JPWO2014132379A1 - フーリエ変換赤外分光光度計 - Google Patents

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Abstract

付属品の装着による干渉条件の変化の影響を受けず、測定精度が高いフーリエ変換赤外分光光度計を提供する。本発明に係るフーリエ変換赤外分光光度計は、付属品２０を着脱自在に装着可能な試料室２と干渉光学系が共通のベース上に設けられたフーリエ変換赤外分光光度計であって、付属品２０が試料室２内に装着された際に、該付属品２０に付された付属品情報を読み取る付属品情報読取手段２２と、付属品情報読取手段２２で読み取られた付属品情報に基づいて、付属品２０毎の重量の相違などに起因して変化する、干渉光学系の設定条件を変更する設定条件変更手段（制御部３０）とを備えることを特徴とする。

Description

本発明は、フーリエ変換赤外分光光度計（Fourier Transform InfraRed Spectrophotometer、以下、"FTIR"とする）に関する。
FTIRでは、マイケルソン型干渉計を代表とする干渉計により時間的に振幅が変動する赤外干渉波を生成して試料に照射し、試料を透過する透過光又は試料に反射される反射光をインターフェログラムとして検出し、このインターフェログラムをフーリエ変換処理することによって、横軸に波数、縦軸に強度をとったスペクトル（パワースペクトル）を得る。ここでマイケルソン型干渉計は、ビームスプリッタ（ハーフミラー）、固定鏡、移動鏡などを含む装置であり、光をビームスプリッタで２つに分割し、一方を固定鏡で、他方を移動鏡で反射させた後、これら２つの反射光を干渉させるものである。移動鏡を移動させることにより、得られる干渉光の振幅は時間的に変動する。
上記のように、試料を透過又は反射した光から得られるパワースペクトルを、本願では「サンプルスペクトル」と呼ぶ。サンプルスペクトルにはバックグラウンドが重畳されているため、吸光スペクトルや透過スペクトルを得るためには、サンプルスペクトルからバックグラウンドを差し引く必要がある。その差し引きを行うために、FTIRでは従来より、サンプルスペクトルを測定する前に、試料無しで測定することにより、バックグラウンドのスペクトルを取得する操作が行われている。
サンプルスペクトル及びバックグラウンドスペクトルを測定する際に移動鏡の向きが変化（ピッチング、ヨーイング）すると、得られる赤外干渉波の振幅に時間変動が生じるおそれがある。そこで、FTIRでは、このような移動鏡の向きの変動による赤外干渉波の振幅の変動を防ぐために、ダイナミックアライメント（特許文献１）が広く用いられている。
ダイナミックアライメントでは、インターフェログラムを得るための主干渉計（マイケルソン型干渉計）において使用する赤外光よりも断面積が小さいレーザ光を用いて、試料無しの状態で移動鏡を移動させる間におけるレーザ光のスポットの位置の移動をフォトダイオードアレイで検出することにより、移動中の移動鏡の向きの変化を求める事前測定を行う。その事前測定の結果に基づいて、FTIRの測定を行う際に、移動鏡の向きの変動による影響を打ち消すように、固定鏡の向きの調整を移動鏡の移動中に継続的に行う。固定鏡の向きの調整は、例えば固定鏡の裏面に設けられた圧電素子に電圧を印加することにより行う。
特開平02-253103号公報
FTIRでは、全反射測定（ATR）法、正反射測定法、拡散反射測定法などの測定方法の相違に応じて、あるいは試料の相（気体、液体、固体）の相違に応じて、試料を設置する試料室に、交換可能な測定用の付属品を装着する。例えば、液体や気体を測定する場合には、それらを収容するセルを有する付属品を用いる。また、ATR法を用いた測定を行う場合には、試料をプリズムの表面に固定すると共に、試料への赤外干渉光の入射角を変更するためにプリズムを移動させる移動機構が設けられた付属品を用いる。移動機構には、手動式のものの他に、モータを用いたものもある。また、試料室には、付属品として、赤外顕微鏡を装着することもある。
