JPWO2011033933A1 - 平均自由行程を測定する装置、真空計、および平均自由行程を測定する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
従って、基板に垂直にイオンを入射させる為には、加速される領域で他の粒子と衝突させずに基板まで到達させることが肝要である。
ここで、イオンが加速される領域は、陰極の近傍に存在するカソードフォール又はシースと呼ばれている領域である。放電中で生じている電位の変化の多くはこの部分で生じている。この厚さは、放電空間の圧力及び基板ホルダへの印加パワー等に依存するが、典型的には10〜30mm程度である。
従って、このカソードフォール又はシースの領域を衝突せずにイオンを通過させることが出来れば、基板に小さな拡がり角のイオンビームを入射させることが可能となる。
もし、実際のプロセスガス中での平均自由行程が分れば、プロセス条件を調整することにより、カソードフォール又はシース長より平均自由行程を長くすることにより、拡がり角の小さな入射イオンを得ることが出来る。
従来では、所定のガス雰囲気中で、所定のイオンの平均自由行程を求める場合、温度、ならびに所定のガスの粒子径および所定のイオンの径を求め、該値を用いてガス数密度や圧力から変換して平均自由行程を求めている(非特許文献1、2参照)。すなわち、従来では、平均自由行程を直接求めてはおらず、温度やガスの粒子径およびイオン径から間接的に計算により求めている。従って、イオンが移動する系の温度、および該イオンの径、雰囲気ガスの粒子径が分からなければ、平均自由行程を求めることはできなかった。
ここで、「ガス数密度」とは、ガスが分子の場合は単位体積当たりの分子の数、ガスが単原子分子の場合は単位体積当たりの原子数のことである。
このように、イオンのイオン径、雰囲気ガスの粒子径や温度が知られていない場合には、平均自由行程を圧力やガス数密度から変換することは困難となり、またこれらが知られても混合ガスの場合には変換計算が煩雑となる。
例えば、平均自由行程は、真空度を示すことができる。真空度(真空のレベル)を示す方法は、「ガス数密度」、「圧力」および「平均自由行程」の三つがあり、従来では、ガス数密度、または圧力が用いられている。この三つは雰囲気ガスの分子径や温度をパラメータとして互いに変換することが可能なので原理的には同じ量を示してはいるが、利用する現象としては全く別と言ってよいほど異なっている。
このように様々な分野で威力を発揮する平均自由行程を、煩雑な計算や測定を行うことなく、簡便かつ正確な方法で直接求めることは非常に有用であるが、現在は、平均自由行程を直接求める方法は確立されていない。
この減衰は、放射線元素の減衰と同じ指数関数的な現象であって、常にある時間(飛行距離)が進むと存在量が以前のある比率になるものである。習慣的に、放射線元素では存在量が半分になるまでの時間を半減期としているが、平均自由行程では1/e(0.37倍)となる飛行距離を平均自由行程としている。このように指数関数の減衰であるため、二つの異なる飛行距離での減衰量が分かると、数学的に減衰の強さ(すなわち、平均自由行程)を算出することが可能となるのである。
なお、「イオンに対応する中性分子」とは、該イオンがイオン化する前の中性分子である。
また、例えば、真空度を測定する分野にも適用することができる。
上述のように、真空度は、「ガス数密度」、「圧力」および「平均自由行程」の3つの量によって示すことができる。従来では、イオンゲージ(電離真空計)等によるガス数密度の計測、または隔膜真空計等による圧力(単位面積の壁を押す力)の計測により真空度を求めている。
ここで、イオン量とガス数密度との換算値のことは、一般には感度と言われる。
このように両者は、測定原理が異なるので適用できる真空度の領域が異なるものの、いずれも真空度(ガス数密度/圧力)に依存する量(イオン量/変形量)から換算値または換算式によって真空度を算出している点は同じである。
なお、以降説明では、荷電粒子としてイオンを用いる場合について説明するが、荷電粒子は電子であっても良いことは言うまでも無い。
まず、計算を簡単にするため、イオン源で発生するイオン数は真空度によらず一定として考える。
減衰前のイオン数をI0、飛行距離:L1の減衰後のイオン数をIL1、飛行距離:L2の減衰後のイオン数をIL2、平均自由行程をλとする。これらが図1Aに模式的に示されている。
IL1=I0・exp(−L1/λ) (1)
IL2=I0・exp(−L2/λ) (2)
