JP4991249B2 - Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method - Google Patents

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Description

本発明は、仮圧着された電子部品を基板に本圧着する電子部品圧着装置および電子部品圧着方法に係り、とりわけ、バックアップツール上の異物などが原因で、電子部品が本圧着される複数の基板が連続して破損することを防止することができる電子部品圧着装置および電子部品圧着方法に関する。   The present invention relates to an electronic component crimping apparatus and an electronic component crimping method for crimping a temporarily crimped electronic component to a substrate, and more particularly, a plurality of substrates to which the electronic component is permanently crimped due to foreign matters on a backup tool. The present invention relates to an electronic component crimping apparatus and an electronic component crimping method capable of preventing continuous damage.

図6に示すように、従来の電子部品圧着装置は、基板60を支持するバックアップツール20と、バックアップツール20により支持された基板60上にテープを介して仮圧着された電子部品65を押圧し、当該電子部品65を基板60上に本圧着する加圧部30と、加圧部30に連結され、加圧部30をバックアップツール20に向かって駆動する駆動部10とを備えている。   As shown in FIG. 6, the conventional electronic component crimping apparatus presses the backup tool 20 that supports the substrate 60 and the electronic component 65 that is temporarily crimped onto the substrate 60 supported by the backup tool 20 via a tape. The pressure part 30 for press-bonding the electronic component 65 onto the substrate 60 and the drive part 10 connected to the pressure part 30 and driving the pressure part 30 toward the backup tool 20 are provided.

このような電子部品圧着装置によって、テープを介して基板60上に仮圧着された電子部品65を押圧し、当該電子部品65を基板60上に本圧着する際、基板60が破損することを防止するために、バックアップツール20上の異物を検出し、除去している。   With such an electronic component crimping device, the electronic component 65 temporarily pressed onto the substrate 60 is pressed via a tape, and the substrate 60 is prevented from being damaged when the electronic component 65 is finally crimped onto the substrate 60. In order to do this, foreign matter on the backup tool 20 is detected and removed.

しかしながら、従来の方法では、基板60が破損したことを直接検出することができないため、基板60の破損が小さい場合には破損原因に気づかずそのまま、連続して複数の基板60に電子部品65を本圧着してしまい、基板60が連続して破損してしまうことがある。   However, in the conventional method, since it is not possible to directly detect that the substrate 60 is damaged, when the damage to the substrate 60 is small, the electronic component 65 is continuously attached to the plurality of substrates 60 without noticing the cause of the damage. There is a case where the substrate 60 is continuously pressed and the substrate 60 is continuously damaged.

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、テープを介して基板上に仮圧着された電子部品を基板上に本圧着する際、バックアップツール上の異物などが原因で、複数の基板が連続して破損することを防止することができる電子部品圧着装置および電子部品圧着方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of such points, and when the electronic component temporarily bonded onto the substrate via the tape is finally bonded onto the substrate, due to foreign matter on the backup tool, An object of the present invention is to provide an electronic component crimping apparatus and an electronic component crimping method capable of preventing a plurality of substrates from being damaged continuously.

本発明による電子部品圧着装置は、基板を支持するバックアップツールと、バックアップツールにより支持された基板上にテープを介して仮圧着された電子部品を押圧し、当該電子部品を基板上に本圧着する加圧部と、加圧部に連結され、加圧部をバックアップツールに向かって駆動する駆動部と、加圧部に連結され、電子部品から加圧部に加わった荷重を測定する荷重測定部と、荷重測定部および駆動部に連結された制御機構とを備え、制御機構が、荷重測定部によって測定された加圧部へ加わる荷重値を時間に対して測定し、時間に対する加圧部への荷重値からなる荷重曲線に基づいて、当該荷重曲線が所望の形状になるよう駆動部を制御するとともに、荷重値が時間に対して非連続に変化した場合に基板が破損したと判断するAn electronic component crimping apparatus according to the present invention presses an electronic component temporarily bonded via a tape onto a substrate supported by the backup tool and a substrate supported by the backup tool, and finally crimps the electronic component onto the substrate. A pressure unit, a drive unit coupled to the pressure unit and driving the pressure unit toward the backup tool, and a load measurement unit coupled to the pressure unit and measuring a load applied from the electronic component to the pressure unit. And a control mechanism connected to the load measurement unit and the drive unit, the control mechanism measures the load value applied to the pressurization unit measured by the load measurement unit with respect to time, and to the pressurization unit with respect to time Based on the load curve composed of the load values, the drive unit is controlled so that the load curve has a desired shape, and it is determined that the substrate is damaged when the load value changes discontinuously with time .