これらの付属品が装着される試料室は、振動が伝わりにくいように、サスペンションを介して装置筐体に載置されているが、試料室内に付属品が装着されていない状態で干渉条件を最適に設定しておいても、付属品が装着されることによって最適な干渉条件からずれてしまう上に、そのずれ方が付属品によって異なる。
このような干渉条件のずれによる信号強度の低下により、たとえダイナミックアライメントを実行しても、FTIRの測定精度が低下してしまう。本発明が解決しようとする課題は、付属品の装着による干渉条件の変化の影響を受けず、測定精度が高いFTIRを提供することである。
本願発明者は、付属品の装着によって干渉条件が変化する原因が、試料室及び干渉計が独立したサスペンションを介して設置されたベースが付属品の重量によってわずかに歪むことにあることを見出した。すなわち、ベースが歪むと、干渉計の固定鏡と移動鏡の相互の位置関係が変化する。干渉条件はこの位置関係によって敏感に変化するため、ベースの歪みがわずかであっても悪影響が及ぶこととなる。また、ベースが歪むことにより、検出器への赤外光の入射位置がずれることもある。
また、付属品毎に、光路や付属品を構成するプリズムやミラー、スリットなどの光学素子が異なり、スループットが異なる。したがって、検出器に入射する赤外光の光量が低下し、それによって信号強度が低下してしまうこともある。
すなわち、上記課題を解決するために成された本発明は、付属品を着脱自在に装着可能な試料室と干渉光学系が共通のベース上に設けられたフーリエ変換赤外分光光度計であって、
a) 前記付属品が前記試料室内に装着された際に、該付属品に付された付属品情報を読み取る付属品情報読取手段と、
b) 前記付属品情報読取手段で読み取られた前記付属品情報に基づいて、前記干渉光学系の設定条件を、該付属品に応じて変更する設定条件変更手段と、
を備えることを特徴とする。
本発明に係るフーリエ変換赤外分光光度計では、複数種の付属品にそれぞれ、その付属品に対応した情報（付属品情報）を付しておく。そして、付属品情報読取手段は、付属品が試料室内に装着された際に、その付属品に付された付属品情報を読み取る。こうして読み取られた付属品情報に基づき、設定条件変更手段は、装着した付属品に応じて、干渉光学系の設定条件を変更する。このように変更された設定条件に基づいて、測定を実行する。これにより、付属品毎の、最適な条件で測定することができる。
付属品毎の干渉光学系の設定条件は、予めバックグラウンドスペクトルの測定実験を行って求めたうえで、フーリエ変換赤外分光光度計が有する記録手段に付属品毎に記録しておき、設定条件変更手段は付属品に対応した設定条件を記録手段から読み出すようにすればよい。この記録手段の代わりに、付属品毎の干渉光学系の設定条件を付属品情報として付属品に付してもよい。
設定条件変更手段では、例えば、赤外光を２つに分割して一方を固定鏡で、他方を移動鏡で反射させた後にこれら２つの反射光を干渉させる干渉光学系において、移動鏡に対する固定鏡の相対的な向きを調整するためのパラメータを変更する。このように変更されたパラメータに基づいて、前述のように測定実行時にダイナミックアライメントを行う際には、移動鏡の移動中に、移動鏡に対する固定鏡の相対的な向きを一定にするために、当該パラメータを付属品に対応した所定値に維持されるようにフィードバック制御を行うことにより、固定鏡の向きを継続的に調整する。
また付属品毎に、光路や光学素子の相違によりスループットが異なるため、付属品を搭載することで、検出器が受光する赤外光の光量が変化する。それを補うように、設定条件変更手段は、光源の輝度を設定するためのパラメータを変更するようにしてもよい。
付属品に付す付属品情報は、ICチップやバーコードなど、通常の読取可能な記録手段に記録すればよい。
