ES2608464T3

ES2608464T3 - Dispositivo de procesamiento por láser y procedimiento de procesamiento por láser

Info

Publication number: ES2608464T3
Application number: ES09809869.2T
Authority: ES
Inventors: Naoya Matsumoto; Takashi Inoue; Norihiro Fukuchi; Haruyasu Ito
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2008-08-26
Filing date: 2009-08-24
Publication date: 2017-04-11
Anticipated expiration: 2029-08-24
Also published as: ES2666229T3; JP5355576B2; US20110181929A1; EP3138654B1; EP3138654A1; CN102137731B; CN102137731A; EP2335862A1; EP2335862A4; EP2335862B1; JPWO2010024218A1; US8867113B2; WO2010024218A1

Abstract

Dispositivo de procesamiento por de láser, que es un dispositivo para procesar un objeto de procesamiento condensando e irradiando luz láser al objeto de procesamiento, que comprende: una fuente de luz láser (10) para emitir luz láser; un modulador de luz espacial que modula en fase (20) para recibir luz láser emitida desde la fuente de luz láser (10), que presenta un holograma para modular la fase de la luz láser en cada uno de una pluralidad de píxeles dispuestos bidimensionalmente, y emitir la luz láser modulada en fase; un sistema óptico de condensación (30) dispuesto en una etapa posterior del modulador de luz espacial; y una sección de control (22) para hacer que el modulador de luz espacial (20) presente un holograma para condensar la luz láser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial (20) a una pluralidad de posiciones de condensación (h1-h12, p1-p15, k1-k16), por medio del sistema óptico de condensación (30), caracterizado por el hecho de que la sección de control (22) hace que: el modulador de luz espacial (20) presente secuencialmente una pluralidad de hologramas, y al haber hecho que la luz láser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial (20) donde se ha presentado cada uno de los hologramas se reciba en el sistema óptico de condensación (30), en una posición de condensación (h1-h12, p1-p11, k1-k10) existente en una región de procesamiento (91) del objeto de procesamiento fuera de las posiciones de condensación, una parte de la luz láser modulada en fase que se condensa como una luz láser que tiene una energía constante no menor que un umbral predeterminado, mientras que en una posición de condensación (p12-p15, k11-k16) existente en una región (92) distinta de la región de procesamiento fuera de las posiciones de condensación, una parte restante de la luz láser modulada en fase se condensa como una pluralidad de luces láser que tienen una energía menor que el umbral, procesando de este modo el objeto de procesamiento.

Description

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Dispositivo de procesamiento por laser y procedimiento de procesamiento por laser

DESCRIPCION

La presente invencion se refiere a un dispositivo y un procedimiento para procesar un objeto de procesamiento condensando e irradiando luz laser al objeto de procesamiento.

Tecnica anterior

La condensacion mediante un sistema optico de condensacion mediante una emision de luz laser desde una fuente de luz laser y la irradiacion de la luz laser a un objeto de procesamiento permite procesar el objeto de procesamiento. Si simplemente se condensa luz laser mediante el uso de una lente, el barrido de luz laser a una posicion de condensacion permite procesar un objeto de procesamiento en la forma deseada. Sin embargo, el tiempo requerido para el procesamiento es largo en este caso.

El procedimiento mas simple para reducir el tiempo de procesamiento es realizar un procesamiento simultaneo de multiples puntos condensando e irradiando luz laser simultaneamente a una pluralidad de posiciones de condensacion. Por ejemplo, utilizando una pluralidad de fuentes de luz laser y condensado luces laser emitidas desde las respectivas fuentes de luz laser mediante una lente permite realizar un procesamiento simultaneo de multiples puntos. Sin embargo, en este caso, se utiliza una pluralidad de fuentes de luz laser, lo cual se traduce, de este modo, en un elevado coste y una zona de instalacion y sistema optico complicados.

En la Literatura de Patente 1 se describe una invencion que pretende resolver este tipo de problemas. En esta invencion que se describe en la Publicacion de Patente 1, se presenta un holograma en un modulador de luz espacial que modula en fase, se modula en fase una luz laser emitida desde una fuente de luz laser mediante el modulador de luz espacial, y la luz laser modulada en fase se condensa y se irradia simultaneamente a una pluralidad de posiciones por un sistema optico de condensacion. El holograma presentado en el modulador de luz espacial tiene una distribucion de modulacion en fase tal que la luz laser se condensa en una pluralidad de posiciones de condensacion mediante un sistema optico de condensacion.

US 2003/0010763 A1 se refiere a un aparato de mecanizado por haz laser equipado con un modulador de luz espacial.

Lista de citas Literatura de Patente

Literatura de Patente 1: Patente Japonesa N° 2723798

Descripcion de la invencion Problema tecnico

Mientras, en la invencion descrita en la Literatura de patente 1, es deseable que la energfa de la luz laser que se irradia a cada una de una pluralidad de posiciones de condensacion sea uniforme. En este caso, la energfa de la luz laser que se irradia a las respectivas posiciones de condensacion generalmente es inversamente proporcional a la cantidad de posiciones de condensacion o al area de una region de condensacion. Por ejemplo, si hay dos posiciones de condensacion, la energfa de luz laser que se irradia a las respectivas posiciones de condensacion es la mitad en comparacion con el caso en que hay una posicion de condensacion.

Por otra parte, se sabe que, cuando se realiza el procesamiento de una superficie metalica por abrasion mediante el uso de una luz laser de femtosegundo, la relacion de abrasion es diferente dependiendo de la energfa de la luz laser. Es decir, en la invencion descrita en la Literatura de patente 1, debido a una variacion en el numero de posiciones de condensacion, la energfa de luz laser que se irradia a las posiciones de condensacion vana, de modo que el grado de procesamiento en las respectivas posiciones de condensacion vana.

Con el fin de resolver este tipo de problemas, puede considerarse mantener constante la energfa de la luz laser que se irradia a las respectivas posiciones de condensacion con independencia del numero de posiciones de condensacion insertando un filtro ND (de densidad neutra) con un factor de atenuacion requerido de acuerdo con el numero de posiciones de condensacion. Sin embargo, la sustitucion del filtro ND cada vez que vana el numero de posiciones de condensacion tiene como resultado una reduccion significativa de la eficiencia.

La presente invencion se ha llevado a cabo para resolver los problemas anteriores, y un objetivo de la misma es un dispositivo y un procedimiento para procesar una region de procesamiento de un objeto de procesamiento irradiando simultaneamente luz laser a una pluralidad de posiciones de condensacion o una region de condensacion que tiene

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un area constante mediante el uso de un modulador de luz espacial que modula en fase donde se presenta un holograma, y que permite facilmente mantener casi constante, incluso si vana el numero de posiciones de condensacion de luz laser en la region de procesamiento o el area de la region de condensacion, la energfa de la luz laser que se irradia a las respectivas posiciones de condensacion o region de condensacion.

Solucion al Problema

Con el fin de resolver los problemas anteriores, un dispositivo de procesamiento por laser de la presente invencion, que es un dispositivo para procesar un objeto de procesamiento condensando e irradiando luz laser al objeto de procesamiento, incluye: una fuente de luz laser para emitir luz laser; un modulador de luz espacial que modula en fase para recibir luz laser emitida desde la fuente de luz laser, presentar un holograma para modular la fase de la luz laser en cada uno de una pluralidad de pfxeles dispuestos bidimensionalmente, y emitir la luz laser modulada en fase; un sistema optico de condensacion dispuesto en una etapa posterior del modulador de luz espacial; y una seccion de control para hacer que el modulador de luz espacial presente un holograma para condensar la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial a una pluralidad de posiciones de condensacion por medio del sistema optico de condensacion, y la seccion de control hace que el modulador de luz espacial presente secuencialmente una pluralidad de hologramas, y provoca que, al haber hecho que la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial donde se ha presentado cada uno de los hologramas se reciba en el sistema optico de condensacion, en una posicion de condensacion existente en una region de procesamiento del objeto de procesamiento fuera de las posiciones de condensacion, una parte de la luz laser modulada en fase se condense como una luz laser que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado, mientras que en una posicion de condensacion existente en una region distinta de la region de procesamiento fuera de las posiciones de condensacion, una parte restante de la luz laser modulada en fase se condensa como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa menor que el umbral, procesando de este modo el objeto de procesamiento.

En este caso, es preferible que el umbral sea un valor que indique una energfa de luz laser para iniciar el procesamiento de la region de procesamiento.

Ademas, es preferible que, si una energfa de la luz laser modulada en fase es la misma que para procesar una region de procesamiento predeterminada que requiere la energfa mas elevada para el procesamiento, la seccion de control hace que toda la parte de la luz laser modulada en fase se condense, como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa constante no menor que el umbral, en una pluralidad de posiciones de condensacion existentes en la region de procesamiento predeterminada, respectivamente.

Ademas, es preferible que la region de procesamiento exista en el interior del objeto de procesamiento, y una posicion de condensacion existente en la region de procesamiento con referencia a una superficie inferior del objeto de procesamiento y una posicion de condensacion existente en una region distinta de la region de procesamiento con referencia a la superficie inferior sean diferentes en altura entre sf

Ademas, un procedimiento de procesamiento por laser de la presente invencion, que es un procedimiento para procesar un objeto de procesamiento condensando e irradiando luz laser al objeto de procesamiento, utiliza: una fuente de luz laser para emitir luz laser; un modulador de luz espacial que modula en fase para recibir una luz laser emitida desde la fuente de luz laser, que presenta un holograma para modular la fase de la luz laser en cada uno de una pluralidad de pfxeles dispuestos bidimensionalmente, y que emite la luz laser modulada en fase; un sistema optico de condensacion dispuesto en una etapa posterior del modulador de luz espacial; y una seccion de control para hacer que el modulador de luz espacial presente un holograma para condensar la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial en una pluralidad de posiciones de condensacion por medio del sistema optico de condensacion, y el procedimiento de procesamiento por laser hace que, mediante la seccion de control, el modulador de luz espacial presente secuencialmente una pluralidad de hologramas, y al haber hecho que la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial donde se han presentado cada uno de los hologramas, se reciba en el sistema optico de condensacion, en una posicion de condensacion existente en una region de procesamiento del objeto de procesamiento fuera de las posiciones de condensacion, una parte de la luz laser modulada en fase se condense como una luz laser que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado, mientras que en una posicion de condensacion existente en una region distinta de la region de procesamiento fuera de las posiciones de condensacion, una parte restante de la luz laser modulada en fase se condense como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa menor que el umbral, procesando de este modo el objeto de procesamiento.

Ademas, es preferible hacer que, si una energfa de la luz laser modulada en fase es la misma que para procesar una region de procesamiento predeterminada que requiere la energfa mas elevada para el procesamiento, mediante

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la seccion de control, toda la parte de la luz laser modulada en fase se condense, como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa constante no menor que el umbral, en una pluralidad de posiciones de condensacion existentes en la region de procesamiento predeterminada, respectivamente.

En el dispositivo de procesamiento por laser y el procedimiento de procesamiento por laser de la presente invencion, una parte de la luz laser modulada en fase (luz incidente) se condensa como luz laser (luz de contribucion) que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X en una posicion de condensacion existente en una region de procesamiento. Por otra parte, una luz laser (luz innecesaria) distinta de la luz de contribucion condensada a la posicion de condensacion existente en la region de procesamiento se dispersa y se condensa en una posicion de condensacion existente en una region distinta de la region de procesamiento como una luz laser (luz de no contribucion) que tiene una energfa menor que el umbral predeterminado X. De este modo, tratando la luz innecesaria como una luz de no contribucion que tiene una energfa menor que el umbral predeterminado X con el fin de no contribuir al procesamiento, incluso si el area de la region de condensacion en la region de procesamiento vana, la energfa de la luz contribucion puede mantenerse constante.

Ademas, un dispositivo de procesamiento por laser de la presente invencion, que es un dispositivo para procesar un objeto de procesamiento condensando e irradiando luz laser al objeto de procesamiento, incluye: una fuente de luz laser para emitir luz laser; un modulador de luz espacial que modula en fase para recibir luz laser emitida desde la fuente de luz laser, que presenta un holograma para modular la fase de la luz laser en cada uno de una pluralidad de pfxeles dispuestos bidimensionalmente, y que emite la luz laser modulada en fase; un sistema optico de condensacion dispuesto en una etapa posterior del modulador de luz espacial; y una seccion de control para hacer que el modulador de luz espacial presente un holograma para condensar la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial a una region de condensacion predeterminada mediante el sistema optico de condensacion, y la seccion de control hace que el modulador de luz espacial presente secuencialmente una pluralidad de hologramas, y provoca, al haber hecho que la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial donde se ha presentado cada uno de los hologramas sea recibida en el sistema optico de condensacion, en una region de condensacion existente en una region de procesamiento del objeto de procesamiento de la region de condensacion predeterminada, una parte de la luz laser modulada en fase se condense como una luz laser que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado, mientras que en una region de condensacion existente en una region distinta de la region de procesamiento de la region de condensacion predeterminada, una parte restante de la luz laser modulada en fase que se condensa como una luz laser que tiene una energfa menor que el umbral, procesando de este modo el objeto de procesamiento.