式(1)または式(2)より、
λ=−L1/In(IL1/I0) (3)
λ=−L2/In(IL2/I0) (4)
が得られる。なお、“In”は自然対数である。式(3)、(4)からは、1つのコレクタにおける減衰後のイオン数から平均自由行程λを求めることができる。
また、式(1)および(2)より、
λ=(L2−L1)/In(IL1/IL2) (5)
が得られる。式(5)からは、2つのコレクタにおける減衰後のイオン数の比較から平均自由行程を求めることができる。なお、式(5)はI0と無関係となるので、高精度な測定が期待される。すなわち、式(5)を用いると、イオン源に望ましくない変動(I0が不意に変動しても)があっても、平均自由行程を求めるパラメータに含まれないので、上記変動があっても正確な平均自由行程を求めることができる。
図1Aにおける、飛行によりイオン数が減衰する状況が図1Bのグラフに示されている。横軸は雰囲気の真空度であり、縦軸は飛行後のイオン数を示す。なお、横軸は右に行くほど真空度が悪くなる、つまりガス数密度は大きくなるように示しているが、平均自由行程はガス数密度に反比例するので、横軸は右に行くほど平均自由行程は短くなる(すなわち、平均自由行程の逆数とみなせる)。図1Bにおいて、符号13は、飛行距離が短い場合であるイオン数IL1と真空度(平均自由行程)との関係を示すグラフであり、符号14は、飛行距離が長い場合であるイオン数IL2と真空度(平均自由行程)との関係を示すグラフである。
上記式(1)〜(5)は、イオン源にて発生するイオン数は真空度に依存しないものとしていたが、イオンゲージや最も一般的なイオンゲージをベースとしたイオン源では真空度に依存してイオン数が変化する。すなわち、具体的に説明すると、図2Bの左側の部分のように、イオン電流の変化は図1Bの曲線に真空度の比例分が掛け合わされた形となる。図2Aが、イオン電流が真空度に依存するイオン源の場合の、本発明の平均自由行程を求める原理を説明するための模式図であり、図2Bが、図2Aにおける、飛行によりイオン数が減衰する状況を説明するための図である。
図2Aに示した、真空度依存のあるイオン源21a、21bが一般的なので、これについて説明する。イオン源21aは円筒型でかつ格子状など電子が透過できる形態のグリッド22aと加熱されて熱電子を放出するフィラメント23aとを備えている。グリッド22aは+100V、フィラメント23aは+30V程度に電圧が印加される。フィラメント23aより放出された電子はグリッド22aに向かって進むがほとんどの電子はグリッド22a内部にまで侵入し、そこで雰囲気ガスと衝突して正電荷のイオンを発生する。イオンはほぼグリッド22aの電位(+100V)で発生するのでアース電位のコレクタ24aに向かって進むことになり、コレクタ24aに流れる電流が発生したイオン数(イオン電流)となる。なお、イオン源21bも同様である。
真空度依存のあるイオン源を使って平均自由行程を求める方法を示す。ただし、簡単のため以下の3点が満足していることを前提とする。
α:測定に利用するイオン源が同じ真空度の、かつ同じ温度の領域に位置している。
β:測定に利用するイオン源が同じ数のイオンを発生する。
γ:各コレクタ(検出器)のイオンの検出効率は等しい。
λ = −60/ln(0.4/1.1)=60
となり、平均自由行程が60mmであると算出される(この場合は、平均自由行程と飛行距離がちょうど同じなので、イオン電流は1/e:0.37倍に減衰している)。
λ = −60/ln(0.33/2.4)=30
となり、平均自由行程が30mmであると算出される。
λ = −8/ln(3.3/12)=6
となり、平均自由行程が6mmであると算出される。
λ =−8/ln(1.8/25)=3
となり、平均自由行程が3mmであると算出される。
以上の計算はすべて飛行距離ゼロを減衰前の値としたが、コレクタ24aとコレクタ24bとの間での飛行による減衰に注目し、コレクタ24aでの値を減衰前、コレクタ24bの値を減衰後とすることも出来る。この場合にはイオン源からの引出し効率などの影響が入らないのでより高精度となる。これが式(5)に対応する。
λ =(60−8)/ ln(0.33/1.8)=30
となり、平均自由行程が30mmであると算出される。
なお、図4の点線44は飛行距離52mmでの減衰曲線であるが、これと式(3)を使っても同じ値が出る(数学的に等価)。
真空度を示す平均自由行程、ガス数密度、圧力の3つは以下の式によって変換することが出来る。
ガス数密度:n=K1・1/(d2・λ) (6)
