JPWO2008153178A1 - 半導体レーザ用エージングボード - Google Patents
半導体レーザ用エージングボードInfo
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Abstract
Description
この種試験用ボード等は、端部にエッジコンタクト部を備えた配線基板上に複数のソケットを固定し、夫々のソケットに半導体レーザ素子を装着し、試験装置のコネクタにエッジコンタクト部を接続して試験を行うようになっている。
半導体レーザ素子には各種構造のものがあるが、特許文献1,3,4等に開示されたCAN型パッケージが汎用的な半導体レーザ素子として一般に用いられている。
このような構造のエージングボードにおいては、ソケットの数(エージングボードにおける被試験体の数)だけ押え板と、各押え板ごとのスプリング、取付ネジが必要であり、組立てが面倒でコスト高になる等の問題がある。また、取付ネジの位置ずれやスプリングの弾発力に誤差が生じた場合、押え板による被試験体の押圧に偏荷重が生じ、ソケットに対する電気的導通や放熱板に対する接触が不安定になる虞れがある。
前記押え部材が、弾性変形可能に部分的に薄肉状とされた弾性押圧面部を有し、前記ソケットに装着された半導体レーザ素子を前記弾性押圧面部によって前記配線基板方向へ押圧するよう形成したことを特徴とする。
また、前記弾性押圧面部と前記放熱板との間に、前記半導体レーザ素子の径方向へのずれを防止する弾性部材を介在させると良く、前記凹部に前記弾性部材が収容されていると好ましい。さらに、前記弾性部材が熱伝導性に優れる材質であると良い。
この場合、弾性押圧面部が板状部材に形成されているので、押え部材に対する取り付け位置、大きさ、押圧強度などの自由度が増す。よって、被試験体(半導体レーザ素子)の設置数が多くなり、各被試験体同士の設置ピッチが狭くなった場合であっても、放熱板に対する被試験体の接触、ソケットに対する被試験体の電気的導通などを、簡素な構造で精度良くなすことができる。
この場合、板状部材が、押圧部材と放熱部材の二つの機能を有する。
さらに、この場合、弾性押圧面部と押え部材の間に伝熱性弾性部材が挟持されるように配してもよい。このようにすると、構造は少々複雑になるが、被試験体である半導体レーザ素子の発熱を放散するのに、半導体レーザ素子→弾性押圧面部→伝熱性弾性部材→押え部材と伝熱の経路が新たに追加されるため、熱の放散効率が飛躍的に向上する。したがって、特に、最近のレーザ素子の高出力化の要請に伴い、発熱量も大きくなっているので、このような高出力レーザ素子を試験する場合に、特に好ましい。
図1〜図3に示す第一例のエージングボード1は、四角形状の配線基板2と、この配線基板2の上側に、ビス等の固定手段3により配線基板2との間に所定の隙間をあけて固定された放熱用の金属板4と、該金属板4の上面に縦横に配列して装着した多数のソケット5と、複数のソケット5に対応して設置された放熱板6と、各ソケット5に装着された半導体レーザ素子(CAN型パッケージ)100を固定する押え部材7を有し、端部に設けた接続部8に試験装置のコネクタ(不図示)を接続して、所定の条件化で半導体レーザ素子100を駆動させ評価試験を行うよう構成されている。
弾性押圧面部10は、押え部材7の上面部を弾性変形可能に部分的に薄肉状とすることで押圧力を発揮し、ソケット5に装着された半導体レーザ素子100を配線基板2方向へ押圧して、前記端子103と中継用コンタクトピン8の電気的導通、及び、放熱板6に対する前記ステム部101の接触を確実ならしめる。
本例では、押え部材7の上面部における前記ソケットと対峙する部位に凹部10aを凹設して、弾性変形可能な程度の肉厚を有する薄肉面部(弾性変形面部)10bを形成し、且つ、前記凹部10aの中心に、前記差込孔6c、9と連通する通孔10cを設けて、この通孔10cから、ソケット5に装着された半導体レーザ素子100のキャップ102が突出するようになっている。また、通孔10cの開口縁は下方に延出し、ソケット5に装着された半導体レーザ素子100のステム部101外周に当接する押圧片10dとなっている。
この場合も、凹部10a、薄肉面部10bの形状は、(b)に示すような円形状としても良いし、(c)に示すような四角形状としても良い。
開口11は、(a)に示すような四角形状としたり、(b)に示すような放射状とするなど、任意に形成することができる。
すなわち、この例では、前記した放熱板6の上に板状の上側放熱板6’をさらに備えると共に、弾性押圧面部10の凹部10a内に、ステム部101の外周に当接して半導体レーザ素子100の径方向へのずれを防止する板バネからなる弾性部材20を収容している。弾性部材20は熱伝導性に優れる材質、例えば銅合金などの金属材料からなるものが好ましい。
この例によれば、板バネ20により、ソケット5に装着した半導体レーザ素子100の径方向へのずれが防止され、より高精度な評価試験を行うことができ、且つ、板バネ20によって、より効率的に放熱効果を得ることができるなど、多くの利点がある。
板状部材30は、放熱性(熱伝導性)に優れた金属材料からなり、その一部を弾性変形可能に薄肉状とすることで押圧力を発揮し、ソケット5に装着された半導体レーザ素子100を配線基板2方向へ押圧して、前記端子103と中継用コンタクトピン8の電気的導通、及び、放熱板6に対する前記ステム部101の接触を確実ならしめるよう形成されている。
