JPWO2015012098A1 - 固体撮像素子および電子機器 - Google Patents
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Abstract
Description
(固体撮像素子の第1実施の形態の構成例)
図1は、本開示を適用した固体撮像素子としてのCMOSイメージセンサの第1実施の形態の構成例を示すブロック図である。
図2は、図1の画素アレイ部111に配置される画素の第1の構成例を示す断面図である。
図3は、図1の画素アレイ部111に配置される画素の第2の構成例を示す、半導体基板131を表面側から見た平面図である。
図4は、図1の画素アレイ部111に配置される画素の第3の構成例を示す断面図である。
図5は、図1の画素アレイ部111に配置される画素の第4の構成例を示す断面図である。
図7は、図1の画素アレイ部111に配置される画素の第5の構成例を示す断面図である。
図8は、CMOSイメージセンサ100の第1実施の形態の効果を説明する図である。
(固体撮像素子の第2実施の形態の画素の第1の構成例)
本開示を適用した固体撮像素子としてのCMOSイメージセンサ100の第2実施の形態の構成は、画素アレイ部111に2次元配置される画素の構成を除いて図1の構成と同様である。従って、以下では、画素の構成についてのみ説明する。
図10は、CMOSイメージセンサ100の第2実施の形態における画素の第2の構成例を示す、半導体基板131を表面側から見た平面図である。
図12は、CMOSイメージセンサ100の第2実施の形態における画素の第3の構成例を示す断面図である。
図13は、CMOSイメージセンサ100の第2実施の形態における画素の第4の構成例を示す断面図である。
CMOSイメージセンサ100の第2実施の形態においても、従来の低感度画素に比べて、低感度画素230−1(250−1,280−1)のフォトダイオード231−1の容量が大きい。従って、第1実施の形態と同様に、図8を参照して説明したダイナミックレンジが大きいという効果が得られる。
(固体撮像素子の第3実施の形態の画素の第1の構成例)
本開示を適用した固体撮像素子としてのCMOSイメージセンサ100の第3実施の形態の構成は、画素アレイ部111に2次元配置される画素の構成を除いて図1の構成と同様である。従って、以下では、画素の構成についてのみ説明する。
図17は、CMOSイメージセンサ100の第3実施の形態における画素の第2の構成例を示す断面図である。
CMOSイメージセンサ100の第3実施の形態においても、従来の低感度画素に比べて、低感度画素のフォトダイオード321−1の容量が大きい。従って、第1実施の形態と同様に、図8を参照して説明したダイナミックレンジが大きいという効果が得られる。
(電子機器の一実施の形態の構成例)
図18は、本開示を適用した電子機器としての撮像装置の構成例を示すブロック図である。
高感度画素と、前記高感度画素よりも感度が低い低感度画素とを有する画素と、
前記低感度画素の光電変換素子のポテンシャルを制御する低感度画素制御ゲートと
を備える固体撮像素子。
(2)
前記低感度画素制御ゲートは、前記低感度画素の光電変換素子に電荷を蓄積するときにハイレベルとなり、前記電荷を転送するときにローレベルとなる
前記(1)に記載の固体撮像素子。
(3)
前記低感度画素制御ゲートは、前記低感度画素の光電変換素子の光の入射側と反対の側に形成される
前記(1)または(2)に記載の固体撮像素子。
(4)
前記低感度画素の光電変換素子に蓄積された電荷を電圧に変換し、前記高感度画素の光電変換素子に蓄積された電荷を電圧に変換する電荷電圧変換部
をさらに備える
前記(1)乃至(3)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(5)
前記画素の配列はベイヤ配列であり、
緑色の前記画素どうしの前記高感度画素、前記低感度画素、および前記電荷電圧変換部の配置は同一であり、
赤色の前記画素と青色の前記画素の前記高感度画素、前記低感度画素、および前記電荷電圧変換部の配置は同一である
前記(4)に記載の固体撮像素子。
(6)
前記高感度画素の光電変換素子と前記低感度画素の光電変換素子に光を集光させるレンズ
をさらに備える
前記(1)乃至(5)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(7)
