JPWO2013088927A1 - 圧電配向セラミックスおよび圧電アクチュエータ - Google Patents

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Abstract

結晶相がペロブスカイト構造を有し、圧電特性、特に、電気機械結合係数kや圧電d定数が従来の圧電配向セラミックスよりも良好な圧電配向セラミックスおよび圧電アクチュエータを提供する。
ペロブスカイト構造である圧電配向セラミックスにおいて、ペロブスカイト構造における<100>軸の配向度をLotgering法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の端面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における<100>配向方向として、圧電配向セラミックスとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とのなす角が、30°以上75°以下の角度であることを特徴とする、圧電配向セラミックス、およびこの圧電配向セラミックスを用いた圧電アクチュエータである。

Description

この発明は、ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスおよび圧電アクチュエータに関する。
従来、誘電体材料や圧電体材料として、ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスが使用されている。これらのペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスにおいては、その結晶を配向させることによって、圧電配向セラミックスの電気特性が向上することが知られている。
ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスの製造方法として、たとえば、特許文献1に記載の技術が提案されている。特許文献1に記載された技術は、ペロブスカイト構造を有する主成分100molに対して5mol以下(ただし0molを除く)の割合で含有される副成分とを含み、該副成分として、たとえば3d元素を含む仮焼粉末を溶媒と混合して作製したスラリーを磁場中で成形しようとする圧電配向セラミックスの製造方法である。
特開2008−037064号公報
しかしながら、特許文献1に記載のペロブスカイト構造を有する主成分100molに対して副成分5molとした圧電配向セラミックスでは、配向した圧電配向セラミックスが得られるが、十分な電気機械結合係数kが得られないため、たとえば、センサーに使用した場合の感度や、圧電トランスに使用した場合の変換効率が低いという問題があった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、結晶相がペロブスカイト構造を有し、圧電特性、特に、電気機械結合係数kや圧電d定数が従来の圧電配向セラミックスよりも良好な圧電配向セラミックスおよび圧電アクチュエータを提供することである。
この発明にかかる圧電配向セラミックスは、ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスにおいて、ペロブスカイト構造における<100>軸の配向度をLotgering法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における<100>配向方向として、圧電配向セラミックスとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とペロブスカイト構造における<100>配向方向とのなす角が30°以上75°以下の角度であることを特徴とする、圧電配向セラミックスである。
また、この発明にかかる圧電アクチュエータは、ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスからなる素子を含む圧電アクチュエータにおいて、圧電配向セラミックスは、ペロブスカイト構造におけるペロブスカイト構造における<100>軸の配向度をLotgering法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における<100>配向方向として、圧電アクチュエータとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とペロブスカイト構造における<100>配向方向とのなす角が、30°以上75°以下の角度であることを特徴とする、圧電アクチュエータである。
この発明にかかる圧電配向セラミックスによれば、ペロブスカイト構造である圧電配向セラミックスにおいて、ペロブスカイト構造における<100>軸の配向度をLotgering法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における<100>配向方向として、圧電配向セラミックスとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とペロブスカイト構造における<100>配向方向とのなす角が、30°以上75°以下の角度であるので、電気機械結合係数kや圧電d定数が従来の圧電配向セラミックスより良好な圧電配向セラミックスを得ることができる。
