JPWO2013129537A1 - 化合物半導体太陽電池 - Google Patents
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Abstract
Description
近年の携帯機器などの高機能化に伴い、その消費電力が増加していることから、低照度下においても、高変換効率の太陽電池が望まれている。
非特許文献1では、アモルファスシリコン、GaAs、単結晶シリコン、多結晶シリコン、CIS系太陽電池の照度と変換効率の関係を比較しており、結晶シリコン系、CIS系が曇天や室内に対応する低照度で特に変換効率が低下することが示されている。
CIGS系太陽電池では、変換効率向上のため、CIGS層内の結晶粒子の成長が進んだものが利用されており、厚さ方向に平行にCIGS層を貫いて粒界が多く存在し、かつ、粒界に抵抗率の低い異相が存在して、シャント抵抗が低下し、低照度では発電効率が十分ではない。
非特許文献2では、CIGS(Ga/(In+Ga)=0.3)のCu濃度を変えることで低照度特性を改善する技術が開示されている。屋外で高効率を示す21.5や23.3at%から18at%に下げることで、粒界を増やし、シャント抵抗を増加させて、低照度での開回路電圧、フィルファクターを向上させている。しかし、高照度での短絡電流が低く、変換効率が十分ではない。
基板と、基板上に設けられた裏面電極と、裏面電極上に設けられたp型化合物半導体光吸収層と、p型化合物半導体光吸収層上に設けられたn型化合物半導体バッファ層と、n型化合物半導体バッファ層上に設けられた透明電極と、を有する化合物半導体太陽電池において、p型化合物半導体光吸収層が、
Cua(In1−yGay)Se2
0≦y≦1、0.5≦a≦1.5
であり、p型化合物半導体光吸収層の断面構造が、厚さ方向に、単一の粒子のみの部分と、複数の粒子が積み重なった部分とを有し、複数の粒子が積み重なった部分において、裏面電極に接する粒子のGa/(In+Ga)の比y1と、n型化合物半導体バッファ層に接する粒子のGa/(In+Ga)の比y2が、y1>y2であることを特徴とする。
図1に示すように、本実施形態に係る化合物半導体太陽電池2は、基板8と基板8上に設けられた裏面電極10と、裏面電極10に設けられたp型化合物半導体光吸収層12と、p型化合物半導体光吸収層12上に設けられたn型化合物半導体バッファ層14と、n型化合物半導体バッファ層14上に設けられた透明電極16と透明電極16上に設けられた上部電極18とを備える薄膜型太陽電池である。
Cua(In1−yGay)Se2
0≦y≦1、0.5≦a≦1.5
であり、p型化合物半導体光吸収層の断面構造が、厚さ方向に、単一の粒子20のみの部分と、複数の粒子が積み重なった部分とを有し、複数の粒子が積み重なった部分において、裏面電極10に接する粒子28のGa/(In+Ga)の比y1と、n型化合物半導体バッファ層に接する粒子26のGa/(In+Ga)の比y2が、y1>y2である(図2参照)。
この場合は、上部電極18を用いなくても良い。
本実施形態の化合物半導体太陽電池の製造方法では、まず、基板8を準備し、基板8上に裏面電極10を形成する。裏面電極10には、Moを用いることができる。裏面電極10の形成方法としては、例えばMoターゲットのスパッタリング等が挙げられる。
0≦y≦1、0.5≦a≦1.5
において、p型化合物半導体光吸収層12の断面構造が、厚さ方向に、単一の粒子20のみの部分と、複数の粒子が積み重なった部分とを有し、複数の粒子が積み重なった部分において、裏面電極10に接する粒子28のGa/(In+Ga)の比y1と、n型化合物半導体バッファ層14に接する粒子26のGa/(In+Ga)の比y2が、y1>y2であるように蒸着条件、前駆体作成条件、硫化/セレン化条件を調整する。蒸着法の場合、多段階同時蒸着において、各段階での基板温度と蒸着源のフラックスを制御することで調整できる。蒸着時にIn、Gaの前駆体を併用してもよい。複数の粒子が積み重なった部分を制御しやすくなる。硫化/セレン化法の場合、前駆体構造をCu、Ga、In、Gaと各層の厚さを制御して積層し、硫化/セレン化温度を制御することで調整できる。
断面とは、p型化合物半導体光吸収層12と裏面電極10の界面が露出するように切断した断面のことで、カッターなどで切断した面でも破断面でよい。
溶液成長法では、Sn及びGeを含CdS層及びZn(O,S,OH)層などを形成することができる。例えば、CdS層の場合、Cd塩を溶解した溶液と、塩化アンモニウム(NH4Cl)水溶液を用いて溶液を調整し、好ましくは40−80℃に加熱してp型化合物半導体光吸収層12を好ましくは1分〜10分浸漬する。その後、好ましくは40−80℃に加熱したアンモニア水で塩基性にしたチオ尿素(CH4N2S)水溶液を撹拌しながら加え、好ましくは2分から20分間撹拌したあと、溶液から取り出し、水で洗浄後、乾燥することで得ることができる。
