JP5231769B2 - 電鋳型、電鋳型の製造方法、時計用部品、および時計 - Google Patents
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Description
本発明に係る第1の実施形態について図1乃至図6に基づいて説明する。図1は、本実施形態に係る電鋳型の例を示す図、図2及び図3は、本実施形態に係る電鋳型の製造方法の例を示す図、図4は、本実施形態に係る電鋳型を用いて作製される円筒状部品の例を示す図、図5及び図6は、図4に示す円筒状部品を本実施形態に係る電鋳型を用いて作製する方法の例を示す図である。
本発明に係る第2の実施形態について図7乃至図9に基づいて説明する。なお、この第2の実施形態においては、第1の実施形態における構成要素と同一の部分については、同一の符号を付しその説明を省略する。図7は、本実施形態に係る電鋳型の例を示す図、図8及び図9は、本実施形態に係る電鋳型の製造方法の例を示す図である。
本発明に係る第3の実施形態について図10乃至図13に基づいて説明する。なお、この第3の実施形態においては、第1および第2の実施形態における構成要素と同一の部分については、同一の符号を付しその説明を省略する。図10は、本実施形態に係る電鋳型の例を示す図、図11は、本実施形態に係る電鋳型の製造方法の例を示す図、図12は、本実施形態に係る電鋳型を用いて作製される円筒状部品の例を示す図、図13は、図12に示す円筒状部品を本実施形態に係る電鋳型を用いて作製する方法の例を示す図である。
本発明に係る第4の実施形態について図14乃至図15に基づいて説明する。なお、この第4の実施形態においては、第1乃至第3の実施形態における構成要素と同一の部分については、同一の符号を付しその説明を省略する。図14は、本実施形態に係る電鋳型の例を示す図、図15は、本実施形態に係る電鋳型の製造方法の例を示す図である。
本発明に係る第5の実施形態について図16乃至図20に基づいて説明する。なお、この第5の実施形態においては、第1乃至第4の実施形態における構成要素と同一の部分については、同一の符号を付しその説明を省略する。図16は、本実施形態に係る電鋳型の例を示す図、図17及び図18は、本実施形態に係る電鋳型の製造方法の例を示す図、図19は、本実施形態に係る電鋳型を用いて作製される円筒状部品の例を示す図、図20は、図19に示す円筒状部品を本実施形態に係る電鋳型を用いて作製する方法の例を示す図である。
なお、電鋳工程において、電鋳物130の厚さ制御が可能である場合、研磨工程を行わなくても良い。
本発明に係る第6の実施形態について図21乃至図22に基づいて説明する。なお、この第5の実施形態においては、第1乃至第5の実施形態における構成要素と同一の部分については、同一の符号を付しその説明を省略する。図21は、本実施形態に係る電鋳型の例を示す図、図22は、本実施形態に係る電鋳型の製造方法の例を示す図である。
本発明に係る第7の実施形態について図23乃至図25に基づいて説明する。なお、この第7の実施形態においては、第1乃至第6の実施形態における構成要素と同一の部分については、同一の符号を付しその説明を省略する。図23は、本実施形態に係る電鋳型の例を示す図、図24は、本実施形態に係る電鋳型の製造方法の例を示す図、図25は、本実施形態に係る電鋳型を用いて作製される円筒状部品の例を示す図、図26は、図25に示す円筒状部品を本実施形態に係る電鋳型を用いて作製する方法の例を示す図である。
なお、電鋳工程において、電鋳物140の厚さ制御が可能である場合、研磨工程を行わなくても良い。
部品14を得る。電鋳物140の取り出しは、不溶部301および不溶部601を有機溶剤で溶かしたり、電鋳物140に基板100から分離するような力を加えて物理的に引きはがしてもよい。また、型を再利用しない場合は型を破壊して電鋳物140を取り出しても良い。
本発明に係る第8の実施形態について図27乃至図29に基づいて説明する。なお、この第8の実施形態においては、第1乃至第7の実施形態における構成要素と同一の部分については、同一の符号を付しその説明を省略する。図27は、本実施形態に係る電鋳型の例を示す図、図28及び図29は、本実施形態に係る電鋳型の製造方法の例を示す図である。
11a 時計用部品の1層目
11b 時計用部品の2層目
11c 歯先円
11d 外周面
11e 2層目の軸孔
11f 1層目の軸孔
12 時計用部品
12a 時計用部品の1層目
12b 時計用部品の2層目
12c 歯先円
12d 外周面
12e 2層目の軸孔
12f 1層目の軸孔
13 時計用部品
13a 時計用部品の1層目
13b 時計用部品の2層目
13c 歯先円
13d 2層目の外周面
13e 2層目の軸孔
13f 1層目の軸孔
14 時計用部品
14a 時計用部品の1層目
14b 時計用部品の2層目
14c 歯先円
14d 2層目の外周面
14e 2層目の軸孔
14f 1層目の軸孔
20 電鋳漕
21 電鋳液
22 電極
50 電鋳型
