した光を内部で全反射させて伝送損失を極力抑制して、第1経路117d及び第2経路117eに導光する。
変形例1の光学測定装置3の他の構成については、図2〜図6に示された光学測定装置3の構成と同様である。
図8Aは、光学測定装置3の変形例2を説明するための図を示す。図8Bは、図8Aに示された発光素子101及びバンドルファイバ119を発光中心軸LCAの方向から視た図を示す。
変形例2の光学測定装置3は、図2〜図6に示された光学測定装置3の光ファイバ117の代りにバンドルファイバ119を追加した構成を備える。
バンドルファイバ119は、その入射口119cが測定対象の発光素子101の発光面101aに対向するように配置されている。バンドルファイバ119の中心軸上にある光ファイバ117は、その中心軸が測定対象の発光素子101の発光中心軸LCAと略一致している。
バンドルファイバ119の中心軸近傍にある一又は複数の光ファイバ117は、分光器121に接続されている。バンドルファイバ119の中心軸近傍以外にある複数の光ファイバ117は、フォトディテクタ105に接続されている。
図8A及び図8Bでは、バンドルファイバ119の中心軸近傍にある一又は複数の光ファイバ117は、黒色で示されている。バンドルファイバ119の中心軸近傍以外にある複数の光ファイバ117は、白色で示されている。
バンドルファイバ119の開口数が示す範囲S2は、光ファイバ117の開口数NAが示す範囲S0よりも拡大される。範囲S2内には、測定対象の発光素子101に加えて測定対象以外の発光素子101も含まれる。
更に、変形例2の光学測定装置3は、バンドルファイバ119を構成する複数の光ファイバ117にフォトディテクタ105がそれぞれ接続されているため、測定対象の発光素子101の発光面101aの光強度分布等を測定することができる。
また、複数配列された発光素子101の色度等を測定する場合、分光器121は、図3を用いて説明した上述の「測定対象以外の発光素子101が出射する意図しない光」を検出せずに、測定対象の発光素子101が発光した光を検出し得る。よって、変形例2の光学測定装置3は、高い精度で色度等を測定することができる。
また、バンドルファイバ119の発光中心軸LCAに垂直な断面の形状は、図8Bに示すように矩形形状ではなく、円形形状であってもよい。
変形例2の光学測定装置3の他の構成については、図2〜図6に示された光学測定装置3の構成と同様である。
図9は、光学測定装置3の変形例3を説明するための図を示す。
変形例3の光学測定装置3は、図7に示された変形例1の光学測定装置3に積分球108を追加した構成を備える。
積分球108は、内壁108aと、取込口108bと、取出口108cとを備えている。
内壁108aは、積分球108の内部空間を形成する。内壁108aは、高反射率の拡散性に優れた材料で形成されている。
内壁108aには、取込口108b及び取出口108cが設けられている。
取込口108bの大きさは、光ファイバ117の入射口117cよりも十分に大きい。
取込口108bの開口中心軸は、測定対象の発光素子101の発光中心軸LCAと略一致する。
取込口108bは、発光素子101が発光した光を積分球108の内部に導く。取込口108bから積分球108の内部に導かれた光は、内壁108aで反射を繰り返し、取出口108cに到達する。
取出口108cは、内壁108aの取込口108bとは異なる位置に設けられている。
図9の取出口108cには、光ファイバ117が設けられている。
図9の取出口108cは、内壁108aで反射された光を光ファイバ117に導く。光ファイバ117に導かれた光は、光ファイバ117に入射し、光導波路120を経由して、フォトディテクタ105及び分光器121に導光される。
一般には、積分球は、取出口が2つ設けられている。2つの取出口のそれぞれには、2つの光ファイバが設けられている。2つの光ファイバのそれぞれは、分光器及びフォトディテクタと接続されている。そして、積分球に取り込まれた光は、2つの取出口に設けられた各々の光ファイバに入射し、分光器及びフォトディテクタに検出される。
これに対し、図9に示された積分球108は、取出口108cが1つだけ設けられている。このため、積分球108は、一般的な積分球と比べて、取出口108cの開口面積が小さくなり得る。よって、変形例3の光学測定装置3は、発光素子101の光学特性をより高い精度で測定することができる。
変形例3の光学測定装置3の他の構成については、図7に示された変形例1の光学測定装置3の構成と同様である。
図10は、光学測定装置3の変形例4を説明するための図を示す。図11は、図10に示された制御部151が光学特性測定時に行う処理を説明するためのフローチャートを示す。図12は、図10に示された光量調節器122の他の配置例を示す。
変形例4の光学測定装置3は、図9に示された変形例3の光学測定装置3に光量調節器122を追加した構成を備える。
しかし、発光素子101の品種毎で測定環境を変えることによって、分光器121への入射光量を調整することは負荷が大きい。
よって、品種の異なる発光素子101の光学特性を測定する場合であっても、同じ測定環境下で高精度に測定し得る技術が望まれている。
そのために、変形例4の光学測定装置3は、光量調節器122を備えている。
光量調節器122は、光導波路120と分光器121との間を接続する光伝送路117bの第1経路117d上に配置されている。
光量調節器122は、例えば、NDフィルタ(Neutral Density Filter)等の光量を減衰させる光学フィルタを用いて構成されている。或いは、光量調節器122は、電気光学素子、磁気光学素子、音響光学素子、又は液晶光学素子等を用いて構成されていてもよい。
光量調節器122は、制御部151と接続されている。
光量調節器122で調節される減衰量は、制御部151によって設定される。