前記高感度画素の光電変換素子のポテンシャルを制御する高感度画素制御ゲート
をさらに備え、
前記高感度画素制御ゲートは、前記高感度画素の光電変換素子に電荷を蓄積するとき、および、前記電荷を転送するときにローレベルにされる
前記(1)乃至(6)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(8)
高感度画素と、前記高感度画素よりも感度が低い低感度画素とを有する画素と、
前記低感度画素の光電変換素子のポテンシャルを制御する低感度画素制御ゲートと
を備える電子機器。
(9)
高感度画素と、前記高感度画素よりも感度が低い低感度画素とを有する画素
を備え、
前記低感度画素の光電変換素子のポテンシャル深部は、前記高感度画素の光電変換素子の外側で水平方向に延びる
固体撮像素子。
(10)
前記画素の数は複数であり、
複数の前記画素のうちの第1の画素の前記低感度画素の光電変換素子に蓄積された電荷を電圧に変換し、前記第1の画素と隣接する第2の画素の前記高感度画素の光電変換素子に蓄積された電荷を電圧に変換する電荷電圧変換部
をさらに備える
前記(9)に記載の固体撮像素子。
(11)
前記高感度画素および前記低感度画素の光電変換素子の光の入射側と反対の側に形成される、前記電荷電圧変換部の変換によって得られる電圧の信号である撮像信号を読み出す回路
をさらに備える
前記(10)に記載の固体撮像素子。
(12)
前記高感度画素および前記低感度画素の光電変換素子の光の入射側に形成される、前記電荷電圧変換部の変換によって得られる電圧の信号である撮像信号を読み出す回路
をさらに備える
前記(10)に記載の固体撮像素子。
(13)
前記高感度画素の光電変換素子の一部は外側に延びている
前記(9)乃至(11)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(14)
前記低感度画素の光電変換素子のポテンシャルを制御する低感度画素制御ゲート
をさらに備える
前記(9)乃至(13)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(15)
前記低感度画素制御ゲートは、前記低感度画素の光電変換素子に電荷を蓄積するときにハイレベルとなり、前記電荷を転送するときにローレベルとなる
前記(14)に記載の固体撮像素子。
(16)
高感度画素と、前記高感度画素よりも感度が低い低感度画素とを有する画素
を備え、
前記低感度画素の光電変換素子のポテンシャル深部は、前記高感度画素の光電変換素子の外側で水平方向に延びる
電子機器。
(17)
高感度画素と、前記高感度画素よりも感度が低い低感度画素とを有する画素
を備え、
前記低感度画素の光電変換素子の電界は、前記高感度画素の光電変換素子に比べて強い
固体撮像素子。
(18)
前記低感度画素の光電変換素子に蓄積された電荷を電圧に変換する電荷電圧変換部と、
前記高感度画素および前記低感度画素の光電変換素子の光の入射側と反対の側に形成される、前記電荷電圧変換部の変換によって得られる電圧の信号である撮像信号を読み出す回路
をさらに備える
前記(17)に記載の固体撮像素子。
(19)
前記低感度画素の光電変換素子に蓄積された電荷を電圧に変換する電荷電圧変換部と、
前記高感度画素および前記低感度画素の光電変換素子の光の入射側に形成される、前記電荷電圧変換部の変換によって得られる電圧の信号である撮像信号を読み出す回路
をさらに備える
前記(17)に記載の固体撮像素子。
(20)
高感度画素と、前記高感度画素よりも感度が低い低感度画素とを有する画素と、
前記低感度画素の光電変換素子の電界は、前記高感度画素の光電変換素子に比べて強い
電子機器。
Claims (20)
- 高感度画素と、前記高感度画素よりも感度が低い低感度画素とを有する画素と、
前記低感度画素の光電変換素子のポテンシャルを制御する低感度画素制御ゲートと
を備える固体撮像素子。 - 前記低感度画素制御ゲートは、前記低感度画素の光電変換素子に電荷を蓄積するときにハイレベルとなり、前記電荷を転送するときにローレベルとなる
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記低感度画素制御ゲートは、前記低感度画素の光電変換素子の光の入射側と反対の側に形成される