圧力:P=K2・n・T=K3・T/(d2・λ) (7)
ただし、λは平均自由行程(m)、dは主成分の分子直径(m)、Tは温度(絶対温度:K)であり、P(圧力)の単位はPa(1N/m2)である。定数はK1=1/(√2・π)=0.225、K2=1.38×10−23J/K(ボルツマン定数)、K3=K1・K2となる。
飛行距離ゼロのイオンを測定するイオン源(B-Aゲージ)と外部コレクタにて検出させるためのイオンの出力とを、一つのイオン源で兼用することが出来れば、上記前提の「α:測定に利用するイオン源が同じ真空度・温度領域に位置する要件」を確実に満足するだけでなく、「β:測定に利用するイオン源が同じ数のイオンを発生する要件」をほぼ満足する。経済性や操作性・サイズ的なメリットも大きい。
そして、内部コレクタで計測されるイオンとほぼ同量のイオンがビームとして外部に放出されているので、内部コレクタによって減衰前のイオン電流I0が計測できることになる。しかし、厳密には同量ではないので、後述する「減衰なし較正」によってこの差を補正することが望ましい。
なお、第1〜第3の実施形態(図5〜7)では、複合型のイオン源を採用している。
本測定方法では必ず二つ以上のコレクタ(検出器)が必要となるが、それぞれにイオン源(イオンビーム)を用意するのは実用的ではない。この解決には、一つのイオン源(イオンビーム)に二つのコレクタを直列に設置(同一のイオンの飛行軸上に二つのコレクタを配置)して、イオン源に近い第1のコレクタでは一部のイオンは検出するが、残りのイオンはそのまま透過して、第1のコレクタよりも遠くに位置する第2のコレクタに進むようにすればよい。たとえば第1のコレクタをメッシュ状、スリット状あるいは少なくとも1つの小窓を設けた構造とする。あるいは、第1のコレクタは、導電性の部材を薄膜化したもの(例えば、シリコン薄膜)であっても良い。所定条件においては、導電性薄膜に荷電粒子が入射すると、その一部は該導電性薄膜に捕捉され、他の一部はそのまま透過する。このように、本発明では、透過型の第1のコレクタとしては、入射された荷電粒子の一部を検出し、他の一部を透過させることができる部材であればいずれの部材を用いても良い。そして平均自由行程の算出には第1のコレクタによるイオンの検出率によって本来の電流を較正する。
第1〜第8の実施形態(図5〜7、9〜11、13〜15)では、透過型の第1のコレクタを採用している。
より高い精度を実現するには上記項目9)の透過型の第1のコレクタでの物理的なイオン検出の比率だけでなく、電気的な検出比率(二つの計測回路の増幅率の差)を較正する必要がある。さらにI0(内部コレクタの値)を使用する場合には内外コレクタの比率較正も必須である。特に、汚れが顕著となる環境では、透過型の第1のコレクタの開口部(例えば、メッシュ)の透過率が変化することも懸念される。
読み取り誤差の観点からは、測定したい真空度範囲において二つの飛行距離でのイオン電流の比が概ね1.2倍以上、100倍以内となること、つまり、二つの飛行距離の差が平均自由行程の0.2倍から4倍程度とすることが望ましい(この0.2倍、4倍程度の値は、ln(IL1/IL2)=(L2−L1)/λより、ln1.2=0.18<0.2、およびln100=4.6>4 から算出される)。例えば、飛行距離が第1、第2のコレクタによる第1の飛行距離8mmと第2の飛行距離60mmとでは二つの飛行距離の差は52mmとなる。そこで、この52mm(飛行距離の差)が平均自由行程の0.2倍から4倍程度とするのが望ましいことから、この52mmの5倍(0.2倍の逆数)から0.25倍(4倍の逆数)までの平均自由行程、すなわち260mmから13mmまでの平均自由行程の真空度が適用できる範囲となる。圧力表示では、これは0.03Paから0.5Paとなる。
上記項目11)の真空度範囲で示された範囲は平均自由行程を直接計測する場合であるが、複合型のイオン源でのイオンゲージ機能と併用すれば、さらに真空度の範囲を広くすることが出来る。すなわち、通常のイオンゲージの測定範囲、すなわち1Pa〜10-8Pa程度までの広い範囲において極めて正確な真空度の測定が可能となる。上記項目8)で示したように複合型のイオン源は感度(換算値)が半分であることを除けば従来真空計であるイオンゲージ(B-Aゲージ)と同じ機能・性能を持っている。しかし、もともとイオンゲージ(B-Aゲージ)は数桁以上の広大な範囲に渡ってリニアリティ(線形性)を保有するという優れた性能を持つ一方、感度(換算値)、すなわち信号量の絶対値は変化しやすいという欠点を持つ。図4での「減衰前(イオン源)のイオン電流」を示すグラフ41の右45度のラインがイオンゲージの真空度表示に対応するが、リニアリティ(線形性)が良好とはラインが直線となっていること、感度(換算値)が変化しやすいとはライン全体の上下位置がずれやすいことを意味している(図4は両対数グラフなので上下位置がずれるが、通常グラフにおいてはリニアティが変化するとは、傾きが変化することを言う)。