Ademas, es preferible que, si una energfa de la luz laser modulada en fase es la misma que para procesar una region de procesamiento predeterminada que requiere la energfa mas elevada para el procesamiento, la seccion de control haga que toda parte de la luz laser modulada en fase se condense, como una luz laser que tiene una energfa constante no menor que el umbral, en una region de condensacion existente en la region de procesamiento predeterminada.

Ademas, es preferible que la region de procesamiento exista en el interior del objeto de procesamiento, y una region de condensacion existente en la region de procesamiento con referencia a una superficie inferior del objeto de procesamiento y una region de condensacion existente en una region distinta de la region de procesamiento con referencia a la superficie inferior sean diferentes en altura entre sf

Ademas, un procedimiento de procesamiento por laser de la presente invencion, que es un procedimiento para procesar un objeto de procesamiento condensando e irradiando luz laser al objeto de procesamiento, utiliza: una fuente de luz laser para emitir luz laser; un modulador de luz espacial que modula en fase para recibir una luz laser emitida desde la fuente de luz laser, que presenta un holograma para modular la fase de la luz laser en cada uno de una pluralidad de pfxeles dispuestos bidimensionalmente, y que emite la luz laser modulada en fase; un sistema optico de condensacion dispuesto en una etapa posterior del modulador de luz espacial; y una seccion de control para hacer que el modulador de luz espacial presente un holograma para condensar la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial a una region de condensacion predeterminada mediante el sistema optico de condensacion, y el procedimiento de procesamiento por laser hace que, mediante la seccion de control, el modulador de luz espacial presente secuencialmente una pluralidad de hologramas, y al haber hecho que la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial donde se ha presentado cada uno de los

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hologramas, se reciba en el sistema optico de condensacion, en una region de condensacion existente en una region de procesamiento del objeto de procesamiento de la region de condensacion predeterminada, una parte de la luz laser modulada en fase se condense como una luz laser que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado, mientras que en una region de condensacion existente en una region distinta de la region de procesamiento de la region de condensacion predeterminada, una parte restante de la luz laser modulada en fase se condensa como una luz laser que tiene una energfa menor que el umbral, procesando de este modo el objeto de procesamiento.

Ademas, es preferible hacer que, si una energfa de la luz laser modulada en fase es igual que para el procesamiento de una region de procesamiento predeterminada que requiere la energfa mas elevada para su procesamiento, mediante la seccion de control, toda la parte de la luz laser modulada en fase se condense, como una luz laser que tiene una energfa constante no menor que el umbral, a una region de condensacion existente en la region de procesamiento predeterminada.

Ademas, es preferible que exista la region de procesamiento en el interior del objeto de procesamiento, y una region de condensacion existente en la region de procesamiento con referencia a una superficie inferior del objeto de procesamiento y una region de condensacion existente en una region distinta de la region de procesamiento con referencia a la superficie inferior sean diferentes en altura entre st

En el dispositivo de procesamiento por laser y el procedimiento de procesamiento por laser de la presente invencion, una parte de la luz laser modulada en fase (luz incidente) se condensa como luz laser (luz de contribucion) que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X en una region de condensacion existente en una region de procesamiento. Por otra parte, una luz laser (luz innecesaria) distinta de la luz de contribucion condensada en la region de condensacion existente en la region de procesamiento se dispersa y se condensa en una region de condensacion existente en una region distinta de la region de procesamiento como una luz laser (luz de no contribucion) que tiene una energfa menor que el umbral predeterminado X. Por lo tanto, mediante el tratamiento de la luz innecesaria como luz de no contribucion que tiene una energfa menor que el umbral predeterminado X con el fin de no contribuir al procesamiento, incluso si el area de la region de condensacion en la region de procesamiento vana, la energfa de la luz contribucion puede mantenerse constante.

Efectos ventajosos de la invencion

Mediante el dispositivo de procesamiento por laser o el procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la presente invencion, una region de procesamiento de un objeto de procesamiento puede procesarse, mediante el uso de un modulador de luz espacial que modula en fase donde se presenta un holograma, irradiando simultaneamente luz laser a una pluralidad de posiciones de condensacion o una region de condensacion que tiene un area constante. Ademas, incluso si el numero de posiciones de condensacion de luz laser en la region de procesamiento vana, o incluso si el area de la region de condensacion en la region de procesamiento vana, la energfa de la luz laser que se irradia a las respectivas posiciones de condensacion o region de condensacion puede mantenerse facilmente casi constante.

Breve descripcion de los dibujos

La figura 1 es una vista que muestra una configuracion de un dispositivo de tratamiento por laser 1 de acuerdo con una primera realizacion.

La figura 2 es una vista que explica un primer modo de escribir un holograma desde una seccion de accionamiento 21 en un modulador de luz espacial 20 mediante una seccion de control 22 en el dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 3 es una vista que explica un segundo modo de escribir un holograma desde la seccion de accionamiento 21 en el modulador de luz espacial 20 mediante la seccion de control 22 en el dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 4 es una vista que explica un tercer modo de escribir un holograma desde la seccion de accionamiento 21 en el modulador de luz espacial 20 mediante la seccion de control 22 en el dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 5 son vistas que explican un procedimiento de procesamiento por laser de un ejemplo comparativo en la explicacion de la primera realizacion.

La figura 6 son vistas que explican un primer modo de un procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 7 son vistas que explican un segundo modo de un procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion.

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La figura 8 son vistas que explican un tercer modo de un procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 9 son vistas que explican un cuarto modo de un procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 10 es una vista que explica un quinto modo de un procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 11 es una vista que explica un quinto modo de un procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 12 es un diagrama de flujo de un procedimiento de alteracion de hologramas de la primera realizacion.

La figura 13 son vistas que explican un procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con una segunda

realizacion.

La figura 14 es una vista que explica un procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con una segunda realizacion.

La figura 15 son vistas que explican un ejemplo comparativo, en la explicacion del Ejemplo 1.

La figura 16 son vistas que explican el Ejemplo 1.

La figura 17 es una tabla que resume las energfas de luz laser en las respectivas posiciones de condensacion en el ejemplo comparativo, en la explicacion del ejemplo 1.

La figura 18 es una tabla que resume las energfas de luz laser en las respectivas posiciones de condensacion en el Ejemplo 1.

La figura 19 son vistas que explican el Ejemplo 2.

La figura 20 es una tabla que resume las energfas de luz laser en las respectivas regiones de condensacion en el Ejemplo 2.

La figura 21 es una vista que explica un cuarto modo de escribir un holograma en el modulador de luz espacial 20, en el dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 22 es una vista que explica un quinto modo de escribir un holograma en el modulador de luz espacial 20, en el dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 23 es una vista que explica un sexto modo de escribir un holograma en el modulador de luz espacial 20, en el dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 24 es una vista que explica un septimo modo de escribir un holograma en el modulador de luz espacial 20, en el dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 25 es una vista que explica un octavo modo de escribir un holograma en el modulador de luz espacial 20, en el dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 26 es una vista que explica un noveno modo de escribir un holograma en el modulador de luz espacial 20, en el dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 27 es una vista que muestra otra configuracion del dispositivo de tratamiento laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 28 es una vista que muestra otra configuracion del dispositivo de tratamiento laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 29 es una vista que muestra otra configuracion del dispositivo de tratamiento laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 30 es una vista que muestra otra configuracion del dispositivo de tratamiento laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

La figura 31 es una vista que muestra otra configuracion del dispositivo de tratamiento laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

Lista de signos de referencia

1 ... dispositivo de procesamiento por laser, 10 ... fuente de luz laser, 11 ... filtro espacial, 12 ... lente de colimador,

13, 14 ... espejo, 20 ... modulador de luz espacial, 21 ... seccion de accionamiento, 22 ... seccion de control, 30 ... sistema optico de condensacion, 90 ... sistema optico de procesamiento, 91 ... region de procesamiento, 92 ... region de no procesamiento.

Descripcion de realizaciones

En lo sucesivo, se describira en detalle el mejor modo de llevar a cabo la presente invencion con referencia a los dibujos adjuntos. Tambien, los mismos componentes se designaran con los mismos numeros de referencia en la descripcion de los dibujos, y se omitira una descripcion coincidente.

(Primera realizacion)

[Configuracion del dispositivo de procesamiento por laser 1]

En primer lugar, se dara una descripcion de una primera realizacion de un dispositivo de tratamiento por laser y un procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la presente invencion. La figura 1 es una vista que

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muestra una configuracion de un dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la primera realizacion. El dispositivo de procesamiento por laser 1 que se muestra en esta figura es un dispositivo para el procesamiento de un objeto de procesamiento 90 condensando e irradiando luz laser sobre una region de procesamiento 91 y una region 92 (se hace referencia a las figuras 6 etc., que se describiran mas adelante) distinta de la region de procesamiento 91 en el objeto de procesamiento 90, e incluye una fuente de luz laser 10, un filtro espacial 11, una lente de colimador 12, un espejo 13, un espejo 14, un modulador de luz espacial 20, una seccion de accionamiento 21, una seccion de control 22 y un sistema optico de condensacion 30.

La fuente de luz laser 10 es para emitir luz laser que necesita ser irradiada a la region de procesamiento 91 del objeto de procesamiento 90 y la region 92 distinta de la region de procesamiento 91, y preferiblemente es una fuente de luz laser pulsada tal como una fuente de luz laser de femtosegundo y una fuente de luz laser de Nd: YAG. Una luz laser emitida desde esta fuente de luz laser 10 atraviesa el filtro espacial 11, y luego es colimada por la lente de colimador 12, es reflejada por el espejo 13 y el espejo 14, y la recibe el modulador de luz espacial 20.

El modulador de luz espacial 20 es de tipo de modulacion de fase, y recibe una luz laser emitida desde la fuente de luz laser 10, presenta un holograma para modular la fase de la luz laser en cada uno de una pluralidad de pfxeles dispuestos bidimensionalmente, y emite la luz laser modulada en fase. El holograma de fase que se presenta en este modulador de luz espacial 20 es preferiblemente un holograma CGH (holograma generado por ordenador) determinado por calculo numerico.

Este modulador de luz espacial 20 puede ser de tipo de reflexion, y puede ser de tipo de transmision. Como modulador de luz espacial de reflexion 20, puede utilizarse cualquiera de tipo LCOS (cristal lfquido sobre silicio), de tipo MEMS (sistemas microelectromecanicos), y de tipo de direccion optica. Por otra parte, como modulador de luz espacial de transmision 20, puede utilizarse una pantalla LCD (pantalla de cristal lfquido) o similar. En la figura 1, se muestra un modulador de luz espacial 20 de tipo de reflexion.

La seccion de accionamiento 21 se utiliza para configurar la cantidad de modulacion en fase en cada una de una pluralidad de pfxeles dispuestos bidimensionalmente del modulador de luz espacial 20, y proporciona una senal para ajustar la cantidad de modulacion en fase de cada pixel al modulador de luz espacial 20. La seccion de accionamiento 21 establece la cantidad de modulacion en fase en cada una de una pluralidad de pfxeles dispuestos bidimensionalmente del modulador de luz espacial 20 para hacer, de este modo, que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma.

El sistema optico de condensacion 30 se dispone en una etapa posterior del modulador de luz espacial 20, y recibe una luz laser modulada en fase y emitida para cada pixel en el modulador de luz espacial 20. En particular, este sistema optico de condensacion 30 incluye una lente que transforma en Fourier una luz laser emitida desde el modulador de luz espacial 20. Una imagen transformada en Fourier de la misma se forma en un plano focal posterior de la lente transformada en Fourier.

La seccion de control 22 esta formada, por ejemplo, por un ordenador, y controla el funcionamiento de la seccion de accionamiento 21 para provocar, de esta manera, que se escriba un holograma de la seccion de accionamiento 21 en el modulador de luz espacial 20. En este momento, la seccion de control 22 hace que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma para condensar una luz laser emitida desde el modulador de luz espacial 20 a una pluralidad de posiciones de condensacion por medio del sistema optico de condensacion 30.