本発明により、装着された付属品の相違による干渉条件の変化の影響を排除して、高い精度で測定が可能なFTIRを得ることができる。
本発明に係るFTIRの一実施例の概略構成図。 本実施例のFTIRの試料室の概略構成図。 本実施例のFTIRの試料室に装着される付属品の一例を示す概略構成図。 本実施例のFTIRの試料室に装着される付属品の別の一例を示す概略構成図。 本実施例のFTIRの試料室に装着される付属品の別の一例を示す概略構成図。 本実施例のFTIRにおいて、測定により得られたパワースペクトルに基づいて、ダイナミックアライメントの位相差の最適値を再調整するときの工程を示すフローチャート。
本発明に係るFTIRの実施例を、図１〜図６を用いて説明する。
(1) 本実施例のFTIRの構成
本実施例のFTIRでは、図１に示すように、干渉計室１及び試料室２がベース３の上面に設けられている。干渉計室１及び試料室２とベース３の間にはサスペンション（図示せず）が設けられている。
干渉計室１は気密性を有し、その内部には、赤外光源１０、集光鏡１１、コリメータ鏡１２、ビームスプリッタ１３、固定鏡１４、及び移動鏡１５から構成される主干渉計が設けられている。また、干渉計室１の内部には、レーザ光源１６及びレーザ用ミラー１７、並びに主干渉計と共通のビームスプリッタ１３、固定鏡１４及び移動鏡１５から構成されるコントロール干渉計も設けられている。主干渉計は試料に照射する主干渉光を発生させるためのものであり、コントロール干渉計は、移動鏡１５に対する固定鏡１４の相対的な向きを調整するためのパラメータを測定するためのものである。干渉計室１の外部には、主干渉計から出射される主干渉光が放物面鏡４、試料室２（前述）、及び楕円面鏡５を介して赤外光検出器６に導入されるよう、これら各部が配設されている。固定鏡１４の背面には、固定鏡１４の姿勢（向き）を調整するための圧電素子１４ａが設けられている。
図２は、試料室２の概略構成図である。この内部には、図３〜図５のような付属品２０が装着される。本実施例のFTIRで用いる付属品２０には、付属品情報（例えば製品番号）が記録されたICチップ２１が付設されている。また、試料室２の内部には、付属品２０が試料室２に装着されたときにICチップ２１の付属品情報を読み取るよう、付属品情報読取部２２が設けられている。
また、本実施例のFTIRには制御部３０（設定条件変更手段）が設けられており、制御部３０は、演算部３１、パラメータ記憶部３２及びデータ処理部３３を有している。制御部３０の機能は、後述する本実施例のFTIRの動作の説明において述べる。
試料室２内に装着される付属品２０には、例えば以下のものがある。
(a) 測定方法に応じた付属品
(a-1) ATR測定用付属品
ATR測定は、プリズムに試料を押しつけ、プリズムと試料の境界においてわずかに試料内に侵入しつつ全反射される赤外光から、試料の吸収スペクトルを得るものである。ATR測定用付属品は、図３に示すように、試料に押しつけられるプリズムと、試料に所定の角度で赤外光を入射させると共に反射光を検出器に導入する光学系を有する（例えば、株式会社島津製作所製・ATR-8200H）。また、試料への赤外光の入射角度を変更するために、プリズム及び試料を移動させる機構が設けられたATR測定用付属品もある（例えば、株式会社島津製作所製・ATR-8000A）。
(a-2) 正反射測定用付属品
正反射測定は、プリズムを使用することなく試料の反射スペクトルを測定する方法であり、ATR測定よりも古くから行われているものである。また、正反射測定法では、反射スペクトルをクラマース・クローニッヒ解析することにより、吸収スペクトルを得ることもできる。正反射測定用付属品は、図４に示すように、試料に所定の角度で赤外光を入射させると共に反射光を検出器に導入する光学系を有する（例えば、株式会社島津製作所製・SRM-8000A）。正反射測定用付属品においても、試料への赤外光の入射角度を変更する機構が設けられたものがある（例えば、株式会社島津製作所製・VeeMAX II A）。
