JPWO2013108725A1 - Manufacturing method of glass plate, manufacturing method of glass substrate for display, and glass plate - Google Patents
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Abstract
ガラス板の製造方法は、ガラス板の端面を研削する工程と、研削後の前記ガラス板の端面を研磨する工程と、を含む。前記ガラス板の端面を研削する工程は、砥粒を第1の結合剤で固めた第1の研削ホイールを用いてガラス板の端面を研削する第1の研削工程と、第1の研削工程の後、砥粒を前記第1の結合剤よりも硬度及び剛性が低い第2の結合剤で固めた第2の研削ホイールを用いて前記ガラス板の端面を研削する第2の研削工程と、を有する。The method for producing a glass plate includes a step of grinding an end surface of the glass plate and a step of polishing the end surface of the glass plate after grinding. The step of grinding the end surface of the glass plate includes a first grinding step of grinding the end surface of the glass plate using a first grinding wheel in which abrasive grains are hardened with a first binder, and a first grinding step. Then, a second grinding step of grinding the end face of the glass plate using a second grinding wheel in which the abrasive grains are hardened with a second binder whose hardness and rigidity are lower than those of the first binder. Have.
Description
本発明は、成形されたガラス板の端面を研削する工程を含んだガラス板の製造方法、ディスプレイ用ガラス基板の製造方法及びガラス板に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a glass plate, a method for manufacturing a glass substrate for a display, and a glass plate including a step of grinding an end face of a molded glass plate.
フラットパネルディスプレイ等のガラス板を製造する際、成形されたガラス板を所定の大きさに切断する。ガラス板の切断では、カッターを用いた機械的な切断とレーザを用いた切断が一般的である。カッターを用いたガラス板の切断では、ガラス板に機械的に切れ目を入れて切断するため、切断された端面には、数μm〜100μm程度の深さのクラック、例えば、ガラス板の厚さの7%から10%まで表面から内部に延びたクラックが生成されている。このクラックは、ガラス板の機械的強度の劣化を招く。また、レーザを用いた切断では、熱応力を利用してガラス板に切れ目を入れて切断するため、切断されたガラス板の端面は鋭利で欠けやすい状態になる。そのため、切断されたガラス板の端面のクラックや、鋭利な部分は、研削及び研磨により取り除かれる。すなわち、ガラス板の機械的強度を上げ、ガラス板のカケ、ワレを防止し、後工程でのハンドリングをし易くするために、ガラス板の端面の研削及び研磨が行われる。 When manufacturing a glass plate such as a flat panel display, the formed glass plate is cut into a predetermined size. In cutting a glass plate, mechanical cutting using a cutter and cutting using a laser are generally used. In the cutting of a glass plate using a cutter, since the glass plate is mechanically cut and cut, a crack having a depth of about several μm to 100 μm, for example, a thickness of the glass plate is formed on the cut end surface. Cracks extending from the surface to the inside from 7% to 10% are generated. This crack causes deterioration of the mechanical strength of the glass plate. Moreover, in the cutting | disconnection using a laser, since it cut | disconnects and cut | disconnects in a glass plate using a thermal stress, the end surface of the cut | disconnected glass plate will be in the state which is sharp and easy to chip. Therefore, the cracks and sharp portions on the end face of the cut glass plate are removed by grinding and polishing. That is, the end face of the glass plate is ground and polished in order to increase the mechanical strength of the glass plate, prevent chipping and cracking of the glass plate, and facilitate handling in the subsequent process.
ガラス板の端面の加工処理として、ガラス板の端面をメタルボンドダイヤモンドホイールによって研削した後、特開2001−259978号公報に開示されている柔軟性及び弾性を有する研磨ホイールによって研磨する面取り方法が知られている。しかし、従来の端面加工では、上記の研磨ホイールによって研磨を行っても、ガラス板の端面の微小な凹凸の除去が不十分になる場合がある。このような場合、ガラス板の端面の微小な凹凸にガラス粉等のパーティクルが詰まると、後の工程でこの凹凸に詰まったパーティクルが、後工程における処理中にガラス板の表裏面である主表面に付着して、ガラス板の品質を低下させる原因となる。さらに、ガラス板の端面の凹凸が十分に低減されない場合、ガラス板の機械強度が低下することがある。また、ガラス板の製造方法において、ガラス板の生産性を向上させるには研削速度を上昇させることも必要である。 As processing of the end face of the glass plate, there is known a chamfering method in which the end face of the glass plate is ground by a metal bond diamond wheel and then polished by a polishing wheel having flexibility and elasticity disclosed in JP-A-2001-259978. It has been. However, in the conventional end surface processing, even if polishing is performed with the above-described polishing wheel, removal of minute irregularities on the end surface of the glass plate may be insufficient. In such a case, if particles such as glass powder are clogged in the minute irregularities on the end face of the glass plate, the particles clogged in the irregularities in the subsequent process are the main surfaces that are the front and back surfaces of the glass plate during the processing in the subsequent process. It adheres to and causes the quality of the glass plate to deteriorate. Furthermore, when the unevenness | corrugation of the end surface of a glass plate is not fully reduced, the mechanical strength of a glass plate may fall. Moreover, in the manufacturing method of a glass plate, in order to improve the productivity of a glass plate, it is also necessary to raise a grinding speed.
本発明は、ガラス板の製造量を確保しつつ、ガラス板の端面の凹凸を従来よりも低減させるガラス板の製造方法、ディスプレイ用ガラス基板の製造方法、およびガラス板を提供する。 The present invention provides a method for producing a glass plate, a method for producing a glass substrate for a display, and a glass plate that reduce the unevenness of the end face of the glass plate as compared with the conventional method while securing the production amount of the glass plate.
本発明の一態様は、ガラス板の製造方法である。当該製造方法は、
ガラス板の端面を研削する工程と、
研削後の前記ガラス板の端面を研磨する工程と、を含む。
前記ガラス板の端面を研削する工程は、
砥粒を第1の結合剤で固めた第1の研削ホイールを用いて前記ガラス板の端面を研削する第1の研削工程と、
前記第1の研削工程の後、砥粒を前記第1の結合材よりも硬度及び剛性が低い第2の結合剤で固めた第2の研削ホイールを用いて前記ガラス板の端面を研削する第2の研削工程と、を有する。One embodiment of the present invention is a method for manufacturing a glass plate. The manufacturing method is
Grinding the end face of the glass plate;
Polishing the end face of the glass plate after grinding.
The step of grinding the end face of the glass plate,
A first grinding step of grinding an end face of the glass plate using a first grinding wheel in which abrasive grains are hardened with a first binder;
After the first grinding step, the end face of the glass plate is ground using a second grinding wheel in which abrasive grains are hardened with a second binder having lower hardness and rigidity than the first binder. 2 grinding processes.
好ましくは、前記第1の結合剤は金属結合剤であり、前記第2の結合剤は樹脂結合剤である。 Preferably, the first binder is a metal binder and the second binder is a resin binder.
前記第1の研削工程において、前記ガラス板の端面は、JIS B 0601-1982で規定される最大高さRmaxが10μm以上かつ18μm以下になるように研削され、前記第2の研削工程において、前記ガラス板の端面は前記最大高さRmaxが4μm以上かつ8μm以下になるように研削される、ことが好ましい。 In the first grinding step, the end surface of the glass plate is ground so that the maximum height Rmax defined in JIS B 0601-1982 is 10 μm or more and 18 μm or less. In the second grinding step, The end surface of the glass plate is preferably ground so that the maximum height Rmax is 4 μm or more and 8 μm or less.
また、前記ガラス板を研磨する工程において、前記ガラス板の端面は最大高さRmaxが4μm未満になるように研磨されることが好ましい。 In the step of polishing the glass plate, the end surface of the glass plate is preferably polished so that the maximum height Rmax is less than 4 μm.
好ましくは、前記第1の研削工程における前記ガラス板の端面の研削量が、40μm以上かつ60μm以下であり、前記第2の研削工程における前記ガラス板の端面の研削量が、10μm以上かつ30μm以下である。 Preferably, the grinding amount of the end face of the glass plate in the first grinding step is 40 μm or more and 60 μm or less, and the grinding amount of the end face of the glass plate in the second grinding step is 10 μm or more and 30 μm or less. It is.
