JPWO2008026709A1 - Discharge lamp, light source device, exposure apparatus, and method of manufacturing exposure apparatus - Google Patents

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Abstract

取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができる光源装置である。発光部を形成するガラス管（２５）とこれに連結された口金部（２６）とを有する放電ランプ（１）と、口金部（２６）を介して放電ランプ（１）を保持する取り付け装置（３１）とを備えた光源装置であって、口金部（２６）は、取り付け装置（３１）の位置決め板（５０）と当接するフランジ部（２６ａ）と、フランジ部（２６ａ）を位置決め板（５０）に押圧する押圧力が付勢される固定部（２６ｈ）とを有し、取り付け装置（３１）は、圧縮コイルばね（４４Ａ）によって固定部（２６ｈ）を付勢する固定用アーム（５５Ａ）を有する。It is a light source device capable of easily mounting a discharge lamp on an attachment mechanism in a short time. A discharge lamp (1) having a glass tube (25) forming a light emitting part and a base part (26) connected thereto, and an attachment device (1) for holding the discharge lamp (1) via the base part (26) 31), the base part (26) includes a flange part (26a) that comes into contact with the positioning plate (50) of the mounting apparatus (31), and the flange part (26a) as a positioning plate (50). ) And a fixing arm (55A) for biasing the fixing portion (26h) by a compression coil spring (44A). Have

Description

本発明は、放電ランプ、この放電ランプを備えた光源装置、この光源装置を備えた露光装置、及びこの露光装置の製造方法に関する。   The present invention relates to a discharge lamp, a light source apparatus including the discharge lamp, an exposure apparatus including the light source apparatus, and a method for manufacturing the exposure apparatus.

各種デバイス（マイクロデバイス、電子デバイス等）を製造するためのリソグラフィ工程においては、レチクル（又はフォトマスク等）に形成されたパターンをレジストが塗布されたウエハ（又はガラスプレート等）上に転写するために、ステッパー等の一括露光型（静止露光型）の投影露光装置、及びスキャニング・ステッパー等の走査露光型の投影露光装置などの露光装置が使用されている。これらの露光装置においては、従来より水銀ランプ等の放電ランプと集光鏡とを組み合わせて構成される露光用の光源装置が使用されており、その放電ランプは所定の取り付け機構を介して保持されていた。   In a lithography process for manufacturing various devices (microdevices, electronic devices, etc.), a pattern formed on a reticle (or photomask, etc.) is transferred onto a wafer (or glass plate, etc.) coated with a resist. In addition, exposure apparatuses such as a batch exposure type (stationary exposure type) projection exposure apparatus such as a stepper and a scanning exposure type projection exposure apparatus such as a scanning stepper are used. In these exposure apparatuses, conventionally, an exposure light source apparatus configured by combining a discharge lamp such as a mercury lamp and a condenser mirror is used, and the discharge lamp is held via a predetermined mounting mechanism. It was.

従来の放電ランプの取り付け機構の一例は、放電ランプの口金にフランジ部及びリング状の溝部を設けておき、その溝部に板ばねの開口部を係合させ、その板ばねでそのフランジ部をブラケットに押し付けて固定する機構である（例えば、特許文献１参照）。この機構では、放電ランプの装着時又は交換時には、その板ばねのクランプ機構を緩め、その板ばねの開口部をその口金が通過できるように、その板ばねをスライドさせる必要がある。また、従来の放電ランプの取り付け機構の他の例は、放電ランプの口金に位置決めピン等を設けておき、その口金を平板状の取り付け板に設けられた円形の開口部に所定の回転角で差し込み、その開口部に設けたすり割り部をボルトで締め付けることによって、その口金を固定する機構である（例えば、特許文献２参照）。   As an example of a conventional discharge lamp mounting mechanism, a flange portion and a ring-shaped groove portion are provided in a discharge lamp base, an opening portion of a leaf spring is engaged with the groove portion, and the flange portion is bracketed by the leaf spring. It is a mechanism which presses and fixes to (for example, refer patent document 1). In this mechanism, when the discharge lamp is mounted or replaced, it is necessary to loosen the clamping mechanism of the leaf spring and to slide the leaf spring so that the base can pass through the opening of the leaf spring. In another example of a conventional discharge lamp mounting mechanism, a positioning pin or the like is provided on a base of the discharge lamp, and the base is inserted into a circular opening provided on a flat mounting plate at a predetermined rotation angle. This is a mechanism for fixing the base by inserting and tightening a slot provided in the opening with a bolt (see, for example, Patent Document 2).

また、放電ランプを有する従来の光源装置の中には、発熱の影響を軽減するために冷却機構を備えたタイプもある。従来の冷却機構の一例は、放電ランプの一方の口金の外面からバルブ部の外面を経て他方の口金の外面に向けて冷却された空気を供給する機構である（例えば、特許文献３参照）。従来の冷却機構の別の例として、放電ランプの口金にリング状の溝部を設け、その溝部及び所定の送風管を介してバルブ部に冷却された空気を供給する機構も知られている（例えば、特許文献４参照）。
特開平１０−５５７１３号公報 特開２００３−４５２１９号公報 特開平９−２１３１２９号公報 特開平１１−２８３８９８号公報 Some conventional light source devices having a discharge lamp include a cooling mechanism in order to reduce the influence of heat generation. An example of a conventional cooling mechanism is a mechanism that supplies cooled air from the outer surface of one base of the discharge lamp to the outer surface of the other base through the outer surface of the bulb portion (see, for example, Patent Document 3). As another example of a conventional cooling mechanism, a mechanism is also known in which a ring-shaped groove portion is provided in a base of a discharge lamp and cooled air is supplied to a bulb portion through the groove portion and a predetermined air duct (for example, , See Patent Document 4).
JP-A-10-55713 JP 2003-45219 A Japanese Patent Laid-Open No. 9-213129 Japanese Patent Laid-Open No. 11-283898

従来の光源装置における放電ランプの取り付け機構は、放電ランプの装着時又は交換時に、板ばねのクランプ機構を緩めてその板ばねをスライドさせるか、又は取り付け板のすり割り部のクランプを緩める必要があるため、放電ランプの装着等に時間を要するという問題があった。また、従来の取り付け機構は、板ばねに設けた開口部の輪郭の一部を口金の溝部に掛けるか、又は取り付け板のすり割り部を締めるかして、放電ランプの口金を固定しているため、その口金を固定する力を目標とする範囲内に設定するのが困難であるという問題があった。   As for the mounting mechanism of the discharge lamp in the conventional light source device, when mounting or replacing the discharge lamp, it is necessary to loosen the leaf spring clamping mechanism and slide the leaf spring or loosen the clamp of the slit portion of the mounting plate. Therefore, there is a problem that it takes time to mount the discharge lamp. Further, in the conventional attachment mechanism, a part of the outline of the opening provided in the leaf spring is hung on the groove portion of the base, or the slit portion of the attachment plate is tightened to fix the base of the discharge lamp. Therefore, there is a problem that it is difficult to set the force for fixing the base within a target range.

