JPWO2009008289A1 - メカニカルシール装置 - Google Patents

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Abstract

本発明は、小型で効率よく冷却を行うことができ耐摩耗性の高いメカニカルシール装置を提供する。本発明のメカニカルシール装置において、冷却用流体供給孔71から供給された冷却流体は、中間室73を通過して、ポンピングリングたるカラー80の背面部81の開口83からカラー80の筒状部82の内部に導入される。カラー80内では、冷却流体は筒状部82の内周面と回転環51の外周面との間の隙間に均一に、また機外側メカニカルシール50の摺動面付近にも流れる。カラー80内の冷却用流体は、筒状部82に形成された吐き出し口84より導出され、排出孔72を介して排出される。

Description

本発明は、摺動面を2つ有するタンデム形のダブルシールであって、小型で、シール装置の冷却を効率よく行えるメカニカルシール装置に関する。
従来、この種のメカニカルシール装置としては、本願出願人に係る日本国特許出願公開2003−074712号公報(特許文献1)に記載のメカニカルシール装置が知られている。
特開2003−074712号公報
図2は、その従来のメカニカルシール装置210の構成を示す図である。
メカニカルシール装置210は、機内側メカニカルシール230及び機外側(大気側)メカニカルシール250を有する。
機内側メカニカルシール230は、機内側に配置される回転環231と、機外側に配置される固定環241とを有する。機内側メカニカルシール230は、固定環241がスプリング242により回転環231方向に押圧されて密封摺動面が形成されており、いわゆる静止形のシール装置である。なお、固定環241はパッキン243を介してシールケース211に装着されている。
機外側メカニカルシール250は、機内側に配置される回転環251と、機外側に配置される固定環261とを有する。機外側メカニカルシール250も、固定環261がスプリング262により回転環251方向に押圧されて密封摺動面が形成されており、静止形のシール装置である。
このようにメカニカルシール装置210は、タンデム形のダブルシールである。
メカニカルシール装置210において、機内側メカニカルシール230と機外側メカニカルシール250との間には中間室273が形成されており、この中間室273に連通するようにクエンチング液(冷却流体)の供給孔271及び排出孔272が形成されている。
中間室273内において、機外側メカニカルシール250の回転環251を収容するケース252の背面には、径方向に傾斜したポンピング孔253が形成されている。これにより、ケース252が回転軸202とともに回転すると、中間室273内の流体(クエンチング液)がポンピング孔253に沿って流動される。その結果、供給孔271から供給されたクエンチング液を中間室273を通過させて排出孔272から排出させるというクエンチング液の流路が形成され、機内側メカニカルシール230及び機外側メカニカルシール250、及び、その摺動面の冷却が行われる。
図2に示すような従来のメカニカルシール装置210においては、機外側(大気側)メカニカルシール250は静止形のメカニカルシールであり、ポンピング孔253は回転環251のケース254に設けられている。
しかしながらこのような構成においては、ケース254には機外側メカニカルシール250のメイティングリング(回転環251)が内装されているので、ポンピング孔253は機外側(大気側)に位置するメイティングリング(回転環251)と連通しないようにしなければならない。このため、ケース254は、回転軸202の軸方向に十分な長さが必要となり、軸方向に厚くなる。その結果、メカニカルシール装置210の全体としても厚さが厚くなり好ましくない。
また、前述した従来のメカニカルシール装置210においては、回転環(メイティングリング)251がケース253に内装されているため、その外表面はクエンチング液に触れず、冷却が効率よく行えないという問題もある。
さらにまた、従来のメカニカルシール装置210においては、機内側接液部に金属が露出している部分があり、固形分や硬質なビーズで摩耗することがあるという問題がある。
また、カートリッジ化するセットプレートが大気側に設けてあり、その分長手方向に長くなるという問題もある。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、より小型で、効率よく冷却を行うことができ、また耐摩耗性の高いメカニカルシール装置を提供することにある。