その際、前記研磨工程は、前記研削工程により研削された前記ガラス基板の端面の形状を実質的に変化させることなく研磨することが好ましい。
また、前記研磨工程は、前記研削工程により研削された端面を鏡面加工することが好ましい。In that case, it is preferable to grind | polish without the said grinding | polishing process changing substantially the shape of the end surface of the said glass substrate ground by the said grinding process.
Moreover, it is preferable that the said grinding | polishing process mirror-processes the end surface ground by the said grinding process.
好ましくは、前記ガラス板を搬送しながら前記第1の研削工程、前記第2の研削工程、及び前記ガラス板を研磨する工程を行い、
前記第2の研削工程における前記ガラス板の搬送方向が、前記第1の研削工程における前記ガラス板の搬送方向と逆方向である。Preferably, performing the first grinding step, the second grinding step, and the step of polishing the glass plate while conveying the glass plate,
The conveyance direction of the glass plate in the second grinding step is opposite to the conveyance direction of the glass plate in the first grinding step.
その際、前記第1の研削ホイールが前記ガラス板と接触する点における前記第1の研削ホイールの回転方向は、前記ガラス板の搬送方向と逆の方向であり、前記第2の研削ホイールが前記ガラス板と接触する点における前記第2の研削ホイールの回転方向は、前記ガラス板の搬送方向と同じ方向であることが好ましい。 In that case, the rotation direction of the first grinding wheel at the point where the first grinding wheel contacts the glass plate is opposite to the conveying direction of the glass plate, and the second grinding wheel is The rotation direction of the second grinding wheel at the point of contact with the glass plate is preferably the same direction as the conveying direction of the glass plate.
前記ガラス板の搬送速度は、例えば、10m/分以上である。
前記第2の研削工程における前記ガラス板の搬送速度は例えば15m/分以上である。The conveyance speed of the said glass plate is 10 m / min or more, for example.
The conveyance speed of the glass plate in the second grinding step is, for example, 15 m / min or more.
前記第1の研削ホイール及び前記第2の研削ホイールの砥粒はダイヤモンド砥粒であり、
前記第1の研削ホイールの砥粒の粒度が、前記第2の研削ホイールの砥粒の粒度と等しいか又はそれよりも粗いことが好ましい。The abrasive grains of the first grinding wheel and the second grinding wheel are diamond abrasive grains,
The grain size of the abrasive grains of the first grinding wheel is preferably equal to or coarser than the grain size of the abrasive grains of the second grinding wheel.
また、前記ガラス板を研磨する工程において、前記ガラス板の端面を研磨する研磨ホイールの結合剤は発泡弾性体材料であり、砥粒はSiC、Al2O3、又はCeO2から選ばれる一種以上の材質により形成されていることが好ましい。Further, in the step of polishing the glass plate, the binder of the polishing wheel for polishing the end surface of the glass plate is a foamed elastic material, and the abrasive is one or more selected from SiC, Al 2 O 3 , or CeO 2 It is preferable to be formed of the material.
前記ガラス板は、フラットパネルディスプレイの表示装置の基板、あるいは、電子機器の表示画面のカバーガラスに用いられ、前記ガラス板は、ダウンドロー法又はフロート法により成形されることが好ましい。 The glass plate is used for a substrate of a display device of a flat panel display or a cover glass of a display screen of an electronic device, and the glass plate is preferably formed by a down draw method or a float method.
また、本発明の他の一態様は、前記ガラス板の製造方法により製造されたガラス板である。当該ガラス板は、
前記ガラス板の端面の断面形状は曲率のついた凸形状に形成され、前記ガラス板の端面の、JIS B 0601-1982で規定される最大高さRmaxが4μm未満であり、JIS B 0601-1982で規定される算術平均粗さRaが0.06μm以下である。Moreover, the other one aspect | mode of this invention is the glass plate manufactured by the manufacturing method of the said glass plate. The glass plate
The cross-sectional shape of the end surface of the glass plate is formed into a convex shape with a curvature, and the maximum height Rmax defined by JIS B 0601-1982 of the end surface of the glass plate is less than 4 μm, and JIS B 0601-1982 The arithmetic average roughness Ra specified by is 0.06 μm or less.
さらに、本発明のさらに他の一態様は、ディスプレイ用ガラス基板の製造方法である。当該製造方法は、
ガラス基板の端面を研削して前記端面を曲率のついた凸形状に研削する工程と、
研削後の前記ガラス基板の端面を実質的に形状変化させることなく研磨する工程と、
を含む。
前記ガラス基板の端面を研削する工程は、
砥粒を第1の結合剤で固めた第1の研磨ホイールを用いて、前記ガラス基板の端面をJISB0601−1982で規定される最大高さRmaxが10μm以上かつ18μm以下になるよう研削する第1の研削工程と、
前記第1の研削工程の後、砥粒を前記第1の結合剤よりも硬度及び剛性が低い第2の結合剤で固めた第2の研削ホイールを用い、前記第2の研削ホイールによる研削量を、前記Rmaxとして測定された数値以上とする第2の研削工程と、を有する。Furthermore, another one aspect | mode of this invention is a manufacturing method of the glass substrate for displays. The manufacturing method is
Grinding the end face of the glass substrate and grinding the end face into a convex shape with a curvature;
Polishing without substantially changing the shape of the end face of the glass substrate after grinding;
including.
The step of grinding the end surface of the glass substrate,
A first polishing wheel in which abrasive grains are hardened with a first binder is used to grind the end surface of the glass substrate so that the maximum height Rmax defined in JIS B0601-1982 is 10 μm or more and 18 μm or less. Grinding process of
After the first grinding step, using a second grinding wheel in which abrasive grains are hardened with a second binder having lower hardness and rigidity than the first binder, the amount of grinding by the second grinding wheel And a second grinding step that sets the value to be equal to or greater than the value measured as Rmax.
その際、前記第2の研削工程における前記ガラス板の端面の研削量が、10μm以上かつ30μm以下であることが好ましい。 In that case, it is preferable that the grinding amount of the end surface of the said glass plate in a said 2nd grinding process is 10 micrometers or more and 30 micrometers or less.
また、前記ガラス基板の厚さは、0.25mm〜0.7mmであることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the thickness of the said glass substrate is 0.25 mm-0.7 mm.
上記態様のガラス板の製造方法及びガラス板によれば、ガラス板の製造量を確保しつつ、ガラス板の端面の凹凸を従来よりも低減することができる。 According to the manufacturing method and glass plate of the said aspect, the unevenness | corrugation of the end surface of a glass plate can be reduced conventionally compared with ensuring the manufacture amount of a glass plate.
以下、本発明のガラス板の製造方法、ディスプレイ用ガラス基板の製造方法及びガラス板を、本実施形態に基づいて詳細に説明する。
本実施形態で製造されるガラス板は、特に限定されないが、例えば、携帯電子機器等の電子機器の表示画面に用いるカバーガラスや、フラットパネルディスプレイ等の表示装置のディスプレイ用ガラス基板等に好適に用いられる。Hereinafter, the manufacturing method of the glass plate of this invention, the manufacturing method of the glass substrate for a display, and a glass plate are demonstrated in detail based on this embodiment.
Although the glass plate manufactured in this embodiment is not particularly limited, for example, it is suitable for a cover glass used for a display screen of an electronic device such as a portable electronic device, a display glass substrate for a display device such as a flat panel display, and the like. Used.
ガラス板の組成は特に限定されないが、例えば、以下の組成比率のガラス板に適用され得る。
(a)SiO2:50〜70質量%、
(b)B2O3:5〜18質量%、
(c)Al2O3:10〜25質量%、
(d)MgO:0〜10質量%、
(e)CaO:0〜20質量%、
(f)SrO:0〜20質量%、
(o)BaO:0〜10質量%、
(p)RO:5〜20質量%(ただしRはMg、Ca、SrおよびBaから選ばれる少なくとも1種であり、ROの含有量の合計である)、
(q)R’2O:0.20質量%を超え2.0質量%以下(ただしR’はLi、NaおよびKから選ばれる少なくとも1種であり、R’2Oの含有量の合計である)、
(r)酸化スズ、酸化鉄および酸化セリウムから選ばれる少なくとも1種の金属酸化物を合計で0.05〜1.5質量%。Although the composition of a glass plate is not specifically limited, For example, it can apply to the glass plate of the following composition ratios.