(a-3) 透過測定用付属品
透過測定は、文字通り試料を透過する赤外光のスペクトルを測定する方法である。正反射測定用付属品は、試料を透過した赤外光を遮らないように、孔や該赤外光を透過する材料から成る窓が設けられた試料ホルダと、赤外光を、試料を透過させて検出器に導入する光学系を有する。
(b) 試料の相に応じた付属品
(b-1) 液体セル
液体試料を測定する場合に使用する。また、不揮発性の液体試料に用いる液体セルとは別に、揮発性の液体試料では、より気密性の高い液体セルを用いる。
(b-2) ガスセル（気体セル）
気体試料を測定する場合に使用する。また、希薄な気体試料を測定する場合には、試料による赤外光の吸収量を多くするために、図５に示すように、セル内で赤外光が繰り返し反射するように反射鏡を設けたガスセルを使用する。
(c) 赤外顕微鏡
FTIRでは、赤外顕微鏡と組み合わせることで、試料の拡大画像とサンプルスペクトルを同時に得ることができる。FTIRの付属品としての赤外顕微鏡は一般的に、試料に相対する対物レンズを通る顕微鏡としての光学系と、試料の側方から赤外光を試料に入射させ、反対側の試料側方から反射光を取り出すFTIRとしての光学系を有する。
(2) 本実施例のFTIRの動作
(2-1) 事前測定
FTIRでは通常、出荷時やメンテナンス時に、試料室に付属品を装着していない状態で最適になるよう、干渉光学系が設定される。本実施例においてもその点は同様である。ここで、試料室２に装着する付属品はそれぞれ重量が異なるため、干渉計室１及び試料室２を支持するベース３に生じる歪みも付属品によって異なる。このベース３の歪みの相違によって、ダイナミックアライメントにおける固定鏡１４の傾きを調整するためのパラメータが、付属品毎に相違することとなる。そこで予め、試料室に付属品を装着せずに干渉光学系が最適に設定された状態において、付属品毎に、試料室に装着したうえで当該パラメータを求める事前測定を行う。この事前測定は、工場出荷時に行ってもよいし、新しい付属品を初めて装着する際に使用者が行うようにしてもよい。以下、事前測定の方法を説明する。
まず、付属品を試料室２に装着する。そして、コントロール干渉計のレーザ光源１６からレーザ光を出射する。このレーザ光は、レーザ用ミラー１７を介してビームスプリッタ１３に照射されることによって２つに分割され、一方のレーザ光は固定鏡１４に反射されてビームスプリッタ１３に戻り、他方のレーザ光は移動鏡１５に反射されてビームスプリッタ１３に戻る。これにより、これら２つの光が干渉したレーザ干渉光が生成され、干渉計室１の出口、すなわち放物面鏡４の方向へ送られる。このレーザ干渉光は非常に小さな径の光束となって進行するため、光路中に挿入されているレーザ用ミラー１８により反射されてレーザ検出器１９に導入される。
レーザ検出器１９は受光面が互いに直交する二軸により４つに分割された４分割フォトダイオードであり、４つの受光部で得られた信号が並列に出力される。４つの受光部でそれぞれ得られた信号は演算部３１に入力され、演算部３１は、４つの受光部のうちの或る１つの受光部から得られる参照信号Sr、並びに参照信号Srが得られた受光部に対して水平方向及び垂直方向にそれぞれ隣接する受光部から得られる水平信号Sh及び垂直信号Svに基づいて、参照信号Srと水平信号Shとの位相差ΔRH、及び参照信号Srと垂直信号Svとの位相差ΔRVを求める。ここで得られた位相差ΔRH及びΔRVをそれぞれ、暫定のパラメータΔRH0及びΔRV0とする。
