JPWO2013124958A1 - 視線位置特定手段を備えた目視検査装置 - Google Patents

視線位置特定手段を備えた目視検査装置 Download PDF

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Abstract

【課題】自動検査装置で不良と判定された画像を表示させて検査員に目視検査させる場合、検査員による画像の見落としをなくすようにする。【解決手段】自動検査装置2で不良と判定されたプリント基板5の画像に基づいてそのプリント基板5の良否を検査者に目視で判定させる目視検査装置3において、自動検査装置で不良と判定されたプリント基板5画像を読み出してディスプレイ4に表示させる不良画像表示手段32と、ディスプレイ4に表示された不良画像を目視検査する検査者のディスプレイ4上における視線Gの位置を特定する視線位置特定手段33とを備え、不良画像領域44に視線が位置したことを条件に目視検査の良否結果を記憶させるようにする。このとき、不良画像に含まれる不良箇所の数や、その不良画像に隣接して設けられた基準画像との間を視線が横切る回数などに応じて目視検査結果を入力できるようにする。【選択図】図3

Description

本発明は、例えば、プリント基板のパッドや配線パターンなどの形成状態を目視で検査できるようにした目視検査装置に関するものであり、より詳しくは、自動検査装置で検査された不良画像をディスプレイに表示させて目視で検査させるようにした目視検査装置に関するものである。
一般に、プリント基板のパッドや配線パターンなどの形成状態を検査する場合、カメラでプリント基板の画像を取得し、あらかじめ記憶手段に記憶されていた基準データと、カメラによって取得されたプリント基板の画像に基づく情報とを比較することによって検査を行う。このとき、不良と判定されたプリント基板については、その後、自動検査装置で取得された画像を目視検査装置のディスプレイに表示させ、検査員によって検査させるようにしている(特許文献1など)。
特開2007−64642号公報
ところで、自動検査装置で厳格に検査しようにすると、不良と判断される箇所が多くなってしまう一方、検査基準を甘くすると不良と判断されるべきものが良品と判断されてしまう。このため、検査基準をある程度厳しくしておき、その後、検査員に目視で判断させるようにするのが好ましいが、それでも不良と判断された箇所が多くなってしまうと、検査員による検査漏れを生じてします可能性がある。
そこで、本発明は、自動検査装置で不良と判定された画像を表示させて検査員に目視検査させる場合、検査員による画像の見落としをなくすようにした目視検査装置を提供することを目的とする。
すなわち、本発明は上記課題を解決するために、検査対象物から画像を取得する画像取得手段と、当該画像取得手段によって取得された画像に基づいて検査対象物の形成状態の良否を判定する判定手段と、当該判定手段によって不良と判定された検査対象物の画像を記憶する記憶手段とを備えてなる自動検査装置に関連して設けられ、前記不良と判定された検査対象物の画像に基づいて当該検査対象物の良否を検査者に目視で判定させる目視検査装置において、前記記憶手段に記憶された不良と判定された検査対象物の画像を読み出してディスプレイに表示させる不良画像表示手段と、当該表示された不良画像を目視検査する検査者のディスプレイ上における視線の位置を特定する視線位置特定手段と、当該視線位置特定手段によって不良画像の領域に視線が位置したことを条件に目視検査の良否結果を受け付けて記憶させる目視検査結果記憶手段とを設けるようにしたものである。
このようにすれば、不良画像を視認することなく検査結果を入力させるようなことがなくなるため、人的な判断ミスを未然に防止することができるようになる。
また、別の発明では、視線位置特定手段によって不良画像の領域に視線が位置したことと、および、目視検査の良否結果とをともに記憶させるようにすることもできる。
このようにすれば、不良画像を視認することなく検査結果を入力している画像を特定することができ、これによって、検査員にその不良画像を再検査させることができるようになる。
また、これらの発明において、ディスプレイに複数枚の不良画像を同時に表示させるようにする。