(A) SiO 2 : 50 to 70% by mass,
(B) B 2 O 3 : 5 to 18% by mass,
(C) Al 2 O 3 : 10 to 25% by mass,
(D) MgO: 0 to 10% by mass,
(E) CaO: 0 to 20% by mass,
(F) SrO: 0 to 20% by mass,
(O) BaO: 0 to 10% by mass,
(P) RO: 5 to 20% by mass (wherein R is at least one selected from Mg, Ca, Sr and Ba, and is the total content of RO),
(Q) R ′ 2 O: more than 0.20% by mass and 2.0% by mass or less (where R ′ is at least one selected from Li, Na and K, and is the total content of R ′ 2 O) is there),
(R) 0.05 to 1.5 mass% in total of at least one metal oxide selected from tin oxide, iron oxide, and cerium oxide.
本実施形態では、溶解されたガラスを、ダウンドロー法により成形した後、所定の長さに裁断したガラス板を10m/分以上の搬送速度で搬送しながら、ガラス板の端面の研削及び研磨を行う。ガラスの成形方法はダウンドロー法に限定されず、フロート法などの他の方法により成形してもよい。 In this embodiment, after the melted glass is formed by the downdraw method, the glass plate cut to a predetermined length is conveyed at a conveyance speed of 10 m / min or more, and the end surface of the glass plate is ground and polished. Do. The glass forming method is not limited to the downdraw method, and may be formed by other methods such as a float method.
図1は、本実施形態のガラス板の製造方法あるいはディスプレイ用ガラス基板の製造方法の製造工程中の1ラインにおけるガラス板の端面の加工処理の流れを示す図である。以降、ガラス板及びガラス基板は特に区別しない限り、ガラス板と称する。ガラス板の端面加工処理ライン10には、第1面取り機12、第2面取り機14、コーナーカット機16、および反転機18と、が設けられている。第1面取り機12、反転機18、第2面取り機14、および、コーナーカット機16は、搬送経路の上流側から順に配置されている。図2は、第1面取り機12、第2面取り機14における第1の研削ホイールと第2の研削ホイールを示す斜視図である。
FIG. 1 is a diagram showing a flow of processing of an end face of a glass plate in one line during the manufacturing process of the glass plate manufacturing method or the display glass substrate manufacturing method of the present embodiment. Hereinafter, unless specifically distinguished from each other, the glass plate and the glass substrate are referred to as a glass plate. The glass plate end
図1に示すように、ガラス板Gを搬送しながら、第1面取り機12において、矩形状のガラス板Gの短辺の端面について、搬送経路の両側に設けられた研削用のダイヤモンドホイール12aを用いて研削が行われる。図2に示すように、ダイヤモンドホイール12aは、回転軸Zの方向に、第1の研削ホイール12a1と第2の研削ホイール12a2の2段に構成されている。As shown in FIG. 1, while conveying the glass plate G, the
第1の研削ホイール12a1は、ダイヤモンド砥粒を、鉄を含む金属系の結合剤で固めた研削ホイールである。第1の研削ホイール12a1の結合剤は第2の研削ホイール12a2の結合剤よりも硬度及び剛性が高いものが用いられる。ここで硬度とは、ショア硬さであり、剛性とは、ヤング率をいう。第1の研削ホイール12a1の結合剤が金属系であれば、例えばコバルト系、ブロンズ系などの他の金属結合剤を用いても良い。また、第2の研削ホイール12a2の結合剤よりも硬度及び剛性が高ければ、第1の研削ホイール12a1の結合剤としてセラミックス質の結合剤を用いてもよい。第1の研削ホイール12a1は、例えば、JIS R6001-1987で規定される♯300から♯400程度の粒度のダイヤモンド砥粒を用いることができる。本実施形態では、第1の研削ホイール12a1は、♯400の粒度のダイヤモンド砥粒を用いる。砥粒はダイヤモンドに限らず、CBN(ボラゾン)であっても良い。第1の研削ホイール12a1の粒度は、第2の研削ホイール12a2のダイヤモンド砥粒の粒度と等しいか又はそれよりも粗くてもよい。The
第2の研削ホイール12a2は、ダイヤモンド砥粒を、エポキシを含む樹脂系の結合剤で固めた研削ホイールである。第2の研削ホイール12a2のダイヤモンド砥粒の結合剤は第1の研削ホイール12a1の結合剤よりも硬度及び剛性が低いものが用いられる。第2の研削ホイール12a2の結合剤は第1の研削ホイール12a1の結合剤よりも硬度及び合成が低ければ、セラミックス質の結合剤を用いてもよい。第2の研削ホイール12a2の結合剤は、樹脂系であれば、例えばポリイミド系の材質であってもよい。第2の研削ホイール12a2の砥粒はダイヤモンドに限らず、CBNであっても良い。本実施形態では、第2の研削ホイール12a2は、JIS R6001-1987で規定される♯400の粒度のダイヤモンド砥粒を用いる。
なお、第1の研削ホイール12a1の砥粒の粒度は、第2の研削ホイール12a2の砥粒の粒度と等しいか又はそれよりも粗い、ことが研削を効率よく行う上で好ましい。The
The first abrasive grain size of the
第1の研削工程では、第1面取り機12において、ガラス板Gが図1の矢印で示される搬送方向に搬送され、第1の研削ホイール12a1の、図2に点線で示される研削溝Wによってガラス板Gの端面が研削される。第1の研削ホイール12a1は、ガラス板Gの端面を、所定の研削量、研削する。これにより、ガラス板Gの端面は、元の端面よりもガラス板の中央側に後退し、端面の断面形状は、第1の研削ホイール12a1の研削溝Wの断
面形状に対応して曲率のついた凸形状に研削される。ここで、研削量とは、研削前の元の端面の位置から、研削されて後退した研削後の凸形状の端面の頂点の位置までの距離である。すなわち、ガラス板Gの端面がガラス板Gの主表面と平行な方向に研削された量である。第1の研削ホイール12a1によるガラス板Gの研削量は、例えば40μmから60μmまでの範囲内である。第1の研削工程におけるガラス板Gの搬送速度は、生産性を確保する観点から10m/分以上であることが好ましい。本実施形態では、ガラス板Gの搬送速度は10m/分である。In the first grinding process, in the
第1の研削工程では、ガラス板Gの端面のJIS B 0601-1982で規定される最大高さRmaxが、少なくとも10μm以上かつ18μm以下、より好ましくは13μm以上かつ14μm以下になるように、ガラス板Gの端面が研削される。また、ガラス板Gの端面のJIS B 0601-1982で規定される算術平均粗さRaは、例えば0.5μm程度になる。 In the first grinding step, the glass plate G has a maximum height Rmax defined by JIS B 0601-1982 of at least 10 μm and 18 μm, more preferably 13 μm and 14 μm. The end face of G is ground. Moreover, the arithmetic average roughness Ra prescribed | regulated by JIS B 0601-1982 of the end surface of the glass plate G will be about 0.5 micrometer, for example.
その後、図2に示すように、ダイヤモンドホイール12aは、第2の研削ホイール12a2の研削溝Wがガラス板Gの端面の位置に対応するように、回転軸Zの方向に移動する。第2の研削工程において、ガラス板Gは、図1の矢印と逆方向に搬送され、この搬送中、第2の研削ホイール12a2の研削溝Wによって端面が研削される。これにより、ガラス板Gの端面の断面形状は、第2の研削ホイール12a2の研削溝Wの断面形状に対応して曲率のついた凸形状に研削される。After that, as shown in FIG. 2, the
第2の研削ホイール12a2によるガラス板Gの研削量は、例えば10μmから30μmまでの範囲内である。第2の研削工程におけるガラス板Gの搬送速度は、生産性を確保する観点から10m/分以上であることが好ましく、15m/分以上であることがより好ましい。本実施形態では、ガラス板Gの搬送速度は15m/分である。第2の研削工程におけるガラス板Gの搬送速度は、第1の研削工程におけるガラス板Gの搬送速度よりも大きいことが好ましい。The grinding amount of the glass plate G by the
第2の研削工程では、ガラス板Gの端面のJIS B 0601-1982で規定される最大高さRmaxが、少なくとも4μm以上かつ8μm以下、より好ましくは6μm程度になるように、ガラス板Gの端面を研削する。また、ガラス板Gの端面の上記算術平均粗さRaは、例えば0.1μmから0.2μm程度になる。 In the second grinding step, the end surface of the glass plate G is adjusted so that the maximum height Rmax defined by JIS B 0601-1982 of the end surface of the glass plate G is at least 4 μm and 8 μm, more preferably about 6 μm. Grind. Further, the arithmetic average roughness Ra of the end surface of the glass plate G is, for example, about 0.1 μm to 0.2 μm.
