JPWO2010041610A1 - Electronic component mounting apparatus and mounting method - Google Patents
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Abstract
実装ステージの上面に載置された基板のTCPが実装される側辺部の下面を支持する上端面を有するバックアップツール17と、バックアップツールの上端面によって下面が支持された基板の側辺部の上面にTCPを実装する加圧ツール15と、バックアップツールの上端面から基板が退避した状態でその上端面を撮像する撮像カメラ51と、撮像カメラをバックアップツールの長手方向に沿って駆動して上端面を全長にわたって撮像させるカメラ駆動源と、カメラ駆動源の撮像信号を画像処理する画像処理部と、画像処理部によって処理された画像信号に基いてバックアップツールの上端面に付着物があるか否かを判定する判定部を具備する。The backup tool 17 having an upper end surface that supports the lower surface of the side portion on which the TCP of the substrate mounted on the upper surface of the mounting stage is mounted, and the side portion of the substrate whose lower surface is supported by the upper end surface of the backup tool. A pressing tool 15 for mounting TCP on the upper surface, an imaging camera 51 for imaging the upper end surface with the substrate retracted from the upper end surface of the backup tool, and driving the imaging camera along the longitudinal direction of the backup tool A camera drive source that captures the entire end surface, an image processing unit that performs image processing on the imaging signal of the camera drive source, and whether or not there is an attachment on the upper end surface of the backup tool based on the image signal processed by the image processing unit A determination unit for determining whether or not.
Description
この発明は、たとえば液晶表示装置に用いられるガラス製の基板に、TCP(Tape Carrier Package)などの電子部品を実装する実装装置及び実装方法に関する。 The present invention relates to a mounting apparatus and a mounting method for mounting an electronic component such as a TCP (Tape Carrier Package) on a glass substrate used in a liquid crystal display device, for example.
液晶表示装置を製造する場合、ガラス製のパネルなどの基板に、電子部品であるTCPを実装するための実装装置が用いられる。TCPは上記基板の4つの辺のうち、少なくとも1つの辺を除く2つ或いは3つの辺に実装されることが多い。 When manufacturing a liquid crystal display device, a mounting device for mounting TCP, which is an electronic component, on a substrate such as a glass panel is used. The TCP is often mounted on two or three sides of the four sides of the substrate except at least one side.
上記実装装置は上記基板が供給載置される実装ステージを有する。この実装ステージは上記基板の平面形状よりも面積の小さな載置面を有し、この載置面に上記基板が供給載置される。その際、上記基板は、上記TCPが実装される側辺部を上記実装ステージの載置面の周縁から外方に突出させて位置決め保持される。 The mounting apparatus has a mounting stage on which the substrate is supplied and mounted. The mounting stage has a mounting surface having a smaller area than the planar shape of the substrate, and the substrate is supplied and mounted on the mounting surface. At that time, the substrate is positioned and held by causing the side portion on which the TCP is mounted to protrude outward from the periphery of the mounting surface of the mounting stage.
上記基板の側辺部には粘着性を有するテープ状の異方性導電部材が貼着されていて、この異方性導電部材に複数のTCPが所定間隔で仮圧着されてから本圧着される。 A tape-like anisotropic conductive member having adhesiveness is attached to the side portion of the substrate, and a plurality of TCPs are temporarily pressure-bonded to the anisotropic conductive member at a predetermined interval and then subjected to final pressure bonding. .
基板の側辺部に複数のTCPを仮圧着したり、本圧着する場合、上記基板は側辺部の下面がバックアップツールの上端面によって支持される。仮圧着時には基板の側辺部の上面に複数のTCPが1つずつ供給されて実装され、本圧着時には仮圧着された複数のTCPを加圧ツールによって同時に加圧加熱するようにしている。 When a plurality of TCPs are temporarily pressure-bonded to the side edges of the substrate or are finally pressure-bonded, the lower surface of the side edges of the substrate is supported by the upper end surface of the backup tool. At the time of temporary pressure bonding, a plurality of TCPs are supplied and mounted one by one on the upper surface of the side portion of the substrate, and at the time of main pressure bonding, the plurality of temporarily pressure-bonded TCPs are simultaneously pressurized and heated by a pressure tool.
