JPWO2010084681A1 - 3b族窒化物結晶の製法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示す結晶板製造装置10を用いて、窒化ガリウム結晶板を作製した。以下、その手順を詳説する。まず、アルゴン雰囲気のグローブボックス内で、10×15mmの種結晶基板18を育成容器12内で水平方向に対する角度が60°になるように側壁に立てかけると共に、金属ガリウムと金属ナトリウムとをモル比でGa:Na=x:(100−x),x=28となるように秤量し、育成容器12内に入れた。この育成容器12を反応容器20内に入れ、窒素パージを行いながら反応容器20を電気炉24の円筒体26に入れ、上蓋28と下蓋30を閉じて密閉した。その後、所定の育成条件で窒化ガリウム結晶を育成させた。本実施例では、育成条件は、窒素圧力4.5MPa、平均温度875℃にして、100時間育成を行った。また、上ヒーター44及び中ヒーター45の設定温度は865℃、下ヒーター46の設定温度は885℃にし、上ヒーター44の上端から下ヒーター46の下端までの温度勾配(ΔT)を20℃に設定した。このとき、育成容器12内の混合融液における気液界面と育成容器の底部分との間の温度差は、約5℃であった。このような温度勾配を設けることにより、育成容器12内の混合融液の熱対流を発生させた。これにより、図2の一点鎖線の矢印で示すように、混合融液は種結晶基板18の薄膜16の表面に沿って下から上へと対流することになる。反応終了後、室温まで自然冷却したのち、反応容器20を開けて中から育成容器12を取り出し、育成容器12にエタノールを投入し、金属ナトリウムをエタノールに溶かしたあと、育成した窒化ガリウム結晶板を回収した。
実施例2〜4では、実施例1のxの値がそれぞれx=22,25,32となるように金属ガリウムと金属ナトリウムとを秤量した以外は、実施例1と同様にして窒化ガリウム結晶板を製造した。これらについても、実施例1と同様にして微分干渉像観察を行い、エッチピットを目視で判断し、上記(1)〜(3)の各エリアのEPDを求めた。実施例2〜4の結果をそれぞれ図7〜図9に示す。
比較例1,2では、実施例1のxの値がそれぞれx=18,36となるように金属ガリウムと金属ナトリウムとを秤量した以外は、実施例1と同様にして窒化ガリウム結晶板を製造した。これらについても、実施例1と同様にして微分干渉像観察を行い、エッチピットを目視で判断し、上記(1)〜(3)の各エリアのEPDを求めた。比較例1,2の結果をそれぞれ図10,11に示す。
実施例1〜4及び比較例1,2の各エリアのEPDを縦軸に、xの値を横軸にプロットしたグラフを図12に示す。図12より、実施例1〜4(つまりx=22〜32)の場合にはφ1mmの円内のEPDのオーダーが104/cm2以下のエリアが存在したのに対して、比較例1,2(つまりx=18,36)の場合にはこうしたエリアが存在しなかった。また、実施例1〜4及び比較例1,2(つまりx=18〜36)の場合には、グレインサイズがφ1mmの円を内包する大きさであり且つxが大きいほどグレインサイズが大きくなる傾向が見られたのに対して、実施例1で温度勾配(ΔT)を設けず均熱条件で育成した場合には、図13の蛍光顕微鏡像に示すようにグレインサイズがφ0.2〜0.3mmの円を内包する程度の大きさだった。図13から明らかなように、均熱条件で育成した場合には、粒界に起因する不純物帯発光が多くグレインサイズが小さかった。
Claims (6)
- 育成容器内にて3B族金属の濃度が22〜32mol%の混合融液に種結晶基板を浸漬し、該種結晶基板の表面に沿った方向の流れを混合融液に発生させながら前記育成容器に窒素ガスを供給することにより種結晶基板上に3B族窒化物を結晶化させる、
3B族窒化物結晶の製法。 - 前記3B金属の濃度が25〜30mol%である、
請求項1に記載の3B族窒化物結晶の製法。 - 前記種結晶基板の表面に沿った方向の流れを混合融液に発生させるにあたり、前記育成容器内で前記種結晶基板を水平方向に対して角度を持つように支持し、前記育成容器の混合融液の温度につき、上部に比べて下部の方が高くなるようにする、
請求項1又は2に記載の3B族窒化物結晶の製法。 - 前記育成容器の混合融液の温度につき、上部に比べて下部の方が1〜8℃高くなるように設定する、
請求項3に記載の3B族窒化物結晶の製法。 - 前記育成容器の周囲には、該育成容器の上部と下部との気体の流通を妨げる仕切り板と、前記育成容器の上部を加熱する上ヒーターと、前記育成容器の下部を加熱する下ヒーターとが設けられ、前記上ヒーターに比べて前記下ヒーターの設定温度を高温にする、
請求項3又は4に記載の3B族窒化物結晶の製法。 - 前記3B族金属は、金属ガリウムであり、前記3B族窒化物は、窒化ガリウムである、
請求項1〜5のいずれか1項に記載の3B族窒化物結晶の製法。
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