このようにすれば、目視検査の作業効率を向上させることができるとともに、このように複数枚表示させた場合であっても、すべての不良画像を検査員が見た場合に次の画面を表示させることができ、不良画像を視認していないことによる不良品の流出を防ぐことができるようになる。
また、目視検査の結果を記憶させる場合、不良画像内における不良箇所の個数に応じた時間長さ以上視線が位置したことを条件に、目視検査の良否結果を受け付けて記憶させるようにすることもできる。
このようにすれば、不良箇所の数に応じた時間長さ分だけ目視で検査させることができるため、より人的な判断ミスを防止することができるようになる。
さらには、不良箇所の部分画像を基準画像とともに表示させ、その基準画像と不良画像との間を視線が横切ることを条件に、目視検査の良否結果を記憶させるようにすることもできる。
あるいは、これに関連して、基準画像と不良画像との間を視線が横切る回数、および、目視検査の良否結果を記憶させるようにすることもできる。
このようにすれば、基準画像と対比しながら不良画像を検査したと推測することができるため、より正確に検査していると推測することができるようになる。
本発明によれば、検査対象物から画像を取得する画像取得手段と、当該画像取得手段によって取得された画像に基づいて検査対象物の形成状態の良否を判定する判定手段と、当該判定手段によって不良と判定された検査対象物の画像を記憶する記憶手段とを備えてなる自動検査装置に関連して設けられ、前記不良と判定された検査対象物の画像に基づいて当該検査対象物の良否を検査者に目視で判定させる目視検査装置において、前記記憶手段に記憶された不良と判定された検査対象物の画像を読み出してディスプレイに表示させる不良画像表示手段と、当該表示された不良画像を目視検査する検査者のディスプレイ上における視線の位置を特定する視線位置特定手段と、当該視線位置特定手段によって不良画像の領域に視線が位置したことを条件に目視検査の良否結果を受け付けて記憶させる目視検査結果記憶手段とを設けるようにしたので、不良画像を視認することなく検査結果を入力させることができなくなり、人的な判断ミスを未然に防止することができるようになる。
本発明の一実施の形態におけるプリント基板検査システムの概略図 同形態における機能ブロック図 同形態における目視検査装置の画面と視線の位置を示す図 同形態における記憶手段および目視結果記憶手段に記憶された不良情報を示す図 同形態における処理のフローチャートを示す図 他の実施形態における目視検査装置の検査フローを示す図 他の実施形態における記憶手段および目視結果記憶手段に記憶された不良情報を示す図 他の実施形態における記憶手段および目視結果記憶手段に記憶された不良情報を示す図
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。この実施の形態のプリント基板検査システム1は、図1に示すように、自動検査装置2と目視検査装置3を備えて構成されるものであって、自動検査装置2でプリント基板5の形成状態を自動で検査し、そこで不良と判断されたプリント基板5について、目視検査装置3を用いて検査員に目視で検査させるようにしたものである。そして、特徴的には、図3に示すように、不良画像を自動検査装置2から読み出して目視検査装置3のディスプレイ4に表示させるとともに、ディスプレイ4上における検査員の視線Gの位置を特定し、検査員の視線Gの位置が不良画像領域44内にあることを条件として目視検査の結果を受け付けるようにしたものである。以下、本実施の形態におけるプリント基板検査システム1の構成について、図1の機構概略図や図2の機能ブロック図などを用いて詳細に説明する。
まず、プリント基板検査システム1の自動検査装置2は、図1に示すように、スタッカに集積されたプリント基板5を一枚ずつピックアップして自動で検査できるようにしたものであって、図2に示すような画像取得手段21や記憶手段22、判定手段23などを備えている。
このうち、画像取得手段21は、ステージ24に載置されたプリント基板5に光を照射する照明装置25や、その照射された光のうちプリント基板5によって反射された光を受光する受光装置26などによって構成され、照明装置25から斜め方向から光を照射させて、その反射光を受光装置26で受光する。
