JPWO2015001805A1 - 多層膜反射鏡、多層膜反射鏡の製造方法、投影光学系、露光装置、デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(b)前記第2等周期多層膜が単体で有する反射特性、
(c)前記調整層の膜厚
本発明の多層膜反射鏡の製造方法の一例は、本発明の多層膜反射鏡の一例の製造方法であって、前記多層膜反射鏡を構成する何れかの層の材料である粒子を成膜領域に向けて放出する放出手順と、前記多層膜反射鏡の前記基板と前記成膜領域とを相対移動させる移動手順と、前記移動方向における前記成膜領域のサイズと前記移動の速度との少なくとも一方を制御することにより、前記基板に形成される前記層の膜厚分布を制御する制御手順とを含む。
以下、本発明の第1実施形態として多層膜反射鏡の実施形態を説明する。ここでは、本実施形態の多層膜反射鏡をEUV露光装置の投影光学系へ適用することを想定する。
dSA=3.670、
dB=7.571、ΓB=0.445、NB=9、
dSB=3.670、
dC=7.571、ΓC=0.445、NC=20
また、代表反射点A−2のパラメータは、以下のとおり設定されている。
dSA=3.3、
dB=7.49、ΓB=0.332、NB=9、
dSB=3.25、
dC=7.571、ΓC=0.445、NC=20
また、代表反射点A−3のパラメータは、以下のとおり設定されている。
dSA=3、
dB=7.43、ΓB=0.219、NB=9、
dSB=2.8、
dC=7.571、ΓC=0.445、NC=20
また、代表反射点A−4のパラメータは、以下のとおり設定されている。
dSA=2.7、
dB=7.39、ΓB=0.1069、NB=9、
dSB=2.3、
dC=7.571、ΓC=0.445、NC=20
また、代表反射点A−5のパラメータは、以下のとおり設定されている。
dSA=2.4、
dB=7.4、ΓB=0.0135、NB=9、
dSB=1.8、
dC=7.571、ΓC=0.445、NC=20
したがって、本実施形態の多層膜反射鏡100では、代表反射点A−1から代表反射点A−5にかけては、ブロックA、Bのペア比ΓA、ΓBが徐々に小さくなっており、また、スペーサ層SA、SBの膜厚dSA、dSBが徐々に薄くなっている。
以下、本発明の第2実施形態として多層膜反射鏡の実施形態を説明する。ここでは、第1実施形態との相違点を主に説明する。
なお、図12は、反射率の波長特性を幾つかの多層膜について示したグラフである。なお、図12に示す波長特性は、波長13.5nmの直入射EUV光に関する波長特性である。
以下、本発明の第3実施形態として、多層膜反射鏡の更に具体的な実施形態を説明する。ここでは、第1実施形態又は第2実施形態で説明済みの事項の説明を省略する。
以下、本発明の第4実施形態として成膜装置の実施形態を説明する。本実施形態の成膜装置は、第1実施形態〜第3実施形態の何れかで説明した多層膜反射鏡の製造に適用することが可能である。
[第5実施形態]
以下、本発明の第5実施形態として成膜方法の実施形態を説明する。本実施形態の成膜方法は、第1実施形態〜第3実施形態の何れかで説明した多層膜反射鏡の製造に適用することが可能である。本実施形態でも第4実施形態と同様にスパッタリング法を想定するが、本実施形態では、開口形状が可変の絞り(可変絞り)の代わりに、開口形状の固定された遮蔽マスクを使用する。
図15は、本実施形態の基本的な成膜方法を説明する図である。なお、ここでは、成膜対象となる基板104の面形状を回転対称非球面と仮定する。
図16は、第5実施形態の第1実施例を説明する図である。第1実施例では、基板104に形成される層の膜厚分布を、軸外し回転対称分布とする。「軸外し回転対称分布」とは、基板104の非球面軸から外れた軸の周りに回転対称な分布のことを指す。
