JPWO2010041610A1 - Electronic component mounting apparatus and mounting method - Google Patents

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悦郎 南浜
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Abstract

実装ステージの上面に載置された基板のTCPが実装される側辺部の下面を支持する上端面を有するバックアップツール17と、バックアップツールの上端面によって下面が支持された基板の側辺部の上面にTCPを実装する加圧ツール15と、バックアップツールの上端面から基板が退避した状態でその上端面を撮像する撮像カメラ51と、撮像カメラをバックアップツールの長手方向に沿って駆動して上端面を全長にわたって撮像させるカメラ駆動源と、カメラ駆動源の撮像信号を画像処理する画像処理部と、画像処理部によって処理された画像信号に基いてバックアップツールの上端面に付着物があるか否かを判定する判定部を具備する。The backup tool 17 having an upper end surface that supports the lower surface of the side portion on which the TCP of the substrate mounted on the upper surface of the mounting stage is mounted, and the side portion of the substrate whose lower surface is supported by the upper end surface of the backup tool. A pressing tool 15 for mounting TCP on the upper surface, an imaging camera 51 for imaging the upper end surface with the substrate retracted from the upper end surface of the backup tool, and driving the imaging camera along the longitudinal direction of the backup tool A camera drive source that captures the entire end surface, an image processing unit that performs image processing on the imaging signal of the camera drive source, and whether or not there is an attachment on the upper end surface of the backup tool based on the image signal processed by the image processing unit A determination unit for determining whether or not.

Description

この発明は、たとえば液晶表示装置に用いられるガラス製の基板に、TCP(Tape Carrier Package)などの電子部品を実装する実装装置及び実装方法に関する。   The present invention relates to a mounting apparatus and a mounting method for mounting an electronic component such as a TCP (Tape Carrier Package) on a glass substrate used in a liquid crystal display device, for example.

液晶表示装置を製造する場合、ガラス製のパネルなどの基板に、電子部品であるTCPを実装するための実装装置が用いられる。TCPは上記基板の4つの辺のうち、少なくとも1つの辺を除く2つ或いは3つの辺に実装されることが多い。   When manufacturing a liquid crystal display device, a mounting device for mounting TCP, which is an electronic component, on a substrate such as a glass panel is used. The TCP is often mounted on two or three sides of the four sides of the substrate except at least one side.

上記実装装置は上記基板が供給載置される実装ステージを有する。この実装ステージは上記基板の平面形状よりも面積の小さな載置面を有し、この載置面に上記基板が供給載置される。その際、上記基板は、上記TCPが実装される側辺部を上記実装ステージの載置面の周縁から外方に突出させて位置決め保持される。   The mounting apparatus has a mounting stage on which the substrate is supplied and mounted. The mounting stage has a mounting surface having a smaller area than the planar shape of the substrate, and the substrate is supplied and mounted on the mounting surface. At that time, the substrate is positioned and held by causing the side portion on which the TCP is mounted to protrude outward from the periphery of the mounting surface of the mounting stage.

上記基板の側辺部には粘着性を有するテープ状の異方性導電部材が貼着されていて、この異方性導電部材に複数のTCPが所定間隔で仮圧着されてから本圧着される。   A tape-like anisotropic conductive member having adhesiveness is attached to the side portion of the substrate, and a plurality of TCPs are temporarily pressure-bonded to the anisotropic conductive member at a predetermined interval and then subjected to final pressure bonding. .

基板の側辺部に複数のTCPを仮圧着したり、本圧着する場合、上記基板は側辺部の下面がバックアップツールの上端面によって支持される。仮圧着時には基板の側辺部の上面に複数のTCPが1つずつ供給されて実装され、本圧着時には仮圧着された複数のTCPを加圧ツールによって同時に加圧加熱するようにしている。   When a plurality of TCPs are temporarily pressure-bonded to the side edges of the substrate or are finally pressure-bonded, the lower surface of the side edges of the substrate is supported by the upper end surface of the backup tool. At the time of temporary pressure bonding, a plurality of TCPs are supplied and mounted one by one on the upper surface of the side portion of the substrate, and at the time of main pressure bonding, the plurality of temporarily pressure-bonded TCPs are simultaneously pressurized and heated by a pressure tool.

上記TCPを本圧着することで、熱硬化性の上記異方性導電部材は上記加圧ツールの熱によって溶融されてから硬化するから、基板の側辺部に複数のTCPが固着されることになる。特許文献1にはこのような実装技術が示されている。
特開2008−124148号公報 TCPを本圧着する際、基板の側辺部の下面を支持するバックアップツールの上端面に塵埃が付着していることがある。塵埃が付着した状態で、基板の側辺部の上面が加圧ツールによって加圧されると、上記基板の塵埃が介在する部分には他の部分よりも大きな加圧力が作用することになるから、その部分が破損するということがある。
By thermally bonding the TCP, the thermosetting anisotropic conductive member is melted by the heat of the pressurizing tool and then cured, so that a plurality of TCPs are fixed to the side of the substrate. Become. Patent Document 1 discloses such a mounting technique.
JP, 2008-124148, A When dust-bonding TCP, dust may adhere to the upper end surface of the backup tool which supports the undersurface of the side part of a substrate. When the upper surface of the side portion of the substrate is pressed with a pressure tool in a state where dust is attached, a larger pressing force than the other portions acts on the portion of the substrate where the dust is interposed. , That part may be damaged.

そこで、従来は本圧着を所定回数行ったならば、上記バックアップツールの上端面をたとえば手作業によって回転ブラシなどで清掃し、その上端面に付着した塵埃を除去するということが行われている。   Therefore, conventionally, after the main pressure bonding has been performed a predetermined number of times, the upper end surface of the backup tool is manually cleaned with a rotating brush, for example, to remove dust adhering to the upper end surface.

ところで、複数のTCPを一度に本圧着する場合、バックアップツールと加圧ツールは、基板に仮圧着された複数のTCPを同時に加圧加熱することができる長さを備えていなければならない。最近では基板が大型化してきている。そのため、基板の大型化に伴ってバックアップツールと加圧ツールがたとえば1〜3m程度の長さに長尺化するということがある。   By the way, when a plurality of TCPs are finally press-bonded at a time, the backup tool and the pressurizing tool must have a length capable of simultaneously pressurizing and heating the plurality of TCPs temporarily bonded to the substrate. Recently, the size of the substrate has increased. Therefore, the backup tool and the pressurizing tool may be elongated to a length of about 1 to 3 m, for example, as the substrate size increases.