En particular, en la presente realizacion, la seccion de control 22 hace que el modulador de luz espacial 20 presente secuencialmente una pluralidad de hologramas. A continuacion, la seccion de control 22, al haber hecho que una luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial 20, donde se ha presentado respectivamente una pluralidad de hologramas se reciba en el sistema optico de condensacion 30, en una posicion de condensacion existente en la region de procesamiento 91 (se hace referencia a las figuras 6, etc.) de una pluralidad de posiciones de condensacion en el objeto de procesamiento 90, hace que una parte de la luz laser modulada en fase se condense como luz laser ("luz de contribucion", tal como se describira mas adelante) que tiene una energfa (intensidad) constante no menor de un umbral predeterminado X. Por otra parte, la seccion de control 22, en una posicion de condensacion existente en la region 92 (se hace referencia a las figuras 6 etc.) distinta de la region de procesamiento 91 fuera de las posiciones de condensacion en el objeto de procesamiento 90, hace que una parte restante de la luz laser modulada en fase se disperse y se condense como una pluralidad de luces laser ("luces de no contribucion" tal como se describira mas adelante) que tiene una energfa debil menor que el umbral X para procesar, por lo tanto, el objeto de procesamiento 90.

La figura 2 a la figura 4 son, cada una, una vista que explica un modo de escribir un holograma de la seccion de accionamiento 21 en el modulador de luz espacial 20 mediante la seccion de control 22 en el dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la primera realizacion.

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En un primer modo mostrado en la figura 2, la seccion de control 22 incluye una unidad central de procesamiento 221, una unidad de comunicacion 222, y una unidad de memoria 223. La unidad central de procesamiento 221 crea previamente datos de una pluralidad de hologramas CGH1 a CGH3 necesarios para hacer que el modulador de luz espacial 20 presente y almacene los datos en la unidad de memoria 223. Para hacer que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma, la unidad central de procesamiento 221 lee datos de hologramas de la unidad de memoria 223, y envfa los datos de hologramas lefdos a la unidad de comunicacion 222, y la unidad de comunicacion 222 transmite los datos de hologramas a una unidad de procesamiento 211 de la seccion de accionamiento 21. Entonces, la unidad de procesamiento 211 de la seccion de accionamiento 21 envfa los datos de hologramas recibidos de la seccion de control 22 al modulador de luz espacial 20, y hace que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma.

En un segundo modo mostrado en la figura 3, una unidad de memoria 213 de la seccion de accionamiento 21 almacena previamente datos de una pluralidad de hologramas CGH1 a CGH3 necesarios para hacer que el modulador de luz espacial 20 los presente. Para hacer que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma, la seccion de control 22 especifica, para la seccion de accionamiento 21, los datos de los hologramas almacenados en la unidad de memoria 213, hace que los datos de hologramas especificados sean enviados al modulador de luz espacial 20, y hace que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma.

En un tercer modo mostrado en la figura 4, la unidad de memoria 223 incluida en la seccion de control 22 almacena previamente datos de patrones deseados 1 a 3 de posiciones de condensacion cuando la luz laser se condensa por medio del sistema optico de condensacion 30. Para hacer que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma, la unidad central de procesamiento 221 lee datos de patron deseados de la unidad de memoria 223, crea un holograma que puede reproducir el patron deseado lefdo, y envfa los datos del holograma a la unidad de comunicacion 222, y la unidad de comunicacion 222 transmite los datos de hologramas a la unidad de procesamiento 211 de la seccion de accionamiento 21. Entonces, la unidad de procesamiento 211 de la seccion de accionamiento 21 envfa los datos de hologramas recibidos desde la seccion de control 22 al modulador de luz espacial 20, y hace que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma.

En un cuarto modo mostrado en la figura 21, un modulador de luz espacial y una seccion de accionamiento estan formados de un unico modulo 2A. Una unidad de modulacion de luz 2A0 corresponde aqu al modulador de luz espacial 20. Para que la unidad de modulacion de luz 2A0 presente un holograma, la seccion de control 22 especifica los datos de hologramas almacenados en la unidad de memoria 223, hace que los datos de hologramas especificados se envfen a la unidad de modulacion de luz 2A0, y hace que la unidad de modulacion de luz 2A0 presente un holograma.

En un quinto modo mostrado en la figura 22, una seccion de accionamiento y una memoria estan formadas en un unico modulo 2B. Una unidad de memoria 2B3 del modulo 2B almacena previamente datos de una pluralidad de hologramas CGH1 a CGH3 necesarios para hacer que una unidad de modulacion de luz 2B0 los presente en este modo. Para hacer que la unidad de modulacion de luz 2B0 presente un holograma, la seccion de control 22 especifica, para el modulo 2B, datos de hologramas almacenados en la unidad de memoria 2B3, hace que los datos de hologramas especificados sean enviados a la unidad de modulacion de luz 2B0 y hace que la unidad de modulacion de luz 2B0 presente un holograma.

En un sexto modo mostrado en la figura 23, una seccion de accionamiento y una seccion de control estan formadas de un unico modulo 2C. Para hacer que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma, el modulo 2C especifica datos de hologramas almacenados en una unidad de memoria 2C3, hace que los datos de hologramas especificados sean enviados al modulador de luz espacial 20, y hace que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma.

En un septimo modo mostrado en la figura 24, un modulador de luz espacial, una seccion de accionamiento, y una seccion de control estan formados de dicho modulo 2D en que se encuentran integrados.

En un octavo modo mostrado en la figura 25, la unidad de memoria 2C3 incluida en el modulo 2C almacena datos de patrones deseados 1 a 3 de posiciones de condensacion cuando la luz laser se condensa mediante el sistema optico de condensacion 30. Para hacer que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma, una unidad central de procesamiento 2C1 lee datos de patron deseados de la unidad de memoria 2C3, crea un holograma que puede reproducir el patron deseado lefdo, y envfa los datos del holograma a una unidad de procesamiento 2C4. La unidad de procesamiento 2C4 convierte los datos en una senal adecuada para accionar el modulador de luz espacial 20, y despues envfa la senal a una unidad de comunicacion 2C2, y la unidad de comunicacion 2C2 transmite la senal al modulador de luz espacial 20, y hace que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma.

En un noveno modo mostrado en la figura 26, una unidad de memoria 2D3 incluida en el modulo 2D almacena previamente datos de patrones deseados 1 a 3 de posiciones de condensacion cuando la luz laser se condensa por

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medio del sistema optico de condensacion 30. Para hacer que una unidad de modulacion de luz 2D0 presente un holograma, una unidad central de procesamiento 2D1 lee desea datos de patrones de la unidad de memoria 2D3, crea un holograma que puede reproducir el patron deseado lefdo, y envfa los datos del holograma a una unidad de procesamiento 2D4. La unidad de procesamiento 2D4 convierte los datos en una senal adecuada para accionar la unidad de modulacion de luz 2D0, y luego envfa la senal a la unidad de modulacion de luz 2D0, y hace que la unidad de modulacion de luz 2D0 presente un holograma.

En cualquier modo mostrado en la figura 2 a la figura 4 y la figura 21 a la figura 26, cuando se crea un holograma a partir de un patron deseado de una posicion de condensacion, el holograma puede ser creado por cualquiera de los procedimientos de tipo transformada de Fourier o de tipo placa de zona de Fresnel. El tipo de transformada de Fourier permite crear un holograma mediante un algoritmo tal como un procedimiento GS, y el tipo placa de zona de Fresnel permite crear un holograma mediante un algoritmo tal como un procedimiento ORA (angulo-de-rotacion- optimo).

Adicionalmente, el procedimiento GS se ha descrito en la bibliograffa "R. W Gerchberg y W. O. Saxton, 'A practical algorithm for the determination of phase from image and diffraction plane pictures', Optik, Vol. 35, pags. 237-246 (1972)". Ademas, el procedimiento ORA se ha descrito en la bibliograffa "Jorgen Bengtsson, 'Kinoform design with an optimal-rotation-angle method', Applied Optics, vol. 33, No. 29, pags. 6879-6884 (1994)."

Ademas, pueden considerarse varios modos como configuracion de un dispositivo de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion. Por ejemplo, puede considerarse uno sin espejos 13, 14 tal como se muestra en la figura 27. Ademas, tambien puede considerarse dicho sistema optico que utiliza un prisma 108, tal como se muestra en la figura 28 donde existen coaxialmente una luz incidente y una luz de emision.

Ademas, la figura 29 muestra un sistema optico, en el que entre el modulador de luz espacial 20 y el sistema optico de condensacion 30 de la figura 1, hay dispuestas unas lentes de rele 109, 110. Disponiendo las lentes de rele, se propaga informacion sobre la fase o similar modulada por el modulador de luz espacial 20 al sistema optico de condensacion 30 sin influencia de la difraccion de Fresnel. Por otra parte, estas lentes de rele pueden aplicarse tambien a los dispositivos de procesamiento de la figura 27 y la figura 28.

En el dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la primera realizacion, es preferible que el sistema optico este configurado para el procesamiento como una seccion operativa para moverse tal como se muestra en la figura 30, o que el objeto de procesamiento 90 se mueva junto con el movimiento de una plataforma 111, tal como se muestra en la figura 31.

[Procedimiento de procesamiento por laser]

A continuacion, se compara el funcionamiento del dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la primera realizacion y un procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion con un ejemplo comparativo, mientras se describe. Aqrn, la luz laser se condensa y se irradia al objeto de procesamiento 90 con el fin de llevar a cabo una visualizacion de multiples puntos de tres caracteres alfabeticos de "H", "P" y "K" para procesar el objeto de procesamiento 90.

[Procedimiento de procesamiento por laser, ejemplo comparativo]

Las figuras 5 son vistas que explican un procedimiento de procesamiento por laser de un ejemplo comparativo. Los cffculos muestran posiciones de condensacion de luz laser en cada una de la figura 5(a) a la figura 5(c). La figura 5(a) muestra un estado de luz laser que esta siendo irradiada a 12 puntos de posiciones de condensacion con el fin de procesar el caracter "H." La figura 5(b) muestra un estado de luz laser que esta siendo irradiada a 11 puntos de posiciones de condensacion con el fin de procesar el caracter "P". Ademas, la figura 5(c) muestra un estado de luz laser que esta siendo irradiada a 10 puntos de posiciones de condensacion con el fin de procesar el caracter "K".

En este ejemplo comparativo, un holograma tal que permite procesar el caracter "H" se presenta primero en el modulador de luz espacial, un holograma tal que permite procesar el caracter "P" se presenta a continuacion en el modulador de luz espacial, y un holograma tal que permite procesar el caracter "K" se presenta finalmente en el modulador de luz espacial. De este modo, en el caso del procesamiento de los caracteres uno por uno en el orden "H", "P" y "K", ya que el numero de posiciones de condensacion de luz laser es diferente en funcion del caracter, la energfa de irradiacion de luz laser de las posiciones de condensacion respectivas es diferente dependiendo del caracter y, por lo tanto, se produce una irregularidad de procesamiento en funcion del caracter.

Ademas, para facilitar la comprension, si una energfa total de una luz laser que se irradia al objeto de procesamiento 90 es, por ejemplo, 12,0 GW/cm2, en la figura 5(a), una luz laser que tiene una energfa de 1,0 GW/cm2 (aqrn,

12,0/12 = 1,0) se condensa en cada uno de los 12 puntos de posiciones de condensacion. Por otra parte, en la figura

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5(b), una luz laser que tiene una energfa de 1,0909 GW/cm2 (aqm, 12,0/11 = 1,0909) se condensa en cada uno de los 11 puntos de posiciones de condensacion, y en la figura 5(c), una luz laser que tiene una energfa de 1,2 GW/cm2 (aqm, 12,0/10 = 1,2) se condensa en cada uno de los 10 puntos de posiciones de condensacion. De este modo, en el ejemplo comparativo, la energfa de irradiacion de luz laser de las respectivas posiciones de condensacion es diferente dependiendo del caracter y, por lo tanto, se produce una irregularidad de procesamiento en funcion del caracter.

Por otra parte, en la presente realizacion, cuando una luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial 20, donde se ha presentado respectivamente una pluralidad de hologramas, se recibe en el sistema optico de condensacion 30, en una posicion de condensacion existente en la region de procesamiento 91 (se hace referencia a las figuras 6, etc.) fuera de una pluralidad de posiciones de condensacion en el objeto de procesamiento

90, una parte de la luz laser modulada en fase se condensa como una luz laser ("luz de contribucion" tal como se describira mas adelante) que tiene una energfa constante no menor de un umbral predeterminado X. Por otra parte, en una posicion de condensacion existente en la region 92 (se hace referencia a las figuras 6, etc.) distinta a la region de procesamiento 91 de las posiciones de condensacion en el objeto de procesamiento 90, una parte restante de la luz laser modulada en fase se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser ("luces de no contribucion" tal como se describira mas adelante) que tiene una energfa debil menor que el umbral X para procesar, por lo tanto, el objeto de procesamiento 90. En lo sucesivo, se describira en detalle el procedimiento de procesamiento por laser de la presente realizacion.