なお、研削ホイール12aの回転方向については、ガラス板Gと接触する点における研削ホイール12aの外周面の回転方向が、ガラス板Gの搬送方向と同じになるように設定されてもよいし、逆の方向に設定されてもよい。本実施形態では、第1の研削工程においてガラス板Gと接触する点における研削ホイール12aの外周面の回転方向が、ガラス板Gの搬送方向と逆の方向になり、第2の研削工程でガラス板Gの搬送方向と同じ方向になるように、研削ホイール12aを一方向に回転させている。
In addition, about the rotation direction of the
研磨工程では、第2の研削工程で研削されたガラスGの端面が、搬送経路の両側に設けられた研磨ホイール12bにより研磨される。研磨ホイール12bは、例えば特開2001−259978号公報に開示されているような、柔軟性及び弾性を有する樹脂結合研磨ホイールを用いることができる。この場合、樹脂結合研磨ホイールは柔軟性及び弾性を確保する点で、樹脂結合研磨ホイールの弾性係数は、例えば50〜10000kg/cm2であり、あるいは500〜7000kg/cm2であることが好ましい。また、樹脂結合研磨ホイールのショアD硬度は、例えば10〜95、あるいは40〜80であることが好ましく、樹脂結合研磨ホイールの密度は、例えば0.4〜2.5g/cm3であることが好ましい。本願は、特開2001−259978号公報を参照引用する。In the polishing process, the end face of the glass G ground in the second grinding process is polished by the polishing
樹脂結合研磨ホイールである研磨ホイール12bは、例えばSiC、Al2O3及びCeO2のような研磨材料に通常用いられる砥粒を柔軟性及び弾性を有する樹脂結合剤で固めたものである。研磨ホイール12bの砥粒の粒度は例えば、JIS R6001-1987で規定される♯300から♯500程度を用いることができる。本実施形態では、研磨ホイール12bの粒度は♯400である。樹脂結合剤としては、例えばポリウレタン、ポリイミド系の結合剤を用いることができる。The
研磨工程におけるガラス板Gの搬送速度は、生産性を確保する観点から15m/分以上であることが好ましい。本実施形態では、ガラス板Gの搬送速度は例えば20m/分である。なお、研磨ホイール12bの回転方向については、ガラス板Gと接触する点における研削ホイール12bの外周面の回転方向が、ガラス板Gの搬送方向と同じになるように、設定されてもよいし、逆の方向に設定されてもよい。本実施形態では、ガラス板Gと接触する点における研磨ホイール12bの外周面の回転方向が、ガラス板Gの搬送方向と逆の方向になるように、研磨ホイール12bの回転方向が設定されている。
It is preferable that the conveyance speed of the glass plate G in a grinding | polishing process is 15 m / min or more from a viewpoint of ensuring productivity. In this embodiment, the conveyance speed of the glass plate G is 20 m / min, for example. The rotation direction of the
研磨工程では、ガラス板Gの端面の上記最大高さRmaxが、4μm未満、好ましくは3.5μm以下になるように、ガラス板Gの端面を研磨する。また、ガラス板Gの端面の上記平均粗さRaは、例えば0.03μm〜0.06μm程度になる。
なお、本実施形態では、ガラス板Gの端面の研削と研磨とを明確に区別している。すなわち、研削とは、ガラスを削り取ることによりガラス板Gの端面の断面形状を所望の形状に成形する加工であり、少なくとも数μmの研削量を伴う。したがって、研削によっては、最終的な製品となる板ガラスGの端面の上記のような表面品位を得ることはできない。
これに対して研磨とは、ガラス板Gの端面の微小な凹凸をならすことで、微小な凹凸を低減又は除去し、ガラス板Gの端面の表面品位を向上させる加工である。したがって、研磨によってはガラス板Gの端面の断面形状にほとんど変化はなく、いわゆる鏡面加工と呼ばれるような表面処理を含む加工である。すなわち、研磨工程は、研削工程により研削されたガラス板Gの端面の形状を実質的に変化させることなく、言い換えるとガラス板Gの端面の形状を維持しつつ、ガラス板Gの端面を研磨する。
また、本実施形態では、研磨ホイール12bを用いて研磨を行うが、研磨ホイール12bの代わりに公知のテープ研磨技術、パッド研磨技術、ブラシ研磨技術、磁性流体仕上げ技術を用いて研磨を行うこともできる。In the polishing step, the end surface of the glass plate G is polished so that the maximum height Rmax of the end surface of the glass plate G is less than 4 μm, preferably 3.5 μm or less. The average roughness Ra of the end surface of the glass plate G is, for example, about 0.03 μm to 0.06 μm.
In the present embodiment, grinding and polishing of the end face of the glass plate G are clearly distinguished. That is, the grinding is a process of forming the cross-sectional shape of the end face of the glass plate G into a desired shape by scraping the glass, and involves a grinding amount of at least several μm. Therefore, depending on grinding, it is not possible to obtain the above-mentioned surface quality of the end face of the sheet glass G that will be the final product.
On the other hand, the polishing is a process for improving the surface quality of the end face of the glass plate G by reducing or removing the fine unevenness by leveling the fine unevenness of the end face of the glass plate G. Therefore, there is almost no change in the cross-sectional shape of the end face of the glass plate G depending on the polishing, which is a process including a surface treatment called so-called mirror finish. That is, the polishing step polishes the end surface of the glass plate G while maintaining the shape of the end surface of the glass plate G without substantially changing the shape of the end surface of the glass plate G ground by the grinding step. .