前記課題を解決するために、本発明に係るメカニカルシール装置は、回転軸とハウジングとの間に装着されて被封止流体をシールするメカニカルシール装置であって、前記被封止流体が配される空間に対して近位側に配置される第1シール装置と、遠位側に配置される第2シール装置と、前記第1シール装置と前記第2シール装置の間に形成される中間室と、前記中間室に供給された中間室流体が当該中間室内を流動するようにポンピング作用を奏するポンピングリングとを有し、前記第2シール装置は、回転環が固定環より前記第1シール装置側に配置され、当該回転環が前記固定環方向に押圧される形態のシール装置であり、前記ポンピングリングは、前記中間室の前記第2シール装置近傍に径方向に立設された背面部と、前記背面部の外周から前記第2シール装置方向に前記回転環を収容するように形成された筒状部と、前記背面部に形成された開口であって、前記中間室流体を前記筒状部の内部に導入するための吸い込み口と、前記筒状部の周面に形成された複数の開口であって、当該ポンピングリングの回転により前記筒状部の内部の前記中間室流体を前記筒状部の外部に導出する吐き出し口とを有することを特徴とする。
このような構成の本発明のメカニカルシール装置によれば、例えば冷却用流体等の中間室流体は、ポンピングリング背面部から背面部の開口を通過して筒状部の内部に導入され、筒状部の内周面と回転環外周面との間の隙間に流体の流路を形成し、その後筒状部の周面に形成された開口から排出される。この際、ポンピングリングは実質的に背面部と筒状部とを有する構成であり、従来のように軸方向に傾斜した流路を必要としない。従って、当該箇所の厚みを薄くすることができ、メカニカルシール装置全体の軸方向の厚みも薄くすることができ、メカニカルシール装置を小型にすることができる。
また、中間室流体は回転環の表面を均等に流れるとともに、機外側メカニカルシール(第2シール装置)のシール端面近傍にも流れる。従って、シール装置の冷却を効果的に行うことができる。
好適には、本発明に係るメカニカルシール装置は、前記中間室に前記中間室流体を供給する供給孔と、前記中間室から前記中間室流体を排出する排出孔とをさらに有し、
前記ポンピングリングは、前記供給孔から供給される前記中間室流体が前記中間室を通過して前記排出孔から排出されるように前記ポンピング作用を奏することを特徴とする。
このような構成の本発明のメカニカルシール装置によれば、供給孔から供給される例えば冷却用媒体であるところの中間室流体を、第1シール装置と第2シール装置との間の中間室を通過させて、適切に排出孔から排出させることができる。従って、シール装置全体の冷却を一層効率よく効果的に行うことができる。
また好適には、本発明に係るメカニカルシール装置は、前記中間室流体は、冷却用流体であることを特徴とする。
このような構成の本発明のメカニカルシール装置によれば、中間室流体として冷却用流体を供給するので、シール装置全体の冷却を効率よく効果的に行うことができる。
また好適には、本発明に係るメカニカルシール装置は、当該メカニカルシール装置をカートリッジ式にて装着するためのセットプレートを装着するための溝を、当該メカニカルシール装置の装着後に前記回転軸に他の部品を取り付けるためのOリング用溝として兼用していることを特徴とする。
このような構成の本発明のメカニカルシール装置によれば、セットプレート用環状溝とOリング用溝とを兼用するようにしているので、メカニカルシール装置の長手方向の長さを短くしメカニカルシール装置を小型にすることができる。
また好適には、本発明に係るメカニカルシール装置は、前記第1シール装置において前記被封止流体が配される空間側に配置される回転環の背面位置が、前記溝の前記第1シール装置側の側面の位置と等しいことを特徴とする。
このような構成の本発明のメカニカルシール装置によれば、セットプレートを用いたカートリッジ式メカニカルシール装置の取り付け、及び、取り付け後のシール装置としての動作を、兼用した環状溝を利用して各々適切に行うことができる。従って、小型で高性能なメカニカルシール装置を提供することができる。
図1は、本発明の一実施形態のメカニカルシール装置の構成を示す図である。 図2は、従来のメカニカルシール装置の構成例を示す図である。
本発明の一実施形態のメカニカルシール装置について、図1を参照して説明する。
図1は、そのメカニカルシール装置10の構成を示す図であり、シャフト(回転軸)2の軸中心を通る平面を切断面とした断面図である。なお、図1においては、右側が機内側であり、左側が大気側である。
メカニカルシール装置10は、シャフト2が貫通しているハウジング3の軸孔部3aに機内側から装着されるカートリッジ形式のシール装置である。
図1に示すように、メカニカルシール装置10は、主な構成として、第1シールケース11、第2シールケース12、シールカバー13、スリーブ21、機内側メカニカルシール30、機外側メカニカルシール50及び本発明にかかるポンピングリングとしてのカラー80を有する。
第1シールケース11、第2シールケース12及びシールカバー13は、メカニカルシール装置10のハウジングを構成する各々が略円環状の部材であって、その内周部に形成される開口にシャフト2が貫通される。また、その内周部に機内側メカニカルシール30及び機外側メカニカルシール50が設置される。