このような構成によって、テープを介して基板上に仮圧着された電子部品を基板上に本圧着する際、バックアップツール上の異物などが原因で、複数の基板が連続して破損することを防止するとともに、基板に急速に力が加わって基板が破損することを防止することができる。   This configuration prevents multiple substrates from being damaged continuously due to foreign matter on the backup tool when an electronic component is temporarily bonded onto the substrate via a tape. In addition, it is possible to prevent the substrate from being damaged due to a rapid force applied to the substrate.

本発明は、荷重測定部が、加圧部への荷重値を測定するロードセルと、当該ロードセルに接続され、ロードセルから得られた加圧部への荷重値に関する情報を増幅させて制御機構へ出力するロードセルアンプとを有することを特徴とする電子部品圧着装置である。   In the present invention, the load measuring unit amplifies the load cell for measuring the load value to the pressurizing unit and the load cell connected to the load cell and obtained from the load cell to the control mechanism. An electronic component crimping apparatus comprising a load cell amplifier.

本発明は、駆動部が、加圧部を駆動するモータと、モータに連結され、モータの回転数を示すエンコーダとを有することを特徴とする電子部品圧着装置である。   The present invention is an electronic component crimping device, wherein the drive unit includes a motor that drives the pressurizing unit, and an encoder that is coupled to the motor and indicates the number of rotations of the motor.

本発明は、加圧部が、電子部品を基板上に本圧着する本圧ツールと、当該本圧ツールに連結され、本圧ツールを加熱するヒータとを有することを特徴とする電子部品圧着装置である。   According to the present invention, there is provided an electronic component crimping apparatus, wherein the pressurizing unit includes a main pressure tool for press-bonding an electronic component onto a substrate, and a heater connected to the main pressure tool to heat the main pressure tool. It is.

このような構成によって、電子部品を基板上に本圧着するときに、電子部品と基板との間に配置されたテープを加熱することができ、電子部品を基板に容易に圧着することができる。   With such a configuration, when the electronic component is finally crimped onto the substrate, the tape disposed between the electronic component and the substrate can be heated, and the electronic component can be easily crimped onto the substrate.

本発明は、駆動部が、駆動部によって回転駆動されるボールネジに連結され、ボールネジが、ボールネジが回転することによってバックアップツール方向に駆動される駆動用プレートに連結され、駆動用プレートが、前記加圧部に連結されていることを特徴とする電子部品圧着装置である。   In the present invention, the drive unit is coupled to a ball screw that is rotationally driven by the drive unit, the ball screw is coupled to a drive plate that is driven in the direction of the backup tool by the rotation of the ball screw, and the drive plate is coupled to the additional plate. The electronic component crimping apparatus is connected to a pressure part.

本発明による電子部品圧着方法は、バックアップツールによって、基板を支持するバックアップ工程と、駆動部によって、バックアップツールに向かって加圧部が駆動される駆動工程と、駆動部によって駆動される加圧部によって、バックアップツールにより支持された基板上にテープを介して仮圧着された電子部品を押圧し、当該電子部品を基板上に本圧着する加圧工程と、加圧部に連結された荷重測定部によって、電子部品から加圧部に加わった荷重を測定する荷重測定工程と、を備え、荷重測定部および駆動部に連結された制御機構によって、荷重測定部によって測定された加圧部へ加わる荷重値を時間に対して測定し、時間に対する加圧部への荷重値からなる荷重曲線に基づいて、当該荷重曲線が所望の形状になるよう駆動部を制御するとともに、荷重値が時間に対して非連続に変化した場合に基板が破損したと判断するThe electronic component crimping method according to the present invention includes a backup process for supporting a substrate by a backup tool, a drive process for driving the pressurization unit toward the backup tool by the drive unit, and a pressurization unit driven by the drive unit. Pressing the electronic component temporarily press-bonded onto the substrate supported by the backup tool via the tape, and finally pressing the electronic component onto the substrate, and the load measuring unit connected to the pressing unit by comprising a load measuring step of measuring the load applied to the pressing from the electronic component, and the linked control mechanism to the load measuring unit and drive unit, the load applied to the pressing portion measured by the load measuring unit measured values against time, based on the load curve consisting of load value to pressing against time, controls the driving unit so that the load curve becomes the desired shape Rutotomoni, it is determined that the substrate was damaged when a load value changes discontinuously with respect to time.

