JPWO2014073262A1 - 撮像素子位置検出装置 - Google Patents
撮像素子位置検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2014073262A1 JPWO2014073262A1 JP2014545599A JP2014545599A JPWO2014073262A1 JP WO2014073262 A1 JPWO2014073262 A1 JP WO2014073262A1 JP 2014545599 A JP2014545599 A JP 2014545599A JP 2014545599 A JP2014545599 A JP 2014545599A JP WO2014073262 A1 JPWO2014073262 A1 JP WO2014073262A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image sensor
- mirror
- lens
- image
- position detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B5/00—Adjustment of optical system relative to image or object surface other than for focusing
- G03B5/08—Swing backs
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B43/00—Testing correct operation of photographic apparatus or parts thereof
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/023—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N17/00—Diagnosis, testing or measuring for television systems or their details
- H04N17/002—Diagnosis, testing or measuring for television systems or their details for television cameras
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/50—Constructional details
- H04N23/54—Mounting of pick-up tubes, electronic image sensors, deviation or focusing coils
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/50—Constructional details
- H04N23/55—Optical parts specially adapted for electronic image sensors; Mounting thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Studio Devices (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
Abstract
本発明の撮像素子位置検出装置(10B)は、光学系装置に搭載される撮像素子(2)と該撮像素子(2)に対向するレンズ(3)との位置関係を検出する。レンズ(3)における、撮像素子(2)とは反対側における対向前面に該撮像素子(2)に対して平行に配置された対向ミラー(5)が設けられている。レンズ(3)における、撮像素子(2)とは反対側における対向側面には、対向ミラー(5)に対して垂直に配置された、互いに対向する少なくとも一対の側面ミラー(11a・11b)が設けられている。
Description
本発明は、光学系装置に搭載される撮像素子と該撮像素子に対向するレンズとの位置関係を検出及び調整する撮像素子位置検出装置に関するものである。
昨今、急速に進むカメラモジュールの高解像化により、光学系と受光素子との間の高精度な実装技術が求められている。
実装に際して、従来、例えば、光学系及び受光素子の外形や外観を基準とした実装方法が用いられてきたが、近年では、外形や外観を基準とするよりも高精度な調整が必要とされるようになってきている。
そこで、撮像素子を出力状態に維持しておき、検出体を撮像しながら軸ずれ調整及び傾き調整等の位置調整を行うプロセス技術(アクティブアライメント:AA)の確立が進められている。
例えば特許文献1に開示されたカメラモジュールの製造方法は、所望の位置に移動可能な保持部材によりレンズユニットにおける、撮像素子ユニットとは反対側に位置する部分を保持する工程と、撮像素子ユニットの側に露出している識別部材を撮像装置で撮像し、撮像した識別部材の画像に基づいて撮像レンズの光軸が保持部材の中心軸よりずれているずれ量を検出する工程と、レンズユニットをずれ量に基づいて補正した移動量で所定の位置に配置された撮像素子ユニットの上方に移動させる工程と、レンズユニットを撮像素子ユニットに向けて移動させ、レンズユニットを撮像素子ユニットに接合する工程とを有している。
これにより、格別な部材を設けなくてもアライメントマークとしての識別部材の正確な識別ができ、撮像レンズの光軸と撮像素子の中心を確実に合致させることができるカメラモジュールの製造方法を提供することができるとしている。すなわち、アライメントマークを画像認識して、撮像レンズと撮像素子ユニットとの相対位置を調整するようになっている。
また、例えば特許文献2に開示されたカメラモジュールの組立て方法は、カメラモジュール本体を検査用撮像素子の上方で検査用撮像素子との間に空間をあけて保持し、カメラモジュール本体のレンズに上方から検査用光を当てることにより生じた検査用撮像素子からの画像信号に基づいて、カメラモジュール本体の位置を三軸方向及び傾斜について調整した後、水平に保持した調整枠の上端にカメラモジュール本体を固定するとしている。
すなわち、カメラモジュール本体を検査用撮像素子にて撮像しての調整時に、カメラモジュール本体を調整枠に固定しておく。そして、後工程で撮像素子に載せるようになっている。
さらに、例えば特許文献3に開示されたカメラモジュールの組立て方法は、撮像のサイズと歪みとから調整量を算出して適用する、レンズと撮像ユニットとのアライメント技術に関するものであり、レンズと撮像ユニットとを個別に調整し、調整姿勢を保持したまま実装する方法となっている。