また、この発明にかかる圧電アクチュエータによれば、ペロブスカイト構造である圧電配向セラミックスからなる圧電アクチュエータにおいて、圧電配向セラミックスが、ペロブスカイト構造における<100>軸の配向度をLotgering法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における<100>配向方向として、圧電アクチュエータとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とペロブスカイト構造における<100>配向方向とのなす角が、30°以上75°以下の角度であるので、良好な圧電d定数を有する圧電アクチュエータを得ることができる。
この発明の上述の目的,その他の目的,特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。
無配向セラミックスの概念図である。 配向セラミックスの概念図であり、(a)は、配向セラミックスの焼結体の長手方向と配向方向とのなす角が直角の場合であり、(b)は、配向セラミックスの焼結体の長手方向と配向方向とのなす角が45°の場合である。なお、この概念図のセラミックスにおいて、振動方向は、配向セラミックスの焼結体の長手方向とする。 圧電配向セラミックスの素子の振動方向と配向方向とのなす角を示す説明図である。 本発明にかかる圧電配向セラミックスにおいて推定されるメカニズムの説明図である。 本発明にかかる圧電アクチュエータ素子の一実施形態の外観図である。 本発明にかかる圧電アクチュエータ素子の一実施形態のA−A断面図解図である。 本発明にかかる圧電アクチュエータ素子の振動方向と磁場印加方向との関係を示す説明図である。 得られた圧電配向セラミックスの焼結体の所定の断面におけるXRDチャートである。
本発明にかかる圧電配向セラミックスおよびその圧電配向セラミックスを用いた圧電アクチュエータの一実施の形態について説明する。
(圧電配向セラミックス)
本発明に係る圧電配向セラミックスは、ペロブスカイト構造である圧電配向セラミックスである。また、この圧電配向セラミックスは、Pb((Ti1-xZrx1-y(Ma1/3Mb2/3y)O3系化合物で表され、MaとしてはNi,Mn,Fe,Co,Zn,Sn,Mgの少なくとも1種類、MbとしてはNb,Sb,Wの少なくとも1種類である化合物、またはPb((Ti1-xZrx1-y(Cr1/2Mb1/2y)O3系化合物で表され、MbとしてはNb,Sb,Wの少なくとも1種類である化合物、たとえば、Pb((Ti1-xZrx1-y(Ni1/3Nb2/3y)O3(PNN−PZT)系化合物を主成分とする。
また、本発明に係る圧電配向セラミックスの所定の断面におけるX線回折(XRD)パターンに基づいて、ペロブスカイト構造における<100>に配向している、圧電配向セラミックスである。なお、本発明にかかる圧電配向セラミックスが、<100>の方向に配向していることは、圧電配向セラミックスの所定の断面におけるX線回折(XRD)パターンに基づいて、Lotgering(ロットゲーリング)法により算出され、ペロブスカイト構造における<100>軸の配向度をLotgering法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における<100>配向方向とする。
そして、本発明に係る圧電配向セラミックスは、そのペロブスカイト構造における<100>配向方向と、圧電配向セラミックスとして主として使用する振動方向とのなす角が、30°以上75°以下である。
ここで、振動方向は、本発明に係る圧電配向セラミックスを使用する用途によって、たとえば、次のように定義される。すなわち、振動方向とは、用途がセラミックスの振動を直接利用するアクチュエータであれば、素子の伸縮方向であり、たわみ振動を利用する用途であれば、振動の直交方向であり、圧電トランスなどのように大きな伸縮が現れない用途であれば、利用している主要な振動モードから、例えば、K31振動モードをする用途であれば、分極方向と直交する方向である。
また、ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスにおいて、ペロブスカイト構造における<100>配向方向と、圧電配向セラミックスとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とのなす角が、30°以上75°以下の角度とすると、圧電配向セラミックスにおける電気機械結合係数kは向上するが、その向上について推定される理由(メカニズム)について、図1ないし図4により説明される。