また、従来の光源装置における放電ランプの冷却機構は、主に放電ランプのバルブ部に冷風を吹き付けていたため、口金に対する冷却作用が小さいという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑み、取り付け機構に対する放電ランプの装着等を容易に、かつ短時間に行うことができる光源装置を提供することを第１の目的とする。Moreover, the cooling mechanism of the discharge lamp in the conventional light source device has a problem that the cooling action on the base is small because the cold air is mainly blown to the bulb portion of the discharge lamp.
In view of such circumstances, it is a first object of the present invention to provide a light source device that can easily and quickly mount a discharge lamp on an attachment mechanism.

また、本発明は、簡単な機構で放電ランプの冷却を効率的に行うことができる光源装置を提供することを第２の目的とする。
さらに、本発明は、そのような光源装置に適用できる放電ランプ、及びその光源装置を用いる露光技術を提供することをも目的とする。A second object of the present invention is to provide a light source device capable of efficiently cooling a discharge lamp with a simple mechanism.
It is another object of the present invention to provide a discharge lamp applicable to such a light source device and an exposure technique using the light source device.

本発明の第１の態様による光源装置は、発光部を形成するガラス部材（２５）と該ガラス部材に連結された口金部材（２６）とを有する放電ランプ（１）と、その口金部材を介してその放電ランプを保持する保持部材（５０，５２）を有する保持装置（３１）とを備えた光源装置であって、その放電ランプが備えるその口金部材は、その保持部材と当接してその保持部材に対するその発光部の第１方向における位置を規定する当接部（２６ａ）と、その当接部をその第１方向に沿ってその保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部（２６ｅ〜２６ｈ）と、その当接部とその被付勢部との間に備えられ、その保持部材と嵌合する嵌合部（２６ｂ）と、その嵌合部に備えられ、その当接部近傍からその被付勢部に至る冷却用媒体の流路をその保持部材との間で構成する溝部（２６ｄ）とを有し、その保持装置は、その保持部材と、その被付勢部にその押圧力を付勢する付勢部材（５５Ａ）と、その付勢部材によるその当接部のその保時部材への押圧と、該押圧の解除とを切り替える切替機構（６３）と、その口金部材を冷却するための媒体をその溝部を介してその流路に供給する媒体供給装置（７１）とを有するものである。   The light source device according to the first aspect of the present invention includes a discharge lamp (1) having a glass member (25) forming a light emitting portion and a base member (26) connected to the glass member, and the base member via the base member. And a holding device (31) having a holding member (50, 52) for holding the discharge lamp, the cap member of the discharge lamp being in contact with and holding the holding member A contact portion (26a) that defines the position of the light emitting portion in the first direction with respect to the member, and a biased force that presses the contact portion against the holding member along the first direction. Provided between the contact portion (26e to 26h), the contact portion and the biased portion, and fitted to the holding member, and provided in the fit portion. The cooling medium flow path from the vicinity of the contact portion to the biased portion is provided. A holding part, a biasing member (55A) for biasing the pressing force against the biased part, and a biasing member (55A). A switching mechanism (63) for switching between the pressing of the contact portion by the biasing member to the holding member and the release of the pressing, and a medium for cooling the base member to the flow path through the groove And a medium supply device (71) for supplying.

また、本発明の第２の態様による光源装置は、発光部を形成するガラス部材（２５）と該ガラス部材に連結された口金部材（２６）とを有する放電ランプ（１）と、その口金部材を介してその放電ランプを保持する保持部材（５０，５２）を有する保持装置（３１）とを備えた光源装置であって、その放電ランプが備えるその口金部材は、その保持部材と当接してその保持部材に対するその発光部の第１方向における位置を規定する当接部（２６ａ）と、その当接部をその第１方向に沿ってその保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部（２６ｅ〜２６ｈ）と、その当接部とその被付勢部との間に備えられ、その保持部材に対し、その発光部の第１方向と直交する方向における位置を規定する規定部（２６ｂ１）と、その当接部と被付勢部との間に備えられ、当接部近傍から被付勢部に至る冷却用媒体の流路をその保持部材との間で構成する冷却部（２６ｂ２）とを有し、その保持装置は、その保持部材と、その被付勢部にその押圧力を付勢する付勢部材（５５Ａ）と、その付勢部材によるその当接部のその保時部材への押圧と、該押圧の解除とを切り替える切替機構（６３）と、その口金部材を冷却するための媒体をその流路に供給する媒体供給装置（７１）とを有するものである。   The light source device according to the second aspect of the present invention includes a discharge lamp (1) having a glass member (25) forming a light emitting portion and a base member (26) connected to the glass member, and the base member. A light source device including a holding device (31) having a holding member (50, 52) for holding the discharge lamp via the cap, the cap member of the discharge lamp being in contact with the holding member A contact portion (26a) that defines the position of the light emitting portion in the first direction with respect to the holding member, and a pressed force that presses the contact portion against the holding member along the first direction. A provision that is provided between the urging portion (26e to 26h), its abutting portion, and its urged portion, and defines the position of the light emitting portion in a direction orthogonal to the first direction with respect to the holding member. Part (26b1), its abutting part and attached And a cooling unit (26b2) that forms a cooling medium flow path from the vicinity of the abutting part to the biased part with the holding member. The holding member, a biasing member (55A) that biases the pressing force against the biased portion, the pressing of the contact portion by the biasing member against the holding member, and the release of the press And a medium supply device (71) for supplying a medium for cooling the base member to the flow path.

次に、本発明の第１の態様による放電ランプは、発光部を形成するガラス部材（２５）と、該ガラス部材に連結された口金部材（２６）とを備えた放電ランプ（１）であって、その放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材（５０，５２）にその口金部材を介して着脱可能に保持され、その口金部材は、その保持部材と当接してその保持部材に対するその発光部の第１方向における位置を規定する当接部（２６ａ）と、その当接部をその第１方向に沿ってその保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部（２６ｅ〜２６ｈ）と、その当接部とその被付勢部との間に備えられ、その保持部材と嵌合する嵌合部（２６ｂ）と、その嵌合部に備えられ、その当接部近傍からその被付勢部に至る冷却用媒体の流路をその保持部材との間で構成する溝部（２６ｄ）とを有するものである。   Next, the discharge lamp according to the first aspect of the present invention is a discharge lamp (1) comprising a glass member (25) forming a light emitting portion and a base member (26) connected to the glass member. The discharge lamp is detachably held by a holding member (50, 52) provided separately from the discharge lamp via the base member, and the base member abuts on the holding member and A contact portion (26a) for defining the position of the light emitting portion in the first direction with respect to the holding member, and a load to which a pressing force pressing the contact portion against the holding member along the first direction is urged A biasing portion (26e-26h), a fitting portion (26b) fitted between the abutting portion and the biased portion and fitted to the holding member, and a fitting portion; The cooling medium flow path from the vicinity of the abutting portion to the urged portion is held by the holding member. Those having a groove portion constituting (26 d) between the.