上記特許文献1〜特許文献3に開示された撮像素子位置調整装置及び撮像素子位置調整方法は、光学系のアライメントに撮像情報を用いる方法が開示されているが、これらは間接的な撮像素子を用いるため、つまり直接実装する撮像素子を用いるものではないため、プロセスが複雑になり、撮像素子搭載時の誤差が懸念される。
そこで、直接実装する撮像素子を出力状態として撮像しながら調整を行うプロセス技術の確立が進められている。
例えば特許文献4に開示されたカメラモジュールの製造装置は、レンズ保持機構及び素子移動機構にレンズユニット及び素子ユニットをそれぞれ保持させる。レンズユニットを位置決めした状態のレンズ位置決めプレートとレンズ保持機構とを第2スライドステージで光軸S方向に移動させながら、撮影レンズが結像した測定チャートを撮像素子で撮像し、撮像面上に設定された少なくとも5つの測定点の合焦位置を測定する。各測定点の合焦位置の座標から、平面近似により各測定点の調整位置を算出する。各測定点が各調整位置に一致するように、第3スライドステージ及び2軸回転ステージで素子ユニットの位置及び傾きを調整するようになっている。
すなわち、撮像面の中心及び周辺像のデフォーカス特性を取得し、結像位置と像平面との傾きから調整量を算出する調整方法となっている。
また、例えば特許文献5に開示された撮像素子の傾き測定装置は、撮影レンズの光軸方向に沿って移動する測定用チャートを、固定された撮像素子にて複数回撮像したチャートの撮像データによるコントラスト特性曲線のピーク値を用いて撮像素子の傾きを定量的に検出するようになっている。すなわち、デフォーカス特性から像平面に対するセンサ面の傾きを検出する方法であり、物体側を動かしてデフォーカス特性を取得するものとなっている。
このように、特許文献4及び特許文献5に開示された技術は、出力状態とした撮像素子に対する光学系を直接調整する技術が開示されている。
すなわち、特許文献4では撮像面を取得し、像面傾きを算出し、調整量にフィードバックしている。また、特許文献5では、物体面の変動に対するデフォーカス特性を取得し、像面傾きを算出し、調整量にフィードバックしている。
いずれも、高精度に像面傾きを調整し、それぞれモジュール構成に適した装置構成を実現した像面を検出する有用な方法といえる。
しかしながら、上記従来の特許文献4及び特許文献5に開示された撮像素子位置調整装置では、被写体と光学系とに軸ずれがある場合、その量に応じた光学系と撮像系との軸ずれを生じてしまい、調整したい像高に対する像面傾きが考慮されない懸念があるという問題点を有している。
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、直接実装する撮像素子にて得た撮像情報に基づいて、光学系と撮像素子との少なくとも軸ずれを精度よく検出し得るコンパクトな撮像素子位置検出装置を提供することにある。
本発明の一態様に係る撮像素子位置検出装置は、上記課題を解決するために、光学系装置に搭載される撮像素子と該撮像素子に対向するレンズとの位置関係を検出する撮像素子位置検出装置において、上記レンズにおける、上記撮像素子とは反対側における対向前面に該撮像素子に対して平行に配置された対向ミラーが設けられていると共に、上記撮像素子は、上記対向ミラーによる上記レンズの対向ミラー反射像を撮像するようになっていることを特徴としている。
上記の構成によれば、レンズにおける、撮像素子とは反対側における対向前面には該撮像素子に対して平行に配置された対向ミラーが設けられているので、撮像素子には、対向ミラーによるレンズの対向ミラー反射像が撮像される。
このとき、例えば、レンズの光軸と、撮像素子の中心とがずれていれば、撮像素子におけるレンズの対向ミラー反射像もレンズの光軸と撮像素子の中心とがずれて撮像される。この結果、レンズの光軸と撮像素子の中心とがずれていることを容易に検出することができる。
そして、この検出は、直接実装する撮像素子にて得た撮像情報に基づいたものであり、直接実装する撮像素子とレンズとの位置関係を直接的に反映している点で検出精度が高いといえる。また、撮像素子位置検出装置は、対向ミラーが設けられているだけであるので、コンパクトである。
したがって、直接実装する撮像素子にて得た撮像情報に基づいて、光学系と撮像素子との少なくとも軸ずれを精度よく検出し得るコンパクトな撮像素子位置検出装置を提供することができる。
本発明の一態様に係る撮像素子位置検出装置によれば、直接実装する撮像素子にて得た撮像情報に基づいて、光学系と撮像素子との少なくとも軸ずれを精度よく検出し得るコンパクトな撮像素子位置検出装置を提供するという効果を奏する。
〔実施の形態1〕
本発明の一実施形態について図1及び図2に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
本発明の一実施形態について図1及び図2に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
本実施の形態の撮像素子位置検出装置は、光学系装置に搭載される撮像素子と該撮像素子に対向するレンズとの位置関係、つまり軸ずれ及び傾きを少なくとも検出するものである。
(構成)
本実施の形態の撮像素子位置検出装置の構成について、図1の(a)(b)に基づいて説明する。図1の(a)は本実施の形態の撮像素子位置検出装置の構成を示す側面図であり、図1の(b)は撮像素子に現れるレンズの像を示す平面から見た模式図である。尚、図1の(b)においてはレンズの像を形式的に円形としているが、図1の(b)は模式図であるため、必ずしも円形とは限らない。
本実施の形態の撮像素子位置検出装置の構成について、図1の(a)(b)に基づいて説明する。図1の(a)は本実施の形態の撮像素子位置検出装置の構成を示す側面図であり、図1の(b)は撮像素子に現れるレンズの像を示す平面から見た模式図である。尚、図1の(b)においてはレンズの像を形式的に円形としているが、図1の(b)は模式図であるため、必ずしも円形とは限らない。
本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Aは、図1の(a)に示すように、基板1に撮像素子2が搭載されていると共に、撮像素子2の上方にはレンズ3が配設されている。このレンズ3は、調整手段、平行移動手段及び回転手段としての軸ずれ傾き調整部4に支持されている。このため、この軸ずれ傾き調整部4によって、レンズ3が撮像素子2に対してX軸方向及びY軸方向に水平移動し、又はレンズ3が回転することによって、撮像素子2に対してその傾斜角を調整できるようになっている。また、レンズ3における、撮像素子2とは反対側における対向前面に該撮像素子2に対して平行に配置された対向ミラー5が設けられている。そして、撮像素子2は、レンズ3の対向ミラー5による対向ミラー反射像2aを撮像するようになっている。