光量調節器122で調節される減衰量は、分光器121の光電変換特性におけるダイナミックレンジ内に分光器121への入射光量が収まるように、適宜設定され得る。主として、発光素子101の品種に応じて異なる減衰量に設定され得る。なお、光量調節器122は、減衰量をゼロにし得る構成も備えている。
なお、図11に示された各ステップのうち、図6と同様の処理については説明を省略する。
制御部151は、ステップS60で無効にされた分光器121の測定結果と、当該結果に対応付けられたフォトディテクタ105の光量測定結果とを確認する。そして、制御部151は、当該光量測定結果に基づいて、光量調節器122で調節される減衰量を求める。制御部151は、求めた減衰量を含む制御信号を光量調節器122に出力し、光量調節器122に減衰量を設定する。
制御部151は、光量調節器122で調節される減衰量を、例えば、次のような方法で求め得る。
制御部151は、フォトディテクタ105及び分光器121に制御信号を出力して、フォトディテクタ105及び分光器121に再度測定するよう指示する。
再測定の際、分光器121は、ステップS70で設定された減衰量で減衰された光を検出し、光学特性を測定することができる。そして、再測定した分光器121の測定結果は、再び制御部151に入力されて、ステップS20で検証されることとなる。それにより、ステップS50で出力される分光器121の測定結果は、信頼性の高い測定だけとなる。
このため、変形例4の光学測定装置3は、発光素子101の光学特性測定時に、信頼性の高い測定結果のみを有効として出力することができる。
よって、変形例4の光学測定装置3の光学特性の測定結果は、高い信頼性を得ることができる。
このため、変形例4の光学測定装置3は、発光特性の異なる発光素子101の光学特性を測定する場合であっても、測定環境を変えずに、分光器121への入射光量を自動的に適正に保つことができる。
よって、変形例4の光学測定装置3は、品種の異なる発光素子101の光学特性を、同じ測定環境下で高精度に測定することができる。
変形例4の光学測定装置3の他の構成については、図9に示された変形例3の光学測定装置3の構成と同様である。
本実施形態の光学測定装置3は、発光素子101が発光する光を検出し、検出した光の光学特性を測定する分光器121と、分光器121よりもダイナミックレンジが広く、発光素子101が発光する光を検出し、検出した光の光学特性を測定するフォトディテクタ105と、フォトディテクタ105が測定した光学特性の1つである光量に基づいて、分光器121の測定結果が妥当であるか否かを判定する制御部151と、を備えることを特徴とする。
このような構成により、光学測定装置3は、簡単な構成で信頼性の高い測定結果を得ることができる。
このような構成により、光学測定装置3は、簡単な構成で信頼性の高い測定結果を得ることができる。
このような構成により、光学測定装置3は、複雑な手段を用いることなく、発光特性の異なる発光素子101の光学特性を測定する場合であっても測定環境を変えずに分光器121への入射光量を適正に保つことができる。
このような構成により、光学測定装置3は、複雑な手段を用いることなく、発光特性の異なる発光素子101の光学特性を測定する場合であっても測定環境を変えずに分光器121への入射光量を自動的に適正に保つことができる。
このような構成により、光学測定装置3は、複雑な手段を用いることなく、品種の異なる発光素子101の光学特性を同じ測定環境下で高精度に測定することができる。
このような構成により、光学測定装置3は、品種の異なる発光素子101の光学特性を同じ測定環境下で高精度に測定できる装置を、簡易な構成で実現することができる。
このような構成により、光学測定装置3は、品種の異なる発光素子101の光学特性を同じ測定環境下でも高精度に測定できる装置を、簡易な構成で実現することができる。
このような構成により、光学測定装置3は、品種の異なる発光素子101の光学特性を同じ測定環境下で高精度に測定できる装置を、簡易な構成で実現することができる。
「ダイナミックレンジ」は、入力と出力との比例関係が成立する範囲である。
本発明の「ダイナミックレンジ」の一例は、「第1測定器」又は「第2測定器」の光電変換特性におけるダイナミックレンジである。光電変換特性におけるダイナミックレンジは、入射光量と出力電流との比例関係が成立する範囲であり、光電変換特性における直線性が成立する範囲である。
本発明の「第1測定器」の一例は、分光器121である。
本発明の「第2測定器」の一例は、フォトディテクタ105である。
本発明の「制御部」の一例は、制御部151である。
本発明の「光量調節器」の一例は、光量調節器122である。
本発明の「導光管」の一例は、光ファイバ117である。
本発明の「光導波路」の一例は、光導波路120である。
本発明の「第1経路」の一例は、第1経路117dである。
本発明の「第2経路」の一例は、第2経路117eである。
本発明の「複数の導光管の束」の一例は、バンドルファイバ119である。
101 発光素子
105 フォトディテクタ
117 光ファイバ
117a ヘッド
117b 光伝送路
117c 入射口
117d 第1経路
117e 第2経路
119 バンドルファイバ
120 光導波路
121 分光器
122 光量調節器
151 制御部
Claims (8)
- 発光素子が発光する光を検出し、検出した光の光学特性を測定する第1測定器と、
前記第1測定器よりもダイナミックレンジが広く、前記発光素子が発光する光を検出し、検出した光の光学特性を測定する第2測定器と、
前記第2測定器が測定した光学特性の1つである光量に基づいて、前記第1測定器の測定結果が妥当であるか否かを判定する制御部と、
を備える光学測定装置。 - 前記制御部は、