また、本発明の第２の態様による放電ランプは、発光部を形成するガラス部材（２５）と、該ガラス部材に連結された第１口金部材（２６）と、その第１口金部材とは別の位置でそのガラス部材に連結された第２口金部材（２８）とを備えた放電ランプであって、その放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材（５０，５２）にその第１口金部材を介して着脱可能に保持され、その第１口金部材は、その保持部材と当接してその保持部材に対するその発光部の第１方向における位置を規定する当接部（２６ａ）と、その当接部に対してそのガラス部材とはその第１方向に沿った反対側に備えられ、その保持部材と嵌合する嵌合部（２６ｂ）と、その嵌合部に備えられて、冷却用媒体の流路をその保持部材との間で構成する溝部（２６ｄ）とを備え、その第２口金部材は、その第２口金部材を冷却する冷却用媒体が流通する流路（２８ｆ）を備えるものである。   The discharge lamp according to the second aspect of the present invention is different from the glass member (25) forming the light emitting portion, the first base member (26) connected to the glass member, and the first base member. And a second cap member (28) connected to the glass member at the position of the discharge lamp, the discharge lamp being mounted on a holding member (50, 52) provided separately from the discharge lamp. The first base member is detachably held via the first base member, and the first base member contacts the holding member and defines a position in the first direction of the light emitting portion with respect to the holding member. The glass member is provided on the opposite side of the abutting portion along the first direction, and the fitting portion (26b) fitted to the holding member is provided on the fitting portion. And a groove that configures the flow path of the cooling medium with the holding member (26 d) and provided with its second cap members, the cooling medium cooling the second die member is one that comprises a flow path (28f) flowing.

また、本発明の第３の態様による放電ランプは、互いに離間した第１及び第２電極間で放電することにより発光する放電ランプ（１）であって、その第１電極と接続された第１口金部材（２６）と、その第２電極と接続された第２口金部材（２８）とを備え、その第１口金部材には、その第１口金部材を冷却する冷却媒体が流動する第１流路（２６ｄ）が形成され、その第２口金部材にはその第２口金部材を冷却する冷却媒体が流動する第２流路（２８ｆ）が形成されているものである。   The discharge lamp according to the third aspect of the present invention is a discharge lamp (1) that emits light by discharging between a first electrode and a second electrode that are spaced apart from each other, and the first lamp is connected to the first electrode. A base member (26) and a second base member (28) connected to the second electrode are provided, and a first flow in which a cooling medium for cooling the first base member flows is provided in the first base member. A path (26d) is formed, and a second flow path (28f) through which a cooling medium for cooling the second base member flows is formed in the second base member.

また、本発明の第４の態様による放電ランプは、発光部を形成するガラス部材（２５）と、該ガラス部材の第１方向側に連結され、その第１方向と直交する第２方向に延在する当接部（２６ａ）と、その第１方向に沿った力が付勢される被付勢部（２６ｅ〜２６ｈ）と、その当接部とその被付勢部との間に備えられた嵌合部（２６ｂ）と、その嵌合部に備えられた溝部（２６ｄ）とを有する口金部材（２６）と、を備え、その口金部材は、その被付勢部に付勢されたその第１方向の力によりその当接部と当接してその発光部のその第１方向の位置を規定するとともに、その嵌合部と嵌合することによりその第１方向と直交する方向の位置を規定し、かつその保持部材とその溝部との間に形成された流路に冷却用媒体を供給する保持装置（３１）に保持可能であるものである。   Further, the discharge lamp according to the fourth aspect of the present invention is connected to the glass member (25) forming the light emitting portion and the first direction side of the glass member, and extends in the second direction orthogonal to the first direction. It is provided between the contact part (26a) which exists, the to-be-biased part (26e-26h) to which the force along the 1st direction is biased, and the contact part and the to-be-biased part. A base member (26) having a fitting part (26b) and a groove part (26d) provided in the fitting part, and the base member is urged by the biased part. The position in the first direction of the light emitting part is regulated by the force in the first direction and the position of the light emitting part in the direction orthogonal to the first direction by fitting with the fitting part. A holding device (31 that regulates and supplies a cooling medium to a flow path formed between the holding member and the groove portion) Those which are capable of holding the.

次に、本発明の第５の態様による放電ランプは、発光部を形成するガラス部材（２５Ａ）と、該ガラス部材に連結された口金部材（２６Ｐ）とを備えた放電ランプ（１Ｐ）であって、その放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材（５０，５２）にその口金部材を介して着脱可能に保持され、その口金部材は、その保持部材と当接してその保持部材に対するその発光部の第１方向における位置を規定する当接部（２６ａ）と、その当接部をその第１方向に沿ってその保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部（２６ｅ〜２６ｈ）と、その当接部とその被付勢部との間に備えられ、その保持部材と嵌合する嵌合部（２６ｂ）と、その嵌合部の内部を通過するように、その当接部近傍とその被付勢部との間に備えられた冷却用媒体の流路となる流体路（２６Ｐｄ）とを有するものである。   Next, a discharge lamp according to a fifth aspect of the present invention is a discharge lamp (1P) including a glass member (25A) that forms a light emitting portion and a base member (26P) connected to the glass member. The discharge lamp is detachably held by a holding member (50, 52) provided separately from the discharge lamp via the base member, and the base member abuts on the holding member and A contact portion (26a) for defining the position of the light emitting portion in the first direction with respect to the holding member, and a load to which a pressing force pressing the contact portion against the holding member along the first direction is urged A biasing portion (26e to 26h), a fitting portion (26b) that is provided between the contact portion and the biased portion, and fits with the holding member, and passes through the inside of the fitting portion. As described above, the cooling provided between the vicinity of the contact portion and the biased portion Those having a fluid passage comprising a flow path for use medium and (26Pd).

また、本発明の第３の態様による光源装置は、本発明の第５の態様による放電ランプと、その口金部材を介してその放電ランプを保持するその保持部材を有する保持装置（３１）とを備えた光源装置であって、その保持装置は、その被付勢部にその押圧力を付勢する付勢部材と、その口金部材を冷却するための媒体をその流体路に供給する媒体供給装置（７１）とを有するものである。   The light source device according to the third aspect of the present invention includes a discharge lamp according to the fifth aspect of the present invention and a holding device (31) having the holding member for holding the discharge lamp via the base member. The light source apparatus includes a biasing member that biases the pressing force against the biased portion, and a medium supply device that supplies a medium for cooling the base member to the fluid path. (71).

