JPWO2013157606A1 - ビームエクスパンダ - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 70
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims description 8
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 230000008859 change Effects 0.000 description 14
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 13
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 13
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 241000961787 Josa Species 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 1
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
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- G02B26/06—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the phase of light
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- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0825—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a flexible sheet or membrane, e.g. for varying the focus
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- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0875—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
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- G02B27/0938—Using specific optical elements
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/16—Microscopes adapted for ultraviolet illumination ; Fluorescence microscopes
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/56—Optics using evanescent waves, i.e. inhomogeneous waves
-
- G—PHYSICS
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
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Abstract
Description
Lens)のうち何れか一方により構成される。また、第二レンズ部14も同様に、空間光変調素子または可変焦点レンズのうち何れか一方により構成される。すなわち、第一レンズ部12と第二レンズ部14との組み合わせとしては、以下の4つのパターンが存在する。
Crystal Display)など)、セグメントミラー(Segment Mirror)型SLM、連続形状可変鏡(Continuous Deformable Mirror)型SLM等がある。屈折率変化材料型SLM、セグメントミラー型SLM、及び連続形状可変鏡型SLMは、電圧や電流、或いは書き出し光の印加によって種々のレンズパターンが付与されることにより、任意の焦点距離を有するレンズとして機能する。
Fluorescence)顕微鏡について説明する。TIRF顕微鏡は、観察対象物においてレーザ光を全反射させ、エバネッセント場を発生させて蛍光を励起させることによりイメージングを行う装置であって、極めて大きい開口数を有する超高倍率の対物レンズを備える。
Claims (11)
- 空間光変調素子または可変焦点レンズのうち何れか一方により構成される第一レンズ部と、
前記第一レンズ部と光学的に結合され、空間光変調素子または可変焦点レンズのうち何れか一方により構成される第二レンズ部と、
前記第一レンズ部及び前記第二レンズ部の焦点距離を制御する制御部と
を備え、
前記第一レンズ部と前記第二レンズ部との距離が不変であり、
前記制御部は、前記第一レンズ部に入力される光の光径と、前記第二レンズ部から出力される光の光径とが互いに異なるように、前記第一レンズ部及び前記第二レンズ部の焦点距離を制御することを特徴とする、ビームエクスパンダ。 - 前記第一レンズ部および前記第二レンズ部のうち少なくとも一方が空間光変調素子により構成されており、前記制御部は、前記空間光変調素子にレンズパターンを与えることを特徴とする、請求項1に記載のビームエクスパンダ。
- 前記第一レンズ部および前記第二レンズ部は、それぞれ反射型空間光変調素子により構成されていることを特徴とする、請求項2に記載のビームエクスパンダ。
- 前記第一レンズ部を構成する前記反射型空間光変調素子と、前記第二レンズ部を構成する前記反射型空間光変調素子とは、それらの光反射面が互いに平行になるように配置されていることを特徴とする、請求項3に記載のビームエクスパンダ。
- 前記第一レンズ部および前記第二レンズ部は、単一の反射型空間光変調素子により構成され、その光反射面のうち一部の領域が前記第一レンズ部として使用され、他の一部の領域が前記第二レンズ部として使用されていることを特徴とする、請求項2に記載のビームエクスパンダ。
- 複数の反射素子を備え、前記第二レンズ部は、前記複数の反射素子を介して前記第一レンズ部と光学的に結合されていることを特徴とする、請求項3〜5のいずれか一項に記載のビームエクスパンダ。
- 前記空間光変調素子は、透過型空間光変調素子であることを特徴とする、請求項2に記載のビームエクスパンダ。
- 前記制御部は、前記第一レンズ部に入力される光の中心軸線を含む直線と、前記第二レンズ部から出力される光の中心軸線を含む直線とが互いに離れるような前記レンズパターンを前記空間光変調素子に与えることを特徴とする、請求項2〜7のいずれか一項に記載のビームエクスパンダ。
- 前記制御部は、前記第一レンズ部に入力される光に対し、前記第二レンズ部から出力される光を複数の光路に分割するような前記レンズパターンを前記空間光変調素子に与えることを特徴とする、請求項2〜8のいずれか一項に記載のビームエクスパンダ。
- 前記制御部は、前記空間光変調素子へ与える前記レンズパターンに、当該ビームエクスパンダにおいて発生する収差を補正するためのパターンを重畳することを特徴とする、請求項2〜9のいずれか一項に記載のビームエクスパンダ。