第1シールケース11はハウジング3との間にOリング4及び14を介在させて、また第2シールケース12は第1シールケース11との間にOリング15を介在させて、この順番で六角ボルト18によりハウジング3の軸孔部3aに機内側から取り付けられる。
また、シールカバー13は、第1シールケース11の大気側の端部に、その端面を覆うように、第1シールケース11との間にOリング17を介在させて、六角ボルト19により取り付けられる。
また、第1シールケース11には、後述する冷却用流体供給孔71及び冷却用流体排出孔72が少なくとも各1箇所設けられている。
また、第2シールケース12には、機内側空間にスラリーを供給するためのスラリー供給孔75が設けられている。
第1シールケース11の軸方向中央部には、径方向内側に向けて環状に突出した凸部40が形成されている。凸部40には、パッキン42を介して機内側メカニカルシール30の固定環41が設置される。また、シールカバー13には、機外側メカニカルシール50の固定環61が設置される。
なお、第1シールケース11、第2シールケース12及びシールカバー13は、セラミック等の非金属であって耐摩耗性の高い材料で構成するのが好適である。特に、第2シールケース12をそのような材料で形成することにより、被封止流体に固形分や硬質成分が存在する場合にも、メカニカルシール装置10の接液部の摩耗を低減あるいは防止することができ好適である。
スリーブ21は、シャフト2に外挿される。スリーブ21には、機内側メカニカルシール30及び機外側メカニカルシール50の各回転環31、51が設置される。スリーブ21の機内側の端部付近には、径方向外側に向かって環状に突出した凸部22が形成されている。凸部22には、機内側メカニカルシール30の回転環31が設置される。
またスリーブ21の中央部には、カラー80を係止するための段差23が形成されている。
機内側メカニカルシール30及び機外側メカニカルシール50は、シャフト2に装着されたスリーブ21と、第1シールケース11、第2シールケース12及びシールカバー13の内周面との間の軸周空間に設置される。
機内側メカニカルシール30は、スリーブ21の機内側の端部近傍に設置されてシャフト2と一体的に回転する回転環31と、第1シールケース40の内周の凸部40の機内側に設置された固定環41とを有する。
回転環31は、Oリング32を介在させて、スリーブ21の凸部22に嵌合されており、その大気側を指向する端面であって固定環41に対向する面が摺動面として形成されている。
回転環31は内周側に段差が形成されており、この段差が凸部22の大気側角部に係合されてスリーブ21の凸部22と密封嵌合されている。
スリーブ21の凸部22の側面には、軸方向大気側に突出するように周方向に等配に複数のノックピン33が形成されており、また回転環31には、このノックピン33に対応するように、周方向に等配の複数の係合溝34が形成されている。このノックピン33が回転環31の係合溝34に係止することにより、回転環31のスリーブ21に対する相対的な回動が阻止されて、スリーブ21に保持される。換言すれば、回転環31はスリーブ21(シャフト2)と一体的に回転するように装着される。
回転環31は、炭化珪素、カーボン、セラミック等の材質により構成される。
固定環41は、パッキン42を介して第1シールケース11の凸部40に設置されており、その機内側の端面であって回転環31に対向する面が摺動面として形成されている。
第1シールケース11の凸部40の先端部(最内周部)側面には、軸方向機内側に突出するように図示せぬノックピンが周方向に等配に形成されており、また固定環41の背面には、ノックピンに対応するように、周方向に等配の複数の図示せぬ係合溝が形成されている。このノックピンが固定環41の係合溝に係止することにより、固定環41は回動しないように第1シールケース11に保持される。
また、固定環41の背面には周方向に等配の複数の図示せぬばね座が設けられており、各ばね座に各々図示せぬスプリングが着座して、固定環41を弾発に回転環31方向へ押圧している。
また、固定環41の外周面は、パッキン42と密接する段部41aに形成されている。
固定環41は、炭化珪素、カーボン、セラミック等の材質により構成される。
パッキン42はゴム材製のリング状部材である。パッキン42は、外周に固着部42bが設けられていると共に、内周がシールリップ部42aに形成されている。固着部42bは第1シールケース11の凸部40の付け根部分に形成された凹部44に嵌着されている。パッキン42の固着部42bは、第2シールケース12の大気側の先端部45により軸方向に押さえられている。これによりパッキン42は、凹部44内に保持されるとともに、被密封流体の圧力が直接パッキン42に作用しないように保護されている。