一方、記憶手段22は、あらかじめ基準となるプリント基板5の画像や、検査に際して必要となる基準データ(例えば、検査領域内の平均輝度やパターンの幅などのデータ)などを記憶させるもので、また、判定手段23によって良否判定された結果を記憶させる。ここで、良否判定された結果を記憶させる場合、図4に示すように、不良と判定された箇所の座標のほか、その不良原因、その部分の拡大画像をも記憶させておく。なお、ここでは不良箇所の拡大画像を記憶させるようにしているが、先の画像取得手段21で取得された画像から事後的にその不良箇所の画像を切り出すようにしてもよい。
判定手段23は、画像取得手段21によって取得された画像に基づく情報と、あらかじめ記憶手段22に記憶されていた基準データとを比較することによって検査対象物のプリント基板5の良否を判定する。この判定方法については、種々の方法を用いることができ、例えば、検査対象物を矩形領域に細かく分割して平均輝度を算出し、この矩形領域に対応する平均輝度と比較することによってその領域の良否を判定する方法や、あるいは、画素毎に良否を判定を行う方法などを用いることができる。この画素毎に良否を判定する方法については、例えば、本出願人が提案する日本国特許公開公報第2006−170890号に示されるように、検査対象物のある座標位置の画素の輝度を読み出すとともに、基準画像のその座標位置から所定距離内にその輝度から許容輝度幅内の輝度の画素が存在するかを判断し、そのような輝度の画素が存在している場合は、検査対象物のその画素を良画素と判定する方法などを用いる。もちろん、これ以外の方法によってプリント基板5の良否を判定してもよく、不良箇所の座標位置を特定して記憶手段22に記憶させるようにしておく。
そして、このように不良と判定されたプリント基板5については、分別手段によって、不良と判定されたプリント基板5と良品と判定されたプリント基板5とに分けて回収部27に回収される。
一方、目視検査装置3は、この自動検査装置2と関連して設けられる。ここで、「関連して設けられる」とは、目視検査装置3と一つの筐体内に一体的に設けられる場合の他、ネットワークなどの通信回線網を通じて設けられる場合や、自動検査装置2の記憶手段22に記憶された不良情報(不良箇所の座標画像など)を記憶媒体に記憶させて、その記憶媒体から読み取るようにする場合も含むものである。
検査結果読取手段31は、このように自動検査装置2の記憶手段22からプリント基板5の不良箇所の座標や画像などを読み取るようにする。ここで前述のように目視検査装置3と一体的に設ける場合は、その自動検査装置2の記憶手段22から不良箇所の座標と画像を読み出し、また、ネットワークなどを介して接続されている場合は、不良箇所の座標と画像を読み出すコマンドを送出して、記憶手段22から不良箇所の座標と画像を読み出す。また、CDやUSBメモリーなどを介して不良箇所の座標や画像を読み出す場合は、それらの記憶媒体を自動検査装置2に取り入れ(あるいはUSBメモリを接続し)、不良箇所の座標や画像を読み出すようにする。
不良画像表示手段32は、この検査結果読取手段31によって読み取られた不良箇所の座標や画像をディスプレイ4に表示させる。ここで検査結果の画像を表示させる場合は、例えば、図3に示すように、ディスプレイ4の左側にプリント基板の全体の画像領域42に表示するとともに、右側に検査の結果不良と判定された箇所の矩形状の画像を不良画像領域44に複数枚表示させ、これによって作業効率を向上させるようにする。このとき、その画像内に、不良と判断された座標を丸印などのマーキング45を付けて表示させるようにしておくとともに、その不良画像の表示されたディスプレイ4上の各矩形状の領域(x0,y0)〜(x1,y1)を抽出しておく。
また、この検査対象物の画像の隣に、その検査対象物の矩形状の画像に対応した位置の基準となる基準画像を基準画像領域43に表示させる。このときも同様に、その基準画像を表示させたディスプレイ4上の各矩形状の領域(x'0,y'0)〜(x'1,y'1)を抽出しておく。
そして、このような構成において、本実施の形態では、特徴的に、検査者の視線Gの位置を特定できるようにした視線位置特定手段33を設けている。