(軸ずれ検出・調整方法)
上記構成の撮像素子位置検出装置10Aにおける撮像素子2の中心位置とレンズ3の光軸との軸ずれの検出方法について、以下に説明する。
上記構成の撮像素子位置検出装置10Aにおける撮像素子2の中心位置とレンズ3の光軸との軸ずれの検出方法について、以下に説明する。
まず、図1の(a)に示すように、撮像素子位置検出装置10Aにおいては、レンズ3における、撮像素子2とは反対側における対向前面に該撮像素子2に対して平行に対向ミラー5が配置されている。したがって、この状態でレンズ3を撮像する。その結果、図1の(b)に示すように、撮像素子2にレンズ3の対向ミラー反射像2aが撮像される。
このとき、例えば、レンズ3の光軸と、撮像素子2の中心とがずれていれば、撮像素子2におけるレンズ3の対向ミラー反射像2aもレンズ3の光軸と撮像素子2の中心とがずれて撮像される。この結果、レンズ3の光軸と撮像素子2の中心とがずれていることを容易に検出することができる。
そして、この検出は、光学系装置に直接実装する撮像素子2にて得た撮像情報に基づいたものであり、直接実装する撮像素子2とレンズ3との位置関係を直接的に反映している点で検出精度が高い。また、撮像素子位置検出装置10Aは、対向ミラー5が設けられているだけであるので、コンパクトである。
したがって、直接実装する撮像素子2にて得た撮像情報に基づいて、光学系と撮像素子2との少なくとも軸ずれを精度よく検出し得るコンパクトな撮像素子位置検出装置10A及び撮像素子位置検出方法を提供することができる。
また、本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Aには、軸ずれ傾き調整部4が設けられている。このため、例えば、この軸ずれ傾き調整部4にて撮像素子2をレンズ3に対して相対的にX軸方向及びY軸方向に平行移動させることにより、レンズ3と撮像素子2との平行偏芯を容易に調整することができる。尚、本実施の形態では、撮像素子2をレンズ3に対してX軸方向及びY軸方向に平行移動させているが、必ずしもこれに限らず、レンズ3を撮像素子2に対してX軸方向及びY軸方向に平行移動させることも可能である。撮像素子位置検出装置10Aの構成上においては、レンズ3を固定して撮像素子2を動かす方が簡単であると考えられるが、例えば調整方法や検出方法によっては、逆又は混在させる方が有利となる場合もある。
すなわち、レンズ3の光軸と撮像素子2の中心とがずれを調整するために、従来、例えば、図2の(a)に示すように、レンズの対向位置にチャートを配置し、そのチャートを撮像してレンズの光軸と撮像素子の中心とがずれを調整する方法が知られている。しかしながら、この方法では、チャートとレンズ系とに軸ずれがある場合、チャートの中心像が撮像素子の受光面の中心に結像しても、軸ずれが合っているとはいえない。また、この場合、求めたい像高と異なる像高の評価を行っていることとなり、目的の像高に対する傾き調整を正しく行うことができない。
この点、本実施の形態では、図2の(b)に示すように、対向ミラー5とレンズ系とに軸ずれがあっても、撮像素子2の上記対向ミラー反射像2aの位置には影響しない。したがって、対向ミラー5とレンズ系との軸ずれを考慮することなく、撮像素子2におけるレンズ3の対向ミラー反射像2aの中心と撮像素子2に中心とを合わせるように調整すればよいので、調整が容易である。
〔実施の形態2〕
本発明の他の実施の形態について図3〜図9に基づいて説明すれば、以下のとおりである。尚、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態1と同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態1の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
本発明の他の実施の形態について図3〜図9に基づいて説明すれば、以下のとおりである。尚、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態1と同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態1の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Bは、前記実施の形態1の撮像素子位置検出装置10Aの構成に加えて、さらに側面ミラーが設けられている点が異なっている。
(構成)
本実施の形態の撮像素子位置検出装置の構成について、図3及び図4に基づいて説明する。図3は本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Bの構成を示す側面図であり、図4は撮像素子に現れるレンズの像を示す平面から見た模式図である。尚、図4においてはレンズの像を形式的に円形としているが、図4は模式図であるため、必ずしも円形とは限らない。
本実施の形態の撮像素子位置検出装置の構成について、図3及び図4に基づいて説明する。図3は本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Bの構成を示す側面図であり、図4は撮像素子に現れるレンズの像を示す平面から見た模式図である。尚、図4においてはレンズの像を形式的に円形としているが、図4は模式図であるため、必ずしも円形とは限らない。
本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Bは、実施の形態1の撮像素子位置検出装置10Aの構成に加えて、図3に示すように、レンズ3における、撮像素子2とは反対側における対向側面に、対向ミラー5に対して垂直に配置された、互いに対向する少なくとも一対の側面ミラー11a・11bが設けられている。
(コントラスト評価・傾き調整方法)
上記構成の撮像素子位置検出装置10Bにおけるレンズ3と撮像素子2との傾き調整方法について、図3、図4及び図5に基づいて説明する。図5は、上記撮像素子位置検出装置における像面が撮像素子の受光面に対して傾斜しているときの焦点位置を示す側面図である。
上記構成の撮像素子位置検出装置10Bにおけるレンズ3と撮像素子2との傾き調整方法について、図3、図4及び図5に基づいて説明する。図5は、上記撮像素子位置検出装置における像面が撮像素子の受光面に対して傾斜しているときの焦点位置を示す側面図である。