上記TCPを本圧着することで、熱硬化性の上記異方性導電部材は上記加圧ツールの熱によって溶融されてから硬化するから、基板の側辺部に複数のTCPが固着されることになる。特許文献1にはこのような実装技術が示されている。
そこで、従来は本圧着を所定回数行ったならば、上記バックアップツールの上端面をたとえば手作業によって回転ブラシなどで清掃し、その上端面に付着した塵埃を除去するということが行われている。 Therefore, conventionally, after the main pressure bonding has been performed a predetermined number of times, the upper end surface of the backup tool is manually cleaned with a rotating brush, for example, to remove dust adhering to the upper end surface.
ところで、複数のTCPを一度に本圧着する場合、バックアップツールと加圧ツールは、基板に仮圧着された複数のTCPを同時に加圧加熱することができる長さを備えていなければならない。最近では基板が大型化してきている。そのため、基板の大型化に伴ってバックアップツールと加圧ツールがたとえば1〜3m程度の長さに長尺化するということがある。 By the way, when a plurality of TCPs are finally press-bonded at a time, the backup tool and the pressurizing tool must have a length capable of simultaneously pressurizing and heating the plurality of TCPs temporarily bonded to the substrate. Recently, the size of the substrate has increased. Therefore, the backup tool and the pressurizing tool may be elongated to a length of about 1 to 3 m, for example, as the substrate size increases.
バックアップツールが長尺化すると、その上端面には塵埃が付着する機会が多くなる。バックアップツールの上端面には、単に周囲の雰囲気に含まれる塵埃が付着するだけでなく、本圧着時に加圧ツールによって溶融された異方性導電部材の一部が付着物としてバックアップツールの上端面に付着し、固化することがある。 When the backup tool becomes longer, there are more opportunities for dust to adhere to the upper end surface. The upper end surface of the backup tool not only adheres to the dust contained in the surrounding atmosphere but also a part of the anisotropic conductive member melted by the pressurizing tool during the main pressure bonding as an adhering material. May adhere to and solidify.
バックアップツールの上端面に単に塵埃が付着しているだけであれば、その上端面を回転ブラシで清掃することで容易に除去することができる。しかしながら、バックアップツールの上端面に異方性導電部材の一部が固化した付着物が付着していると、回転ブラシで清掃するだけでは除去しきれないということがある。 If dust is simply adhered to the upper end surface of the backup tool, it can be easily removed by cleaning the upper end surface with a rotating brush. However, if an adherent formed by solidifying a part of the anisotropic conductive member adheres to the upper end surface of the backup tool, it may not be removed by simply cleaning with a rotating brush.
従来、バックアップツールの上端面を回転ブラシで清掃するということは行われていた。そして、回転ブラシで清掃すれば、バックアップツールの上端面から塵埃が除去されたものとして本圧着が行われていた。 Conventionally, the upper end surface of the backup tool has been cleaned with a rotating brush. And if it cleaned with a rotating brush, this crimping | compression-bonding was performed as that from which the dust was removed from the upper end surface of the backup tool.
そのため、バックアップツールの上端面に異方性導電部材が固化して付着していると、TCPを本圧着する際、その付着物によって基板が部分的に大きな応力を受けることになるから、その部分に欠けが生じるなどして基板を損傷させる原因になるということがあった。 For this reason, if the anisotropic conductive member is solidified and adhered to the upper end surface of the backup tool, the substrate is partially subjected to a large stress by the adhered material when the TCP is finally pressure-bonded. In some cases, the substrate is damaged due to chipping.
この発明は、バックアップツールの上端面に付着物があるか否かを確実に確認することができるようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。 It is an object of the present invention to provide an electronic component mounting apparatus and mounting method that can reliably confirm whether or not there is an adherent on the upper end surface of a backup tool.