[Procedimiento de procesamiento por laser, primer modo]

Las figuras 6 son vistas que explican un primer modo del procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion. La figura 6(a) muestra un estado de luz laser que, con el fin de procesar el caracter "H", es irradiado a 12 puntos de posiciones de condensacion h1 a h12 dentro de la region de procesamiento 91. Los 12 puntos de las posiciones de condensacion h1 a h12 que se muestran en la figura 6(a) existen todos dentro de la region de procesamiento 91 y, en las respectivas posiciones de condensacion, una luz laser modulada en fase (en adelante, referida como "una luz incidente") emitida desde el modulador de luz espacial 20 se condensa como una luz laser que tiene una energfa constante no menor de un umbral predeterminado X. Aqm, el umbral predeterminado X, que es un valor que indica la energfa de la luz laser para iniciar el procesamiento de la region de procesamiento

91, es, por ejemplo, 0,9 GW/cm2 en la presente realizacion, aunque esto depende del material y similar del objeto de procesamiento 90. Como que la luz laser que tiene una energfa no menor que el umbral X se condensa en las posiciones de condensacion h1 a h12 existentes en la region de procesamiento 91, la region de procesamiento 91 se procesa con un patron del caracter "H" tras la condensacion y la irradiacion de la luz laser. Tambien, en la presente memoria, una luz laser que tiene una energfa no menor que un umbral predeterminado X y contribuye al procesamiento de una parte de la region de procesamiento 91 a la que la luz laser se ha condensado e irradiado despues de la condensacion y la irradiacion se denomina "luz de contribucion". Es decir, la luz laser que se irradia a las posiciones de condensacion h1 a h12 es una luz de contribucion.

Ademas, la "region de procesamiento 91" es una region en una superficie exterior del objeto de procesamiento 90 o una region de su interior y, por ejemplo, en la figura 6(a), es una region que se requiere procesar por laser con el fin de procesar el caracter "H" en el objeto de procesamiento 90. En el dibujo, la region de procesamiento 91 se muestra con lmeas de puntos. Por otra parte, la "region 92 distinta de la region de procesamiento 91" es una region en una superficie exterior del objeto de procesamiento 90 o una region del interior de su interior, y es una region que excluye la region de procesamiento 91 de toda la region del objeto de procesamiento 90. A continuacion, se describira la region 92 distinta de la region de procesamiento 91 como "region de no procesamiento 92".

Ademas, para facilitar la comprension, si una energfa total de una luz incidente es, por ejemplo, 12,0 GW/cm2, en la figura 6(a), la luz incidente se condensa completamente a la region de procesamiento 91, y una luz laser que tiene una energfa de 1 GW/cm2 (aqm, 12,0/12 = 1,0) se condensa en cada una de las posiciones de condensacion h1 a h12 existentes en la region de procesamiento 91.

La figura 6(b) muestra un estado de luz laser que es irradiado, con el fin de procesar el caracter "P", a 11 puntos de unas posiciones de condensacion p1 a p11 dentro de la region de procesamiento 91, y es irradiado a cuatro puntos de unas posiciones de condensacion p12 a p15 dentro de la region de no procesamiento 92. En los 11 puntos de las posiciones de condensacion p1 a p11 existentes en la region de procesamiento 91, una parte de la luz incidente se condensa como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X. Como que la luz laser que tiene una energfa igual o que el umbral X se condensa en las posiciones de condensacion p1 a p11 existentes en la region de procesamiento 91, una parte de la region de procesamiento 91 a la que la luz laser se ha condensado e irradiado se procesa con un patron del caracter P" despues de la condensacion y la irradiacion de la luz laser. Por otra parte, en los cuatro puntos de las posiciones de condensacion p12 a p15 existentes en la region de no procesamiento 92, una parte restante de la luz incidente (es decir, la luz incidente desde la cual la parte de la luz laser condensada a las posiciones de condensacion p1 a p11 ha sido excluida, que

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es una luz laser innecesaria en la superficie de procesamiento del objeto de procesamiento 90, en lo sucesivo, una "luz innecesaria") se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa debil inferior al umbral predeterminado X.

Tambien, en la presente memoria, una luz laser que tiene una energfa menor que un umbral predeterminado X y no contribuye al procesamiento de una parte a la que la luz laser se ha condensado e irradiado despues de la condensacion y la radiacion se denomina "luz de no contribucion". Es decir, la luz laser que se irradia a las posiciones de condensacion p12 a p15 es una luz de no contribucion. Como que la luz de no contribucion tiene una energfa debil menor que el umbral X, se condensa en las posiciones de condensacion p12 a p15 existentes en la region de no procesamiento 92, la region de no procesamiento 92 no se procesa, incluso despues de la condensacion y la irradiacion de la luz de no contribucion. Ademas, en los dibujos respecto a la primera realizacion, por conveniencia de la descripcion, una diferencia en la energfa de la luz laser se expresa proporcional al tamano de los drculos blancos. Dichos CGHs diferentes en energfa pueden crearse, por ejemplo, en el procedimiento GS, diferenciando la amplitud de los patrones objetivo.

En el ejemplo descrito anteriormente, donde se supone una energfa total de luz incidente tal como, por ejemplo, 12 GW/cm2, una parte de la luz incidente se condensa en la region de procesamiento 91, y el resto se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa debil en la region de no procesamiento 92 en la figura 6(b). Mas espedficamente, una luz laser que tiene la misma energfa (es decir, 1,0 GW/cm2) que en el caso de la figura 6(a) se condensa en cada una de las posiciones de condensacion pi a p11 existentes en la region de procesamiento 91. Entonces, una luz laser restante, mas concretamente, una luz laser de 1 GW/cm2 excluyendo, de 12 GW/cm2 que es una energfa total de la luz incidente, 11 GW/cm2 irradiados a las posiciones de condensacion p1 a p11 se dispersa cada 0,25 GW/cm2 (aqrn, 1,0/4 = 0,250) y se condensa en los cuatro puntos de posiciones de condensacion p12 a p15 de la region de no procesamiento 92. Es decir, en comparacion con la figura 6(a), las posiciones de condensacion de la luz laser existentes en la region de procesamiento 91 son cortas en uno en la figura 6(b), pero una luz laser de una energfa (1,0 GW/cm2) correspondiente a la misma se dispersa y se condensa como una pluralidad (cuatro puntos) de luces laser debiles que tienen una energfa (0,250 GW/cm2) no mayor del umbral X en la region de no procesamiento 92.

La figura 6(c) muestra un estado de luz laser que se irradia, con el fin de procesar el caracter "K", a 10 puntos de posiciones de condensacion k1 a k10 dentro de la region de procesamiento 91, y se irradia a ocho puntos de posiciones de condensacion k11 a k18 dentro la region no procesamiento 92. En los 10 puntos de posiciones de condensacion k1 a k10 existentes en la region de procesamiento 91, una parte de la luz incidente se condensa como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X. Como que la luz laser que tiene una energfa no menor que el umbral X se condensa, una parte de la region de procesamiento 91 a la cual se ha condensado e irradiado la luz laser se procesa con un patron del caracter "K" despues de la condensacion y la irradiacion de la luz laser. Por otra parte, en los ocho puntos de las posiciones de condensacion k11 a k18 existentes en la region de no procesamiento 92, una parte restante de la luz incidente (es decir, la luz incidente desde la cual se ha excluido la parte de la luz laser condensada a las posiciones de condensacion k1 a k10, una luz innecesaria) se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces de no contribucion que tienen una energfa debil menor que el umbral predeterminado X. Como que la luz laser que tiene una energfa menor que el umbral X se condensa en las posiciones de condensacion k11 a k18 existentes en la region sin condensacion 92, la region de no condensacion 92 no se procesa incluso despues de la condensacion y la irradiacion de la luz laser.

En el ejemplo descrito anteriormente, donde se supone una energfa total de una luz incidente tal como, por ejemplo, 12 GW/cm2, una parte de la luz incidente se condensa en la region de procesamiento 91, y el resto se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser que tiene una energfa debil a la region no de procesamiento 92 en la figura 6(c). Mas espedficamente, una luz laser, que tiene la misma energfa (es decir, 1,0 GW/cm2) que en el caso de la figura 6(a), se condensa en cada una de las posiciones de condensacion k1 a k10 existentes en la region de procesamiento 91. Entonces, una luz laser restante, mas espedficamente, una luz laser de 2 GW/cm2 excluyendo, de 12 GW/cm2 que es una energfa total de la luz incidente, 10 GW/cm2 irradiada a las posiciones de condensacion k1 a k10 se dispersa cada 0,250 GW/cm2 (aqrn, 2,0/8 = 0,250) y se condensa en los ocho puntos de las posiciones de condensacion k11 a k18 de la region de no procesamiento 92. Es decir, en comparacion con la figura 6(a), las posiciones de condensacion de luz laser existentes en la region de procesamiento 91 son cortas en dos en la figura 6(c), pero una luz laser de una energfa (2,0 GW/cm2) correspondiente a la misma se dispersa y se condensa como una pluralidad (ocho puntos) de luces laser debil que tienen una energfa (0,250 GW/cm2) no mayor que el umbral X en la region de no procesamiento 92.

En el primer modo descrito anteriormente, una luz laser emitida desde el modulador de luz espacial 20, donde se han presentado secuencialmente los hologramas correspondientes a "H", "P" y "K", respectivamente, se condensa, mediante el sistema optico de condensacion 30, en las posiciones de condensacion (h1 a h12, p1 a p11, k1 a k 10) existentes en la region de procesamiento 91 como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X, mientras que, en las posiciones de condensacion (p12 a p15, k11 a k18),

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existentes en la region de no procesamiento 92, dispersadas y condensadas como una pluralidad de luces de no contribucion que tienen una energfa menor que el umbral X.

Por lo tanto, incluso en el caso de procesar los caracteres uno por uno en el orden "H", "P" y "K", con independencia del caracter, mediante el tratamiento de una luz innecesaria como luz de no contribucion que tiene una energfa menor que un umbral predeterminado X con el fin de no contribuir al procesamiento, incluso si el numero de posiciones de condensacion en la region de procesamiento vana, la energfa de una luz de contribucion puede mantenerse constante y, por lo tanto, puede suprimirse la irregularidad de procesamiento con independencia del caracter.

[Procedimiento de procesamiento por laser, segundo modo]

Las figuras 7 son vistas que explican un segundo modo del procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion. La figura 7(a) muestra un estado de ser de luz laser, con el fin de procesar el caracter "H", irradiado a 12 puntos de posiciones de condensacion hi a h12 dentro de la region de procesamiento 91, e irradiado a cinco puntos de posiciones de condensacion h13 a h17 dentro la region de no procesamiento 92. En comparacion con la figura 6(a) en el primer modo anterior, existe una diferencia en que la luz laser se irradia tambien a los cinco puntos de posiciones de condensacion h13 a h17 dentro de la region de no procesamiento 92. La figura 7(b) muestra un estado de luz laser que se irradia, con el fin de procesar el caracter "P", a 11 puntos de posiciones de condensacion p1 a p11 dentro de la region de procesamiento 91, y se irradia a nueve puntos de posiciones de condensacion p12 a p20 dentro la region de no procesamiento 92. En comparacion con la figura 6(b) en el primer modo anterior, existe una diferencia en que se irradia luz laser no solo a cuatro posiciones de condensacion p12 a p15 dentro de la region de no procesamiento 92, sino tambien a cinco puntos de posiciones de condensacion p16 a p20. La figura 7(c) muestra un estado de luz laser que se irradia, con el fin de procesar el caracter "K," a 10 puntos de posiciones de condensacion k1 a k10 dentro de la region de procesamiento 91, y se irradia a 13 puntos de posiciones de condensacion k11 a k23 dentro la region de no procesamiento 92. En comparacion con la figura 6(c) en el primer modo anterior, existe una diferencia en que la luz laser se irradia no solo a ocho posiciones de condensacion k11 a k18 dentro de la region de no procesamiento 92, sino tambien a cinco puntos de posiciones de condensacion k19 a k23.

Mas espedficamente, tambien en este segundo modo descrito anteriormente, una luz laser emitida desde el modulador de luz espacial 20, donde se han presentado secuencialmente hologramas correspondientes a "H", "P" y "K", respectivamente, por medio del sistema optico de condensacion 30, en una parte de la luz incidente, se condensa como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X en las posiciones de condensacion (h1 a h12, p1 a p11, k1 a k10) existentes en la region de procesamiento 91, mientras se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces de no contribucion que tienen una energfa menor que el umbral X en las posiciones de condensacion (h13 a h17, p12 a p20, k11 a k23) existentes en la region de no procesamiento 92.