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記低感度画素の光電変換素子に蓄積された電荷を電圧に変換し、前記高感度画素の光電変換素子に蓄積された電荷を電圧に変換する電荷電圧変換部
をさらに備える
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記画素の配列はベイヤ配列であり、
緑色の前記画素どうしの前記高感度画素、前記低感度画素、および前記電荷電圧変換部の配置は同一であり、
赤色の前記画素と青色の前記画素の前記高感度画素、前記低感度画素、および前記電荷電圧変換部の配置は同一である
請求項4に記載の固体撮像素子。 - 前記高感度画素の光電変換素子と前記低感度画素の光電変換素子に光を集光させるレンズ
をさらに備える
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記高感度画素の光電変換素子のポテンシャルを制御する高感度画素制御ゲート
をさらに備え、
前記高感度画素制御ゲートは、前記高感度画素の光電変換素子に電荷を蓄積するとき、および、前記電荷を転送するときにローレベルにされる
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 高感度画素と、前記高感度画素よりも感度が低い低感度画素とを有する画素と、
前記低感度画素の光電変換素子のポテンシャルを制御する低感度画素制御ゲートと
を備える電子機器。 - 高感度画素と、前記高感度画素よりも感度が低い低感度画素とを有する画素
を備え、
前記低感度画素の光電変換素子のポテンシャル深部は、前記高感度画素の光電変換素子の外側で水平方向に延びる
固体撮像素子。 - 前記画素の数は複数であり、
複数の前記画素のうちの第1の画素の前記低感度画素の光電変換素子に蓄積された電荷を電圧に変換し、前記第1の画素と隣接する第2の画素の前記高感度画素の光電変換素子に蓄積された電荷を電圧に変換する電荷電圧変換部
をさらに備える
請求項9に記載の固体撮像素子。 - 前記高感度画素および前記低感度画素の光電変換素子の光の入射側と反対の側に形成される、前記電荷電圧変換部の変換によって得られる電圧の信号である撮像信号を読み出す回路
をさらに備える
請求項10に記載の固体撮像素子。 - 前記高感度画素および前記低感度画素の光電変換素子の光の入射側に形成される、前記電荷電圧変換部の変換によって得られる電圧の信号である撮像信号を読み出す回路
をさらに備える
請求項10に記載の固体撮像素子。 - 前記高感度画素の光電変換素子の一部は外側に延びている
請求項9に記載の固体撮像素子。 - 前記低感度画素の光電変換素子のポテンシャルを制御する低感度画素制御ゲート
をさらに備える
請求項9に記載の固体撮像素子。 - 前記低感度画素制御ゲートは、前記低感度画素の光電変換素子に電荷を蓄積するときにハイレベルとなり、前記電荷を転送するときにローレベルとなる
請求項14に記載の固体撮像素子。 - 高感度画素と、前記高感度画素よりも感度が低い低感度画素とを有する画素
を備え、
前記低感度画素の光電変換素子のポテンシャル深部は、前記高感度画素の光電変換素子の外側で水平方向に延びる
電子機器。 - 高感度画素と、前記高感度画素よりも感度が低い低感度画素とを有する画素
を備え、
前記低感度画素の光電変換素子の電界は、前記高感度画素の光電変換素子に比べて強い
固体撮像素子。 - 前記低感度画素の光電変換素子に蓄積された電荷を電圧に変換する電荷電圧変換部と、
前記高感度画素および前記低感度画素の光電変換素子の光の入射側と反対の側に形成される、前記電荷電圧変換部の変換によって得られる電圧の信号である撮像信号を読み出す回路
をさらに備える
請求項17に記載の固体撮像素子。 - 前記低感度画素の光電変換素子に蓄積された電荷を電圧に変換する電荷電圧変換部と、
前記高感度画素および前記低感度画素の光電変換素子の光の入射側に形成される、前記電荷電圧変換部の変換によって得られる電圧の信号である撮像信号を読み出す回路
をさらに備える
請求項17に記載の固体撮像素子。 - 高感度画素と、前記高感度画素よりも感度が低い低感度画素とを有する画素と、
前記低感度画素の光電変換素子の電界は、前記高感度画素の光電変換素子に比べて強い
電子機器。
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