次に、赤外光源１０から赤外光を出射させる。赤外光は、集光鏡１１及びコリメータ鏡１２を介してビームスプリッタ１３に導入され、２つに分割される。一方の赤外光は固定鏡１４に反射されてビームスプリッタ１３に戻り、他方の赤外光は移動鏡１５に反射されてビームスプリッタ１３に戻る。これにより、これら２つの光が干渉した主干渉光が生成される。この主干渉光は、放物面鏡４、試料室２、及び楕円面鏡５を介して赤外光検出器６で検出する。そして、この赤外光の検出を、移動鏡１５を移動させながら行うことにより、制御部３０は、インターフェログラムを取得し、そのインターフェログラムをフーリエ変換することで、横軸を波数、縦軸を強度をするパワースペクトルを取得する。また、移動鏡１５が移動する全長に亘って、制御部３０はレーザ検出器１９の信号に基づいて位相差ΔRH及びΔRVを求め、これら位相差ΔRH及びΔRVがそれぞれ暫定パラメータΔRH0及びΔRV0に維持されるように、圧電素子１４ａに印加する電圧をフィードバック制御することにより、固定鏡１４の傾きを調整する。
制御部３０は、こうして得られたインターフェログラムをフーリエ変換することにより、横軸を波数、縦軸を強度をするパワースペクトルを取得する。このパワースペクトルについて、任意の波数（例えば、1000cm-1、2000cm-1、3000cm-1の３点）における強度を求める。この強度が所定値以上であれば、暫定パラメータΔRH0及びΔRV0を、ダイナミックアライメントにおける固定鏡１４の傾きを調整するためのパラメータΔRHa及びΔRVaとして設定する。一方、この強度が所定値未満であれば、暫定パラメータΔRH0及び／又はΔRV0を変更したうえで上記のようにパワースペクトルを取得するという操作を、パワースペクトルの強度が所定値以上になるまで繰り返し、該強度が所定値以上になったときの暫定パラメータΔRH0及びΔRH0を上記パラメータΔRHa及びΔRVaとして設定する。
このように得られたパラメータΔRHa及びΔRVaを、試料室２に装着した付属品の情報と関連付けて、パラメータ記憶部３２内にパラメータテーブルとして記憶させる。これらの数値が、以下に述べるように、試料の測定中に、干渉光学系の設定条件を変更する際に用いる情報となる。
(2-2) 試料の測定
まず、使用者は、測定の目的に応じた付属品２０を試料室２に装着する。これにより、付属品２０のICチップ２１に記録された付属品情報が、試料室２の内部に配設された付属品情報読取部２２により読み取られ、制御部３０に送られる。制御部３０は、付属品情報読取部２２から付属品情報を取得すると、パラメータ記憶部３２内のパラメータテーブルを参照して、試料室２内に装着された付属品に対応するパラメータΔRHa及びΔRVaを取得する。次に、使用者は試料室２に試料を装着し、FTIRの装置に測定を開始させるための操作を行う。
測定が開始されると、予備測定の場合と同様の方法により、インターフェログラムが取得され、インターフェログラムをフーリエ変換することによりパワースペクトルが得られる。ここで得られるパワースペクトルは、主干渉光が試料室２を通過する際に試料を透過又は試料に反射されることから、試料の情報を含んだサンプルスペクトルとなる。そして、移動鏡１５の移動中には、パラメータΔRHa及びΔRVaに基づいて、固定鏡１４の傾きの調整を行う。これらパラメータΔRHa及びΔRVaは、付属品２０毎に設定されているため、付属品２０の相違によってベース３の歪みが異なっていても、その影響を受けることなく、強いサンプルスペクトルを得ることができる。
(2-3) パラメータの設定変更
装置の経年劣化、測定環境の変化や光軸のずれ等、付属品の重量以外の要因により、パラメータの最適値が変わってしまう場合がある。それに対応するため、装置の使用者や、装置の定期メンテナンスを行う業者が、以下に述べるようにパラメータの設定を再調整してもよい。