パッキン42のシールリップ部42aは、固定環41の外周面に形成された段部41aに密封嵌合しており、シールリップ部42aの弾性力で固定環41を回転環31方向へ弾発している。
パッキン42は、パーフロロエラストマ、フッ素ゴム、ニトリルゴム、EPDM、ポリエステル系エラストマー等の材質により構成されている。
このような構成の機内側メカニカルシール30においては、図示せぬスプリングの押圧力及びパッキン42のシールリップ部42aの弾性力により、固定環41が機内側、すなわち回転環31の方向に押圧される。その結果、対向する回転環31の摺動面と固定環41の摺動面とが所定の圧力で密接する。そして、シャフト2が回転することにより回転環31のみが回転移動し、回転環31及び固定環41の各密接面が相互に摺動する。
機外側メカニカルシール50は、スリーブ21の大気側の端部に設置された回転環51と、シールカバー13に設置された固定環61とを有する。
回転環51は、Oリング52を介在させてスリーブ21に軸方向に移動可能に外挿されており、その機外側の端面であって固定環61に対向する面は、摺動面として形成されている。回転環51の機内側端部にはコンプレスリング53が装着されており、コンプレスリング53は、係合溝56にドライブピン55が係合されて、軸方向に移動可能にカラー80に係合設置されている。これにより回転環51は、スリーブ21(シャフト2)と一体に回転する。また、コンプレスリング53とカラー80との間には、円周方向に複数のコイルスプリング54が配置されており、これにより回転環51は大気側(機外側)方向に押圧されている。
固定環61は、シールカバー13の内周部に嵌合設置されており、その機内側の端面であって回転環51に対向する面が摺動面として形成されている。
固定環61は、Oリング62を介在させてシールカバー13の内周部に形成された凹部に嵌着される。
シールカバー13の内周部には、軸方向機内側に突出するようにノックピン63が周方向に複数に形成されており、また固定環61の背面には、ノックピン63に対応するように、周方向に複数の係合溝65が形成されている。このノックピン63が固定環61の係合溝65に係止することにより、固定環61は回動しないようにシールカバー13に保持される。
このような構成の機外側メカニカルシール50においては、コンプレスリング53に作用するコイルスプリング54の押圧力により、回転環51が機外側、すなわち固定環61の方向に押圧される。その結果、対向する回転環51の摺動面と固定環61の摺動面とが所定の圧力で密接する。そして、シャフト2が回転することにより回転環51のみが回転移動し、回転環51及び固定環61の各密接面が相互に摺動する。
なお、このような本実施形態のメカニカルシール装置10において、機外側メカニカルシール50は、スプリング(コイルスプリング54)がシャフト2とともに回転する回転形のメカニカルシールである。その結果、回転環51が設置されているカラー80は大気側に触れることがない。これにより、カラー80により、後述するような本願発明に係る特徴的な形態で、ポンピングリングを構成することができる。
第1シールケース11には、外周面に沿って等配に2〜3個の冷却用流体(クエンチング液)の供給孔71と、排出孔72が設けられている。
冷却用流体供給孔71は、ハウジング3内に設置された配管と第1シールケース11の外周面において接続され、機内側メカニカルシール30の近傍に貫通した流体流路であり、機内側メカニカルシール30の固定環41及びパッキン42の背面に冷却用流体が供給されるように形成されている。
また、冷却用流体排出孔72は、ハウジング3内に設置された配管と第1シールケース11の外周面において接続され、機外側メカニカルシール50の近傍に貫通した流体流路であり、機外側メカニカルシール50の回転環51の近傍から冷却用流体を排出するように形成されている。
また、第1シールケース11と第2シールケース12の内周側、より詳細には、機内側メカニカルシール30の摺動面内径側から機外側メカニカルシール50の摺動面外径側に至るシールケース11及び12の内周面とスリーブ21の外周面との間の空間(中間室)には、冷却用流体(中間液)の流路73が形成されている。すなわち、冷却用流体供給孔71から、機内側メカニカルシール30近傍、機外側メカニカルシール50の近傍を経由して冷却用流体排出孔72に至る流路が形成されている。
また、第1シールケース11とスリーブ21との間の流路73の内部の冷却用流体供給孔71の開口の近傍には、供給される冷却用流体の流れの一部を遮るようにして、流体ガイド環74が嵌着されている。流体ガイド環74は、止めねじ等により第1シールケース11に係止される。流体ガイド環74には、クエンチング液を機内側メカニカルシール30の摺動面内径側あるいは機外側メカニカルシール50方向へ効率よく誘導するように、外周に案内面が形成されている。