この視線位置特定手段33は、ディスプレイ4上における検査者の視線Gの位置を特定できるようにしたものであって、現在各種研究されている視線入力装置を用いる。この検査者の視線Gの位置を特定する方法としては、例えば、頭部に装着するヘッドマウントディスプレイを用いて検査者の視線の位置を特定する方法(例えば、特開平11−184622号公報など)や、机上のディスプレイ前に設置されたカメラによって検査者の顔や目の画像を取得し、検査者の瞳孔や顔の向きなどからディスプレイ内に向けられた視線の座標位置を特定する方法(特開2004−167152号公報など)などを用いることができるが、ここでは後者のように、ディスプレイ4前に設置されたカメラ41によって検査者の視線の位置を特定する方法を用いるものとする。そして、この視線位置特定手段33から、ディスプレイ4上における検査者の視線の座標位置(x,y)を出力する。
目視結果受付手段34は、まず、不良画像を表示させる領域44(x0,y0)〜(x1,y1)を検出し、その領域44内に検査者の視線Gの座標位置が存在するか否かを判定する。このとき、検査者に確実に検査させるには、あらかじめ所定の時間を決めておき、その時間以上検査者の視線Gがその不良画像領域44内に位置している場合に「視認している」と判定する。ここで、「所定の時間」については、その不良画像領域44内の不良箇所の数に応じて、例えば、不良箇所1個につき0.5秒以上(n個の場合は0.5×n秒以上)というように決めておくこともできる。そして、不良画像領域44に視線Gが位置していることを条件として、検査者によるその不良箇所の目視検査結果を受け付けるようにする。すなわち、検査者がその不良画像領域44を視認していない場合には、目視検査結果の入力を受け付けないようにする。この目視検査結果の入力を受け付ける場合、「OK」「NG」を入力するためのキーをキーボードに割り当てておき、不良箇所における目視検査の結果を受け付けて記憶させる。なお、ここでは、不良画像領域44に視線Gが位置した場合に、その領域内における不良箇所の目視検査結果を受け付けるようにしているが、高精度に視線の位置を特定できる場合は、その不良箇所の所定半径内に視線Gが位置したことを条件に、良否検査の結果を受け付けるようにしてもよい。
目視検査の結果を記憶させる場合、前述のように自動検査装置2と一体的に設けられている場合は、記憶手段22にその目視検査の結果を上書きし、あるいは、インターネットなどを通じて接続されている場合は、書き替えコマンドとその検査結果を送信することで自動検査装置2の記憶手段22の情報を書き替える。また、記憶媒体を用いて自動検査装置2の情報を読み取った場合は、その記憶媒体に目視検査の結果を書き込むようにする。また、ここでは自動検査装置2の記憶手段22などに目視検査の結果を記憶されるようにしているが、目視検査装置3に別途新たな目視結果記憶手段35を設けておき、そこに記憶させるようにしてもよい。なお、本発明との関係において、これらの各種記憶手段(22、35)が本発明の目視結果記憶手段35に相当する。
次に、このように構成された目視検査装置3における目視検査のフローチャートを図5を用いて説明する。
まず、プリント基板5の形成状態を検査する場合、自動検査装置2にセットし、一枚ずつピックアップして搬送させながらそのプリント基板5の画像を取得する(ステップS1)。
そして、その取得された画像に基づいて自動検査装置2でパッドやパターンなどの形成状態を自動で判断し(ステップS2)、不良と判断された箇所については、その箇所の座標や画像などを記憶手段22に記憶させ(ステップS3)、不良品用の回収部27に回収する(ステップS4)。
次に、このように自動検査装置2で検査された結果に基づいて、不良箇所を目視検査する場合、自動検査装置2の記憶手段22から不良情報を読み出し(ステップT1)、その不良箇所を含む小さな矩形領域の拡大画像を不良画像領域44に表示させる(ステップT2)。このとき、図3に示すように、その不良画像に対応させて基準画像を表示させるとともに、プリント基板全体のどの部分をチェックしているのかが分かるように、検査対象となるプリント基板5の全体画像を表示させるようにする。
