JPWO2010024218A1 - レーザ加工装置およびレーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[レーザ加工装置1の構成]
先ず、本発明に係るレーザ加工装置およびレーザ加工方法の第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係るレーザ加工装置1の構成を示す図である。この図に示されるレーザ加工装置1は、加工対象物90における加工領域91や加工領域91以外の領域92(後述する図6等を参照)に対してレーザ光を集光照射して該加工対象物90を加工する装置であって、レーザ光源10、スペイシャルフィルタ11、コリメートレンズ12、ミラー13、ミラー14、空間光変調器20、駆動部21、制御部22および集光光学系30を備える。
して分散させて集光させることにより、加工対象物90を加工する。
次に、第1実施形態に係るレーザ加工装置1の動作および第1実施形態に係るレーザ加工方法について、比較例と対比しつつ説明する。ここでは、"H","P" および "K"のアルファベット3文字を多点表示するように加工対象物90にレーザ光を集光照射して該加工対象物90を加工するものとする。
図5は、比較例のレーザ加工方法を説明する図である。同図(a)〜(c)それぞれにおいて丸印はレーザ光集光位置を示している。同図(a)は、文字"H" を加工するためレーザ光が12点の集光位置に照射される様子を示している。同図(b)は、文字"P"を加工するためレーザ光が11点の集光位置に照射される様子を示している。また、同図(c)は、文字"K" を加工するためレーザ光が10点の集光位置に照射される様子を示している。
図6は、第1実施形態に係るレーザ加工方法の第1態様を説明する図である。同図(a)は、文字 "H" を加工するため、レーザ光が加工領域91内の12点の集光位置h1〜h12に照射される様子を示している。同図(a)に示す12点の集光位置h1〜h12は全てが加工領域91内に存在しており、それぞれの集光位置では、空間光変調器20から出力された位相変調後のレーザ光(以下、「入射光」という。)が所定の閾値X以上の一定のエネルギーを有するレーザ光として集光される。ここで、所定の閾値Xは、加工領域91の加工が開始されるためのレーザ光のエネルギーを示す値であり、加工対象物90の材質等にもよるが、本実施形態においては例えば0.9GW/cm2である。加工領域91に存在する集光位置h1〜h12に閾値X以上のエネルギーを有するレーザ光が集光されるため、レーザ光の集光照射後に加工領域91が文字 "H"の模様で加工される。なお、本明細書では、所定の閾値X以上のエネルギーを有するレーザ光であって、集光照射後に加工領域91の当該集光照射された部分の加工に寄与するレーザ光を「寄与光」という。つまり、集光位置h1〜h12に照射されるレーザ光は寄与光である。
図7は、第1実施形態に係るレーザ加工方法の第2態様を説明する図である。同図(a)は、文字 "H" を加工するため、レーザ光が、加工領域91内の12点の集光位置h1〜h12に照射されるとともに、非加工領域92内の5点の集光位置h13〜h17に照射される様子を示している。上記第1態様における図6(a)と比較すると、レーザ光が非加工領域92内の5点の集光位置h13〜h17にも照射されることが相違する。同図(b)は、文字"P" を加工するため、レーザ光が、加工領域91内の11点の集光位置p1〜p11に照射されるとともに、非加工領域92内の9点の集光位置p12〜p20に照射される様子を示している。上記第1態様における図6(b)と比較すると、レーザ光が非加工領域92内の4点の集光位置p12〜p15に加え、5点の集光位置p16〜p20にも照射されることが相違する。同図(c)は、文字"K" を加工するため、レーザ光が、加工領域91内の10点の集光位置k1〜k10に照射されるとともに、非加工領域92内の13点の集光位置k11〜k23に照射される様子を示している。上記第1態様における図6(c)と比較すると、レーザ光が非加工領域92内の8点の集光位置k11〜k18に加え、5点の集光位置k19〜k23にも照射されることが相違する。