このようなメカニカルシール装置10の中間室(流路73)において、機外側メカニカルシール50の周囲に形成される中間室部分は、図示のごとく径方向の高さも高く十分な広さに形成される。そしてこの空間に、機外側メカニカルシール50の回転環51が係合設置されるカラー80であって、本発明に係るポンピングリング(80)が配置される。
カラー80は、図示のごとく、コイルスプリング54が設置される円環状に突出した背面部81の周縁部分を、機外側に延伸させて円筒状としたものであって、機外側メカニカルシール50の回転環51を内部に収容するような形態とされた部材である。
そして、その背面部81には、機内側メカニカルシール30の側から中間室を流れてきた中間液(冷却用流体)が、そのままシャフト2の軸方向に沿ってカラー80の筒状部82の内部に流入するように、流体の吸い込み口となる複数の開口83が形成されている。
また、そのカラー80の背面部81とその外側に位置する第1シールケース11の内周面との間隔は非常に狭い間隔となるように、カラー80及び第1シールケース11が形成されている。なお、本実施形態のメカニカルシール装置10においては、カラー80の背面部81は径方向外側になるにつれて機外側に傾斜した傾斜面に形成されており、第1シールケース11の内周面もこれに極狭い間隔で対向するように、同様の傾斜面に形成されている。
また、カラー80の筒状部82の周面には、内周側と外周側とを連通する多数の吐き出し口84が形成されている。カラー80がシャフト2とともに回転すると、回転環51とカラー80の筒状部82の内周面に存在する流体も回転環51あるいはカラー80とともに周方向に回転移動する。筒状部82にこのような多数の開口を設けておくことにより、周方向に移動することにより遠心力が作用する流体は、筒状部82に設けられた吐き出し口84から、カラー80の外部に導出される。カラー80の外周は第1シールケース11の周面が迫っているが、その周面に沿って冷却用流体排出孔72の開口が複数配置されているので、筒状部82から外部に導出された流体は、この開口に案内されて、排出孔72から外部に導出される。
またこれに伴って、カラー80の内部には、カラー80の背面に形成された吸い込み口83を通って機内側メカニカルシール30側の中間室から流体が導入されるような流路が形成される。
カラー80がシャフト2とともに回転することにより、カラー80の背面の吸い込み口83から中間室の流体がカラー80の内部に導入されて機外側メカニカルシール50の回転環51の外周面とカラー80の内周面との間の隙間に供給される。その結果、回転環51の外周面に中間液の流路が形成される。この冷却用流体は、回転環51の外表面を均等に流れ、また、機外側メカニカルシール50のシール摺動面の近傍も流れるので、機外側メカニカルシール50のシール面を効果的に冷却することができる。そして、カラー80に導入された流体は、筒状部82の周面の吐き出し口84から、冷却用流体排出孔72に排出される。
前述したように、本実施形態のメカニカルシール装置10において、機外側メカニカルシール50は、スプリング(コイルスプリング54)がシャフト2とともに回転する回転形のメカニカルシールであり、その結果、回転環51が設置されているカラー80は大気側に触れることがなくその全部が中間室内に配置される。従って、カラー80の周面の両側で空間を隔離する必要がなくなり、このようにカラー80に開口を設けたような構成をとることができる。そしてこのような構成により、カラー80をポンピングリングとして作用させることができる。
このような構成においては、カラー80の内周と回転環51の外周との隙間に冷却用流体の流路を形成することができるので、軸方向の厚みを薄くすることができ、メカニカルシール装置10全体の厚みも非常に薄くすることができる。
また、メカニカルシール装置10において、スリーブ21の機内側の端部には、セットプレート用の環状溝24が設けられている。この環状溝24は、その機外側の側面24aの軸方向の位置が、機内側メカニカルシール30の回転環31の背面位置と同じ位置となるように形成する。
この環状溝24に図中に2点鎖線で示すようなセットプレート90を装着することにより、メカニカルシール装置10をカートリッジ式シールとすることができる。
また、この環状溝24は、メカニカルシール装置10を装置にセットした後にOリングを装着し、例えば攪拌羽等の他の部品を装着するために使用される。
この際、例えばセラミック製の攪拌羽等を設置するようにし、その攪拌羽等の部品によりメカニカルシール装置10の機内側の接液部を覆うようにすれば、接液部は金属が露出しない構成とすることができる。その結果、被封止流体に固形分や硬質成分が存在する場合も、メカニカルシール装置10の機内側接液部の摩耗を防止することができる。
このように、セットプレート90を装着する溝24と、Oリング用の溝24とを兼用することで、メカニカルシール装置10の軸方向の長さを短くすることができ、メカニカルシール装置10を小型にすることができる。