図3及び図4に示すように、撮像素子2は、対向ミラー5によって、レンズ3の対向ミラー反射像2aを撮像すると共に、レンズ3における、一対の側面ミラー11a・11bのうちの一方の側面ミラー11a、対向ミラー5及び他方の側面ミラー11bを経由した側面ミラー反射像2bを撮像する。また、撮像素子2は、レンズ3における、一対の側面ミラー11a・11bのうちの他方の側面ミラー11b、対向ミラー5及び一方の側面ミラー11aを経由した側面ミラー反射像2cを撮像する。
すなわち、撮像素子2は、レンズ3における側面ミラー11a・11b及び対向ミラー5を経由した2つの側面ミラー反射像2b・2cを撮像する。この2つの側面ミラー反射像2b・2cは、対向ミラー反射像2aの両側に現れる。
この場合、例えば、像面と撮像素子2の受光面との傾きによって焦点位置がズレてコントラストが低下したり、コントラストの差が見られたりする。図5は、像面と撮像素子2の受光面との傾きによって焦点位置がズレていることを示している。したがって、このようなコントラスト評価から、適切な傾き調整をすることができる。
そして、このようなコントラスト評価は、光学系装置に直接実装する撮像素子2にて得た撮像情報に基づいたものであり、直接実装する撮像素子2とレンズ3との位置関係を直接的に反映している点で精度が高い。また、撮像素子位置検出装置10Bは、対向ミラー5とレンズ3との間に側面ミラー11a・11bが設けられているだけであるので、コンパクトである。
したがって、直接実装する撮像素子2にて得た撮像情報に基づいて、コントラスト評価を精度よく行い、延いては適切な傾き調整を行い得るコンパクトな撮像素子位置検出装置10B及び撮像素子位置検出方法を提供することができる。
ここで、本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Bにおいても、実施の形態1の撮像素子位置検出装置10Aと同様に、図6に示すように、軸ずれ傾き調整部4を設けることが可能である。このため、例えば、この軸ずれ傾き調整部4にて撮像素子2をレンズ3に対して相対的に回転させることにより、レンズ3と撮像素子2との傾き偏芯を容易に調整することができる。尚、本実施の形態では、撮像素子2をレンズ3に対して回転させているが、必ずしもこれに限らず、レンズ3を撮像素子2に対して回転させることも可能である。撮像素子位置検出装置10Bの構成上においては、レンズ3を固定して撮像素子2を動かす方が簡単であると考えられるが、例えば調整方法や検出方法によっては、逆又は混在させる方が有利となる場合もある。
すなわち、図7に示すように、従来のチャート撮像方式に比べて、本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Bは、物体側のサイズを約半分にして撮像素子2に像を形成することができる。この理由は、鏡の虚像は、物体から鏡までの距離の2倍の距離の位置に現れるためである。したがって、従来に比べてコンパクトな撮像素子位置検出装置10Aを提供することができる。
次に、本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Bでは、図8に示すように、対向ミラー5を前後方向に進退移動させる対向ミラー移動手段としての対向ミラー移動装置12aと、側面ミラー11a・11bを前後方向及び横方向に進退移動させる側面ミラー移動手段としての側面ミラー移動装置12bとをさらに備えている。
これにより、対向ミラー5と側面ミラー11a・11bとをそれぞれ前後方向に進退移動させ、側面ミラー11a・11bについては横方向にも進退移動させることによって、撮像素子位置検出装置10Bの汎用性が高くなるという効果が得られる。
すなわち、通常、撮像チャートを用いる場合は、調整に用いる物体距離つまり被写体間距離や評価像高に応じて撮像チャートの大きさやパターン配置を決める必要がある。一方、図8に示す対向ミラー移動装置12a及び側面ミラー移動装置12bを用いると、対向ミラー5及び側面ミラー11a・11bの位置を前後方向に調整することによって、任意の物体距離に調整することができる。また、側面ミラー11a・11bの位置を調整することによって、任意の評価像高を設定することができる。
ここで、上述の説明では、側面ミラー11a・11bは、少なくとも一対存在すると説明した。しかしながら、図9の(a)(b)に示すように、少なくとも側面ミラー11a・11bは、4方位に存在することが好ましい。また、8方位に存在させることも可能である。さらに、撮像素子2のアスペクト比に合わせた対角方向に配置することも可能である。すなわち、評価する周辺像高は、ミラー同士が重ならなければ沢山配置できる。この場合、4方位で十分なものもあるし、8方位が必要なものもある。方位毎に評価像高を変えることも可能である。例えば、垂直水平方向は評価像高h=0.5とし、対角方向は評価像高h=0.7とすることが可能である。
〔実施の形態3〕
本発明のさらに他の実施の形態について図10〜図12に基づいて説明すれば、以下のとおりである。尚、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態2と同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態2の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
本発明のさらに他の実施の形態について図10〜図12に基づいて説明すれば、以下のとおりである。尚、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態2と同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態2の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Cは、前記実施の形態2の撮像素子位置検出装置10Bの構成に加えて、さらに検出パターンが設けられている点が異なっている。
(構成)
本実施の形態の撮像素子位置検出装置の構成について、図10〜図12に基づいて説明する。図10は本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Cの構成を示す側面図である。図11の(a)(b)(c)は、上記撮像素子位置検出装置における検出パターンの構成を示す平面図であり、図11の(d)は検出パターンにおける彩色部の端部の輝度分布を示すグラフである。図12の(a)(b)は、上記撮像素子位置検出装置における検出パターンの構成を示す端面図である。
