JPWO2013072964A1 - 転写金型の製造方法及びその転写金型 - Google Patents
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Abstract
Description
15 レジスト補強溝
20 パターン化されたフォトレジスト
30 レジスト補強部
35 絶縁層
40 粗面層
50 部品
60 接着剤
70 部品基板
α 側壁の傾斜角度
β 側壁の傾斜角度
Claims (7)
- 金属基板上に、その側壁が所望の角度αを有する部品形状の反転レジストパターンを形成するステップと、
前記反転レジストパターンを熱硬化させるステップと、
電気鋳造により前記金属基板の前記反転レジストパターンを除く場所に金属を電着し、レジスト補強部を形成するステップと、を含むことを特徴とする転写金型の製造方法。 - 金属基板の上部表面に粗面層を形成するステップと、
前記金属基板上に、その側壁が所望の角度αを有する部品形状の反転レジストパターンをパターン形成するステップと、
前記反転レジストパターンを熱硬化させるステップと、
電気鋳造により前記金属基板の前記反転レジストパターンを除く場所に金属を電着し、レジスト補強部を形成するステップと、を含むことを特徴とする転写金型の製造方法。 - 金属基板に、レジスト補強溝を形成するステップと、
前記レジスト補強溝上に、その側壁が所望の角度αを有する部品形状の反転レジストパターンを形成するステップと、
前記反転レジストパターンを熱硬化させるステップと、を含むことを特徴とする転写金型の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の転写金型の製造方法において、
部品が形成される場所を除く前記レジスト補強部上に絶縁層を形成するステップをさらに含むことを特徴とする転写金型の製造方法。 - 請求項3に記載の転写金型の製造方法において、
部品が形成される場所と前記反転レジストパターン上を除く前記金属基板上に絶縁層を形成するステップをさらに含むことを特徴とする転写金型の製造方法。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の転写金型の製造方法により作製されたことを特徴とする転写金型。
- 請求項6に記載の転写金型を用いて電気鋳造により転写製造された部品。
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