バックアップツールが長尺化すると、その上端面には塵埃が付着する機会が多くなる。バックアップツールの上端面には、単に周囲の雰囲気に含まれる塵埃が付着するだけでなく、本圧着時に加圧ツールによって溶融された異方性導電部材の一部が付着物としてバックアップツールの上端面に付着し、固化することがある。   When the backup tool becomes longer, there are more opportunities for dust to adhere to the upper end surface. The upper end surface of the backup tool not only adheres to the dust contained in the surrounding atmosphere but also a part of the anisotropic conductive member melted by the pressurizing tool during the main pressure bonding as an adhering material. May adhere to and solidify.

バックアップツールの上端面に単に塵埃が付着しているだけであれば、その上端面を回転ブラシで清掃することで容易に除去することができる。しかしながら、バックアップツールの上端面に異方性導電部材の一部が固化した付着物が付着していると、回転ブラシで清掃するだけでは除去しきれないということがある。   If dust is simply adhered to the upper end surface of the backup tool, it can be easily removed by cleaning the upper end surface with a rotating brush. However, if an adherent formed by solidifying a part of the anisotropic conductive member adheres to the upper end surface of the backup tool, it may not be removed by simply cleaning with a rotating brush.

従来、バックアップツールの上端面を回転ブラシで清掃するということは行われていた。そして、回転ブラシで清掃すれば、バックアップツールの上端面から塵埃が除去されたものとして本圧着が行われていた。   Conventionally, the upper end surface of the backup tool has been cleaned with a rotating brush. And if it cleaned with a rotating brush, this crimping | compression-bonding was performed as that from which the dust was removed from the upper end surface of the backup tool.

そのため、バックアップツールの上端面に異方性導電部材が固化して付着していると、TCPを本圧着する際、その付着物によって基板が部分的に大きな応力を受けることになるから、その部分に欠けが生じるなどして基板を損傷させる原因になるということがあった。   For this reason, if the anisotropic conductive member is solidified and adhered to the upper end surface of the backup tool, the substrate is partially subjected to a large stress by the adhered material when the TCP is finally pressure-bonded. In some cases, the substrate is damaged due to chipping.

この発明は、バックアップツールの上端面に付着物があるか否かを確実に確認することができるようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。   It is an object of the present invention to provide an electronic component mounting apparatus and mounting method that can reliably confirm whether or not there is an adherent on the upper end surface of a backup tool.

上記課題を解決するために、この発明は、基板の側辺部に電子部品を実装する実装装置であって、
上記電子部品が実装される側辺部を外方に突出させて上記基板が上面に載置される実装ステージと、
この実装ステージの上面から外方に突出させた上記基板の側辺部の下面を支持する上端面を有するバックアップツールと、
このバックアップツールの上端面によって下面が支持された上記基板の側辺部の上面に上記電子部品を実装する加圧ツールと、
上記バックアップツールの上端面から基板が退避した状態で上記上端面を撮像する撮像手段と、
この撮像手段を上記バックアップツールの長手方向に沿って駆動して上記上端面を全長にわたって撮像させる駆動手段と、
上記撮像手段の撮像信号を画像処理する画像処理部と、
この画像処理部によって処理された画像信号に基いて上記バックアップツールの上端面に付着物があるか否かを判定する判定手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置を提供することにある。
In order to solve the above problems, the present invention provides a mounting apparatus for mounting an electronic component on a side portion of a substrate,
A mounting stage on which the substrate is placed on the upper surface by projecting a side portion on which the electronic component is mounted;
A backup tool having an upper end surface that supports the lower surface of the side portion of the substrate protruding outward from the upper surface of the mounting stage;
A pressure tool for mounting the electronic component on the upper surface of the side portion of the substrate whose lower surface is supported by the upper end surface of the backup tool;
Imaging means for imaging the upper end surface in a state where the substrate is retracted from the upper end surface of the backup tool;
Driving means for driving the imaging means along the longitudinal direction of the backup tool to image the upper end surface over the entire length; and
An image processing unit that performs image processing on an imaging signal of the imaging unit;
An electronic component mounting apparatus comprising: a determination unit that determines whether or not there is a deposit on the upper end surface of the backup tool based on an image signal processed by the image processing unit. It is in.

また、この発明は、基板の側辺部に電子部品を実装する実装方法であって、
実装ステージに載置された基板の側辺部の下面をバックアップツールの上端面に載置する工程と、
下面が上記バックアップツールの上端面に載置された基板の側辺部の上面に上記電子部品を実装する工程と、
上記バックアップツールの上端面から基板が退避した状態で上記バックアップツールの上端面を長手方向全長にわたって撮像する工程と、
上記バックアップツールの上端面の撮像に基いてその上端面に付着物があるか否かを判定する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法を提供することにある。
Further, the present invention is a mounting method for mounting an electronic component on a side portion of a substrate,
Placing the lower surface of the side portion of the substrate placed on the mounting stage on the upper end surface of the backup tool;
Mounting the electronic component on the upper surface of the side portion of the substrate whose lower surface is placed on the upper end surface of the backup tool;
Imaging the upper end surface of the backup tool over the entire length in the longitudinal direction with the substrate retracted from the upper end surface of the backup tool;
And a step of determining whether or not there is a deposit on the upper end surface of the backup tool based on the imaging of the upper end surface of the backup tool.

