JP4991249B2 - Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method - Google Patents
Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method Download PDFInfo
- Publication number
- JP4991249B2 JP4991249B2 JP2006297912A JP2006297912A JP4991249B2 JP 4991249 B2 JP4991249 B2 JP 4991249B2 JP 2006297912 A JP2006297912 A JP 2006297912A JP 2006297912 A JP2006297912 A JP 2006297912A JP 4991249 B2 JP4991249 B2 JP 4991249B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- load
- electronic component
- substrate
- pressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
本発明は、仮圧着された電子部品を基板に本圧着する電子部品圧着装置および電子部品圧着方法に係り、とりわけ、バックアップツール上の異物などが原因で、電子部品が本圧着される複数の基板が連続して破損することを防止することができる電子部品圧着装置および電子部品圧着方法に関する。 The present invention relates to an electronic component crimping apparatus and an electronic component crimping method for crimping a temporarily crimped electronic component to a substrate, and more particularly, a plurality of substrates to which the electronic component is permanently crimped due to foreign matters on a backup tool. The present invention relates to an electronic component crimping apparatus and an electronic component crimping method capable of preventing continuous damage.
図6に示すように、従来の電子部品圧着装置は、基板60を支持するバックアップツール20と、バックアップツール20により支持された基板60上にテープを介して仮圧着された電子部品65を押圧し、当該電子部品65を基板60上に本圧着する加圧部30と、加圧部30に連結され、加圧部30をバックアップツール20に向かって駆動する駆動部10とを備えている。
As shown in FIG. 6, the conventional electronic component crimping apparatus presses the
このような電子部品圧着装置によって、テープを介して基板60上に仮圧着された電子部品65を押圧し、当該電子部品65を基板60上に本圧着する際、基板60が破損することを防止するために、バックアップツール20上の異物を検出し、除去している。
With such an electronic component crimping device, the
しかしながら、従来の方法では、基板60が破損したことを直接検出することができないため、基板60の破損が小さい場合には破損原因に気づかずそのまま、連続して複数の基板60に電子部品65を本圧着してしまい、基板60が連続して破損してしまうことがある。
However, in the conventional method, since it is not possible to directly detect that the
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、テープを介して基板上に仮圧着された電子部品を基板上に本圧着する際、バックアップツール上の異物などが原因で、複数の基板が連続して破損することを防止することができる電子部品圧着装置および電子部品圧着方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of such points, and when the electronic component temporarily bonded onto the substrate via the tape is finally bonded onto the substrate, due to foreign matter on the backup tool, An object of the present invention is to provide an electronic component crimping apparatus and an electronic component crimping method capable of preventing a plurality of substrates from being damaged continuously.
本発明による電子部品圧着装置は、基板を支持するバックアップツールと、バックアップツールにより支持された基板上にテープを介して仮圧着された電子部品を押圧し、当該電子部品を基板上に本圧着する加圧部と、加圧部に連結され、加圧部をバックアップツールに向かって駆動する駆動部と、加圧部に連結され、電子部品から加圧部に加わった荷重を測定する荷重測定部と、荷重測定部および駆動部に連結された制御機構とを備え、制御機構が、荷重測定部によって測定された加圧部へ加わる荷重値を時間に対して測定し、時間に対する加圧部への荷重値からなる荷重曲線に基づいて、当該荷重曲線が所望の形状になるよう駆動部を制御するとともに、荷重値が時間に対して非連続に変化した場合に基板が破損したと判断する。 An electronic component crimping apparatus according to the present invention presses an electronic component temporarily bonded via a tape onto a substrate supported by the backup tool and a substrate supported by the backup tool, and finally crimps the electronic component onto the substrate. A pressure unit, a drive unit coupled to the pressure unit and driving the pressure unit toward the backup tool, and a load measurement unit coupled to the pressure unit and measuring a load applied from the electronic component to the pressure unit. And a control mechanism connected to the load measurement unit and the drive unit, the control mechanism measures the load value applied to the pressurization unit measured by the load measurement unit with respect to time, and to the pressurization unit with respect to time Based on the load curve composed of the load values, the drive unit is controlled so that the load curve has a desired shape, and it is determined that the substrate is damaged when the load value changes discontinuously with time .