また、本発明の第６の態様による放電ランプは、発光部を形成するガラス部材（２５；２５Ａ）と、該ガラス部材に連結された口金部材（２６；２６Ｐ）とを備えた放電ランプであって、その口金部材は、第１の方向に平行な第１の軸に沿ってガラス部材から離れる方向に、順に、その第１の軸を中心とする第１の半径以上の半径を有する円盤形状を包含する形状を有する当接部（２６ａ）と、その第１の軸を中心とするその第１の半径より小さな第２の半径を有する円柱形状に外接する形状を有する嵌合部（２６ｂ）と、その第１の軸を中心としてその第２の半径より小さな第３の半径を有する円柱形状を包含する形状を有する小径部（２６ｋ）と、その第１の軸を中心として、その第１の半径より小さくかつその第３の半径より大きな第４の半径を有する円盤形状を包含する形状を有する被付勢部（２６ｇ，２６ｈ）と、を有するとともに、その嵌合部の外周またはその近傍に、その嵌合部と空気との接触面積を増大せしめるための立体構造（２６ｄ；２６Ｐｄ）を有するものである。   The discharge lamp according to the sixth aspect of the present invention is a discharge lamp including a glass member (25; 25A) that forms a light emitting portion and a base member (26; 26P) connected to the glass member. The base member is, in turn, a disc shape having a radius equal to or greater than the first radius centered on the first axis in a direction away from the glass member along a first axis parallel to the first direction. A fitting portion (26b) having a shape circumscribing a cylindrical shape having a second radius smaller than the first radius centered on the first axis. A small diameter portion (26k) having a shape including a cylindrical shape having a third radius smaller than the second radius with the first axis as the center, and the first axis with the first axis as the center. Smaller than its radius and larger than its third radius And an urged portion (26g, 26h) having a shape including a disk shape having a radius of 25 mm, and the contact area between the fitting portion and air is increased at or near the outer periphery of the fitting portion. It has a three-dimensional structure (26d; 26Pd) for damaging.

また、本発明の第７の態様による放電ランプは、発光部を備え、第１方向に伸びるように形成されたガラス部材（２５；２５Ａ）と、そのガラス部材のその第１方向側の端部に、一端部が連結される第１口金部材（２６；２６Ｐ）とを備えた放電ランプであって、その第１口金部材は、その第１方向と直交する直交方向に突出した突出部（２６ａ）と、その突出部とその第１口金部材の他端部との間に設けられ、その直交方向に関する外形形状が、その突出部の外形形状より小さい第１軸部（２６ｂ）と、その突出部とその第１口金部材の他端部との間に設けられ、その直交方向に関する外形形状が、その第１軸部より小さい第２軸部（２６ｋ）と、その突出部とその第１口金部材の他端部との間に設けられ、その直交方向に関する外形形状が、その突出部の外形形状より小さく、かつその第２軸部よりも大きい第３軸部（２６ｇ；２６ｈ）と、その第１軸部の外周面の少なくとも一部に設けられ、冷却用媒体と接触可能な冷却部（２６ｂ２）とを備えるものである。   Moreover, the discharge lamp by the 7th aspect of this invention is equipped with the light emission part, and the glass member (25; 25A) formed so that it might extend in a 1st direction, and the edge part by the side of the 1st direction of the glass member And a first cap member (26; 26P) to which one end portion is coupled, the first cap member protruding in an orthogonal direction perpendicular to the first direction (26a). ) And the projecting portion and the other end portion of the first base member, and a first shaft portion (26b) whose outer shape in the orthogonal direction is smaller than the outer shape of the projecting portion, and the projecting A second shaft portion (26k) whose outer shape in relation to the orthogonal direction is smaller than the first shaft portion, its projecting portion and its first base. Outline shape in the orthogonal direction provided between the other end of the member A third shaft portion (26g; 26h) that is smaller than the outer shape of the protruding portion and larger than the second shaft portion, and is provided on at least a part of the outer peripheral surface of the first shaft portion; And a cooling section (26b2) that can be contacted.

また、本発明の第８の態様による放電ランプは、発光部を形成するガラス部材（２５）と、該ガラス部材に連結された口金部材（２６）とを備えた放電ランプ（１）であって、その放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材（５０，５２）にその口金部材を介して着脱可能であり、その口金部材は、その保持部材と当接してその保持部材に対するその発光部の第１方向における位置を規定する当接部（２６ａ）と、その当接部をその第１方向に沿ってその保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部（２６ｅ〜２６ｈ）と、その当接部とその被付勢部との間に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部（２６ｂ）と、その当接部とその被付勢部との間に設けられ、その当接部近傍からその被付勢部に至る冷却用媒体の流路をその保持部材との間で構成する冷却部とを有するものである。
また、本発明の態様による露光装置は、光源装置から発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、その光源装置として本発明の光源装置（３０）を備えたものである。The discharge lamp according to the eighth aspect of the present invention is a discharge lamp (1) comprising a glass member (25) forming a light emitting portion and a base member (26) connected to the glass member. The discharge lamp is attachable to and detachable from a holding member (50, 52) provided separately from the discharge lamp via the base member, and the base member comes into contact with the holding member and the holding member. A contact portion (26a) for defining the position of the light emitting portion in the first direction with respect to the urged portion, and a biased portion to which a pressing force pressing the contact portion against the holding member along the first direction is urged (26e to 26h), a fitting portion (26b) that is provided between the contact portion and the biased portion, and fits with the holding member, and the contact portion and the biased portion. The cooling medium flow from the vicinity of the contact portion to the biased portion The one having a cooling portion which constitutes between its holding member.
An exposure apparatus according to an aspect of the present invention is an exposure apparatus that exposes a pattern onto a photosensitive substrate with exposure light generated from a light source apparatus, and includes the light source apparatus (30) of the present invention as the light source apparatus. .

また、本発明の態様による露光装置の製造方法は、放電ランプ（１）の２つの電極間の放電により発生した光によって感光基板にパターンを露光する露光装置の製造方法であって、その放電ランプを保持するための保持装置（３１）に、その放電ランプのその２つの電極のうちの一方に対応して設けられた第１口金部材（２６）を介してその放電ランプを装着する段階と、その放電ランプの他方の電極に対応して設けられた第２口金部材（２８）に用力ケーブル（３３Ｂ）を接続する段階と、その装着されたその放電ランプのその第１口金部材をその保持装置に装着された状態で冷却する段階とを備えるものである。
なお、以上の本発明の所定要素に付した括弧付き符号は、本発明の一実施形態を示す図面中の部材に対応しているが、各符号は本発明を分かり易くするために本発明の要素を例示したに過ぎず、本発明をその実施形態の構成に限定するものではない。A method of manufacturing an exposure apparatus according to an aspect of the present invention is a method of manufacturing an exposure apparatus that exposes a pattern on a photosensitive substrate with light generated by discharge between two electrodes of a discharge lamp (1). Attaching the discharge lamp to the holding device (31) for holding the discharge lamp via the first cap member (26) provided corresponding to one of the two electrodes of the discharge lamp; A step of connecting a utility cable (33B) to a second cap member (28) provided corresponding to the other electrode of the discharge lamp, and a holding device for the first cap member of the mounted discharge lamp And a step of cooling in a state of being mounted on.
In addition, although the reference numerals in parentheses attached to the predetermined elements of the present invention correspond to members in the drawings showing an embodiment of the present invention, each reference numeral of the present invention is provided for easy understanding of the present invention. The elements are merely illustrative, and the present invention is not limited to the configuration of the embodiment.