透明電極16は、Al、Ga、Bを数%含有したn型のZnOや、インジウムスズ酸化物を用いることができ、スパッタリングやMOCVD等の化学蒸着法で形成することができる。
2.5cm×2.5cmのソーダライムガラス基板上に、スパッタリング法により、Mo層を厚み1μm形成した。
(In層の電解析出)
イオン液体(1−buthyl−1−methylpyrrolidium bis(trifuluoromethylsulfonyl)imide)に、InCl3を溶解させた液を電解液とした。電解液の濃度は、イオン液体のモル数を[IL]とし、インジウムのモル数を[In]としたときに、[In]/[IL]=0.01とした。この液を電解液として、電解析出により、Mo層上に10nmのIn膜を形成した。なお、電解析出の対極としてはPt板を用い、参照極にはAg線型非水溶媒用電極を用い、正負極間距離は1.5cmとし、室温とし、参照極に対する陰極の電位を−1.95Vとし、通電量を28mCとした。その後、洗浄し乾燥した。
イオン液体(1−buthyl−1−methylpyrrolidium bis(trifuluoromethylsulfonyl)imide)に、GaCl3を溶解させた液を電解液とした。電解液の濃度は、イオン液体のモル数を[IL]とし、ガリウムのモル数を[Ga]としたときに、[Ga]/[IL]=0.01とした。この液を電解液として、電解析出により、In層上に12nmのGa膜を形成した。なお、電解析出の対極としてはPt板を用い、参照極にはAg線型非水溶媒用電極を用い、正負極間距離は1.5cmとし、室温とし、参照極に対する陰極の電位を−2.10Vとし、通電量を28mCとした。その後、洗浄し乾燥した。このように作成したIn−Ga層をp型化合物半導体光吸収層形成の基板として用いた。
p型化合物半導体光吸収層の成膜をPhysical Vapor deposition(以下PVDと呼ぶ)装置にて三段階の蒸着条件で行った。三段階の内訳は、一段階目にIn、Ga、Seの蒸着、二段階目にCu、Seの蒸着、三段階目にIn、Ga、Seの蒸着を行う方法である。成膜開始前に予め、所望する各元素のフラックスが得られるよう蒸着源となるKセルの温度設定を行い、温度とフラックスの関係を測定しておく。これにより成膜中にフラックスを適宜所望の値に設定することができる。
一段階目用フラックスは下記のとおりとした。
In:5.33×10−5Pa
Ga:1.20×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
二段階目用フラックスは下記のとおりとした。
Cu:1.33×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
三段階目用フラックスは下記のとおりとした。
In:6.67×10−5Pa
Ga:1.07×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
In−Ga層をイオン液体中で製膜した基板をPVD装置のチャンバー内に設置し、チャンバー内を脱気した。真空装置内の到達圧力は1.0×10−6Paとした。
第一段階では、基板を300℃まで加熱し、In、Ga及びSeの各Kセルのシャッターを開き、In、Ga及びSeを裏面電極上に蒸着させた。この蒸着により裏面電極上に約1μmの厚さの層が形成された時点で、In及びGaの各Kセルのシャッターを閉じ、In及びGaの蒸着を終了した。Seは引き続き供給を続けた。第一段階終了後、前述の第三段階目用のフラックスに到達するようにInおよびGaの各Kセルの温度を変更した。
第二段階では、基板を520℃まで加熱した後に、CuのKセルのシャッターを開き、Seと共にCuを裏面電極上に蒸着させた。また、第二段階では、放射温度計により基板の表面温度をモニタし、基板の温度上昇が止まり、温度の低下が始まったことが確認でき次第、CuのKセルのシャッターを閉じて、Cuの蒸着を終了した。Seは引き続き供給を続けた。第二段階の蒸着を終了した時点では、第一段階の蒸着を終了した時点に比べて、裏面電極上に形成された層の厚さを約0.8μm増加させた。
第三段階では、再びIn及びGaの各Kセルのシャッターを開き、第一段階と同様に、In、Ga及びSeを裏面電極上に蒸着させた。裏面電極上に形成された層の厚さを、第三段階の蒸着を開始した時点から約0.2μm増加させた時点で、In、Gaの各Kセルのシャッターを閉じて、第三段階の蒸着を終了した。その後基板を300℃まで冷却した後、SeのKセルのシャッターを閉じて、p型化合物半導体光吸収層の成膜を終了した。