図1は、無配向セラミックスの概念図である。図2は、配向セラミックスの概念図であり、(a)は、配向セラミックスの焼結体の長手方向とペロブスカイト構造における<100>配向方向とのなす角が直角の場合であり、(b)は、配向セラミックスの焼結体の長手方向とペロブスカイト構造における<100>配向方向とのなす角が45°の場合である。なお、この概念図の配向セラミックスにおいて、振動方向は配向セラミックスの焼結体の長手方向とする。また、図3は、圧電配向セラミックスの素子の振動方向と配向方向とのなす角を示す説明図であり、図4は、本発明にかかる圧電配向セラミックスにおいて推定されるメカニズムの説明図である。
まず、図1に示すように、配向していないセラミックスの焼結体において、ペロブスカイト構造の結晶は、ランダムな向きをとっている。これに対し、図2に示すように、配向したセラミックスの焼結体において、ペロブスカイト構造の結晶は、たとえば、<100>方向が同一の方向に向いて並んでおり、この方向を法線とする断面において配向度をLotgering法により求めると、他の方向を法線とする断面よりも高い配向度が得られる。このセラミックスに、図3において示すように、長軸および短軸に沿って延びる一方面と該一方面に対向する他方面に電極を形成し、この電極間に電圧を印加してセラミックスに分極処理を施す。分極処理後、電極間に駆動電圧を印加すると、図4において示すように、セラミックス内のペロブスカイト構造の結晶のすべりモードに相当する変位が、素子長手方向の変位として得られる。このことによって、大きな電気機械結合係数kや大きな圧電d定数が得られると考えられる。
したがって、本発明にかかる圧電配向セラミックスによれば、圧電特性、特に、電気機械結合係数kや圧電d定数が従来の圧電配向セラミックスより良好な圧電配向セラミックスを得ることができる。
(圧電アクチュエータ)
次に、本発明にかかる圧電アクチュエータの一実施の形態について説明する。
図5は、この発明にかかる圧電アクチュエータ素子の一例を示す外観図である。図6は、この発明にかかる圧電アクチュエータ素子の一例のA−A断面図解図である。図7は、この発明にかかる圧電アクチュエータ素子の振動方向(矢印Bで示す方向)とペロブスカイト構造における<100>配向方向(矢印Dで示す方向)との関係を示した図である。
図5に示す圧電アクチュエータ素子10は、直方体状の圧電セラミック素体12と、該圧電セラミック素体12の表面に形成される外部電極14a及び外部電極14bと、該圧電セラミック素体12の内部に形成される内部電極16とを含む。
圧電セラミック素体12は、たとえば、三成分系PZT(Pb((Ti1-xZrx1-y)((MaaMbby)O3)化合物を主成分とするペロブスカイト構造の圧電配向セラミックスからなる2層のセラミック層18a、18bを含む。これらのセラミック層18a、18bは、積層され、セラミック層18a、18bの間には、たとえばAgからなる内部電極16が形成される。この場合、内部電極16は、一端部が圧電セラミック素体12の一端部に延びて形成される。圧電アクチュエータ素子10の分極方向は、内部電極16面に対し垂直方向とされ、セラミック層18a、セラミック層18b毎に互いに逆方向(矢印Cで示す方向)に分極されている。
圧電セラミック素体12の一端面には、たとえばCuからなる外部電極14aが内部電極16に電気的に接続されるように形成される。また、圧電セラミック素体12の上面の一部、他端面および下面の一部には、たとえばCuからなる外部電極14bが形成される。
圧電アクチュエータ素子10は、外部電極14aと外部電極14bとの間に電圧が印加されると、矢印Bで示す長手方向(z軸方向)に伸縮する。図3に示すように、セラミック層18a、18bにおけるペロブスカイト構造における<100>配向方向(矢印Dで示す方向)は、矢印Bで示す振動方向に対して、なす角θを有している。このなす角θは、30°以上75°以下に形成されるのが好ましい。
本発明にかかる圧電アクチュエータによれば、圧電特性、特に、圧電d定数の良好な圧電アクチュエータを得ることができる。
次に、本発明に係る圧電配向セラミックスおよびその圧電配向セラミックスを用いた圧電アクチュエータの効果を確認するために行った実験例について以下に説明する。
圧電配向セラミックスは、以下に記載の作製方法により作製された。
まず、酸化鉛、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ニッケルおよび酸化ニオブなどの素原料が、組成としてPb((Ti1-xZrx1-y(Ni1/3Nb2/3y)O3(ここで、(1−x)/x=1.2,y=0.27)となるように調合された。
次に、上記の記載のとおり調合されたものは、水を溶媒としてボールミルにより混合撹拌され、素原料混合スラリーが得られた。得られた素原料混合スラリーを乾燥したものは、900℃で仮焼され、仮焼粉末が得られた。続いて、得られた仮焼粉末とKClとは、重量比で1:1となるように混合され、アルミナるつぼ中で1000℃、12時間熱処理して室温まで冷却した後、KClを水洗除去して、組成物粉末として、Pb((Ti1-xZrx1-y(Ni1/3Nb2/3y)O3のフラックス中で熱処理した粉末が得られた。