このような構成によって、テープを介して基板上に仮圧着された電子部品を基板上に本圧着する際、バックアップツール上の異物などが原因で、複数の基板が連続して破損することを防止するとともに、基板に急速に力が加わって基板が破損することを防止することができる。   This configuration prevents multiple substrates from being damaged continuously due to foreign matter on the backup tool when an electronic component is temporarily bonded onto the substrate via a tape. In addition, it is possible to prevent the substrate from being damaged due to a rapid force applied to the substrate.

本発明によれば、時間に対する加圧部への荷重値からなる荷重曲線に基づいて、当該荷重曲線が所望の形状になるよう駆動部を制御することによって、テープを介して基板上に仮圧着された電子部品を基板上に本圧着する際、基板に急速に力が加わって基板が破損することを防止することができる。また、前記荷重曲線に基づいて、基板の損傷を検出することによって、テープを介して基板上に仮圧着された電子部品を基板上に本圧着する際、バックアップツール上の異物などが原因で、複数の基板が連続して破損することを防止することができる。   According to the present invention, on the basis of a load curve composed of a load value applied to the pressurizing unit with respect to time, the drive unit is controlled so that the load curve has a desired shape, thereby temporarily pressing onto the substrate via the tape. When this electronic component is finally press-bonded onto the substrate, it is possible to prevent the substrate from being damaged due to a rapid force applied to the substrate. In addition, by detecting damage to the substrate based on the load curve, when electronically bonding the electronic component temporarily bonded on the substrate via the tape, due to foreign matters on the backup tool, It is possible to prevent a plurality of substrates from being damaged continuously.

実施の形態
以下、本発明に係る電子部品圧着装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1乃至図5は本発明の実施の形態を示す図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of an electronic component crimping apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings. Here, FIG. 1 to FIG. 5 are diagrams showing an embodiment of the present invention.

図1に示すように、電子部品圧着装置は、基板60を支持するバックアップツール20と、バックアップツール20により支持された基板60上にテープ(図示せず)を介して仮圧着された電子部品65を押圧し、当該電子部品65を基板60上に本圧着する加圧部30と、加圧部30に連結され、加圧部30をバックアップツール20に向かって駆動する駆動部10と、加圧部30に連結され、電子部品65から加圧部30に加わった荷重を測定する荷重測定部40と、荷重測定部40および駆動部10に連結された制御機構50とを備えている。ところで、このような電子部品圧着装置によって本圧着される電子部品65は、TCP、FPC、ベアチップなどからなっている。   As shown in FIG. 1, the electronic component crimping apparatus includes a backup tool 20 that supports a substrate 60, and an electronic component 65 that is temporarily crimped onto the substrate 60 supported by the backup tool 20 via a tape (not shown). , And pressurizing unit 30 for press-bonding electronic component 65 onto substrate 60, driving unit 10 connected to pressurizing unit 30 to drive pressurizing unit 30 toward backup tool 20, and pressurizing A load measuring unit 40 that is connected to the unit 30 and measures a load applied to the pressing unit 30 from the electronic component 65, and a control mechanism 50 that is connected to the load measuring unit 40 and the driving unit 10 are provided. By the way, the electronic component 65 which is finally bonded by such an electronic component crimping apparatus is made of TCP, FPC, bare chip, or the like.