- 前記第一レンズ部に入射する入射光の光径は、前記第一レンズ部の有効面の長さの1/2以下であることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載のビームエクスパンダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014511247A JP6162688B2 (ja) | 2012-04-20 | 2013-04-18 | ビームエクスパンダ |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012096815 | 2012-04-20 | ||
JP2012096815 | 2012-04-20 | ||
JP2014511247A JP6162688B2 (ja) | 2012-04-20 | 2013-04-18 | ビームエクスパンダ |
PCT/JP2013/061516 WO2013157606A1 (ja) | 2012-04-20 | 2013-04-18 | ビームエクスパンダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013157606A1 true JPWO2013157606A1 (ja) | 2015-12-21 |
JP6162688B2 JP6162688B2 (ja) | 2017-07-12 |
Family
ID=49383558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014511247A Active JP6162688B2 (ja) | 2012-04-20 | 2013-04-18 | ビームエクスパンダ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10067401B2 (ja) |
JP (1) | JP6162688B2 (ja) |
CN (1) | CN104246572B (ja) |
DE (1) | DE112013002113B4 (ja) |
WO (1) | WO2013157606A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI581008B (zh) * | 2015-08-07 | 2017-05-01 | 高準精密工業股份有限公司 | 縮放結構光圖案的方法以及應用該方法的光學裝置 |
US10908405B2 (en) * | 2015-09-02 | 2021-02-02 | Inscopix, Inc. | Systems and methods for color imaging |
WO2017079688A1 (en) | 2015-11-05 | 2017-05-11 | Inscopix, Inc. | Systems and methods for optogenetic imaging |
JP6951349B2 (ja) | 2016-09-30 | 2021-10-20 | オリンパス株式会社 | 観察装置 |
CN109791275B (zh) | 2016-09-30 | 2022-05-27 | 奥林巴斯株式会社 | 观察装置 |
WO2018067828A1 (en) * | 2016-10-06 | 2018-04-12 | Saikou Optics Incorporated | Variable magnification beam expander with ultra-fast zoom and focusing capability using adaptive optics |
JP6911112B2 (ja) | 2017-05-29 | 2021-07-28 | オリンパス株式会社 | 観察装置 |
WO2018233997A1 (de) * | 2017-06-23 | 2018-12-27 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Verfahren zur unterstützung einer justage eines strahlaufweiters, justageunterstützungsvorrichtung und strahlaufweiter |
CN111343376B (zh) * | 2018-12-19 | 2021-09-10 | 南京理工大学 | 一种基于透射式双缝孔径编码成像系统及其超分辨方法 |
DE102019201280A1 (de) * | 2019-01-31 | 2020-08-06 | Trumpf Laser Gmbh | Anordnung und Verfahren zum Formen eines Laserstrahls |
GB2605793A (en) * | 2021-04-13 | 2022-10-19 | Andor Tech Limited | Microscope system with oblique illumination |
CN115373206A (zh) * | 2021-05-21 | 2022-11-22 | 中强光电股份有限公司 | 照明系统及投影装置 |
WO2023228548A1 (ja) * | 2022-05-24 | 2023-11-30 | ソニーグループ株式会社 | ビーム整形装置、および加工装置 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6187116A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-05-02 | Canon Inc | 変倍光学系 |
JPH06222300A (ja) * | 1993-01-28 | 1994-08-12 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | レーザービーム整形装置 |
JP2001042275A (ja) * | 1999-08-02 | 2001-02-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 光波形整形装置 |
WO2005006053A1 (ja) * | 2003-07-15 | 2005-01-20 | Tdk Corporation | 空間光変調器 |
WO2006035775A1 (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | 空間光変調装置、光学処理装置、カップリングプリズム、及び、カップリングプリズムの使用方法 |
WO2008102894A1 (ja) * | 2007-02-21 | 2008-08-28 | Nikon Corporation | 変倍アフォーカル光学系 |
JP2008535012A (ja) * | 2005-03-31 | 2008-08-28 | バリオプテイツク | 光パワー制御を有する画像形成光学系 |
JP2008542795A (ja) * | 2005-05-03 | 2008-11-27 | イーストマン コダック カンパニー | Lcdパネルを使用するディスプレイ機器 |