51 電鋳型外枠の円筒状の内面
51a 第1の内面
51b 第2の内面
55 電鋳型
60 電鋳型
65 電鋳型
70 電鋳型
75 電鋳型
80 電鋳型
85 電鋳型
100 基板
110 電鋳物
111 電鋳物の1層目
112 電鋳物の2層目
120 電鋳物
121 電鋳物の1層目
122 電鋳物の2層目
130 電鋳物
131 電鋳物の1層目
132 電鋳物の2層目
140 電鋳物
141 電鋳物の1層目
142 電鋳物の2層目
200 底部導電膜
300 第1フォトレジスト層
301 不溶部
302 可溶部
400 金属薄膜
401 環状の金属薄膜
441 アンカーメタル
450 中間導電膜
451 電極
452 環状の中間導電膜
500 金属薄膜パターニング用レジスト
501 パターニング用レジスト
502 保護用レジスト
510 環状のフォトレジスト
600 第2フォトレジスト層
601 不溶部
602 可溶部
700 マスクパターン
701 第1マスクパターン
702 第2マスクパターン
800 紫外光
900 第1フォトレジスト層の貫通孔
1000 第2フォトレジスト層の貫通孔
1100 環状の金属薄膜の孔
1200 マスクパターンの孔
Claims (25)
- 軸孔を有し、軸方向に複数の材料で構成される一体の円筒状部品を電鋳するための電鋳型であって、
導電体と、
前記導電体の一方の表面に形成され、逆円錐台状の第1の中心部と、該第1の中心部を囲む円筒状の第1の内面が形成された第1の外枠とを有する第1のフォトレジスト層と、を備えることを特徴とする電鋳型。 - 前記第1のフォトレジスト層の前記導電体とは反対側の表面に形成され、前記第1の中心部と同心でその大径側の外径と小径側の外径が同径の逆円錐台状の第2の中心部と、該第2の中心部を囲む円筒状の第2の内面が形成された第2の外枠とを有する第2のフォトレジスト層をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の電鋳型。
- 前記第1のフォトレジスト層の前記導電体とは反対側の表面に形成され、前記第1の中心部と同心でその大径側の外径と同径の円筒状の第2の中心部と、該第2の中心部を囲む円筒状の第2の内面が形成された第2の外枠とを有する第2のフォトレジスト層をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の電鋳型。
- 軸孔を有し、軸方向に複数の材料で構成される一体の円筒状部品を電鋳するための電鋳型であって、
導電体と、
前記導電体の一方の表面に形成され、円錐台状の第1の中心部と、該第1の中心部を囲む円筒状の第1の内面が形成された第1の外枠とを有する第1のフォトレジスト層と、
を備えることを特徴とする電鋳型。 - 前記第1のフォトレジスト層の前記導電体とは反対側の表面に形成され、前記第1の中心部と同心でその小径側の外径と大径側の外径が同径の円錐台状の第2の中心部と、該第2の中心部を囲む円筒状の第2の内面が形成された第2の外枠とを有する第2のフォトレジスト層をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載の電鋳型。
- 軸孔を有し、軸方向に複数の材料で構成される一体の円筒状部品を電鋳するための電鋳型であって、
導電体と、
前記導電体の一方の表面に形成され、円筒状の第1の中心部と、該第1の中心部を囲む円筒状の第1の内面が形成された第1の外枠とを有する第1のフォトレジスト層と、
前記第1のフォトレジスト層の前記導電体とは反対側の表面に形成され、前記第1の中心部と同心でその外径と大径側の外径が同径の円錐台状の第2の中心部と、該第2の中心部を囲む円筒状の第2の内面が形成された第2の外枠とを有する第2のフォトレジスト層と、
を備えることを特徴とする電鋳型。 - 前記第1の中心部の前記導電体とは反対側の表面に同心に形成され、前記第1の中心部の前記反対側の表面における外径より外径が大きい吸収体をさらに備えることを特徴とする請求項1または請求項4に記載の電鋳型。
- 前記第2の中心部の前記第1の中心部とは反対側の表面に同心に形成され、前記第2の中心部の前記反対側の表面における外径より外径が大きい吸収体をさらに備えることを特徴とする請求項2,5,6のいずれか1項に記載の電鋳型。
- 前記第1の中心部と前記第2の中心部との間に同心に形成され、前記第2の中心部の外径より外径が大きい吸収体をさらに備えることを特徴とする請求項3に記載の電鋳型。
- 前記第1の外枠と前記第2の外枠との間に、円形の穴の開いた金属膜をさらに備え、前記第1の内面の直径よりも前記第2の内面の直径の方が大きく、かつ、前記金属膜の円形の穴の直径が前記第1の内面の直径と前記第2の内面の直径との中間の大きさであることを特徴とする請求項2,3,5,6,8,9のいずれか1項に記載の電鋳型。
- 前記吸収体は、紫外光が透過可能な厚さの金属薄膜であることを特徴とする請求項7乃至請求項9のいずれか1項に記載の電鋳型。
- 前記吸収体は、フォトレジストであることを特徴とする請求項7乃至請求項9のいずれか1項に記載の電鋳型。
