JPWO2013015302A1 - 切削工具 - Google Patents

切削工具 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2013015302A1
JPWO2013015302A1 JP2012545416A JP2012545416A JPWO2013015302A1 JP WO2013015302 A1 JPWO2013015302 A1 JP WO2013015302A1 JP 2012545416 A JP2012545416 A JP 2012545416A JP 2012545416 A JP2012545416 A JP 2012545416A JP WO2013015302 A1 JPWO2013015302 A1 JP WO2013015302A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating layer
rake face
face
droplets
flank
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012545416A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5174292B1 (ja
Inventor
佳輝 坂本
佳輝 坂本
真宏 脇
真宏 脇
ヨウセン シュ
ヨウセン シュ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2012545416A priority Critical patent/JP5174292B1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5174292B1 publication Critical patent/JP5174292B1/ja
Publication of JPWO2013015302A1 publication Critical patent/JPWO2013015302A1/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B27/00Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/148Composition of the cutting inserts
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0664Carbonitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B2228/00Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/08Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner applied by physical vapour deposition [PVD]
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B2228/00Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/10Coatings
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00Cutters, for shaping
    • Y10T407/27Cutters, for shaping comprising tool of specific chemical composition

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

【課題】耐溶着性、耐摩耗性に優れた切削工具を提供する。【解決手段】 すくい面3と逃げ面4との交差稜線に切刃5を有して、基体2の表面に、CraM1−a(C1−xNx)(ただし、MはTi、Al、Si、W、Mo、Ta、Hf、Nb、ZrおよびYから選ばれる少なくとも1種、0.01≰a≰0.5、0≰x≰1)被覆層6を被覆し、被覆層6の表面にはドロップレット7が存在するとともに、すくい面3に存在するドロップレット7の平均組成が逃げ面4に存在するドロップレット7の平均組成に比べてCrの含有比率が高い切削工具1である。【選択図】 図1