上記課題を解決するために、この発明は、基板の側辺部に電子部品を実装する実装装置であって、
上記電子部品が実装される側辺部を外方に突出させて上記基板が上面に載置される実装ステージと、
この実装ステージの上面から外方に突出させた上記基板の側辺部の下面を支持する上端面を有するバックアップツールと、
このバックアップツールの上端面によって下面が支持された上記基板の側辺部の上面に上記電子部品を実装する加圧ツールと、
上記バックアップツールの上端面から基板が退避した状態で上記上端面を撮像する撮像手段と、
この撮像手段を上記バックアップツールの長手方向に沿って駆動して上記上端面を全長にわたって撮像させる駆動手段と、
上記撮像手段の撮像信号を画像処理する画像処理部と、
この画像処理部によって処理された画像信号に基いて上記バックアップツールの上端面に付着物があるか否かを判定する判定手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置を提供することにある。In order to solve the above problems, the present invention provides a mounting apparatus for mounting an electronic component on a side portion of a substrate,
A mounting stage on which the substrate is placed on the upper surface by projecting a side portion on which the electronic component is mounted;
A backup tool having an upper end surface that supports the lower surface of the side portion of the substrate protruding outward from the upper surface of the mounting stage;
A pressure tool for mounting the electronic component on the upper surface of the side portion of the substrate whose lower surface is supported by the upper end surface of the backup tool;
Imaging means for imaging the upper end surface in a state where the substrate is retracted from the upper end surface of the backup tool;
Driving means for driving the imaging means along the longitudinal direction of the backup tool to image the upper end surface over the entire length; and
An image processing unit that performs image processing on an imaging signal of the imaging unit;
An electronic component mounting apparatus comprising: a determination unit that determines whether or not there is a deposit on the upper end surface of the backup tool based on an image signal processed by the image processing unit. It is in.
また、この発明は、基板の側辺部に電子部品を実装する実装方法であって、
実装ステージに載置された基板の側辺部の下面をバックアップツールの上端面に載置する工程と、
下面が上記バックアップツールの上端面に載置された基板の側辺部の上面に上記電子部品を実装する工程と、
上記バックアップツールの上端面から基板が退避した状態で上記バックアップツールの上端面を長手方向全長にわたって撮像する工程と、
上記バックアップツールの上端面の撮像に基いてその上端面に付着物があるか否かを判定する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法を提供することにある。Further, the present invention is a mounting method for mounting an electronic component on a side portion of a substrate,
Placing the lower surface of the side portion of the substrate placed on the mounting stage on the upper end surface of the backup tool;
Mounting the electronic component on the upper surface of the side portion of the substrate whose lower surface is placed on the upper end surface of the backup tool;
Imaging the upper end surface of the backup tool over the entire length in the longitudinal direction with the substrate retracted from the upper end surface of the backup tool;
And a step of determining whether or not there is a deposit on the upper end surface of the backup tool based on the imaging of the upper end surface of the backup tool.