減衰をおこさせる荷電粒子としてはイオンだけでなく電子も利用することが出来る。電子は直径が小さいので平均自由行程はイオンのおよそ5.6倍になるので、同じ飛行距離であればイオンよりも5倍ほど良い真空度の測定に適用できる。電子の発生方法として最も一般的なものは熱フィラメント方式であるが、その他の電子源として傍熱型酸化物やフィールドエミッション型など、電子を発生できる方法であればいずれも使用することが出来る。第6〜第10の実施形態(図11、13〜16)では、電子を利用している。
雰囲気ガス(中性分子)と衝突したイオンや電子は消滅する訳ではなく、単に運動エネルギーを失うだけなので飛行空間に迷イオンや迷電子として残存・浮遊することになる。
そこで、これら迷イオン、迷電子といった迷荷電粒子を速やかに除去しないと、コレクタに到達してしまって荷電粒子量測定の誤差となり得る。この対策の一つは機械的なもので、計測に無関係な荷電粒子を飛行領域に入れないこと、エネルギーを失った荷電粒子をコレクタの前で阻止すること、アース電位(あるいはわずかにマイナス電位)の板を飛行領域近傍に設置して迷荷電粒子を吸収すること、などが行なわれる。機械的方法は、第2、4〜8の実施形態(図5、9、10、11、13)で採用している。
精度を劣化させる要因は「飛行距離以外の真空度依存性」の存在であるが、その可能性と対策は以下にように考えられている。
[1]イオン引出し効率が変動する場合があり得るが、式(5)を使用することなどが対策となる。
[2]イオン開き角度が変動する場合があり得るが、アパーチャの設置やイオンビームよりも小さいコレクタの使用などによって検出角を制限しておくことが対策となる。これは第2、3、4〜9の実施形態(図6、7、9〜11、13〜15)で採用している。
[3]分子との衝突以外にイオンのクーロン力発散(空間電荷効果)、中性分子の引き込みなどに要因があり得るが、これにはイオン電流を少なくする、イオンのエネルギーを高くする(イオン化が発生しない程度に)ことが対策となる。
後述する各実施形態にて説明する、平均自由行程を測定する装置1007は、図16に示す制御部1000を内蔵することができる。また、該制御部を、インターフェースを介して接続するようにしても良い。
図16において、符号1000は装置1007全体を制御する制御手段としての制御部である。この制御部1000は、種々の演算、制御、判別などの処理動作を実行するCPU1001、およびこのCPU1001によって実行される様々な制御プログラムなどを格納するROM1002を有する。また、制御部1000は、CPU1001の処理動作中のデータや入力データなどを一時的に格納するRAM1003、およびフラッシュメモリやSRAM等の不揮発性メモリ1004などを有する。
図5は本発明の第1の実施形態に係る平均自由行程を測定する装置1007を示す図であり、複合型のイオン源と透過型のコレクタが使用されている。図5で示されている装置1007全体が測定すべき雰囲気ガスの中に設置されている。ただし、図に示した電流計は模式的であって、実際には雰囲気ガスの外に配置されている。また、図には示されていないが、各電極は真空計としてよく知られている方法によって取付け・固定がなされ、接続された配線が大気側に導通している。たとえば、それぞれの電極は絶縁石(セラミックなど)にネジ止めされ、電気溶接された配線(ニッケル線など)がガラス封止の導入端子を経て大気側の制御装置まで伸びている。
すなわち、コレクタ203は、飛行距離L2飛行し減衰したイオン数Ibを検出する。
従って、不揮発性メモリ1004には、距離Lcの値(=0mm)も記憶されている。
まず、フィラメント101を加熱し、グリッドに到達する電子が適当な値となるように設定する(必ずしも、この値を正確に知る必要はなく、厳密に一定な値とする必要もない)。すなわち、制御部1000は、イオン源100からイオン110が発生するように、装置1007を制御する。