なお、図示は省略するが、貫通状の溝部40内を放熱用通風路としてより効果的に機能させるために、強制通風手段を別途備えるとさらに好ましい。
2:配線基板
5:ソケット
6,6’:放熱板
7:押え部材
10:弾性押圧面部
10a:凹部
10b:薄肉面部
10d:押圧片
20:板バネ(弾性部材)
30:板状部材
50:伝熱性弾性部材
10g:放熱面部
100:半導体レーザ素子(CAN型パッケージ)
101:ステム部
102:キャップ部
Claims (16)
- 配線基板の一面側に、半導体レーザ素子が装着されるソケットと、該ソケットに近接して設置された放熱板を備えると共に、前記ソケットに装着された半導体レーザ素子を固定する押え部材を有し、前記半導体レーザ素子を駆動させて評価試験を行う半導体レーザ用エージングボードであって、
前記押え部材が、弾性変形可能に部分的に薄肉状とされた弾性押圧面部を有し、前記ソケットに装着された半導体レーザ素子を前記弾性押圧面部によって前記配線基板方向へ押圧するよう形成したことを特徴とする半導体レーザ用エージングボード。 - 前記弾性押圧面部による押圧によって、前記ソケットに対する前記半導体レーザ素子の電気的導通、及び/又は、前記放熱板に対する該半導体レーザ素子の接触が維持されるよう形成したことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 前記弾性押圧面部が、前記押え部材における前記ソケットと対峙する面に凹設された凹部と、該凹部の中心に形成された半導体レーザ素子押圧片からなることを特徴とする請求項1または2記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 前記弾性押圧面部と前記放熱板との間に、前記半導体レーザ素子の径方向へのずれを防止する弾性部材を介在させたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 前記凹部に前記弾性部材が収容されていることを特徴とする請求項4記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 前記弾性部材が熱伝導性に優れる材質からなることを特徴とする請求項4または5記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 前記弾性押圧面部が、前記押え部材における前記ソケットと対峙する面に固定された板状部材に形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 前記板状部材の中心に半導体レーザ素子押圧片を備え、該半導体レーザ素子押圧片の周囲に、弾性変形可能に薄肉状とされた前記弾性押圧面部と、放熱用の放熱面部とが形成されていることを特徴とする請求項7記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 前記弾性押圧面部が、前記半導体レーザ素子押圧片を中心として互いに対称となる位置に形成され、前記ソケットに対する前記半導体レーザ素子の電気的導通、及び/又は、前記放熱板に対する該半導体レーザ素子の接触のための押圧力が、該半導体レーザ素子に対し均等に働くよう形成したことを特徴とする請求項7または8記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 前記押え部材における前記ソケットと対峙する面に凹部または溝部が凹設され、該凹部または溝部の中に、前記板状部材が一または複数、収容状態で取り付けられていることを特徴とする請求項7〜9のいずれか記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 前記溝部は、前記押え部材の長手方向の一端側から他端側まで貫通状に形成されていることを特徴とする請求項10記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 前記貫通状の溝部内を放熱用の通風路とするための強制通風手段を別途備えたことを特徴とする請求項11記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 前記板状部材が熱伝導性に優れる材質からなることを特徴とする請求項7〜12のいずれか記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 前記弾性押圧面部と前記押え部材の間に伝熱性弾性部材が挟持されるように配したことを特徴とする請求項7〜13のいずれか記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 前記ソケットを複数備えると共に、前記押え部材が複数のソケットに装着された各半導体レーザ素子の固定に対応し得るよう形成されていることを特徴とする請求項1〜14のいずれか記載の半導体レーザ用エージングボード。
- 被試験体としての半導体レーザ素子がCAN型パッケージであることを特徴とする請求項1〜15のいずれか記載の半導体レーザ用エージングボード。
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