図17、図18、図19は、第5実施形態の第2実施例を説明する図である。ここでは、第1実施例との相違点を説明する。
図20、図21、図22は、第5実施形態の第3実施例を説明する図である。ここでは、第2実施例との相違点を説明する。
図23、図24、図25は、第5実施形態の第4実施例を説明する図である。ここでは、第3実施例との相違点を説明する。
図26、図27、図28は、第5実施形態の第5実施例を説明する図である。ここでは、第4実施例との相違点を説明する。
以下、本発明の第6実施形態として成膜装置の実施形態を説明する。本実施形態の成膜装置は、第1実施形態〜第3実施形態の何れかで説明した多層膜反射鏡の製造に適用することが可能である。
以下、本発明の第7実施形態として成膜装置の実施形態を説明する。本実施形態の成膜装置は、第1実施形態〜第3実施形態の何れかで説明した多層膜反射鏡の製造に適用することが可能である。
以下、本発明の第8実施形態として成膜装置及びそれを使用した成膜方法の実施形態を説明する。本実施形態の成膜装置及び成膜方法は、第1実施形態〜第3実施形態の何れかで説明した多層膜反射鏡の製造に適用することが可能である。本実施形態では、非回転対称な膜厚分布の層を基板に成膜する。
以下、本発明の第9実施形態として成膜装置の実施形態を説明する。本実施形態の成膜装置は、第1実施形態〜第3実施形態の何れかで説明した多層膜反射鏡の製造に適用することが可能である。
以下、本発明の第10実施形態として露光装置の実施形態を説明する。下記の投影光学系の少なくとも1つのミラーには、上述した何れかの実施形態の多層膜反射鏡が適用される。
以下、本発明の第11実施形態としてデバイスの製造方法の実施形態を説明する。本実施形態のデバイスの製造方法には、第10実施形態の何れかの露光装置が適用される。
第1実施形態〜第3実施形態の何れかの多層膜反射鏡は、基板(P)側から順に、第1等周期多層膜(基板側ブロック)と、調整層(スペーサ層など)と、第2等周期多層膜(反基板側ブロック)とを有した多層膜反射鏡であって、下記(a)〜(c)の組み合わせが反射面内の位置毎又は領域毎に設定されている。
前記層対の周期長d1、
前記第1等周期多層膜における前記層対の積層回数N1、
前記第2等周期多層膜を構成する層対の膜厚比Γ2、
前記層対の周期長d2、
前記第2等周期多層膜における前記層対の積層回数N2、
前記調整層の膜厚d3
例えば、第1実施形態の多層膜反射鏡の前記反射面内には、パラメータΓ1、d3の組み合わせの異なる少なくとも2つの反射点又は反射領域が存在する。また、Γ1、d3以外のパラメータは前記反射面内で一様又はほぼ一様である。
なお、上述の各実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。また、法令で許容される限りにおいて、上述の各実施形態及び変形例で引用した装置等に関する全ての公開公報及び米国特許の開示を援用して本文の記載の一部とする。
本発明の多層膜反射鏡の製造方法の一例は、本発明の多層膜反射鏡の一例の製造方法であって、前記多層膜反射鏡を構成する何れかの層の材料である粒子を成膜領域に向けて放出する放出手順と、前記多層膜反射鏡の前記基板と前記成膜領域とを相対移動させる移動手順と、前記移動方向における前記成膜領域のサイズと前記移動の速度との少なくとも一方を制御することにより、前記基板に形成される前記層の膜厚分布を制御する制御手順とを含む。
Claims (15)
- 基板側から順に、第1等周期多層膜と、調整層と、第2等周期多層膜とを有した多層膜反射鏡であって、下記(a)〜(c)の組み合わせが反射面内の位置毎又は領域毎に設定されていることを特徴とする多層膜反射鏡。
(a)前記第1等周期多層膜が単体で有する反射特性
(b)前記第2等周期多層膜が単体で有する反射特性
(c)前記調整層の膜厚 - 請求項1に記載の多層膜反射鏡において、
