JPWO2009128138A1 - 校正用ガスセルを搭載したガス分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
3 温度調節機構
6 制御部
4 レーザ駆動回路
8 光検出器
10 レーザ光の光路
12 試料気体計測用ガスセル
14,14a〜14d 校正用ガスセル
16 演算装置
22 校正用ガスセル装着機構の支持機構
23 セルホルダ
15 貫通穴
30 波長変動データ保持部
32 波長変動データ校正部
40 検量線データ保持部
42 検量線データ校正部
44 吸光度集西部
度校正用ガスセルを光路10上に配置して吸光度Ab1を測定する。次に、感度校正用ガスセル14としてCOが既知の濃度C2で封入された感度校正用ガスセルを光路10上に配置して吸光度Ab2を測定する。検量線データ校正部42は得られた2つのCO濃度C1,C2での吸光度Ab1,Ab2を用いて検量線データ保持部40に保持されている検量線データを図11中にA1で示されるように校正する。もちろん、3つ以上の濃度の異なる感度校正用ガスセルを使用して感度校正を行ってもよいし、検量線が原点を通ることを仮定して1つ感度校正用ガスセルで感度校正してもよい。
Claims (9)
- 試料気体中の測定対象成分により吸収される特定波長の測定光としてのレーザ光を発生するレーザ光源と、
前記レーザ光源の駆動を制御するレーザ光源駆動制御装置と、
前記レーザ光を受光する位置に配置された光検出器と、
前記レーザ光源から光検出器に至るレーザ光の光路上に配置された試料気体の計測用ガスセルと、
校正用ガスが封入された少なくとも1つの校正用ガスセルと、
前記校正用ガスセルのうちの1つを前記光路上に着脱可能に配置することのできる校正用ガスセル装着機構と、
前記光検出器の検出信号に基づいて試料気体中の測定対象成分濃度を算出する演算装置と、
を備えたレーザ吸収分光測定のための分析装置。 - 前記レーザ光源は波長変更可能なレーザ光源であり、
前記レーザ光源駆動制御装置は前記レーザ光源の駆動条件を規定するパラメータと発生するレーザ波長との関係を示す波長変動データを保持する波長変動データ保持部を備えており、
測定対象成分測定時には前記レーザ光源駆動制御装置は保持している波長変動データに基づいて前記レーザ光源が特定波長のレーザ光を発生するように前記レーザ光源の駆動を制御するものである請求項1に記載の分析装置。 - 前記波長変更可能なレーザ光源はレーザ本体の温度を調節する温度調節機構を備えてレーザ本体の温度により発生レーザ波長を変化させうるものであり、
前記レーザ光源駆動制御装置はレーザ光源を駆動するためのレーザ本体への一定の基準電流と、レーザ本体の温度を調節するための前記温度調節機構への電流とを供給するものであり、
前記波長変更可能なレーザ光源からの発生レーザ波長を固定するときはレーザ本体の温度が一定になるように前記温度調節機構への電流供給を制御し、発生レーザ波長を変化させるときはレーザ本体の温度が変化するように前記温度調節機構への電流供給を制御するものである請求項2に記載の分析装置。 - 前記校正用ガスセルとして既知の吸収ピーク波長をもつガスが封入された波長校正用ガスセルを含み、
前記レーザ光源駆動制御装置は前記波長校正用ガスセルが前記光路に装着されたときの吸収ピークの波長を基にして前記波長変動データ保持部の波長変動データを校正する波長変動データ校正部を備えている請求項3に記載の分析装置。 - 前記波長校正用ガスセルとして前記特定波長よりも長波長側の吸収ピーク波長をもつガスが封入された第1の波長校正用ガスセルと、前記特定波長よりも短波長側の吸収ピーク波長をもつガスが封入された第2の波長校正用ガスセルを含む請求項4に記載の分析装置。
- 前記校正用ガスセルとして互いに異なる既知濃度の測定対象成分が封入された少なくとも1個の感度校正用ガスセルを含み、
前記演算装置は測定対象成分濃度を算出するための検量線データを保持する検量線データ保持部と、前記感度校正用ガスセルが前記光路に装着されたときの吸光度により前記検量線データ保持部の検量線データを校正する検量線データ校正部を備えている請求項1から4のいずれか一項に記載の分析装置。 - 前記感度校正用ガスセルは試料気体測定時にもレーザ光の光路上に配置され、
前記演算装置は光検出器から求められる吸光度から試料気体測定時にレーザ光の光路上に配置された感度校正用ガスセルによる吸光度を引く吸光度修正部を備えている請求項6に記載の分析装置。 - 前記校正用ガスセル装着機構は校正用ガスセルを前記光路上に着脱可能に装着できる支持機構である請求項1から7のいずれか一項に記載の分析装置。
- 前記校正用ガスセル装着機構は回転中心を中心とする円周上に貫通穴と複数個の校正用ガスセルが配置されたセルホルダーを備え、該ホルダーを回転させることにより前記光路上に貫通穴又はいずれかの校正用ガスセルを配置するものである請求項1から8のいずれか一項に記載の分析装置。
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JP6314605B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2018-04-25 | 株式会社島津製作所 | ガス分析装置 |
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KR101623845B1 (ko) * | 2014-10-22 | 2016-06-08 | 주식회사 이엘 | 가스분석장치의 캘리브레이션 자동화 시스템 및 이를 이용한 온실가스 저감량 측정 자동화 시스템 |