このうち、図1および図2に示す制御機構50は、荷重測定部40によって測定された加圧部30への荷重値から得られた、時間に対する加圧部30への荷重値からなる荷重曲線LDに基づいて、当該荷重曲線LDが所望の形状になるよう駆動部10を制御する(図3参照)。また制御機構50は、当該荷重曲線LDに基づいて、基板60の破損を検出する(図4参照)。   Among these, the control mechanism 50 shown in FIG. 1 and FIG. 2 is a load curve composed of the load value applied to the pressurizing unit 30 with respect to time, obtained from the load value applied to the pressurizing unit 30 measured by the load measuring unit 40. Based on the LD, the drive unit 10 is controlled so that the load curve LD has a desired shape (see FIG. 3). Further, the control mechanism 50 detects the breakage of the substrate 60 based on the load curve LD (see FIG. 4).

なお、図3は、加圧部30によって電子部品65が基板60に本圧着されるときに、荷重測定部40によって測定された荷重値に基づいて得られる、通常時の荷重曲線LDを示すグラフ図である。また、図4は、加圧部30によって電子部品65が基板60に本圧着されるときに、荷重測定部40によって測定された荷重値に基づいて得られる、異常時(基板60破損時)の荷重曲線LDを示すグラフ図である。   FIG. 3 is a graph showing a normal load curve LD obtained based on the load value measured by the load measuring unit 40 when the electronic component 65 is finally press-bonded to the substrate 60 by the pressurizing unit 30. FIG. FIG. 4 shows an abnormal state (when the substrate 60 is broken) obtained based on the load value measured by the load measuring unit 40 when the electronic component 65 is finally press-bonded to the substrate 60 by the pressurizing unit 30. It is a graph which shows load curve LD.

また、図2に示すように、荷重測定部40は、加圧部30への荷重値を測定するロードセル41と、当該ロードセル41に接続され、ロードセル41から得られた加圧部30への荷重値に関する情報を増幅させて制御機構50へ出力するロードセルアンプ43とを有している。   As shown in FIG. 2, the load measuring unit 40 includes a load cell 41 that measures a load value applied to the pressurizing unit 30, and a load applied to the pressurizing unit 30 that is connected to the load cell 41 and obtained from the load cell 41. A load cell amplifier 43 that amplifies information about the value and outputs the amplified information to the control mechanism 50.

また、図1および図2に示すように、駆動部10は、加圧部30を駆動するモータ11と、モータ11に連結され、モータ11の回転数を示すエンコーダ12とを有している。   As shown in FIGS. 1 and 2, the drive unit 10 includes a motor 11 that drives the pressurizing unit 30, and an encoder 12 that is connected to the motor 11 and indicates the number of rotations of the motor 11.

また、図1および図2に示すように、制御機構50は、荷重測定部40によって測定された加圧部30への荷重値から得られた、時間に対する加圧部30への荷重値からなる荷重曲線LD(図3参照)に基づいて、当該荷重曲線LDが所望の形状になるよう駆動部10を制御するとともに、当該荷重曲線LDに基づいて、基板60の損傷を検出する制御装置51と、当該制御装置51からの信号を駆動部10に出力するサーボドライバ52とを有している。このサーボドライバ52は、駆動部10のモータ11とエンコーダ12に接続されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the control mechanism 50 includes a load value applied to the pressurizing unit 30 with respect to time obtained from the load value applied to the pressurizing unit 30 measured by the load measuring unit 40. Based on the load curve LD (see FIG. 3), the control unit 51 controls the drive unit 10 so that the load curve LD has a desired shape, and detects damage to the substrate 60 based on the load curve LD. And a servo driver 52 that outputs a signal from the control device 51 to the drive unit 10. The servo driver 52 is connected to the motor 11 and the encoder 12 of the drive unit 10.

また、図1に示すように、加圧部30は、電子部品65を基板60上に本圧着する本圧ツール31と、当該本圧ツール31に連結され、本圧ツール31を加熱するヒータ31hとを有している。   Further, as shown in FIG. 1, the pressurizing unit 30 includes a main pressure tool 31 that performs main pressure bonding of the electronic component 65 onto the substrate 60, and a heater 31 h that is connected to the main pressure tool 31 and heats the main pressure tool 31. And have.