図1はこの発明の一実施の形態の実装装置を示す概略的構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. 図2は圧着ユニットの架台に設けられた検査装置の側面図である。FIG. 2 is a side view of the inspection apparatus provided on the mount of the crimping unit. 図3はバックアップツールの一端側の待機位置にある検査装置の正面図である。FIG. 3 is a front view of the inspection apparatus in the standby position on one end side of the backup tool. 図4は制御装置による制御系統を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing a control system by the control device. 図5(a)はバックアップユニットの受け面に付着物が付着していない状態の撮像カメラによる撮像画像の説明図、図5(b)はバックアップユニットの受け面に付着物が付着している状態の撮像カメラによる撮像画像の説明図である。FIG. 5A is an explanatory diagram of an image captured by the imaging camera in a state where no deposit is attached to the receiving surface of the backup unit, and FIG. 5B is a state where the deposit is attached to the receiving surface of the backup unit. It is explanatory drawing of the captured image by the imaging camera of. 図6は側辺部にTCPが実装された基板の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a substrate on which TCP is mounted on the side portion.

以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。   An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1はこの発明の一実施の形態に係る実装装置の概略的構成図を示す。この実装装置では、図6に示すガラス製の液晶セルからなる基板Wの周縁部に、粘着性を有するテープ状の異方性導電部材5を介して仮圧着された電子部品としてのTCP6が本圧着されるようになっている。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. In this mounting apparatus, the TCP 6 as an electronic component temporarily bonded to the peripheral portion of the substrate W made of a glass liquid crystal cell shown in FIG. 6 via an adhesive tape-like anisotropic conductive member 5 is provided. It is designed to be crimped.

上記基板Wは、一対のガラス板4aを図示しないシール剤を介して所定の間隔で接着し、これらの間に液晶が封入されるとともに、各ガラス板4aの外面には周縁部を除く全面にわたってそれぞれ偏光板4bが貼着されている。   The substrate W adheres a pair of glass plates 4a through a sealing agent (not shown) at a predetermined interval, liquid crystal is sealed between them, and the outer surface of each glass plate 4a covers the entire surface excluding the peripheral portion. A polarizing plate 4b is adhered to each.

下側のガラス板4aの側辺部の上面には上記TCP6が上記異方性導電部材5を介して仮圧着されており、仮圧着されてから後述するように本圧着される。図6は2つの側辺部にそれぞれ複数のTCP6が仮圧着された基板Wを示す斜視図である。   The TCP 6 is temporarily pressure-bonded to the upper surface of the side portion of the lower glass plate 4a via the anisotropic conductive member 5, and is finally pressure-bonded as will be described later. FIG. 6 is a perspective view showing a substrate W in which a plurality of TCPs 6 are temporarily bonded to two side portions, respectively.

図1に示すように、上記実装装置は加圧手段としての圧着ユニット11及び後述する実装ステージ37を水平方向(X、Y方向)、回転方向(θ方向)及び矢印で示す上下方向(Z方向)に移動させる位置決めユニット12を備えている。   As shown in FIG. 1, the mounting apparatus includes a pressing unit 11 as a pressing unit and a mounting stage 37 to be described later in the horizontal direction (X and Y directions), the rotational direction (θ direction), and the vertical direction (Z direction) indicated by arrows. ) Is provided.

上記圧着ユニット11は架台13を有し、この架台13の上端に設けられた支持部14には加圧ツール15がシリンダ16によって上下駆動可能に設けられている。上記加圧ツール15にはヒータ15bが内蔵され、この加圧ツール15を数百度に加熱することができるようになっている。また、加圧ツール15の下端面は加圧面15aに形成され、この加圧面15aの下方にはバックアップツール17が上端面、つまり受け面17aを対向させて立設されている。   The crimping unit 11 has a gantry 13, and a pressing tool 15 is provided on a support portion 14 provided at the upper end of the gantry 13 so as to be driven up and down by a cylinder 16. The pressure tool 15 has a built-in heater 15b so that the pressure tool 15 can be heated to several hundred degrees. The lower end surface of the pressurizing tool 15 is formed on the pressurizing surface 15a, and a backup tool 17 is erected below the pressurizing surface 15a with the upper end surface, that is, the receiving surface 17a facing each other.

上記バックアップツール17は基板Wの側辺部の長さを支持できる長さを有し、上記加圧ツール15は上記バックアップツール17と対応する長さに設定されている。基板Wが大型の場合、上記加圧ツール15と上記バックアップツール17の長さは1m以上になることがある。   The backup tool 17 has a length capable of supporting the length of the side portion of the substrate W, and the pressing tool 15 is set to a length corresponding to the backup tool 17. When the substrate W is large, the pressure tool 15 and the backup tool 17 may be 1 m or longer in length.

上記位置決めユニット12は上記圧着ユニット11の側方に配置されている。この位置決めユニット12はXステージ18を有し、このXステージ18にはX駆動源19によってX方向に駆動されるX可動体20が設けられている。   The positioning unit 12 is disposed on the side of the crimping unit 11. The positioning unit 12 includes an X stage 18, and the X stage 18 is provided with an X movable body 20 driven in the X direction by an X drive source 19.

なお、上記圧着ユニット11のバックアップツール17の長手方向と平行な方向である、図1の紙面に対して直交する方向をX方向とし、このX方向と交差する方向をY方向とする。Y方向は図1に矢印で示す。   A direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1, which is a direction parallel to the longitudinal direction of the backup tool 17 of the crimping unit 11, is defined as an X direction, and a direction intersecting the X direction is defined as a Y direction. The Y direction is indicated by an arrow in FIG.

上記X可動体20の上面にはYステージ21が一体的に設けられている。このYステージ21の上面にはY可動体22が設けられている。このY可動体22はY駆動源23によって上記X方向と直交するY方向に駆動されるようになっている。   A Y stage 21 is integrally provided on the upper surface of the X movable body 20. A Y movable body 22 is provided on the upper surface of the Y stage 21. The Y movable body 22 is driven by a Y drive source 23 in the Y direction orthogonal to the X direction.

上記Y可動体22の上面には側面形状がクランク状の支持体25が立設されている。この支持体25の上端部の支持部26と上記Y可動体22との間にはねじ軸27とガイド軸28とが軸線をX方向とY方向がなす平面に対して垂直にして設けられている。ねじ軸27は回転可能に設けられ、ガイド軸28は固定的に設けられている。   On the upper surface of the Y movable body 22, a support body 25 having a crank-shaped side surface is erected. A screw shaft 27 and a guide shaft 28 are provided between the support portion 26 at the upper end of the support body 25 and the Y movable body 22 so that the axis is perpendicular to the plane formed by the X and Y directions. Yes. The screw shaft 27 is rotatably provided, and the guide shaft 28 is fixedly provided.