図8は、第1実施形態に係るレーザ加工方法の第3態様を説明する図である。同図(a)〜(c)それぞれにおいて、白丸印はレーザ光集光位置を示し、黒丸印は既に加工された位置を示している。ここでは、"H","T" および "V" のアルファベット3文字を多点表示するように加工対象物90の加工領域91や非加工領域92にレーザ光を集光照射して、該加工対象物90を加工するものとする。ただし、"H","T" および "V" の順に1文字ずつ加工するのではなく、最初に"H" および "T" それぞれの文字の一部を加工し、次に "H" および "T" それぞれの文字の残部を加工し、最後に"V" の文字の全てを加工する。
図9は、第1実施形態に係るレーザ加工方法の第4態様を説明する図である。同図(a)〜(c)それぞれにおいて、白丸印はレーザ光集光位置を示し、黒丸印は既に加工された位置を示している。ここでは、"H" のアルファベット1文字を多点表示するように加工対象物90の加工領域91や非加工領域92にレーザ光を集光照射して該加工対象物90を加工するものとする。また、最初に"H" の文字の一部を加工し、次に "H" 文字の更に他の一部を加工し、最後に "H" の文字の残部を加工する。
図10および図11は、第1実施形態に係るレーザ加工方法の第5態様を説明する図である。図10および図11は、加工領域91を加工対象物90の上面の表面上に限らず加工対象物90の内部に設けてもよいことを明確に示している。更に、この場合において、制御部22は、図10に示すように、加工対象物90の底面93を基準とした加工領域91に存在する集光位置g1の高さH1と、底面93を基準とした非加工領域92に存在する集光位置g2の高さH2とが互いに同じくなるよう、駆動部21を介して空間光変調器20にホログラムを提示させてもよい。または、制御部22は、図11に示すように、加工対象物90の底面93を基準とした加工領域91に存在する集光位置g1の高さH1と、底面93を基準とした非加工領域92に存在する集光位置g2の高さH2とが互いに異
なるよう、駆動部21を介して空間光変調器20にホログラムを提示させてもよい。なお、図10および図11では、簡略な説明のため、加工領域91に存在する集光位置g1および非加工領域92に存在する集光位置g2を一つずつのみ表示しているが、実際には図6〜図9で示したようにそれぞれ複数であってもよい。また、以上の事項以外については、第1態様と共通する。
上述したようにホログラムはGS法またはORA法等により作成することができるが、当該作成した各ホログラムを空間光変調器20に提示させて、空間光変調器20により位相変調されて出力されたレーザ光を集光光学系30により所定の集光位置に集光させた場合に、実際には、加工領域91内の各集光位置におけるレーザ光のエネルギーが一定でない場合があり得る。このような場合、上記の方法により作成したホログラムに対してフィードバックを行って修正する必要がある。図12は、第1実施形態におけるホログラム修正方法のフローチャートである。
次に、本発明に係るレーザ加工装置およびレーザ加工方法の第2実施形態について説明する。上述した第1実施形態においては集光および加工の単位が「ドット(点、集光位置)」であったのに対し、第2実施形態では集光および加工の単位が「ドット」ではなく「一定の面積を有するパターン(集光領域)」である点が相違する。なお、この「一定の面積を有するパターン」との語には、「線」も含まれるものとする。また、第2実施形態は、集光および加工の単位が「ドット」ではなく「一定の面積を有するパターン」であること以外は、基本的には上述した第1実施形態と同じであるため、以下では第1実施形態との相違点を中心に簡略に説明する。
第2実施形態に係るレーザ加工装置1の全体構成は、図1に示されたものと略同様である。ただし、制御部22の機能に相違点がある。すなわち、第2実施形態に係る制御部22は、空間光変調器20に複数のホログラムを順次に提示させる。そして、制御部22は、複数のホログラムそれぞれが提示された空間光変調器20から出力された位相変調後のレーザ光を集光光学系30に入力させた場合に、加工対象物90における所定の集光領域のうち加工領域91に存在する集光領域では、上記位相変調後のレーザ光の一部を所定の閾値X以上の一定のエネルギーを有するレーザ光(寄与光)として集光させる。その一方で、制御部22は、加工対象物90における上記所定の集光領域のうち非加工領域92に存在する集光領域では、上記位相変調後のレーザ光の残部を上記閾値X未満の弱いエネルギーを有するレーザ光(非寄与光)として集光させることにより、加工対象物90を加工する。