Sin embargo, en el primer modo, el caracter "H" (una "region de procesamiento predeterminada" en las reivindicaciones) requiere la energfa mas elevada para el procesamiento, y una luz laser que tiene la misma energfa (por ejemplo, 1,2 GW/cm2) que la que se requiere para el procesamiento del caracter "H" se hace incidente. A continuacion, en la figura 6(a), la luz laser incidente se condensa completamente como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que el umbral X a las posiciones de condensacion h1 a h12 existentes en la region de procesamiento 91, y no existe ninguna luz innecesaria.

Por otra parte, el segundo modo es un caso en el que una luz laser que tiene una energfa (por ejemplo, 13 GW/cm2) mayor que la energfa (por ejemplo, 12 GW/cm2) requerida para el procesamiento del caracter "H" se hace incidente. A continuacion, en la figura 7(a), de, por ejemplo, 13 GW/cm2 que es una energfa total de luz incidente, se hace que una parte (por ejemplo, 12 GW/cm2), para el procesamiento del caracter "H", condense como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que el umbral X en posiciones de condensacion h1 a h12 existentes en la region de procesamiento 91, respectivamente. Entonces, una luz laser restante, mas espedficamente, una luz laser de 1 GW/cm2 excluyendo, de la luz incidente de, por ejemplo, 13 GW/cm2, 12 GW/cm2 condensada como una luz contribucion, se hace que, como una luz de no contribucion que tiene una energfa menor que el umbral X, se disperse cada 0,20 GW/cm2 (en este caso, 1,0/5 = 0,20) y se condense en los cinco puntos de posiciones de condensacion h13 a h17 de la region de no procesamiento 92.

Es decir, en comparacion con la figura 6(a), en la figura 7(a), la luz laser restante de la luz incidente despues de procesar el caracter "H" que requiere la mayor energfa para su procesamiento se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser debiles que tienen una energfa menor que el umbral X en la region de no procesamiento

92. Ademas, tal ajuste en la energfa de la luz laser, como en el anterior, puede llevarse a cabo mediante la seccion de control 22 haciendo que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma apropiado.

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El segundo modo descrito anteriormente, cuando la ene^a de una luz incidente es elevada, permite establecer adecuadamente el tamano de una ene^a de irradiacion de luz laser en las respectivas posiciones de condensacion existentes en la region de procesamiento 91 y, por lo tanto, es preferible. Si la energfa de una luz incidente es elevada, aumentando el numero de posiciones de condensacion (por ejemplo, h13 a h17) existente en la region de no procesamiento 92, el tamano de una energfa de irradiacion de luz laser en las respectivas posiciones de condensacion existentes en la region de procesamiento 91 puede mantenerse adecuadamente. Ademas, tal ajuste puede realizarse mediante el procedimiento de ajuste y el uso de un holograma.

Ademas, en el primer modo o bien en el segundo modo, cuando se procesan los respectivos caracteres "H", "P" y "K", con independencia del caracter, mediante el tratamiento de una luz innecesaria como una luz de no contribucion que tiene una energfa menor que un umbral predeterminado X con el fin de no contribuir al procesamiento, incluso si el numero de posiciones de condensacion en la region de procesamiento vana, la energfa de una luz de contribucion puede mantenerse constante y, por lo tanto, la irregularidad de procesamiento puede suprimirse con independencia del caracter.

[Procedimiento de procesamiento por laser, tercer modo]

Las figuras 8 son vistas que explican un tercer modo del procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion. En cada una de la figura 8(a) a la figura 8(c), los drculos blancos indican posiciones de condensacion de la luz laser, y los drculos negros indican posiciones ya procesadas. Aqrn, la luz laser se condensa y se irradia a la region de procesamiento 91 y la region de no procesamiento 92 del objeto de procesamiento 90 con el fin de llevar a cabo una visualizacion de multiples puntos de tres caracteres alfabeticos de "H", "T", y "V "para procesar el objeto de procesamiento 90. Sin embargo, los caracteres no se procesan uno por uno en el orden de "H", "T" y "V", sino que primero se procesa una parte de cada uno de los caracteres de "H" y "T", despues se procesa la parte restante de cada uno de los caracteres de "H" y "T", y por ultimo todo el caracter de "V" se procesa.

La figura 8(a) muestra un estado de una luz laser emitida desde el modulador de luz espacial 20, donde se han presentado secuencialmente tres hologramas, por medio del sistema optico de condensacion 30, irradiandose a ocho puntos de posiciones de condensacion al a a8 dentro de la region de procesamiento 91, y se irradia a 20 puntos de posiciones de condensacion a9 a a28 dentro de la region de no procesamiento 92. En los ocho puntos de posiciones de condensacion a1 a a8 existentes en la region de procesamiento 91, una parte de la luz incidente se condensa como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X. Como que la luz laser que tiene una energfa no menor que el umbral X se condensa, una parte de la region de procesamiento 91 a la que la luz laser se ha condensado e irradiado se procesa con un patron de barras horizontales del caracter "H" y el caracter "T" despues de la condensacion y la irradiacion de la luz laser. Por otra parte, en los 20 puntos de posiciones de condensacion a9 a a28 existentes en la region de no procesamiento 92, una parte restante de la luz incidente (es decir, la luz incidente desde la cual la parte de la luz laser condensada a las posiciones de condensacion a1 a a8 ha sido excluida, que es una luz laser innecesaria en la superficie de procesamiento del objeto de procesamiento 90) se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa debil menor que el umbral predeterminado X. Como que la luz de no contribucion tiene una energfa debil menor que el umbral X se condensa en las posiciones de condensacion a9 a a28 existentes en la region de no procesamiento 92, la region de no procesamiento 92 no se procesa, incluso despues de la condensacion y la irradiacion de la luz de no contribucion.

Ademas, para facilitar la comprension, si una energfa total de una luz incidente es, por ejemplo, 13 GW/cm2, en la figura 8(a), una parte de la luz incidente se condensa en la region de procesamiento 91, y el resto se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa debil en la region no procesamiento 92. Mas espedficamente, una luz laser que tiene una energfa constante de, por ejemplo, 1 GW/cm2 se condensa en cada una de las posiciones de condensacion a1 a a8 existentes en la region de procesamiento 91. Entonces, una luz laser restante, es decir, una luz laser de 5 GW/cm2 excluyendo, de 13 GW/cm2 que es una energfa total de la luz incidente, 8 GW/cm2 irradiada a las posiciones de condensacion a1 a a8 se dispersa cada 0,250 GW/cm2 (aqrn, 5,0/20 = 0,250) y se condensan a los 20 puntos de posiciones de condensacion a9 a a28 de la region de no procesamiento 92.

La figura 8 (b) muestra un estado de una luz laser emitida desde el modulador de luz espacial 20, donde se han presentado secuencialmente tres hologramas que se irradian, por medio del sistema optico de condensacion 30, a 12 puntos de posiciones de condensacion b1 a b12 dentro de la region de procesamiento 91, y se irradian a cuatro puntos de posiciones de condensacion b13 a b16 dentro de la region de no procesamiento 92. En los 12 puntos de posiciones de condensacion b1 a b12 existentes en la region de procesamiento 91, una parte de la luz incidente se condensa como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X. Como que la luz laser que tiene una energfa no menor que el umbral X se condensa, una parte de la region de procesamiento 91, a la cual se ha condensado e irradiado la luz laser, se procesa con un patron de barras verticales del caracter "H" y el caracter "T" despues de la condensacion e irradiacion de la luz laser. Por otra parte, en los

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cuatro puntos de posiciones de condensacion b13 a b16 existentes en la region de no procesamiento 92, una parte restante de la luz incidente (es decir, la luz incidente desde la cual la parte de la luz laser condensa en las posiciones de condensacion b1 a b12 ha sido excluida, que es una luz laser innecesaria en la superficie de procesamiento del objeto de procesamiento 90) se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa debil menor que el umbral predeterminado X. Dado que la luz de no contribucion que tiene una energfa debil menor que el umbral X se condensa en las posiciones de condensacion b13 a b16 existentes en la region de no procesamiento 92, la region de no procesamiento 92 no se procesa incluso despues de la condensacion y la irradiacion de la luz de no contribucion.

En el ejemplo descrito anteriormente, en el que se supone una energfa total de una luz incidente tal como, por ejemplo, 13 GW/cm2, una parte de la luz incidente se condensa en la region de procesamiento 91, y el resto se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa debil en la region de no procesamiento 92 en la figura 8(b). Mas espedficamente, una luz laser que tiene una energfa constante de, por ejemplo, 1 GW/cm2 se condensa en cada una de las posiciones de condensacion b1 a b12 existentes en la region de procesamiento 91. Entonces, una luz laser restante, mas espedficamente, una luz laser de 1 GW/cm2 excluyendo, de 13 GW/cm2 que es una energfa total de la luz laser irradiada, 12 GW/cm2 irradiada a las posiciones de condensacion b1 a b12 se dispersa cada 0,250 GW/cm2 (aqrn, 1,0/4 = 0,250) y se condensa en los cuatro puntos de posiciones de condensacion b13 a b16 de la region de no procesamiento 92.

La figura 8(c) muestra un estado de una luz laser emitida desde el modulador de luz espacial 20, donde se han presentado secuencialmente tres hologramas que se irradian, por medio del sistema optico de condensacion 30, a nueve puntos de posiciones de condensacion c1 a c9 dentro de la region de procesamiento 91, y se irradian a 16 puntos de posiciones de condensacion c10 a c25 dentro de la region de no procesamiento 92. En los nueve puntos de posiciones de condensacion c1 a c9 existentes en la region de procesamiento 91, una parte de la luz incidente se condensa como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X. Como que la luz laser que tiene una energfa no menor que el umbral X se condensa, una parte de la region de procesamiento 91 a la cual la luz laser se ha condensado e irradiado se procesa con un patron de dos barras oblicuas del caracter "V" despues de la condensacion y la irradiacion de la luz laser. Por otra parte, en los 16 puntos de posiciones de condensacion c10 a c25 existentes en la region de no procesamiento 92, una parte restante de la luz incidente (es decir, la luz incidente desde la cual la parte de la luz laser condensada a las posiciones de condensacion c1 a c9 ha sido excluida, que es una luz laser innecesaria en la superficie de procesamiento del objeto de procesamiento 90) se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa debil menor que el umbral predeterminado X. Como que la luz de no contribucion que tiene una energfa debil menor que el umbral X se condensa en las posiciones de condensacion c10 a c25 existentes en la region de no procesamiento 92, la region de no procesamiento 92 no se procesa, incluso despues de la condensacion y la irradiacion de la luz de no contribucion.

En el ejemplo descrito anteriormente, donde se supone una energfa total de una luz incidente tal como, por ejemplo,

13 GW/cm2, una parte de la luz incidente se condensa en la region de procesamiento 91, y el resto se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa debil en la region de no procesamiento 92 en la figura 8(c). Mas espedficamente, una luz laser que tiene una energfa constante de, por ejemplo, 1 GW/cm2 se condensa en cada una de las posiciones de condensacion c1 a c9 existentes en la region de procesamiento 91. Entonces, una luz laser restante, mas espedficamente, una luz laser de 4 GW/cm2 excluyendo, de 13 GW/cm2 que es una energfa total de la luz laser irradiada, 9 GW/cm2 irradiada a las posiciones de condensacion c1 a c9 se dispersa cada 0,250 GW/cm2 (aqrn, 4,0/16 = 0,250) y se condensa en los 16 puntos de posiciones de condensacion c10 a c25 de la region de no procesamiento 92.

Por lo tanto, incluso en el caso de no procesar los caracteres uno por uno en el orden de "H", "T" y "V", pero procesando en un orden predeterminado, mediante el tratamiento de una luz innecesaria como una luz de no contribucion que tiene una energfa inferior a un umbral predeterminado X con el fin de no contribuir al procesamiento, incluso si el numero de posiciones de condensacion en la region de procesamiento vana, la energfa de una luz de contribucion puede mantenerse constante y, por lo tanto, la irregularidad del procesamiento puede suprimirse con independencia del caracter.

Ademas, el tercer modo, asf como el segundo modo, si la energfa de una luz incidente es elevada, permite establecer apropiadamente el tamano de una energfa de irradiacion de luz laser en las respectivas posiciones de condensacion existentes en la region de procesamiento 91 y, por lo tanto, es preferible. Si la energfa de una luz incidente es grande, aumentando el numero de posiciones de condensacion (por ejemplo, b13 a b16) existentes en la region de no procesamiento 92, el tamano de una energfa de irradiacion de luz laser en las respectivas posiciones de condensacion existentes en la region de procesamiento 91 puede mantenerse adecuadamente.

