JPWO2014083836A1 - 集光装置、固体撮像素子および撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 低屈折率の透明層
3B、3G、3R 位相フィルタ
4 マイクロレンズ
6 遮光金属層
7 低屈折率の透明層
8 金属配線
9B、9G、9R、9IR カラーフィルタ
10 トップレンズ
50 シリコン基板
100 光検知器アレイ
200 分光素子アレイ
Claims (16)
- 複数の第1光検知器および複数の第2光検知器が撮像面内で二次元的に配列された光検知器アレイであって、各第1光検知器に対して交差する複数の異なった方向に位置する第2光検知器が前記第1光検知器に隣接している光検知器アレイと、
各々が位相フィルタを含む複数の分光素子が二次元的に配列された分光素子アレイであって、前記複数の分光素子の各々が前記複数の第1光検知器の対応する1つに対向するように構成された分光素子アレイと、
を備え、
各分光素子の前記位相フィルタは、対向する第1光検知器に第1の波長範囲の光を入射させ、かつ、前記第1光検知器に隣接する前記第2光検知器に第2の波長範囲の光を入射させるように構成されている、固体撮像素子。 - 第1の方向に配列された複数の第1光検知器および前記第1の方向に配列された複数の第2光検知器が撮像面内で交互に並んだ光検知器アレイと、
各々が位相フィルタを含む複数の分光素子が二次元的に配列された分光素子アレイであって、前記複数の分光素子がそれぞれ前記複数の第1光検知器に対向するように構成された分光素子アレイと、
を備え、
各分光素子の前記位相フィルタは、前記撮像面の法線方向から見たとき、各位相フィルタが対向する第1光検知器に対して、前記第1の方向に垂直な第2の方向にオフセットしており、前記対向する第1光検知器に第1の波長範囲の光を入射させ、かつ、前記第1光検知器に隣接する前記2個の第2光検知器に第2の波長範囲の光を入射させるように構成されている、固体撮像素子。 - 各分光素子はマイクロレンズを含む、請求項1または2に記載の固体撮像素子。
- 前記第1の波長範囲の光は可視光であり、前記第2の波長範囲の光は赤外光である請求項1から3のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記光検知器アレイは、前記位相フィルタから5μm以上離れた位置に配置される、請求項4に記載の固体撮像素子。
- 前記第2の波長範囲の光は、各分光素子の前記位相フィルタから5μm以上離れた位置で干渉して前記第1の波長範囲の光から分離した光である、請求項5に記載の固体撮像素子。
- 前記第1光検知器および前記第2光検知器は、前記撮像面内において、行および列状に交互に配列されている請求項1から6のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記第1光検知器および前記第2光検知器は、前記撮像面内において、チェッカーボードパターンを形成するように配列されており、
前記複数の分光素子の各々は、前記複数の第2光検知器のうち、対向する第1光検知器に隣接する4個に前記第2の波長範囲の光を入射させる請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記マイクロレンズのレンズ開口部は四角形であり、前記位相フィルタは柱状構造物であり、請求項8に記載の固体撮像素子。
- 前記撮像面の法線方向から見たとき、前記マイクロレンズの中心は前記位相フィルタの中心に一致している請求項9に記載の固体撮像素子。
- 前記第1光検知器および前記第2光検知器は、前記撮像面内において、ストライプパターンを形成するように配列されており、
前記複数の分光素子の各々は、前記複数の第2光検知器のうち、対向する第1光検知器に隣接する2個に前記第2の波長範囲の光を入射させる請求項2に記載の固体撮像素子。 - 各分光素子は、マイクロレンズを含み、
前記撮像面の法線方向から見たとき、前記位相フィルタは、その位相段差が前記マイクロレンズの中心軸を通る位置に整合するように構成されている請求項11に記載の固体撮像素子。 - 前記位相フィルタは、前記第1光検知器に入射させる光の中心波長に対して2πの位相差を与えるように構成されている請求項1から10のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 複数の異なる透過特性を有するカラーフィルタが配列されたカラーフィルタアレイを備え、
前記第1光検知器は、可視光の透過を許容するカラーフィルタによって覆われ、
前記第2光検知器は、可視光の透過を抑制またはカットするカラーフィルタによって覆われている請求項1から13のいずれかに記載の固体撮像素子。 - 請求項1から14のいずれかに記載の固体撮像素子と、
前記固体撮像素子が出力する電気信号を処理する信号処理部と、
前記固体撮像素子の撮像面に像を形成するための光学系と、
を備えた撮像装置。 - 集光素子と、
前記集光素子に近接、かつ同軸して配置され、透過する光の位相をシフトさせる位相シフト素子と
を備え、
前記集光素子の開口形状は方形であり、
前記集光素子のフーリエ結像面に相当する位置における特定波長の光の強度分布が4つのピークを有するように前記特定波長の光を分光する、集光装置。
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