本発明の第１、第２、又は第３の態様による光源装置によれば、保持装置に対するその放電ランプの取り外し及び装着を容易に短時間に行うことができる。また、簡単な機構で放電ランプの冷却を効率的に行うことができる。
また、本発明の放電ランプは、本発明の第１、第２、又は第３の態様による光源装置の放電ランプとして使用できる。According to the light source device according to the first, second, or third aspect of the present invention, the discharge lamp can be removed from and attached to the holding device easily in a short time. In addition, the discharge lamp can be efficiently cooled with a simple mechanism.
The discharge lamp of the present invention can be used as a discharge lamp of a light source device according to the first, second, or third aspects of the present invention.

本発明の実施形態の一例の投影露光装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the projection exposure apparatus of an example of embodiment of this invention. （Ａ）は図１中の放電ランプ１を示す一部を切り欠いた図、（Ｂ）は図２（Ａ）のＢＢ線に沿う断面図、（Ｃ）は図２（Ｂ）の別の構成例を示す図である。1A is a partially cutaway view showing a discharge lamp 1 in FIG. 1, FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 2A, and FIG. 2C is another view of FIG. It is a figure which shows the example of a structure. 図１中の取り付け装置３１を示す一部を切り欠いた図である。It is the figure which notched a part which shows the attachment apparatus 31 in FIG. 図３の取り付け装置３１の要部を示す平面図である。It is a top view which shows the principal part of the attachment apparatus 31 of FIG. 図３のＡＡ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the AA line of FIG. 図３のＢＢ線に沿う一部を省略した断面図である。It is sectional drawing which abbreviate | omitted a part along the BB line of FIG. （Ａ）は図３中の固定用アーム５５Ａを上方から視た拡大断面図、（Ｂ）はその固定用アーム５５Ａを拡大して示す正面図である。(A) is an enlarged sectional view of the fixing arm 55A in FIG. 3 as viewed from above, and (B) is an enlarged front view showing the fixing arm 55A. 図２（Ａ）の放電ランプ１を図３の取り付け装置３１に装着した状態を示す一部を切り欠いた図である。FIG. 4 is a partially cutaway view showing a state where the discharge lamp 1 of FIG. 2A is mounted on the mounting device 31 of FIG. 3. 図８の放電ランプ１の口金部２６及び取り付け装置３１の部分を拡大して示す一部を切り欠いた図である。It is the figure which notched the part which expanded and showed the part of the nozzle | cap | die part 26 and the attachment apparatus 31 of the discharge lamp 1 of FIG. （Ａ）は、図３の取り付け装置３１において、切替用リンク機構６３によって移動部材４１を降下させた状態を示す図、（Ｂ）は、切替用リンク機構６３によって移動部材４１を上昇させた状態を示す図である。3A is a view showing a state in which the moving member 41 is lowered by the switching link mechanism 63 in the attachment device 31 in FIG. 3, and FIG. 3B is a state in which the moving member 41 is raised by the switching link mechanism 63. FIG. （Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、及び（Ｄ）は、それぞれ本発明の放電ランプの別の実施形態を示す一部を切り欠いた図である。(A), (B), (C), and (D) are each a partially cutaway view showing another embodiment of the discharge lamp of the present invention. （Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、及び（Ｄ）は、それぞれ本発明の放電ランプのさらに別の実施形態を示す一部を切り欠いた図である。(A), (B), (C), and (D) are each a partially cutaway view showing still another embodiment of the discharge lamp of the present invention. （Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）は、それぞれ本発明の放電ランプのさらに別の実施形態を示す図である。(A), (B), and (C) are figures which show another embodiment of the discharge lamp of this invention, respectively. （Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ本発明の放電ランプのさらに別の実施形態を示す一部を切り欠いた図である。(A) And (B) is the figure which notched some which show another embodiment of the discharge lamp of this invention, respectively. （Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、及び（Ｄ）は、それぞれ本発明の放電ランプのさらに別の実施形態を示す図である。(A), (B), (C), and (D) are figures which show another embodiment of the discharge lamp of this invention, respectively. （Ａ）は図１５（Ｂ）のＡＡ線に沿う断面図、（Ｂ）は図１５（Ｃ）のＢＢ線に沿う断面図、（Ｃ）は図１５（Ｄ）のＣＣ線に沿う断面図である。15A is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 15B, FIG. 15B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 15C, and FIG. 15C is a cross-sectional view taken along line CC in FIG. It is. 図１５（Ｄ）に示す放電ランプの製造方法の一例を示す要部の斜視図である。It is a perspective view of the principal part which shows an example of the manufacturing method of the discharge lamp shown in FIG.15 (D). （Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ本発明の放電ランプのさらに別の実施形態を示す図である。(A) And (B) is a figure which shows another embodiment of the discharge lamp of this invention, respectively. マイクロデバイスの製造工程の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the manufacturing process of a microdevice.

符号の説明Explanation of symbols

１，１Ａ〜１Ｑ…放電ランプ、２…楕円鏡、２５，２５Ａ…ガラス管、２５ａ…バルブ部、２５ｂ…棒状部、２６，２６Ａ〜２６Ｑ…口金部、２６ａ…フランジ部、２６ｂ…軸部、２６ｄ…溝部、２６Ｐｄ…流路、２６ｆ…凹部、２６ｈ…固定部、２８…口金部、２８ｂ…溝部、２９…固定板、３０…露光光源、３１…取り付け装置、３２…絶縁板、３３Ａ，３３Ｂ…電力ケーブル、３４…電源、３６…底板、３７Ａ〜３７Ｃ…ガイド部材、４１…移動部材、４２Ａ〜４２Ｃ…連結部材、４４Ａ〜４４Ｃ…圧縮コイルばね、４５…上板、４６Ａ，４６Ｂ…フレーム、４７Ａ，４７Ｂ，４７Ｃ…パネル板、４８Ａ，４８Ｂ…昇降部材、５０…位置決め板、５２…円筒部材、５５Ａ〜５５Ｃ…固定用アーム、６３…切替用リンク機構、６４…回転レバー部、６５…可動ロッド、６７Ａ，６７Ｂ…リンク、６９Ａ，６９Ｂ…ローラ、７０Ａ，７０Ｂ…ピン、７１…送風装置、７３…配管   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1A-1Q ... Discharge lamp, 2 ... Elliptic mirror, 25, 25A ... Glass tube, 25a ... Bulb part, 25b ... Bar-shaped part, 26, 26A-26Q ... Base part, 26a ... Flange part, 26b ... Shaft part, 26d ... groove, 26Pd ... flow path, 26f ... concave, 26h ... fixed part, 28 ... cap part, 28b ... groove, 29 ... fixed plate, 30 ... exposure light source, 31 ... mounting device, 32 ... insulating plate, 33A, 33B ... Power cable, 34 ... Power source, 36 ... Bottom plate, 37A to 37C ... Guide member, 41 ... Moving member, 42A-42C ... Connection member, 44A-44C ... Compression coil spring, 45 ... Top plate, 46A, 46B ... Frame, 47A, 47B, 47C ... Panel plate, 48A, 48B ... Elevating member, 50 ... Positioning plate, 52 ... Cylindrical member, 55A-55C ... Fixing arm, 63 ... Switching link mechanism, 64 ... Rotation Bar portion, 65 ... movable rod, 67A, 67B ... link, 69A, 69B ... roller, 70A, 70B ... pin, 71 ... blower, 73 ... pipe