次に、得られたフラックス中で熱処理した粉末を25g取り出し、このフラックス中で熱処理した粉末100重量部に対し、分散剤1.5重量部、純水40重量部を加えて8時間ボールミル混合され、組成物粉末スラリーが得られた。
次に、得られた組成物粉末スラリーは、10Tの磁場中で成形することにより、成形体が得られた。得られた成形体は、焼成温度1150℃、トップ温度での保持時間3時間の条件で焼成され、圧電配向セラミックスにかかる焼結体が得られた。得られた焼結体は、磁場印加方向に平行に、ペロブスカイト構造における<100>方向に配向しており、Lotgering法により測定された配向度は、80%であった。
また、得られた圧電配向セラミックスを評価するために、以下のように、圧電配向セラミックスの素子を作製した。
得られた焼結体から長軸方向8mm、短軸方向3mm、厚み1mmの矩形板を、矩形板の長手方向とペロブスカイト構造における<100>配向方向とのなす角が0°〜90°となるように圧電配向セラミックスの素体を切り出した。なお、圧電配向セラミックスの素体の切り出しは、矩形板の長手方向とペロブスカイト構造における<100>配向方向とのなす角に応じて切り出され、表1に示すように、試料1ないし試料9が得られた。
そして、切り出した圧電配向セラミックスの素体における長軸および短軸に沿って延びる一方面と該一方面に対向する他方面とに、たとえば、Agペーストを塗布して焼き付けてAg電極を形成し、試料1ないし試料9にかかる圧電配向セラミックスの素子が得られた。
なお、比較のために、上記の方法により得られた組成物粉末スラリーに対して無磁場により成形することにより成形体が得られた。この得られた成形体は、焼成温度1150℃、トップ温度での保持時間3時間の条件で焼成され、焼結体が得られた。この焼結体は配向していなかった。この焼結体から長軸方向8mm、短軸方向3mm、厚み1mmの矩形板の素体を切り出し、試料10の素体が得られた。また、切り出された試料10の素体における長軸および短軸に沿って延びる一方面と該一方面に対向する他方面とに、たとえば、Agペーストを塗布して焼き付けてAg電極を形成し、試料10にかかる圧電セラミックスの素子が得られた。
次に、得られた圧電配向セラミックスの素子について、以下のようにして評価した。
試料1ないし試料10の素子を80℃のシリコンオイル中で厚み方向に3kV/mmの直流電圧を10分間印加して分極処理した上で、電気機械結合係数k31等の各種圧電特性を測定した。なお、各種圧電特性は、「圧電セラミック振動子の電気的試験方法」(EMAS−6100)において規定されている測定方法により測定し、矩形振動子の長辺方向振動について、インピーダンスアナライザ(ヒューレット・パッカード社製)を使用して、共振・反共振法により測定した。
表1は、得られた試料1ないし試料10の圧電d33定数、電気機械結合係数k31、機械的品質係数Qm、比誘電率ε33 T/ε0、弾性定数S11 Eおよび微小電界での圧電d31定数の測定結果を示す。試料番号欄の「*」は、本発明の範囲外の比較例であることを示す。
Figure 2013088927
良好か否かの判定基準は、電気機械結合係数k31が39%以上である試料について、良好な電気機械結合係数k31が得られていると判定した。表1によると、ペロブスカイト構造における<100>配向方向と、圧電配向セラミックの素子の振動方向とのなす角が、30°以上75°以下の試料では、電気機械結合係数k31がいずれも39%以上と良好な圧電特性が得られている。特に、45°の試料5は、試料中において最も高い44.3%の電気機械結合係数k31が得られた。
一方、試料10に示すように、無磁場品の試料にかかる素子やペロブスカイト構造における<100>配向方向と、圧電配向セラミックの素子の振動方向とのなす角が、0°、15°および90°の試料にかかる素子では、電気機械結合係数k31が39%未満と低く、良好な圧電特性が得られなかった。
次に、圧電アクチュエータ素子は、以下に記載の作製方法により作製された。
まず、酸化鉛、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ニッケルおよび酸化ニオブなどの素原料が、組成としてPb((Ti1-xZrx1-y(Ni1/3Nb2/3y)O3(ここで、(1−x)/x=1.2,y=0.27)となるように調合された。
次に、上記の記載のとおり調合されたものは、水を溶媒としてボールミルにより混合撹拌され、素原料スラリーが得られた。得られた素原料スラリーを乾燥したものは、900℃で仮焼され、組成物粉末として、仮焼粉末が得られた。続いて、得られた仮焼粉末とKClとは、重量比で1:1となるように混合され、アルミナるつぼ中で1000℃、12時間熱処理して室温まで冷却した後、KClを水洗除去して、組成物粉末として、Pb((Ti1-xZrx1-y(Ni1/3Nb2/3y)O3のフラックス中で熱処理した粉末が得られた。
次に、得られたフラックス中で熱処理した粉末を25g取り出し、このフラックス中で熱処理した粉末100重量部に対し、分散剤1.5重量部、純水40重量部を加えて8時間ボールミル混合され、組成物粉末スラリーが得られた。