本実施の形態の撮像素子位置検出装置の構成について、図10〜図12に基づいて説明する。図10は本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Cの構成を示す側面図である。図11の(a)(b)(c)は、上記撮像素子位置検出装置における検出パターンの構成を示す平面図であり、図11の(d)は検出パターンにおける彩色部の端部の輝度分布を示すグラフである。図12の(a)(b)は、上記撮像素子位置検出装置における検出パターンの構成を示す端面図である。
本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Cは、実施の形態2の撮像素子位置検出装置10Bの構成に加えて、図10に示すように、レンズ3と対向ミラー5との間には、該対向ミラー5に対して平行に配置された検出体としての検出パターン20が設けられている。
この検出パターン20は、図11の(a)(b)(c)に示すように、平板からなっており、平板の中心に円形の透光部21を有し、その周りに彩色部22を有している。透光部21は、図12の(a)に示すように、平板の中心に孔が設けられているものであってよく、又は図12の(b)に示すように、円形の透光部材からなっているものであってもよい。
また、彩色部22は、例えば黒色が塗布されたものからなっており、これによって、図11の(d)に示すように、彩色部22の端部では輝度分布に差が出るようになっている。
彩色部22の形状は、図11の(a)に示す四角形とすることができる他、図11の(b)に示す多角形又は図11の(c)に示す円形とすることが可能である。
(コントラスト評価を用いた傾き検出・調整方法)
上記構成の撮像素子位置検出装置10Cにおけるコントラスト評価を用いた傾き検出・調整方法について、以下に説明する。
上記構成の撮像素子位置検出装置10Cにおけるコントラスト評価を用いた傾き検出・調整方法について、以下に説明する。
上記構成の撮像素子位置検出装置10Cにおいては、撮像素子2には、対向ミラー5による検出パターン20の前記対向ミラー反射像2aと、その両側の検出パターン20の前記側面ミラー反射像2bとの3つの像が現れる。
ここで、検出パターン20は彩色されているので、例えば、レンズ3が撮像素子2に対して傾斜していた場合には、検出パターン20の2つの側面ミラー反射像2bにはコントラストに差が発生する。
したがって、レンズ3が撮像素子2に対して傾斜していることを容易に検出することができる。
そして、この検出は、光学系装置に直接実装する撮像素子2にて得た撮像情報に基づいたものであり、直接実装する撮像素子2とレンズ3との位置関係を直接的に反映している点で検出精度が高い。また、撮像素子位置検出装置10Cは、対向ミラー5とレンズ3との間に側面ミラー11a・11bが設けられているだけであるので、コンパクトである。
したがって、直接実装する撮像素子2にて得た撮像情報に基づいて、光学系と撮像素子2との傾きを精度よく検出し得るコンパクトな撮像素子位置検出装置10C及び撮像素子位置検出方法を提供することができる。
そして、本実施の形態の撮像素子位置検出装置10Cにおいても、実施の形態1の撮像素子位置検出装置10Aと同様に、軸ずれ傾き調整部4が設けられている。このため、この軸ずれ傾き調整部4にてレンズ3を撮像素子2に対して回転させることにより、レンズ3と撮像素子2との傾き偏芯を容易に調整することができる。
尚、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
〔まとめ〕
本発明の一態様に係る撮像素子位置検出装置10Aは、上記課題を解決するために、光学系装置に搭載される撮像素子2と該撮像素子2に対向するレンズ3との位置関係を検出する撮像素子位置検出装置10Aにおいて、上記レンズ3における、上記撮像素子2とは反対側における対向前面に該撮像素子2に対して平行に配置された対向ミラー5が設けられていると共に、上記撮像素子2は、上記対向ミラー5による上記レンズ3の対向ミラー反射像2aを撮像するようになっていることを特徴としている。
本発明の一態様に係る撮像素子位置検出装置10Aは、上記課題を解決するために、光学系装置に搭載される撮像素子2と該撮像素子2に対向するレンズ3との位置関係を検出する撮像素子位置検出装置10Aにおいて、上記レンズ3における、上記撮像素子2とは反対側における対向前面に該撮像素子2に対して平行に配置された対向ミラー5が設けられていると共に、上記撮像素子2は、上記対向ミラー5による上記レンズ3の対向ミラー反射像2aを撮像するようになっていることを特徴としている。
本発明の一態様に係る撮像素子位置検出方法は、上記課題を解決するために、光学系装置に搭載される撮像素子2と該撮像素子2に対向するレンズ3との位置関係を調整する撮像素子位置検出方法において、上記レンズ3における、上記撮像素子2とは反対側における対向前面に該撮像素子2に対して平行に対向ミラー5ーを配置する工程と、上記撮像素子2にて、上記対向ミラー5による上記レンズ3の対向ミラー反射像2aを撮像する工程とを含むことを特徴としている。
上記の構成によれば、レンズ3における、撮像素子2とは反対側における対向前面には該撮像素子2に対して平行に配置された対向ミラー5が設けられているので、撮像素子2には、対向ミラー5によるレンズ3の対向ミラー反射像2aが撮像される。
このとき、例えば、レンズ3の光軸と撮像素子2の中心とがずれていれば、撮像素子2におけるレンズ3の対向ミラー反射像2aもレンズ3の光軸と撮像素子2の中心とがずれて撮像される。この結果、レンズ3の光軸と撮像素子の中心とがずれていることを容易に検出することができる。
そして、この検出は、直接実装する撮像素子2にて得た撮像情報に基づいたものであり、直接実装する撮像素子2とレンズ3との位置関係を直接的に反映している点で検出精度が高いといえる。また、撮像素子位置検出装置10Aは、対向ミラー5が設けられているだけであるので、コンパクトである。
したがって、直接実装する撮像素子2にて得た撮像情報に基づいて、光学系と撮像素子2との少なくとも軸ずれを精度よく検出し得るコンパクトな撮像素子位置検出装置10A及び撮像素子位置検出方法を提供することができる。
本発明の一態様に係る撮像素子位置検出装置10Bでは、前記レンズ3における、前記撮像素子2とは反対側における対向側面に前記対向ミラー5に対して垂直に配置された、互いに対向する少なくとも一対の側面ミラー11a・11bが設けられていると共に、上記撮像素子2は、上記一対の側面ミラー11a・11bのうちの一方の側面ミラー11a、対向ミラー5及び他方の側面ミラー11bを経由した上記レンズ3の側面ミラー反射像2bと、上記一対の側面ミラー11a・11bのうちの他方の側面ミラー11b、対向ミラー5及び一方の側面ミラー11aを経由した上記レンズ3の側面ミラー反射像2cとを撮像するようになっているとすることができる。