つぎに、内部コレクタ201、コレクタ202、コレクタ203に流れ込むそれぞれのイオンの量(イオン数Ic、イオン数Ia、イオン数Ib)を計測する。すなわち、制御部1000は、内部コレクタ201、コレクタ202、およびコレクタ203にてイオンを検出するように装置1007を制御し、検出されたイオン数Ic、イオン数Ia、イオン数Ibを装置1007から取得し、RAM1003に格納する。
最後に、取得されたイオン数Ic、イオン数Ia、イオン数Ibを適宜用い、式(3)〜(5)を使って平均自由行程を算出するが、そのうちイオン量の比率が1.2倍から100倍の範囲内であれば確定値とする。すなわち、制御部1000は、平均自由行程の算出に用いる式に応じた情報を読み出して計算を行う。
イオン数IL1がイオン数Iaとなり、イオン数IL2がイオン数Ibとなり、飛行距離L1が距離Laとなり、飛行距離L2が距離Lbとなる。従って、制御部1000は、不揮発性メモリ1004から距離La、Lbを読み出し、RAM1003からイオン数Ia、Ibを読み出し、該読み出された値から式(5)に従って平均自由行程を算出する。
イオン数IL1がイオン数Icとなり、イオン数IL2がイオン数Iaとなり、飛行距離L1が距離Lcとなり、飛行距離L2が距離Laとなる。従って、制御部1000は、不揮発性メモリ1004から距離Lc、Laを読み出し、RAM1003からイオン数Ic、Iaを読み出し、該読み出された値から式(5)に従って平均自由行程を算出する。
減衰なし較正を行う場合は、制御部1000は、用いる式に応じて、不揮発性メモリ1004から初期値としてのイオン数Ia′、イオン数Ib′、イオン数Ic′を適宜読み出し、該読み出された値を用いて減衰なし較正を行うことができる。例えば、式(5)を用いる場合は、不揮発性メモリ1004からイオン数Ia′、イオン数Ib′を読み出し、イオン数Ia/イオン数Ia′およびイオン数Ib/イオン数Ib′に規格化して減衰なし補正を行う。
なお、制御部1000は、計算により得られた平均自由行程を表示部1006に表示させることができる。このように、表示することで、ユーザは現在の真空度を知ることができる。
図6は本発明の第2の実施形態に係る平均自由行程を測定する装置を示す図であり、複合型のイオン源と透過型コレクタとが使用されるとともに、迷イオンに対する対策とイオン開き角度による精度劣化の対策とが行なわれている。イオン源100とコレクタ-202とコレクタ203とは第1の実施形態と全く同じであり測定手順・計算方法・真空度範囲なども同じである。ただし、本実施形態では、機械的な迷イオン対策としてビーム角制限板400、迷イオン阻止板401a、401b(2枚)、迷イオン吸収板402の三種の電極が新たに設置されている。
以上、本実施形態では、迷イオン対策を厳重に行なって、測定精度の大幅な向上を可能にしている。
図7は本発明の第3の実施形態に係る平均自由行程を測定する装置を示す図であり、複合型のイオン源と透過型コレクタとが使用されるとともに、イオンの開き角度による精度劣化要因の対策、および電気的な迷イオンの対策が行なわれている。イオン源100とコレクタ202とコレクタ203とは第1の実施形態とほぼ同じであり測定手順・計算方法・真空度範囲なども同じであるが、コレクタ202、コレクタ203の大きさ(検出実効面)が特有なものとなっている。さらに、電気的な迷イオン対策としてイオンブランキングが新たに設置され、電流計としてロックイン(変調同期型)アンプが使用されている。
図8において、符号506は、雰囲気ガスと衝突しなかった時のコレクタにて検出されるイオン電流であり、符号507は、雰囲気ガスと衝突した時のコレクタにて検出されるイオン電流である。また、符号508は、信号となるイオン(無衝突でコレクタに到達したイオン)であり、符号509は、ノイズとなる迷イオンである。
図9は本発明の第4の実施形態に係る平均自由行程を測定する装置を示す図であり、装置としては測定のためのイオン源は保有せずに、プラズマなど測定すべき雰囲気から飛来するイオンを利用している。各電極に関しては第2の実施形態(図6)とほぼ同じで、装置1007は、迷イオン阻止板401a、401b、迷イオン吸収板402、およびシールドケース603を備えている。