このような構成によって、テープを介して基板上に仮圧着された電子部品を基板上に本圧着する際、バックアップツール上の異物などが原因で、複数の基板が連続して破損することを防止するとともに、基板に急速に力が加わって基板が破損することを防止することができる。 This configuration prevents multiple substrates from being damaged continuously due to foreign matter on the backup tool when an electronic component is temporarily bonded onto the substrate via a tape. In addition, it is possible to prevent the substrate from being damaged due to a rapid force applied to the substrate.
本発明は、荷重測定部が、加圧部への荷重値を測定するロードセルと、当該ロードセルに接続され、ロードセルから得られた加圧部への荷重値に関する情報を増幅させて制御機構へ出力するロードセルアンプとを有することを特徴とする電子部品圧着装置である。 In the present invention, the load measuring unit amplifies the load cell for measuring the load value to the pressurizing unit and the load cell connected to the load cell and obtained from the load cell to the control mechanism. An electronic component crimping apparatus comprising a load cell amplifier.
本発明は、駆動部が、加圧部を駆動するモータと、モータに連結され、モータの回転数を示すエンコーダとを有することを特徴とする電子部品圧着装置である。 The present invention is an electronic component crimping device, wherein the drive unit includes a motor that drives the pressurizing unit, and an encoder that is coupled to the motor and indicates the number of rotations of the motor.
本発明は、加圧部が、電子部品を基板上に本圧着する本圧ツールと、当該本圧ツールに連結され、本圧ツールを加熱するヒータとを有することを特徴とする電子部品圧着装置である。 According to the present invention, there is provided an electronic component crimping apparatus, wherein the pressurizing unit includes a main pressure tool for press-bonding an electronic component onto a substrate, and a heater connected to the main pressure tool to heat the main pressure tool. It is.
このような構成によって、電子部品を基板上に本圧着するときに、電子部品と基板との間に配置されたテープを加熱することができ、電子部品を基板に容易に圧着することができる。 With such a configuration, when the electronic component is finally crimped onto the substrate, the tape disposed between the electronic component and the substrate can be heated, and the electronic component can be easily crimped onto the substrate.
本発明は、駆動部が、駆動部によって回転駆動されるボールネジに連結され、ボールネジが、ボールネジが回転することによってバックアップツール方向に駆動される駆動用プレートに連結され、駆動用プレートが、前記加圧部に連結されていることを特徴とする電子部品圧着装置である。 In the present invention, the drive unit is coupled to a ball screw that is rotationally driven by the drive unit, the ball screw is coupled to a drive plate that is driven in the direction of the backup tool by the rotation of the ball screw, and the drive plate is coupled to the additional plate. The electronic component crimping apparatus is connected to a pressure part.
本発明による電子部品圧着方法は、バックアップツールによって、基板を支持するバックアップ工程と、駆動部によって、バックアップツールに向かって加圧部が駆動される駆動工程と、駆動部によって駆動される加圧部によって、バックアップツールにより支持された基板上にテープを介して仮圧着された電子部品を押圧し、当該電子部品を基板上に本圧着する加圧工程と、加圧部に連結された荷重測定部によって、電子部品から加圧部に加わった荷重を測定する荷重測定工程と、を備え、荷重測定部および駆動部に連結された制御機構によって、荷重測定部によって測定された加圧部へ加わる荷重値を時間に対して測定し、時間に対する加圧部への荷重値からなる荷重曲線に基づいて、当該荷重曲線が所望の形状になるよう駆動部を制御するとともに、荷重値が時間に対して非連続に変化した場合に基板が破損したと判断する。 The electronic component crimping method according to the present invention includes a backup process for supporting a substrate by a backup tool, a drive process for driving the pressurization unit toward the backup tool by the drive unit, and a pressurization unit driven by the drive unit. Pressing the electronic component temporarily press-bonded onto the substrate supported by the backup tool via the tape, and finally pressing the electronic component onto the substrate, and the load measuring unit connected to the pressing unit by comprising a load measuring step of measuring the load applied to the pressing from the electronic component, and the linked control mechanism to the load measuring unit and drive unit, the load applied to the pressing portion measured by the load measuring unit measured values against time, based on the load curve consisting of load value to pressing against time, controls the driving unit so that the load curve becomes the desired shape Rutotomoni, it is determined that the substrate was damaged when a load value changes discontinuously with respect to time.