本発明の一態様に係る撮像素子位置検出方法では、前記レンズ3における、前記撮像素子2とは反対側における対向側面に、互いに対向する少なくとも一対の側面ミラー11a・11bを前記対向ミラー5に対して垂直に配置する工程と、上記撮像素子2にて、上記一対の側面ミラー11a・11bのうちの一方の側面ミラー11a、対向ミラー5及び他方の側面ミラー11bを経由した上記レンズ3の側面ミラー反射像2bと、上記一対の側面ミラー11a・11bのうちの他方の側面ミラー11b、対向ミラー5及び一方の側面ミラー11aを経由した上記レンズ3の側面ミラー反射像2cとを撮像する工程とを含むとすることができる。
これにより、撮像素子2は、一対の側面ミラー11a・11bのうちの一方の側面ミラー11a、対向ミラー5及び他方の側面ミラー11bを経由したレンズ3の側面ミラー反射像2bと、一対の側面ミラー11a・11bのうちの他方の側面ミラー11b、対向ミラー5及び一方の側面ミラー11aを経由したレンズ3の側面ミラー反射像2cとの2つの像を撮像する。この像は、対向ミラー反射像2aの両側に現れる。
ここで、例えば、像面が撮像素子2の受光面に対して傾斜していた場合には、焦点位置がズレてコントラストが低下したり、コントラストの差が見られたりする。したがって、このようなコントラスト評価から、適切な傾斜調整を行うことが可能となる。
本発明の一態様に係る撮像素子位置検出装置10Bでは、前記レンズ3と対向ミラー5との間には、該対向ミラー5に対して平行に配置された、透光部21を有する彩色された検出体(検出パターン20)が設けられていることが好ましい。
これにより、撮像素子2には、対向ミラー5による検出体(検出パターン20)の対向ミラー反射像と、その両側の検出体の側面ミラー反射像との3つの像が現れる。
ここで、検出体(検出パターン20)は彩色されているので、例えば、レンズ3が撮像素子2に対して傾斜していた場合には、2つの検出体(検出パターン20)の側面ミラー反射像にはコントラストに差が発生する。
したがって、レンズ3が撮像素子2に対して傾斜していることを容易に検出することができる。
本発明の一態様に係る撮像素子位置検出装置10A・10Bでは、前記撮像素子2とレンズ3との位置を相対的に調整する調整手段(軸ずれ傾き調整部4)が設けられていることが好ましい。
これにより、調整手段(軸ずれ傾き調整部4)を用いて、レンズ3と撮像素子2との軸ずれ及びレンズ3の撮像素子2に対する傾きを容易に調整することができる。
本発明の一態様に係る撮像素子位置検出装置10Aでは、前記調整手段(軸ずれ傾き調整部4)は、撮像素子2とレンズ3とを相対的に平行させる平行移動手段からなっているとすることができる。
これにより、レンズ3と撮像素子2との平行偏芯を容易に調整することができる。
本発明の一態様に係る撮像素子位置検出装置10Bでは、前記調整手段(軸ずれ傾き調整部4)は、レンズ3の撮像素子2に対する傾きを調整すべくレンズ3又は撮像素子2を回転させる回転手段からなっているとすることができる。
これにより、レンズ3と撮像素子2との傾き偏芯を容易に調整することができる。
本発明の一態様に係る撮像素子位置検出装置10Bでは、前記対向ミラー5を前後方向に進退移動させる対向ミラー移動手段(対向ミラー移動装置12a)と、前記側面ミラー11a・11bを前後方向及び横方向に進退移動させる側面ミラー移動手段(側面ミラー移動装置12b)とが設けられているとすることができる。
これにより、対向ミラー5と側面ミラー11a・11bとをそれぞれ前後方向に進退移動させ、側面ミラー11a・11bについては横方向にも進退移動させることによって、撮像素子位置検出装置10Bの汎用性が高くなるという効果が得られる。
すなわち、通常、撮像チャートを用いる場合は、調整に用いる物体距離つまり被写体間距離や評価像高に応じて撮像チャートの大きさやパターン配置を決める必要がある。一方、本実施の形態の対向ミラー移動装置12a及び側面ミラー移動装置12bを用いると、対向ミラー5を前後方向に調整し、及び/又は側面ミラー11a・11bの位置を前後方向及び横方向に調整することによって、任意の物体距離に調整することができる。また、側面ミラー11a・11bの位置を調整することによって、任意の評価像高を設定することができる。
本発明は、光学系装置に搭載される撮像素子と該撮像素子に対向するレンズとの位置関係を検出する撮像素子位置検出装置に関するものであり、撮像素子とレンズとの軸ずれ及び傾きの検出に適用することができる。また、検出のみならず調整にも適用することができる。さらに、光学系装置はカメラモジュールの他、顕微鏡等の光学系装置にも適用することが可能である。
1 基板
2 撮像素子
2a 対向ミラー反射像
2b 側面ミラー反射像
2c 側面ミラー反射像
3 レンズ(光学系)
4 軸ずれ傾き調整部(調整手段、平行移動手段、回転手段)
5 対向ミラー
10A 撮像素子位置検出装置
10B 撮像素子位置検出装置
10C 撮像素子位置検出装置
11a 側面ミラー(一方の側面ミラー)
11b 側面ミラー(他方の側面ミラー)
12a 対向ミラー移動装置(対向ミラー移動手段)
12b 側面ミラー移動装置(側面ミラー移動手段)
20 検出パターン
21 透光部
22 彩色部
2 撮像素子
2a 対向ミラー反射像
2b 側面ミラー反射像
2c 側面ミラー反射像
3 レンズ(光学系)
4 軸ずれ傾き調整部(調整手段、平行移動手段、回転手段)
5 対向ミラー
10A 撮像素子位置検出装置
10B 撮像素子位置検出装置
10C 撮像素子位置検出装置
11a 側面ミラー(一方の側面ミラー)
11b 側面ミラー(他方の側面ミラー)
12a 対向ミラー移動装置(対向ミラー移動手段)
12b 側面ミラー移動装置(側面ミラー移動手段)
20 検出パターン
21 透光部
22 彩色部
本発明の一態様に係る撮像素子位置検出装置は、上記課題を解決するために、光学系装置に搭載される撮像素子と該撮像素子に対向するレンズとの位置関係を検出する撮像素子位置検出装置において、上記レンズにおける、上記撮像素子とは反対側における対向前面に該撮像素子に対して平行に配置された対向ミラーが設けられていると共に、上記撮像素子は、上記対向ミラーによる上記レンズの対向ミラー反射像を撮像するようになっており、上記レンズにおける、上記撮像素子とは反対側における対向側面に前記対向ミラーに対して垂直に配置された、互いに対向する少なくとも一対の側面ミラーが設けられていると共に、上記撮像素子は、上記一対の側面ミラーのうちの一方の側面ミラー、対向ミラー及び他方の側面ミラーを経由した上記レンズの側面ミラー反射像と、上記一対の側面ミラーのうちの他方の側面ミラー、対向ミラー及び一方の側面ミラーを経由した上記レンズの側面ミラー反射像とを撮像するようになっており、上記レンズと対向ミラーとの間には、該対向ミラーに対して平行に配置された、中心に透光部を有する彩色された検出体が設けられていることを特徴としている。