蒸留水72.5質量部、0.4M塩化カドミウム(CdCl2)水溶液6.5質量部、及び、0.4M塩化アンモニウム(NH4Cl)水溶液21.0質量部を混合した混合液を調製した。これを60℃に加熱し、得られたCIGS膜を5重量%のKCN溶液に5秒間浸漬し、水洗し乾燥した後に、この混合液に5分間浸漬した。その後、0.8Mチオ尿素(CH4N2S)水溶液80質量部、及び、13.8Mアンモニア水20質量部を混合した混合液を調製し、60℃に加熱したものを撹拌しながら加え、4分間撹拌した後、CIGS膜をこの溶液から取り出した。このようにして得られたCdSバッファ層の厚さは50nmであった。
RFスパッタ装置にて、まず、ノンドープのZnOターゲットを用いて、1.5Pa、400Wで5分間製膜し、高抵抗のZnO透明膜を製膜後、Alを2重量%含むZnOターゲットを用いて、0.2Pa、200Wで40分間製膜し、AlドープZnO透明電極をCIGS/CdS上に得た。得られた膜の厚さは600nmであった。
櫛状のマスクを用いて、蒸着装置にてNi100nm、Al1μmの表面電極を製膜し、面積1cm×1cmにメカニカルスクライブでCIGS層以上を区切り、面積1cm2の太陽電池セルを得た。
p型化合物半導体光吸収層の断面において、厚さ方向に、単一の粒子のみの部分と、複数の粒子が積み重なった部分があることをSEMによる断面観察にて確認し、複数の粒子が積み重なった部分における、裏面電極に接する粒子のGa/(In+Ga)の比y1と、n型化合物半導体バッファ層に接する粒子のGa/(In+Ga)の比y2を求めた。CIGS粒子は裏面電極と平行な面で等方的に成長しているため、CIGS粒子と裏面電極が接している割合を求める時に断面の状態での評価で代用できる。観察範囲は、50μmで、比率y1、y2は、裏面電極に接する粒子とバッファ層に接する粒子各々のGaとInのEDSの結果より求めた。その結果、y1=0.41、y2=0.33で、y1>y2であった。p型化合物半導体光吸収層におけるGa/(In+Ga)の平均値yaveは、p型化合物半導体光吸収層の断面の厚さ方向をすべて含む領域でのGaとInのEDSの結果より求めた。その結果、yave=0.37であった。また、断面における単一の粒子のみの部分は、観察範囲50μmで求めた。その結果、56%であった。
キセノンランプを光源に用い、スペクトルを太陽光に似せた擬似太陽光光源(ソーラーシミュレータ)を用いて100mW/cm2(AM1.5)の条件で、高照度でのI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、変換効率が14.9%となった。一方、屋内の照度の代表として0.15/cm2の条件で低照度でのI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、8.2%となった。
p型化合物半導体光吸収層の製膜方法以外は実施例1と同様に行った。
三段階の蒸着条件のうち、一段階目のフラックスを
In:6.67×10−5Pa
Ga:1.07×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
にした以外は実施例1と同様に行った。
p型化合物半導体光吸収層の断面において、SEMによる断面観察では、厚さ方向に、単一の粒子のみの部分しか認められなかった。p型化合物半導体光吸収層におけるGa/(In+Ga)の平均値yaveは、yave=0.29であった。また、断面における単一の粒子のみの部分は100%であった。
実施例1と同様に高照度でのI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、変換効率が15.1%となった。また実施例1と同様に低照度でI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、0.8%となった。
p型化合物半導体光吸収層の製膜方法以外は実施例1と同様に行った。
(In層の電解析出)
通電量を18mCとし、In層の膜厚を6.4nmとした以外は、実施例1と同様に行った。
(Ga層の電解析出)
実施例1と同様に行った。このように作成したIn−Ga層をp型化合物半導体光吸収層形成の基板として用いた。
(蒸着法によるp型化合物半導体光吸収層形成)
三段階の蒸着条件のうち、一段階目のフラックスを
In:4.00×10−5Pa
Ga:1.33×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
三段階目のフラックスを
In:5.33×10−5Pa
Ga:1.20×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