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1はこの発明の一実施の形態に係る実装装置の概略的構成図を示す。この実装装置では、図6に示すガラス製の液晶セルからなる基板Wの周縁部に、粘着性を有するテープ状の異方性導電部材5を介して仮圧着された電子部品としてのTCP6が本圧着されるようになっている。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. In this mounting apparatus, the TCP 6 as an electronic component temporarily bonded to the peripheral portion of the substrate W made of a glass liquid crystal cell shown in FIG. 6 via an adhesive tape-like anisotropic
上記基板Wは、一対のガラス板4aを図示しないシール剤を介して所定の間隔で接着し、これらの間に液晶が封入されるとともに、各ガラス板4aの外面には周縁部を除く全面にわたってそれぞれ偏光板4bが貼着されている。
The substrate W adheres a pair of
下側のガラス板4aの側辺部の上面には上記TCP6が上記異方性導電部材5を介して仮圧着されており、仮圧着されてから後述するように本圧着される。図6は2つの側辺部にそれぞれ複数のTCP6が仮圧着された基板Wを示す斜視図である。
The TCP 6 is temporarily pressure-bonded to the upper surface of the side portion of the
図1に示すように、上記実装装置は加圧手段としての圧着ユニット11及び後述する実装ステージ37を水平方向(X、Y方向)、回転方向(θ方向)及び矢印で示す上下方向(Z方向)に移動させる位置決めユニット12を備えている。
As shown in FIG. 1, the mounting apparatus includes a
上記圧着ユニット11は架台13を有し、この架台13の上端に設けられた支持部14には加圧ツール15がシリンダ16によって上下駆動可能に設けられている。上記加圧ツール15にはヒータ15bが内蔵され、この加圧ツール15を数百度に加熱することができるようになっている。また、加圧ツール15の下端面は加圧面15aに形成され、この加圧面15aの下方にはバックアップツール17が上端面、つまり受け面17aを対向させて立設されている。
The
上記バックアップツール17は基板Wの側辺部の長さを支持できる長さを有し、上記加圧ツール15は上記バックアップツール17と対応する長さに設定されている。基板Wが大型の場合、上記加圧ツール15と上記バックアップツール17の長さは1m以上になることがある。
The
上記位置決めユニット12は上記圧着ユニット11の側方に配置されている。この位置決めユニット12はXステージ18を有し、このXステージ18にはX駆動源19によってX方向に駆動されるX可動体20が設けられている。
The
なお、上記圧着ユニット11のバックアップツール17の長手方向と平行な方向である、図1の紙面に対して直交する方向をX方向とし、このX方向と交差する方向をY方向とする。Y方向は図1に矢印で示す。
A direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1, which is a direction parallel to the longitudinal direction of the
上記X可動体20の上面にはYステージ21が一体的に設けられている。このYステージ21の上面にはY可動体22が設けられている。このY可動体22はY駆動源23によって上記X方向と直交するY方向に駆動されるようになっている。
上記Y可動体22の上面には側面形状がクランク状の支持体25が立設されている。この支持体25の上端部の支持部26と上記Y可動体22との間にはねじ軸27とガイド軸28とが軸線をX方向とY方向がなす平面に対して垂直にして設けられている。ねじ軸27は回転可能に設けられ、ガイド軸28は固定的に設けられている。
On the upper surface of the Y
上記ねじ軸27にはZ可動体29が螺合され、このZ可動体29には上記ガイド軸28がスライド可能に挿通されている。したがって、ねじ軸27を回転させれば、上記Z可動体29は、ねじ軸27とともに回転することなく、上記ガイド軸28に沿って上下動するようになっている。
A Z
上記ねじ軸27の上端部は上記支持部26の上面から突出し、その突出端には従動歯車30が嵌着されている。この従動歯車30には駆動歯車31が噛合している。この駆動歯車31は上記支持体25に設けられたZ駆動源32の駆動軸32aに同軸に固定されている。したがって、Z駆動源32が作動してその駆動軸32aが回転すれば、噛合した一対の歯車30、31を介してねじ軸27が回転されるから、上記Z可動体29が図1に矢印で示すZ方向に駆動されることになる。
An upper end portion of the
上記Z可動体29にはL字状の取付け部材34の一辺が固着されている。この取付け部材34の水平となった他辺の下面にはθ駆動源35が設けられ、上面にはθ駆動源35によって垂直軸線を中心にして回転駆動されるθ可動体36が設けられている。