WO2011046035A1 (ja) * | 2009-10-15 | 2011-04-21 | 日本電気株式会社 | 画像投射装置、画像投射方法、距離測定装置及び距離測定方法 |
JP2011112764A (ja) * | 2009-11-25 | 2011-06-09 | Seiko Epson Corp | 画像表示装置 |
WO2011074319A1 (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | 株式会社ニコン | デフォーマブルミラー、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
WO2012017788A1 (ja) * | 2010-08-03 | 2012-02-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ光整形及び波面制御用光学系 |
JP2012189792A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Olympus Corp | 顕微鏡装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006147057A (ja) | 2004-11-19 | 2006-06-08 | Sharp Corp | 光ピックアップ装置 |
KR100971726B1 (ko) | 2008-06-30 | 2010-07-22 | 금호타이어 주식회사 | 타이어 카카스용 고무 조성물 |
US8915905B2 (en) | 2009-06-12 | 2014-12-23 | Wavelight Gmbh | Apparatus for ophthalmic laser surgery |
DE102010002722B4 (de) * | 2010-03-10 | 2019-06-27 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Afokales Zoomsystem für ein Mikroskop, Mikroskop mit einem solchen Zoomsystem und Verfahren zum Betreiben eines solchen Zoomsystems |
-
2013
- 2013-04-18 WO PCT/JP2013/061516 patent/WO2013157606A1/ja active Application Filing
- 2013-04-18 DE DE112013002113.7T patent/DE112013002113B4/de active Active
- 2013-04-18 US US14/395,167 patent/US10067401B2/en active Active
- 2013-04-18 CN CN201380020843.1A patent/CN104246572B/zh active Active
- 2013-04-18 JP JP2014511247A patent/JP6162688B2/ja active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6187116A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-05-02 | Canon Inc | 変倍光学系 |
JPH06222300A (ja) * | 1993-01-28 | 1994-08-12 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | レーザービーム整形装置 |
JP2001042275A (ja) * | 1999-08-02 | 2001-02-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 光波形整形装置 |
WO2005006053A1 (ja) * | 2003-07-15 | 2005-01-20 | Tdk Corporation | 空間光変調器 |
WO2006035775A1 (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | 空間光変調装置、光学処理装置、カップリングプリズム、及び、カップリングプリズムの使用方法 |
JP2008535012A (ja) * | 2005-03-31 | 2008-08-28 | バリオプテイツク | 光パワー制御を有する画像形成光学系 |
JP2008542795A (ja) * | 2005-05-03 | 2008-11-27 | イーストマン コダック カンパニー | Lcdパネルを使用するディスプレイ機器 |
WO2008102894A1 (ja) * | 2007-02-21 | 2008-08-28 | Nikon Corporation | 変倍アフォーカル光学系 |
WO2011046035A1 (ja) * | 2009-10-15 | 2011-04-21 | 日本電気株式会社 | 画像投射装置、画像投射方法、距離測定装置及び距離測定方法 |
JP2011112764A (ja) * | 2009-11-25 | 2011-06-09 | Seiko Epson Corp | 画像表示装置 |
WO2011074319A1 (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | 株式会社ニコン | デフォーマブルミラー、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
WO2012017788A1 (ja) * | 2010-08-03 | 2012-02-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ光整形及び波面制御用光学系 |
JP2012189792A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Olympus Corp | 顕微鏡装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10067401B2 (en) | 2018-09-04 |
DE112013002113B4 (de) | 2019-03-21 |
CN104246572A (zh) | 2014-12-24 |
CN104246572B (zh) | 2018-01-12 |
JP6162688B2 (ja) | 2017-07-12 |
US20150131142A1 (en) | 2015-05-14 |
DE112013002113T5 (de) | 2015-01-22 |
WO2013157606A1 (ja) | 2013-10-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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