にした以外は実施例1と同様に行った。
y1=0.56、y2=0.43で、y1>y2であった。p型化合物半導体光吸収層におけるGa/(In+Ga)の平均値yaveは、p型化合物半導体光吸収層の断面の厚さ方向をすべて含む領域でのGaとInのEDSの結果より求めた。その結果、yave=0.49であった。また、断面における単一の粒子のみの部分は38%であった。
実施例1と同様に高照度でのI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、変換効率が14.8%となった。また実施例1と同様に低照度でI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、9.5%となった。
p型化合物半導体光吸収層の製膜方法以外は実施例1と同様に行った。
(In層の電解析出)
通電量を4.7mCとし、In層の膜厚を1.7nmとした以外は、実施例1と同様に行った。
(Ga層の電解析出)
実施例1と同様に行った。このように作成したIn−Ga層をp型化合物半導体光吸収層形成の基板として用いた。
(蒸着法によるp型化合物半導体光吸収層形成)
三段階の蒸着条件のうち、一段階目のフラックスを
In:2.67×10−5Pa
Ga:1.47×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
三段階目のフラックスを
In:4.00×10−5Pa
Ga:1.33×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
にした以外は実施例1と同様に行った。
y1=0.72、y2=0.55で、y1>y2であった。p型化合物半導体光吸収層におけるGa/(In+Ga)の平均値yave、は、p型化合物半導体光吸収層の断面の厚さ方向をすべて含む領域でのGaとInのEDSの結果より求めた。その結果、yave=0.64であった。また、断面におけるが単一の粒子のみの部分は11%であった。
実施例1と同様に高照度でのI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、変換効率が14.0%となった。また実施例1と同様に低照度でI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、9.4%となった。
p型化合物半導体光吸収層の製膜方法以外は実施例1と同様に行った。
三段階の蒸着条件のうち、一段階目のフラックスを
In:1.33×10−5Pa
Ga:1.60×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
三段階目のフラックスを
In:1.33×10−5Pa
Ga:1.60×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
にした以外は実施例1と同様に行った。
y1=0.81、y2=0.81で、y1=y2であった。p型化合物半導体光吸収層におけるGa/(In+Ga)の平均値yave、は、p型化合物半導体光吸収層の断面の厚さ方向をすべて含む領域でのGaとInのEDSの結果より求めた。その結果、yave=0.81であった。また、断面における単一の粒子のみの部分は0%であった。
実施例1と同様に高照度でのI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、変換効率が8.0%となった。また実施例1と同様に低照度でI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、5.6%となった。
p型化合物半導体光吸収層の製膜方法以外は実施例1と同様に行った。
(In層の電解析出)
実施例2と同様に行った。
(Ga層の電解析出)
実施例2と同様に行った。このように作成したIn−Ga層をp型化合物半導体光吸収層形成の基板として用いた。
(蒸着法によるp型化合物半導体光吸収層形成)
三段階の蒸着条件のうち、第二段階の蒸着を終了した時点で、第一段階の蒸着を終了した時点に比べて、裏面電極上に形成された層の厚さを約0.62μm増加させた以外には実施例2と同様に行った。
y1=0.55、y2=0.42で、y1>y2であった。p型化合物半導体光吸収層におけるGa/(In+Ga)の平均値yaveは、p型化合物半導体光吸収層の断面の厚さ方向をすべて含む領域でのGaとInのEDSの結果より求めた。その結果、yave=0.47であった。また、断面における単一の粒子のみの部分は24%であった。