図10は本発明の第5の実施形態に係る平均自由行程を測定する装置を示す図であり、本実施形態に係る装置1007は上記各実施形態に比べて真空度の悪い領域に適している。図10において、下側の図は正面図であり、上側の図は上面図である。透過型のコレクタ202は上記各実施形態と同じであるがイオン源100にはシンプルなものが使われ、全体に細長い形状としている。イオン源100は、SUS製などの板状(8mm×2mm程度。電子透過不可)のグリッド102、W製ワイヤ(φ0.2mm、長さ8mm程度)のフィラメント101のみを有している。なお、本実施形態のグリッドは、円筒型で電子を透過させ内部でイオンを生成させる第3の実施形態までのグリッドとは異なり、板状であってグリッド近傍でイオン化させるので電子を透過させる必要はなく、メッシュ//格子状ではなく目の詰った単なる板が使われる。グリッド102は+100V、フィラメント101は+30V程度に電圧が印加され、両者の間隔は1mm程度である。
図11Aは本発明の第6の実施形態に係る平均自由行程を測定する装置を示す図である。なお、図11Aの上側の図は、本実施形態に係る装置1007の上面図であり、下側の図は、正面図である。図11Bは、図11Aに示す装置1007のフィラメント・グリッドの制御回路を示す図である。本実施形態に係る装置1007は、より広範囲な測定が行なえるように測定に用いる荷電粒子をイオンと電子とで切り替え可能になっている。雰囲気内に設置する部分は印加電圧を除き第5の実施形態と同じであるが、フィラメント・グリッドの制御回路は新たなものとなっている。
図12Aは本発明の第7の実施形態に係る平均自由行程を測定する装置を示す図である。なお、図12Aの上側の図は、本実施形態に係る装置1007の上面図であり、下側の図は、正面図である。図12Bは、図12Aに示す装置1007のフィラメントの制御回路を示す図である。本実施形態に係る装置1007は、電子専用として構造をよりシンプルにするとともに同じフィラメント101を使ってピラニゲージの機能を持たせている。雰囲気内に設置する部分はグリッドが存在しないことを除き第6の実施形態と同じであるが、図12Bに示すように、フィラメントの制御回路は新たなものとなっている。電子310による平均自由行程の測定の動作・手順は第6の実施形態と全く同じであり、必要に応じ「減衰なし較正」「真空計較正」を行なうことも同様である。
図13Aは本発明の第8の実施形態に係る平均自由行程を測定する装置を示す図である。なお、図13Aの上側の図は、本実施形態に係る装置1007の上面図であり、下側の図は、正面図である。図13Bは、図13Aに示した装置の各電極の形状を示す図であり、図13Cは、図13BにおけるラインAでの電子ビーム軌道を示す図であり、図13Dは、図13BにおけるラインBでの電子ビーム軌道を示す図である。本実施形態に係る装置1007では、幅(面積)が広い電子源の使用および「減衰なし較正」無しに対応できるようにコレクタの形状を工夫している。これはつぎのような要求によるものである。1800℃もの高温になるフィラメント方式では雰囲気ガスと反応してしまうなどの問題があり、より低温にできる傍熱型の酸化物陰極やその他低温の電子源が望まれている。しかしながら、このような電子源は輝度(電子の強度。単位面積、単位角度あたりの電子放出量)が大幅に低くなってしまう。また、用途によっては雰囲気の真空度を十分に良くすることは不可能で「減衰なし較正」を使用できない場合がある。
ビーム角制限板400、コレクタ202、コレクタ203、迷電子吸収板412はいずれも厚み0.5mm程度のSUS製などの板(プレート)である。電子源300の電位は−30Vであり、迷電子吸収板412は+5Vとしているが、その他はすべてアース電位(0V)となっている。
図14Aは本発明の第9の実施形態に係る平均自由行程を測定する装置を示す図である。なお、図14Aの上側の図は、本実施形態に係る装置1007の上面図であり、下側の図は、正面図である。図14Bは、図14Aに示す各電極の形状、およびそれらの回路を示す図である。本実施形態に係る装置1007では、幅広の電子源と「減衰なし較正」無しの実現とに加え、多くのコレクタを使用することにより適用真空度の範囲を拡大している。基本的な構造・動作は第8の実施形態の図13と同じであるが、コレクタの数が増加するとともにロックイン(変調同期型)アンプ502が使われている。よって、本実施形態では、迷電子吸収板を用いる必要が無い。
図15Aは本発明の第10の実施形態に係る平均自由行程を測定する装置を示す図であり、図15Bは、図15AのA−A′線断面図である。本実施形態では、1つのコレクタにてしかも機械的な構造も変えずに、異なる飛行距離の測定が行なえるようにしている。
距離を変更する原理は、進行方向(軸方向)に平行な磁場が存在すると電子はらせん運動を行なうこと、らせん回数は進行方向の速度(運動エネルギー)に依存することに拠っている。利用する荷電粒子はイオンでも可能であるが、強力な磁場が必要でガス種によりらせん運動(径)が変わることなどの問題があるので、本実施形態では電子を使用している。
