JPWO2014098075A1 - 積層レンズアレイ、積層レンズアレイの製造方法、及び積層レンズの製造方法 - Google Patents
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Abstract
複数のレンズアレイ10,20として、物体側の光学面11aに第1のマークU1を有し像側の光学面11bに第2のマークU2を有する第1のレンズ部K1と、物体側の光学面11a及び像側の光学面11bのうち一方の光学面に第3のマークU3を有するとともに他方の光学面にマークを有しない第2のレンズ部K2と、を含む第1レンズアレイ10と、物体側の光学面21a及び像側の光学面21bのうち一方の光学面に第4のマークU4を有するとともに他方の光学面にマークを有しない第3のレンズ部K3を含む第2レンズアレイ20と、を含み、第3のマークU3と第4のマークU4とは、物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なる。
Description
本発明は、2枚上のレンズアレイを積層した積層レンズアレイ、当該積層レンズアレイの製造方法、及び当該積層レンズアレイから得る積層レンズの製造方法に関する。
近年、レンズ製作に当たり、研磨によるのではなく、金型形状の転写によるモールド法が多く用いられている。モールド法の利点として、金型を1つ作製することで、大量かつ安価にてレンズを生産可能である点、研磨によっては困難である非球面、自由曲面、アレイレンズ等の生産も可能である点が挙げられる。モールド法で成形する場合、成形機に取り付けられた2つの金型の位置にずれがあると、成形されたレンズの上面と下面とにずれ(偏心)が生じる。レンズによってはわずかなずれでも所望のレンズ特性が達成できなくなる場合がある。従って、この場合、成形機の金型の位置を調整する必要があり、成形されたレンズの偏心を測定し、金型の位置へフィードバックする必要がある。成形されたレンズの偏心を測定する技術として、回転対称中心にマーク形状が加工された金型を用いてモールド成形し、成形レンズの上面と下面とのマーク座標からレンズの偏心、つまり、上面側光学面の光軸と下面側光学面の光軸とのずれを算出する方法がある(例えば、特許文献1参照)。
2枚以上のレンズを積層する場合も同様であり、レンズ間の中心位置にずれ(偏心)が生じると所望のレンズ特性を達成できなくなる場合がある。そのため、レンズ間の偏心を測定し、レンズ間の位置決めへフィードバックする必要がある。レンズ間の偏心を測定する技術として、2枚のレンズの回転対称中心にマークを形成し、それぞれの座標からレンズ間の偏心を算出し、座標が一致するようにレンズを移動させて偏心を調整する方法がある(例えば、特許文献2参照)。
レンズアレイをモールド法によって作製し、複数のレンズアレイを積層するときの偏心測定方法に、上述の特許文献1及び2の方法を用いると、次のような問題が発生する。レンズアレイの場合、複数の光学面があるため、対向する一対のマークの座標が一致するように金型の位置を調整する必要がある。そのため、成形されたレンズアレイの一対の光学面には、マークがそれぞれ形成される。このレンズアレイ同士を積層する際に、2枚のレンズのマーク座標が一致するようにレンズの位置を調整する。この際、同一の光軸上には4つのマークが並ぶことになる。通常、レンズ間の偏心調整はレンズ特性の偏心感度が一番高い面同士で行うが、上記の場合、この偏心調整に不要なマークも光軸上に並んでいるため、所望のマーク以外を測定してしまうおそれがある。画像処理によってマークの座標を測定する場合、このリスクはより高くなる。偏心測定を誤ると調整回数増加による工数増加や、不良品の流出といった問題を発生させてしまう。
本発明は、所望のマーク以外のマークを測定することなく精度の良い偏心測定及び調整ができる積層レンズアレイを提供することを目的とする。
また、本発明は、上述の積層レンズアレイの製造方法及び当該積層レンズアレイから得る積層レンズの製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明に係る積層レンズアレイは、複数のレンズアレイを積層した積層レンズアレイであって、各レンズアレイは複数のレンズ部を含み、物体側及び像側に複数のレンズ部に対応する複数の光学面をそれぞれ有し、複数のレンズアレイは、物体側の光学面に第1のマークを有し像側の光学面に第2のマークを有する第1のレンズ部と、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第3のマークを有するとともに他方の光学面にマークを有しない第2のレンズ部と、を含む第1レンズアレイと、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第4のマークを有するとともに他方の光学面にマークを有しない第3のレンズ部を含む第2レンズアレイと、を含み、第3のマークと第4のマークとは、物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なる。
本発明の具体的な態様又は観点では、第1乃至第4のマークは、それぞれ対応する第1乃至第3のレンズ部の光軸上に設けられる。
本発明の別の観点では、第1レンズアレイは、離れた位置に少なくとも2か所設けられる複数の第1のマーク及び複数の第2のマークを備える。ここで、離れた位置とは、レンズ部間の最小間隔より大きい位置を意味する。例えばレンズ部の配列が規則的であれば、レンズ部間の最小間隔の整数倍離れた位置にマークを設ける。
本発明のさらに別の観点では、複数のレンズ部はマトリックス状に配列されており、第1のマーク及び第2のマークは対角方向に配置される。
本発明のさらに別の観点では、複数のレンズ部はマトリックス状に配列されており、第1のマーク及び第2のマークは辺方向に配置される。
本発明のさらに別の観点では、第1レンズアレイは、離れた位置に少なくとも2か所設けられる複数の第3のマークを備える。
本発明のさらに別の観点では、複数のレンズアレイは、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第5のマークを有するとともに他方の光学面にマークを有しない第4のレンズ部を含む第3レンズアレイをさらに含み、複数の第3のマークのうちの1つと第4のマークとは物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なり、複数の第3のマークのうちの他の1つと第5のマークとは物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なる。
本発明のさらに別の観点では、第2レンズアレイは、離れた位置に少なくとも2か所設けられる複数の第4のマークを備える。
本発明のさらに別の観点では、複数のレンズアレイは、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第5のマークを有するとともに他方の光学面にマークを有しない第4のレンズ部を含む第3レンズアレイをさらに含み、複数の第4のマークのうちの1つと第3のマークとは物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なり、複数の第4のマークのうちの他の1つと第5のマークとは物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なる。
本発明のさらに別の観点では、第2レンズアレイは、物体側の光学面に第6のマークを有し像側の光学面に第7のマークを有する第5のレンズ部を含む。