したがって、直接実装する撮像素子にて得た撮像情報に基づいて、光学系と撮像素子との少なくとも軸ずれを精度よく検出し得るコンパクトな撮像素
子位置検出装置を提供することができる。
また、撮像素子は、一対の側面ミラーのうちの一方の側面、対向ミラー及び他方の側面ミラーを経由したレンズの側面ミラー反射像と、一対の側面ミラーのうちの他方の側面ミラー、対向ミラー及び一方の側面ミラーを経由したレンズの側面ミラー反射像との2つの像を撮像する。この像は、対向ミラー反射像両側に現れる。
ここで、例えば、像面が撮像素子の受光面に対して傾斜していた場合には、焦点位置がズレてコントラストが低下したり、コントラストの差が見られたりする。したがって、このようなコントラスト評価から、適切な傾斜調整を行うことが可能となる。
さらに、検出体は彩色されているので、例えば、レンズが撮像素子に対して傾斜していた場合には、2つの検出体の側面ミラー反射像にはコントラストに差が発生する。
したがって、レンズが撮像素子2に対して傾斜していることを容易に検出することができる。
子位置検出装置を提供することができる。
また、撮像素子は、一対の側面ミラーのうちの一方の側面、対向ミラー及び他方の側面ミラーを経由したレンズの側面ミラー反射像と、一対の側面ミラーのうちの他方の側面ミラー、対向ミラー及び一方の側面ミラーを経由したレンズの側面ミラー反射像との2つの像を撮像する。この像は、対向ミラー反射像両側に現れる。
ここで、例えば、像面が撮像素子の受光面に対して傾斜していた場合には、焦点位置がズレてコントラストが低下したり、コントラストの差が見られたりする。したがって、このようなコントラスト評価から、適切な傾斜調整を行うことが可能となる。
さらに、検出体は彩色されているので、例えば、レンズが撮像素子に対して傾斜していた場合には、2つの検出体の側面ミラー反射像にはコントラストに差が発生する。
したがって、レンズが撮像素子2に対して傾斜していることを容易に検出することができる。
Claims (5)
- 光学系装置に搭載される撮像素子と該撮像素子に対向するレンズとの位置関係を検出する撮像素子位置検出装置において、
上記レンズにおける、上記撮像素子とは反対側における対向前面に該撮像素子に対して平行に配置された対向ミラーが設けられていると共に、
上記撮像素子は、上記対向ミラーによる上記レンズの対向ミラー反射像を撮像するようになっていることを特徴とする撮像素子位置検出装置。 - 前記レンズにおける、前記撮像素子とは反対側における対向側面に前記対向ミラーに対して垂直に配置された、互いに対向する少なくとも一対の側面ミラーが設けられていると共に、
上記撮像素子は、上記一対の側面ミラーのうちの一方の側面ミラー、対向ミラー及び他方の側面ミラーを経由した上記レンズの側面ミラー反射像と、上記一対の側面ミラーのうちの他方の側面ミラー、対向ミラー及び一方の側面ミラーを経由した上記レンズの側面ミラー反射像とを撮像するようになっていることを特徴とする請求項1記載の撮像素子位置検出装置。 - 前記レンズと対向ミラーとの間には、該対向ミラーに対して平行に配置された、中心に透光部を有する彩色された検出体が設けられていることを特徴とする請求項2記載の撮像素子位置検出装置。
- 前記撮像素子とレンズとの位置を相対的に調整する調整手段が設けられていることを特徴とする請求項1,2又は3記載の撮像素子位置検出装置。
- 前記対向ミラーを前後方向に進退移動させる対向ミラー移動手段と、
前記側面ミラーを前後方向及び横方向に進退移動させる側面ミラー移動手段とが設けられていることを特徴とする請求項2又は3記載の撮像素子位置検出装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012245696 | 2012-11-07 | ||
JP2012245696 | 2012-11-07 | ||
PCT/JP2013/074387 WO2014073262A1 (ja) | 2012-11-07 | 2013-09-10 | 撮像素子位置検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5951793B2 JP5951793B2 (ja) | 2016-07-13 |
JPWO2014073262A1 true JPWO2014073262A1 (ja) | 2016-09-08 |
Family
ID=50684379
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014545599A Expired - Fee Related JP5951793B2 (ja) | 2012-11-07 | 2013-09-10 | 撮像素子位置検出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20150292867A1 (ja) |
JP (1) | JP5951793B2 (ja) |
CN (1) | CN104641287A (ja) |
WO (1) | WO2014073262A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6328799B2 (ja) | 2015-01-19 | 2018-05-23 | シャープ株式会社 | カメラモジュールの製造方法及びカメラモジュール |
JP6524681B2 (ja) * | 2015-02-03 | 2019-06-05 | 富士通株式会社 | 光学部品の調整装置及び光学部品の調整方法 |
JP6815162B2 (ja) * | 2016-10-20 | 2021-01-20 | 株式会社日立製作所 | 溶接監視システムおよび溶接監視方法 |
US10121236B2 (en) * | 2016-10-26 | 2018-11-06 | Himax Technologies Limited | Automatic alignment apparatus and associated method |