前者をリペラ兼用磁石701とし、後者をコレクタ兼用磁石702とする。両者の間隔は80mm程度であり、その間の磁場が16ガウスとなるように調整されている。
シールドケース603は厚みが5mm程度の純鉄(あるいは磁性ステンレス)製で、外乱磁場のシールド(遮蔽)だけでなく磁石のヨークの役目を果たす。
以上各実施形態を説明してきたが、本発明の実施形態はこれらに限定されることはなく、それぞれの実施形態の各要素を組み合わせること、入れ替えることが可能なのは当然である。また、全体の構造、およびそれぞれの電極の形状、寸法、材料、および印加電圧は上記実施形態に限定されることなく任意に選ぶことができる。
項目15)「精度劣化の要因」にて上述したように、理想的な状態からの“ずれ”は必ず発生するものであるが、関連する条件(イオン電流、イオンエネルギー、イオン種など)が同じであれば“ずれ”もほぼ同じであることが多い。そこで、実験的(経験的)にこの“ずれ”を測定し、これを補正するような計算式、すなわち実験式(補正項)を入れた計算式を求めておくことが出来る。この実験式(例えば、乗算に関する実験式F、および加算に関する実験式G)を入れた計算式(例えば、λ=(L2−L1)/In(IL1/IL2)×F+G)によるプログラムを使用することによって、より精度の高い測定を行なうことが出来る。また、さらに、補正項は関連する条件に依存するので、いくつかの条件での実験を行なうことにより、関連する条件を変数とした補正項の関数(例えば、実験式F、G)を求めることが可能となる。これを使用すると、さらに精度のよい測定を行うことができる。
本発明は、複数の機器(例えばコンピュータ、インターフェース機器、リーダ、プリンタ、装置1007など)から構成されるシステムに適用することも、1つの機器からなる装置に適用することも可能である。
Claims (19)
- 雰囲気ガス中における荷電粒子の平均自由行程を測定する装置であって、
前記荷電粒子を発生する発生源と、
前記発生源からの飛行距離が0以上の第1の飛行距離である荷電粒子の第1の荷電粒子数を検出し、前記第1の飛行距離よりも長い第2の飛行距離の荷電粒子の第2の荷電粒子数を検出する検出手段と、
前記第1および第2の荷電粒子数の比率から前記平均自由行程を算出する算出手段と
を備えることを特徴とする装置。 - 前記検出手段は、
前記第1の荷電粒子数を検出する第1の検出器と、
前記第1の検出器よりも前記発生源から遠い距離に位置する、前記第2の荷電粒子数を検出する第2の検出器と
を有することを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記検出手段は、
前記荷電粒子を検出する検出器と、
前記発生源から前記検出器までの前記荷電粒子の軌道を調整する調整手段とを有し、
前記調整手段により前記荷電粒子の飛行距離を変化させることにより、前記検出器は前記第1及び第2の荷電粒子数を検出することを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記発生源は、
電子を放出させるフィラメントと、
前記電子を引き寄せて前面近傍でイオンを生成させるグリッドと、
前記生成されたイオンを引き出す平板状の引出し電極であって、到達したイオンのうちその一部のイオンをそのまま通過させるように構成された引出し電極と
を有することを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記発生源は、
電子を放出させる電子源と、
前記放出された電子を引き出す引出し電極であって、到達した電子のうちその一部の電子をそのまま通過させるように構成された引出し電極と
を有することを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記荷電粒子は、イオンであり、
前記発生源は、
熱電子を放出させるフィラメントと、
前記熱電子を引き込み内部でイオンを生成させる略円筒状のグリッドと、
前記グリッドの内部に設置されたワイヤ状のコレクタとを有し、