このような構成によって、テープを介して基板上に仮圧着された電子部品を基板上に本圧着する際、バックアップツール上の異物などが原因で、複数の基板が連続して破損することを防止するとともに、基板に急速に力が加わって基板が破損することを防止することができる。 This configuration prevents multiple substrates from being damaged continuously due to foreign matter on the backup tool when an electronic component is temporarily bonded onto the substrate via a tape. In addition, it is possible to prevent the substrate from being damaged due to a rapid force applied to the substrate.
本発明によれば、時間に対する加圧部への荷重値からなる荷重曲線に基づいて、当該荷重曲線が所望の形状になるよう駆動部を制御することによって、テープを介して基板上に仮圧着された電子部品を基板上に本圧着する際、基板に急速に力が加わって基板が破損することを防止することができる。また、前記荷重曲線に基づいて、基板の損傷を検出することによって、テープを介して基板上に仮圧着された電子部品を基板上に本圧着する際、バックアップツール上の異物などが原因で、複数の基板が連続して破損することを防止することができる。 According to the present invention, on the basis of a load curve composed of a load value applied to the pressurizing unit with respect to time, the drive unit is controlled so that the load curve has a desired shape, thereby temporarily pressing onto the substrate via the tape. When this electronic component is finally press-bonded onto the substrate, it is possible to prevent the substrate from being damaged due to a rapid force applied to the substrate. In addition, by detecting damage to the substrate based on the load curve, when electronically bonding the electronic component temporarily bonded on the substrate via the tape, due to foreign matters on the backup tool, It is possible to prevent a plurality of substrates from being damaged continuously.
実施の形態
以下、本発明に係る電子部品圧着装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1乃至図5は本発明の実施の形態を示す図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of an electronic component crimping apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings. Here, FIG. 1 to FIG. 5 are diagrams showing an embodiment of the present invention.
図1に示すように、電子部品圧着装置は、基板60を支持するバックアップツール20と、バックアップツール20により支持された基板60上にテープ(図示せず)を介して仮圧着された電子部品65を押圧し、当該電子部品65を基板60上に本圧着する加圧部30と、加圧部30に連結され、加圧部30をバックアップツール20に向かって駆動する駆動部10と、加圧部30に連結され、電子部品65から加圧部30に加わった荷重を測定する荷重測定部40と、荷重測定部40および駆動部10に連結された制御機構50とを備えている。ところで、このような電子部品圧着装置によって本圧着される電子部品65は、TCP、FPC、ベアチップなどからなっている。
As shown in FIG. 1, the electronic component crimping apparatus includes a
このうち、図1および図2に示す制御機構50は、荷重測定部40によって測定された加圧部30への荷重値から得られた、時間に対する加圧部30への荷重値からなる荷重曲線LDに基づいて、当該荷重曲線LDが所望の形状になるよう駆動部10を制御する(図3参照)。また制御機構50は、当該荷重曲線LDに基づいて、基板60の破損を検出する(図4参照)。
Among these, the
なお、図3は、加圧部30によって電子部品65が基板60に本圧着されるときに、荷重測定部40によって測定された荷重値に基づいて得られる、通常時の荷重曲線LDを示すグラフ図である。また、図4は、加圧部30によって電子部品65が基板60に本圧着されるときに、荷重測定部40によって測定された荷重値に基づいて得られる、異常時(基板60破損時)の荷重曲線LDを示すグラフ図である。
FIG. 3 is a graph showing a normal load curve LD obtained based on the load value measured by the
また、図2に示すように、荷重測定部40は、加圧部30への荷重値を測定するロードセル41と、当該ロードセル41に接続され、ロードセル41から得られた加圧部30への荷重値に関する情報を増幅させて制御機構50へ出力するロードセルアンプ43とを有している。
As shown in FIG. 2, the
また、図1および図2に示すように、駆動部10は、加圧部30を駆動するモータ11と、モータ11に連結され、モータ11の回転数を示すエンコーダ12とを有している。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
また、図1および図2に示すように、制御機構50は、荷重測定部40によって測定された加圧部30への荷重値から得られた、時間に対する加圧部30への荷重値からなる荷重曲線LD(図3参照)に基づいて、当該荷重曲線LDが所望の形状になるよう駆動部10を制御するとともに、当該荷重曲線LDに基づいて、基板60の損傷を検出する制御装置51と、当該制御装置51からの信号を駆動部10に出力するサーボドライバ52とを有している。このサーボドライバ52は、駆動部10のモータ11とエンコーダ12に接続されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
また、図1に示すように、加圧部30は、電子部品65を基板60上に本圧着する本圧ツール31と、当該本圧ツール31に連結され、本圧ツール31を加熱するヒータ31hとを有している。
Further, as shown in FIG. 1, the pressurizing
また、図1に示すように、駆動部10のモータ11は、モータ11によって回転駆動されるボールネジ14にカップリング13を介して連結されている。また、このボールネジ14は、ボールネジ14が回転することによってバックアップツール20方向に駆動される駆動用プレート15に連結されている。また、この駆動用プレート15は、荷重測定部40を介して加圧部30の本圧ツール31に連結されている。
As shown in FIG. 1, the
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。 Next, the operation of the present embodiment having such a configuration will be described.