以下、本発明の好ましい実施形態の一例につき図１〜図１０を参照して説明する。
図１は、本例の露光光源３０（光源装置）を備えた投影露光装置（露光装置）を示し、この図１において、アーク放電型の水銀ランプよりなる放電ランプ１が、取り付け装置３１（保持装置）を介して絶縁状態で固定板２９に固定されている。また、放電ランプ１の陰極及び陽極が可撓性を持つ電力ケーブル３３Ａ及び３３Ｂを介して電源３４に接続され、放電ランプ１のバルブ部を囲むように楕円鏡２（集光ミラー）が不図示のブラケットに固定されている。放電ランプ１のバルブ部内の発光部は、一例として楕円鏡２の第１焦点付近に配置されている。放電ランプ１、楕円鏡２、取り付け装置３１、電力ケーブル３３Ａ，３３Ｂ、及び電源３４を含んで露光光源３０が構成されている（詳細後述）。Hereinafter, an example of a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 shows a projection exposure apparatus (exposure apparatus) provided with an exposure light source 30 (light source apparatus) of this example. In FIG. 1, a discharge lamp 1 made of an arc discharge type mercury lamp is attached to an attachment apparatus 31 (holding) Device) and is fixed to the fixing plate 29 in an insulated state. Further, the cathode and anode of the discharge lamp 1 are connected to the power source 34 via flexible power cables 33A and 33B, and the elliptical mirror 2 (condensing mirror) is not shown so as to surround the bulb portion of the discharge lamp 1. It is fixed to the bracket. The light emitting part in the bulb part of the discharge lamp 1 is arranged near the first focal point of the elliptical mirror 2 as an example. An exposure light source 30 is configured including the discharge lamp 1, the elliptical mirror 2, the mounting device 31, the power cables 33A and 33B, and the power source 34 (details will be described later).

放電ランプ１から射出された光束は、楕円鏡２によって第２焦点付近に収束された後、シャッタ３の近傍を通過して発散光となって光路折り曲げ用のミラー４に入射する。シャッタ３の開閉はシャッタ駆動装置３ａによって行われ、シャッタ駆動装置３ａは、不図示のシャッタ制御系で制御される。本実施の形態では、一例として後述のステージ制御系１５が、装置全体の動作を統括制御する主制御系１４の指令のもとでシャッタ駆動装置３ａを制御する。   The light beam emitted from the discharge lamp 1 is converged to the vicinity of the second focal point by the elliptical mirror 2, passes through the vicinity of the shutter 3, becomes divergent light, and enters the mirror 4 for bending the optical path. The shutter 3 is opened and closed by a shutter driving device 3a, and the shutter driving device 3a is controlled by a shutter control system (not shown). In the present embodiment, as an example, a stage control system 15 to be described later controls the shutter driving device 3a under the command of the main control system 14 that controls the overall operation of the apparatus.

ミラー４で反射された光束は干渉フィルタ５に入射し、干渉フィルタ５により所定の輝線（例えば波長３６５ｎｍのｉ線）よりなる露光光ＩＬのみが選択される。なお、露光光ＩＬとしては、ｉ線の他に、ｇ線、ｈ線、若しくはこれらの混合光等、又は水銀ランプ以外のランプの輝線等も使用できる。その選択された露光光ＩＬは、フライアイレンズ６（オプティカル・インテグレータ）に入射し、フライアイレンズ６の射出面に配置された可変開口絞り７上に多数の２次光源が形成される。可変開口絞り７を通過した露光光ＩＬは、第１リレーレンズ８を経てレチクルブラインド（可変視野絞り）９に入射する。レチクルブラインド９の配置面はレチクルＲのパターン面と実質的に共役であり、駆動装置９ａを介してレチクルブラインド９の開口形状を設定することで、レチクルＲ上での照明領域が規定される。また、ウエハＷのステッピング時等に不要な露光光がウエハＷ上に照射されないように、ステージ制御系１５が駆動装置９ａを介してレチクルブラインド９を開閉できるようにも構成されている。   The light beam reflected by the mirror 4 enters the interference filter 5, and only the exposure light IL consisting of a predetermined bright line (for example, i-line having a wavelength of 365 nm) is selected by the interference filter 5. As the exposure light IL, in addition to i-line, g-line, h-line, or mixed light thereof, or bright lines of lamps other than mercury lamps can be used. The selected exposure light IL enters the fly-eye lens 6 (optical integrator), and a large number of secondary light sources are formed on the variable aperture stop 7 disposed on the exit surface of the fly-eye lens 6. The exposure light IL that has passed through the variable aperture stop 7 enters the reticle blind (variable field stop) 9 through the first relay lens 8. The arrangement surface of the reticle blind 9 is substantially conjugate with the pattern surface of the reticle R, and the illumination area on the reticle R is defined by setting the opening shape of the reticle blind 9 via the driving device 9a. Further, the stage control system 15 is configured to be able to open and close the reticle blind 9 via the driving device 9a so that unnecessary exposure light is not irradiated onto the wafer W at the time of stepping the wafer W or the like.