上記課題を解決するため、本発明に係る第1の積層レンズアレイの製造方法は、物体側及び像側に複数のレンズ部に対応する複数の光学面を有するレンズアレイを成形する成形工程と、成形工程で成形された少なくとも複数のレンズアレイを積層する積層工程と、を備え、成形工程において、複数のレンズアレイのうち第1レンズアレイの第1のレンズ部に、物体側の光学面に第1のマークを形成し、像側の光学面に第2のマークを形成し、第1レンズアレイの第2のレンズ部に、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第3のマークを形成するとともに他方の光学面にマークを形成せず、複数のレンズアレイのうち第2レンズアレイの第3のレンズ部に、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第4のマークを形成するとともに他方の光学面にマークを形成せず、積層工程において、第3のマークと第4のマークとが、物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なるように、第1及び第2レンズアレイを積層する。
本発明の具体的な態様又は観点では、成形工程において第1の成形型および第2の成形型によって第1レンズアレイを成形し、第1の成形型は、第1レンズアレイの物体側の光学面を成形するための複数の第1光学転写面を有し、第1のレンズ部の物体側の光学面に対応する第1光学転写面は第1のマークを形成するための第1のマーク転写面を含み、第2の成形型は、第1レンズアレイの像側の光学面を成形するための複数の第2光学転写面を有し、第1のレンズ部の像側の光学面に対応する第2光学転写面は第2のマークを形成するための第2のマーク転写面を含み、第1の成形型の第2のレンズ部を形成するための第3光学転写面、又は、第2の成形型の第2のレンズ部を形成するための第4光学転写面は、第2のレンズ部の第3のマークを形成するための第3のマーク転写面を含む。
本発明の別の観点では、第1レンズアレイの第1及び第2のマークを観察することにより、第1のレンズ部の偏心を測定する。
本発明の別の観点では、第1の成形型は第1のマーク転写面を複数有し、第2の成形型は第2のマーク転写面を複数有し、成形工程において、離れた位置にある複数の第1のレンズ部を有する第1レンズアレイを成形し、複数組の第1及び第2のマークを観察することにより、複数の異なる光軸上に配置された一組の第1のレンズ部の偏心を測定する。
本発明の別の観点では、成形工程において第3の成形型および第4の成形型によって第2レンズアレイを成形し、第3の成形型の第3のレンズ部の物体側光学面を形成するための第5光学転写面、又は、第4の成形型の第3のレンズ部の像側光学面を形成するための第6光学転写面は、第3のレンズ部の第4のマークを形成するための第4のマーク転写面を含み、第1の成形型又は第2の成形型は第3のマーク転写面を複数有し、成形工程において、離れた位置にある複数の第1のレンズ部を有する第1レンズアレイを成形し、第3の成形型又は第4の成形型は第4のマーク転写面を複数有し、成形工程において、離れた位置にある複数の第3のレンズ部を有する第2レンズアレイを成形し、複数組の第3及び第4マークを観察することにより、第1及び第2レンズアレイの偏心を測定する。
上記課題を解決するため、本発明に係る第2の積層レンズの製造方法は、物体側及び像側に複数のレンズ部に対応する複数の光学面を有するレンズアレイを成形する成形工程と、成形工程で成形された少なくとも複数のレンズアレイを積層する積層工程と、積層工程で積層した積層レンズアレイを切断して複数の積層レンズに個片化する切断工程と、を備え、成形工程において、複数のレンズアレイのうち第1レンズアレイの第1のレンズ部に、物体側の光学面に第1のマークを形成し、像側の光学面に第2のマークを形成し、第1レンズアレイの第2のレンズ部に、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第3のマークを形成するとともに他方の光学面にマークを形成せず、複数のレンズアレイのうち第2レンズアレイの第3のレンズ部に、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第4のマークを形成するとともに他方の光学面にマークを形成せず、第3のマークと第4のマークとは、物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なる。
〔第1実施形態〕
A)積層レンズアレイ
図1A、1B、及び2A〜2Dを参照しつつ、本発明の第1実施形態に係る積層レンズアレイについて説明する。なお、図2A〜2Dは、各光学面11a,11b,21a,21b上の第1乃至第4、第6、及び第7のマークU1〜U4,U6,U7の配置を説明する図であり、説明の便宜上、第1光学面11a側から見た第1乃至第4、第6、及び第7のマークU1〜U4,U6,U7の配置を示す。
A)積層レンズアレイ
図1A、1B、及び2A〜2Dを参照しつつ、本発明の第1実施形態に係る積層レンズアレイについて説明する。なお、図2A〜2Dは、各光学面11a,11b,21a,21b上の第1乃至第4、第6、及び第7のマークU1〜U4,U6,U7の配置を説明する図であり、説明の便宜上、第1光学面11a側から見た第1乃至第4、第6、及び第7のマークU1〜U4,U6,U7の配置を示す。
図1A及び1Bに示すように、積層レンズアレイ100は、例えば矩形状であり、第1レンズアレイ10と、第2レンズアレイ20と、スペーサー基板40とを有する。
第1レンズアレイ10は、ガラス製であり、複数のレンズ部11と、複数のレンズ部11を繋ぐ支持体12とを有する。第1レンズアレイ10は、巨視的に見て複数のレンズ形状が設けられた板状の部材である。
各レンズ部11は、第1レンズアレイ10のXY面内で外形が四角形となるマトリックス状に配列されている。レンズ部11は、両凸の非球面形状であり、第1レンズアレイ10の一方の側に第1光学面11aと、第1レンズアレイ10の他方の側に第2光学面11bとを有する。第1及び第2光学面11a,11bの外縁は略円形である。支持体12は、全体として軸AXに対して略垂直に延びている。支持体12の厚さは、第1レンズアレイ10の離型時において破損しない程度の厚さとなっている。支持体12は、積層レンズアレイ100を切断して個片化した積層レンズ200(図3参照)において、フランジ部212となる。なお、積層レンズアレイ100のいずれか一方の面が物体側となり、他方の面が像側になる。本実施形態では、図1Bの上方を物体側、下方を像側としてもよいし、図1Bの下方を像側、上方を物体側としてもよい。
複数のレンズ部11の第1及び第2光学面11a,11bのうち一部の光学面には、偏心測定及び調整用の第1、第2、又は第3のマークU1,U2,U3がそれぞれ設けられている。具体的には、第1及び第2のマークU1,U2は、レンズ部11のうち第1のレンズ部K1の第1及び第2光学面11a,11bにそれぞれに設けられている。また、第3のマークU3は、レンズ部11のうち第1のレンズ部K1とは別の第2のレンズ部K2の第2光学面11bに設けられている。つまり、第1及び第2のマークU1,U2は、第3のマークU3と異なるレンズ部11の光軸OA上に設けられている。なお、第2のレンズ部K2の第1光学面11aには、マークは設けられていない。第1レンズアレイ10の第3のマークU3は、後述する第2レンズアレイ20の第4のマークU4と対向する。光軸OA上に設けられた第1及び第2のマークU1,U2や第3及び第4のマークU3,U4は、被写界深度によるがピントを調整すれば単一の顕微鏡でそれぞれ観察することができる。よって、同一光軸OA上に第1及び第2のマークU1,U2や第3及び第4のマークU3,U4が並んでいる場合、これらを実質的に同時観察することができる。