そして、このようにディスプレイ4に全体画像や基準画像、不良画像を表示させた状態で、視線位置特定手段33を起動させ、ディスプレイ4の前に座っている検査者の視線Gの位置を特定する(ステップT3)。この視線Gの位置を特定する場合、視線位置特定手段33から視線Gの位置の座標をコンピューターに出力し、その視線Gの位置をディスプレイ4上における座標位置に変換して、ディスプレイ4上における視線Gの位置を特定できるようにする。
そして、検査者の視線Gがディスプレイ4上における特定の矩形状の不良画像領域44に位置した場合(ステップT4)、その領域の不良画像を「視認した」と判断して目視検査による良否の検査結果を受け付けるようにする(ステップT5)。この良否の検査結果を受け付ける場合は、目視結果記憶手段35に記憶させるが、自動検査装置2の記憶手段22に記憶されている不良情報を上書きするか、あるいは、目視検査装置3に独自に設けられた目視結果記憶手段35に書き込むようにする(ステップT6)。そして、そのディスプレイ4に表示されたすべての不良画像について目視検査結果を書き込んだ後、次の不良画像を表示させるようにする。
なお、ここでは、不良画像領域44に視線Gが位置した場合に「視認した」と判断して目視検査結果を入力できるようにした場合について説明したが、図6のフローチャートに示すような方法で目視検査結果を入力できるようにすることもできる。なお、図6では、目視検査装置3における処理のフローチャートのみを説明する。
まず、図5におけるフローチャートと同様に記憶手段22から不良画像を読み出してディスプレイ4に表示させ、その状態で、視線位置特定手段33を起動させ、ディスプレイ4前に座っている検査者の視線Gの位置を特定する(ステップU1〜U3)。
そして、検査者の視線Gがディスプレイ4上における不良画像領域44と基準画像領域43の間46(図3参照)の仮想ラインを視線Gが横切ったか否かを判断し(ステップU4)、視線Gがこれらの画像の間46を横切った場合、その不良画像を「視認した」と判断して目視検査による良否の判断結果を受け付けるようにする(ステップU5)。このとき、不良画像領域44を視認するとともに、少なくとも1回でも視線Gが横切れば「視認した」と判断するようにしてもよく、あるいは、不良画像領域44を視認するとともに不良箇所の個数に応じた回数だけ視線Gが横切ったことを条件に「視認した」と判断するようにしてもよい。そして、視線Gが不良画像と基準画像領域43の間46を横切ったことを条件に、検査員の目視検査の結果を受け付け、その結果を書き込んで記憶させるようにする(ステップU6)。そして、そのディスプレイ4に表示されたすべての不良画像について目視検査結果を書き込んだ後、次の不良画像を表示させるようにする。
このように上記実施の形態によれば、プリント基板5から画像を取得する画像取得手段21と、当該画像取得手段21によって取得された画像に基づいてプリント基板5の形成状態の良否を判定する判定手段23と、当該判定手段23によって不良と判定されたプリント基板5の画像を記憶する記憶手段22とを備えてなる自動検査装置2に関連して設けられ、前記不良と判定されたプリント基板5の画像に基づいて当該プリント基板5の良否を検査者に目視で判定させる目視検査装置3において、前記記憶手段22に記憶された不良と判定されたプリント基板5の画像を読み出してディスプレイ4に表示させる不良画像表示手段32と、当該表示された不良画像を目視検査する検査者のディスプレイ4上の視線Gの位置を特定する視線位置特定手段33と、当該視線位置特定手段33によって不良画像の領域に視線Gが位置したことを条件に目視検査の良否結果を受け付けて記憶させる目視結果記憶手段35(22)とを設けるようにしたので、不良画像を視認することなく検査結果を入力させることができなくなり、人的な判断ミスを未然に防止することができるようになる。
また、目視検査の結果を記憶させる場合、不良画像内における不良箇所の個数に応じた時間長さ以上視線Gが位置したことを条件に、目視検査の結果を受け付けて記憶させるようにすれば、不良箇所の数に応じた時間長さ分だけ目視で検査させることができるため、より人的な判断ミスを防止することができるようになる。
また、ディスプレイ4に複数枚の不良画像を同時に表示させ、すべての矩形状の領域について目視検査された場合に次の画面を表示させるようにしたので、作業効率を向上させることができるとともに、このように複数枚表示させた場合であっても、目視せずに検査して不良品が流出してしまうということを防ぐことができるようになる。