レチクルブラインド９を通過した露光光ＩＬは、第２リレーレンズ１０、露光光ＩＬを反射するダイクロイックミラー１１、及びコンデンサレンズ１２を介してレチクルＲのパターン面のパターン領域を照明する。シャッタ３、ミラー４、干渉フィルタ５、フライアイレンズ６、可変開口絞り７、リレーレンズ８，１０、レチクルブラインド９、ダイクロイックミラー１１、及びコンデンサレンズ１２を含んで照明光学系１３が構成されている。露光光源３０からの光束は、照明光学系１３を経て露光光ＩＬとしてレチクルＲ（マスク）を照明し、レチクルＲのパターン領域内のパターンが投影光学系ＰＬを介して、フォトレジストが塗布されたウエハＷ（感光基板）の一つのショット領域上に投影倍率β（βは例えば１／４，１／５等）で露光される。以下、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸに平行にＺ軸を取り、Ｚ軸に垂直な平面内で図１の紙面に平行にＸ軸を、図１の紙面に垂直にＹ軸を取って説明する。   The exposure light IL that has passed through the reticle blind 9 illuminates the pattern area of the pattern surface of the reticle R via the second relay lens 10, the dichroic mirror 11 that reflects the exposure light IL, and the condenser lens 12. The illumination optical system 13 includes the shutter 3, mirror 4, interference filter 5, fly eye lens 6, variable aperture stop 7, relay lenses 8 and 10, reticle blind 9, dichroic mirror 11, and condenser lens 12. . The light beam from the exposure light source 30 illuminates the reticle R (mask) as the exposure light IL through the illumination optical system 13, and the pattern in the pattern area of the reticle R is coated with the photoresist through the projection optical system PL. One shot area of the wafer W (photosensitive substrate) is exposed at a projection magnification β (β is, for example, 1/4, 1/5, etc.). In the following description, the Z axis is taken parallel to the optical axis AX of the projection optical system PL, the X axis is taken parallel to the paper surface of FIG. 1 within the plane perpendicular to the Z axis, and the Y axis is taken perpendicular to the paper surface of FIG. To do.

このとき、レチクルＲは、レチクルベース（不図示）上でＸ方向、Ｙ方向、及びＺ軸周りの回転方向に微動可能なレチクルステージＲＳＴ上に保持されている。レチクルステージＲＳＴの位置は、これに固定された移動鏡１７Ｒに計測用レーザビームを照射するレーザ干渉計１８Ｒによって高精度に計測され、この計測値がステージ制御系１５及び主制御系１４に供給されている。その計測値及び主制御系１４からの制御情報に基づいて、ステージ制御系１５がリニアモータ等を含む駆動系１９Ｒを介してレチクルステージＲＳＴの位置を制御する。   At this time, the reticle R is held on a reticle stage RST that can be finely moved in a rotation direction around the X direction, the Y direction, and the Z axis on a reticle base (not shown). The position of the reticle stage RST is measured with high accuracy by a laser interferometer 18R that irradiates a measurement laser beam to a movable mirror 17R fixed thereto, and this measurement value is supplied to the stage control system 15 and the main control system 14. ing. Based on the measured value and control information from the main control system 14, the stage control system 15 controls the position of the reticle stage RST via a drive system 19R including a linear motor and the like.

一方、ウエハＷは不図示のウエハホルダを介してウエハステージＷＳＴ上に保持され、ウエハステージＷＳＴはウエハベース（不図示）上にＸ方向及びＹ方向に移動自在に載置されている。ウエハステージＷＳＴの位置は、これに固定された移動鏡１７Ｗに計測用レーザビームを照射するレーザ干渉計１８Ｗにより高精度に計測され、この計測値はステージ制御系１５及び主制御系１４に供給されている。その計測値及び主制御系１４からの制御情報に基づいて、ステージ制御系１５はリニアモータ等を含む駆動系１９Ｗを介してウエハステージＷＳＴ（ウエハＷ）の位置を制御する。   On the other hand, wafer W is held on wafer stage WST via a wafer holder (not shown), and wafer stage WST is placed on a wafer base (not shown) so as to be movable in the X and Y directions. The position of wafer stage WST is measured with high accuracy by laser interferometer 18W that irradiates measurement laser beam onto movable mirror 17W fixed thereto, and this measurement value is supplied to stage control system 15 and main control system 14. ing. Based on the measured value and control information from the main control system 14, the stage control system 15 controls the position of the wafer stage WST (wafer W) via a drive system 19W including a linear motor and the like.

ウエハＷの露光時には、ウエハステージＷＳＴによりウエハＷの各ショット領域を投影光学系ＰＬの露光フィールド内に移動する動作と、露光光源３０からの光束を照明光学系１３を介してレチクルＲに照射して、レチクルＲのパターンを投影光学系ＰＬを介してウエハＷ上の当該ショット領域に露光する動作とがステップ・アンド・リピート方式で繰り返される。これによって、レチクルＲのパターンの像がウエハＷ上の各ショット領域に転写される。   At the time of exposure of the wafer W, the wafer stage WST moves each shot area of the wafer W into the exposure field of the projection optical system PL and irradiates the reticle R with the light beam from the exposure light source 30 via the illumination optical system 13. Thus, the operation of exposing the pattern of the reticle R to the shot area on the wafer W via the projection optical system PL is repeated in a step-and-repeat manner. Thereby, the pattern image of the reticle R is transferred to each shot area on the wafer W.

なお、この露光に際して予めアライメントを行うために、レチクルＲの上方には、レチクルＲに形成されたアライメントマークの位置を検出するためのレチクルアライメント顕微鏡２０が設置され、投影光学系ＰＬの側面には、ウエハＷ上の各ショット領域に付設されたアライメントマークの位置を検出するためのアライメントセンサ２１が設置されている。また、ウエハステージＷＳＴ上のウエハＷの近傍にはアライメントセンサ２１等のための複数の基準マークが形成された基準マーク部材２２が設けられている。レチクルアライメント顕微鏡２０及びアライメントセンサ２１の検出信号はアライメント信号処理系１６に供給され、アライメント信号処理系１６は、例えばそれらの検出信号の画像処理によって被検マークの配列座標を求め、この配列座標の情報を主制御系１４に供給する。主制御系１４は、その配列座標の情報に基づいてレチクルＲ及びウエハＷのアライメントを行う。   In order to perform alignment in advance during this exposure, a reticle alignment microscope 20 for detecting the position of the alignment mark formed on the reticle R is installed above the reticle R, and on the side surface of the projection optical system PL. An alignment sensor 21 for detecting the position of the alignment mark attached to each shot area on the wafer W is provided. In addition, a reference mark member 22 on which a plurality of reference marks for the alignment sensor 21 and the like are formed is provided in the vicinity of the wafer W on the wafer stage WST. The detection signals of the reticle alignment microscope 20 and the alignment sensor 21 are supplied to the alignment signal processing system 16, and the alignment signal processing system 16 obtains the array coordinates of the test mark by image processing of these detection signals, for example. Information is supplied to the main control system 14. The main control system 14 aligns the reticle R and the wafer W based on the information on the array coordinates.