第2レンズアレイ20は、第1レンズアレイ10の構成と略同様であるため、以下適宜説明を省略する。第2レンズアレイ20は、ガラス製であり、複数のレンズ部21と、複数のレンズ部21を繋ぐ支持体22とを有する。レンズ部21は、非球面形状であり、第2レンズアレイ20の一方の側に第1光学面21aと、第2レンズアレイ20の他方の側に第2光学面21bとを有する。第1光学面21aは、凹形状を有し、第2光学面21bは、凸形状を有する。支持体22は、積層レンズアレイ100を切断した積層レンズ200(図3参照)において、フランジ部222となる。複数のレンズ部21の第1及び第2光学面21a,21bの一部の光学面には、偏心測定及び調整用の第6、第7、又は第4のマークU6,U7,U4が設けられている。具体的には、第6及び第7のマークU6,U7は、レンズ部21のうち第5のレンズ部K5の第1及び第2光学面21a,21bにそれぞれ設けられている。また、第4のマークU4は、レンズ部21のうち第5のレンズ部K5とは別の第3のレンズ部K3の第2光学面21bに設けられている。つまり、第6及び第7のマークU6,U7は、第4のマークU4と異なるレンズ部21の光軸OA上に設けられている。なお、第3のレンズ部K3の第1光学面21aには、マークは設けられていない。既に説明したとおり、第2レンズアレイ20の第4のマークU4は、第1レンズアレイ10の第3のマークU3と対向する。つまり、第1レンズアレイ10の第3のマークU3と、第2レンズアレイ20の第4のマークU4とは、一対のマークとなる。第2レンズアレイ20は、第1レンズアレイ10と同一の材料で形成してもよいし、異なる材料で形成しもよい。
以下、説明の便宜上、1つのレンズ部11,21(第1及び第5のレンズ部K1,K5)の物体側及び像側の光学面に設けられる第1、第2、第6、及び第7のマークU1,U2,U6,U7を、単独で第1対マークM1と呼ぶ場合がある。また、1つのレンズ部11,21(第2及び第3のレンズ部K2,K3)の物体側及び像側のいずれか一方の光学面(本実施形態では第2光学面11b,21b)に設けられる第3及び第4のマークU3,U4を、単独で第2対マークM2aと呼ぶ場合がある。
第1対マークM1は、成形時の偏心測定及び調整用のマークである。第1レンズアレイ10において、第1対マークM1は、第1レンズアレイ10に含まれる一部のレンズ部11(第1のレンズ部K1)を構成する一対の光学面、すなわち第1及び第2光学面11a,11b上であって本体部分を挟んで対向する位置に設けられている。ここで、第1対マークM1としての、第1光学面11aの第1のマークU1と、第2光学面11bの第2のマークU2とは、レンズ部11(第1のレンズ部K1)自体の偏心を検出するための一対のマークとなる。また、図1Aに示すように、第1対マークM1は、単一の第1レンズアレイ10において複数組存在し、測定点間距離の長い対角線方向に離れた位置に2か所設けられている。後述するレンズアレイを成形するための成形型において、レンズアレイ内の各レンズ部間の位置関係(相対配置)が略正確である場合、最低2か所で偏心測定及び調整を行えば、2枚のレンズアレイ間のシフトと回転とを一致させることができる。そのため、離れた位置に少なくとも2か所複数の第1対マークM1を備えることにより、全てのレンズ部の光学面において偏心を効率良く調整することができる。
対角線方向に複数組の第1対マークM1(1),M1(2)を配置することで、異なる光軸OA上に配置された一対のレンズ部11の偏心を測定及び調整することができる。これにより、各レンズ部11内の偏心に加え、2つのレンズ部11間の偏心を精度良く測定することができる。また、測定点間の距離が長くなるので、レンズアレイ間の回転ずれに対する感度が高くなり、偏心を高精度に調整することができる。第1対マークM1の形状は、図示では凸状の円柱形であるが、円錐形、半球形、楕円球形、四角柱形等のいずれでもよい。また、第1対マークM1は、凸状に限らず、凹状でもよい。また、物体側と像側とで第1対マークM1の形状を同じにしてもよいし、異ならせてもよい。後者の場合は、偏心測定を可能とするために物体側のマークの中心と像側のマークの中心とが、物体側又は像側から見て重なっている場合において、一方が完全に他方に隠れない関係の形状を選択するのが適当である。
対角線方向に複数組の第1対マークM1(1),M1(2)を配置することで、異なる光軸OA上に配置された一対のレンズ部11の偏心を測定及び調整することができる。これにより、各レンズ部11内の偏心に加え、2つのレンズ部11間の偏心を精度良く測定することができる。また、測定点間の距離が長くなるので、レンズアレイ間の回転ずれに対する感度が高くなり、偏心を高精度に調整することができる。第1対マークM1の形状は、図示では凸状の円柱形であるが、円錐形、半球形、楕円球形、四角柱形等のいずれでもよい。また、第1対マークM1は、凸状に限らず、凹状でもよい。また、物体側と像側とで第1対マークM1の形状を同じにしてもよいし、異ならせてもよい。後者の場合は、偏心測定を可能とするために物体側のマークの中心と像側のマークの中心とが、物体側又は像側から見て重なっている場合において、一方が完全に他方に隠れない関係の形状を選択するのが適当である。
なお、第2レンズアレイ20に設けられる第1対マークM1は、第1レンズアレイ10の第1対マークM1と略同様の配置、形状等であるため、以下適宜説明を省略する。第2レンズアレイ20において、第1対マークM1は、第2レンズアレイ20に含まれる一部のレンズ部21(第5のレンズK5)を構成する一対の光学面、すなわち第1及び第2光学面21a,21b上であって本体部分を挟んで対向する位置に設けられている。ここで、第1対マークM1としての、第1光学面21aの第6のマークU6と第2光学面21bの第7のマークU7とは、レンズ部21(第5のレンズ部K5)自体の偏心を検出するための一対のマークとなる。
第2対マークM2aは、第1及び第2レンズアレイ10,20の積層時の偏心測定及び調整用のマークである。一方の第2対マークM2aは、第1レンズアレイ10に含まれる一部のレンズ部11(第2のレンズ部K2)を構成する一対の光学面の一方である第2光学面11bに設けられている。また、他方の第2対マークM2aは、第2レンズアレイ20に含まれる一部のレンズ部21(第3のレンズ部K3)を構成する一対の光学面の一方である第2光学面21bに設けられている。つまり、各レンズアレイ10,20には、レンズアレイ間の偏心を検出するためのマークとして、第2対マークM2aが物体側の光学面又は像側の光学面のみに設けられている。ここで、第2対マークM2aとしての、第2光学面11bの第2のマークU2と、第2光学面21bの第3のマークU3とは、レンズアレイ間の偏心を検出するための一対のマークとなる。また、第2対マークM2aは、第1対マークM1と同様に、測定点間距離の長い対角線方向に離れた位置に2か所設けられている。図1A、1B、及び2A〜2Dに示すように、第2対マークM2aは、第1対マークM1と異なる位置に設けられている。第2対マークM2aの形状は、第1対マークM1の形状と同様に円柱形であるが、第1対マークM1と異なる形状であってもよい。
レンズアレイ間にまたがる第2対マークM2a(1),M2a(2)が対角線方向に離れた2か所に設けられているため、第1及び第2レンズアレイ10,20間のシフト及び回転のずれを偏心として測定及び調整することができる。
スペーサー基板40は、第1レンズアレイ10と第2レンズアレイ20との間に設けられている。スペーサー基板40は、積層レンズアレイ100の支持部として機能し、第1及び第2レンズアレイ10,20間の距離を調整する役割を有する。スペーサー基板40は、ガラス、セラミックス、樹脂等で形成された平板状の部材である。スペーサー基板40には、第1及び第2レンズアレイ10,20の各レンズ部11,21に対応する配列で開口部41が形成されている。
B)積層レンズ
以下、図3A〜3Cを参照しつつ、図1A及び1Bに示す積層レンズアレイ100から得られる積層レンズ200について説明する。
以下、図3A〜3Cを参照しつつ、図1A及び1Bに示す積層レンズアレイ100から得られる積層レンズ200について説明する。
積層レンズ200は、第1レンズ要素110と、第2レンズ要素120と、スペーサー140とを有する。
第1レンズ要素110は、第1レンズアレイ10を切り出したものであり、レンズ部11とフランジ部212とを有する。第2レンズ要素120は、第2レンズアレイ20を切り出したものであり、レンズ部21とフランジ部222とを有する。スペーサー140は、スペーサー基板40を切り出したものであり、開口部41と支持体142とを有する。