In this embodiment, polishing is performed using the
なお、本実施形態ではダイヤモンドホイール12a及び研磨ホイール12bをガラス板Gの搬送方向へ移動させずに端面の研削及び研磨を行うが、ガラス板Gを静止させ、あるいはガラス板Gを搬送しながら、ダイヤモンドホイール12a及び/又は研磨ホイール12bを移動させてガラス板Gの端面を研削及び研磨してもよい。
In this embodiment, the end face is ground and polished without moving the
研磨後、反転機18は、ガラス板Gの向きを90度回転させて、搬送経路に沿ってガラス板Gを第2面取り機14に搬送する。第2面取り機14は、第1面取り機12のダイヤモンドホイール12aと同様のダイヤモンドホイール14aを備えている。図2に示すようにダイヤモンドホイール14aは、第1面取り機12の第1の研削ホイール12a1及び第2研削ホイール12a2と同様の、第1の研削ホイール14a1及び第2の研削ホイール14a2と、を備えている。After polishing, the reversing
第2面取り機14においては、矩形状のガラス板Gの長辺の端面に対して、搬送経路の両側に設けたダイヤモンドホイール14aの第1の研削ホイール14a1により第1面取り機12と同様の第1の研削工程が行われる。その後、矩形状のガラス板Gの長辺の端面に対して、第2の研削ホイール14a2により第1面取り機12と同様の第2の研削工程が行われる。In the
この後、研磨工程において、搬送経路の両側に設けられた研磨ホイール14bを用いて研削されたガラス板Gの端面の研磨が行われる。研磨ホイール14bは第1面取り機12の研磨ホイール12bと同様に構成されている。この後、コーナーカット機16にガラス板Gは搬送され、コーナーカット用ダイヤモンドホイール16aを用いてガラス板Gのコーナーが研削、研磨される。その後、ガラス板Gは、洗浄工程、検査工程を経て、製品として出荷される。
Thereafter, in the polishing step, polishing of the end face of the glass plate G that has been ground using the polishing
本実施形態においては、ガラス板Gの端面の研削を、ダイヤモンド砥粒を金属結合剤で固めたメタルボンドダイヤモンドホイールである第1の研削ホイール12a1,14a1による研削と、ダイヤモンド砥粒を熱硬化性の樹脂結合剤で固めたレジンボンドダイヤモンドホイールである第2の研削ホイール12a2,14a2による研削との二段階で行っている。In the present embodiment, the end face of the glass plate G is ground by grinding with the
メタルボンドダイヤモンドホイールすなわち金属結合剤を用いた研削ホイールは、粒度や結合材の仕様によっては研削品位に重点をおいた研削ができ、また、研削処理能力に重点をおいた高速研削ができ、したがって、あらゆる研削仕様が設定可能である。研削処理能力に重点をおいたホイール仕様では、ガラス板を研削する処理能力が向上する分、ガラス板に対するダメージは大きくなり、表面粗さやチッピング等のガラス板の端面の品位が犠牲となる場合がある。したがって、ガラス板の端面の品位を維持しようとした場合、研削品位を重視した仕様のメタルボンドダイヤモンドホイールを使用することになる。しかし、研削品位を重視した仕様のホイールを用いて研削速度を上げると砥粒の目つぶれや目詰まりなどの頻度が高まり、研削処理能力が不足し、研削ヤケやハマカケ等の欠陥を多発させてしまうリスクが生じる。そのため、研削品位を重視した仕様のメタルボンドダイヤモンドホイールを用いた場合、生産性を維持、向上させるのは困難である。また、金属結合剤を用いた研削ホイールで研削した状態のガラス板Gの端面の凹凸の研磨を行ってガラス板Gの端面の凹凸を十分に低減させ、製品の品質を向上させるためには、研磨時間が過度に長くなることから、生産性を犠牲にせざるを得ない。 Metal-bonded diamond wheels, that is, grinding wheels that use metal binders, can grind with an emphasis on the grinding quality depending on the particle size and binder specifications, and can perform high-speed grinding with an emphasis on the grinding processing capacity. Any grinding specification can be set. With wheel specifications that focus on grinding processing capacity, damage to the glass plate increases as the processing capacity to grind the glass plate increases, and the quality of the end surface of the glass plate, such as surface roughness and chipping, may be sacrificed. is there. Therefore, when it is going to maintain the quality of the end surface of a glass plate, the metal bond diamond wheel of the specification which attached importance to the grinding quality will be used. However, increasing the grinding speed using a wheel with an emphasis on grinding quality increases the frequency of abrasive clogging and clogging, resulting in insufficient grinding processing capacity and frequent occurrence of defects such as grinding burns and scratches. Risk that For this reason, it is difficult to maintain and improve productivity when using a metal bond diamond wheel with specifications that emphasize grinding quality. In addition, in order to improve the quality of the product by sufficiently reducing the unevenness of the end face of the glass plate G by polishing the unevenness of the end face of the glass plate G in a state ground with a grinding wheel using a metal binder, Since the polishing time becomes excessively long, productivity must be sacrificed.
レジンボンドダイヤモンドホイールすなわち熱硬化性の樹脂結合剤を用いた研削ホイールは、金属結合剤を用いた研削ホイールと比較してクッション性に富み、柔軟性が高い。したがって、ガラス板Gの端面に与えるダメージを極力抑え、繊細な研削が可能である。そのため、金属結合剤を用いた研削ホイールと比較して、ガラス板Gの端面の表面粗さが小さくなる。 A resin-bonded diamond wheel, that is, a grinding wheel using a thermosetting resin binder, has a higher cushioning property and higher flexibility than a grinding wheel using a metal binder. Therefore, the damage given to the end surface of the glass plate G is suppressed as much as possible, and delicate grinding is possible. Therefore, the surface roughness of the end surface of the glass plate G becomes smaller than that of a grinding wheel using a metal binder.
本実施形態では、メタルボンドダイヤモンドホイールによる研削として研削力に重点を置き、高速研削によって、ガラス板の端面に必要な形状を短時間で形成する。その後、レジンボンドダイヤモンドホイールによる研削によって、ガラス板Gの端面を、次工程の研磨で目標となる表面粗さを実現可能な所定の表面粗さになるように可能な限り高速に研削している。そして、本実施形態の研削にて得られた、従来の研削よりも高品位なガラス板の端面に対して、最終研磨を施すことで、目標とするガラス板Gの表面粗さ等の高品位な端面を得ることができ、かつ短時間に加工することができる。さらに、本実施形態では、上述の研削により、ガラス板Gの端面から経時的に発生するガラスパーティクルを抑え、ガラスパーティクルの表面への付着量を低減することができる。これにより、有機EL(Elector-Luminescence)用TFT(Thin Film Transistor)パネルディプレイや、高精細液晶向けTFTパネルディプレイのパネルにおいて、密着性の低い配線/電極材料の使用も可能になる。例えば、Al系電極や、Cr、Mo電極などに比して、密着性は低いが、低抵抗のCu系電極材料を使用することができる。つまり、電極材料の選択幅が広がることで、大型パネルディプレイで問題になりやすいRC遅延(配線遅延)の問題を解消することができる。また、今後さらに高精細化が進む小型パネルディプレイにおいて生じうるRC遅延の問題を解消することができるガラス基板を提供することができる。 In this embodiment, emphasis is placed on the grinding force as grinding by a metal bond diamond wheel, and a necessary shape is formed in a short time on the end face of the glass plate by high speed grinding. After that, by grinding with a resin bond diamond wheel, the end face of the glass plate G is ground as fast as possible so as to achieve a predetermined surface roughness that can achieve the target surface roughness in the next process polishing. . Then, by subjecting the end surface of the glass plate, which is obtained by grinding according to the present embodiment, to a higher quality than conventional grinding, final polishing is performed so that the target surface roughness of the glass plate G is high quality. Can be obtained and can be processed in a short time. Furthermore, in this embodiment, the above-mentioned grinding can suppress the glass particles which generate | occur | produce with time from the end surface of the glass plate G, and can reduce the adhesion amount to the surface of a glass particle. This makes it possible to use wiring / electrode materials with low adhesion in TFT (Thin Film Transistor) panel displays for organic EL (Elector-Luminescence) and TFT panel displays for high-definition liquid crystals. For example, a low-resistance Cu-based electrode material can be used although the adhesion is lower than that of an Al-based electrode, Cr, or Mo electrode. In other words, by expanding the selection range of the electrode material, it is possible to solve the problem of RC delay (wiring delay) that tends to be a problem in a large panel display. Further, it is possible to provide a glass substrate that can solve the problem of RC delay that may occur in a small-sized panel display that will be further refined in the future.
本実施形態では、表面粗さの指標として上記の最大高さRmaxを用いている。ガラス板Gの端面の研削及び研磨においては、ガラス板Gの端面には微小な凹凸が形成されるが、凸部よりも凹部が支配的であると考えられる。したがって、表面粗さの指標として上記の最大高さRmaxを用いることで、極端に深い凹部が形成されないようにすることができる。これにより、ガラス板Gの端面の凹部に詰まるパーティクルの量を低減させ、ガラス板Gの表面に付着するパーティクルの量を低減させ、ガラス板Gの品質を向上させることができる。また、ガラス板Gの端面に極端に深い凹部が形成されないようにすることで、ガラス板の強度を向上させることができる。 In the present embodiment, the maximum height Rmax is used as an index of surface roughness. In the grinding and polishing of the end face of the glass plate G, minute unevenness is formed on the end face of the glass plate G, but the recess is considered to be dominant over the protrusion. Therefore, by using the maximum height Rmax as an index of surface roughness, it is possible to prevent an extremely deep recess from being formed. Thereby, the amount of particles clogged in the recesses on the end face of the glass plate G can be reduced, the amount of particles adhering to the surface of the glass plate G can be reduced, and the quality of the glass plate G can be improved. Moreover, the strength of the glass plate can be improved by preventing an extremely deep recess from being formed on the end face of the glass plate G.