[Procedimiento de procesamiento por laser, cuarto modo]

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Las figuras 9 son vistas que explican un cuarto modo del procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion. En cada una de la figura 9(a) a la figura 9(c), los drculos blancos indican posiciones de condensacion de la luz laser, y los drculos negros indican posiciones ya procesadas. Aqm, la luz laser se condensa y se irradia a la region de procesamiento 91 y la region de no procesamiento 92 del objeto de procesamiento 90 con el fin de llevar a cabo una visualizacion de multiples puntos de un solo caracter alfabetico de "H" para procesar el objeto de procesamiento 90. Ademas, primero se procesa una parte del caracter "H", despues se procesa otra parte del caracter "H", y por ultimo se procesa la parte restante del caracter "H".

La figura 9(a) muestra un estado de una luz laser emitida desde el modulador de luz espacial 20 que se irradia, por medio del sistema optico de condensacion 30, a seis puntos de posiciones de condensacion d1 a d6 dentro de la region de procesamiento 91, y se irradia a ocho puntos de posiciones de condensacion d7 a d14 dentro de la region de no procesamiento 92. En los seis puntos de posiciones de condensacion d1 a d6 existentes en la region de procesamiento 91, una parte de la luz incidente se condensa como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X. Como que la luz laser que tiene una energfa no menor que el umbral X se condensa en las posiciones de condensacion d1 a d6 existentes en la region de procesamiento 91, la region de procesamiento 91 se procesa despues de la condensacion y la irradiacion de la luz laser. Por otra parte, en los ocho puntos de posiciones de condensacion d7 a d14 existentes en la region de no procesamiento 92, una parte restante de la luz incidente (es decir, la luz incidente desde la cual se ha excluido la parte de la luz laser condensada en las posiciones de condensacion d1 a d6, que es una luz laser innecesaria en la superficie de procesamiento del objeto de procesamiento 90) se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa debil menor que el umbral predeterminado X. Como que la luz de no contribucion que tiene una energfa debil menor que el umbral X se condensa en las posiciones de condensacion d7 a d14 existentes en la region de no procesamiento 92, la region de no procesamiento 92 no se procesa, incluso despues de la condensacion y la irradiacion de la luz de no contribucion.

Ademas, para facilitar la comprension, si una energfa total de una luz incidente es, por ejemplo, 8 GW/cm2, en la figura 9(a), una parte de la luz incidente se condensa en la region de procesamiento 91, y el resto se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser que tiene una energfa debil en la region de no procesamiento 92. Mas espedficamente, una luz laser que tiene una energfa constante de, por ejemplo, 1 GW/cm2 se condensa en cada una de las posiciones de condensacion d1 a d6 existentes en la region de procesamiento 91. Entonces, una luz laser restante, es decir, una luz laser de 2 GW/cm2 excluyendo, de 8 GW/cm2 que es una energfa total de la luz incidente,

6 GW/cm2 irradiada a las posiciones de condensacion d1 a d6 se dispersa cada 0,250 GW/cm2 (aqrn, 2,0/8 = 0,250) y se condensa en los cuatro puntos de posiciones de condensacion d7 a d14 de la region de no procesamiento 92.

La figura 9(b) muestra un estado de una luz laser emitida desde el modulador de luz espacial 20 que se irradia completamente, por medio del sistema optico de condensacion 30, a ocho puntos de posiciones de condensacion e1 a e8 dentro de la region de procesamiento 91. Toda la parte de la luz incidente se condensa en los ocho puntos de las posiciones de condensacion e1 a e8 existentes en la region de procesamiento 91 como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X. Como que la luz laser que tiene una energfa no menor que el umbral X se condensa en las posiciones de condensacion e1 a e8 existentes en la region de procesamiento 91, la region de procesamiento 91 se procesa despues de la condensacion y la irradiacion de la luz laser.

En el ejemplo descrito anteriormente en el que se supone una energfa total de una luz incidente, por ejemplo, 8 GW/cm2, la luz incidente se condensa completamente en la region de procesamiento 91 en la figura 9(b). Mas espedficamente, una luz laser que tiene una energfa constante de, por ejemplo, 1 GW/cm2 se condensa en cada una de las posiciones de condensacion e1 a e8 existentes en la region de procesamiento 91.

La figura 9(c) muestra un estado de una luz laser emitida desde el modulador de luz espacial 20 que se irradia, por medio del sistema optico de condensacion 30, a tres puntos de posiciones de condensacion f1 a f3 dentro de la region de procesamiento 91, y se irradia a 20 puntos de posiciones de condensacion f4 para f23 dentro de la region de no procesamiento 92. En los tres puntos de posiciones de condensacion f1 a f3 existentes en la region de procesamiento 91, una parte de la luz incidente se condensa como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X. Como que la luz laser que tiene una energfa no menor que el umbral X se condensa en las posiciones de condensacion f1 a f3 existentes en la region de procesamiento 91, la region de procesamiento 91 se procesa despues de la condensacion y la irradiacion de la luz laser. Por otra parte, en los 20 puntos de las posiciones de condensacion f4 a f23 existentes en la region de no procesamiento 92, una parte restante de la luz incidente (es decir, la luz incidente desde la cual se ha excluido la parte de la luz laser condensada en las posiciones de condensacion f1 a f3, que es una luz laser innecesaria en la superficie de procesamiento del objeto de procesamiento 90) se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa debil menor que el umbral predeterminado X. Como que la luz de no contribucion tiene una energfa debil menor que el umbral X se condensa en las posiciones de condensacion f4 a f23 existentes en la region

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de no procesamiento 92, la region de no procesamiento 92 no se procesa, incluso despues de la condensacion y la irradiacion de la luz de no contribucion.

En el ejemplo que se ha descrito anteriormente, en el que se supone una energfa total de una luz incidente como, por ejemplo, 8 GW/cm2, una parte de la luz incidente se condensa en la region de procesamiento 91, y el resto se dispersa y se condensa como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa debil en la region de no procesamiento 92 en la figura 9(c). Mas espedficamente, una luz laser que tiene una energfa constante de, por ejemplo, 1 GW/cm2 se condensa en cada una de las posiciones de condensacion f1 a f3 existentes en la region de procesamiento 91. Entonces, una luz laser restante, mas espedficamente, una luz laser de 5 GW/cm2 excluyendo, de 8 GW/cm2 que es una energfa total de la luz incidente, 3 GW/cm2 irradiados a las posiciones de condensacion f1 a f3 se dispersan cada 0,250 GW/cm2 (aqrn, 5,0/20 = 0,250) y se condensan a los 20 puntos de las posiciones de condensacion f4 a f23 de la region de no procesamiento 92.

Por lo tanto, incluso en el caso de procesar el caracter de "H" en tres etapas, para cada instante, mediante el tratamiento de una luz innecesaria como una luz de no contribucion que tiene una energfa menor que un umbral predeterminado X con el fin de no contribuir a la transformacion, incluso si el numero de posiciones de condensacion en la region de procesamiento vana, la energfa de una luz contribucion puede mantenerse constante y, por lo tanto, la irregularidad del procesamiento puede suprimirse para cada instante.

[Procedimiento de procesamiento por laser, quinto modo]

La figura 10 y la figura 11 son vistas que explican un quinto modo del procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion. La figura 10 y la figura 11 muestran claramente que la region de procesamiento 91 puede disponerse no solo en la superficie de una superficie superior del objeto de procesamiento 90, sino tambien en el interior del objeto de procesamiento 90. Ademas, en este caso, la seccion de control 22 puede hacer, tal como se muestra en la figura 10, que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma a traves de la seccion de accionamiento 21 de manera que la altura H1 de una posicion de condensacion g1 existente en la region de procesamiento 91 con referencia a una superficie inferior 93 del objeto de procesamiento 90 y la altura H2 de una posicion de condensacion g2 existente en la region de no procesamiento 92 con referencia a la superficie inferior 93 se hagan iguales entre s! Alternativamente, la seccion de control 22 puede hacer, tal como se muestra en la figura 11, que el modulador de luz espacial 20 presente un holograma a traves de la seccion de accionamiento 21 de manera que la altura H1 de una posicion de condensacion g1 existente en la region de procesamiento 91 con referencia a una superficie inferior 93 del objeto de procesamiento 90 y la altura H2 de una posicion de condensacion g2 existente en la region de no procesamiento 92 con referencia a la superficie inferior 93 sean diferentes entre sf Tambien, en la figura 10 y la figura 11, por simple descripcion, la posicion de condensacion g1 existente en la region de procesamiento 91 y la posicion de condensacion g2 existente en la region de no procesamiento 92 solo se muestran una de cada una si bien, en realidad, las posiciones de condensacion g1 y g2 pueden ser cada una en numeros plurales, tal como se muestra en las figuras 6 a las figuras 9. Ademas, las cuestiones distintas a las anteriormente expuestas son comunes al primer modo.

Tambien en el quinto modo como este, una de luz laser emitida desde el modulador de luz espacial 20, donde se ha presentado un holograma predeterminado se encuentra, por medio del sistema optico de condensacion 30, en una parte de la luz incidente, condensado como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X en la posicion de condensacion g1 existente en la region de procesamiento 91, mientras que se condensa como una luz de no contribucion que tiene una energfa menor que el umbral X en la posicion de condensacion g2 existente en la region de no procesamiento 92. Por lo tanto, incluso si la region de procesamiento 91 se dispone no solo en la superficie de una superficie superior del objeto de procesamiento 90, sino tambien dentro del objeto de procesamiento 90, mediante el tratamiento de una luz innecesaria como una luz de no contribucion que tiene una energfa menor que un umbral predeterminado X con el fin de no contribuir al procesamiento, incluso si el numero de posiciones de condensacion en la region de procesamiento vana, la energfa de una luz contribucion puede mantenerse constante y, por lo tanto, la irregularidad de procesamiento puede suprimirse.

[Procedimiento de alteracion de hologramas]

Los hologramas pueden crearse mediante el procedimiento GS, el procedimiento ORA, o similar, tal como se ha descrito anteriormente, pero si hace que el modulador de luz espacial 20 presente los respectivos hologramas creados, y se hace que una luz laser emitida despues de haber sido modulada en fase por el modulador de luz espacial 20 condense en las posiciones de condensacion predeterminadas por medio del sistema optico de condensacion 30, en realidad, existe un caso en el que la energfa de la luz laser en las respectivas posiciones de condensacion dentro de la region de procesamiento 91 no es constante. En tal caso, es necesario alterar mediante hologramas de retroalimentacion creados por el procedimiento descrito anteriormente. La figura 12 es un diagrama de flujo de un procedimiento de alteracion de hologramas en la primera realizacion.

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Para alterar un holograma, se hace que el modulador de luz espacial 20 presente el holograma, se hace que una luz laser despues de ser modulada en fase mediante el modulador de luz espacial 20 condense en unas posiciones de condensacion predeterminadas por medio del sistema optico de condensacion 30 (etapa S21), y la energfa de la luz laser en las respectivas posiciones de condensacion se mide mediante un CCD (dispositivo de carga acoplada) (etapa S22). Si la energfa medida de la luz laser en las respectivas posiciones de condensacion es tal como desea (Sf en la etapa S23), el proceso termina aqu! Por otra parte, si la energfa medida de la luz laser en las respectivas posiciones de condensacion no es tal como se desea (No en la etapa S23), se determina la energfa Ibase de un punto de referencia de cualquiera de las posiciones de condensacion de medicion (etapa S24), la amplitud de una luz laser que se requiere reproducir en las respectivas posiciones de condensacion en un patron deseado se vana de acuerdo con las mismas (etapa S25), y se vuelve a crear un holograma generado por ordenador (etapa S26).

La energfa de la luz laser en las respectivas posiciones de condensacion medida en la etapa S22 se da como In. En la etapa S25, se determina una relacion (=In/Ibase) de la energfa Ibase del punto de referencia determinado en la etapa S24 y la energfa en las respectivas posiciones de condensacion, y se determina un tono tn de los respectivos puntos despues de la alteracion, con el tono de un punto utilizado como base en un patron original como We, mediante una formula "tn = We (We/In)1/2". Entonces, en la etapa S26, en base al tono tn de los respectivos puntos despues de la alteracion, se vuelve a crear un holograma generado por ordenador mediante el procedimiento GS, el procedimiento ORA, o similar.

Ademas, la retroalimentacion del procedimiento ORA se ha descrito en "Hidetomo Takahashi, Satoshi Hasegawa, y Yoshio Hayasaki, 'Holographic femtosecond laser processing using optimal-rotation-angle method with compensation of spatial frequency response of liquid crystal spatial frequency response of liquid crystal spatial light modulator’. Applied Optics, vol. 46, Ed. 23, pags. 5917-5923."

Tal alteracion de hologramas por retroalimentacion puede aplicarse tambien a cuando intencionadamente se hace que la energfa de la luz laser sea no uniforme en posiciones de condensacion de la luz laser en la region de procesamiento 91 en cada momento de procesamiento.