積層レンズアレイ100から切り出された積層レンズ200には、第1乃至第4、第6、及び第7のマークU1〜U4,U6,U7を有するレンズと有さないレンズとがある。つまり、図3Aに示す積層レンズ200は、第1及び第2光学面11a,11b,21a,21b上に第1対マークM1のみを有し、図3Bに示す積層レンズ200は、第2光学面11b,21b上に第2対マークM2aのみを有し、図3Cに示す積層レンズ200は、第1及び第2光学面11a,11b,21a,21b上にマークを有さない。
C)積層レンズアレイの製造方法
以下、図4〜図6を参照しつつ、図1に示す積層レンズアレイ100の製造方法の一例について説明する。
以下、図4〜図6を参照しつつ、図1に示す積層レンズアレイ100の製造方法の一例について説明する。
積層レンズアレイ100は、第1及び第2レンズアレイ10,20を成形する成形工程と、成形した第1及び第2レンズアレイ10,20を積層する積層工程とを経て製造する。
〔成形工程〕
本実施形態では、図4に示す成形金型70を用いて第1及び第2レンズアレイ10,20を成形する。図4に示すように、成形金型70は、第1金型71と、第2金型72とを備える。各金型71,72は、それぞれ、レンズの各光学面を成形するための成形型である。成形型としては、金属製の金型に限らず、セラミック製の成形型や金属とセラミック等の無機材料との複合材料からなる成形型を用いてもよい。また、レンズ材料が樹脂である場合は、これらの成形型に加えて、樹脂製の成形型や、樹脂とガラスとを組み合わせた成形型を用いることもできる。
本実施形態では、図4に示す成形金型70を用いて第1及び第2レンズアレイ10,20を成形する。図4に示すように、成形金型70は、第1金型71と、第2金型72とを備える。各金型71,72は、それぞれ、レンズの各光学面を成形するための成形型である。成形型としては、金属製の金型に限らず、セラミック製の成形型や金属とセラミック等の無機材料との複合材料からなる成形型を用いてもよい。また、レンズ材料が樹脂である場合は、これらの成形型に加えて、樹脂製の成形型や、樹脂とガラスとを組み合わせた成形型を用いることもできる。
第1金型(成形型)71は、第2金型72に対向する側に複数の第1光学転写面71aと、第1端面転写面71bとを有する。各第1光学転写面71aは、第1レンズアレイ10の各第1光学面11aを形成するための転写面であり、第1光学面11aの形状に対応する。複数の第1光学転写面71aのうち一部の第1光学転写面71aには、第1光学面11aの第1対マークM1(第1のマークU1)を形成するための第1マーク転写面71cが設けられている。第1光学面11a第1端面転写面71bは、第1レンズアレイ10の支持体12のうち第1光学面11a側の端面11c(図1B参照)を形成するための転写面であり、端面11cの形状に対応する。第1金型71は、駆動装置73によってX軸方向、Y軸方向、Z軸方向に動作する。これにより、第1金型71は、第2金型72に対して位置調整可能である。
第2金型(成形型)72は、第1金型71に対向する側に複数の第2光学転写面72aと、第2端面転写面72bとを有する。各第2光学転写面72aは、第1レンズアレイ10の各第2光学面11bを形成するためのものであり、第2光学面11bの形状に対応する。複数の第2光学転写面72aのうち一部の第2光学転写面72aには、第2光学面11bの第1対マークM1(第2のマークU2)を形成するための第1マーク転写面72cと、第2対マークM2a(第3のマークU3)を形成するための第2マーク転写面72dとが設けられている。第2金型72の第1マーク転写面72cは、第1金型71の第1マーク転写面71cと対向する位置に設けられている。第2マーク転写面72dは、第1マーク転写面72cと異なる位置に設けられている。第2端面転写面72bは、第1レンズアレイ10の支持体12のうち第2光学面11b側の端面11d(図1B参照)を形成するためのものであり、端面11dの形状に対応する。
第1及び第2金型71,72は、一般に金属材料で形成されている。金属材料としては、例えば鉄系材料や鉄系合金、非鉄系合金等が挙げられる。鉄系材料としては、例えば熱間金型、冷間金型、プラスチック金型、高速度工具鋼、一般構造用圧延鋼材、機械構造用炭素鋼、クロム・モリブデン鋼、ステンレス鋼が挙げられる。
以下、第1レンズアレイ10の成形方法について説明する。
まず、図5Aに示すように、材料供給部74を用いて第2金型72の第2光学転写面72a及び第2端面転写面72b上に適量の溶融ガラスGPを滴下する。次に、図5Bに示すように、第2金型72の上方から第1金型71を押圧する。第1金型71は、第2金型72に対して第1レンズアレイ10の支持体12の厚さ分の距離を空けた状態で保持されている。次に、図5Bに示すように、第1金型71を押圧した状態で冷却し、間に挟まれた溶融ガラスGPを固化させる。この際、溶融ガラスGPに第1及び第2金型71,72の各転写面71a,71b,72a,72bが転写され、溶融ガラスGPに第1及び第2光学面11a,11bや端面11c,11dが形成される(図1B参照)。
まず、図5Aに示すように、材料供給部74を用いて第2金型72の第2光学転写面72a及び第2端面転写面72b上に適量の溶融ガラスGPを滴下する。次に、図5Bに示すように、第2金型72の上方から第1金型71を押圧する。第1金型71は、第2金型72に対して第1レンズアレイ10の支持体12の厚さ分の距離を空けた状態で保持されている。次に、図5Bに示すように、第1金型71を押圧した状態で冷却し、間に挟まれた溶融ガラスGPを固化させる。この際、溶融ガラスGPに第1及び第2金型71,72の各転写面71a,71b,72a,72bが転写され、溶融ガラスGPに第1及び第2光学面11a,11bや端面11c,11dが形成される(図1B参照)。
次に、図5Cに示すように、第1及び第2金型71,72から第1レンズアレイ10を離型する。第1レンズアレイ10において、一部のレンズ部11(第1のレンズ部K1)には、第1及び第2光学面11a,11bの両面に第1対マークM1が形成されており、第1対マークM1が形成されたレンズ部11とは別のレンズ部11(第2のレンズ部K2)の第2光学面11bに第2対マークM2aが形成されている。
第2レンズアレイ20も第1レンズアレイ10と同様の方法で成形する。詳細な説明は省略するが、第1レンズアレイ10の成形のために用いた第1及び第2金型71,72と同様の構造を有するが、光学面用の転写面の形状やマーク転写面の配置が異なる第3及び第4金型を準備し、これら第3及び第4金型を用いて第1レンズアレイ10と同様の工程で成形を行う。
次に、成形した第1レンズアレイ10の偏心を測定する。第1レンズアレイ10の偏心測定は、図6に示す偏心測定装置80を用いて行う。図6に示すように、偏心測定装置80は、第1レンズアレイ10を支持する支持装置81と、第1レンズアレイ10を光学的に観察する観察装置82と、各装置81,82を制御する制御装置83とを備える。
支持装置81は、第1レンズアレイ10を支持する支持部81aと、支持部81aを駆動する駆動部81bとを有する。支持部81aは、駆動部81bの動作により第1レンズアレイ10を第1レンズアレイ10の端面11c,11dに平行なX軸方向及びY軸方向や端面11c,11dに垂直なZ軸方向に移動可動である、また、支持部81aは、Z軸を回転軸とするθ方向にも回転可能である。
観察装置82は、顕微鏡82aと、CCD(Charged Coupled Device)カメラ82bと、ディスプレイ82cとを備える。観察装置82のうち顕微鏡82aは、光源SPの照明光を第1レンズアレイ10に照射して、結像レンズLLによって結像する。CCDカメラ82bは、顕微鏡82aによって得られた結像画像を取得する。ディスプレイ82cは、CCDカメラ82bによって得られた画像を表示する。なお、図示において照明光を第2光学面11b側から照射(落射照明)しているが、第1光学面11a側から照射(透過照明)してもよい。