まず、バックアップツール20によって、基板60が支持される(バックアップ工程81)(図1および図5参照)。
First, the
次に、駆動部10によって、バックアップツール20に向かって加圧部30が駆動される(駆動工程82)(図1および図5参照)。具体的には、駆動部10のモータ11によってボールネジ14が回転駆動される。このようにボールネジ14が回転駆動されることによって、駆動用プレート15がバックアップツール20に向かって移動する。このことによって、駆動用プレート15の下部に荷重測定部40を介して連結された加圧部30が、下方に移動する。
Next, the
その後、上述のように駆動部10によって駆動された加圧部30によって、バックアップツール20により支持された基板60上にテープを介して仮圧着された電子部品65が押圧され、当該電子部品65が基板60上に本圧着される(加圧工程83)(図1および図5参照)。このとき、本圧ツール31はヒータ31hによって加熱され熱くなっている。このため、電子部品65と基板60との間に配置されたテープを加熱することができ、電子部品65を基板60に容易に圧着することができる。
Thereafter, the
このとき、加圧部30に連結された荷重測定部40によって、電子部品65から加圧部30に加わった荷重が測定される(荷重測定工程85)(図1、図2および図5参照)。
At this time, the load applied to the pressurizing
次に、荷重測定部40に連結された制御機構50によって、荷重測定部40によって測定された加圧部30への荷重値から、時間に対する加圧部30への荷重値からなる荷重曲線LDが得られる(荷重曲線算出工程86)(図3および図5参照)。
Next, a load curve LD including a load value to the
その後、制御機構50によって、算出された荷重曲線LDに基づいて、具体的には当該荷重曲線LDが所望の形状になるよう、駆動部10のモータ11の回転数が制御される(荷重速度制御工程91)(図3および図5参照)。
Thereafter, based on the calculated load curve LD, the
すなわち、図1および図2において、制御機構50は、時間に対して、加圧部30へ加わる荷重値が所定の値で変化するように(図3参照)、サーボドライバ52を介してモータ11を回転駆動する。このとき、モータ11の回転数は、エンコーダ12を介して制御機構50にフィードバックされる。
That is, in FIG. 1 and FIG. 2, the
このように、所望の速度で、基板60上にテープを介して仮圧着された電子部品65を押圧することによって、基板60に急速に力が加わって基板60が破損することを防止することができる。
In this way, by pressing the
なお、荷重曲線LDは、基板60上にテープを介して仮圧着された電子部品65に、(経験的に)基板60が破損しない最高速度で、または圧着プロセスに適した最高速度で、所望の押圧力が加わるよう定義されることが好ましい。このように荷重曲線LDを定義することによって、基板60に電子部品65を最も早く本圧着することができるためである。
Note that the load curve LD is applied to the
このとき、制御機構50は、荷重曲線LDに基づいて、基板60が破損したか否かも検出する(破損検出工程92)(図4および図5参照)。具体的には、図1および図2において、制御機構50は、加圧部30へ加わる荷重値を時間に対して測定し、図4に示すように、荷重値が時間に対して非連続に変化した場合に、基板60が破損したと判断する。
At this time, the
このため、基板60の破損をリアルタイムで把握することができるとともに、例え基板60に発生した破損が小さくても、当該破損を検知することができる。この結果、基板60の破損原因を容易かつ迅速に特定することができ、破損原因を解消する(例えば、バックアップツール20上の異物などを除去する)ことができるので、従来のように複数の基板60が連続して破損することを防止することができる。
For this reason, the breakage of the
ところで、制御機構50によって、基板60の破損する速度がリアルタイムで測定されるので、加圧部30が電子部品65を介して基板60を押圧する際の荷重速度を、基板60が破損しない最高速度に容易に設定することができる。
By the way, since the speed at which the
すなわち、基板60が破損した際に、破損の原因がバックアップツール20上の異物などではなく、基板60への荷重速度が速いためであると判断した場合には、加圧部30の基板60への荷重速度を遅くし、適宜調整する。このことによって、加圧部30の基板60への荷重速度を、基板60が破損しない最高速度に設定し、上述のように好ましい荷重曲線LDを定義することができる。