次に、得られた組成物粉末スラリーは、10Tの磁場中でシート成形することにより、ペロブスカイト構造における<100>方向に配向したグリーンシートが得られた。そして、磁場印加しながら成形することにより、グリーンシートに含まれるペロブスカイト構造の結晶は、磁場印加方向に平行に<100>方向に配向した。そして、この配向方向と振動方向とのなす角は、図7のθで表される。なす角θは、表2に示すように、0°から90°の間で変化させた。
この得られたグリーンシートの一方主面に、たとえばAgペーストを塗布し、内部電極16を形成し、所定の大きさに打ち抜いた。そして、内部電極16が一方主面に形成されたグリーンシートと、さらに内部電極が形成されていないグリーンシートとを積層し、厚み方向に圧着した後焼成し、積層体を得た。その後、得られた積層体に、図5に示すように、外部電極14a、14bを形成した。セラミック層18a、18bは、内部電極16を介して、厚み方向に重なるように配置される。そして、作製された積層体は焼成され、その後、分極処理を施し、図5に示すような、圧電アクチュエータ素子10が得られた。なお、圧電アクチュエータ素子10の分極方向は、内部電極16面に対し垂直方向とされ、セラミック層18a、セラミック層18b毎に互いに逆方向(矢印Cで示す方向)に行った。
得られた圧電アクチュエータ素子10は、ペロブスカイト構造における<100>配向方向(矢印Dで示す方向)と、圧電アクチュエータ素子として主として使用する振動方向(矢印Bで示す方向)とのなす角θの変化に対応して、表2に示すように、試料11ないし試料19が作製された。なお、作製された圧電アクチュエータ素子の厚み(図6中のy軸方向)は、200μmであった。
なお、比較のために、上記の方法により得られた組成物粉末スラリーに対して無磁場により成形することによりグリーンシートが得られた。この得られたグリーンシートを用いて、上記の製造方法と同様の方法により、試料20にかかる圧電アクチュエータ素子が得られた。この圧電アクチュエータ素子は配向していなかった。
次に、得られた圧電アクチュエータ素子について、以下のようにして評価した。
試料11ないし試料20の圧電アクチュエータ素子については、圧電d31定数を測定した。すなわち、この圧電アクチュエータ素子を実効電圧10V、周波数1Hzの正弦波電圧で駆動した時の印加電圧と変位量とから、圧電アクチュエータ素子の駆動時の圧電d31定数を測定した。
表2は、得られた試料11ないし試料20の圧電d31定数の測定結果を示す。試料番号欄の「*」は、本発明の範囲外の比較例であることを示す。
Figure 2013088927
良好か否かの判定基準は、圧電d31定数の測定結果が、300pC/N以上である試料について、良好な圧電d31定数が得られていると判定した。表2によると、ペロブスカイト構造における<100>配向方向と、圧電アクチュエータ素子として主として使用する振動方向とのなす角が、30°以上75°以下の試料では、圧電d31定数がいずれも300pC/N以上と良好な圧電特性が得られている。
上述の実施形態では、圧電アクチュエータのセラミック層は2層により形成されているが、これに限るものではなく、多層に形成されてもよい。また、本発明の圧電配向セラミックスを利用したものであれば、例えばセンサ素子などにも利用することができる。
10 圧電アクチュエータ素子
12 圧電セラミック素体
14a、14b 外部電極
16 内部電極
18a、18b セラミック層

Claims (2)

  1. ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスにおいて、
    ペロブスカイト構造における<100>軸の配向度をLotgering法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における<100>配向方向として、
    圧電配向セラミックスとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とペロブスカイト構造における<100>配向方向とのなす角が、30°以上75°以下の角度であることを特徴とする、圧電配向セラミックス。
  2. ペロブスカイト構造を有する圧電配向セラミックスからなる圧電アクチュエータにおいて、
    前記圧電配向セラミックスは、
    ペロブスカイト構造における<100>軸の配向度をLotgering法により算出した場合、圧電セラミックスの所定の断面における配向度が他の断面における配向度と比較して最も高くなる断面の法線方向をペロブスカイト構造における<100>配向方向として、
    圧電アクチュエータとして主として使用する振動モードのうちの少なくとも一つの振動モードについて、その振動方向とペロブスカイト構造における<100>配向方向とのなす角が、30°以上75°以下の角度であることを特徴とする、圧電アクチュエータ。
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