照明光としては、LEDや白熱ランプなどの各種の光源から放射される、可視光領域のスペクトル光、例えば、白色光、青色光、緑色光、赤色光などの光を用いることができる。また、レンズに反射防止膜を設けている場合、反射率が比較的高い波長領域の光を照明光として用いると、マークの判別に有利である。例えば、可視領域の光の反射を防止する反射防止膜をレンズに設ける場合は、赤外に近い赤色光を照明光として用いればよい。
照明光としては、LEDや白熱ランプなどの各種の光源から放射される、可視光領域のスペクトル光、例えば、白色光、青色光、緑色光、赤色光などの光を用いることができる。また、レンズに反射防止膜を設けている場合、反射率が比較的高い波長領域の光を照明光として用いると、マークの判別に有利である。例えば、可視領域の光の反射を防止する反射防止膜をレンズに設ける場合は、赤外に近い赤色光を照明光として用いればよい。
制御装置83は、各装置81,82の動作を制御する制御部83aと、第1対マークM1の座標を算出する演算部83bと、を有する。演算部83bは、観察装置82のCCDカメラ82bによって取得した画像から第1対マークM1の座標を算出する。画像において、第1対マークM1は、周囲の第1及び第2光学面11a,11bよりも明るく又は暗く表示される。ここで、第1光学面11a上の第1対マークM1と第2光学面11b上の第1対マークM1とは、結像レンズの被写界深度等の関係により同一画像で焦点が合わないため、第1及び第2光学面11a,11bのそれぞれの画像から第1対マークM1の座標をそれぞれ算出する。座標は、例えば閾値処理によって算出する。
第1レンズアレイ10の偏心測定は、第1光学面11a上の第1対マークM1と、この第1光学面11aの同一光軸OA上の第2光学面11b上の第1対マークM1との座標差を求めることによって行う。本実施形態において、第1対マークM1はレンズ部11の光軸OA上に位置する第1及び第2光学面11a,11bの頂点に設けられているため、偏心測定の基準軸は光軸OAである。偏心測定は、第1レンズアレイ10に設けられた2か所の一対の第1対マークM1について行う。まず、観察装置82の顕微鏡82aによって第1光学面11a上の第1対マークM1に焦点を合わせて、観察装置82のCCDカメラ82bで取得した画像から制御装置83の演算部83bによって当該第1対マークM1の座標を算出する。次に、顕微鏡82aによって光軸OA方向に焦点位置をずらし、第2光学面11b上の第1対マークM1に焦点を合わせて、CCDカメラ82bで取得した画像から演算部83bによって当該第1対マークM1の座標を算出する。第1対マークM1内の任意の一点をマークの座標とすることができるが、第1対マークM1の形状に関わらず、得られたマーク画像の中心位置の座標を算出すると精度及び演算容易性の面で有利である。第1対マークM1が十分小さい場合はマーク自身をマークの中心とみなして測定することもできる。次に、演算部83bによって両者(第1対マークM1の中心位置等)の座標差を算出する。座標差がなければ偏心がない状態であり、座標差があれば光軸OAが本来の光軸からずれて偏心がある状態である。ここで、偏心又は座標差が許容範囲内に収まっていれば、物体側の第1対マークM1の中心と像側の第1対マークM1の中心とが、物体側又は像側から見て実質的に重なっているものとみなすことができる。1か所目のレンズ部11(第1のレンズ部K1)の偏心測定が終了したら、支持装置81の支持部81aをX軸又はY軸方向に移動し、2か所目のレンズ部11(第1のレンズ部K1)の偏心測定を行う。第1レンズアレイ10内の2か所の第1対マークM1の偏心測定により、レンズアレイ内の配置誤差を測定することができる。
成形時の偏心測定において、座標差がある場合、成形金型70の第2金型72に対する第1金型71の位置を調整し、再度成形工程を行う。成形工程と偏心測定及び調整工程とは、2か所のレンズ部11の第1対マークM1の座標差が実質的になくなるまで(座標差がゼロになるか許容誤差内に収まるまで)繰り返し行う。このようにすることで、座標差が実質的になくなった後は、物体側と像側の光学面の偏心が実質的に解消されたレンズアレイを次々と製造することができる。なお、偏心測定の結果を成形金型へのフィードバックに限らず、不良品の除去のために利用してもよい。
第2レンズアレイ20も第1レンズアレイ10と同様の方法で偏心測定する。
〔積層工程〕
以下、図7及び図8を参照しつつ、第1及び第2レンズアレイ10,20の積層方法について説明する。積層工程においても上述した偏心測定及び調整工程と同様の工程を行う。
以下、図7及び図8を参照しつつ、第1及び第2レンズアレイ10,20の積層方法について説明する。積層工程においても上述した偏心測定及び調整工程と同様の工程を行う。
まず、図7Aに示すように、第1レンズアレイ10の端面11d又はスペーサー基板40の一方の端面に接着剤G1を塗布する。その後、第1レンズアレイ10とスペーサー基板40とをアライメントし、図7Bに示すように、スペーサー基板40の端面を第1レンズアレイ10の端面11dに押し付け、接着剤G1にUV光を照射して硬化させる。
次に、図7Cに示すように、スペーサー基板40の他方の端面又は第2レンズアレイ20の端面21cに接着剤G2を塗布する。その後、第1レンズアレイ10と第2レンズアレイ20とをアライメントし、図7Dに示すように、スペーサー基板40の端面を第2レンズアレイ20の端面21cに押し付ける。
次に、第1レンズアレイ10及び第2レンズアレイ20間の偏心を測定し、偏心調整を行う。この際、成形時の偏心測定及び調整工程と同様の偏心測定装置を用いる。具体的には、第1レンズアレイ10及び第2レンズアレイ20間の偏心測定は、図8に示す偏心測定装置180を用いて行う。図8に示す偏心測定装置180は、図6に示す偏心測定装置80に追加して第2レンズアレイ20を支持する支持装置181をさらに備える。支持装置181は、第2レンズアレイ20を支持する支持部181aと、支持部181aを駆動する駆動部181bとを有する。なお、図8に示す偏心測定装置180は、図6に示す偏心測定装置80として併用又は兼用することができる。
積層時の偏心測定において、第1レンズアレイ10の第2光学面11b上の第2対マークM2aと、この第2光学面11bの同一光軸OA上の第2レンズアレイ20の第2光学面21b上の第2対マークM2aとの座標差を求める。偏心測定は、第1及び第2レンズアレイ10,20に設けられた2か所の一対の第2対マークM2aについて行う。まず、顕微鏡82aによって第1レンズアレイ10の第2光学面11b上の第2対マークM2aに焦点を合わせて、CCDカメラ82bで取得した画像から演算部83bによって当該第2対マークM2aの座標を算出する。次に、顕微鏡82aによって光軸OA方向に焦点位置をずらし、第2レンズアレイ20の第2光学面21b上の第2対マークM2aに焦点を合わせて、CCDカメラ82bで取得した画像から演算部83bによって当該第2対マークM2aの座標を算出する。ここで、光軸OA方向には、第1レンズアレイ10の第1光学面11a上及び第2レンズアレイ20の第1光学面21a上にはいずれもマークがないため、物体側又は像側から見る場合に、所望のマーク以外のものを測定してしまうことを防止することができる。なお、第2対マークM2aの座標算出は、成形工程において述べたのと同様に行うことができる。つまり、第2対マークM2a内の任意の一点をマークの座標としてもよいし、得られたマーク画像の中心位置の座標を算出してもよいし、第2対マークM2aが十分小さい場合はマーク自身をマークの中心とみなして測定してもよい。次に、演算部83bによって両者の座標差を算出する。座標差がなければ偏心がない状態であり、座標差があればレンズ部21の光軸OAがレンズ部11の光軸OAからずれて偏心がある状態である。ここで、偏心が許容範囲内に収まっていれば、物体側の第2対マークM2aの中心と像側の第2対マークM2aの中心とが、物体側又は像側から見て実質的に重なっているものとみなすことができる。2か所の第2対マークM2aの偏心測定により、第1及び第2レンズアレイ10,20間のシフト及び回転のずれを測定することができる。