また、図1に示すように、駆動部10のモータ11は、モータ11によって回転駆動されるボールネジ14にカップリング13を介して連結されている。また、このボールネジ14は、ボールネジ14が回転することによってバックアップツール20方向に駆動される駆動用プレート15に連結されている。また、この駆動用プレート15は、荷重測定部40を介して加圧部30の本圧ツール31に連結されている。   As shown in FIG. 1, the motor 11 of the drive unit 10 is connected via a coupling 13 to a ball screw 14 that is rotationally driven by the motor 11. The ball screw 14 is connected to a drive plate 15 that is driven in the direction of the backup tool 20 by the rotation of the ball screw 14. The driving plate 15 is connected to the main pressure tool 31 of the pressurizing unit 30 via the load measuring unit 40.

次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。   Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described.

まず、バックアップツール20によって、基板60が支持される(バックアップ工程81)(図1および図5参照)。   First, the substrate 60 is supported by the backup tool 20 (backup step 81) (see FIGS. 1 and 5).

次に、駆動部10によって、バックアップツール20に向かって加圧部30が駆動される(駆動工程82)(図1および図5参照)。具体的には、駆動部10のモータ11によってボールネジ14が回転駆動される。このようにボールネジ14が回転駆動されることによって、駆動用プレート15がバックアップツール20に向かって移動する。このことによって、駆動用プレート15の下部に荷重測定部40を介して連結された加圧部30が、下方に移動する。   Next, the pressing unit 30 is driven by the driving unit 10 toward the backup tool 20 (driving step 82) (see FIGS. 1 and 5). Specifically, the ball screw 14 is rotationally driven by the motor 11 of the driving unit 10. As the ball screw 14 is rotationally driven in this manner, the driving plate 15 moves toward the backup tool 20. As a result, the pressure unit 30 connected to the lower part of the driving plate 15 via the load measuring unit 40 moves downward.

その後、上述のように駆動部10によって駆動された加圧部30によって、バックアップツール20により支持された基板60上にテープを介して仮圧着された電子部品65が押圧され、当該電子部品65が基板60上に本圧着される(加圧工程83)(図1および図5参照)。このとき、本圧ツール31はヒータ31hによって加熱され熱くなっている。このため、電子部品65と基板60との間に配置されたテープを加熱することができ、電子部品65を基板60に容易に圧着することができる。   Thereafter, the electronic component 65 temporarily pressed through the tape is pressed onto the substrate 60 supported by the backup tool 20 by the pressing unit 30 driven by the driving unit 10 as described above, and the electronic component 65 is A main press-fitting is performed on the substrate 60 (pressurizing step 83) (see FIGS. 1 and 5). At this time, the main pressure tool 31 is heated by the heater 31h and becomes hot. For this reason, the tape arrange | positioned between the electronic component 65 and the board | substrate 60 can be heated, and the electronic component 65 can be crimped | bonded to the board | substrate 60 easily.

このとき、加圧部30に連結された荷重測定部40によって、電子部品65から加圧部30に加わった荷重が測定される(荷重測定工程85)(図1、図2および図5参照)。   At this time, the load applied to the pressurizing unit 30 from the electronic component 65 is measured by the load measuring unit 40 connected to the pressurizing unit 30 (load measuring step 85) (see FIGS. 1, 2 and 5). .

次に、荷重測定部40に連結された制御機構50によって、荷重測定部40によって測定された加圧部30への荷重値から、時間に対する加圧部30への荷重値からなる荷重曲線LDが得られる(荷重曲線算出工程86)(図3および図5参照)。   Next, a load curve LD including a load value to the pressurization unit 30 with respect to time is calculated from a load value to the pressurization unit 30 measured by the load measurement unit 40 by the control mechanism 50 connected to the load measurement unit 40. Obtained (load curve calculation step 86) (see FIGS. 3 and 5).

その後、制御機構50によって、算出された荷重曲線LDに基づいて、具体的には当該荷重曲線LDが所望の形状になるよう、駆動部10のモータ11の回転数が制御される(荷重速度制御工程91)(図3および図5参照)。   Thereafter, based on the calculated load curve LD, the control mechanism 50 specifically controls the rotation speed of the motor 11 of the drive unit 10 so that the load curve LD has a desired shape (load speed control). Step 91) (see FIGS. 3 and 5).