上記ねじ軸27にはZ可動体29が螺合され、このZ可動体29には上記ガイド軸28がスライド可能に挿通されている。したがって、ねじ軸27を回転させれば、上記Z可動体29は、ねじ軸27とともに回転することなく、上記ガイド軸28に沿って上下動するようになっている。   A Z movable body 29 is screwed onto the screw shaft 27, and the guide shaft 28 is slidably inserted into the Z movable body 29. Therefore, when the screw shaft 27 is rotated, the Z movable body 29 moves up and down along the guide shaft 28 without rotating together with the screw shaft 27.

上記ねじ軸27の上端部は上記支持部26の上面から突出し、その突出端には従動歯車30が嵌着されている。この従動歯車30には駆動歯車31が噛合している。この駆動歯車31は上記支持体25に設けられたZ駆動源32の駆動軸32aに同軸に固定されている。したがって、Z駆動源32が作動してその駆動軸32aが回転すれば、噛合した一対の歯車30、31を介してねじ軸27が回転されるから、上記Z可動体29が図1に矢印で示すZ方向に駆動されることになる。   An upper end portion of the screw shaft 27 protrudes from the upper surface of the support portion 26, and a driven gear 30 is fitted to the protruding end. A driving gear 31 is engaged with the driven gear 30. The drive gear 31 is coaxially fixed to a drive shaft 32 a of a Z drive source 32 provided on the support 25. Therefore, when the Z drive source 32 is actuated and the drive shaft 32a rotates, the screw shaft 27 is rotated via the pair of meshed gears 30, 31, so that the Z movable body 29 is indicated by an arrow in FIG. It is driven in the Z direction shown.

上記Z可動体29にはL字状の取付け部材34の一辺が固着されている。この取付け部材34の水平となった他辺の下面にはθ駆動源35が設けられ、上面にはθ駆動源35によって垂直軸線を中心にして回転駆動されるθ可動体36が設けられている。   One side of an L-shaped attachment member 34 is fixed to the Z movable body 29. A θ drive source 35 is provided on the lower surface of the other side of the mounting member 34 that is horizontal, and a θ movable body 36 that is rotationally driven about the vertical axis by the θ drive source 35 is provided on the upper surface. .

上記θ可動体36の上面には平面形状が矩形状の上記実装ステージ37がその中央部をθ可動体36の回転中心に一致させて設けられている。この実装ステージ37の上面37aには、真空ポンプによって吸着力が生じる吸引孔(ともに図示せず)が開口形成されていて、上記基板Wが吸着保持されるようになっている。
なお、基板Wは、図1に示すように、TCP6が仮圧着された側辺部を実装ステージ37のX方向に沿う側縁から外方へ突出させた状態で実装ステージ37上に保持される。
On the upper surface of the θ movable body 36, the mounting stage 37 having a rectangular planar shape is provided with its central portion aligned with the center of rotation of the θ movable body 36. The upper surface 37a of the mounting stage 37 is formed with suction holes (both not shown) that generate suction force by a vacuum pump so that the substrate W is sucked and held.
As shown in FIG. 1, the substrate W is held on the mounting stage 37 in a state in which the side portion to which the TCP 6 is temporarily bonded is protruded outward from the side edge along the X direction of the mounting stage 37. .

上記基板Wの側辺部に仮圧着されたTCP6を本圧着するとき、同図に鎖線で示すように基板WのTCP6が仮圧着された側辺部が上記バックアップツール17の受け面17aに載置される。その状態で、上記加圧ツール15がシリンダ16によって下降方向に駆動されると、上記TCP6が加圧ツール15によって加圧加熱されるから、異方性導電部材5が溶融固化して上記TCP6が基板Wの側辺部に本圧着されることになる。   When the TCP 6 temporarily bonded to the side of the substrate W is finally bonded, the side of the substrate W to which the TCP 6 is temporarily bonded is mounted on the receiving surface 17a of the backup tool 17 as shown by a chain line in FIG. Placed. In this state, when the pressing tool 15 is driven in the downward direction by the cylinder 16, the TCP 6 is pressurized and heated by the pressing tool 15, so that the anisotropic conductive member 5 is melted and solidified to cause the TCP 6 to move. It is finally bonded to the side portion of the substrate W.

上記TCP6の本圧着を開始する前、或いは本圧着を所定回数行った後、上記バックアップツール17の受け面17aを後述する回転ブラシ62で清掃した後、その受け面17aに付着物が残留している否かが検査装置41によって検査される。   Before starting the main crimping of the TCP 6 or after performing the final crimping for a predetermined number of times, the receiving surface 17a of the backup tool 17 is cleaned with a rotating brush 62 described later, and deposits remain on the receiving surface 17a. It is inspected by the inspection device 41 whether or not it exists.

上記検査装置41は、図2と図3に示すように上記圧着ユニット11の支持部14の下面に吊り下げられた一対のガイドレール43を有する。一対のガイドレール43は、上記バックアップツール17のX方向に沿う長さ寸法よりも長く形成されていて、上記バックアップツール17の幅方向両側に下端を上記受け面17aよりも上方に位置させて設けられている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the inspection device 41 has a pair of guide rails 43 suspended from the lower surface of the support portion 14 of the crimping unit 11. The pair of guide rails 43 are formed to be longer than the length of the backup tool 17 along the X direction, and are provided on both sides in the width direction of the backup tool 17 with their lower ends positioned above the receiving surface 17a. It has been.

上記一対のガイドレール43には下面に開放したアリ溝状のガイド溝43aが形成され、このガイド溝43aには可動体44の上端に設けられた凸部44aが移動可能に係合している。一対の可動体44にはベース部材45の一端と他端が取り付けられている。つまり、ベース部材45は上記バックアップツール17の長手方向と交差する方向に設けられている。   The pair of guide rails 43 are formed with dovetail-shaped guide grooves 43a opened on the lower surface, and convex portions 44a provided at the upper end of the movable body 44 are movably engaged with the guide grooves 43a. . One end and the other end of the base member 45 are attached to the pair of movable bodies 44. That is, the base member 45 is provided in a direction crossing the longitudinal direction of the backup tool 17.