また、第2の研削工程におけるガラス板Gの搬送方向が、第1の研削工程におけるガラス板Gの搬送方向と逆方向である。そのため、ガラス板Gを一方向に搬送する場合と比較して搬送ラインを短くすることができ、第1面取り機12、第2面取り機14等の研削装置をコンパクトにすることができる。
また、第1の研削ホイール12a1がガラス板Gと接触する点における第1の研削ホイール12a1の回転方向は、ガラス板Gの搬送方向と逆の方向である。これにより、ガラス板Gと第1研削ホイール12a1との速度差を上昇させ、より迅速に端面形状を加工することが可能になる。
また、第2の研削ホイール12a2がガラス板Gと接触する点における第2の研削ホイール12a2の回転方向は、ガラス板Gの搬送方向と同じ方向である。これにより、生産性を確保しつつ、ガラス板Gと第2の研削ホイール12a2との速度差を減少させ、より高品位な端面に加工することが可能になる。
本実施形態に用いられるガラス板の厚さは、0.25mm〜0.7mmであり、好ましくは0.3〜0.5mmである。Moreover, the conveyance direction of the glass plate G in a 2nd grinding process is a reverse direction with the conveyance direction of the glass plate G in a 1st grinding process. Therefore, compared with the case where the glass plate G is conveyed in one direction, a conveyance line can be shortened and grinding apparatuses, such as the
The first rotational direction of the
The second rotational direction of the
The thickness of the glass plate used for this embodiment is 0.25 mm-0.7 mm, Preferably it is 0.3-0.5 mm.
以上説明したように、本実施形態のガラス板の製造方法によれば、生産性を確保しつつ、ガラス板Gの端面の凹凸を十分に低減させ、製品の品質を向上させることができる。
なお、ガラス板Gの端面加工処理ライン10は、上記の構成に限定されない。例えば、第1の面取り機12にコーナーカット機16及び反転機18の機能を持たせ、コーナーカット機16及び反転機18を省略することもできる。この場合、次の(1)から(5)を1つの面取り機において行うことができる。
(1)ガラス板Gを搬送方向に搬送し、コーナーカットを行った後、ガラス板Gの長辺の第1の研削工程を行い、さらにコーナーカットを行う。
(2)ガラス板Gを搬送方向と逆方向に搬送し、ガラス板Gの長辺の第2の研削工程を行う。
(3)ガラス板Gを90°回転させる。
(4)ガラス板Gを搬送方向に搬送し、コーナーカットを行った後、ガラス板の短辺の第1の研削工程を行い、さらにコーナーカットを行う。
(5)ガラス板Gを搬送方向と逆方向に搬送し、ガラス板Gの短辺の第2の研削工程を行う。
なお、(4)の工程のコーナーカットは、カットする寸法が大きい場合のみ行う。コーナーカットについては、第1の研削工程で使用した第1の研削ホイール12a1を使用することができる。なお、研削を行う面取り機と、研磨を行う研磨機とを別の装置としても良い。As described above, according to the glass plate manufacturing method of the present embodiment, the unevenness of the end face of the glass plate G can be sufficiently reduced and the quality of the product can be improved while ensuring the productivity.
In addition, the end
(1) After conveying the glass plate G in the conveyance direction and performing a corner cut, the first grinding process of the long side of the glass plate G is performed, and further the corner cut is performed.
(2) The glass plate G is conveyed in the direction opposite to the conveying direction, and the second grinding step for the long side of the glass plate G is performed.
(3) The glass plate G is rotated by 90 °.
(4) After transporting the glass plate G in the transport direction and performing a corner cut, the first grinding step of the short side of the glass plate is performed, and further the corner cut is performed.
(5) The glass plate G is conveyed in the direction opposite to the conveying direction, and the second grinding step of the short side of the glass plate G is performed.
In addition, the corner cut of the process of (4) is performed only when the dimension to cut is large. For the corner cut, the
(実施例、比較例)
以下、上記の実施形態に基づく実施例と、本実施形態と異なる比較例について説明する。(Examples and comparative examples)
Hereinafter, the Example based on said embodiment and the comparative example different from this embodiment are demonstrated.
実施例においては、上述したように、第1の研削工程、第2の研削工程、及び研磨工程を厚さ0.5mmのガラス板Gの端面に施した。実施例と対比する比較例においては、上記の実施形態における第1の研削ホイール12a1と同様の金属結合剤を用いたダイヤモンドホイールのみを用いて研削を行った後、上述の研磨工程を行った。In the examples, as described above, the first grinding step, the second grinding step, and the polishing step were performed on the end face of the glass plate G having a thickness of 0.5 mm. In the comparative example compared with the examples, the above polishing process was performed after grinding using only the diamond wheel using the same metal binder as the first grinding wheel 12a1 in the above embodiment. .
実施例及び比較例に用いるダイヤモンドホイール12aの外径はいずれも250mmとし、研磨ホイール14bの外径はいずれも150mmとした。また、第1の研削工程における研削ホイール12aの回転速度はいずれも2298rpmとし、第2の研削工程における研削ホイール12aの回転速度は3000rpmとし、研磨工程における研磨ホイール14bの回転速度はいずれも2500rpmとした。第1の研削工程で用いるダイヤモンドホイールのダイヤモンド砥粒の粒度は、実施例においては♯400、比較例においては♯500とし、金属結合剤はいずれも鉄系の結合剤を用いた。第2の研削工程で用いるダイヤモンドホイールのダイヤモンド砥粒の粒度は、♯400とし、樹脂結合剤はエポキシ系の結合剤を用いた。研磨工程で用いる砥粒はSiCを用い、その粒度は♯400とし、柔軟性及び弾性を有する樹脂結合剤はポリウレタン系の結合剤を用いた。この条件で、ガラス板の端面の研削及び研磨を行った。また、実施例では、ガラス板の搬送速度を第1の研削工程において10m/分とし、第2の研削工程において15m/分とし、研磨工程において20m/分とした。比較例では、ガラス板の搬送速度を、研削工程において7m/分とし、研磨工程において研磨工程において20m/分とした。
The outer diameter of the
このとき、ガラス板の端面の研削量は、実施例の第1の研削工程において40μm〜60μm、比較例の研削工程においては90μm〜110μmであった。その後、実施例で行った第2の研削工程ではガラス板の端面の研削量は、10μm〜30μmであった。
実施例及び比較例では、その後、上記の実施形態における研磨ホイール14bと同様の研磨ホイールを用いて研磨を行った。At this time, the grinding amount of the end surface of the glass plate was 40 μm to 60 μm in the first grinding process of the example, and 90 μm to 110 μm in the grinding process of the comparative example. Then, in the 2nd grinding process performed in the Example, the grinding amount of the end surface of a glass plate was 10 micrometers-30 micrometers.
In the examples and comparative examples, thereafter, polishing was performed using a polishing wheel similar to the
すなわち、上記実施例では、ガラス板の端面の研削を、メタルボンドダイヤモンドホイールによる研削と、レジンボンドダイヤモンドホイールによる研削の二段階で行った後、研削後のガラス板の端面を研磨した。これに対して、上記比較例では、板ガラスの端面の研削を、メタルボンドダイヤモンドホイールによる研削のみで行った後、研削後のガラス板の端面を研磨した点で、上記の実施例と異なっている。 That is, in the said Example, after grinding the end surface of a glass plate in two steps, grinding with a metal bond diamond wheel and grinding with a resin bond diamond wheel, the end surface of the glass plate after grinding was grind | polished. On the other hand, in the comparative example, after grinding the end face of the plate glass only by grinding with a metal bond diamond wheel, the end face of the glass plate after grinding is polished. .
比較例においては、ガラス板の表裏面(主表面)に垂直な方向から端面を撮影したSide Viewの写真に欠けが見られた。また、ガラス板の表裏面に平行な方向から、5倍及び20倍の倍率で端面を撮影したFront Viewの写真では、比較的大きな凹部が形成されていた。 In the comparative example, a chip was seen in the Side View photograph in which the end face was taken from the direction perpendicular to the front and back surfaces (main surface) of the glass plate. Further, in the Front View photograph in which the end face was photographed at a magnification of 5 times and 20 times from the direction parallel to the front and back surfaces of the glass plate, a relatively large recess was formed.
実施例においては、ガラス板の表裏面に垂直な方向から端面を撮影したSide Viewの写真に欠けは見られなかった。また、ガラス板の表裏面に平行な方向から、5倍及び20倍の倍率で端面を撮影したFront Viewでは、比較例と比較して凹部が浅く小さくなり、端面の平滑性が向上していた。 In the examples, no chipping was observed in the side view photograph taken from the direction perpendicular to the front and back surfaces of the glass plate. Further, in Front View in which the end face was photographed at a magnification of 5 times and 20 times from the direction parallel to the front and back surfaces of the glass plate, the concave portion was shallower and smaller than the comparative example, and the smoothness of the end face was improved. .