すなわち、図1および図2において、制御機構50は、時間に対して、加圧部30へ加わる荷重値が所定の値で変化するように(図3参照)、サーボドライバ52を介してモータ11を回転駆動する。このとき、モータ11の回転数は、エンコーダ12を介して制御機構50にフィードバックされる。 That is, in FIG. 1 and FIG. 2, the control mechanism 50 causes the motor 11 via the servo driver 52 so that the load value applied to the pressurizing unit 30 changes with time with a predetermined value (see FIG. 3). Is driven to rotate. At this time, the rotation speed of the motor 11 is fed back to the control mechanism 50 via the encoder 12.

このように、所望の速度で、基板60上にテープを介して仮圧着された電子部品65を押圧することによって、基板60に急速に力が加わって基板60が破損することを防止することができる。   In this way, by pressing the electronic component 65 temporarily press-bonded onto the substrate 60 via the tape at a desired speed, it is possible to prevent the substrate 60 from being damaged due to a rapid force applied to the substrate 60. it can.

なお、荷重曲線LDは、基板60上にテープを介して仮圧着された電子部品65に、(経験的に)基板60が破損しない最高速度で、または圧着プロセスに適した最高速度で、所望の押圧力が加わるよう定義されることが好ましい。このように荷重曲線LDを定義することによって、基板60に電子部品65を最も早く本圧着することができるためである。   Note that the load curve LD is applied to the electronic component 65 temporarily bonded onto the substrate 60 via a tape at a maximum speed at which the substrate 60 is not damaged (empirically) or at a maximum speed suitable for the compression process. It is preferably defined to apply a pressing force. This is because by defining the load curve LD in this way, the electronic component 65 can be finally press-bonded to the substrate 60.

このとき、制御機構50は、荷重曲線LDに基づいて、基板60が破損したか否かも検出する(破損検出工程92)(図4および図5参照)。具体的には、図1および図2において、制御機構50は、加圧部30へ加わる荷重値を時間に対して測定し、図4に示すように、荷重値が時間に対して非連続に変化した場合に、基板60が破損したと判断する。   At this time, the control mechanism 50 also detects whether or not the substrate 60 is damaged based on the load curve LD (damage detection step 92) (see FIGS. 4 and 5). Specifically, in FIG. 1 and FIG. 2, the control mechanism 50 measures the load value applied to the pressurizing unit 30 with respect to time, and the load value is discontinuous with respect to time as shown in FIG. If it has changed, it is determined that the substrate 60 has been damaged.

このため、基板60の破損をリアルタイムで把握することができるとともに、例え基板60に発生した破損が小さくても、当該破損を検知することができる。この結果、基板60の破損原因を容易かつ迅速に特定することができ、破損原因を解消する(例えば、バックアップツール20上の異物などを除去する)ことができるので、従来のように複数の基板60が連続して破損することを防止することができる。   For this reason, the breakage of the substrate 60 can be grasped in real time, and the breakage can be detected even if the breakage occurring in the substrate 60 is small. As a result, the cause of breakage of the substrate 60 can be identified easily and quickly, and the cause of breakage can be eliminated (for example, foreign matter on the backup tool 20 is removed). It is possible to prevent the 60 from being damaged continuously.

ところで、制御機構50によって、基板60の破損する速度がリアルタイムで測定されるので、加圧部30が電子部品65を介して基板60を押圧する際の荷重速度を、基板60が破損しない最高速度に容易に設定することができる。   By the way, since the speed at which the substrate 60 is damaged is measured in real time by the control mechanism 50, the load speed when the pressing unit 30 presses the substrate 60 via the electronic component 65 is set to the maximum speed at which the substrate 60 is not damaged. Can be set easily.