積層時の偏心測定において、座標差がある場合、支持装置181によって第2レンズアレイ20の位置を移動又は回転させ偏心調整を行い、再度偏心測定を行う。偏心測定及び調整は、レンズ部11,21の2か所の第2対マークM2aの座標差が実質的になくなるまで(座標差がゼロになるか許容誤差内に収まるまで)繰り返し行う。
偏心測定において座標差が実質的になくなった後、図7Dに示すように、接着剤G2にUV光を照射して硬化させる。
以上により図1B等に示す、第1及び第2レンズアレイ10,20間の偏心が実質的に解消された積層レンズアレイ100が得られる。なお、アライメントを行う装置の駆動プログラムに、第1及び第2レンズアレイ10,20間の偏心が実質的に解消される条件を記憶させて同じ条件でアライメントを実行させることにより、高精度な複数レンズアレイの積層を繰り返し実行することができる。積層レンズアレイ100は、不図示のホルダー等に組み込み撮像装置等として使用することができる。
D)積層レンズの製造方法
積層レンズの製造方法において、上述の積層レンズアレイの製造方法と同様に、成形工程と積層工程とを行い、その後、切断工程を行う。
積層レンズの製造方法において、上述の積層レンズアレイの製造方法と同様に、成形工程と積層工程とを行い、その後、切断工程を行う。
〔切断工程〕
図9に示すように、切断線DLに沿って積層レンズアレイ100を切断し、図3A〜3Cに示す積層レンズ200を得る。積層レンズ200は、不図示のホルダー等に組み込み使用することができる。
図9に示すように、切断線DLに沿って積層レンズアレイ100を切断し、図3A〜3Cに示す積層レンズ200を得る。積層レンズ200は、不図示のホルダー等に組み込み使用することができる。
以上説明した積層レンズアレイ100等によれば、第1及び第2対マークM1,M2aが異なる位置に設けられており、レンズ部11,21の同一基準軸としての同一光軸OA上に第1対マークM1又は第2対マークM2aのみが配置される。つまり、目的とする箇所の同一光軸OA上には、2つのマークのみが配置される。そのため、成形や積層の偏心測定及び調整時に同一光軸OA上に所望のマーク以外の意図しないものが並ぶことを回避でき、第1又は第2対マークM1,M2aを明確に区別することができる。これにより、所望のマーク以外を誤って測定することを防ぐことができる。その結果、精度の良い偏心測定及び調整がされた良好な光学性能を有する積層レンズアレイ100や積層レンズ200となる。
なお、既に説明したとおり、同一光軸OA上のレンズ部11,21に第1及び第2対マークM1,M2aを設けてレンズ部11の第2光学面11bのマークとレンズ部21の第2光学面21bのマークとで第1及び第2レンズアレイ10,20の偏心を測定する場合、以下の問題が生じる。レンズ部11の第2光学面11bとレンズ部21の第1光学面21aとが接近していると、レンズ部11の第2光学面11bのマークの座標を測定する際にレンズ部21の第1光学面21aのマークも同時に合焦してしまう場合があり、マークの判別が困難になる。この場合、所望のマーク以外を測定してしまうおそれがある。
〔第2実施形態〕
以下、第2実施形態に係る積層レンズアレイ等について説明する。なお、第2実施形態の積層レンズアレイ等は第1実施形態の積層レンズアレイ等を変形したものであり、特に説明しない部分は第1実施形態と同様であるものとする。
以下、第2実施形態に係る積層レンズアレイ等について説明する。なお、第2実施形態の積層レンズアレイ等は第1実施形態の積層レンズアレイ等を変形したものであり、特に説明しない部分は第1実施形態と同様であるものとする。
図10に示すように、第1及び第2対マークM1,M2aは辺方向にそれぞれ2か所配置されている。つまり、マトリックス状に配列されたレンズ部11,21のうち列L1上のレンズ部11,21に第1対マークM1としての第1、第2、第6、及び第7のマークU1,U2,U6,U7が設けられており、列L2上のレンズ部11,21に第2対マークM2aとしての第3及び第4のマークU3,U4が設けられている。これにより、第1及び第2レンズアレイ10,20の回転ずれの方向が直感的に理解しやすいので、偏心の調整が容易になる
〔第3実施形態〕
以下、第3実施形態に係る積層レンズアレイ等について説明する。なお、第3実施形態の積層レンズアレイ等は第1実施形態の積層レンズアレイ等を変形したものであり、特に説明しない部分は第1実施形態と同様であるものとする。
以下、第3実施形態に係る積層レンズアレイ等について説明する。なお、第3実施形態の積層レンズアレイ等は第1実施形態の積層レンズアレイ等を変形したものであり、特に説明しない部分は第1実施形態と同様であるものとする。
図11Aに示すように、積層レンズアレイ300は、第1レンズアレイ10と、第2レンズアレイ20と、第3レンズアレイ30と、スペーサー基板40,50とを有する。つまり、積層レンズアレイ300は、3枚のレンズアレイで構成される。
第1及び第2レンズアレイ10,20及びスペーサー基板40は、第1実施形態と同様である。
第3レンズアレイ30は、第1レンズアレイ10の構成と略同様であるため、以下適宜説明を省略する。第3レンズアレイ30は、ガラス製又は樹脂製であり、複数のレンズ部31と、複数のレンズ部31を繋ぐ支持体32とを有する。レンズ部31は、非球面形状であり、第3レンズアレイ30の一方の側に第1光学面31aと、第3レンズアレイ30の他方の側に第2光学面31bとを有する。第1及び第2光学面31a,31bは、凸形状を有する。支持体32は、積層レンズアレイ300を切断した積層レンズ400(図12参照)において、フランジ部232となる。レンズ部31の複数の第1及び第2光学面31a,31bのうち一部の光学面には、偏心測定及び調整用の第8、第9、及び第5のマークU8,U9,U5がそれぞれ設けられている。具体的には、第8及び第9のマークU8,U9は、レンズ部31のうち第6のレンズ部K6の第1及び第2光学面31a,31bにそれぞれ設けられている。また、第5のマークU5は、第4のレンズ部K4の第2光学面31bに設けられている。つまり、第8及び第9のマークU8,U9は、第5のマークU5と異なるレンズ部31の光軸OA上に設けられている。なお、第4のレンズ部K4の第1光学面31aには、マークは設けられていない。第3レンズアレイ30は、第1レンズアレイ10や第2レンズアレイ20と同一の材料で形成してもよいし、異なる材料で形成してもよい。
以下、説明の便宜上、第1実施形態で説明した第1、第2、第6、及び第7のマークU1,U2,U6,U7と同様に、1つのレンズ部31(第6のレンズ部K6)の物体側及び像側の光学面に設けられる第8及び第9のマークU8,U9を、単独で第1対マークM1と呼ぶ場合がある。また、第1実施形態で説明した第3及び第4のマークU3,U4と同様に、1つのレンズ部11,21(第4のレンズ部K4)の物体側及び像側のいずれか一方の光学面(本実施形態では第2光学面31b)に設けられる第5のマークU5を、単独で第2対マークM2bと呼ぶ場合がある。
第3実施形態において、第1レンズアレイ10には、第2レンズアレイ20の第4のマークU4と対となる第3のマークU3(第2対マークM2a)とは異なる位置に第3レンズアレイ30の第5のマークU5と対となる第3のマークU3(第2対マークM2b)が設けられている。つまり、第3レンズアレイ30の第2対マークM2bは、第1レンズアレイ10の第2対マークM2bと対向する。なお、図示の例では、第1レンズアレイ10において第2対マークM2bを構成するものとして第3のマークU3を設けているが、これに代えて、第2レンズアレイ20において、第2対マークM2bを構成するものとして第4のマークU4を設けることもできる。