上記ベース部材45の上面にはめねじ体46が設けられ、このめねじ体46にはねじ軸47が螺合されている。このねじ軸47は上記支持部14とほぼ同じ長さを有し、軸線を上記バックアップツール17の長手方向と平行にして設けられている。このねじ軸47の一端は図3に示すようにパルスモータからなるカメラ駆動源48に連結され、他端は図示しない軸受によって回転可能に支持されている。   A female screw body 46 is provided on the upper surface of the base member 45, and a screw shaft 47 is screwed onto the female screw body 46. The screw shaft 47 has substantially the same length as the support portion 14 and is provided with an axis parallel to the longitudinal direction of the backup tool 17. As shown in FIG. 3, one end of the screw shaft 47 is connected to a camera drive source 48 formed of a pulse motor, and the other end is rotatably supported by a bearing (not shown).

したがって、上記カメラ駆動源48が作動してねじ軸47が回転駆動されれば、その回転によってめねじ体46を介して上記ベース部材45が上記バックアップツール17の長手方向に沿って駆動されるようになっている。   Therefore, when the camera drive source 48 is operated and the screw shaft 47 is rotationally driven, the base member 45 is driven along the longitudinal direction of the backup tool 17 through the female screw body 46 by the rotation. It has become.

上記ベース部材45の下面の長手方向の一端には撮像手段としての撮像カメラ51がその撮像部51aをバックアップツール17の受け面17aを側方から撮像することができる高さに設けられ、他端には上記受け面17aの上記撮像カメラ51が撮像する部分を照明する光源52が設けられている。つまり、撮像カメラ51と光源52はバックアップツール17に対して同じ方向に一体に駆動されるようになっている。   At one end in the longitudinal direction of the lower surface of the base member 45, an imaging camera 51 as an imaging means is provided at a height at which the imaging unit 51a can image the receiving surface 17a of the backup tool 17 from the side, and the other end. Is provided with a light source 52 that illuminates a portion of the receiving surface 17a that is imaged by the imaging camera 51. That is, the imaging camera 51 and the light source 52 are integrally driven in the same direction with respect to the backup tool 17.

図4に示すように、上記撮像カメラ51の撮像信号は画像処理部53に出力され、ここで撮像信号がアナログ信号からデジタル信号に変換される。つまり、撮像信号は明暗の差によって二値化処理される。二値化処理された撮像信号は制御装置54の比較部55に出力される。比較部55には図5(a)に示す基準画像G1が予め設定されていて、この比較部55で上記基準画像G1と図5(b)に示す上記撮像信号を二値化処理して得られた撮像画像G2が比較される。   As shown in FIG. 4, the imaging signal of the imaging camera 51 is output to an image processing unit 53, where the imaging signal is converted from an analog signal to a digital signal. That is, the imaging signal is binarized by the difference in brightness. The binarized imaging signal is output to the comparison unit 55 of the control device 54. A reference image G1 shown in FIG. 5A is preset in the comparison unit 55, and the comparison unit 55 obtains the reference image G1 and the image pickup signal shown in FIG. The obtained captured images G2 are compared.

上記基準画像G1はバックアップツール17の受け面17aに付着物が付着していない場合であって、その場合、上記受け面17aは平坦面となっている。それに対して受け面17aに付着物が付着している場合、撮像カメラ51からの撮像信号を二値化処理して得られる撮像画像G2は、上記受け面17aが平坦面とならず、図5(b)に示すように付着物が付着した部分が凸部Pとなる。   The reference image G1 is a case where no deposit is attached to the receiving surface 17a of the backup tool 17, and in this case, the receiving surface 17a is a flat surface. On the other hand, when a deposit is attached to the receiving surface 17a, in the captured image G2 obtained by binarizing the imaging signal from the imaging camera 51, the receiving surface 17a is not a flat surface. As shown in (b), the portion where the deposit is attached becomes the convex portion P.

したがって、上記比較部55で基準画像G1と撮像画像G2を比較することで、上記受け面17aに塵埃が付着しているか否かが分かり、その結果は判定部56から表示部57に出力されて表示されるようになっている。なお、表示部57はそのことを画像表示するモニタであってもよいが、作業者にそのことを音声で知らせるものであってもよい。   Therefore, the comparison unit 55 compares the reference image G1 and the captured image G2 to determine whether dust is attached to the receiving surface 17a. The result is output from the determination unit 56 to the display unit 57. It is displayed. Note that the display unit 57 may be a monitor that displays an image of this, but may also notify the operator of that fact by voice.

上記撮像カメラ51による上記受け面17aの撮像は、バックアップツール17の長手方向一端から他端に向かって連続的に行われる。つまり、制御装置54の駆動部58からカメラ駆動源48にパルス信号が出力され、このカメラ駆動源48が駆動部58から受けるパルス数に応じて作動し、上記撮像カメラ51をバックアップツール17の長手方向に駆動しながら行われる。上記駆動部58からのパルス信号は上記カメラ駆動源48に出力されると同時に、上記判定部56にも出力される。   Imaging of the receiving surface 17a by the imaging camera 51 is continuously performed from one end in the longitudinal direction of the backup tool 17 toward the other end. That is, a pulse signal is output from the drive unit 58 of the control device 54 to the camera drive source 48, and the camera drive source 48 operates according to the number of pulses received from the drive unit 58. It is done while driving in the direction. The pulse signal from the driving unit 58 is output to the camera driving source 48 and simultaneously to the determination unit 56.

上記駆動部58から上記カメラ駆動源48に出力されるパルス信号によって上記撮像カメラ51の位置を特定することができる。つまり、上記駆動部58からカメラ駆動源48に出力されるパルス信号の数によって撮像カメラ51の移動開始点からの移動距離を求めることができる。   The position of the imaging camera 51 can be specified by a pulse signal output from the driving unit 58 to the camera driving source 48. That is, the moving distance from the moving start point of the imaging camera 51 can be obtained from the number of pulse signals output from the driving unit 58 to the camera driving source 48.