すなわち、基板60が破損した際に、破損の原因がバックアップツール20上の異物などではなく、基板60への荷重速度が速いためであると判断した場合には、加圧部30の基板60への荷重速度を遅くし、適宜調整する。このことによって、加圧部30の基板60への荷重速度を、基板60が破損しない最高速度に設定し、上述のように好ましい荷重曲線LDを定義することができる。   That is, when it is determined that when the substrate 60 is damaged, the cause of the damage is not the foreign matter on the backup tool 20 but the load speed on the substrate 60 is high, the substrate 60 of the pressurizing unit 30 is transferred to the substrate 60. The load speed is adjusted to be appropriate. As a result, the load speed of the pressing unit 30 to the substrate 60 can be set to the maximum speed at which the substrate 60 is not damaged, and the preferable load curve LD can be defined as described above.

本発明による電子部品圧着装置の実施の形態を示す構成図。The block diagram which shows embodiment of the electronic component crimping | compression-bonding apparatus by this invention. 本発明による電子部品圧着装置の実施の形態における駆動部、荷重測定部および制御機構の関係を示す概略図。Schematic which shows the relationship between the drive part in the embodiment of the electronic component crimping apparatus by this invention, a load measurement part, and a control mechanism. 本発明の実施の形態による電子部品圧着装置において、加圧部によって電子部品が基板に本圧着されるときに、荷重測定部によって測定された荷重値に基づいて得られる、通常時の荷重曲線を示すグラフ図In the electronic component crimping apparatus according to the embodiment of the present invention, a normal load curve obtained based on the load value measured by the load measuring unit when the electronic component is finally crimped to the substrate by the pressurizing unit. Graphical diagram showing 本発明の実施の形態による電子部品圧着装置において、加圧部によって電子部品が基板に本圧着されるときに、荷重測定部によって測定された荷重値に基づいて得られる、異常時(基板破損時)の荷重曲線を示すグラフ図。In the electronic component crimping apparatus according to the embodiment of the present invention, when the electronic component is finally crimped to the substrate by the pressurizing unit, an abnormality is obtained based on the load value measured by the load measuring unit (when the substrate is broken). ) Is a graph showing a load curve. 本発明による電子部品圧着方法の実施の形態を示すフロー図。The flowchart which shows embodiment of the electronic component crimping method by this invention. 従来の電子部品圧着装置を示す構成図。The block diagram which shows the conventional electronic component crimping | compression-bonding apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

10 駆動部
11 モータ
12 エンコーダ
13 カップリング
14 ボールネジ
15 駆動用プレート
20 バックアップツール
30 加圧部
31 本圧ツール
31h ヒータ
40 荷重測定部
41 ロードセル
43 ロードセルアンプ
50 制御機構
60 基板
65 電子部品
81 バックアップ工程
82 駆動工程
83 加圧工程
85 荷重測定工程
86 荷重曲線算出工程
91 荷重速度制御工程
92 破損検出工程
LD 荷重曲線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Drive part 11 Motor 12 Encoder 13 Coupling 14 Ball screw 15 Drive plate 20 Backup tool 30 Pressurization part 31 Main pressure tool 31h Heater 40 Load measurement part 41 Load cell 43 Load cell amplifier 50 Control mechanism 60 Board 65 Electronic component 81 Backup process 82 Drive process 83 Pressurization process 85 Load measurement process 86 Load curve calculation process 91 Load speed control process 92 Damage detection process LD Load curve

Claims (6)