(Segunda realizacion)

A continuacion, se dara una descripcion de una segunda realizacion de un dispositivo de tratamiento por laser y un procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la presente invencion. Existe una diferencia en que la unidad de condensacion y procesamiento es un "punto (punto, posicion de condensacion)" en la primera realizacion anterior, mientras que la unidad de condensacion y procesamiento no es un "punto", sino un "patron (region de condensacion) que tiene un area constante" en la segunda realizacion. Ademas, esta frase "patron que tiene un area constante" connota una "lmea". Ademas, como la segunda realizacion es basicamente la misma que la primera realizacion anterior, excepto que la unidad de condensacion y procesamiento no es un" punto" sino un "patron que tiene un area constante", a continuacion, se dara una breve descripcion principalmente de la diferencia de la primera realizacion.

[Configuracion del dispositivo de procesamiento por laser 1]

La configuracion general del dispositivo de procesamiento por laser 1 de acuerdo con la segunda realizacion es casi la misma que la que se muestra en la figura 1. Sin embargo, existe una diferencia en la funcion de la seccion de control 22. Mas espedficamente, la seccion de control 22 de acuerdo con la segunda realizacion hace que el modulador de luz espacial 20 presente secuencialmente una pluralidad de hologramas. Entonces, la seccion de control 22, al haber hecho que una luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial 20 donde se han presentado respectivamente una pluralidad de hologramas se reciba en el sistema optico de condensacion 30, en una region de condensacion existente en la region de procesamiento 91 de una region de condensacion predeterminada del objeto de procesamiento 90, hace que una parte de la luz laser modulada en fase se condense como un laser (luz de contribucion) que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X. Por otra parte, la seccion de control 22, en una region de condensacion existente en la region de no procesamiento 92 de la region de condensacion predeterminada del objeto de procesamiento 90, hace que una parte restante de la luz laser modulada en fase se condense como una luz laser (luz de no contribucion) que tiene una energfa debil menor que el umbral X para procesar, por lo tanto, el objeto de procesamiento 90.

[Procedimiento de procesamiento por laser, correspondiente al primer modo de la primera realizacion]

Lo mismo que en el primer modo del procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion descrita anteriormente se aplica a la segunda realizacion en la que la unidad de condensacion y procesamiento no es un "punto" sino un "patron que tiene un area constante". Las figuras 13 son vistas para explicar lo mismo. La figura 13(a) muestra un estado de luz laser que se irradia, con el fin de procesar el caracter "H", a una

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region de condensacion (patron h) que tiene un area Y1 en el interior de la region de procesamiento 91. La region de condensacion (patron h) que tiene un area Y1 mostrada en la figura 13(a) existe en su totalidad en el interior de la region de procesamiento 91, y toda la parte de la luz incidente se irradia como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X al patron h. Como que la luz laser que tiene una energfa no menor que el umbral X se condensa, una parte de la region de procesamiento 91 a la cual la luz laser se ha condensado e irradiado se procesa con un patron del caracter "H" despues de la condensacion y la irradiacion de la luz laser. Ademas, como en la primera realizacion, el caracter "H" (una "region de procesamiento predeterminada" en las reivindicaciones) requiere la energfa mas elevada para su procesamiento entre los caracteres "H", "P" y "K" de las figuras 13, y la figura13(a) es un caso en el que una luz laser que tiene la misma energfa que la requerida para el procesamiento del caracter "H" se hace incidente.

La figura 13(b) muestra un estado de luz laser que se irradia, con el fin de procesar el caracter "P", a una region de condensacion (patron p) que tiene un area Y2 en el interior de la region de procesamiento 91, y se irradia a una region de condensacion (patron p1) que tiene un area Y3 en el interior de la region de no procesamiento 92. En la region de condensacion (patron p) que tiene un area Y2 existente en la region de procesamiento 91, una parte de la luz incidente se condensa como una luz de contribucion tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X. Como que la luz laser que tiene una energfa no menor que el umbral X se condensa, una parte de la region de procesamiento 91 a la cual la luz laser se ha condensado e irradiado se procesa con un patron del caracter "P" despues de la condensacion y la irradiacion de la luz laser. Por otro lado, en la region de condensacion (patron p1) que tiene un area Y3 existente en la region de no procesamiento 92, una parte restante de la luz incidente (es decir, la luz incidente desde la cual se ha excluido la parte de la luz laser condensa al patron p, una luz innecesaria) se condensa como una luz laser que tiene una debil energfa menor que el umbral predeterminado X.

La figura 13(c) muestra un estado de luz laser que irradia, con el fin de procesar el caracter "K", a una region de condensacion (patron k) que tiene un area Y4 dentro de la region de procesamiento 91, e irradia a una region de condensacion (patron k1) que tiene un area Y5 dentro de la region de no procesamiento 92. En la region de condensacion (patron k) que tiene un area Y4 existente en la region de procesamiento 91, una parte de la luz incidente se condensa como una luz de contribucion tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X. Como que la luz laser que tiene una energfa no menor que el umbral X se condensa, una parte de la region de procesamiento 91 a la cual la luz laser se ha condensado e irradiado se procesa con un patron del caracter "K" despues de la condensacion e irradiacion de la luz laser. Por otra parte, en la region de condensacion (patron k1) que tiene un area Y5 existente en la region de no procesamiento 92, una parte restante de la luz incidente (es decir, la luz incidente desde la cual se ha excluido la parte de la luz laser condensa al patron k, una luz innecesaria) se condensa como una luz laser que tiene una debil energfa menor que el umbral predeterminado X.

En la descripcion anterior con referencia a las figuras 13, Y1, Y2, e Y4 son ejemplos del area de una region de condensacion existente dentro de la region de procesamiento 91, y la relacion de tamano entre estas es, por ejemplo, Y1>Y2>Y4. Ademas, si se parafrasea la relacion de tamano entre Y1, Y2 e Y4, puede suponerse en asociacion con el primer modo (figuras 6) de la primera realizacion descrita anteriormente que, por ejemplo, el area Y1 es un area para 12 puntos, la zona Y2 es un area para 11 puntos, y el area Y4 es un area para 10 puntos. En este caso, en que una energfa total de una luz laser para irradiar al objeto de procesamiento 90 es, por ejemplo,

12,0 GW/cm2, una luz laser que tiene una energfa constante (1 GW/cm2) no menor que el umbral X se condensa en el patron h por 12 puntos (12 GW/cm2). Una luz laser que tiene una energfa constante (1 GW/cm2) no menor que el umbral X se condensa en el patron p por 11 puntos (11 GW/cm2), mientras que una luz innecesaria para un punto se condensa en el patron p1 como una luz de no contribucion que tiene una energfa debil (0,250 GW/cm2) menor que el umbral predeterminado X. Una luz laser que tiene una energfa constante (1 GW/cm2) no menor que el umbral X se condensa con el modelo k por 10 puntos (10 GW/cm2), mientras que una luz innecesaria por dos puntos se condensa en el patron k1 como una luz de no contribucion que tiene una energfa debil (0,250 GW/cm2) menor que el umbral predeterminado X. Como que una luz innecesaria es el doble que en el patron p1 se condensa en el patron k1, el area Y5 es el doble de grande que el area Y3. Ademas, no se genera luz innecesaria en el procesamiento del caracter "H", y la luz incidente se condensa completamente en el patron h como una luz de contribucion.

En el modo descrito anteriormente, una luz laser emitida desde el modulador de luz espacial 20, donde se han presentado secuencialmente hologramas correspondientes a "H", "P" y "K", respectivamente, se condensa, por medio del sistema optico de condensacion 30, en la region de condensacion (patron h, p, k) existente en la region de procesamiento 91 como una luz de contribucion que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado X, mientras que, en la posicion de condensacion (patron p1, k1) existente en la region de no- procesamiento 92, se condensa como una luz de no contribucion que tiene una energfa menor que el umbral X. Por lo tanto, incluso en el caso de no procesar los caracteres uno por uno en el orden de "H", "P" y "K" no como un punto sino como un patron, mediante el tratamiento de una luz innecesaria como una luz de no contribucion que tiene una energfa menor que un umbral predeterminado X con el fin de no contribuir al procesamiento, incluso si el area de una region de condensacion en la region de procesamiento vana, la energfa de una luz de contribucion puede

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mantenerse constante y, por lo tanto, la irregularidad de procesamiento puede suprimirse con independencia del caracter.

[Correspondiente a otros asuntos de la primera realizacion]

Por lo anterior, teniendo en cuenta el hecho de que la unidad de condensacion y procesamiento no es un "punto (punto, posicion de condensacion)", sino un "patron (region de condensacion) que tiene un area constante", se ha dado una descripcion de que lo mismo que en el primer modo del procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion se aplica a la segunda realizacion. Si se toma en consideracion la descripcion anterior, los expertos en la materia entenderan facilmente que, tambien en relacion con otros asuntos de la primera realizacion, es decir, el segundo modo, el tercer modo, el cuarto modo, y el quinto modo del procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la primera realizacion y el procedimiento de alteracion de hologramas, teniendo en cuenta el hecho de que la unidad de condensacion y procesamiento no es "un punto" sino "un patron" que tiene un area constante, lo mismo se aplica a la segunda realizacion. Sin embargo, es preferible, para una facil comprension, reemplazar, en las descripciones respectivas de la primera realizacion, la descripcion de una "posicion de condensacion", por una "region de condensacion", y la descripcion de "una pluralidad de posiciones de condensacion" por "una region de condensacion predeterminada". En particular, en el quinto modo de la primera realizacion, considerando las posiciones de condensacion g1 y g2 descritas mediante la visualizacion con puntos en la figura 10 y la figura 11 como patrones g3 y g4 que tienen areas constantes, tal como se muestra en la figura 14, permite una facil comprension.

(Ejemplo 1)

Aqrn, se supone un caso de primer procesamiento en dos puntos de posiciones de condensacion dentro de la region de procesamiento 91, y despues el procesamiento en cuatro puntos de posiciones de condensacion dentro de la region de procesamiento 91. En un ejemplo comparativo, tal como se muestra en las figuras 15, el numero total de posiciones de condensacion dentro de la region de procesamiento 91 se dispone primero como 2 (figura 15 (a)), y despues se dispone el numero total de posiciones de condensacion dentro de la region de procesamiento 91 como 4 (figura 15(b)). Dado que, evidentemente, el tratamiento de luz innecesaria no se considera, no existe una posicion de condensacion en la region de no procesamiento 92 en las figuras 15 como un todo. Por otra parte, en el Ejemplo 1, primero se proporcionan dos puntos de posiciones de condensacion en la region de procesamiento 91 y ocho puntos de posiciones de condensacion en la region de no procesamiento 92 (figura 16(a)), y despues se proporcionan cuatro puntos de posiciones de condensacion en la region de procesamiento 91 y cero puntos de posiciones de condensacion en la region de no procesamiento 92 (figura 16(b)).

La figura 17 es una tabla que resume las energfas de luz laser en las respectivas posiciones de condensacion en el ejemplo comparativo. Puede entenderse que, en el ejemplo comparativo, la energfa total de la luz incidente es de aproximadamente 4 GW/cm2, y la energfa de la luz laser para el procesamiento difiere entre si el tratamiento se lleva a cabo en dos puntos y si el procesamiento se realiza en cuatro puntos (tal como, por ejemplo, 2 GW/cm2 y 1 GW/cm2 en terminos de punto 1). Debido a un cambio en la energfa luminosa, es diffcil un procesamiento uniforme. Por otro lado, la figura 18 es una tabla que resume las energfas de luz laser en las respectivas posiciones de condensacion en el Ejemplo 1. Puede entenderse que, en el Ejemplo 1, la energfa total de la luz incidente es de aproximadamente 4 GW/cm2, e incluso si el numero de posiciones de condensacion en la region de procesamiento 91 es variable, ya que una luz innecesaria restante se trata adecuadamente en la region no de procesamiento 92, la energfa de la luz laser en las respectivas posiciones de condensacion dentro de la region de procesamiento 91 es casi constante (casi constante dentro de un rango de entre 0,990 GW/cm2 y 1,020 GW/cm2). En la figura 16(a) se generan luces innecesarias para dos posiciones de condensacion en comparacion con la figura 16(b), pero estas son tratadas en la region de no procesamiento 92 como ocho puntos de luces de no contribucion que tienen cada uno una energfa debil (aproximadamente 0,250 GW/cm2) de aproximadamente una cuarta parte. Tambien, en las figuras 15 y las figuras 16, se expresa una diferencia en la energfa de la luz laser proporcional al tamano de los drculos blancos.