上記実施例に基づく研削及び研磨を行ったガラス板の端面のパーティクルの量と、上記比較例に基づく研削及び研磨を行ったガラス板の端面のパーティクルの量と、を測定して比較した。パーティクルの量の測定は、ガラス板の端面を、吸引器を有するパーティクルカウンターを用いて吸引することにより行った。具体的には、ガラス板の端面に、このガラス板より軟質の擦り取り部材を押し当てながらスライドさせることにより、ガラス板の端面に摩擦を加えて端面のパーティクルを擦り取り、その擦り取ったパーティクルを吸引して、パーティクルカウンタでその数を計数することにより、ガラス板端面のパーティクルを測定した。このような測定方法は、例えば特開2010−230646号公報に詳細に記載されている。上記実施例のサンプルでは、上記比較例のサンプルと比較して、パーティクルの量がおよそ30%低下した。 The amount of particles on the end face of the glass plate subjected to grinding and polishing based on the above example and the amount of particle on the end face of the glass plate subjected to grinding and polishing based on the above comparative example were measured and compared. The amount of particles was measured by sucking the end surface of the glass plate using a particle counter having a suction device. Specifically, by sliding against the end face of the glass plate while pressing a soft scraping member softer than the glass plate, the end face of the glass plate is rubbed to scrub particles on the end face, and the scraped particles The particles on the end face of the glass plate were measured by sucking and counting the number with a particle counter. Such a measuring method is described in detail in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-230646. In the sample of the above example, the amount of particles was reduced by about 30% compared to the sample of the comparative example.
上記実施例に基づく研削及び研磨を行ったガラス板の端面のJIS B 0601-1982に規定された算術平均粗さRaと、上記比較例に基づく研削及び研磨を行ったガラス板の端面の算術平均粗さRaと、を比較した。上記実施例のサンプルではRaが0.05μm前後であり、上記比較例のサンプルと比較して、Raがおよそ37%低下した。なお、算術平均粗さRaは、株式会社東京精密製、粗さ測定器、サーフコム(商品名)を用いて測定した結果である。なお、最大高さRmaxについても同様の方法で測定している。 The arithmetic average roughness Ra specified in JIS B 0601-1982 of the end face of the glass plate subjected to grinding and polishing based on the above examples, and the arithmetic average of the end face of the glass plate subjected to grinding and polishing based on the above comparative examples The roughness Ra was compared. In the sample of the above example, Ra was around 0.05 μm, and Ra was reduced by about 37% compared to the sample of the above comparative example. In addition, arithmetic mean roughness Ra is the result measured using the Tokyo Seimitsu Co., Ltd. product, a roughness measuring device, and Surfcom (brand name). Note that the maximum height Rmax is also measured by the same method.
上記実施例に基づく研削及び研磨を行ったガラス板と上記比較例に基づく研削及び研磨を行ったガラス板の曲げ強度を比較した。実施例のガラス板のサンプルにおいて、比較例のガラス板のサンプルよりも0.1%破損率が5〜10Mpa程度向上し、ガラス板の機械的強度が向上したことが確認できた。ガラス板の曲げ強度は4点曲げ試験により測定した。 The bending strength of the glass plate which performed grinding and grinding | polishing based on the said Example and the glass plate which performed grinding and grinding | polishing based on the said comparative example was compared. In the sample of the glass plate of the Example, it was confirmed that the 0.1% breakage rate was improved by about 5 to 10 Mpa and the mechanical strength of the glass plate was improved as compared with the sample of the glass plate of the comparative example. The bending strength of the glass plate was measured by a 4-point bending test.
以上、本発明のガラス板の製造方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよい。 As mentioned above, although the manufacturing method of the glass plate of this invention was demonstrated in detail, this invention is not limited to the said embodiment, You may make a various improvement and change in the range which does not deviate from the main point of this invention.
以上、本発明のガラス板の製造方法及びガラス板について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。 As mentioned above, although the manufacturing method and glass plate of the glass plate of this invention were demonstrated in detail, this invention is not limited to the said embodiment, Even if it is variously improved and changed in the range which does not deviate from the main point of this invention. Of course it is good.
10 端面加工処理ライン
12 第1面取り機
12a 第2面取り機
12a1,14a1 第1の研削ホイール
12a2,14a2 第2の研削ホイール
12b,14b 研磨ホイール
14 第2面取り機
14a ダイヤモンドホイール
16 コーナーカット機
16a コーナーカット用ダイヤモンドホイール
18 反転機10 end
本発明の一態様は、ガラス板の製造方法である。当該製造方法は、
ガラス板の端面を研削する工程と、
研削後の前記ガラス板の端面を研磨する工程と、を含む。
前記ガラス板の端面を研削する工程は、
砥粒を第1の結合剤で固めた第1の研削ホイールを用いて前記ガラス板の端面を研削する第1の研削工程と、
前記第1の研削工程の後、砥粒を前記第1の結合剤よりも硬度及び剛性が低い第2の結合剤で固めた第2の研削ホイールを用いて前記ガラス板の端面を研削する第2の研削工程と、を有する。
また、本発明の他の一態様は、ガラス板の製造方法である。当該製造方法は、
ガラス板の端面を研削する工程と、
研削後の前記ガラス板の端面を研磨する工程と、を含む。
前記ガラス板の端面を研削する工程は、
砥粒を第1の結合剤で固めた第1の研削ホイールを用いて前記ガラス板の端面を研削する第1の研削工程と、
前記第1の研削工程の後、砥粒を前記第1の結合剤よりも硬度及び剛性が低い第2の結合剤で固めた第2の研削ホイールを用いて前記ガラス板の端面を研削する第2の研削工程と、を有し、
前記ガラス板を搬送しながら前記第1の研削工程、前記第2の研削工程、及び前記ガラス板を研磨する工程を行い、
前記第2の研削工程における前記ガラス板の搬送方向が、前記第1の研削工程における前記ガラス板の搬送方向と逆方向である。
One embodiment of the present invention is a method for manufacturing a glass plate. The manufacturing method is
Grinding the end face of the glass plate;
Polishing the end face of the glass plate after grinding.
The step of grinding the end face of the glass plate,
A first grinding step of grinding an end face of the glass plate using a first grinding wheel in which abrasive grains are hardened with a first binder;
After the first grinding step, the grinding the end face of the glass plate using the second grinding wheel hardness and rigidity than the abrasive grains first binding agent is encased in a lower second
Another embodiment of the present invention is a method for producing a glass plate. The manufacturing method is
Grinding the end face of the glass plate;
Polishing the end face of the glass plate after grinding.
The step of grinding the end face of the glass plate,
A first grinding step of grinding an end face of the glass plate using a first grinding wheel in which abrasive grains are hardened with a first binder;
After the first grinding step, the end face of the glass plate is ground using a second grinding wheel in which abrasive grains are hardened with a second binder having hardness and rigidity lower than those of the first binder. 2 grinding processes,
Performing the first grinding step, the second grinding step, and the step of polishing the glass plate while conveying the glass plate;
The conveyance direction of the glass plate in the second grinding step is opposite to the conveyance direction of the glass plate in the first grinding step.
さらに、本発明のさらに他の一態様は、ディスプレイ用ガラス基板の製造方法である。当該製造方法は、
ガラス基板の端面を研削して前記端面を曲率のついた凸形状に研削する工程と、
研削後の前記ガラス基板の端面を実質的に形状変化させることなく研磨する工程と、
を含む。
前記ガラス基板の端面を研削する工程は、
砥粒を第1の結合剤で固めた第1の研磨ホイールを用いて、前記ガラス基板の端面をJISB0601−1982で規定される最大高さRmaxが10μm以上かつ18μm以下になるよう研削する第1の研削工程と、
前記第1の研削工程の後、砥粒を前記第1の結合剤よりも硬度及び剛性が低い第2の結合剤で固めた第2の研削ホイールを用い、前記第2の研削ホイールによる研削量が10μm以上かつ30μm以下となるように研削する第2の研削工程と、
を有する。
Furthermore, another one aspect | mode of this invention is a manufacturing method of the glass substrate for displays. The manufacturing method is
Grinding the end face of the glass substrate and grinding the end face into a convex shape with a curvature;
Polishing without substantially changing the shape of the end face of the glass substrate after grinding;
including.