上述した第1実施形態に係るレーザ加工方法の第1態様と同様のことが、集光および加工の単位が「ドット」ではなく「一定の面積を有するパターン」である第2実施形態でも言える。図13はこれを説明するための図である。同図(a)は、文字 "H" を加工するため、レーザ光が加工領域91内の面積Y1の集光領域(パターンh)に照射される様子を示している。同図(a)に示す面積Y1の集光領域(パターンh)はその全てが加工領域91内に存在しており、入射光の全部が所定の閾値X以上の一定のエネルギーを有する寄与光としてパターンhに照射される。閾値X以上のエネルギーを有するレーザ光が集光されるため、レーザ光の集光照射後に加工領域91の当該集光照射された部分が文字 "H"の模様で加工される。なお、第1実施形態と同様に、同図の文字"H"、"P"、"K"のうち加工のために最も大きなエネルギーを必要とするのは文字"H"(特許請求の範囲における「所定の加工領域」)であり、同図(a)は文字"H"の加工のために必要なエネルギーと同じエネルギーのレーザ光が入射された場合である。
以上により、集光および加工の単位が「ドット(点、集光位置)」ではなく「一定の面積を有するパターン(集光領域)」であることを踏まえた上で、第1実施形態に係るレーザ加工方法の第1態様と同様のことが第2実施形態でも言えることについて説明した。以上の説明を参酌すれば、第1実施形態の他の事項、つまり第1実施形態に係るレーザ加工方法の第2態様、第3態様、第4態様、第5態様、およびホログラム修正方法についても、集光および加工の単位が「ドット」ではなく「一定の面積を有するパターン」であることを踏まえた上で、同様のことが第2実施形態でも言えることが当業者ならば容易に理解できるであろう。ただし、第1実施形態の各説明において、「集光位置」との記載は「集光領域」に置き換え、「複数の集光位置」との記載は「所定の集光領域」に置き換えることが、容易な理解のために好ましい。特に第1実施形態の第5態様においては、図10および図11にてドットで表示して説明した集光位置g1やg2を図14に示すように一定の面積を有するパターンg3、g4として考えることで容易に理解することができる。
ここでは、初めに加工領域91内の集光位置2点で加工し、その次に加工領域91内の集光位置4点で加工する場合を想定する。比較例では、図15に示されるように、初めに加工領域91内の集光位置の総数を2とし(図15(a))、次に加工領域91内の集光位置の総数を4とする(図15(b))。もちろん不要光の処理については考慮しないため、図15全体において非加工領域92に集光位置が存在することはない。これに対して、実施例1では、図16に示されるように、初めに加工領域91での集光位置を2点とするとともに非加工領域92での集光位置を8点とし(図16(a))、次に加工領域91での集光位置を4点とするとともに非加工領域92での集光位置を0点とする(図16(b))。
実施例2は、上記実施例1と全て同一条件で行われるが、集光および加工の単位が「ドット」ではなく「一定の面積を有するパターン」であることに相違点がある。すなわち、実施例2では、図19に示されるように、初めに、加工領域91での集光領域を面積Y6の線状のパターンAとするとともに、非加工領域92での集光領域を面積Y7のパターンBとする(同図(a))。次に、加工領域91での集光領域を面積Y8の線状のパターンCとし、非加工領域92には集光領域を設けない(同図(b))。ただし、Y6,Y8は加工領域91内に存在する集光領域の面積の一例であり、それらの大小関係はY6<Y8である。なお、Y6,Y8の大小関係をより分かりやすく例えると、上述した実施例1と関連付けて、例えば、面積Y6はドット2個分の面積であり、面積Y8はドット4個分の面積であると仮定することができる。この場合に、同図(a)では同図(b)に比べてドット2つ分の不要光が発生しているが、これらをそれぞれ約4分の1の弱いエネルギーを有する非寄与光として非加工領域92で面積Y7のパターンBにて処理している。
Claims (16)
- 加工対象物にレーザ光を集光照射して該加工対象物を加工する装置であって、
レーザ光を出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力されたレーザ光を入力し、2次元配列された複数の画素それぞれにおいて前記レーザ光の位相を変調するホログラムを提示して、その位相変調後のレーザ光を出力する位相変調型の空間光変調器と、
前記空間光変調器の後段に設けられた集光光学系と、
前記空間光変調器から出力された前記位相変調後のレーザ光を前記集光光学系により複数個の集光位置に集光させるホログラムを前記空間光変調器に提示させる制御部と、
