JPWO2010071128A1 - 脆性材料の分割装置および割断方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 脆性材料に想定された割断予定線に対して、その割断予定線上に形成された初亀裂の側から前記割断予定線に沿って前記脆性材料を加熱し、前記割断予定線に沿って加熱する位置を相対的に移動させることで前記脆性材料を分割する脆性材料の分割装置であって、
前記割断予定線に沿って、前記脆性材料にレーザビームを照射して加熱部分を生成するレーザビーム照射手段と、
前記割断予定線に沿った移動方向に関し前記加熱部分の後方の位置で前記脆性材料を局所的に冷却する冷却手段と、
を備え、
前記レーザビーム照射手段は、
前記加熱部分にて、前記移動方向の前方に位置する第1レーザビーム照射領域を形成する第1ビーム照射部と、
前記加熱部分にて、前記第1レーザビーム照射領域の前記移動方向の後方において前記割断予定線に沿って細長い形状の第2レーザビーム照射領域を形成する第2ビーム照射部と、を含む
ことを特徴とする脆性材料分割装置。 - 前記第1ビーム照射部によって形成される第1レーザビーム照射領域に与えるレーザパワーは、前記第2ビーム照射部によって形成される第2レーザビーム照射領域に与えられるレーザパワーよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の脆性材料の分割装置。
- 前記第1ビーム照射部によって形成される第1レーザビーム照射領域のレーザパワー密度は、前記第2ビーム照射部によって形成される第2レーザビーム照射領域のレーザパワー密度よりも低いことを特徴とする請求項1または2に記載の脆性材料の分割装置。
- 前記第1ビーム照射部によって形成される第1レーザビーム照射領域の位置は、前記第2レーザビーム照射領域の後端から離れた位置を前記冷却手段により局所的に冷却して形成される冷却位置に対して、前記割断予定線に沿った方向の距離が可変であることを特徴とする請求項1に記載の脆性材料の分割装置。
- 前記第1レーザビーム照射領域の位置と前記冷却位置との距離は、前記脆性材料の割断速度および厚さの少なくとも一方に基づいて設定されることを特徴とする請求項4に記載の脆性材料の分割装置。
- 前記第1レーザビーム照射領域の形状が略円形であることを特徴とする請求項1に記載の脆性材料の分割装置。
- 前記第1レーザビーム照射領域の形状が略円形の中央部を所定の幅で分断した形状であることを特徴とする請求項1に記載の脆性材料の分割装置。
- 前記第1レーザビーム照射領域を形成する第1レーザビームは、前記第1ビーム照射部からのレーザ光の光路の中央部に所定の幅の遮蔽物を配して生成されることを特徴とする請求項7に記載の脆性材料の分割装置。
- 前記第2レーザビーム照射領域を形成する第2レーザビームは、前記第2ビーム照射部のレーザ光源からのレーザ光を回折光学素子または平凸シリンドリカルレンズに通過させて整形して生成されることを特徴とする請求項1に記載の脆性材料の分割装置。
- 脆性材料の割断予定線の端部に初亀裂を形成する初亀裂形成手段をさらに備え、前記第1ビーム照射部および第2ビーム照射部を前記初亀裂の位置から前記割断予定線に沿って移動させることを特徴とする請求項1に記載の脆性材料の分割装置。
- 前記レーザビーム照射手段は、前記第1ビーム照射部に50%以上のレーザパワーを分配し、前記第2ビーム照射部に50%未満のレーザパワーを分配する、ビームスプリッタを含むことを特徴とする請求項1に記載の脆性材料の分割装置。
- 脆性材料の割断予定線に沿って加熱し、前記脆性材料と前記加熱する位置を前記割断予定線に沿って相対的に移動させて前記脆性材料を割断する脆性材料の割断方法であって、
前記割断予定線上の脆性材料端部に初亀裂を形成し、前記初亀裂を始点として前記脆性材料の加熱を第1のレーザビームおよび第2のレーザビームで行い、前記第1のレーザビームは前記第2のレーザビームに対し前記割断予定線に沿った移動方向の前方に位置するビームであり、前記第2のレーザビームは前記割断予定線に沿って細長い形状のビームであり、前記第2のレーザビームの後端から所定位置だけ離れた位置を局所的に冷却することを特徴とする脆性材料の割断方法。 - 前記第1のレーザビームによって形成される第1レーザビーム照射領域に与えるレーザパワーは、前記第2のレーザビームによって形成される第2レーザビーム照射領域に与えるレーザパワーよりも大きいことを特徴とする請求項12に記載の脆性材料の割断方法。
- 前記第1のレーザビームによって形成される第1レーザビーム照射領域のレーザパワー密度は、前記第2のレーザビームによって形成される第2レーザビーム照射領域のレーザパワー密度よりも低いことを特徴とする請求項12または13に記載の脆性材料の割断方法。
- 前記第1のレーザビームによって形成される第1レーザビーム照射領域の位置は、前記第2のレーザビームの後端から離れた位置を局所的に冷却して形成される冷却位置に対して、前記割断予定線に沿った方向の距離が可変であることを特徴とする請求項12に記載の脆性材料の割断方法。
- 前記第1レーザビーム照射領域の位置と前記冷却位置との距離は、前記脆性材料の割断速度および厚さの少なくとも一方に基づいて設定されることを特徴とする請求項15に記載の脆性材料の割断方法。
- 脆性材料の割断予定線の端部に初亀裂が形成され、第1のレーザビームおよび第2のレーザビームを前記初亀裂の位置から前記割断予定線に沿って移動させることを特徴とする請求項12に記載の脆性材料の割断方法。
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