上記駆動部58からのパルス信号は、上記カメラ駆動源48と同時に判定部56に出力される。それによって、上記判定部56は上記バックアップツール17の受け面17aに塵埃があると判定すると同時に、その付着物の上記バックアップツール17の受け面17aの長手方向における位置を特定することができる。   The pulse signal from the drive unit 58 is output to the determination unit 56 simultaneously with the camera drive source 48. Accordingly, the determination unit 56 can determine that dust is present on the receiving surface 17a of the backup tool 17, and at the same time, can determine the position of the deposit in the longitudinal direction of the receiving surface 17a of the backup tool 17.

上記検査装置41は、上記圧着ユニット11が基板WにTCP6を本圧着しているときには図3に示すように上記バックアップツール17の長手方向の一端から外れた待機位置Sで待機していて、付着物の検査時には待機位置Sから同図に矢印Xで示す上記バックアップツール17の長手方向の他端に向かって駆動される。   The inspection apparatus 41 waits at a standby position S deviated from one end in the longitudinal direction of the backup tool 17 as shown in FIG. When the kimono is inspected, it is driven from the standby position S toward the other end in the longitudinal direction of the backup tool 17 indicated by an arrow X in FIG.

図2と図3に示すように、上記検査装置41のベース部材45長手方向中途部の上記バックアップツール17の受け面17aと対応する部位には、一対の支持具61が上記受け面17aの幅寸法よりもわずかに大きな間隔で離間して設けられている。   As shown in FIGS. 2 and 3, a pair of support tools 61 are provided at the portion corresponding to the receiving surface 17 a of the backup tool 17 in the longitudinal direction of the base member 45 of the inspection device 41. They are spaced apart by a distance slightly larger than their dimensions.

一対の支持具61には清掃手段としての上記回転ブラシ62が回転可能かつ上記受け面に接触する高さで支持されている。そして、この回転ブラシ62は一方の支持具61に設けられたブラシ駆動源63によって回転駆動されるようになっている。   The pair of supports 61 support the rotary brush 62 as a cleaning means at a height that can rotate and contact the receiving surface. The rotating brush 62 is rotationally driven by a brush drive source 63 provided on one support 61.

上記ブラシ駆動源63は図4に示すように上記制御装置54の駆動部58からの駆動信号によって回転駆動されるようになっている。なお、清掃手段は回転ブラシ62に限られず、円盤状或いはロール状をなした研磨布などを用いてもよい。   The brush drive source 63 is rotationally driven by a drive signal from the drive unit 58 of the control device 54 as shown in FIG. The cleaning means is not limited to the rotating brush 62, and a disc-shaped or roll-shaped polishing cloth or the like may be used.

図3に示すように、上記回転ブラシ62は待機位置Sで待機する上記検査装置41の矢印Xで示す移動方向の下流側に設けられている。それによって、上記検査装置41が矢印X方向に駆動されると、上記回転ブラシ62は検査装置41と一体的に矢印X方向に移動する。   As shown in FIG. 3, the rotary brush 62 is provided on the downstream side in the movement direction indicated by the arrow X of the inspection apparatus 41 that waits at the standby position S. Accordingly, when the inspection device 41 is driven in the arrow X direction, the rotary brush 62 moves in the arrow X direction integrally with the inspection device 41.

そのとき、上記回転ブラシ62を回転駆動させれば、上記バックアップツール17の受け面17aが上記撮像カメラ51によって撮像される前に上記回転ブラシ62によってブラッシングされるようになっている。   At this time, if the rotary brush 62 is driven to rotate, the receiving surface 17a of the backup tool 17 is brushed by the rotary brush 62 before being imaged by the imaging camera 51.

なお、回転ブラシ62を矢印Xと逆方向に移動させる際、この回転ブラシ62を回転駆動させなければ、受け面17aに対して作用することがない。   When the rotary brush 62 is moved in the direction opposite to the arrow X, the rotary brush 62 does not act on the receiving surface 17a unless the rotary brush 62 is driven to rotate.

上記撮像カメラ51による上記受け面17aの撮像は、上記検査装置41が図3に示す矢印X方向に駆動されているときに連続して撮像し、その画像を動画として得るようにしてもよいが、検査装置41が所定距離移動する毎に撮像カメラ51による撮像を間欠的に行うことで、静止画として得るようにしてもよい。   Imaging of the receiving surface 17a by the imaging camera 51 may be performed continuously when the inspection apparatus 41 is driven in the direction of the arrow X shown in FIG. 3, and the image may be obtained as a moving image. Each time the inspection apparatus 41 moves a predetermined distance, it may be obtained as a still image by intermittently taking an image with the imaging camera 51.

なお、上記位置決めユニット12のX駆動源19、Y駆動源23、Z駆動源32及びθ駆動源35は上記制御装置54の駆動部58からの駆動信号によって駆動が制御されるようになっている。   The driving of the X drive source 19, Y drive source 23, Z drive source 32, and θ drive source 35 of the positioning unit 12 is controlled by a drive signal from the drive unit 58 of the control device 54. .

上記構成の実装装置によれば、バックアップツール17の受け面17aに付着物があるか否かを検査する場合、検査装置41を図3に示す待機位置Sから矢印Xで示す方向に駆動する。検査装置41が駆動されると、駆動方向下流側に検査装置41と一体的に回転ブラシ62が設けられているから、上記受け面17aは上記検査装置41の撮像カメラ51によって撮像される前に上記回転ブラシ62によってブラッシングされる。   According to the mounting apparatus having the above-described configuration, when inspecting whether there is any deposit on the receiving surface 17a of the backup tool 17, the inspection apparatus 41 is driven in the direction indicated by the arrow X from the standby position S shown in FIG. When the inspection apparatus 41 is driven, the rotating brush 62 is provided integrally with the inspection apparatus 41 on the downstream side in the driving direction, so that the receiving surface 17a is imaged before being imaged by the imaging camera 51 of the inspection apparatus 41. Brushing is performed by the rotating brush 62.