One side of an L-shaped
上記θ可動体36の上面には平面形状が矩形状の上記実装ステージ37がその中央部をθ可動体36の回転中心に一致させて設けられている。この実装ステージ37の上面37aには、真空ポンプによって吸着力が生じる吸引孔(ともに図示せず)が開口形成されていて、上記基板Wが吸着保持されるようになっている。
なお、基板Wは、図1に示すように、TCP6が仮圧着された側辺部を実装ステージ37のX方向に沿う側縁から外方へ突出させた状態で実装ステージ37上に保持される。On the upper surface of the θ
As shown in FIG. 1, the substrate W is held on the mounting
上記基板Wの側辺部に仮圧着されたTCP6を本圧着するとき、同図に鎖線で示すように基板WのTCP6が仮圧着された側辺部が上記バックアップツール17の受け面17aに載置される。その状態で、上記加圧ツール15がシリンダ16によって下降方向に駆動されると、上記TCP6が加圧ツール15によって加圧加熱されるから、異方性導電部材5が溶融固化して上記TCP6が基板Wの側辺部に本圧着されることになる。
When the
上記TCP6の本圧着を開始する前、或いは本圧着を所定回数行った後、上記バックアップツール17の受け面17aを後述する回転ブラシ62で清掃した後、その受け面17aに付着物が残留している否かが検査装置41によって検査される。
Before starting the main crimping of the
上記検査装置41は、図2と図3に示すように上記圧着ユニット11の支持部14の下面に吊り下げられた一対のガイドレール43を有する。一対のガイドレール43は、上記バックアップツール17のX方向に沿う長さ寸法よりも長く形成されていて、上記バックアップツール17の幅方向両側に下端を上記受け面17aよりも上方に位置させて設けられている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
上記一対のガイドレール43には下面に開放したアリ溝状のガイド溝43aが形成され、このガイド溝43aには可動体44の上端に設けられた凸部44aが移動可能に係合している。一対の可動体44にはベース部材45の一端と他端が取り付けられている。つまり、ベース部材45は上記バックアップツール17の長手方向と交差する方向に設けられている。
The pair of
上記ベース部材45の上面にはめねじ体46が設けられ、このめねじ体46にはねじ軸47が螺合されている。このねじ軸47は上記支持部14とほぼ同じ長さを有し、軸線を上記バックアップツール17の長手方向と平行にして設けられている。このねじ軸47の一端は図3に示すようにパルスモータからなるカメラ駆動源48に連結され、他端は図示しない軸受によって回転可能に支持されている。
A
したがって、上記カメラ駆動源48が作動してねじ軸47が回転駆動されれば、その回転によってめねじ体46を介して上記ベース部材45が上記バックアップツール17の長手方向に沿って駆動されるようになっている。
Therefore, when the
上記ベース部材45の下面の長手方向の一端には撮像手段としての撮像カメラ51がその撮像部51aをバックアップツール17の受け面17aを側方から撮像することができる高さに設けられ、他端には上記受け面17aの上記撮像カメラ51が撮像する部分を照明する光源52が設けられている。つまり、撮像カメラ51と光源52はバックアップツール17に対して同じ方向に一体に駆動されるようになっている。
At one end in the longitudinal direction of the lower surface of the
図4に示すように、上記撮像カメラ51の撮像信号は画像処理部53に出力され、ここで撮像信号がアナログ信号からデジタル信号に変換される。つまり、撮像信号は明暗の差によって二値化処理される。二値化処理された撮像信号は制御装置54の比較部55に出力される。比較部55には図5(a)に示す基準画像G1が予め設定されていて、この比較部55で上記基準画像G1と図5(b)に示す上記撮像信号を二値化処理して得られた撮像画像G2が比較される。
As shown in FIG. 4, the imaging signal of the
上記基準画像G1はバックアップツール17の受け面17aに付着物が付着していない場合であって、その場合、上記受け面17aは平坦面となっている。それに対して受け面17aに付着物が付着している場合、撮像カメラ51からの撮像信号を二値化処理して得られる撮像画像G2は、上記受け面17aが平坦面とならず、図5(b)に示すように付着物が付着した部分が凸部Pとなる。
The reference image G1 is a case where no deposit is attached to the receiving
したがって、上記比較部55で基準画像G1と撮像画像G2を比較することで、上記受け面17aに塵埃が付着しているか否かが分かり、その結果は判定部56から表示部57に出力されて表示されるようになっている。なお、表示部57はそのことを画像表示するモニタであってもよいが、作業者にそのことを音声で知らせるものであってもよい。
Therefore, the