スペーサー基板50は、スペーサー基板40の構成と略同様であるため、以下適宜説明を省略する。スペーサー基板50は、第2レンズアレイ20と第3レンズアレイ30との間に設けられている。スペーサー基板50は、第2及び第3レンズアレイ20,30間の距離を調整する役割を有する。スペーサー基板50には、第2及び第3レンズアレイ20,30の各レンズ部21,31に対応する配列で開口部51が形成されている。
図11A等に示す積層レンズアレイ300を切り出すと、図12A〜12Dに示す積層レンズ400を得る。積層レンズ400は、第1レンズ要素110と、第2レンズ要素120と、第3レンズ要素130と、スペーサー140,150とを有する。第1及び第2レンズ要素110,120及びスペーサー140は、第1実施形態と同様である。
第3レンズ要素130は、第3レンズアレイ30を切り出したものであり、レンズ部31とフランジ部232とを有する。スペーサー150は、スペーサー基板50を切り出したものであり、開口部51と支持体152とを有する。
図12A〜12Dに示すように、積層レンズアレイ300から切り出された積層レンズ400には、第1又は第2対マークM1,M2a,M2bを有するレンズと有さないレンズとがある。
なお、3枚以上のレンズアレイを積層する場合、第1対マークM1と第2対マークM2a,M2bを同一光軸OA上に配置すると、2枚のレンズアレイを積層する場合よりも光軸OA上に多くの数のマークが並ぶ。そのため、偏心測定及び調整時において、所望のマーク以外を誤って測定する可能性が高まる。よって、本実施形態のように、第1及び第2対マークM1,M2a,M2bが互いに異なるように配置すれば、所望のマーク以外を誤って測定することがなくなり、より精度の良い積層レンズアレイ300や積層レンズ400を得ることができる。
以上、本実施形態に係る積層レンズアレイ等について説明したが、本発明に係る積層レンズアレイ等は上記のものには限られない。例えば、上記実施形態において、第1及び第2光学面11a,11b等の形状、大きさは、用途や機能に応じて適宜変更することができる。また、積層レンズアレイ100内に形成されるレンズ部11,21,31の数も適宜変更することができる。
また、上記実施形態においては、第1及び第2対マークM1,M2a,M2bを光軸OA上に設けている。これにより、偏心測定及び調整を容易にすることができ、偏心測定及び調整が容易で精度の高いアレイレンズを作製しやすくなる。しかしながら、これに限定されるものではなく、第1及び第2対マークM1,M2a,M2bを光軸OAからずらして設けてもよい。また、光軸OAを中心として複数のマークを設け、マークの座標によって第1及び第2光学面11a,11b等の頂点の座標を算出するようにしてもよい。
また、上記実施形態において、第1、第2、及び第3レンズアレイ10,20,30間にスペーサー基板40,50を設けたが、設けなくてもよい。また、接着剤によって第1、第2、及び第3レンズアレイ10,20,30間の距離を調整してもよい。
また、上記実施形態において、第1、第2、及び第3レンズアレイ10,20,30内の第1及び第2対マークM1,M2a,M2bの配置は、第1及び第2対マークM1,M2a,M2bがそれぞれ異なる位置にあり、偏心を調整できる配置であればよい。例えば図13Aに示すように、一方のマーク(図示では第2対マークM2a)を対角方向に配置し、他方のマーク(図示では第1対マークM1)を辺方向に配置してもよい。また、例えば3枚のレンズアレイを積層する積層レンズの場合、図13Bに示すような並列配列もある。また、各レンズアレイ10,20,30において第1対マークM1の配置を変更してもよい。
また、上記実施形態において、第1及び第2対マークM1,M2a,M2bを2か所ずつ設けたが、図13Cに示すように、3か所以上設けてもよい。この場合、偏心調整のためにより信頼できるデータを取得することができる。
また、上記実施形態において、第1及び第2レンズアレイ10,20をガラスで形成したが、樹脂で形成してもよい。材料に樹脂を用いる場合、第1及び第2レンズアレイ10,20を樹脂のみで形成してもよいし、樹脂製のレンズ部とガラス等の基板とでレンズアレイを構成してもよい。樹脂による成形方法は、プレス成形の他に射出成形等を用いることができる。プレス成形の場合、樹脂の材料として例えば光硬化性樹脂を用いる。また、射出成形の場合、樹脂の材料として例えば熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂を用いる。
また、上記実施形態において、積層レンズアレイ100内に絞りを設けてもよい。
また、上記各実施形態において、積層される複数のレンズアレイの中に、物体側又は像側のうち一方の光学面が平坦なものが含まれていてもよい。このようにしても、光学性能を大きく低下させることなく、レンズアレイの成形を比較的容易にすることができる。なお、この場合は、当該レンズアレイについては、1つのレンズ部内での偏心調整を不要にすることができるため、物体側及び像側の両方にマークが形成されたレンズ部を設けなくてもよい。
また、上記各実施形態において、積層時の偏心測定を行うための第2対マークM2a,M2bを全て各レンズアレイの物体側(又は像側)に設けた例を示しているが、これに限るものではなく、物体側に第2対マークM2a,M2bが設けられたレンズアレイと、像側に第2対マークM2a,M2bが設けられたレンズアレイとを積層するようにしても構わない。この場合、2つのマークが近くなるように配列されていてもよいし、2つのマークが遠くなるように配列されていてもよい。
また、上記実施形態において、マークを用いて、積層レンズアレイ100,300と組み合わせるCCDやCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)センサーなどの撮像素子との位置合わせを行うようにしてもよい。例えば、図13Bや図13Cのように、マトリクス状に並んだ複数のレンズ部のうち、角部のものにマークを配するようにしておき、これらを物体側から観察して得られる画像データから、角部のマークを結んで得られる仮想的な矩形を抽出し、センサーの有効領域の形状とマッチングさせるように、積層レンズアレイ(レンズアレイ10,20)とセンサーとをアライメントすることにより、両者の位置合わせを行うことができる。
また、上記実施形態において、積層レンズアレイ100は、切断工程(ダイシング)により個片化して積層レンズ200を作製し、これを撮像装置に用いるという用途だけでなく、個片化せずにそのまま使用することもできる。例えば、CCD型イメージセンサーやCMOS型イメージセンサー等の固体撮像素子と、2次元的に配置された複数の撮像レンズとで構成され、各レンズによって得られる複数の画像から1つの画像を再構成する複眼撮像装置のレンズアレイとして用いることもできる。
また、第3実施形態において、第3レンズアレイ30を積層する際に、第1及び第3レンズアレイ10,30の組み合わせで偏心測定及び調整を行ったが、第2及び第3レンズアレイ20,30の組み合わせで偏心測定及び調整を行うこともできる。
Claims (16)
- 複数のレンズアレイを積層した積層レンズアレイであって、
各レンズアレイは複数のレンズ部を含み、物体側及び像側に前記複数のレンズ部に対応する複数の光学面をそれぞれ有し、
前記複数のレンズアレイは、物体側の光学面に第1のマークを有し像側の光学面に第2のマークを有する第1のレンズ部と、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第3のマークを有するとともに他方の光学面にマークを有しない第2のレンズ部と、を含む第1レンズアレイと、
物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第4のマークを有するとともに他方の光学面にマークを有しない第3のレンズ部を含む第2レンズアレイと、を含み、