さらには、不良箇所の部分画像を基準画像とともに表示させ、その基準画像領域43と不良画像との間46の仮想ラインを視線Gが横切ることを条件に目視検査の良否結果を記憶させるようにすれば、基準画像と対比しながら不良画像を検査したことを推測することができるため、より正確に検査していると推測することができるようになる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく種々の態様で実施することができる。
例えば、上記実施の形態では、不良画像領域44に視線Gが位置した場合に目視検査の結果を受け付けるようにしたが、不良画像領域44に視線Gが位置しなくても目視検査の結果を受け付けられるようにしてもよい。但し、このような場合であっても、ある程度画像を視認したことを事後的に判断できるようにするために、図7に示すように、不良箇所もしくは不良画像領域44に視線Gが位置したことを示す情報を不良画像に対応させて記憶させておくようにしておくようにする。このようにすれば、不良画像を視認することなく検査結果を入力している画像を特定することができ、これによって、検査員にその不良画像を再検査させることができるようになる。
また、上記実施の形態では、視線Gが不良画像に位置したか否かを判断するようにしているが、図8に示すように、その不良画像の領域に視線Gが位置した時間をも記憶させるようにしておくこともできる。このようにすれば、注視した箇所を事後的に判断することができ、視認時間の長い怪しい箇所を再検査させることができるようになる。
さらに、図6における実施の形態では、二つの画像の間を横切ったことを条件に目視検査の結果を受け付けるようにしているが、この条件にこだわることなく目視検査結果を受け付けられるようにしておき、二つの画像を横切ったか否か、あるいは、二つの画像を横切った回数と、目視検査の結果を目視結果記憶手段35に記憶させるようにしてもよい。
加えて、上記実施の形態では、プリント基板5の形成状態を検査する場合について説明したが、プリント基板5に限定されることなく液晶基板やその他の検査対象物を自動で検査し、その後、検査員に目視で検査させるような場合にも適用することができる。
本発明は、物品の形成状態を自動検査装置で検査するとともに、そこで不良と判断された検査対象物を目視で検査して検査精度を向上させるような分野に利用することができる。
1・・・プリント基板検査システム
2・・・自動検査装置
21・・・画像取得手段
22・・・記憶手段
23・・・判定手段
24・・・ステージ
25・・・照明装置
26・・・受光装置
27・・・回収部
3・・・目視検査装置
31・・・検査結果読取手段
32・・・不良画像表示手段
33・・・視線位置特定手段
34・・・目視結果受付手段
35・・・目視結果記憶手段
4・・・ディスプレイ
41・・・カメラ
42・・・全体画像の表示領域
43・・・基準画像の表示領域
44・・・不良画像の表示領域
45・・・マーク
46・・・検査画像と基準画像の間(仮想ライン)
5・・・プリント基板
G・・・視線

Claims (6)

  1. 検査対象物から画像を取得する画像取得手段と、当該画像取得手段によって取得された画像に基づいて検査対象物の形成状態の良否を判定する判定手段と、当該判定手段によって不良と判定された検査対象物の画像を記憶する記憶手段とを備えてなる自動検査装置に関連して設けられ、前記不良と判定された検査対象物の画像に基づいて当該検査対象物の良否を検査者に目視で判定させる目視検査装置において、
    前記記憶手段に記憶された不良と判定された検査対象物の画像を読み出してディスプレイに表示させる不良画像表示手段と、
    当該表示された不良画像を目視検査する検査者のディスプレイ上における視線の位置を特定する視線位置特定手段と、
    当該視線位置特定手段によって不良画像の領域に視線が位置したことを条件に目視検査の良否結果を受け付けて記憶させる目視結果記憶手段と、
    を設けたことを特徴とする目視検査装置。