CN110300298B (zh) * | 2018-03-23 | 2020-10-16 | 致伸科技股份有限公司 | 影像获取模块检测系统及其方法 |
TWI669962B (zh) * | 2018-12-07 | 2019-08-21 | 致伸科技股份有限公司 | 攝像模組之檢測方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006164361A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Sharp Corp | 光記録媒体の傾き検出システムおよびそれを搭載した傾き検出装置並びに光ディスク装置 |
GB2425363A (en) * | 2005-04-18 | 2006-10-25 | Sharp Kk | Panoramic adapter with mirrors formed by rotating conic section |
JP3954083B2 (ja) * | 2006-05-29 | 2007-08-08 | ライオンエンジニアリング株式会社 | 外観検査方法とその装置 |
TWI385361B (zh) * | 2008-12-09 | 2013-02-11 | Uma Technology Inc | 多種物距組合檢測裝置及檢測方法 |
WO2011161973A1 (ja) * | 2010-06-24 | 2011-12-29 | パナソニック株式会社 | 全方位撮影システム |
US8676050B2 (en) * | 2010-12-29 | 2014-03-18 | Gary S. Shuster | Autofocus calibration for long lenses |
US9009952B2 (en) * | 2011-08-29 | 2015-04-21 | Asm Technology Singapore Pte. Ltd. | Apparatus for assembling a lens module and an image sensor to form a camera module, and a method of assembling the same |
-
2013
- 2013-09-10 US US14/438,889 patent/US20150292867A1/en not_active Abandoned
- 2013-09-10 CN CN201380048654.5A patent/CN104641287A/zh active Pending
- 2013-09-10 JP JP2014545599A patent/JP5951793B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2013-09-10 WO PCT/JP2013/074387 patent/WO2014073262A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2014073262A1 (ja) | 2014-05-15 |
CN104641287A (zh) | 2015-05-20 |
US20150292867A1 (en) | 2015-10-15 |
JP5951793B2 (ja) | 2016-07-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5951793B2 (ja) | 撮像素子位置検出装置 | |
JP2011145115A (ja) | 測距装置、測距用モジュール及びこれを用いた撮像装置 | |
JP5854680B2 (ja) | 撮像装置 | |
EP2613121B1 (en) | Image sensor, attitude detector, contact probe, and multi-sensing probe | |
JP2000275027A (ja) | スリット共焦点顕微鏡とそれを用いた表面形状計測装置 | |
JP5973756B2 (ja) | 焦点位置変更装置およびこれを用いた共焦点光学装置 | |
CN113251953B (zh) | 一种基于立体偏折技术的镜面夹角测量装置和方法 | |
JP2015108582A (ja) | 3次元計測方法と装置 | |
JP5775533B2 (ja) | チップダイを取り上げて載置するシステムおよび方法 | |
US20230069195A1 (en) | Camera module manufacturing device | |
JP2016148569A (ja) | 画像測定方法、及び画像測定装置 | |
JP2011151551A (ja) | カメラモジュールの製造方法及び装置 | |
CN110824722B (zh) | 结构光投射模组组装装置及投射模组的组装、检测方法 | |
WO2013153645A1 (ja) | 撮像装置及び画像処理装置 | |
CN106814547B (zh) | 一种测校装置及测校方法 | |
JP2005136743A (ja) | 撮像素子の位置調整装置及び位置調整方法 | |
JP5708501B2 (ja) | 検出方法および検出装置 | |
JP2007315865A (ja) | 三次元変位量測定器および測定方法 | |
JP2005090962A (ja) | 光学素子の測定方法および測定装置 | |
JP4788968B2 (ja) | 焦点面傾斜型共焦点表面形状計測装置 | |
JP6155924B2 (ja) | 寸法測定装置、及び寸法測定方法 | |
WO2023182095A1 (ja) | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 | |
US20160076881A1 (en) | Measurement apparatus and adjusting method thereof | |
WO2024004166A1 (ja) | 距離測定装置 | |
JP2001317922A (ja) | 光学式形状測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160510 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160608 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5951793 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |