JPWO2012176874A1 - インクジェットヘッド及びインクジェット描画装置 - Google Patents
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Abstract
本発明は、ヘッド基板と配線基板とを接着樹脂層を介して接合する際の接着力を強固できる信頼性の高いインクジェットヘッド及びインクジェット描画装置の提供を目的とし、ノズルから吐出させるためのインクを収容する複数の圧力室と、圧力室内のインクに圧力を付与する複数のアクチュエータとを有するヘッド基板と、複数のアクチュエータに設けられた個別電極及び複数のアクチュエータに共通に設けられた共通電極に対して電気的に接続する配線端子を有する配線基板とを備え、配線基板がヘッド基板の上方から接着樹脂層を介して接合されることによって、ヘッド基板の上面の個別電極及び共通電極と配線基板の配線端子とが電気的に接続されるものであり、共通電極は、ヘッド基板の上面に積層されているが、少なくとも接着樹脂層が接着される領域には形成されておらず、接着樹脂層が共通電極を介さずにヘッド基板の上面に接着されている。
Description
本発明はインクジェットヘッド及びインクジェット描画装置に関し、詳しくは、アクチュエータに対する給電のための配線の電気的接続の信頼性が向上したインクジェットヘッド及びこれを搭載したインクジェット描画装置に関する。
近年、複数の微細なノズルからインクを吐出して各種記録媒体に画像を形成するインクジェットヘッドは、より高精度、高精細な画像形成を実現するために、ノズルのより一層の高密度配置が求められている。
インクジェットヘッドには、インクの共通流路がノズル列毎に設けられる他、インクに吐出圧力を付与するための圧力室や、共通流路から各圧力室へインクを供給するための個別流路が、複数のノズルに対して個別に設けられている。そのため、これら共通流路、圧力室及び個別流路をノズルの配列方向(水平方向)に並設してしまうと、複数のノズルを高密度に配置することが困難となる。
そこで、従来、ノズルの上方に圧力室を設け、共通流路に代わる共通インク室を圧力室の更に上方に設けることによって、ノズルの配列方向の広がりを抑え、ノズルの高密度配置を可能にしたインクジェットヘッドが提案されている(特許文献1)。このインクジェットヘッドは、圧力室の上壁を薄板状に形成して振動板とし、この振動板の上面に圧電素子によって形成されるアクチュエータを積層することによってインクジェットヘッドの本体部分をなすヘッド基板を構成している。
このヘッド基板に対しては、アクチュエータに給電するための各配線も高密度に形成する必要があるが、ヘッド基板の上面には、アクチュエータそのものの他に各圧力室にインク供給を行うための流路が開口しているため、配線を引きまわすだけの面積的な余裕はない。そこで、特許文献1では、各アクチュエータに対して給電するための配線を備えた配線基板を別途形成し、これをヘッド基板に対してアクチュエータの上方から接着樹脂層を介して接着して、ヘッド基板側の各電極と配線基板側の各配線とを電気的に接続する構造とすることで配線の高密度化を図っている。
このようにして構成されるインクジェットヘッドは、ノズルが高密度化されて高精細な画像形成が可能となるが、本発明者らの実験によると、長期使用によってインク漏れや圧力室の圧力漏れが発生する問題があることがわかった。その原因について検討したところ、ヘッド基板と接着樹脂層との接着部位に剥離が見られ、この剥離部分においてインク漏れや圧力室の圧力漏れが生じていることが判明した。
すなわち、アクチュエータは、各アクチュエータ毎に個別に設けられる個別電極と、複数のアクチュエータに対して共通に設けられる共通電極とで圧電素子が挟まれた形となっており、このうちの共通電極がヘッド基板の上面に積層形成されている。接着樹脂層はヘッド基板と配線基板との間で両基板同士を接着するように機能するが、共通電極がアクチュエータの部位以外の表面に露出しているため、ヘッド基板に対しては、この共通電極の上面に対して接着されている。
しかし、接着樹脂層は、金属膜に対して水素結合による密着性を得ることができず、接着力が低い。しかも、インクジェットヘッドは、駆動時の発熱によって熱の影響を受け、また、使用するインクによっては粘度を低下させる目的で、ヒーター等を用いて意図的にインクを加熱する場合もある。この熱がインクジェットヘッドに繰り返し掛けられることによって基板が膨張、収縮を繰り返し、これが原因で、接着力が弱い接着樹脂層とヘッド基板上面に露出する共通電極との間に応力集中して剥離が生じてしまうと考えられる。
特許文献1は、ヘッド基板側の共通電極の上面にシリコン酸化膜からなる絶縁膜と樹脂層を順次積層し、この樹脂層の上に接着樹脂層を接着する構造となっているが、絶縁膜と樹脂層を更に積層することは工数が増え、コストアップ要因となるため、より簡素な構造でヘッド基板と配線基板との接着力を強固にできるインクジェットヘッドの構造が望まれていた。
そこで、本発明は、積層数を増加させることなく、ヘッド基板と配線基板とを接着樹脂層を介して接合する際の接着力を強固にすることができ、信頼性の高いインクジェットヘッド及びこれを搭載したインクジェット描画装置を提供することを課題とする。
本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
1. インクを吐出させる複数のノズルにそれぞれ対応して配設され、該ノズルから吐出させるためのインクを収容する複数の圧力室と、前記圧力室にそれぞれ対応して配置され、該圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させるための圧力を付与する複数のアクチュエータとを有するヘッド基板と、
複数の前記アクチュエータにそれぞれ設けられた個別電極及び複数の前記アクチュエータに共通に設けられた共通電極に対してそれぞれ電気的に接続するための配線端子を有する配線基板とを備え、
前記配線基板が前記ヘッド基板の上方から接着樹脂層を介して接合されることによって、前記ヘッド基板の上面に配置された前記アクチュエータの前記個別電極及び前記共通電極と前記配線基板の前記配線端子とが電気的に接続されるインクジェットヘッドであって、
前記共通電極は、前記ヘッド基板の上面に積層されていると共に、少なくとも前記接着樹脂層が接着される領域には形成されておらず、該接着樹脂層が前記共通電極を介さずに前記ヘッド基板の上面に接着されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
複数の前記アクチュエータにそれぞれ設けられた個別電極及び複数の前記アクチュエータに共通に設けられた共通電極に対してそれぞれ電気的に接続するための配線端子を有する配線基板とを備え、
前記配線基板が前記ヘッド基板の上方から接着樹脂層を介して接合されることによって、前記ヘッド基板の上面に配置された前記アクチュエータの前記個別電極及び前記共通電極と前記配線基板の前記配線端子とが電気的に接続されるインクジェットヘッドであって、
前記共通電極は、前記ヘッド基板の上面に積層されていると共に、少なくとも前記接着樹脂層が接着される領域には形成されておらず、該接着樹脂層が前記共通電極を介さずに前記ヘッド基板の上面に接着されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記接着樹脂層に、前記ヘッド基板の前記圧力室内にそれぞれインクを供給するためのインク流路が貫通形成されていることを特徴とする前記1記載のインクジェットヘッド。
3. 前記共通電極が形成されない領域は、前記インク流路毎に独立していることを特徴とする前記2記載のインクジェットヘッド。
4. 前記ヘッド基板の上面の少なくとも前記接着樹脂層が接着される領域が非金属材であることを特徴とする前記1、2又は3記載のインクジェットヘッド。
5. 前記ヘッド基板の上面の前記非金属材は、合成樹脂又はシリコン酸化物であることを特徴とする前記4記載のインクジェットヘッド。
6. 前記共通電極は、Au又はPtの金属膜からなることを特徴とする前記1〜5のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
7. 前記1〜6のいずれかに記載のインクジェットヘッドを搭載してなることを特徴とするインクジェット描画装置。
本発明によれば、積層数を増加させることなく、ヘッド基板と配線基板とを接着樹脂層を介して接合する際の接着力を強固にすることができ、信頼性の高いインクジェットヘッド及びこれを搭載したインクジェット描画装置を提供することができる。
本発明のインクジェットヘッドは、ヘッド基板と配線基板とが接着樹脂層を介して接合された積層体構造を有する。ヘッド基板は、インクを吐出させる複数のノズルにそれぞれ対応して配設され、該ノズルから吐出させるためのインクを収容する複数の圧力室と、圧力室にそれぞれ対応して配置され、該圧力室内のインクをノズルから吐出させるための圧力を付与するアクチュエータとを有している。
アクチュエータはヘッド基板の上面に位置する圧力室の上壁の外側に、該圧力室毎にそれぞれ設けられ、PZT等の圧電素子からなるアクチュエータ本体を間に挟んで、上面側にはアクチュエータ毎に個別電極を有し、ヘッド基板と接する下面側には複数のアクチュエータの全てに共通に設けられる共通電極を有している。アクチュエータは、これら電極間に所定の駆動信号が印加されることによってアクチュエータ本体が変形し、圧力室の上壁を形成する振動板を振動させることにより、圧力室内のインクに吐出のための圧力を付与する。
なお、本発明における上下の方向は、ノズルからのインク吐出方向に沿う方向を基準とする。従って、本発明における上又は上面とは、インク吐出方向と反対方向又はインク吐出方向と反対方向に配向する面をいい、下又は下面とは、インク吐出方向又はインク吐出方向に配向する面をいう。
配線基板は、アクチュエータの上面に露出する個別電極と該アクチュエータ形成領域以外のヘッド基板上面に露出する共通電極とに対してそれぞれ電気的に接続するための配線端子を有しており、配線基板がヘッド基板に対してアクチュエータの上方から接着樹脂層を介して積層し、所定の加熱温度で圧着されることによって、この接着樹脂層によってヘッド基板と配線基板とが接合される。この接合と同時に、ヘッド基板側の個別電極及び共通電極と配線基板側の配線端子とがそれぞれ電気的に接続される。
接着樹脂層はヘッド基板と配線基板との間に設けられ、両基板間を接着する。接着樹脂層は、ヘッド基板に設けられるアクチュエータと干渉しないようにするため、少なくともアクチュエータ形成領域及びその周囲を除くようにパターニングされ、両基板間にアクチュエータの収容空間を確保する。この接着樹脂層は、接着前の状態では所定の弾性率(0.1〜2.5GPa)を有し、接着時に所定の硬化温度(例えば200℃)に加熱されることによって硬化して接着機能を発揮する加熱硬化性接着樹脂層である。
このような接着樹脂層には感光性接着樹脂シートを好ましく用いることができる。感光性接着樹脂シートは、アクチュエータの収容空間となる不要部分を露光、現像処理によって容易に除去することができ、所望パターンの層形成が容易である。具体的な接着樹脂層としては、例えば東レ社製感光性ポリイミド接着シート、デュポン社製PerMXシリーズ(商品名)等を用いることができる。
共通電極は、ヘッド基板の上面に積層されていると共に、少なくとも接着樹脂層が接着される領域には形成されていない。このため接着樹脂層は、ヘッド基板の上面に共通電極を介さずに、ヘッド基板の上面に接着される。
これにより、接着樹脂層は接着力の弱い共通電極を構成する金属膜上に接着することがないため、接着力を強固にすることができ、信頼性の高いインクジェットヘッドとすることができる。本発明は、接着樹脂層の接着のために、ヘッド基板の共通電極上に更に別途の層を積層する必要がないため、工数が増加することもない。
ヘッド基板の各圧力室には、配線基板の上方からインクが供給される。配線基板を貫通してヘッド基板の各圧力室にそれぞれインク供給するためのインク流路は、接着樹脂層に貫通形成されることが好ましい。本発明は接着樹脂層とヘッド基板との接着が強固に行われるため、長期使用によってもインク流路にインク漏れが生じるおそれがない。
ヘッド基板の上面において共通電極が形成されない領域は、インク流路毎に独立していることが好ましい。共通電極の面積を可及的広くとることができるため、それだけ複数のアクチュエータで共通となる共通電極の電気抵抗を抑えることができる。
ヘッド基板の上面と接着樹脂層との接着を強固に行うことができるようにするため、ヘッド基板の上面の少なくとも接着樹脂層が接着される領域が非金属材であることが好ましく、合成樹脂又はシリコン酸化物であることがより好ましい。このような合成樹脂又はシリコン酸化物は、圧力室の上壁となる振動板を構成することができる。合成樹脂としては、例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂を用いることができる。
共通電極は、電極として一般的に使用可能な金属膜により形成することができるが、特に電気抵抗を小さくできる点でAu(金)又はPt(プラチナ)の金属膜からなることが好ましい。
本発明のインクジェット描画装置は、このようなインクジェットヘッドを搭載してなる。これにより、ヘッド基板と配線基板との間の接着の信頼性が高いインクジェットヘッドにより、長期に亘って高品質の画像形成が可能なインクジェット描画装置とすることができる。
以下、本発明の具体例について図面を用いて更に説明する。
図1は、本発明に係るインクジェットヘッドの断面図、図2はその部分拡大断面図、図3はヘッド基板の平面図である。
インクジェットヘッド1は、ヘッド基板10と配線基板20とが、接着樹脂層30によって積層一体化されている。配線基板20の上面には箱型形状のマニホールド40が設けられ、配線基板20との間で、内部にインクが貯留される共通インク室41を形成している。
ヘッド基板10は、図中下層側から、Si(シリコン)基板によって形成されたノズルプレート11、ガラス基板によって形成された中間プレート12、Si(シリコン)基板によって形成された圧力室プレート13、SiO2膜(シリコン酸化膜)によって形成された振動板14とを有している。ノズルプレート11には下面に向けてノズル11aが開口している。
圧力室プレート13には、吐出のためのインクを収容する圧力室13aが2次元状に配列形成されており、その上壁が振動板14によって構成され、下壁が中間プレート12によって構成されている。中間プレート12には、圧力室13aの内部とノズル11aとを連通する連通路12aが貫通形成されている。
アクチュエータ15は、薄膜PZTからなるアクチュエータ本体15aが上面に均一厚みで形成された個別電極15bと下面に均一厚みで形成された共通電極15cとで挟まれてなる。共通電極15cは振動板14の表面に全てのアクチュエータ15に共通に形成されており、この共通電極15c上に、圧力室13aに1対1に対応するように個別にアクチュエータ本体15aとその上面の個別電極15bとが積層されている。
個別電極15b上には、接続部品としての金スタッドバンプ16が配線基板20に向けて突出形成されている。また、共通電極15c上にも、同じく接続部品としての金スタッドバンプ17が配線基板20に向けて突出形成されている。
金スタッドバンプ16が形成される個別電極15bの上面は、アクチュエータ15がヘッド基板10上に突出形成されていることから、金スタッドバンプ17が形成される共通電極15cの上面よりも高い位置にある。従って、金スタッドバンプ17の高さ形状は金スタットバンプ16と異なり、アクチュエータ15の高さ分だけ金スタッドバンプ16の高さ形状よりも高くなるように形成されている。このように金スタッドバンプ16、17の高さ形状を異ならせるには、金細線からバンプを形成する時の金ボールの大きさを、所望の高さ形状に応じて変化させればよい。
配線基板20は、Si基板からなる基板本体21の上面に、SiO2からなる配線保護層22を介して、個別電極15b用の上部配線23aと共通電極15c用の上部配線23bが形成されている。これら上部配線23a、23bには、駆動IC27が実装されたFPC(フレキシブルプリント回路基板)28が、配線基板20の端部においてACF(異方性導電フィルム)によって電気的に接続されている。
個別電極15b用の上部配線23aの一部は、基板本体21に形成された貫通孔21aによって基板本体21の下面に臨んでおり、該基板本体21の下面にSiO2からなる配線保護層24を介して形成された下部配線25aと導通している。アクチュエータ15に面する配線保護層24には、下部配線25aの一部が露出しており、その露出した下部配線25aに、個別電極15bと導通を図るための配線端子としてのはんだバンプ26aが、金スタットバンプ16に対応する位置にヘッド基板10に向けて突出形成されている。
また、共通電極15c用の上部配線23bの一部は、基板本体21に形成された貫通孔21bによって基板本体21の下面に臨んでおり、該基板本体21の下面にSiO2からなる配線保護層24を介して形成された下部配線25bと導通している。アクチュエータ15に面する配線保護層24には、下部配線25bの一部が露出しており、その露出した下部配線25bに、共通電極15cと導通を図るための配線端子としてのはんだバンプ26bが、金スタットバンプ17に対応する位置にヘッド基板10に向けて突出形成されている。
各はんだバンプ26a、26bは、ここではSn−Bi系共晶はんだによってスクリーン印刷されることによって形成されており、下部配線25a、25bの表面からそれぞれヘッド基板10に向けて同一高さで半球状に盛り上がることによって、その先端面(下端面)は球面状となっている。
これらヘッド基板10と配線基板20とは、各々別々に作製された後、ヘッド基板10の上面と配線基板20の下面とを対面させ、接着樹脂層30を介して積層一体化される。また、圧力室プレート13の上面と配線基板20の下面とを対面させ、接着樹脂層30を介して積層一体化した後に、中間プレート12、ノズルプレート11の順で積層一体化してもよく、さらに、圧力室プレート13に中間プレート12を積層一体化した後、圧力室プレート13の上面と配線基板20の下面とを対面させ、接着樹脂層30を介して積層一体化した後に、ノズルプレート11を積層一体化してもよい。
接着樹脂層30は、熱硬化性の感光性接着樹脂シートであり、ヘッド基板10と配線基板20との間に該接着樹脂層30の厚み分の間隔を設けるべく、配線基板20の配線保護層24の表面(下面)に対して予め貼着される。この接着樹脂層30が貼着される配線基板20の表面は、ヘッド基板10と同様に非金属材で形成されている。これによって接着樹脂層30と配線基板20とは強固に接着される。ここでは配線基板20の表面はSiO2からなる配線保護層24となっているが、ヘッド基板10と同様に合成樹脂で形成されていてもよい。
ヘッド基板10と配線基板20とは、接着樹脂層30付きの配線基板20を、接着樹脂層30の貼着面をヘッド基板10側に配向させ、且つ、各はんだバンプ26a、26bと、これに対応する各金スタッドバンプ16、17とが電気的に接続されるように位置合わせし、接着樹脂層30をヘッド基板10に対して積層した後、所定の硬化温度に加熱され及び圧着されることによって、接着樹脂層30を介して接着される。
接着樹脂層30は、配線基板20への貼着後でヘッド基板10との積層前に、アクチュエータ15と干渉しないように、アクチュエータ15及びその周囲に相当する領域が露光、現像によって除去される。これにより、ヘッド基板10と配線基板20との間に、アクチュエータ15(アクチュエータ本体15aと個別電極15b)の収容空間31が形成される。この収容空間31には、同時に金スタッドバンプ17の周囲の領域も露光、現像によって除去されることで、該金スタッドバンプ17も収容される。
接着樹脂層30には、予め上下に貫通するインク流路32が同じく露光、現像によって形成されており、その一端(上端)は、配線基板20に形成されているインク供給路29と連通し、他端(下端)は、ヘッド基板10の振動板14に形成された開口14aを通して圧力室13aの内部と連通している。インク供給路29は配線基板20の上面に開口しており、その開口部29aから共通インク室41内のインクを流入させてインク流路32を介して圧力室13a内に供給可能としている。
圧力室13a内に供給されたインクは、駆動IC27から与えられる駆動信号によってアクチュエータ15が変形し、振動板14が振動することで、吐出のための圧力が付与され、連通路12aを通ってノズル11aから微小液滴として吐出される。
ヘッド基板10の上面(振動板14の上面)には、各アクチュエータ15に共通の下部電極となる共通電極15cが積層形成されており、該ヘッド基板10の上面に露出しているが、図3に示すように、この共通電極15cは、接着樹脂層30に貫通形成されるインク流路32と対応する振動板14の開口14aを含むその周囲の領域には形成されておらず、ヘッド基板10の上面に、共通電極15cが形成されていない非金属膜領域10aを有している。
この非金属膜領域10aは、ヘッド基板10の振動板14上の全面に共通電極15cとなる金属膜を積層形成した後に、この非金属膜領域10aとなる部位以外の部位をマスクして非金属膜領域10aに存在する金属膜をエッチングにより除去するか、共通電極15cとなる金属膜を形成する際に、この非金属膜領域10aとなる部位をマスクした上で電極形成用金属をスパッタリング法、蒸着法、めっき法等によって適用することでパターニングすることができる。
その結果、非金属膜領域10aには振動板14が露出する。従って、接着樹脂層30は、この振動板14の上面に対して直接接着している。振動板14は非金属材であるSiO2膜からなるので、共通電極15cに比べて接着樹脂層30との接着力に優れ、ヘッド基板10と配線基板20との間を強固に接着する。特に、この非金属膜領域10aに接着される接着樹脂層30には、開口14aに連通してインク流路32が形成されるため、接着樹脂層30とヘッド基板10とが強固に接着されることにより、長期使用により又は繰り返し加熱されても、インク流路32からのインクもれが発生するおそれはない。
なお、図3に示すように、ヘッド基板10の上面の周囲を取り囲むように、共通電極15cが形成されない非金属膜領域10bが形成されている。接着樹脂層30は、この非金属膜領域10bにおいても、ヘッド基板10の上面に対して直接接着している。
図3は、共通電極15cが形成されない非金属膜領域10aは、接着樹脂層30のインク流路32と連通する振動板14の開口14aを複数含む大きさで形成した態様を示したが、図4は、共通電極15cが形成されない非金属膜領域10aを、接着樹脂層30に形成されるインク流路32毎、すなわち振動板14の開口14a毎に独立して形成した態様を示している。
この態様では、ヘッド基板10上面の非金属膜領域10aは、接着樹脂層30のインク流路32に連通する振動板14の個々の開口14aを取り囲むように個別に形成されている。接着樹脂層30は、この非金属膜領域10a内とヘッド基板10の周囲の非金属膜領域10bの部位のみにおいてヘッド基板10の上面の振動板14と直接接着する。このため、図3に示す態様に比べ、共通電極15cの面積を多くとることができ、それだけ共通電極15cの電気抵抗を低減することができる。
図5は、かかるインクジェットヘッド1を搭載したインクジェット描画装置の一例を示す概略斜視図である。
インクジェット描画装置100は、装置基台101上に、インクジェット描画を行うためのインクジェットヘッド1、上面に基材Wを載置して支持するためのステージ102、ステージ102をθ方向に回転移動させるためのθ回転機構103、ステージ102及びθ回転機構103を共にY方向に沿って直線移動させるY移動機構104、ステージ102及びθ回転機構103を共にX方向に沿って直線移動させるX移動機構105をそれぞれ備えている。
なお、X方向とY方向とは水平面上で互いに直交する方向である。
インクジェットヘッド1は、装置基台101上の端部近傍においてX方向に沿って平行に架設されたガントリ106に、スライダ107及びθ回転機構108を介して、そのノズル面が下面となるように取り付けられ、その下方に配置されるステージ102上の被記録材Wの表面と平行に対向するように配置されている。インクジェットヘッド1は、スライダ107がガントリ106に沿ってスライド移動することによりX方向に沿って往復移動し、また、θ回転機構108によって、X、Y方向と直交する法線方向であるZ方向に沿う方向を軸としてθ方向に回転移動し、更に、Z移動機構109によってθ回転機構108と共にZ方向に昇降移動することができるようになっている。
ステージ102は、X方向に沿って延びるX移動機構105上に、θ回転機構103を介して設けられた平面視矩形状の定盤であり、その上面は被記録材Wを載置するための水平な載置面とされ、該載置面がインクジェットヘッド1のノズル面に対して所定の高さ位置となるように配設されている。このステージ102は、θ回転機構103と共にX移動機構105に沿ってスライド移動することによってX方向に沿って直線移動し、このX移動機構105が、それぞれY方向に沿って延びるY移動機構104に沿ってスライド移動することによって、θ回転機構103と共にY方向に沿って直線移動し、更に、θ回転機構103によって、インクジェットヘッド1のノズル面に対して平行を維持したまま、Z方向に沿う方向を軸としてθ方向に回転移動することができるようになっている。
インクジェット描画装置100は、インクジェットヘッド1とステージ102とを相対的に移動させ、そのときの各位置情報に応じて、所定の吐出パターンデータに基づいてインクジェットヘッド1からの液滴の吐出を制御し、ステージ102上の被記録材W表面に着弾させることで、所望の描画を行う。
(比較例)
2μmの厚みのSiO2膜(シリコン酸化膜)からなる振動板が積層された150μm厚みのSi基板から作製された圧力室プレートを用意する。振動板上に共通電極としてAu金属膜200nmを蒸着にて積層形成し、その後、さらにスパッタリングにてPZTを所定箇所に2μmの厚みでアクチュエータとしてパターン形成した。この圧力室プレートに、ガラス基板によって形成された中間プレートとSi(シリコン)基板によって形成されたノズルプレートをこの順に接着してヘッド基板を作製し、ヘッド基板の振動板側と配線基板とを熱圧着により、接着樹脂層が共通電極であるAu金属膜と接着されるように接着を行った後、配線基板にマニホールドを取り付けてヘッドを作製した。これを比較例とする。
2μmの厚みのSiO2膜(シリコン酸化膜)からなる振動板が積層された150μm厚みのSi基板から作製された圧力室プレートを用意する。振動板上に共通電極としてAu金属膜200nmを蒸着にて積層形成し、その後、さらにスパッタリングにてPZTを所定箇所に2μmの厚みでアクチュエータとしてパターン形成した。この圧力室プレートに、ガラス基板によって形成された中間プレートとSi(シリコン)基板によって形成されたノズルプレートをこの順に接着してヘッド基板を作製し、ヘッド基板の振動板側と配線基板とを熱圧着により、接着樹脂層が共通電極であるAu金属膜と接着されるように接着を行った後、配線基板にマニホールドを取り付けてヘッドを作製した。これを比較例とする。
(実施例1)
同じく2μmの厚みのSiO2膜(シリコン酸化膜)からなる振動板が積層された150μm厚みのSi基板から作製された圧力室プレートを用意する。振動板上にレジストを塗布し、マスク露光、および現像した後、共通電極としてAu金属膜200nmを蒸着にて積層形成し、レジストを剥離した後に、接着樹脂層のパターニング形状とほぼ同形状にパターニングされた非金属膜領域が形成された、共通電極を形成した。その後、スパッタリングにてPZTを所定箇所に2μmの厚みでアクチュエータとしてパターン形成した。この圧力室プレートに、ガラス基板によって形成された中間プレートとSi(シリコン)基板によって形成されたノズルプレートをこの順に接着してヘッド基板を作製し、ヘッド基板の振動板側と配線基板とを熱圧着により、接着樹脂層が非金属領域と接着されるように接着を行った後、配線基板にマニホールド(共通インク室)を取り付けてヘッドを作製した。このヘッドを実施例1とする。
同じく2μmの厚みのSiO2膜(シリコン酸化膜)からなる振動板が積層された150μm厚みのSi基板から作製された圧力室プレートを用意する。振動板上にレジストを塗布し、マスク露光、および現像した後、共通電極としてAu金属膜200nmを蒸着にて積層形成し、レジストを剥離した後に、接着樹脂層のパターニング形状とほぼ同形状にパターニングされた非金属膜領域が形成された、共通電極を形成した。その後、スパッタリングにてPZTを所定箇所に2μmの厚みでアクチュエータとしてパターン形成した。この圧力室プレートに、ガラス基板によって形成された中間プレートとSi(シリコン)基板によって形成されたノズルプレートをこの順に接着してヘッド基板を作製し、ヘッド基板の振動板側と配線基板とを熱圧着により、接着樹脂層が非金属領域と接着されるように接着を行った後、配線基板にマニホールド(共通インク室)を取り付けてヘッドを作製した。このヘッドを実施例1とする。
(接着強度試験例)
ここで作製されたヘッドのマニホールド(共通インク室)に、図6に示すようにして、外部より圧力100kPaのエアを供給し、溶剤(イソプロピルアルコール)中にヘッドを浸漬させ、エアの漏れがないか確認を行った。その結果、接着樹脂層が非金属領域と接着された実施例1ではノズルプレートに設けたノズルから排出されるエアを除き、エアの漏れがなかったのに対し、樹脂接着層がAu金属膜と接着された比較例ではヘッド基板と配線基板との間でエアの漏れが発生することが確認された。
ここで作製されたヘッドのマニホールド(共通インク室)に、図6に示すようにして、外部より圧力100kPaのエアを供給し、溶剤(イソプロピルアルコール)中にヘッドを浸漬させ、エアの漏れがないか確認を行った。その結果、接着樹脂層が非金属領域と接着された実施例1ではノズルプレートに設けたノズルから排出されるエアを除き、エアの漏れがなかったのに対し、樹脂接着層がAu金属膜と接着された比較例ではヘッド基板と配線基板との間でエアの漏れが発生することが確認された。
すなわち、本発明で得られるヘッドでは、配線基板とヘッド基板とが接着樹脂層によって強固に接着されていることが確認できた。
1:インクジェットヘッド
10:ヘッド基板
10a、10b:非金属膜領域
11:ノズルプレート
11a:ノズル
12:中間プレート
12a:連通路
13:圧力室プレート
13a:圧力室
14:振動板
14a:開口部
15:アクチュエータ
15a:アクチュエータ本体
15b:個別電極
15c:共通電極
16、17:金スタッドバンプ
20:配線基板
21:基板本体
21a、21b:貫通孔
22:配線保護層
23a、23b:上部配線
24:配線保護層
25a、25b:下部配線
26a、26b:はんだバンプ
27:駆動IC
28:FPC
29:インク供給路
29a:開口部
30:接着樹脂層
31:収容空間
32:インク流路
40:マニホールド
41:共通インク室
100:インクジェット描画装置
101:装置基台
102:ステージ
103:θ回転機構
104:Y移動機構
105:X移動機構
106:ガントリ
107:スライダ
108:θ回転機構
109:Z移動機構
W:被記録材
10:ヘッド基板
10a、10b:非金属膜領域
11:ノズルプレート
11a:ノズル
12:中間プレート
12a:連通路
13:圧力室プレート
13a:圧力室
14:振動板
14a:開口部
15:アクチュエータ
15a:アクチュエータ本体
15b:個別電極
15c:共通電極
16、17:金スタッドバンプ
20:配線基板
21:基板本体
21a、21b:貫通孔
22:配線保護層
23a、23b:上部配線
24:配線保護層
25a、25b:下部配線
26a、26b:はんだバンプ
27:駆動IC
28:FPC
29:インク供給路
29a:開口部
30:接着樹脂層
31:収容空間
32:インク流路
40:マニホールド
41:共通インク室
100:インクジェット描画装置
101:装置基台
102:ステージ
103:θ回転機構
104:Y移動機構
105:X移動機構
106:ガントリ
107:スライダ
108:θ回転機構
109:Z移動機構
W:被記録材
Claims (7)
- インクを吐出させる複数のノズルにそれぞれ対応して配設され、該ノズルから吐出させるためのインクを収容する複数の圧力室と、前記圧力室にそれぞれ対応して配置され、該圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させるための圧力を付与する複数のアクチュエータとを有するヘッド基板と、
複数の前記アクチュエータにそれぞれ設けられた個別電極及び複数の前記アクチュエータに共通に設けられた共通電極に対してそれぞれ電気的に接続するための配線端子を有する配線基板とを備え、
前記配線基板が前記ヘッド基板の上方から接着樹脂層を介して接合されることによって、前記ヘッド基板の上面に配置された前記アクチュエータの前記個別電極及び前記共通電極と前記配線基板の前記配線端子とが電気的に接続されるインクジェットヘッドであって、
前記共通電極は、前記ヘッド基板の上面に積層されていると共に、少なくとも前記接着樹脂層が接着される領域には形成されておらず、該接着樹脂層が前記共通電極を介さずに前記ヘッド基板の上面に接着されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記接着樹脂層に、前記ヘッド基板の前記圧力室内にそれぞれインクを供給するためのインク流路が貫通形成されていることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。
- 前記共通電極が形成されない領域は、前記インク流路毎に独立していることを特徴とする請求項2記載のインクジェットヘッド。
- 前記ヘッド基板の上面の少なくとも前記接着樹脂層が接着される領域が非金属材であることを特徴とする請求項1、2又は3記載のインクジェットヘッド。
- 前記ヘッド基板の上面の前記非金属材は、合成樹脂又はシリコン酸化物であることを特徴とする請求項4記載のインクジェットヘッド。
- 前記共通電極は、Au又はPtの金属膜からなることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のインクジェットヘッドを搭載してなることを特徴とするインクジェット描画装置。
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JP2013521628A Pending JPWO2012176874A1 (ja) | 2011-06-22 | 2012-06-22 | インクジェットヘッド及びインクジェット描画装置 |
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-
2012
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