The step of grinding the end surface of the glass substrate,
A first polishing wheel in which abrasive grains are hardened with a first binder is used to grind the end surface of the glass substrate so that the maximum height Rmax defined in JIS B0601-1982 is 10 μm or more and 18 μm or less. Grinding process of
After the first grinding step, using a second grinding wheel in which abrasive grains are hardened with a second binder having lower hardness and rigidity than the first binder, the amount of grinding by the second grinding wheel There a second grinding step of grinding so that 10μm or more and 30μm or less,
Have
Claims (18)
ガラス板の端面を研削する工程と、
研削後の前記ガラス板の端面を研磨する工程と、を含み、
前記ガラス板の端面を研削する工程は、
砥粒を第1の結合剤で固めた第1の研削ホイールを用いて前記ガラス板の端面を研削する第1の研削工程と、
前記第1の研削工程の後、砥粒を前記第1の結合材よりも硬度及び剛性が低い第2の結合剤で固めた第2の研削ホイールを用いて前記ガラス板の端面を研削する第2の研削工程と、
を有するガラス板の製造方法。A method of manufacturing a glass plate,
Grinding the end face of the glass plate;
Polishing the end face of the glass plate after grinding, and
The step of grinding the end face of the glass plate,
A first grinding step of grinding an end face of the glass plate using a first grinding wheel in which abrasive grains are hardened with a first binder;
After the first grinding step, the end face of the glass plate is ground using a second grinding wheel in which abrasive grains are hardened with a second binder having lower hardness and rigidity than the first binder. 2 grinding processes;
The manufacturing method of the glass plate which has this.
請求項1に記載のガラス板の製造方法。The first binder is a metal binder and the second binder is a resin binder;
The manufacturing method of the glass plate of Claim 1.
前記第2の研削工程において、前記ガラス板の端面は前記最大高さRmaxが4μm以上かつ8μm以下になるように研削される、
請求項1または2に記載のガラス板の製造方法。In the first grinding step, the end face of the glass plate is ground so that the maximum height Rmax defined in JIS B 0601-1982 is 10 μm or more and 18 μm or less,
In the second grinding step, the end face of the glass plate is ground so that the maximum height Rmax is 4 μm or more and 8 μm or less.
The manufacturing method of the glass plate of Claim 1 or 2.
請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラス板の製造方法。In the step of polishing the glass plate, the end surface of the glass plate is polished so that the maximum height Rmax is less than 4 μm.
The manufacturing method of the glass plate of any one of Claims 1-3.
前記第2の研削工程における前記ガラス板の端面の研削量が、10μm以上かつ30μm以下である、
請求項1〜4のいずれか1項に記載のガラス板の製造方法。The grinding amount of the end face of the glass plate in the first grinding step is 40 μm or more and 60 μm or less,
The grinding amount of the end face of the glass plate in the second grinding step is 10 μm or more and 30 μm or less.
The manufacturing method of the glass plate of any one of Claims 1-4.
前記第2の研削工程における前記ガラス板の搬送方向が、前記第1の研削工程における前記ガラス板の搬送方向と逆方向である、
請求項1〜7のいずれか1項に記載のガラス板の製造方法。Performing the first grinding step, the second grinding step, and the step of polishing the glass plate while conveying the glass plate;
The conveyance direction of the glass plate in the second grinding step is opposite to the conveyance direction of the glass plate in the first grinding step.
The manufacturing method of the glass plate of any one of Claims 1-7.
前記第2の研削ホイールが前記ガラス板と接触する点における前記第2の研削ホイールの回転方向は、前記ガラス板の搬送方向と同じ方向である、
請求項8に記載のガラス板の製造方法。The rotation direction of the first grinding wheel at the point where the first grinding wheel contacts the glass plate is a direction opposite to the conveying direction of the glass plate,
The rotation direction of the second grinding wheel at the point where the second grinding wheel contacts the glass plate is the same direction as the conveying direction of the glass plate.
The manufacturing method of the glass plate of Claim 8.
請求項8または9に記載のガラス板の製造方法。The conveyance speed of the glass plate is 10 m / min or more.
The manufacturing method of the glass plate of Claim 8 or 9.
請求項10に記載のガラス板の製造方法。The conveyance speed of the glass plate in the second grinding step is 15 m / min or more.
The manufacturing method of the glass plate of Claim 10.
前記第1の研削ホイールの砥粒の粒度が、前記第2の研削ホイールの砥粒の粒度と等しいか又はそれよりも粗い、
請求項1〜11のいずれか1項に記載のガラス板の製造方法。The abrasive grains of the first grinding wheel and the second grinding wheel are diamond abrasive grains,
The grain size of the abrasive grains of the first grinding wheel is equal to or coarser than the grain size of the abrasive grains of the second grinding wheel;
The manufacturing method of the glass plate of any one of Claims 1-11.
請求項1〜12のいずれか1項に記載のガラス板の製造方法。In the step of polishing the glass plate, binders grinding wheel for polishing the end face of the glass sheet is foamed elastic material, abrasive SiC, Al 2 O 3, or one or more materials selected from CeO 2 Formed by,
The manufacturing method of the glass plate of any one of Claims 1-12.
前記ガラス板は、ダウンドロー法又はフロート法により成形される、
請求項1〜13のいずれか1項に記載のガラス板の製造方法。The glass plate is used for a substrate of a display device of a flat panel display, or a cover glass of a display screen of an electronic device,
The glass plate is formed by a downdraw method or a float method,
The manufacturing method of the glass plate of any one of Claims 1-13.
前記ガラス板の端面の断面形状は曲率のついた凸形状に形成され、
前記ガラス板の端面の、JIS B 0601-1982で規定される最大高さRmaxが4μm未満であり、JIS B 0601-1982で規定される算術平均粗さRaが0.06μm以下である、
ガラス板。It is the glass plate manufactured by the manufacturing method of the glass plate of any one of Claims 1-14,
The cross-sectional shape of the end face of the glass plate is formed into a convex shape with a curvature,
The maximum height Rmax specified by JIS B 0601-1982 of the end face of the glass plate is less than 4 μm, and the arithmetic average roughness Ra specified by JIS B 0601-1982 is 0.06 μm or less.
Glass plate.
ガラス基板の端面を研削して前記端面を曲率のついた凸形状に研削する工程と、
研削後の前記ガラス基板の端面を実質的に形状変化させることなく研磨する工程と、
を含み、
前記ガラス基板の端面を研削する工程は、
砥粒を第1の結合剤で固めた第1の研磨ホイールを用いて、前記ガラス基板の端面をJISB0601−1982で規定される最大高さRmaxが10μm以上かつ18μm以下になるよう研削する第1の研削工程と、
前記第1の研削工程の後、砥粒を前記第1の結合剤よりも硬度及び剛性が低い第2の結合剤で固めた第2の研削ホイールを用い、前記第2の研削ホイールによる研削量を、前記Rmaxとして測定された数値以上とする第2の研削工程と、
を有するディスプレイ用ガラス基板の製造方法。A method for producing a glass substrate for a display, comprising:
Grinding the end face of the glass substrate and grinding the end face into a convex shape with a curvature;
Polishing without substantially changing the shape of the end face of the glass substrate after grinding;
Including
The step of grinding the end surface of the glass substrate,
A first polishing wheel in which abrasive grains are hardened with a first binder is used to grind the end surface of the glass substrate so that the maximum height Rmax defined in JIS B0601-1982 is 10 μm or more and 18 μm or less. Grinding process of
After the first grinding step, using a second grinding wheel in which abrasive grains are hardened with a second binder having lower hardness and rigidity than the first binder, the amount of grinding by the second grinding wheel A second grinding step in which the value is equal to or greater than the value measured as Rmax;
A method for producing a glass substrate for a display.
請求項16に記載のディスプレイ用ガラス基板の製造方法。The grinding amount of the end face of the glass plate in the second grinding step is 10 μm or more and 30 μm or less.
The manufacturing method of the glass substrate for displays of Claim 16.
請求項16または17に記載のディスプレイ用ガラス基板の製造方法。
The glass substrate has a thickness of 0.25 mm to 0.7 mm.
The manufacturing method of the glass substrate for displays of Claim 16 or 17.
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