実施例1と同様に高照度でのI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、変換効率が14.2%となった。また実施例1と同様に低照度でI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、9.4%となった。
p型化合物半導体光吸収層の製膜方法以外は実施例1と同様に行った。
(In層の電解析出)
実施例3と同様に行った。
(Ga層の電解析出)
実施例3と同様に行った。このように作成したIn−Ga層をp型化合物半導体光吸収層形成の基板として用いた。
(蒸着法によるp型化合物半導体光吸収層形成)
三段階の蒸着条件のうち、一段階目のフラックスを
In:1.97×10−5Pa
Ga:1.53×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
第二段階の蒸着を終了した時点で、第一段階の蒸着を終了した時点に比べて、裏面電極上に形成された層の厚さを約0.86μm増加させ、
三段階目のフラックスを
In:6.67×10−5Pa
Ga:1.07×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
にした以外は実施例3と同様に行った。
y1=0.76、y2=0.33で、y1>y2であった。p型化合物半導体光吸収層におけるGa/(In+Ga)の平均値yaveは、p型化合物半導体光吸収層の断面の厚さ方向をすべて含む領域でのGaとInのEDSの結果より求めた。その結果、yave=0.55であった。また、断面における単一の粒子のみの部分は12%であった。
実施例1と同様に高照度でのI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、変換効率が13.3%となった。また実施例1と同様に低照度でI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、9.2%となった。
p型化合物半導体光吸収層の製膜方法以外は実施例1と同様に行った。
(In層の電解析出)
実施例1と同様に行った。
(Ga層の電解析出)
電解析出の温度を60度にした以外は実施例1と同様に行った。このように作成したIn−Ga層をp型化合物半導体光吸収層形成の基板として用いた。
(蒸着法によるp型化合物半導体光吸収層形成)
三段階の蒸着条件のうち、一段階目のフラックスを
In:4.62×10−5Pa
Ga:1.26×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
にした以外は実施例1と同様に行った。
y1=0.49、y2=0.32で、y1>y2であった。p型化合物半導体光吸収層におけるGa/(In+Ga)の平均値yaveは、p型化合物半導体光吸収層の断面の厚さ方向をすべて含む領域でのGaとInのEDSの結果より求めた。その結果、yave=0.41であった。また、断面における単一の粒子のみの部分は22%であった。
実施例1と同様に高照度でのI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、変換効率が15.0%となった。また実施例1と同様に低照度でI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、9.6%となった。
p型化合物半導体光吸収層の製膜方法以外は実施例1と同様に行った。
(In層の電解析出)
実施例2と同様に行った。
(Ga層の電解析出)
電解析出の温度を60度にした以外は実施例2と同様に行った。このように作成したIn−Ga層をp型化合物半導体光吸収層形成の基板として用いた。
(蒸着法によるp型化合物半導体光吸収層形成)
三段階の蒸着条件のうち、一段階目のフラックスを
In:3.05×10−5Pa
Ga:1.48×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
第二段階の蒸着を終了した時点で、第一段階の蒸着を終了した時点に比べて、裏面電極上に形成された層の厚さを約0.74μm増加させ、
三段階目のフラックスを
In:4.89×10−5Pa
Ga:1.29×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
にした以外は実施例2と同様に行った。
y1=0.69、y2=0.47で、y1>y2であった。p型化合物半導体光吸収層におけるGa/(In+Ga)の平均値yaveは、p型化合物半導体光吸収層の断面の厚さ方向をすべて含む領域でのGaとInのEDSの結果より求めた。その結果、yave=0.58であった。また、断面における単一の粒子のみの部分は16%であった。