このように、本実施形態のメカニカルシール装置10によれば、機外側メカニカルシール50を回転形とすることによりカラー80が大気と触れるのを防止し、カラー80の周面(筒状部82)及び底面(背面部81)に多数の穴をあけることでポンピング作用を奏するカラー80を実現した。このポンピングリングたるカラー80においては、カラー80の内周面と機外側メカニカルシール50の回転環51の外周面との間の隙間で冷却流体たる中間液の流路を形成することができる。また、その冷却用流体は、固定環41の外周面に均一に流れるとともに、機外側メカニカルシール50のシール摺動面付近にも同様に流れる。
従って、小型ながら効率よくシール面及び各シールリングの冷却を行うことのできるメカニカルシール装置を提供することができる。
また、スリーブ21の機内側端部に設けた溝24について、これをセットプレートを装着するための環状溝と、攪拌羽等を装着するためのOリング用の溝とに兼用する形態とした。その結果、別個に環状溝を備える従来の装置と比較して軸方向の厚みを短くすることができ、より厚さの薄い小型のメカニカルシール装置10を実現することができる。
また、その攪拌羽等の装着部品をジルコニアやSiC製とし、これによりスリーブ21の端面を被覆することができるので、耐摩耗性を著しく向上させることができる。
さらに、機内側に配置される第2シールケース12をもセラミック製とすることにより、より一層耐摩耗性を向上させることができる。
なお、前述した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって本発明を何ら限定するものではない。本実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含み、また任意好適な種々の改変が可能である。
産業上の利用分野
本発明のメカニカルシール装置は、小型で、耐熱性や耐摩耗性に優れた高性能なメカニカルシール装置であり、任意の業種の任意の分野における任意の被封止流体を封止する軸封装置として適用可能である。特に、粉体を取り扱う業種、半導体業種、鉱山や土木業界等の業種等、取り扱い流体に固形分や硬質なビーズ等が含まれる可能性があるような業種において用いられる装置の軸封装置として適用すると特に有効である。

Claims (5)

  1. 回転軸とハウジングとの間に装着されて被封止流体をシールするメカニカルシール装置であって、
    前記被封止流体が配される空間に対して近位側に配置される第1シール装置と、遠位側に配置される第2シール装置と、
    前記第1シール装置と前記第2シール装置との間に形成される中間室と、
    前記中間室に供給された中間室流体が当該中間室内を流動するようにポンピング作用を奏するポンピングリングとを有し、
    前記第2シール装置は、回転環が固定環より前記第1シール装置側に配置され、当該回転環が前記固定環方向に押圧される回転形のシール装置であり、
    前記ポンピングリングは、
    前記中間室の前記第2シール装置近傍に径方向に立設された背面部と、
    前記背面部の外周から前記第2シール装置方向に前記回転環を収容するように形成された筒状部と、
    前記背面部に形成された開口であって、前記中間室流体を前記筒状部内に導入するための吸い込み口と、
    前記筒状部の周面に形成された複数の開口であって、当該ポンピングリングの回転により前記筒状部内の前記中間室流体を前記筒状部の外部に導出する吐き出し口と
    を有することを特徴とするメカニカルシール装置。
  2. 前記中間室に前記中間室流体を供給する供給孔と、
    前記中間室から前記中間室流体を排出する排出孔とをさらに有し、
    前記ポンピングリングは、前記供給孔から供給される前記中間室流体が前記中間室を通過して前記排出孔から排出されるように前記ポンピング作用を奏することを特徴とする請求項1に記載のメカニカルシール装置。
  3. 前記中間室流体は、冷却用流体であることを特徴とする請求項1又は2に記載のメカニカルシール装置。
  4. 当該メカニカルシール装置をカートリッジ式にて装着するためのセットプレートを装着するための溝を、当該メカニカルシール装置の装着後に前記回転軸に他の部品を取り付けるためのOリング用溝として兼用することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のメカニカルシール装置。
  5. 前記第1シール装置において前記被封止流体が配される空間側に配置される回転環の背面位置が、前記溝の前記第1シール装置側の側面の位置と等しいことを特徴とする請求項4に記載のメカニカルシール装置。
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