図６は、測定により得られたパワースペクトルに基づいて、制御部３０がパラメータΔRHa及びΔRVaを再調整するときの工程を示すフローチャートである。まず、試料室２に試料を装着しない状態で、パラメータΔRHa及びΔRVaを用いて通常の試料測定と同様の操作を行い、パワースペクトルを得る（ステップＳ１〜Ｓ３）。得られたパワースペクトルについて、制御部３０は任意の波数の強度を取得する（ステップＳ４）。そして、その強度が基準値以上であるかを判定する（ステップＳ５）。強度が基準値以上であれば、十分に高いパワースペクトルが得られているものとして、そのまま測定を終了する。一方、強度が基準値よりも小さければ、上記の事前測定と同様に、パラメータを変更したうえで上記のようにパワースペクトルを取得するという操作を繰り返すことにより、パワースペクトルの強度が所定値以上になるパラメータを求める、というパラメータの再測定を行う（ステップＳ６）。そして、そのようなパラメータが得られた場合には、ステップＳ７からステップＳ８に進んで、得られたパラメータを、該当する付属品情報に対応付けて保存する（ステップＳ８）。一方、そのようなパラメータが得られなかった場合には、付属品２０自体（例えば付属品２０に含まれるミラーにより定まる、付属品２０内の光軸）に問題がある可能性があるため、ステップＳ７からステップＳ９に進んで、付属品２０の調整等が必要である旨のメッセージを表示する。
なお、上記実施例では、パラメータとして位相差を例に説明したが、例えば、赤外光源１０の輝度をパラメータとすることもできる。これは、付属品毎にスループットが異なるため、付属品を搭載することで、検出器が受光する赤外光の光量が変化する。それによって、得られるパワースペクトル強度が変化するためである。そのため、付属品２０の種類によって、赤外光源１０の輝度を変更し、付属品を装着していないときと同じパワースペクトル強度が得られるようにする。なお、赤外光源１０の輝度は、該赤外光源１０に供給される電力に比例することから、該電力値をパラメータとして付属品毎に保存しても良い。
１０…赤外光源
１１…集光鏡
１２…コリメータ鏡
１３…ビームスプリッタ
１３…試料室
１４…固定鏡
１４ａ…圧電素子
１５…移動鏡
１６…レーザ光源
１７、１８…レーザ用ミラー
１９…レーザ検出器
２…試料室
２０…付属品
２１…ICチップ
２２…付属品情報読取部
３…ベース
３０…制御部
３１…演算部
３２…パラメータ記憶部
３３…データ処理部
４…放物面鏡
５…楕円面鏡
６…赤外光検出器
すなわち、上記課題を解決するために成された本発明は、付属品を着脱自在に装着可能な試料室と干渉光学系が共通のベース上に設けられたフーリエ変換赤外分光光度計であって、
a) 前記付属品が前記試料室内に装着された際に、該付属品に付された、該付属品の種類を示す付属品情報を読み取る付属品情報読取手段と、
b) 前記付属品情報読取手段で読み取られた前記付属品情報に基づいて、前記干渉光学系の設定条件を、該付属品に応じて変更する設定条件変更手段と、
を備えることを特徴とする。
付属品毎の干渉光学系の設定条件は、予めバックグラウンドスペクトルの測定実験を行って求めたうえで、フーリエ変換赤外分光光度計が有する記録手段に付属品毎に記録しておき、設定条件変更手段は付属品に対応した設定条件を記録手段から読み出すようにすればよい。なお、本発明には含まれないが、この記録手段の代わりに、付属品毎の干渉光学系の設定条件を付属品情報として付属品に付してもよい。
試料室２内に装着される付属品２０には、例えば以下のものがある。
(a) 測定方法に応じた付属品
(a-1) ATR測定用付属品
ATR測定は、プリズムに試料を押しつけ、プリズムと試料の境界においてわずかに試料内に侵入しつつ全反射される赤外光から、試料の吸収スペクトルを得るものである。ATR測定用付属品は、図３に示すように、試料に押しつけられるプリズムと、試料に所定の角度で赤外光を入射させると共に反射光を検出器に導入する光学系を有する（例えば、株式会社島津製作所製・ATR-8200H）。また、試料への赤外光の入射角度を変更するために、プリズム及び試料を移動させる機構が設けられたATR測定用付属品もある（例えば、株式会社島津製作所製・ATR-8000A）。
(a-2) 正反射測定用付属品