(Ejemplo 2)

El ejemplo 2 se llevo a cabo bajo las mismas condiciones que las del Ejemplo 1 descrito anteriormente, pero hay una diferencia en que la unidad de condensacion y procesamiento no es un "punto" sino un "patron que tiene un area constante". Mas espedficamente, en el Ejemplo 2, tal como se muestra en las figuras 19, primero se proporciona la region de condensacion en la region de procesamiento 91 como un patron lineal A que tiene un area Y6, y se proporciona la region de condensacion en la region de no procesamiento 92 como un patron B que tiene un area Y7 (figura 19(a)). Despues se proporciona la region de condensacion en la region de procesamiento 91 como un patron lineal C que tiene un area Y8, y no se proporciona ninguna region de condensacion en la region de no procesamiento 92 (figura 19(b). Sin embargo, Y6 y Y8 son ejemplos del area de una region de condensacion existente dentro de la region de procesamiento 91, y la relacion de tamano entre ellas es, por ejemplo, Y6<Y8.

Ademas, si se parafrasea la relacion de tamano entre Y6 y Y8, puede suponerse en asociacion con el Ejemplo 1 descrito anteriormente que, por ejemplo, el area Y6 es un area para dos puntos, y el area Y8 es un area para cuatro puntos. En este caso, en la figura 19(a) se generan luces innecesarias para dos puntos en comparacion con la figura 19(b), pero estas se tratan en el patron B que tiene un area Y7 en la region de no procesamiento 92 como luces de 5 no de contribucion que cada una tiene una energfa debil de aproximadamente un cuarto.

La figura 20 es una tabla que resume las energfas de luz laser en las respectivas regiones de condensacion en el Ejemplo 2. Puede entenderse que, en el Ejemplo 2, incluso si el area de una region de condensacion en la region de procesamiento 91 vana, como que una luz innecesaria restante se trata adecuadamente en la region de no 10 procesamiento 92, la energfa de luz laser en las respectivas regiones de condensacion (patron A y patron C) dentro de la region de procesamiento 91 es casi constante (una energfa equivalente a un punto es 1,0 GW/cm2 o 1,010 GW/cm2, que es casi constante). Por otra parte, la energfa de luz laser en una region de condensacion (patron B) dentro de la region de no procesamiento 92 es inferior a un umbral predeterminado X (una energfa equivalente a un punto es 0,250 GW/cm2) para no contribuir al procesamiento. Ademas, en el ejemplo anterior, ya que el area Y6 del 15 patron A es un area para dos puntos, una energfa total de una luz laser que se condensa en el patron A es 2

GW/cm2. Ademas, como que el area Y8 del patron C es un area para cuatro puntos, una energfa total de una luz laser para condensarse al patron C es 4,040 GW/cm2.

Aplicabilidad Industrial

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La presente invencion proporciona un dispositivo de procesamiento por laser y un procedimiento de procesamiento por laser que permiten mantener la energfa de la luz laser que se irradia a una posicion de condensacion o region de condensacion existente en una region de procesamiento casi constante.

Claims

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REIVINDICACIONES

1. Dispositivo de procesamiento por de laser, que es un dispositivo para procesar un objeto de procesamiento condensando e irradiando luz laser al objeto de procesamiento, que comprende:

una fuente de luz laser (10) para emitir luz laser;

un modulador de luz espacial que modula en fase (20) para recibir luz laser emitida desde la fuente de luz laser (10), que presenta un holograma para modular la fase de la luz laser en cada uno de una pluralidad de pfxeles dispuestos bidimensionalmente, y emitir la luz laser modulada en fase;

un sistema optico de condensacion (30) dispuesto en una etapa posterior del modulador de luz espacial; y una seccion de control (22) para hacer que el modulador de luz espacial (20) presente un holograma para condensar la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial (20) a una pluralidad de posiciones de condensacion (h1-h12, p1-p15, k1-k16), por medio del sistema optico de condensacion (30),

caracterizado por el hecho de que la seccion de control (22) hace que:

el modulador de luz espacial (20) presente secuencialmente una pluralidad de hologramas, y al haber hecho que la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial (20) donde se ha presentado cada uno de los hologramas se reciba en el sistema optico de condensacion (30), en una posicion de condensacion (h1-h12, p1-p11, k1-k10) existente en una region de procesamiento (91) del objeto de procesamiento fuera de las posiciones de condensacion, una parte de la luz laser modulada en fase que se condensa como una luz laser que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado, mientras que en una posicion de condensacion (p12-p15, k11-k16) existente en una region (92) distinta de la region de procesamiento fuera de las posiciones de condensacion, una parte restante de la luz laser modulada en fase se condensa como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa menor que el umbral, procesando de este modo el objeto de procesamiento.
2. Dispositivo de procesamiento por laser de acuerdo con la reivindicacion 1, en el que el umbral es un valor que indica una energfa de luz laser para iniciar el procesamiento de la region de procesamiento (91).
3. Dispositivo de procesamiento por laser de acuerdo con la reivindicacion 1 o la reivindicacion 2, en el que cuando una energfa de luz laser modulada en fase es la misma que una energfa para procesar una region de procesamiento predeterminada que requiere la energfa mas elevada para su procesamiento, la seccion de control (22) hace que toda la parte de la luz laser modulada en fase se condense, como una pluralidad de luces laser que tienen una energfa constante no menor que el umbral, en una pluralidad de posiciones de condensacion existentes en la region de procesamiento predeterminada, respectivamente.
4. Dispositivo de procesamiento por laser de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones 1 a 3, en el que la region de procesamiento (91) existe en el interior del objeto de procesamiento, y una posicion de condensacion existente en la region de procesamiento (91) con referencia a una superficie inferior del objeto de procesamiento y una posicion de condensacion existente en una region (92) distinta de la region de procesamiento con referencia a la superficie inferior son diferentes en altura entre sf
5. Procedimiento de procesamiento por laser, que es un procedimiento para procesar un objeto de procesamiento condensando e irradiando luz laser al objeto de procesamiento, que utiliza:

una fuente de luz laser (10) para emitir luz laser;

un modulador de luz espacial que modula en fase (20) para recibir una luz laser emitida desde la fuente de luz laser (10), que presenta un holograma para modular la fase de la luz laser en cada uno de una pluralidad de pfxeles dispuestos bidimensionalmente, y que emite la luz laser modulada en fase;

un sistema optico de condensacion (30) dispuesto en una etapa posterior del modulador de luz espacial (20); y una seccion de control (22) para hacer que el modulador de luz espacial (20) presente un holograma para condensar la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial (20) en una pluralidad de posiciones de condensacion (h1-h12, p1-p15, k1-k16) por medio del sistema optico de condensacion (309), en el que el procedimiento de procesamiento por laser hace que, por medio de la seccion de control (22), caracterizado por el hecho de que el modulador de luz espacial (20) presenta secuencialmente una pluralidad de hologramas; y, al haber hecho que la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial (20) donde se han presentado cada uno de los hologramas, sea recibida en el sistema optico de condensacion (30), en una posicion de condensacion (h1-h12, p1 -p11, k1-k10) existente en una region de procesamiento (91) del objeto de procesamiento fuera de las posiciones de condensacion, una parte de la luz laser modulada en fase se condense como una luz laser que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado, mientras que en una posicion de condensacion (p12-p15, k1-k16) existente en una region (92) distinta de la region de procesamiento fuera de las posiciones de condensacion, una parte restante de la luz laser modulada en fase se condense como

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una pluralidad de luces laser que tienen una energfa menor que el umbral, procesando de este modo el objeto de procesamiento.
6. Procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la reivindicacion 5, en el que el umbral es un valor que indica una energfa de luz laser para iniciar el procesamiento de la region de procesamiento (91).
7. Procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la reivindicacion 5 o la reivindicacion 6, caracterizado por el hecho de que la region de procesamiento (91) existe en el interior del objeto de procesamiento, y una posicion de condensacion existente en la region de procesamiento (91) con referencia a una superficie inferior del objeto de procesamiento y una posicion de condensacion (92) existente en una region distinta de la region de procesamiento con referencia a la superficie inferior son diferentes en altura entre sf
8. Dispositivo de tratamiento por laser, que es un dispositivo para procesar un objeto de procesamiento condensando e irradiando luz laser al objeto de procesamiento, que comprende:

una fuente de luz laser (10) para emitir luz laser;

un modulador de luz espacial que modula en fase (20) para recibir una luz laser emitida desde la fuente de luz laser (10), que presenta un holograma para modular la fase de la luz laser en cada uno de una pluralidad de pfxeles dispuestos bidimensionalmente, y que emite la luz laser modulada en fase;

un sistema optico de condensacion (30) dispuesto en una etapa posterior del modulador de luz espacial (20); y una seccion de control (22) para hacer que el modulador de luz espacial (20) presente un holograma para condensar la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial (20) en una region de condensacion predeterminada (Y1-Y5) por medio del sistema optico de condensacion (30), caracterizado por el hecho de que la seccion de control (22) hace que: el modulador de luz espacial (20) presente secuencialmente una pluralidad de hologramas; y al haber hecho que la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial (20) donde se ha presentado cada uno de los hologramas se reciba en el sistema optico de condensacion (30), en una region de condensacion (Y1, Y2, Y4) existente en una region de procesamiento (91) del objeto de procesamiento de la region de condensacion predeterminada, una parte de la luz laser modulada en fase se condense como una luz laser que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado, mientras que en una region de condensacion (Y3, Y5) existente en una region (92) distinta de la region de procesamiento de la region de condensacion predeterminada, una parte restante de la luz laser modulada en fase se condense como una luz laser que tiene una energfa menor que el umbral, procesando, de este modo, el objeto de procesamiento.
9. Dispositivo de procesamiento por laser de acuerdo con la reivindicacion 8, en el que el umbral es un valor que indica una energfa de luz laser para iniciar el procesamiento de la region de procesamiento (91).
10. Dispositivo de procesamiento por laser de acuerdo con la reivindicacion 8 o la reivindicacion 9, en el que cuando una energfa de la luz laser modulada en fase es la misma que una energfa para procesar una region de procesamiento predeterminada que requiere la energfa mas elevada para el procesamiento, la seccion de control (22) hace que toda la parte de la luz laser modulada en fase se condense, como una luz laser que tiene una energfa constante no menor que el umbral, en una region de condensacion existente en la region de procesamiento predeterminada.
11. Dispositivo de procesamiento por laser de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 8 a 10, en el que la region de procesamiento (91) existe en el interior del objeto de procesamiento, y una region de condensacion existente en la region de procesamiento (91) con referencia a una superficie inferior del objeto de procesamiento y una region de condensacion existente en una region (92) distinta de la region de procesamiento con referencia a la superficie inferior son diferentes en altura entre ellas.
12. Procedimiento de procesamiento por laser, que es un procedimiento para el procesamiento de un objeto de procesamiento condensando e irradiando luz laser al objeto de procesamiento, utilizando:

una fuente de luz laser (10) para emitir luz laser;

un modulador de luz espacial que modula en fase (20) para recibir una luz laser emitida desde la fuente de luz laser (10), que presenta un holograma para modular la fase de la luz laser en cada uno de una pluralidad de pfxeles dispuestos bidimensionalmente, y que emite la luz laser modulada en fase;

un sistema optico de condensacion (30) dispuesto en una etapa posterior del modulador de luz espacial (20); y una seccion de control (22) para hacer que el modulador de luz espacial presente un holograma para condensar la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial (20) en una region de condensacion predeterminada (Y1-Y5) por medio del sistema optico de condensacion (30), en el que el procedimiento de procesamiento por laser hace que, por medio de la seccion de control (22):

caracterizado por el hecho de que el modulador de luz espacial (20) presenta secuencialmente una pluralidad de hologramas; y

al haber hecho que la luz laser modulada en fase emitida desde el modulador de luz espacial donde se ha presentado cada uno de los hologramas se reciba en el sistema optico de condensacion, en una region de 5 condensacion (Y1, Y2, Y4) existente en una region de procesamiento del objeto de procesamiento de la region de condensacion predeterminada, una parte de la luz laser modulada en fase se condense como una luz laser que tiene una energfa constante no menor que un umbral predeterminado, mientras que en una region de condensacion (Y3, Y5) existente en una region (92) distinta de la region de procesamiento de la region de condensacion predeterminada, una parte restante de la luz laser modulada en fase condense como una luz laser que tiene una

10 energfa menor que el umbral procesando, de este modo, el objeto de procesamiento.
13. Procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la reivindicacion 12, en el que el umbral es un valor que indica una energfa de luz laser para iniciar el procesamiento de la region de procesamiento (91).

15 14. Procedimiento de procesamiento por laser de acuerdo con la reivindicacion 12 o la reivindicacion 13, en el que la

region de procesamiento (91) existe dentro del objeto de procesamiento, y una region de condensacion existente en la region de procesamiento (91) con referencia a una superficie inferior del objeto de procesamiento y una region de condensacion existente en una region (92) distinta de la region de procesamiento con referencia a la superficie inferior son diferentes en altura entre sf