Description

本発明は基体の表面に被覆層が成膜されている切削工具に関する。
現在、切削工具や耐摩部材、摺動部材といった耐摩耗性や摺動性、耐欠損性を必要とする部材では、超硬合金やサーメット等の焼結合金、ダイヤモンドやcBN(立方晶窒化硼素)の高硬度焼結体、アルミナや窒化珪素等のセラミックスからなる基体の表面に被覆層を成膜して、耐摩耗性、摺動性、耐欠損性、を向上させる手法が使われている。
また、上記物理蒸着法としてアークイオンプレーティング法やスパッタリング法を用いてTiやAlを主成分とする窒化物層が盛んに研究されており、工具寿命を延命させるための改良が続けられている。これら表面被覆工具は、切削速度の高速化を初めとする切削環境の変化、被削材の多様化に対応するため、被覆材料元素以外にも様々な工夫が施されてきている。
例えば、特許文献1では、基体の表面にTiAlN等の被膜を被覆した表面被覆工具において、Tiの比率をすくい面よりも逃げ面において高くすることが記載されている。また、特許文献2では、基材の表面に、厚みが1〜5μmのTiAlN系の硬質被膜を形成し、硬質被膜に存在する膜厚以上の大きさを持った粗大粒子が5面積%以下で、その表面粗さRaが0.1μm以下、または表面粗さRzが1μm以下とすることが記載されている。さらに、特許文献3では、基材表面に(AlCrV)N等の組成からなる被覆膜を形成するとともに、被覆膜の表面に存在するマクロパーティクルを減ずることが開示されている。
特開2008−264975号公報 特開2002−346812号公報 特開2005−271155号公報
しかしながら、特許文献1に記載されたすくい面よりも逃げ面においてTiの比率を高くした構成でも、すくい面における被覆層の耐熱性と耐酸化性が不十分であり、かつ逃げ面においては耐欠損性が不十分であった。また、特許文献2に記載されている粗大粒子を極力減らした構成でも、被覆層の耐欠損性が不十分であるという問題があった。さらに、特許文献3のように、TiAlNに第3の金属としてCrを含有させた組成においても、耐摩耗性は向上するものの更なる改善が必要であり、特に、被覆層の内部応力によってチッピングや膜の剥離が発生する場合があり、更なる耐欠損性の向上が望まれていた。
本発明は前記課題を解決するためのものであり、その目的は、局所ごとに最適な切削性能を発揮できる被覆層を備えた切削工具を提供することにある。
本発明の切削工具は、基体の表面に、Cr1−a(C1−x)(ただし、MはTi、Al、Si、W、Mo、Ta、Hf、Nb、ZrおよびYから選ばれる少なくとも1種、0.01≦a≦0.5、0≦x≦1)からなる被覆層を被覆してなるとともに、すくい面と逃げ面との交差稜線に切刃を有しており、前記被覆層の表面にはドロップレットが存在するとともに、前記すくい面に存在する前記ドロップレットの平均組成が前記逃げ面に存在する前記ドロップレットの平均組成に比べてCrの含有比率が高いものである。
本発明の切削工具によれば、基体を被覆する被覆層の表面にドロップレットが存在するが、切削時にすくい面上を切屑が通過してもCrの含有量が多いドロップレットの存在によって切屑がすくい面にベタ当たりすることなく、被覆層の表面がさほど高温になることがない。しかも、すくい面のほうが逃げ面に比べてCrの含有比率が高いので、すくい面上に存在するドロップレットの潤滑性が高くて、切屑との摩擦抵抗を小さくできるとともに、逃げ面においてはドロップレット中のCr比率が少ないので早期に消滅してしまい、加工時の仕上げ面状態が改善される。
本発明の切削工具の一例を示し、(a)概略斜視図、(b)(a)のX−X断面図である。
本発明の切削工具についての好適な実施態様例である図1((a)概略斜視図、(b)(a)のX−X断面図)を用いて説明する。
図1によれば、切削工具1は、主面にすくい面3を、側面に逃げ面4を、すくい面3と逃げ面4との交差稜線に切刃5を有し、基体2の表面に被覆層6を成膜した構成となっている。
そして、基体2の表面に、Cr1−a(C1−x)(ただし、MはTi、Al、Si、W、Mo、Ta、Hf、Nb、ZrおよびYから選ばれる少なくとも1種、0.01≦a≦0.5、0≦x≦1)からなる被覆層6を被覆し、図1(b)に示すように、被覆層6の表面にはドロップレット7と呼ばれる被覆層6の組成とは異なる組成の粒状物質が存在する。そして、すくい面3に存在するドロプレット7の平均組成は逃げ面4に存在するドロップレット7の平均組成に比べてCrの含有比率が高い構成となっている。ここで、本発明におけるすくい面3および逃げ面4に存在するドロップレットの平均組成は、すくい面3および逃げ面4に対して顕微鏡観察を行い、1視野10μm×10μmの任意領域内に存在する直径0.3μm以上のドロップレットそれぞれの組成をエネルギー分散分光分析(EDS)によって測定し、これらの平均値を指す。
この構成によれば、切削時にすくい面3上を切屑が通過してもドロップレット7の存在によって切屑がすくい面にベタ当たりすることなく、被覆層6の表面がさほど高温になることがない。しかも、すくい面3のほうが逃げ面4に比べてドロップレット7中のCrの含有比率が高いので、すくい面3上に存在するドロップレット7の潤滑性が高く、かつ切削液を被覆層6の表面に保液する効果も発揮するとともに、逃げ面4においてはドロップレット7中のCrの含有割合が低くて早期に消滅してしまい、加工時の仕上げ面状態が改善される。
また、被覆層6としては、上記組成式において、Mとして少なくともTiまたはAlのいずれか一方を必須として含有するものが好ましい。これによって、被覆層6の硬度および靭性を高くでき、切削工具1の耐摩耗性および耐欠損性が向上する。さらに、被覆層6の望ましい組成は、MとしてTiを必須として含むものや、MとしてTiとAlを必須として含むとともに、さらに、Si、W、Mo、Ta、Hf、Nb、ZrおよびYから選ばれる少なくとも1種(M’)を含有するものがよい。具体的には、CrTiAlM’(C1−x)(ただし、M’はSi、W、Mo、Ta、Hf、Nb、ZrおよびYから選ばれる少なくとも1種、0.01≦a≦0.25、0.3≦b≦0.8、0≦c≦0.6、0≦d≦0.25、a+b+c+d=1、0≦x≦1)からなる。この組成であれば、被覆層6は酸化開始温度が高くなって耐酸化性が高くかつ内在する内部応力を低減することができて耐欠損性が高い。しかも、被覆層6は硬度および基体2との密着性も高いものであるので、被覆層6は難削材の加工や乾式切削、高速切削等のきつい切削条件における耐摩耗性および耐欠損性に優れたものとなる。
すなわち、被覆層6において、a(金属Cr組成比率)が0.01よりも小さいと被覆層6の耐酸化性および潤滑性が低下する。a(金属Cr組成比率)が0.5よりも大きいと被覆層6の耐摩耗性が低下する。aの特に望ましい範囲は0.04≦d≦0.15である。b(Ti組成比率)が0.3以上であると、被覆層6の結晶構造が立法晶から六法晶へ変化することなく、硬度が高くて耐摩耗性が高い。b(Ti組成比率)が0.8以下であると、被覆層6の耐酸化性および耐熱性が高い。bの特に望ましい範囲は0.45≦a≦0.5である。また、c(Al組成比)が0.6以下であると被覆層6の結晶構造が立方晶から六方晶に変化することなく高い硬度が維持される。cの特に望ましい範囲は0.48≦b≦0.52である。さらに、d(金属M組成比率)が0.25以下であると被覆層6の耐酸化性又は硬度が低下することなく高い耐摩耗性が維持される。dの特に望ましい範囲は0.03≦d≦0.22である。
なお、金属M’はSi、W、Mo、Ta、Hf、Nb、Zr、Yから選ばれる1種以上であるが、中でもSi又はWを含有することが硬度に優れる点から望ましく、NbまたはMoを含有することが耐摩耗性・耐酸化性に優れる点から望ましい。
また、被覆層6の非金属成分であるC、Nは切削工具に必要な硬度および靭性に優れたものであり、x(N組成比率)の特に望ましい範囲は0.9≦x≦1である。ここで、本発明によれば、上記被覆層6の組成は、エネルギー分散型X線分光分析法(EDX)またはX線光電子分光分析法(XPS)にて測定できる。
なお、被覆層6のすくい面3の表面に形成されるドロップレット7のCr含有比率CrDRは逃げ面4の表面に形成されるドロップレット7のCr含有比率CrDFに対して1.05≦CrDR/CrDF≦1.60であることが、すくい面3および逃げ面4における耐摩耗性をともに最適化できる点で望ましい。
また、存在するドロップレット7の数は、すくい面3における10μm×10μm四方で0.3μm以上のドロップレット7が15〜50個、望ましくは18〜30個であることが切屑の通過による発熱の緩和の点で望ましい。また、すくい面3におけるドロップレット7の数が逃げ面4に存在するドロップレット7の数よりも多いことが、すくい面3が切屑の通過によって高温になることを緩和するとともに、逃げ面4の表面を滑らかにして仕上げ面品位を向上する点で望ましい。
さらに、すくい面3における被覆層6の平均組成におけるCrの比率が逃げ面4における被覆層6の平均組成よりも大きいことが、潤滑性の向上により、クレータ摩耗の抑制、および切屑排出性が向上する点で望ましい。
また、被覆層6がAlを含有する場合、すくい面3の表面に形成されるドロップレット7のAl含有比率AlDRは逃げ面4の表面に形成されるドロップレット7のAl含有比率AlDFに対して1.00≦AlDR/AlDF≦1.10であることが、すくい面3および逃げ面4における耐摩耗性をともに最適化できる点で望ましい。比率AlDR/AlDFの特に望ましい範囲は1.00≦AlDR/AlDF≦1.02である。さらに、被覆層6のすくい面3の表面に形成されるドロップレット7のTi含有比率TiDRは逃げ面4の表面に形成されるドロップレット7のTi含有比率TiDFに対して0.91≦TiDR/TiDF≦0.97であることが、すくい面3および逃げ面4における耐チッピング性をともに最適化できる点で望ましい。比率TiDR/TiDFの特に望ましい範囲は0.94≦TiDR/TiDF≦0.97である。
さらに、他の一実施態様では、被覆層6は、第1層6aと第2層6b等との複数層が繰り返し交互に積層された交互積層からなる。この構成によれば、被覆層6の硬度が向上するとともに、クラックの進展を抑制できて耐欠損性も向上する。なお、この実施態様では、第1層6a、第2層6b…等のすべての薄層がCrを含有するものに限定されず、第1層6a、第2層6b…のいずれか1層以上にCrを含有するものであればよい。
表面被覆層6の成膜方法としてはイオンプレーティング法やスパッタリング法等の物理蒸着(PVD)法が適応可能であり、このようなドロップレット7を被覆層6表面上に形成する方法としてはアークイオンプレーティング法が好適に用いられる。
ここで、すくい面3における被覆層6中のCrの含有比率が逃げ面4における被覆層6中のCrの含有比率よりも多いことが、切削工具1の耐摩耗性と切屑処理性のバランスを良くする上で望ましい。
なお、基体2としては、炭化タングステンや炭窒化チタンを主成分とする硬質相とコバルト、ニッケル等の鉄族金属を主成分とする結合相とからなる超硬合金やサーメットの硬質合金、窒化ケイ素や酸化アルミニウムを主成分とするセラミックス、多結晶ダイヤモンドや立方晶窒化ホウ素からなる硬質相とセラミックスや鉄族金属等の結合相とを超高圧下で焼成する超高圧焼結体等の硬質材料が好適に使用される。
(製造方法)
次に、本発明の切削工具の製造方法について説明する。
まず、工具形状の基体を従来公知の方法を用いて作製する。次に、基体の表面に、被覆層を成膜する。被覆層の成膜方法として、イオンプレーティング法やスパッタリング法等の物理蒸着(PVD)法が好適に適応可能である。成膜方法の一例についての詳細について説明すると、被覆層をイオンプレーティング法で作製する場合には、金属チタン(Ti)、金属アルミニウム(Al)、金属クロム(Cr)、および所定の金属M(ただし、MはSi、W、Mo、Ta、Hf、Nb、ZrおよびYから選ばれる少なくとも1種以上)をそれぞれ独立に含有する金属ターゲット、複合化した合金ターゲットまたは焼結体ターゲットを用い、チャンバの側壁面位置にセットする。
このとき、本発明によれば、メインターゲットをチャンバの側面にセットし、かつ他の金属に比べてCrの含有比率が多いターゲットをチャンバの上面に、他の金属の含有比率が高いターゲットをチャンバの側面にセットし、各々のターゲットにアーク電流を流して成膜する。その結果、成膜された被覆層の組成およびドロップレットの組成を本発明の構成とすることができる。なお、ターゲットの作製方法としては、金属粉末を混合して焼き固めた焼結ターゲットを用いると、金属成分を溶融させて再度固化させた合金ターゲットを用いるより、被覆層の表面に析出するドロップレットの量が多くなる傾向にある。
成膜条件としては、これらのターゲットを用いて、アーク放電やグロー放電などにより金属源を蒸発させイオン化すると同時に、窒素源の窒素(N)ガスや炭素源のメタン(CH)/アセチレン(C)ガスと反応させるイオンプレーティング法またはスパッタリング法によって被覆層およびドロップレットを成膜する。このとき、基体のセット位置は逃げ面がチャンバの側面とほぼ平行に、かつすくい面がチャンバの上面とほぼ平行な向きにセットする。この時、メインターゲットには100〜200A、上面のCr成分を多く含有するサブターゲットには80〜200A、所望により、側面に配置するサブターゲットには120〜250Aのアーク電流を流す。
そして、発生したアークプラズマに対してターゲットの向きと平行な向きに磁石を配置する等の方法にて、発生したアークプラズマに磁場を与えることによって、プラズマ内に存在する蒸発した各金属成分の存在状態を変化させることにより、ドロップレットの組成を所定の範囲に制御することができる。なお、イオンプレーティング法やスパッタリング法で上記被覆層を成膜する際には、被覆層の結晶構造を考慮して高硬度な被覆層を作製できるとともに基体との密着性を高めるために35〜200Vのバイアス電圧を印加することが好ましい。
平均粒径0.8μmの炭化タングステン(WC)粉末を主成分として、平均粒径1.2μmの金属コバルト(Co)粉末を10質量%、平均粒径1.0μmの炭化バナジウム(VC)粉末を0.1質量%、平均粒径1.0μmの炭化クロム(Cr)粉末を0.3質量%の割合で添加し混合して、プレス成形によりDCGT11T302MFCQ形状のスローアウェイチップ形状に成形した後、脱バインダ処理を施し、0.01Paの真空中、1450℃で1時間焼成して超硬合金を作製した。また、各試料のすくい面表面をブラスト加工、ブラシ加工等によって研磨加工した。さらに、作製した超硬合金にブラシ加工にて刃先処理(ホーニング)を施した。
このようにして作製した基体に対して、表1に示すバイアス電圧を印加し、メインターゲット、側面のサブターゲット、上面のサブターゲットに対して所定のアーク電流をそれぞれ流し、かつアーク電流を発生させたターゲット材に対して、チャンバの上下面にリング状の永久磁石をはめ込んでターゲット方向から磁場を与えながら、成膜温度540℃として表2に示すすくい面組成で表4に示す逃げ面組成の被覆層を成膜した。
得られた試料に対して、被覆層の表面のすくい面及び逃げ面の各面の任意3箇所およびすくい面および逃げ面表面上に形成されたドロップレットを観察し、1視野における10μm×10μmの任意領域における直径0.3μm以上のドロップレットの個数を測定し、測定箇所5箇所における平均個数を算出した。また、直径0.3μm以上の各ドロップレットの組成をエネルギー分散分光分析(EDS)(アメテック社製EDAX)によって測定し、これらの平均値を被覆層のすくい面、逃げ面および各面表面上のドロップレットの平均組成として算出した。表3中、すくい面に形成されたドロップレットについてCr,Al,Tiの平均含有量(原子%)をそれぞれCrDR、AlDR、TiDR、逃げ面に形成されたドロップレットについてCr,Al,Tiの平均含有量(原子%)をそれぞれCrDF、AlDF、TiDFと表記した。
次に、得られた外径切削工具DCGT11T302MFCQ形状のスローアウェイチップを用いて以下の切削条件にて切削試験を行った。結果は表4に示した。
切削方法:外径旋削加工
被削材 :炭素鋼(S45C)
切削速度:130m/分
送り :0.05mm/rev
切り込み:1.2mm
切削状態:湿式
評価方法:500個加工後のすくい面を観察して溶着状態を確認した。また、工具寿命まで加工できた加工数を確認し、そのときの摩耗形態を確認した。
表1〜4に示す結果より、すくい面に存在するドロップレットの平均組成が逃げ面に存在するドロップレットの平均組成に比べてCrの含有比率が低い試料No.11では、すくい面における被削材の溶着が激しくクレータ摩耗の進行が早くて早期に工具寿命となり、すくい面と逃げ面に存在するドロップレットの平均組成に対するCrの含有比率が同じ試料No.12でも、すくい面における溶着が多く早期に摩耗が進行した。
これに対して、本発明の範囲内である試料No.1〜10では、いずれも耐摩耗性に優れるとともに平滑な加工面に加工できて良好な切削性能を発揮した。
1 切削工具
2 基体
3 すくい面
4 逃げ面
5 切刃
6 被覆層
7 ドロップレット

Claims (5)

  1. 基体の表面に、Cr1−a(C1−x)(ただし、MはTi、Al、Si、W、Mo、Ta、Hf、Nb、ZrおよびYから選ばれる少なくとも1種、0.01≦a≦0.5、0≦x≦1)からなる被覆層を被覆してなるとともに、すくい面と逃げ面との交差稜線に切刃を有しており、前記被覆層の表面にはドロップレットが存在するとともに、前記すくい面に存在する前記ドロップレットの平均組成が前記逃げ面に存在する前記ドロップレットの平均組成に比べてCrの含有比率が高い切削工具。
  2. 前記被覆層が、CrTiAlM’(C1−x)(ただし、M’はSi、W、Mo、Ta、Hf、Nb、ZrおよびYから選ばれる少なくとも1種、0.01≦a≦0.25、0.3≦b≦0.8、0≦c≦0.6、0≦d≦0.25、a+b+c+d=1、0≦x≦1)からなる請求項1記載の切削工具。
  3. 前記すくい面に存在するドロップレットの数が前記逃げ面に存在するドロップレットの数よりも多い請求項1または2記載の切削工具。
  4. 前記すくい面における前記被覆層中のCrの含有比率が前記逃げ面における前記被覆層中のCrの含有比率よりも多い請求項1乃至3のいずれか記載の切削工具。
  5. 前記被覆層が、異なる組成の複数の薄層を交互に繰り返し積層した交互積層構造からなる請求項1乃至4のいずれか記載の切削工具。
JP2012545416A 2011-07-25 2012-07-25 切削工具 Active JP5174292B1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012545416A JP5174292B1 (ja) 2011-07-25 2012-07-25 切削工具

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011162250 2011-07-25
JP2011162250 2011-07-25
JP2012545416A JP5174292B1 (ja) 2011-07-25 2012-07-25 切削工具
PCT/JP2012/068793 WO2013015302A1 (ja) 2011-07-25 2012-07-25 切削工具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP5174292B1 JP5174292B1 (ja) 2013-04-03
JPWO2013015302A1 true JPWO2013015302A1 (ja) 2015-02-23