を備え、
前記制御部が、
前記空間光変調器に複数のホログラムを順次に提示させ、
前記複数のホログラムそれぞれが提示された前記空間光変調器から出力された前記位相変調後のレーザ光を前記集光光学系に入力させた場合に、前記複数個の集光位置のうち前記加工対象物の加工領域に存在する集光位置では、前記位相変調後のレーザ光の一部を所定の閾値以上の一定のエネルギーを有するレーザ光として集光させる一方で、前記複数個の集光位置のうち前記加工領域以外の領域に存在する集光位置では、前記位相変調後のレーザ光の残部を前記閾値未満のエネルギーを有する複数のレーザ光として集光させることにより、前記加工対象物を加工する、
ことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記閾値は、前記加工領域の加工が開始されるためのレーザ光のエネルギーを示す値であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記位相変調後のレーザ光のエネルギーが、加工のために最も大きなエネルギーを必要とする所定の加工領域を加工するためのエネルギーと同じである場合に、
前記制御部は、前記位相変調後のレーザ光の全部を、前記閾値以上の一定のエネルギーを有する複数のレーザ光として、前記所定の加工領域に存在する複数の集光位置にそれぞれ集光させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のレーザ加工装置。 - 前記加工領域は前記加工対象物の内部に存在し、
前記加工対象物の底面を基準とした前記加工領域に存在する集光位置の高さと、前記底面を基準とした前記加工領域以外の領域に存在する集光位置の高さとが、互いに異なることを特徴とする請求項1〜3何れか1項に記載のレーザ加工装置。 - 加工対象物にレーザ光を集光照射して該加工対象物を加工する方法であって、
レーザ光を出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力されたレーザ光を入力し、2次元配列された複数の画素それぞれにおいて前記レーザ光の位相を変調するホログラムを提示して、その位相変調後のレーザ光を出力する位相変調型の空間光変調器と、
前記空間光変調器の後段に設けられた集光光学系と、
前記空間光変調器から出力された前記位相変調後のレーザ光を前記集光光学系により複数個の集光位置に集光させるホログラムを前記空間光変調器に提示させる制御部と、
を用いて、
前記制御部により、
前記空間光変調器に複数のホログラムを順次に提示させ、
前記複数のホログラムそれぞれが提示された前記空間光変調器から出力された前記位相変調後のレーザ光を前記集光光学系に入力させた場合に、前記複数個の集光位置のうち前記加工対象物の加工領域に存在する集光位置では、前記位相変調後のレーザ光の一部を所定の閾値以上の一定のエネルギーを有するレーザ光として集光させる一方で、前記複数個の集光位置のうち前記加工領域以外の領域に存在する集光位置では、前記位相変調後のレーザ光の残部を前記閾値未満のエネルギーを有する複数のレーザ光として集光させることにより、前記加工対象物を加工する、
ことを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記閾値は、前記加工領域の加工が開始されるためのレーザ光のエネルギーを示す値であることを特徴とする請求項5に記載のレーザ加工方法。
- 前記位相変調後のレーザ光のエネルギーが、加工のために最も大きなエネルギーを必要とする所定の加工領域を加工するためのエネルギーと同じである場合に、
前記制御部により、前記位相変調後のレーザ光の全部を、前記閾値以上の一定のエネルギーを有する複数のレーザ光として、前記所定の加工領域に存在する複数の集光位置にそれぞれ集光させることを特徴とする請求項5または請求項6に記載のレーザ加工方法。 - 前記加工領域は前記加工対象物の内部に存在し、
前記加工対象物の底面を基準とした前記加工領域に存在する集光位置の高さと、前記底面を基準とした前記加工領域以外の領域に存在する集光位置の高さとが、互いに異なることを特徴とする請求項5〜7何れか1項に記載のレーザ加工方法。 - 加工対象物にレーザ光を集光照射して該加工対象物を加工する装置であって、
レーザ光を出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力されたレーザ光を入力し、2次元配列された複数の画素それぞれにおいて前記レーザ光の位相を変調するホログラムを提示して、その位相変調後のレーザ光を出力する位相変調型の空間光変調器と、