前記第3のマークと前記第4のマークとは、物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なることを特徴とする積層レンズアレイ。 - 前記第1乃至第4のマークは、それぞれ対応する前記第1乃至第3のレンズ部の光軸上に設けられることを特徴とする請求項1に記載の積層レンズアレイ。
- 前記第1レンズアレイは、離れた位置に少なくとも2か所設けられる複数の前記第1のマーク及び複数の前記第2のマークを備えることを特徴とする請求項1及び2のいずれか一項に記載の積層レンズアレイ。
- 前記複数のレンズ部はマトリックス状に配列されており、前記第1のマーク及び前記第2のマークは対角方向に配置されることを特徴とする請求項3に記載の積層レンズアレイ。
- 前記複数のレンズ部はマトリックス状に配列されており、前記第1のマーク及び前記第2のマークは辺方向に配置されることを特徴とする請求項3に記載の積層レンズアレイ。
- 前記第1レンズアレイは、離れた位置に少なくとも2か所設けられる複数の前記第3のマークを備えることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の積層レンズアレイ。
- 前記複数のレンズアレイは、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第5のマークを有するとともに他方の光学面にマークを有しない第4のレンズ部を含む第3レンズアレイをさらに含み、
前記複数の第3のマークのうちの1つと前記第4のマークとは物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なり、前記複数の第3のマークのうちの他の1つと前記第5のマークとは物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なることを特徴とする請求項6に記載の積層レンズアレイ。 - 前記第2レンズアレイは、離れた位置に少なくとも2か所設けられる複数の前記第4のマークを備えることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の積層レンズアレイ。
- 前記複数のレンズアレイは、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第5のマークを有するとともに他方の光学面にマークを有しない第4のレンズ部を含む第3レンズアレイをさらに含み、
前記複数の第4のマークのうちの1つと前記第3のマークとは物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なり、前記複数の第4のマークのうちの他の1つと前記第5のマークとは物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なることを特徴とする請求項8に記載の積層レンズアレイ。 - 前記第2レンズアレイは、物体側の光学面に第6のマークを有し像側の光学面に第7のマークを有する第5のレンズ部を含むことを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の積層レンズアレイ。
- 物体側及び像側に複数のレンズ部に対応する複数の光学面を有するレンズアレイを成形する成形工程と、
前記成形工程で成形された少なくとも複数のレンズアレイを積層する積層工程と、
を備え、
前記成形工程において、前記複数のレンズアレイのうち第1レンズアレイの第1のレンズ部に、物体側の光学面に第1のマークを形成し、像側の光学面に第2のマークを形成し、前記第1レンズアレイの第2のレンズ部に、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第3のマークを形成するとともに他方の光学面にマークを形成せず、前記複数のレンズアレイのうち第2レンズアレイの第3のレンズ部に、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第4のマークを形成するとともに他方の光学面にマークを形成せず、
前記積層工程において、前記第3のマークと前記第4のマークとが、物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なるように、前記第1及び第2レンズアレイを積層することを特徴とする積層レンズアレイの製造方法。 - 前記成形工程において第1の成形型および第2の成形型によって前記第1レンズアレイを成形し、
前記第1の成形型は、前記第1レンズアレイの物体側の光学面を成形するための複数の第1光学転写面を有し、前記第1のレンズ部の物体側の光学面に対応する前記第1光学転写面は前記第1のマークを形成するための第1のマーク転写面を含み、
前記第2の成形型は、前記第1レンズアレイの像側の光学面を成形するための複数の第2光学転写面を有し、前記第1のレンズ部の像側の光学面に対応する前記第2光学転写面は前記第2のマークを形成するための第2のマーク転写面を含み、
前記第1の成形型の前記第2のレンズ部を形成するための第3光学転写面、又は、前記第2の成形型の前記第2のレンズ部を形成するための第4光学転写面は、前記第2のレンズ部の前記第3のマークを形成するための第3のマーク転写面を含む、
請求項11に記載の積層レンズアレイの製造方法。 - 前記第1レンズアレイの前記第1及び第2のマークを観察することにより、前記第1のレンズ部の偏心を測定する請求項11又は12に記載の積層レンズアレイの製造方法。
- 前記第1の成形型は前記第1のマーク転写面を複数有し、前記第2の成形型は前記第2のマーク転写面を複数有し、前記成形工程において、離れた位置にある複数の前記第1のレンズ部を有する前記第1レンズアレイを成形し、複数組の前記第1及び第2のマークを観察することにより、複数の異なる光軸上に配置された一組の前記第1のレンズ部の偏心を測定する請求項11〜13のいずれか一項に記載の積層レンズアレイの製造方法。
- 前記成形工程において第3の成形型および第4の成形型によって前記第2レンズアレイを成形し、
前記第3の成形型の前記第3のレンズ部の物体側光学面を形成するための第5光学転写面、又は、前記第4の成形型の前記第3のレンズ部の像側光学面を形成するための第6光学転写面は、前記第3のレンズ部の前記第4のマークを形成するための第4のマーク転写面を含み、
前記第1の成形型又は前記第2の成形型は前記第3のマーク転写面を複数有し、前記成形工程において、離れた位置にある複数の前記第1のレンズ部を有する前記第1レンズアレイを成形し、
前記第3の成形型又は前記第4の成形型は前記第4のマーク転写面を複数有し、前記成形工程において、離れた位置にある複数の前記第3のレンズ部を有する前記第2レンズアレイを成形し、
複数組の前記第3及び第4マークを観察することにより、前記第1及び第2レンズアレイの偏心を測定する請求項11〜14のいずれか一項に記載の積層レンズアレイの製造方法。 - 物体側及び像側に複数のレンズ部に対応する複数の光学面を有するレンズアレイを成形する成形工程と、
前記成形工程で成形された少なくとも複数のレンズアレイを積層する積層工程と、
前記積層工程で積層した積層レンズアレイを切断して複数の積層レンズに個片化する切断工程と、
を備え、
前記成形工程において、前記複数のレンズアレイのうち第1レンズアレイの第1のレンズ部に、物体側の光学面に第1のマークを形成し、像側の光学面に第2のマークを形成し、前記第1レンズアレイの第2のレンズ部に、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第3のマークを形成するとともに他方の光学面にマークを形成せず、
前記複数のレンズアレイのうち第2レンズアレイの第3のレンズ部に、物体側の光学面及び像側の光学面のうち一方の光学面に第4のマークを形成するとともに他方の光学面にマークを形成せず、
前記第3のマークと前記第4のマークとは、物体側又は像側から見て両者の中心において実質的に重なることを特徴とする積層レンズの製造方法。
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