実施例1と同様に高照度でのI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、変換効率が14.8%となった。また実施例1と同様に低照度でI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、9.5%となった。
p型化合物半導体光吸収層の製膜方法以外は実施例1と同様に行った。
(In層の電解析出)
実施例3と同様に行った。
(Ga層の電解析出)
電解析出の温度を60度にした以外は実施例3と同様に行った。このように作成したIn−Ga層をp型化合物半導体光吸収層形成の基板として用いた。
(蒸着法によるp型化合物半導体光吸収層形成)
三段階の蒸着条件のうち、一段階目のフラックスを
In:1.34×10−5Pa
Ga:1.66×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
第二段階の蒸着を終了した時点で、第一段階の蒸着を終了した時点に比べて、裏面電極上に形成された層の厚さを約0.72μm増加させ、
三段階目のフラックスを
In:3.34×10−5Pa
Ga:1.40×10−5Pa
Se:6.67×10−4Pa
にした以外は実施例3と同様に行った。
y1=0.89、y2=0.61で、y1>y2であった。p型化合物半導体光吸収層におけるGa/(In+Ga)の平均値yaveは、p型化合物半導体光吸収層の断面の厚さ方向をすべて含む領域でのGaとInのEDSの結果より求めた。その結果、yave=0.75であった。また、断面における単一の粒子のみの部分は13%であった。
実施例1と同様に高照度でのI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、変換効率が12.8%となった。また実施例1と同様に低照度でI−V測定を行い、変換効率を算出したところ、8.3%となった。
6 CIGS化合物半導体太陽電池、8 基板、10 裏面電極、
12 p型化合物半導体光吸収層、14 n型化合物半導体バッファ層、
16 透明電極、18 上部電極、20 単一の粒子のみの部分、
26 積み重なった部分における裏面電極に接する粒子、
28 積み重なった部分におけるn型化合物半導体バッファ層に接する粒子、
30 裏面電極とp型化合物半導体光吸収層の単一の粒子のみの部分とが、その断面において接触している部分
32 p型化合物半導体光吸収層の断面SEM像
Claims (3)
- 基板と、
前記基板上に設けられた裏面電極と、
前記裏面電極上に設けられたp型化合物半導体光吸収層と、
前記p型化合物半導体光吸収層上に設けられたn型化合物半導体バッファ層と、
前記n型化合物半導体バッファ層上に設けられた透明電極と、
を有する化合物半導体太陽電池において、
前記p型化合物半導体光吸収層が、
Cua(In1−yGay)Se2
0≦y≦1、0.5≦a≦1.5
であり、
前記p型化合物半導体光吸収層の断面構造が、
厚さ方向に、単一の粒子のみの部分と、複数の粒子が積み重なった部分とを有し、
複数の粒子が積み重なった部分において、前記裏面電極に接する粒子のGa/(In+Ga)の比y1と、n型化合物半導体バッファ層に接する粒子のGa/(In+Ga)の比y2が、y1>y2であることを特徴とする化合物半導体太陽電池。 - 前記p型化合物半導体光吸収層におけるGa/(In+Ga)の平均値yaveが、0.30≦yave≦0.80であることを特徴とする請求項1記載の化合物半導体太陽電池
- 前記裏面電極は、断面において、前記単一の粒子のみの部分と10から60%接触していることを特徴とする請求項1または2記載の化合物半導体太陽電池。
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Citations (3)
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JP2010251694A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-11-04 | Fujifilm Corp | 光電変換半導体層とその製造方法、光電変換素子、及び太陽電池 |
JP2011091133A (ja) * | 2009-10-21 | 2011-05-06 | Fujifilm Corp | 光電変換半導体層とその製造方法、光電変換素子、及び太陽電池 |
WO2011118203A1 (ja) * | 2010-03-23 | 2011-09-29 | 株式会社クラレ | 化合物半導体粒子組成物、化合物半導体膜とその製造方法、光電変換素子、及び太陽電池 |
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