そして、上記受け面17aの回転ブラシ62によってブラッシングされ部分が上記撮像カメラ51によって撮像され、その撮像信号からバックアップツール17の受け面17aに付着物が付着しているか否かを判定することができる。つまり、上記受け面17aに付着物が残留しているか否かを確実に検出することができる。   Then, the portion brushed by the rotating brush 62 of the receiving surface 17a is imaged by the imaging camera 51, and it can be determined from the imaging signal whether or not the deposit is attached to the receiving surface 17a of the backup tool 17. . That is, it is possible to reliably detect whether or not deposits remain on the receiving surface 17a.

したがって、受け面17aに付着物が残留している場合には、検査後に受け面17aに付着した付着物を除去すれば、受け面17aに塵埃が付着した状態で基板WにTCP6を本圧着するのを未然に防止することができる。つまり、基板Wを受け面17aに付着して付着物によって損傷させるのを防止することができる。   Therefore, if the deposit remains on the receiving surface 17a, the TCP 6 is finally bonded to the substrate W in a state where dust adheres to the receiving surface 17a by removing the deposit adhering to the receiving surface 17a after the inspection. Can be prevented beforehand. That is, it is possible to prevent the substrate W from adhering to the receiving surface 17a and being damaged by the deposits.

制御装置54の判定部56は、基板Wに塵埃があることを単に検出するだけでなく、その検出と同時に、塵埃がバックアップツール17の受け面17aの長手方向のどの位置にあるかを特定することができる。   The determination unit 56 of the control device 54 not only detects the presence of dust on the substrate W, but also specifies the position in the longitudinal direction of the receiving surface 17a of the backup tool 17 simultaneously with the detection. be able to.

つまり、駆動部58からのパルス信号は、撮像カメラ51を駆動するカメラ駆動源48と判定部56とに同時に出力するようにした。そのため、判定部56では、バックアップツール17の受け面17aに付着物があることを検出すると同時に、そのときの撮像カメラ51のバックアップツール17の長手方向の位置を特定することができる。   That is, the pulse signal from the drive unit 58 is simultaneously output to the camera drive source 48 that drives the imaging camera 51 and the determination unit 56. Therefore, the determination unit 56 can detect the presence of the deposit on the receiving surface 17a of the backup tool 17, and at the same time specify the position in the longitudinal direction of the backup tool 17 of the imaging camera 51 at that time.

それによって、バックアップツール17の受け面17aに付着する付着物を除去する際、その付着物がバックアップツール17の受け面17aの長手方向のどの位置に付着しているのかを予め知ることができるから、その付着物の除去作業を容易に、しかも確実に行うことができる。   As a result, when removing the adhering matter adhering to the receiving surface 17a of the backup tool 17, it is possible to know in advance where the adhering matter is adhering to the longitudinal direction of the receiving surface 17a of the backup tool 17. The removal work of the deposits can be easily and reliably performed.

とくに、基板Wが大型化してバックアップツール17が長尺化すると、その受け面17aのどの位置に付着物が付着しているかを見つけることは容易ではない。しかしながら、上述した検査装置41は付着物の有無だけでなく、位置を特定することができるから、バックアップツール17の受け面17aに残留する塵埃の除去を上述したように容易かつ確実に行うことができる。   In particular, when the substrate W is enlarged and the backup tool 17 is lengthened, it is not easy to find the position on the receiving surface 17a where the deposit is attached. However, since the above-described inspection apparatus 41 can specify not only the presence or absence of deposits but also the position, the dust remaining on the receiving surface 17a of the backup tool 17 can be easily and reliably removed as described above. it can.

付着物の除去作業は手作業で行ってもよいが、上記判定部56によって付着物が付着している位置が特定できるため、その位置に検査装置41と一体的に設けられた回転ブラシ62を移動させ、その部分を再度、ブラッシングするようにしてもよい。なお、ブラッシングの結果は、ブラッシングされた部分を撮像カメラ51によって撮像して判定すればよい。このようにすれば、受け面の検査と付着物の除去の両方の作業を自動化することができる。   The removal work of the deposits may be performed manually, but since the position where the deposits are attached can be specified by the determination unit 56, the rotary brush 62 provided integrally with the inspection device 41 is provided at that position. You may make it move and brush the part again. Note that the brushing result may be determined by imaging the brushed portion with the imaging camera 51. In this way, both the inspection of the receiving surface and the removal of deposits can be automated.

上記撮像カメラ51により受け面17aを撮像し、そこに付着物に残留しているか否かを判定する前に、上記撮像カメラ51と一体的に駆動される回転ブラシ62によって上記受け面17aをブラッシングするようにした。   The receiving surface 17a is imaged by the imaging camera 51, and the receiving surface 17a is brushed by the rotating brush 62 that is driven integrally with the imaging camera 51 before determining whether or not the deposit surface remains on the receiving surface 17a. I tried to do it.

そのため、受け面17aを撮像する前にその受け面17aをブラッシングしない場合に比べ、受け面17aに付着物が残留する度合を低減させることができるから、付着部の残留検査を行った後の除去作業を容易かつ迅速に行うことが可能となる。   Therefore, compared with the case where the receiving surface 17a is not brushed before the receiving surface 17a is imaged, the degree of deposits remaining on the receiving surface 17a can be reduced. It becomes possible to work easily and quickly.

上記撮像カメラ51による受け面17aに付着した付着物の撮像は、図2に示すようにバックアップツール17の幅方向一端に位置する光源52から照明光を照射し、幅方向他端に位置する上記撮像カメラ51によって行うようにしている。   As shown in FIG. 2, the imaging camera 51 images the deposits attached to the receiving surface 17 a by irradiating illumination light from a light source 52 located at one end in the width direction of the backup tool 17 and at the other end in the width direction. This is performed by the imaging camera 51.

そのため、受け面17aに付着物が付着していると、撮像カメラ51は付着物の影を撮像することになるから、受け面17aでの照明光の反射状態に影響を受けることなく、付着物の撮像を確実に行うことが可能となる。   For this reason, if the deposit is attached to the receiving surface 17a, the imaging camera 51 images the shadow of the deposit, so that the deposit is not affected by the reflection state of the illumination light on the receiving surface 17a. It is possible to reliably perform the imaging.