That is, when it is determined that when the
10 駆動部
11 モータ
12 エンコーダ
13 カップリング
14 ボールネジ
15 駆動用プレート
20 バックアップツール
30 加圧部
31 本圧ツール
31h ヒータ
40 荷重測定部
41 ロードセル
43 ロードセルアンプ
50 制御機構
60 基板
65 電子部品
81 バックアップ工程
82 駆動工程
83 加圧工程
85 荷重測定工程
86 荷重曲線算出工程
91 荷重速度制御工程
92 破損検出工程
LD 荷重曲線
DESCRIPTION OF
Claims (6)
バックアップツールにより支持された基板上にテープを介して仮圧着された電子部品を押圧し、当該電子部品を基板上に本圧着する加圧部と、
加圧部に連結され、加圧部をバックアップツールに向かって駆動する駆動部と、
加圧部に連結され、電子部品から加圧部に加わった荷重を測定する荷重測定部と、
荷重測定部および駆動部に連結された制御機構とを備え、
制御機構は、荷重測定部によって測定された加圧部へ加わる荷重値を時間に対して測定し、時間に対する加圧部への荷重値からなる荷重曲線に基づいて、当該荷重曲線が所望の形状になるよう駆動部を制御するとともに、荷重値が時間に対して非連続に変化した場合に基板が破損したと判断することを特徴とする電子部品圧着装置。 A backup tool to support the substrate,
A pressure unit that presses an electronic component temporarily bonded to the substrate supported by the backup tool via a tape, and performs main pressure bonding of the electronic component on the substrate;
A drive unit connected to the pressurization unit and driving the pressurization unit toward the backup tool;
A load measuring unit connected to the pressing unit and measuring a load applied from the electronic component to the pressing unit;
A load measuring unit and a control mechanism coupled to the drive unit,
The control mechanism measures the load value applied to the pressurization unit measured by the load measurement unit with respect to time, and based on the load curve composed of the load value to the pressurization unit with respect to time , the load curve has a desired shape. The electronic component crimping apparatus is characterized in that the drive unit is controlled so that the load value changes discontinuously with time, and the substrate is determined to be damaged .
ボールネジは、ボールネジが回転することによってバックアップツール方向に駆動される駆動用プレートに連結され、
駆動用プレートは、前記加圧部に連結されていることを特徴とする請求項1記載の電子部品圧着装置。 The drive unit is connected to a ball screw that is rotationally driven by the drive unit,
The ball screw is connected to a driving plate that is driven in the direction of the backup tool by rotating the ball screw,
The electronic component crimping apparatus according to claim 1, wherein the driving plate is connected to the pressing portion.