上記撮像カメラ51による上記受け面17aの撮像は、バックアップツール17の長手方向一端から他端に向かって連続的に行われる。つまり、制御装置54の駆動部58からカメラ駆動源48にパルス信号が出力され、このカメラ駆動源48が駆動部58から受けるパルス数に応じて作動し、上記撮像カメラ51をバックアップツール17の長手方向に駆動しながら行われる。上記駆動部58からのパルス信号は上記カメラ駆動源48に出力されると同時に、上記判定部56にも出力される。
Imaging of the receiving
上記駆動部58から上記カメラ駆動源48に出力されるパルス信号によって上記撮像カメラ51の位置を特定することができる。つまり、上記駆動部58からカメラ駆動源48に出力されるパルス信号の数によって撮像カメラ51の移動開始点からの移動距離を求めることができる。
The position of the
上記駆動部58からのパルス信号は、上記カメラ駆動源48と同時に判定部56に出力される。それによって、上記判定部56は上記バックアップツール17の受け面17aに塵埃があると判定すると同時に、その付着物の上記バックアップツール17の受け面17aの長手方向における位置を特定することができる。
The pulse signal from the
上記検査装置41は、上記圧着ユニット11が基板WにTCP6を本圧着しているときには図3に示すように上記バックアップツール17の長手方向の一端から外れた待機位置Sで待機していて、付着物の検査時には待機位置Sから同図に矢印Xで示す上記バックアップツール17の長手方向の他端に向かって駆動される。
The
図2と図3に示すように、上記検査装置41のベース部材45長手方向中途部の上記バックアップツール17の受け面17aと対応する部位には、一対の支持具61が上記受け面17aの幅寸法よりもわずかに大きな間隔で離間して設けられている。
As shown in FIGS. 2 and 3, a pair of
一対の支持具61には清掃手段としての上記回転ブラシ62が回転可能かつ上記受け面に接触する高さで支持されている。そして、この回転ブラシ62は一方の支持具61に設けられたブラシ駆動源63によって回転駆動されるようになっている。
The pair of
上記ブラシ駆動源63は図4に示すように上記制御装置54の駆動部58からの駆動信号によって回転駆動されるようになっている。なお、清掃手段は回転ブラシ62に限られず、円盤状或いはロール状をなした研磨布などを用いてもよい。
The
図3に示すように、上記回転ブラシ62は待機位置Sで待機する上記検査装置41の矢印Xで示す移動方向の下流側に設けられている。それによって、上記検査装置41が矢印X方向に駆動されると、上記回転ブラシ62は検査装置41と一体的に矢印X方向に移動する。
As shown in FIG. 3, the
そのとき、上記回転ブラシ62を回転駆動させれば、上記バックアップツール17の受け面17aが上記撮像カメラ51によって撮像される前に上記回転ブラシ62によってブラッシングされるようになっている。
At this time, if the
なお、回転ブラシ62を矢印Xと逆方向に移動させる際、この回転ブラシ62を回転駆動させなければ、受け面17aに対して作用することがない。
When the
上記撮像カメラ51による上記受け面17aの撮像は、上記検査装置41が図3に示す矢印X方向に駆動されているときに連続して撮像し、その画像を動画として得るようにしてもよいが、検査装置41が所定距離移動する毎に撮像カメラ51による撮像を間欠的に行うことで、静止画として得るようにしてもよい。
Imaging of the receiving
なお、上記位置決めユニット12のX駆動源19、Y駆動源23、Z駆動源32及びθ駆動源35は上記制御装置54の駆動部58からの駆動信号によって駆動が制御されるようになっている。
The driving of the
上記構成の実装装置によれば、バックアップツール17の受け面17aに付着物があるか否かを検査する場合、検査装置41を図3に示す待機位置Sから矢印Xで示す方向に駆動する。検査装置41が駆動されると、駆動方向下流側に検査装置41と一体的に回転ブラシ62が設けられているから、上記受け面17aは上記検査装置41の撮像カメラ51によって撮像される前に上記回転ブラシ62によってブラッシングされる。
According to the mounting apparatus having the above-described configuration, when inspecting whether there is any deposit on the receiving
そして、上記受け面17aの回転ブラシ62によってブラッシングされ部分が上記撮像カメラ51によって撮像され、その撮像信号からバックアップツール17の受け面17aに付着物が付着しているか否かを判定することができる。つまり、上記受け面17aに付着物が残留しているか否かを確実に検出することができる。
Then, the portion brushed by the rotating
したがって、受け面17aに付着物が残留している場合には、検査後に受け面17aに付着した付着物を除去すれば、受け面17aに塵埃が付着した状態で基板WにTCP6を本圧着するのを未然に防止することができる。つまり、基板Wを受け面17aに付着して付着物によって損傷させるのを防止することができる。