  2. 検査対象物から画像を取得する画像取得手段と、当該画像取得手段によって取得された画像に基づいて検査対象物の形成状態の良否を判定する判定手段と、当該判定手段によって不良と判定された検査対象物の画像を記憶する記憶手段とを備えてなる自動検査装置に関連して設けられ、前記不良と判定された検査対象物の画像に基づいて当該検査対象物の良否を検査者に目視で判定させる目視検査装置において、
    前記記憶手段に記憶された不良と判定された検査対象物の画像を読み出してディスプレイに表示させる不良画像表示手段と、
    当該表示された不良画像を目視検査する検査者のディスプレイ上における視線の位置を特定する視線位置特定手段と、
    当該視線位置特定手段によって不良画像の領域に視線が位置したこと、および、目視検査の良否結果を記憶させる目視結果記憶手段と、
    を設けたことを特徴とする目視検査装置。
  3. 前記ディスプレイに複数枚の不良画像を同時に表示させるようにした請求項1または2に記載の目視検査装置。
  4. 請求項1における目視検査装置において、
    前記目視結果記憶手段が、前記不良画像内における不良箇所の個数に応じた時間長さ以上視線が位置したことを条件に、目視検査の良否結果を受け付けて記憶させるようにしたものである請求項1に記載の目視検査装置。
  5. 請求項1における目視検査装置において、
    前記不良画像表示手段が、前記画像取得手段で取得された画像のうち、不良箇所を含む部分画像を基準画像とともに表示させるものであり、
    前記目視結果記憶手段が、基準画像と不良画像との間を視線が横切ることを条件に、目視検査の良否結果を記憶させるようにしたものである請求項1に記載の目視検査装置。
  6. 請求項2における目視検査装置において、
    前記不良画像表示手段が、前記画像取得手段で取得された画像のうち、不良箇所を含む部分画像を基準画像とともに表示させるものであり、
    前記目視結果記憶手段が、基準画像と不良画像との間を視線が横切る回数、および、目視検査の良否結果を記憶させるようにしたものである請求項2に記載の目視検査装置。
JP2014500772A 2012-02-20 2012-02-20 視線位置特定手段を備えた目視検査装置 Active JP6027717B2 (ja)

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JP6288249B2 (ja) * 2014-04-08 2018-03-07 富士通株式会社 目視検査支援装置、目視検査支援方法及び目視検査支援プログラム
CN105894170A (zh) * 2015-01-26 2016-08-24 香港纺织及成衣研发中心有限公司 用于制衣生产的快速响应管理系统及方法
JP6904722B2 (ja) * 2017-02-15 2021-07-21 アンリツ株式会社 物品検査装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007064642A (ja) * 2005-08-29 2007-03-15 Mega Trade:Kk 目視検査装置
JP2007163380A (ja) * 2005-12-15 2007-06-28 Denso Corp 目視検査作業管理システム
JP2008032555A (ja) * 2006-07-28 2008-02-14 Aiphone Co Ltd 実装部品検査装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5537008B2 (ja) * 2007-11-29 2014-07-02 株式会社東芝 外観検査装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007064642A (ja) * 2005-08-29 2007-03-15 Mega Trade:Kk 目視検査装置
JP2007163380A (ja) * 2005-12-15 2007-06-28 Denso Corp 目視検査作業管理システム
JP2008032555A (ja) * 2006-07-28 2008-02-14 Aiphone Co Ltd 実装部品検査装置

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