上記一実施の形態では、付着物として基板にTCPを本圧着することで、バックアップツールの受け面に異方性導電部材が固着する場合を例に挙げて説明したが、付着物としては受け面に固着する異方性導電部材に限られず、実装装置が設置される空間部で発生する塵埃が付着した場合であってもよく、要は受け面に付着残留しているものであれば、その検出と同時に位置を特定することが可能である。   In the above-described embodiment, the case where the anisotropic conductive member is fixed to the receiving surface of the backup tool by performing the main pressure bonding of TCP to the substrate as the attached material has been described as an example. It is not limited to the anisotropic conductive member that adheres to the surface, but may be a case where dust generated in the space where the mounting apparatus is installed adheres. The position can be specified simultaneously with the detection.

この発明によれば、バックアップツールの上端面を長手方向全長にわたって撮像し、その撮像に基いてバックアップツールの上端面に付着物があるか否かを判定するようにしたから、バックアップツールの上端面を清掃した後、その上端面に付着物が残留しているか否かを正確に判定することが可能となる。   According to the present invention, the upper end surface of the backup tool is imaged over the entire length in the longitudinal direction, and it is determined whether or not there is a deposit on the upper end surface of the backup tool based on the imaging. After cleaning, it is possible to accurately determine whether or not the deposit remains on the upper end surface.

Claims (7)

基板の側辺部に電子部品を実装する実装装置であって、
上記電子部品が実装される側辺部を外方に突出させて上記基板が上面に載置される実装ステージと、
この実装ステージの上面から外方に突出させた上記基板の側辺部の下面を支持する上端面を有するバックアップツールと、
このバックアップツールの上端面によって下面が支持された上記基板の側辺部の上面に上記電子部品を実装する加圧ツールと、
上記バックアップツールの上端面から基板が退避した状態で上記上端面を撮像する撮像手段と、
この撮像手段を上記バックアップツールの長手方向に沿って駆動して上記上端面を全長にわたって撮像させる駆動手段と、
上記撮像手段の撮像信号を画像処理する画像処理部と、
この画像処理部によって処理された画像信号に基いて上記バックアップツールの上端面に付着物があるか否かを判定する判定手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。
A mounting device for mounting electronic components on the side of a substrate,
A mounting stage on which the substrate is placed on the upper surface by projecting a side portion on which the electronic component is mounted;
A backup tool having an upper end surface that supports the lower surface of the side portion of the substrate protruding outward from the upper surface of the mounting stage;
A pressure tool for mounting the electronic component on the upper surface of the side portion of the substrate whose lower surface is supported by the upper end surface of the backup tool;
Imaging means for imaging the upper end surface in a state where the substrate is retracted from the upper end surface of the backup tool;
Driving means for driving the imaging means along the longitudinal direction of the backup tool to image the upper end surface over the entire length; and
An image processing unit that performs image processing on an imaging signal of the imaging unit;
An electronic component mounting apparatus comprising: determination means for determining whether or not there is a deposit on the upper end surface of the backup tool based on an image signal processed by the image processing unit.
上記判定手段は、上記画像処理部からの画像信号と、上記駆動手段による上記撮像手段の駆動位置に基いて上記付着物の上記バックアップツールの上端面の長手方向における位置を特定することを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装装置。   The determination unit specifies a position in the longitudinal direction of the upper end surface of the backup tool of the backup tool based on an image signal from the image processing unit and a driving position of the imaging unit by the driving unit. The electronic component mounting apparatus according to claim 1. 上記撮像手段は、上記バックアップツールの長手方向と交差する幅方向沿って設けられ上記駆動源によって上記バックアップツールの長手方向に駆動されたベース部材と、このベース部材の一端に設けられ上記バックアップツールの上端部を側方から撮像する撮像カメラと、上記ベース部材の他端に設けられ上記撮像カメラによって撮像されるバックアップツールの上端部を側方から照明する光源とによって構成されていることを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装装置。   The imaging means is provided along a width direction intersecting with the longitudinal direction of the backup tool and driven in the longitudinal direction of the backup tool by the drive source, and provided at one end of the base member. An imaging camera that images the upper end from the side, and a light source that is provided at the other end of the base member and that illuminates the upper end of the backup tool captured by the imaging camera from the side. The electronic component mounting apparatus according to claim 1. 上記駆動手段によって上記撮像手段と一体的に駆動されて上記バックアップツールの上端面を清掃する清掃手段が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の電子部品実装装置。   4. The electronic component mounting apparatus according to claim 1, further comprising a cleaning unit that is driven integrally with the imaging unit by the driving unit to clean an upper end surface of the backup tool. 5. . 上記清掃手段は、上記バックアップツールの上端面の上記撮像手段によって撮像される前の部分を清掃することができる位置に設けられていることを特徴とする請求項4記載の電子部品実装装置。   The electronic component mounting apparatus according to claim 4, wherein the cleaning unit is provided at a position where the portion of the upper end surface of the backup tool before being imaged by the imaging unit can be cleaned. 基板の側辺部に電子部品を実装する実装方法であって、
実装ステージに載置された基板の側辺部の下面をバックアップツールの上端面に載置する工程と、
下面が上記バックアップツールの上端面に載置された基板の側辺部の上面に上記電子部品を実装する工程と、
上記バックアップツールの上端面から基板が退避した状態で上記バックアップツールの上端面を長手方向全長にわたって撮像する工程と、
上記バックアップツールの上端面の撮像に基いてその上端面に付着物があるか否かを判定する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。
A mounting method for mounting an electronic component on a side of a substrate,
Placing the lower surface of the side portion of the substrate placed on the mounting stage on the upper end surface of the backup tool;
Mounting the electronic component on the upper surface of the side portion of the substrate whose lower surface is placed on the upper end surface of the backup tool;
Imaging the upper end surface of the backup tool over the entire length in the longitudinal direction with the substrate retracted from the upper end surface of the backup tool;
And a step of determining whether or not there is a deposit on the upper end surface based on imaging of the upper end surface of the backup tool.
上記バックアップツールの上端面に付着物があることを判定したときに、上記バックアップツールの長手方向における上記塵埃の位置を特定することを特徴とする請求項6記載の電子部品の実装方法。   The electronic component mounting method according to claim 6, wherein the position of the dust in the longitudinal direction of the backup tool is specified when it is determined that there is a deposit on the upper end surface of the backup tool.
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