前記空間光変調器の後段に設けられた集光光学系と、
前記空間光変調器から出力された前記位相変調後のレーザ光を前記集光光学系により所定の集光領域に集光させるホログラムを前記空間光変調器に提示させる制御部と、
を備え、
前記制御部が、
前記空間光変調器に複数のホログラムを順次に提示させ、
前記複数のホログラムそれぞれが提示された前記空間光変調器から出力された前記位相変調後のレーザ光を前記集光光学系に入力させた場合に、前記所定の集光領域のうち前記加工対象物の加工領域に存在する集光領域では、前記位相変調後のレーザ光の一部を所定の閾値以上の一定のエネルギーを有するレーザ光として集光させる一方で、前記所定の集光領域のうち前記加工領域以外の領域に存在する集光領域では、前記位相変調後のレーザ光の残部を前記閾値未満のエネルギーを有するレーザ光として集光させることにより、前記加工対象物を加工する、
ことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記閾値は、前記加工領域の加工が開始されるためのレーザ光のエネルギーを示す値であることを特徴とする請求項9に記載のレーザ加工装置。
- 前記位相変調後のレーザ光のエネルギーが、加工のために最も大きなエネルギーを必要とする所定の加工領域を加工するためのエネルギーと同じである場合に、
前記制御部は、前記位相変調後のレーザ光の全部を、前記閾値以上の一定のエネルギーを有するレーザ光として、前記所定の加工領域に存在する集光領域に集光させることを特徴とする請求項9または請求項10に記載のレーザ加工装置。 - 前記加工領域は前記加工対象物の内部に存在し、
前記加工対象物の底面を基準とした前記加工領域に存在する集光領域の高さと、前記底面を基準とした前記加工領域以外の領域に存在する集光領域の高さとが、互いに異なることを特徴とする請求項9〜11何れか1項に記載のレーザ加工装置。 - 加工対象物にレーザ光を集光照射して該加工対象物を加工する方法であって、
レーザ光を出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力されたレーザ光を入力し、2次元配列された複数の画素それぞれにおいて前記レーザ光の位相を変調するホログラムを提示して、その位相変調後のレーザ光を出力する位相変調型の空間光変調器と、
前記空間光変調器の後段に設けられた集光光学系と、
前記空間光変調器から出力された前記位相変調後のレーザ光を前記集光光学系により所定の集光領域に集光させるホログラムを前記空間光変調器に提示させる制御部と、
を用いて、
前記制御部により、
前記空間光変調器に複数のホログラムを順次に提示させ、
前記複数のホログラムそれぞれが提示された前記空間光変調器から出力された前記位相変調後のレーザ光を前記集光光学系に入力させた場合に、前記所定の集光領域のうち前記加工対象物の加工領域に存在する集光領域では、前記位相変調後のレーザ光の一部を所定の閾値以上の一定のエネルギーを有するレーザ光として集光させる一方で、前記所定の集光領域のうち前記加工領域以外の領域に存在する集光領域では、前記位相変調後のレーザ光の残部を前記閾値未満のエネルギーを有するレーザ光として集光させることにより、前記加工対象物を加工する、
ことを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記閾値は、前記加工領域の加工が開始されるためのレーザ光のエネルギーを示す値であることを特徴とする請求項13に記載のレーザ加工方法。
- 前記位相変調後のレーザ光のエネルギーが、加工のために最も大きなエネルギーを必要とする所定の加工領域を加工するためのエネルギーと同じである場合に、
前記制御部により、前記位相変調後のレーザ光の全部を、前記閾値以上の一定のエネルギーを有するレーザ光として、前記所定の加工領域に存在する集光領域に集光させることを特徴とする請求項13または請求項14に記載のレーザ加工方法。 - 前記加工領域は前記加工対象物の内部に存在し、
前記加工対象物の底面を基準とした前記加工領域に存在する集光領域の高さと、前記底面を基準とした前記加工領域以外の領域に存在する集光領域の高さとが、互いに異なることを特徴とする請求項13〜15何れか1項に記載のレーザ加工方法。
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