正反射測定は、プリズムを使用することなく試料の反射スペクトルを測定する方法であり、ATR測定よりも古くから行われているものである。また、正反射測定法では、反射スペクトルをクラマース・クローニッヒ解析することにより、吸収スペクトルを得ることもできる。正反射測定用付属品は、図４に示すように、試料に所定の角度で赤外光を入射させると共に反射光を検出器に導入する光学系を有する（例えば、株式会社島津製作所製・SRM-8000A）。正反射測定用付属品においても、試料への赤外光の入射角度を変更する機構が設けられたものがある（例えば、株式会社島津製作所製・VeeMAX II A）。
(a-3) 透過測定用付属品
透過測定は、文字通り試料を透過する赤外光のスペクトルを測定する方法である。透過測定用付属品は、試料を透過した赤外光を遮らないように、孔や該赤外光を透過する材料から成る窓が設けられた試料ホルダと、赤外光を、試料を透過させて検出器に導入する光学系を有する。
制御部３０は、こうして得られたインターフェログラムをフーリエ変換することにより、横軸を波数、縦軸を強度をするパワースペクトルを取得する。このパワースペクトルについて、任意の波数（例えば、1000cm-1、2000cm-1、3000cm-1の３点）における強度を求める。この強度が所定値以上であれば、暫定パラメータΔRH0及びΔRV0を、ダイナミックアライメントにおける固定鏡１４の傾きを調整するためのパラメータΔRHa及びΔRVaとして設定する。一方、この強度が所定値未満であれば、暫定パラメータΔRH0及び／又はΔRV0を変更したうえで上記のようにパワースペクトルを取得するという操作を、パワースペクトルの強度が所定値以上になるまで繰り返し、該強度が所定値以上になったときの暫定パラメータΔRH0及びΔRV0を上記パラメータΔRHa及びΔRVaとして設定する。
１０…赤外光源
１１…集光鏡
１２…コリメータ鏡
１３…ビームスプリッタ
１４…固定鏡
１４ａ…圧電素子
１５…移動鏡
１６…レーザ光源
１７、１８…レーザ用ミラー
１９…レーザ検出器
２…試料室
２０…付属品
２１…ICチップ
２２…付属品情報読取部
３…ベース
３０…制御部
３１…演算部
３２…パラメータ記憶部
３３…データ処理部
４…放物面鏡
５…楕円面鏡
６…赤外光検出器
すなわち、上記課題を解決するために成された本発明は、付属品を着脱自在に装着可能な試料室と干渉光学系が共通のベース上に設けられたフーリエ変換赤外分光光度計であって、
a) 前記付属品が前記試料室内に装着された際に、該付属品に付された、該付属品の種類を示す付属品情報を読み取る付属品情報読取手段と、
b) 前記付属品情報読取手段で読み取られた前記付属品情報に基づいて、前記干渉光学系の設定条件を、該付属品の重量に応じて変更する設定条件変更手段と、
を備えることを特徴とする。

Claims (3)

  1. 付属品を着脱自在に装着可能な試料室と干渉光学系が共通のベース上に設けられたフーリエ変換赤外分光光度計であって、
    a) 前記付属品が前記試料室内に装着された際に、該付属品に付された付属品情報を読み取る付属品情報読取手段と、
    b) 前記付属品情報読取手段で読み取られた前記付属品情報に基づいて、前記干渉光学系の設定条件を、該付属品に応じて変更する設定条件変更手段と、
    を備えることを特徴とするフーリエ変換赤外分光光度計。
  2. 前記設定条件が、赤外光を２つに分割して一方を固定鏡で、他方を移動鏡で反射させた後にこれら２つの反射光を干渉させる干渉光学系において、移動鏡に対する固定鏡の相対的な向きを調整するためのパラメータであることを特徴とする請求項１に記載のフーリエ変換赤外分光光度計。
  3. 前記設定条件が、前記試料に照射される赤外光の光源の輝度を設定するためのパラメータであることを特徴とする請求項１又は２に記載のフーリエ変換赤外分光光度計。
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