CN105388439A (zh) * | 2015-11-03 | 2016-03-09 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 | 一种led芯片测试的多波段校准方法 |
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DE102016226215A1 (de) * | 2016-12-23 | 2018-06-28 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Korrektur der Wellenlänge und des Abstimmbereichs eines Laserspektrometers |
US10788420B2 (en) * | 2018-04-25 | 2020-09-29 | Yokogawa Electric Corporation | Gas analyzer |
CN109030363A (zh) * | 2018-08-17 | 2018-12-18 | 杭州因诺维新科技有限公司 | 一种激光气体分析仪 |
CN109596566A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-04-09 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种气体检测吸收腔体内部温度和压力一体化控制装置 |
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KR102154671B1 (ko) * | 2019-03-27 | 2020-09-10 | 주식회사 이엘 | 반도체 및 디스플레이 공정배출 온실가스 저감시설의 저감효율 자동측정분석시스템 |
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CN111982849A (zh) * | 2020-07-15 | 2020-11-24 | 国网山东省电力公司电力科学研究院 | 一种氨逃逸分析仪表在线校准系统及方法 |
CN112345528A (zh) * | 2020-11-18 | 2021-02-09 | 北京凯尔科技发展有限公司 | 一种带自动校准功能的气体分析装置及校准方法 |
CN112697740B (zh) * | 2020-12-10 | 2022-09-23 | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 | 一种表层海水中溶存甲烷检测系统及检测方法 |
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Family Cites Families (13)
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US3904880A (en) * | 1973-05-10 | 1975-09-09 | Honeywell Inc | Multi-component infrared analyzer |
JPS56163442A (en) * | 1980-05-22 | 1981-12-16 | Fujitsu Ltd | Method for detecting gas concentration |
JPS582638A (ja) * | 1981-06-29 | 1983-01-08 | Fujitsu Ltd | ガス濃度検出方式 |
JPS5890147A (ja) * | 1981-11-25 | 1983-05-28 | Fujitsu Ltd | 気体状物質の検知方式 |
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SE8802536D0 (sv) * | 1988-07-07 | 1988-07-07 | Altoptronic Ab | Metod och apparat for spektroskopisk metning av koncentrationen av en gas i ett prov |
JP3059661B2 (ja) * | 1995-03-15 | 2000-07-04 | アンリツ株式会社 | ガス濃度測定装置 |
JP2001235418A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-08-31 | Anritsu Corp | ガス濃度測定装置 |
JP2002107299A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Yokogawa Electric Corp | ガス測定装置 |
CN1462874A (zh) * | 2003-06-24 | 2003-12-24 | 清华大学 | 一种测量燃烧设备烟道气中一氧化碳浓度的方法及装置 |
JP4460404B2 (ja) * | 2004-09-16 | 2010-05-12 | アンリツ株式会社 | ガス検知器校正装置 |
CN100543457C (zh) * | 2007-03-02 | 2009-09-23 | 聚光科技(杭州)有限公司 | 一种半导体激光吸收光谱气体分析方法 |
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