Therefore, if the deposit remains on the receiving
制御装置54の判定部56は、基板Wに塵埃があることを単に検出するだけでなく、その検出と同時に、塵埃がバックアップツール17の受け面17aの長手方向のどの位置にあるかを特定することができる。
The
つまり、駆動部58からのパルス信号は、撮像カメラ51を駆動するカメラ駆動源48と判定部56とに同時に出力するようにした。そのため、判定部56では、バックアップツール17の受け面17aに付着物があることを検出すると同時に、そのときの撮像カメラ51のバックアップツール17の長手方向の位置を特定することができる。
That is, the pulse signal from the
それによって、バックアップツール17の受け面17aに付着する付着物を除去する際、その付着物がバックアップツール17の受け面17aの長手方向のどの位置に付着しているのかを予め知ることができるから、その付着物の除去作業を容易に、しかも確実に行うことができる。
As a result, when removing the adhering matter adhering to the receiving
とくに、基板Wが大型化してバックアップツール17が長尺化すると、その受け面17aのどの位置に付着物が付着しているかを見つけることは容易ではない。しかしながら、上述した検査装置41は付着物の有無だけでなく、位置を特定することができるから、バックアップツール17の受け面17aに残留する塵埃の除去を上述したように容易かつ確実に行うことができる。
In particular, when the substrate W is enlarged and the
付着物の除去作業は手作業で行ってもよいが、上記判定部56によって付着物が付着している位置が特定できるため、その位置に検査装置41と一体的に設けられた回転ブラシ62を移動させ、その部分を再度、ブラッシングするようにしてもよい。なお、ブラッシングの結果は、ブラッシングされた部分を撮像カメラ51によって撮像して判定すればよい。このようにすれば、受け面の検査と付着物の除去の両方の作業を自動化することができる。
The removal work of the deposits may be performed manually, but since the position where the deposits are attached can be specified by the
上記撮像カメラ51により受け面17aを撮像し、そこに付着物に残留しているか否かを判定する前に、上記撮像カメラ51と一体的に駆動される回転ブラシ62によって上記受け面17aをブラッシングするようにした。
The receiving
そのため、受け面17aを撮像する前にその受け面17aをブラッシングしない場合に比べ、受け面17aに付着物が残留する度合を低減させることができるから、付着部の残留検査を行った後の除去作業を容易かつ迅速に行うことが可能となる。
Therefore, compared with the case where the receiving
上記撮像カメラ51による受け面17aに付着した付着物の撮像は、図2に示すようにバックアップツール17の幅方向一端に位置する光源52から照明光を照射し、幅方向他端に位置する上記撮像カメラ51によって行うようにしている。
As shown in FIG. 2, the
そのため、受け面17aに付着物が付着していると、撮像カメラ51は付着物の影を撮像することになるから、受け面17aでの照明光の反射状態に影響を受けることなく、付着物の撮像を確実に行うことが可能となる。
For this reason, if the deposit is attached to the receiving
上記一実施の形態では、付着物として基板にTCPを本圧着することで、バックアップツールの受け面に異方性導電部材が固着する場合を例に挙げて説明したが、付着物としては受け面に固着する異方性導電部材に限られず、実装装置が設置される空間部で発生する塵埃が付着した場合であってもよく、要は受け面に付着残留しているものであれば、その検出と同時に位置を特定することが可能である。 In the above-described embodiment, the case where the anisotropic conductive member is fixed to the receiving surface of the backup tool by performing the main pressure bonding of TCP to the substrate as the attached material has been described as an example. It is not limited to the anisotropic conductive member that adheres to the surface, but may be a case where dust generated in the space where the mounting apparatus is installed adheres. The position can be specified simultaneously with the detection.