下記パラメータΓ1、d1、N1、Γ2、d2、N2、d3の組み合わせは、前記反射面内の位置毎又は領域毎に設定されていることを特徴とする多層膜反射鏡。
前記第1等周期多層膜を構成する層対の膜厚比Γ1、
前記層対の周期長d1、
前記第1等周期多層膜における前記層対の積層回数N1、
前記第2等周期多層膜を構成する層対の膜厚比Γ2、
前記層対の周期長d2、
前記第2等周期多層膜における前記層対の積層回数N2、
前記調整層の膜厚d3 - 請求項2に記載の多層膜反射鏡において、
前記反射面内には、パラメータΓ1、d3の組み合わせの異なる少なくとも2つの反射点又は反射領域が存在する
ことを特徴とする多層膜反射鏡。 - 請求項2に記載の多層膜反射鏡において、
前記反射面内には、パラメータN1、N2の組み合わせの異なる少なくとも2つの反射点又は反射領域が存在する
ことを特徴とする多層膜反射鏡。 - 請求項2〜請求項4の何れか一項に記載の多層膜反射鏡において、
前記反射面内における前記組み合わせの分布は、滑らかな分布に設定されている
ことを特徴とする多層膜反射鏡。 - 請求項2〜請求項5に記載の多層膜反射鏡において、
前記調整層は、
前記第1等周期多層膜を構成する物質のうち、使用波長における消衰係数が最も大きな物質の消衰係数より小さな消衰係数を有するスペーサ層、ミキシング層、熱拡散層の何れかである
ことを特徴とする多層膜反射鏡。 - 請求項2〜請求項5の何れか一項に記載の多層膜反射鏡において、
前記調整層は、
C、B、Zr、Nb、Ru、Mo、Siのうち何れか1つの物質からなるスペーサ層、
又は、C、B、Zr、Nb、Ru、Mo、Siのうち少なくとも1つの物質を含む混合物層からなるスペーサ層である
ことを特徴とする多層膜反射鏡。 - 請求項7に記載の多層膜反射鏡において、
前記第1等周期多層膜又は前記第2等周期多層膜を構成する前記層対は、
Mo層とSi層との組み合わせからなり、
前記スペーサ層は、
Mo層又はSi層からなる
ことを特徴とする多層膜反射鏡。 - 請求項1〜請求項8の何れか一項に記載の多層膜反射鏡の製造方法であって、
前記多層膜反射鏡を構成する何れかの層の材料である粒子を成膜領域に向けて放出する放出手順と、
前記多層膜反射鏡の前記基板と前記成膜領域とを相対移動させる移動手順と、
前記移動方向における前記成膜領域のサイズと前記移動の速度との少なくとも一方を制御することにより、前記基板に形成される前記層の膜厚分布を制御する制御手順と、
を含むことを特徴とする多層膜反射鏡の製造方法。 - 請求項1〜請求項8の何れか一項に記載の多層膜反射鏡の製造方法であって、
前記多層膜反射鏡を構成する何れかの層の材料である粒子を、前記多層膜反射鏡の前記基板に向けて放出する放出手順と、
前記粒子の経路にセットされるべきマスクとして開口パターンの異なる複数のマスクを使い分けることにより、前記基板に形成される前記層の膜厚分布を制御する制御手順と、
を含むことを特徴とする多層膜反射鏡の製造方法。 - 請求項10に記載の多層膜反射鏡の製造方法であって、
前記制御手順では、
前記粒子の放出中に前記基板を軸周りに回転させ、前記基板の回転速度を、前記基板の回転角度位置の関数として制御する
ことを特徴とする多層膜反射鏡の製造方法。 - 請求項10又は請求項11に記載の多層膜反射鏡の製造方法であって、
前記複数のマスクが前記基板へ個別に形成する各部分層の膜厚分布は、互いに直交関係にある
ことを特徴とする多層膜反射鏡の製造方法。 - 請求項1〜請求項8の何れか一項に記載の多層膜反射鏡を備えることを特徴とする投影光学系。
- 請求項13に記載の投影光学系を備えることを特徴とする露光装置。
- 請求項14に記載の露光装置を使用することを特徴とするデバイスの製造方法。
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