駆動部によって、バックアップツールに向かって加圧部が駆動される駆動工程と、
駆動部によって駆動される加圧部によって、バックアップツールにより支持された基板上にテープを介して仮圧着された電子部品を押圧し、当該電子部品を基板上に本圧着する加圧工程と、
加圧部に連結された荷重測定部によって、電子部品から加圧部に加わった荷重を測定する荷重測定工程と、を備え、
荷重測定部および駆動部に連結された制御機構によって、荷重測定部によって測定された加圧部へ加わる荷重値を時間に対して測定し、時間に対する加圧部への荷重値からなる荷重曲線に基づいて、当該荷重曲線が所望の形状になるよう駆動部を制御するとともに、荷重値が時間に対して非連続に変化した場合に基板が破損したと判断することを特徴とする電子部品圧着方法。 Backup process to support the substrate with the backup tool,
A driving process in which the pressing unit is driven toward the backup tool by the driving unit;
A pressing step of pressing the electronic component temporarily bonded onto the substrate supported by the backup tool by the pressing unit driven by the driving unit via the tape, and finally pressing the electronic component on the substrate;
A load measurement step of measuring a load applied from the electronic component to the pressurization unit by a load measurement unit connected to the pressurization unit, and
The load value applied to the pressurization unit measured by the load measurement unit is measured with respect to time by a control mechanism connected to the load measurement unit and the drive unit, and a load curve consisting of the load value to the pressurization unit with respect to time is obtained. An electronic component crimping method comprising: controlling a driving unit so that the load curve has a desired shape based on the load curve; and determining that the substrate is damaged when the load value changes discontinuously with time. .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006297912A JP4991249B2 (en) | 2006-11-01 | 2006-11-01 | Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006297912A JP4991249B2 (en) | 2006-11-01 | 2006-11-01 | Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008117856A JP2008117856A (en) | 2008-05-22 |
JP4991249B2 true JP4991249B2 (en) | 2012-08-01 |
Family
ID=39503579
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006297912A Active JP4991249B2 (en) | 2006-11-01 | 2006-11-01 | Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4991249B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2010041610A1 (en) * | 2008-10-07 | 2012-03-08 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | Electronic component mounting apparatus and mounting method |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03246953A (en) * | 1990-02-26 | 1991-11-05 | Toshiba Corp | Facedown bonding apparatus |
JP3961162B2 (en) * | 1999-08-25 | 2007-08-22 | 松下電器産業株式会社 | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method |
JP4166617B2 (en) * | 2003-04-24 | 2008-10-15 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | Component mounting equipment |
JP2006054275A (en) * | 2004-08-11 | 2006-02-23 | Sony Corp | Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor manufacturing equipment |
JP4522881B2 (en) * | 2005-02-15 | 2010-08-11 | パナソニック株式会社 | Electronic component mounting method |
-
2006
- 2006-11-01 JP JP2006297912A patent/JP4991249B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008117856A (en) | 2008-05-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4856696B2 (en) | Hydraulic screw bolt fastening device and method for fastening a large screw with the device. | |
JP2009532210A5 (en) | ||
JP2007251051A (en) | Bonding machine and bonding method | |
JP3925227B2 (en) | Rotation angle control method of disc turner for forging press | |
US20120271581A1 (en) | Process monitoring for high-speed joining | |
US10054506B2 (en) | Tension measuring apparatus having a heat flow sensor that detects a heat flow caused by an elastic deformation of an elastic body | |
JP4957193B2 (en) | Thermocompression bonding apparatus and thermocompression bonding method | |
JP4991249B2 (en) | Electronic component crimping apparatus and electronic component crimping method | |
JP5020541B2 (en) | Crimping apparatus and crimping method | |
WO2017068767A1 (en) | Friction stir spot welding device and friction stir spot welding method | |
CN109923652B (en) | Wire bonding device | |
JP2980073B2 (en) | Thermocompression bonding apparatus and control method thereof | |
JP3961162B2 (en) | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method | |
JP2984659B1 (en) | Soldering equipment and solder supply instruction method | |
CN111180349B (en) | Control method and control system for chip welding | |
JP4175484B2 (en) | Friction stir welding method and its joining apparatus and friction joined body | |
KR20070081844A (en) | Panel bonding apparatus | |
US20200139500A1 (en) | Rotary table device, rotary table controller, program recording medium, and rotary table control method | |
JP3810754B2 (en) | Friction stir welding method, its joining apparatus, and its friction joined body | |
JP2006245239A (en) | Wide-range pressurizing mounting head | |
JP5801526B2 (en) | Chip mounting device | |
JP2010199111A (en) | Bonder device | |
JP7085165B2 (en) | Mounting device | |
JPH09107008A (en) | Mounting method and device of semiconductor element | |
JP2011017668A (en) | Apparatus and method for measuring bonding strength |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091029 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120214 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120405 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120424 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4991249 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150511 Year of fee payment: 3 |