この発明によれば、バックアップツールの上端面を長手方向全長にわたって撮像し、その撮像に基いてバックアップツールの上端面に付着物があるか否かを判定するようにしたから、バックアップツールの上端面を清掃した後、その上端面に付着物が残留しているか否かを正確に判定することが可能となる。 According to the present invention, the upper end surface of the backup tool is imaged over the entire length in the longitudinal direction, and it is determined whether or not there is a deposit on the upper end surface of the backup tool based on the imaging. After cleaning, it is possible to accurately determine whether or not the deposit remains on the upper end surface.
Claims (7)
上記電子部品が実装される側辺部を外方に突出させて上記基板が上面に載置される実装ステージと、
この実装ステージの上面から外方に突出させた上記基板の側辺部の下面を支持する上端面を有するバックアップツールと、
このバックアップツールの上端面によって下面が支持された上記基板の側辺部の上面に上記電子部品を実装する加圧ツールと、
上記バックアップツールの上端面から基板が退避した状態で上記上端面を撮像する撮像手段と、
この撮像手段を上記バックアップツールの長手方向に沿って駆動して上記上端面を全長にわたって撮像させる駆動手段と、
上記撮像手段の撮像信号を画像処理する画像処理部と、
この画像処理部によって処理された画像信号に基いて上記バックアップツールの上端面に付着物があるか否かを判定する判定手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。A mounting device for mounting electronic components on the side of a substrate,
A mounting stage on which the substrate is placed on the upper surface by projecting a side portion on which the electronic component is mounted;
A backup tool having an upper end surface that supports the lower surface of the side portion of the substrate protruding outward from the upper surface of the mounting stage;
A pressure tool for mounting the electronic component on the upper surface of the side portion of the substrate whose lower surface is supported by the upper end surface of the backup tool;
Imaging means for imaging the upper end surface in a state where the substrate is retracted from the upper end surface of the backup tool;
Driving means for driving the imaging means along the longitudinal direction of the backup tool to image the upper end surface over the entire length; and
An image processing unit that performs image processing on an imaging signal of the imaging unit;
An electronic component mounting apparatus comprising: determination means for determining whether or not there is a deposit on the upper end surface of the backup tool based on an image signal processed by the image processing unit.
実装ステージに載置された基板の側辺部の下面をバックアップツールの上端面に載置する工程と、
下面が上記バックアップツールの上端面に載置された基板の側辺部の上面に上記電子部品を実装する工程と、
上記バックアップツールの上端面から基板が退避した状態で上記バックアップツールの上端面を長手方向全長にわたって撮像する工程と、
上記バックアップツールの上端面の撮像に基いてその上端面に付着物があるか否かを判定する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。A mounting method for mounting an electronic component on a side of a substrate,
Placing the lower surface of the side portion of the substrate placed on the mounting stage on the upper end surface of the backup tool;
Mounting the electronic component on the upper surface of the side portion of the substrate whose lower surface is placed on the upper end surface of the backup tool;
Imaging the upper end surface of the backup tool over the entire length in the longitudinal direction with the substrate retracted from the upper end surface of the backup tool;
And a step of determining whether or not there is a deposit on the upper end surface based on imaging of the upper end surface of the backup tool.
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