Family

ID=47601143

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012545416A Active JP5174292B1 (ja) 2011-07-25 2012-07-25 切削工具

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9085032B2 (ja)
EP (1) EP2737967B1 (ja)
JP (1) JP5174292B1 (ja)
KR (1) KR101787496B1 (ja)
CN (1) CN103648692B (ja)
WO (1) WO2013015302A1 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2868408B1 (en) * 2012-06-27 2018-08-29 Kyocera Corporation Cutting tool
JP6404906B2 (ja) * 2014-03-25 2018-10-17 兼房株式会社 切削工具
US10744568B2 (en) * 2015-01-28 2020-08-18 Kyocera Corporation Coated tool
CN109070233B (zh) * 2016-06-29 2020-12-22 住友电工硬质合金株式会社 切削工具
RU2639189C1 (ru) * 2017-03-10 2017-12-20 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
KR102009687B1 (ko) * 2017-12-28 2019-08-12 한국야금 주식회사 경질피막이 형성된 절삭공구
WO2021024737A1 (ja) * 2019-08-06 2021-02-11 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具
US11103944B2 (en) * 2019-08-12 2021-08-31 Deere & Company Self-sharpening cutting tooth for a felling apparatus
WO2023177050A1 (ko) * 2022-03-14 2023-09-21 한국야금 주식회사 경질피막 절삭공구

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3825399C5 (de) * 1988-07-23 2005-05-12 Cemecon Ag PVD- oder Plasma- CVD-Beschichtung
JP4112836B2 (ja) * 2001-06-19 2008-07-02 株式会社神戸製鋼所 切削工具用硬質皮膜を形成するためのターゲット
JP2002346812A (ja) * 2001-05-25 2002-12-04 Ngk Spark Plug Co Ltd 切削工具及びホルダ付き工具
JP4132931B2 (ja) 2002-04-11 2008-08-13 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜被覆工具およびその製造方法
US7226670B2 (en) * 2003-04-28 2007-06-05 Oc Oerlikon Balzers Ag Work piece with a hard film of AlCr-containing material, and process for its production
JP4575009B2 (ja) * 2004-03-25 2010-11-04 住友電工ハードメタル株式会社 被覆切削工具
CN101400465A (zh) * 2006-03-28 2009-04-01 京瓷株式会社 表面被覆工具
US7960016B2 (en) * 2007-03-23 2011-06-14 Oerlikon Trading Ag, Truebbach Wear resistant hard coating for a workpiece and method for producing the same
JP5046726B2 (ja) 2007-04-24 2012-10-10 京セラ株式会社 表面被覆切削工具
WO2009047867A1 (ja) * 2007-10-12 2009-04-16 Hitachi Tool Engineering, Ltd. 硬質皮膜被覆部材、及びその製造方法
CN101848782B (zh) * 2008-03-26 2012-08-08 京瓷株式会社 切削工具
JP5404232B2 (ja) 2009-01-21 2014-01-29 京セラ株式会社 切削工具
JP5339984B2 (ja) 2009-03-26 2013-11-13 京セラ株式会社 切削工具
EP2554304B1 (en) * 2010-03-29 2017-03-08 Kyocera Corporation Cutting tool
JP4975194B2 (ja) * 2010-03-29 2012-07-11 京セラ株式会社 切削工具

Also Published As

Publication number Publication date
EP2737967A1 (en) 2014-06-04
KR20140039290A (ko) 2014-04-01
EP2737967B1 (en) 2017-02-01
CN103648692A (zh) 2014-03-19
US20140271000A1 (en) 2014-09-18
US9085032B2 (en) 2015-07-21
EP2737967A4 (en) 2015-06-03
WO2013015302A1 (ja) 2013-01-31
JP5174292B1 (ja) 2013-04-03
CN103648692B (zh) 2015-11-25
KR101787496B1 (ko) 2017-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4975193B2 (ja) 切削工具
JP5542925B2 (ja) 切削工具
JP4975194B2 (ja) 切削工具
JP5174292B1 (ja) 切削工具
JP5066301B2 (ja) 切削工具
JP5883161B2 (ja) 切削工具
JP5597786B1 (ja) 切削工具
JP5956576B2 (ja) 切削工具
JP5922546B2 (ja) 切削工具
JP5713663B2 (ja) 切削工具
JP2014144506A (ja) 切削工具
JP6092735B2 (ja) 表面被覆工具

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121204

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121227

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5174292

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150