前記第1測定器の測定結果が妥当であると判定したとき、前記第1測定器の測定結果を有効とし、
前記第1測定器の測定結果が妥当でないと判定したとき、前記第1測定器の測定結果を無効とする
請求項1に記載の光学測定装置。 - 前記制御部は、
前記第1測定器の測定結果が妥当であると判定したとき、前記第1測定器の測定結果を有効とし、
前記第1測定器の測定結果が妥当でないと判定したとき、前記第1測定器が検出する光の光量を調節する光量調節器を制御する
請求項1に記載の光学測定装置。 - 前記制御部は、前記第1測定器の測定結果が妥当でないと判定したとき、前記光量調節器を自動で制御する
請求項3に記載の光学測定装置。 - 前記制御部は、前記第1測定器の測定結果が妥当でないと判定したとき、前記光量調節器が前記光量を調節した後の光の光学特性を、前記第1測定器に再度測定させる
請求項3に記載の光学測定装置。 - 前記発光素子が発光した光が入射し、入射した光を分岐して前記第1測定器及び前記第2測定器に導光する導光管
を備える請求項5に記載の光学測定装置。 - 前記導光管の光伝送路を、前記第1測定器に向かう第1経路と前記第2測定器に向かう第2経路とに分岐する光導波路
を備える請求項6に記載の光学測定装置。 - 前記導光管は、複数の導光管の束で構成され、
前記束の一部の導光管は、前記入射した光を前記第1測定器に導光し、
前記束の他の一部の導光管は、前記入射した光を前記第2測定器に導光する
請求項6に記載の光学測定装置。
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0779203A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-03-20 | Hitachi Cable Ltd | 光受信器 |
JPH08255367A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-10-01 | Sony Corp | 光信号検出増幅装置 |
JPH09113411A (ja) * | 1995-10-17 | 1997-05-02 | Hitachi Cable Ltd | 受光装置 |
US5748302A (en) * | 1996-02-22 | 1998-05-05 | Ando Electric Co., Ltd. | Optical power meter |
JP2000206047A (ja) * | 1999-01-08 | 2000-07-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | スペクトル測定装置 |
JP2002228521A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-14 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光装置および分光方法 |
JP2003322564A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Ando Electric Co Ltd | 光パワーメータ |
JP2009133735A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置 |
JP2009257820A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置および光学特性測定方法 |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0779203A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-03-20 | Hitachi Cable Ltd | 光受信器 |
JPH08255367A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-10-01 | Sony Corp | 光信号検出増幅装置 |
JPH09113411A (ja) * | 1995-10-17 | 1997-05-02 | Hitachi Cable Ltd | 受光装置 |
US5748302A (en) * | 1996-02-22 | 1998-05-05 | Ando Electric Co., Ltd. | Optical power meter |
JP2000206047A (ja) * | 1999-01-08 | 2000-07-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | スペクトル測定装置 |
JP2002228521A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-14 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光装置および分光方法 |
JP2003322564A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-14 | Ando Electric Co Ltd | 光パワーメータ |
JP2009133735A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置 |
JP2009257820A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置および光学特性測定方法 |
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