- 前記第1のフォトレジスト層は、紫外光の波長領域における吸収係数が4000m-1であることを特徴とする請求項1乃至請求項12のいずれか1項に記載の電鋳型。
- 前記第2のフォトレジスト層は、紫外光の波長領域における吸収係数が4000m-1であることを特徴とする請求項2,3,5,6,8,9,10のいずれか1項に記載の電鋳型。
- 軸孔を有し、軸方向に複数の材料で構成される一体の円筒状部品を電鋳するための電鋳型の製造方法であって、
導電体の一方の表面にネガ型の第1のフォトレジスト層を形成する第1フォトレジスト層形成工程と、
前記第1のフォトレジスト層の上面に環状の吸収体を形成する環状吸収体形成工程と、
前記環状の吸収体の外径より小さく内径より大きい内径を有するとともに、前記環状の吸収体の外径より大きい外径を有する環状マスクパターンを、前記第1のフォトレジスト層の上方に前記環状の吸収体と同心に配置する環状マスクパターン配置工程と、
配置された前記環状マスクパターンを介して、前記第1のフォトレジスト層を、逆円錐台状の第1の中心部を含む不溶部と可溶部に区分するフォトレジスト層露光工程と、
を有することを特徴とする電鋳型の製造方法。 - 軸孔を有し、軸方向に複数の材料で構成される一体の円筒状部品を電鋳するための電鋳型の製造方法であって、
導電体の一方の表面にネガ型の第1のフォトレジスト層を形成する第1フォトレジスト層形成工程と、
前記第1のフォトレジスト層の上面にネガ型の第2のフォトレジスト層を形成する第2フォトレジスト層形成工程と、
前記第2のフォトレジスト層の上面に環状の吸収体を形成する環状吸収体形成工程と、
前記環状の吸収体の外径より小さく内径より大きい内径を有するとともに、前記環状の吸収体の外径より大きい外径を有する環状マスクパターンを、前記第2のフォトレジスト層の上方に前記環状の吸収体と同心に配置する環状マスクパターン配置工程と、
配置された前記環状マスクパターンを介して、前記第1のフォトレジスト層を、逆円錐台状の第1の中心部を含む不溶部と可溶部に区分するとともに、第2のフォトレジスト層を、前記第1の中心部と同心でその大径側の外径と小径側の外径が同径の逆円錐台状の第2の中心部を含む不溶部と可溶部に区分するフォトレジスト層露光工程と、
を有することを特徴とする電鋳型の製造方法。 - 軸孔を有し、軸方向に複数の材料で構成される一体の円筒状部品を電鋳するための電鋳型の製造方法であって、
導電体の一方の表面にネガ型の第1のフォトレジスト層を形成する第1フォトレジスト層形成工程と、
前記第1のフォトレジスト層の上面に環状の吸収体を形成する環状吸収体形成工程と、
前記環状吸収体形成工程で形成された環状の吸収体と前記第1のフォトレジスト層の上面に、ネガ型の第2のフォトレジスト層を形成する第2フォトレジスト層形成工程と、
前記環状の吸収体の外径より小さく内径より大きい内径を有するとともに、前記環状の吸収体の外径より大きい外径を有する環状マスクパターンを、前記第2のフォトレジスト層の上方に前記環状の吸収体と同心に配置する環状マスクパターン配置工程と、
配置された前記環状マスクパターンを介して、前記第1のフォトレジスト層を、逆円錐台状の第1の中心部を含む不溶部と可溶部に区分するとともに、第2のフォトレジスト層を、前記第1の中心部と同心でその大径側の外径と同径の円筒状の第2の中心部を含む不溶部と可溶部に区分するフォトレジスト層露光工程と、
を有することを特徴とする電鋳型の製造方法。 - 前記吸収体は、紫外光が透過可能な厚さの金属薄膜であることを特徴とする請求項15乃至請求項17のいずれか1項に記載の電鋳型の製造方法。
- 前記吸収体は、フォトレジストであることを特徴とする請求項15乃至請求項17のいずれか1項に記載の電鋳型の製造方法。
- 前記第1のフォトレジスト層は、紫外光の波長領域における吸収係数が4000m-1であることを特徴とする請求項15乃至請求項19のいずれか1項に記載の電鋳型の製造方法。
- 前記第2のフォトレジスト層は、紫外光の波長領域における吸収係数が4000m-1であることを特徴とする請求項16または請求項17のいずれか1項に記載の電鋳型の製造方法。
- 請求項1から14のいずれか1項に記載の電鋳型により電鋳され、軸方向に複数の材料により一体で構成されるとともに貫通する軸孔を有する時計用部品であって、
前記複数の材料は、互いに硬度が異なる金属材料であり、硬度の高い金属材料よりも硬度の低い金属材料の方が、前記軸孔の内径が小さいことを特徴とする時計用部品。 - 前記時計用部品は、外周面が前記軸孔の中心軸と平行であることを特徴とする請求項22に記載の時計用部品。
- 前記硬度の高い金属材料は、NiCo及び/またはNiWを含有していることを特徴とする請求項22または請求項23に記載の時計用部品。
- 請求項22乃至請求項24のいずれか1項に記載の時計用部品を備えた時計。
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