基板を支持するバックアップツールと、
バックアップツールにより支持された基板上にテープを介して仮圧着された電子部品を押圧し、当該電子部品を基板上に本圧着する加圧部と、
加圧部に連結され、加圧部をバックアップツールに向かって駆動する駆動部と、
加圧部に連結され、電子部品から加圧部に加わった荷重を測定する荷重測定部と、
荷重測定部および駆動部に連結された制御機構とを備え、
制御機構は、荷重測定部によって測定された加圧部へ加わる荷重値を時間に対して測定し、時間に対する加圧部への荷重値からなる荷重曲線に基づいて、当該荷重曲線が所望の形状になるよう駆動部を制御するとともに、荷重値が時間に対して非連続に変化した場合に基板が破損したと判断することを特徴とする電子部品圧着装置。
A backup tool to support the substrate,
A pressure unit that presses an electronic component temporarily bonded to the substrate supported by the backup tool via a tape, and performs main pressure bonding of the electronic component on the substrate;
A drive unit connected to the pressurization unit and driving the pressurization unit toward the backup tool;
A load measuring unit connected to the pressing unit and measuring a load applied from the electronic component to the pressing unit;
A load measuring unit and a control mechanism coupled to the drive unit,
The control mechanism measures the load value applied to the pressurization unit measured by the load measurement unit with respect to time, and based on the load curve composed of the load value to the pressurization unit with respect to time , the load curve has a desired shape. The electronic component crimping apparatus is characterized in that the drive unit is controlled so that the load value changes discontinuously with time, and the substrate is determined to be damaged .
荷重測定部は、加圧部への荷重値を測定するロードセルと、当該ロードセルに接続され、ロードセルから得られた加圧部への荷重値に関する情報を増幅させて制御機構へ出力するロードセルアンプとを有することを特徴とする請求項1記載の電子部品圧着装置。   The load measuring unit includes a load cell that measures a load value to the pressurizing unit, a load cell amplifier that is connected to the load cell, amplifies information on the load value to the pressurizing unit obtained from the load cell, and outputs the amplified information to the control mechanism. The electronic component crimping apparatus according to claim 1, further comprising: 駆動部は、加圧部を駆動するモータと、モータに連結され、モータの回転数を示すエンコーダとを有することを特徴とする請求項1記載の電子部品圧着装置。   The electronic component crimping apparatus according to claim 1, wherein the driving unit includes a motor that drives the pressurizing unit, and an encoder that is coupled to the motor and indicates a rotation speed of the motor. 加圧部は、電子部品を基板上に本圧着する本圧ツールと、当該本圧ツールに連結され、本圧ツールを加熱するヒータとを有することを特徴とする請求項1記載の電子部品圧着装置。   2. The electronic component crimping according to claim 1, wherein the pressurizing unit includes a main pressure tool that performs main pressure bonding of the electronic component on the substrate, and a heater that is connected to the main pressure tool and heats the main pressure tool. apparatus. 駆動部は、駆動部によって回転駆動されるボールネジに連結され、
ボールネジは、ボールネジが回転することによってバックアップツール方向に駆動される駆動用プレートに連結され、
駆動用プレートは、前記加圧部に連結されていることを特徴とする請求項1記載の電子部品圧着装置。
The drive unit is connected to a ball screw that is rotationally driven by the drive unit,
The ball screw is connected to a driving plate that is driven in the direction of the backup tool by rotating the ball screw,
The electronic component crimping apparatus according to claim 1, wherein the driving plate is connected to the pressing portion.
バックアップツールによって、基板を支持するバックアップ工程と、
駆動部によって、バックアップツールに向かって加圧部が駆動される駆動工程と、
駆動部によって駆動される加圧部によって、バックアップツールにより支持された基板上にテープを介して仮圧着された電子部品を押圧し、当該電子部品を基板上に本圧着する加圧工程と、
加圧部に連結された荷重測定部によって、電子部品から加圧部に加わった荷重を測定する荷重測定工程と、を備え、
荷重測定部および駆動部に連結された制御機構によって、荷重測定部によって測定された加圧部へ加わる荷重値を時間に対して測定し、時間に対する加圧部への荷重値からなる荷重曲線に基づいて、当該荷重曲線が所望の形状になるよう駆動部を制御するとともに、荷重値が時間に対して非連続に変化した場合に基板が破損したと判断することを特徴とする電子部品圧着方法。
Backup process to support the substrate with the backup tool,
A driving process in which the pressing unit is driven toward the backup tool by the driving unit;
A pressing step of pressing the electronic component temporarily bonded onto the substrate supported by the backup tool by the pressing unit driven by the driving unit via the tape, and finally pressing the electronic component on the substrate;
A load measurement step of measuring a load applied from the electronic component to the pressurization unit by a load measurement unit connected to the pressurization unit, and
The load value applied to the pressurization unit measured by the load measurement unit is measured with respect to time by a control mechanism connected to the load measurement unit and the drive unit, and a load curve consisting of the load value to the pressurization unit with respect to time is obtained. An electronic component crimping method comprising: controlling a driving unit so that the load curve has a desired shape based on the load curve; and determining that the substrate is damaged when the load value changes discontinuously with time. .
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