前記コレクタの長さを前記グリッドの軸方向長さより短くしたことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記コレクタの長さは、前期グリッドの軸方向長さの半分程度であることを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 第1の真空度において検出された第1の荷電粒子数を第1の初期値とし、該第1の真空度において検出された第2の荷電粒子数を第2の初期値とした時、前記算出手段は、前記第1の真空度よりも悪い第2の真空度において検出された第1の荷電粒子数を、該第1の荷電粒子数を前記第1の初期値で割った値に規格化し、かつ前記第2の真空度において検出された第2の荷電粒子数を、該第2の荷電粒子数を前記第2の初期値で割った値に規格化して、前記第1および第2の荷電粒子数の比率を求めることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記検出手段は、到達した荷電粒子のうちその一部を検出するとともに、他の一部の荷電粒子をそのまま通過させるように構成された検出器であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記構成された検出器は、少なくとも1つの開口部を有し、
前記少なくとも1つの開口部を有する検出器は、メッシュ状、スリット状、または少なくとも1つの窓を有する検出器であることを特徴とする請求項9に記載の装置。 - 雰囲気ガスと衝突して運動エネルギーを失った荷電粒子を吸収する電極をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 検出器に到達する荷電粒子を断続的とする手段と、
前記手段と同期したロックイン(変調同期型)アンプとをさらに備え、
前記ロックインアンプは、前記検出された第1および第2の荷電粒子数からノイズを除去することを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記荷電粒子を発生する発生源として雰囲気ガス中に存在するプラズマを利用することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記発生源は、発生される荷電粒子としてイオンと電子を切り替え可能であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記算出された平均自由行程から該平均自由行程に対応する圧力に変換する手段と、
前記変換された圧力を表示する手段と
をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 雰囲気ガス中における荷電粒子の平均自由行程を測定する方法であって、
前記荷電粒子を発生源から発生させる工程と、
前記発生源からの飛行距離が0以上の第1の飛行距離である荷電粒子の第1の荷電粒子数を検出し、前記第1の飛行距離よりも長い第2の飛行距離の荷電粒子の第2の荷電粒子数を検出する工程と、
前記第1および第2の荷電粒子数の比率から前記平均自由行程を算出する工程と
を有することを特徴とする方法。 - 前記荷電粒子はイオンであり、
前記荷電粒子を発生源から発生させる工程は、
前記発生源が有するフィラメントに第1の電位を印加し、前記発生源が有するグリッドに前記第1の電位よりも高い第2の電位を印加して、前記フィラメントから放出された電子を前記グリッドに引き寄せて、該グリッド近傍でイオンを生成し、前記発生源が有する平板状の引出し電極であって、到達したイオンのうちその一部のイオンをそのまま通過させるように構成された引出し電極に前記第2の電位よりも低い第3の電位を印加して、前記生成されたイオンを前記引出し電極に引き寄せ、該引き寄せられたイオンの一部を前記引出し電極から透過させることを特徴とする請求項16に記載の方法。 - 前記荷電粒子は電子であり、
前記荷電粒子を発生源から発生させる工程は、
前記発生源が有するフィラメントに第1の電位を印加して該フィラメントから電子を発生させ、前記発生源が有する平板状の引出し電極であって、到達した電子のうちその一部の電子をそのまま通過させるように構成された引出し電極に前記第1の電位よりも高い第2の電位を印加して、前記生成された電子を前記引出し電極に引き寄せ、該引き寄せられた電子の一部を前記引出し電極から透過させることを特徴とする請求項16に記載の方法。 - 請求項1に記載の装置を備える真空容器であって、
前記真空容器内にプラズマを生成する手段をさらに備え、
前記発生源として、前記生成されたプラズマを用いることを特徴とする真空容器。
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