次に、本例の投影露光装置の露光光源３０を構成する放電ランプ１及び取り付け装置３１の構成等につき詳細に説明する。
図２（Ａ）は、図１の露光光源３０中の放電ランプ１を示す一部を切り欠いた図であり、この図２（Ａ）において、放電ランプ１は、バルブ部２５ａ及びこれを挟むように固定されたほぼ対称で円筒状の２つの棒状部２５ｂ，２５ｃからなるガラス管２５と、一方の棒状部２５ｂの端部に連結された口金部２６と、他方の外側に向けて段階的に直径が小さくなる棒状部２５ｃの端部に連結された口金部２８とを備えている。そのバルブ部２５ａ内に発光部を形成するための陽極ＥＬ１及び陰極ＥＬ２が対向して固定され、陰極ＥＬ２及び陽極ＥＬ１はそれぞれ口金部２６及び２８に接続され、口金部２６及び２８は電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属製である。口金部２６、ガラス管２５、及び口金部２８は、ガラス管２５の棒状部２５ｂ，２５ｃの中心軸を結び発光部の中心を通る一つの直線上に配置されている。その棒状部２５ｂ，２５ｃの中心軸を結ぶ直線に平行な方向が放電ランプ１の長手方向Ｌである。Next, the configuration of the discharge lamp 1 and the mounting device 31 constituting the exposure light source 30 of the projection exposure apparatus of this example will be described in detail.
2A is a partially cutaway view showing the discharge lamp 1 in the exposure light source 30 of FIG. 1. In FIG. 2A, the discharge lamp 1 sandwiches the bulb portion 25a and this. The glass tube 25 which consists of two substantially symmetrical cylindrical rod portions 25b and 25c fixed in this manner, the base portion 26 connected to the end portion of one rod-like portion 25b, and stepwise toward the outside of the other. And a base portion 28 connected to the end of the rod-like portion 25c having a small diameter. An anode EL1 and a cathode EL2 for forming a light emitting portion are fixed to face each other in the bulb portion 25a. The cathode EL2 and the anode EL1 are connected to the base portions 26 and 28, respectively, and the base portions 26 and 28 have electrical conductivity. And made of metal with good thermal conductivity. The base part 26, the glass tube 25, and the base part 28 are arranged on one straight line that connects the central axes of the rod-like parts 25 b and 25 c of the glass tube 25 and passes through the center of the light emitting part. The longitudinal direction L of the discharge lamp 1 is a direction parallel to a straight line connecting the central axes of the rod-like portions 25b and 25c.

口金部２６及び２８は、基本的に陰極ＥＬ２及び陽極ＥＬ１に図１の電源３４から電力ケーブル３３Ａ及び３３Ｂを介して電力を供給するための電力受給端子として使用される。その他に、口金部２６は、ガラス管２５（放電ランプ１）を保持するための被保持部としても使用され、口金部２６及び２８にはともにガラス管２５から伝導してくる熱を冷却するための気体を流す溝が形成されている。   The base portions 26 and 28 are basically used as power receiving terminals for supplying power to the cathode EL2 and the anode EL1 from the power source 34 of FIG. 1 via the power cables 33A and 33B. In addition, the base part 26 is also used as a held part for holding the glass tube 25 (discharge lamp 1), and both the base parts 26 and 28 cool the heat conducted from the glass tube 25. A groove for flowing the gas is formed.

即ち、陰極ＥＬ２に接続された口金部２６には、棒状部２５ｂから開放端側に順に、棒状部２５ｂの外径の２倍程度の外径の輪帯状のフランジ部２６ａ（当接部）と、棒状部２５ｂの外径よりも僅かに大きい外径の円柱状の軸部２６ｂ（嵌合部（規定部））と、軸部２６ｂよりも外径の小さい円柱状の小径部２６ｋと、軸部２６ｂより僅かに小さい外径、あるいは軸部２６ｂと略同じ外形の円柱状の固定部２６ｈとが形成され、軸部２６ｂと小径部２６ｋとの境界部には面取り部２６ｅが形成され、固定部２６ｈの開放端側にも面取り部２６ｉが形成されている。なお、円柱状の軸部２６ｂの外形は、棒状部２５ｂの外形とほぼ同じ外形であってもよい。小径部２６ｋは、軸部２６ｂと固定部２６ｈとの間に、放電ランプ１の長手方向Ｌと交差する方向に関して凹部（段部）２６ｆを設けることによって形成される。放電ランプ１を図１の取り付け装置３１に取り付ける際に、フランジ部２６ａは対応する部材に当接して、ガラス管２５の発光部の長手方向Ｌ（第１方向）における位置決めの基準となり、軸部２６ｂは対応する部材の開口に嵌合して、その発光部の長手方向Ｌに直交する面内における位置決めの基準となる。また、固定部２６ｈには、凹部２６ｆによって被押圧面２６ｇが形成されている。被押圧面２６ｇは、長手方向Ｌに垂直な平面である。放電ランプ１を図１の取り付け装置３１で保持する際に、取り付け装置３１側の付勢機構の一部の部材が凹部２６ｆ側に差し込まれ、その部材によって被押圧面２６ｇに長手方向Ｌに沿って口金部２６の開放端側に向かう押圧力が加えられる。従って、面取り部２６ｅ、凹部２６ｆ、被押圧面２６ｇ、及び固定部２６ｈより、その付勢機構によって付勢される部材が形成されている。   In other words, the base part 26 connected to the cathode EL2 has, in order from the rod-like part 25b to the open end side, a ring-shaped flange part 26a (contact part) having an outer diameter that is about twice the outer diameter of the rod-like part 25b. A cylindrical shaft portion 26b (fitting portion (defining portion)) having an outer diameter slightly larger than the outer diameter of the rod-shaped portion 25b, a columnar small diameter portion 26k having an outer diameter smaller than that of the shaft portion 26b, and a shaft A cylindrical fixing portion 26h having an outer diameter slightly smaller than that of the portion 26b or substantially the same outer shape as the shaft portion 26b is formed, and a chamfered portion 26e is formed at the boundary portion between the shaft portion 26b and the small diameter portion 26k. A chamfered portion 26i is also formed on the open end side of the portion 26h. Note that the outer shape of the cylindrical shaft portion 26b may be substantially the same as the outer shape of the rod-shaped portion 25b. The small diameter portion 26k is formed by providing a concave portion (step portion) 26f between the shaft portion 26b and the fixed portion 26h in the direction intersecting the longitudinal direction L of the discharge lamp 1. When the discharge lamp 1 is attached to the attachment device 31 of FIG. 1, the flange portion 26a comes into contact with the corresponding member, and serves as a positioning reference in the longitudinal direction L (first direction) of the light emitting portion of the glass tube 25. 26b is fitted to the opening of the corresponding member, and serves as a positioning reference in a plane perpendicular to the longitudinal direction L of the light emitting portion. In addition, a pressed surface 26g is formed on the fixed portion 26h by the recess 26f. The pressed surface 26g is a plane perpendicular to the longitudinal direction L. When the discharge lamp 1 is held by the mounting device 31 of FIG. 1, a part of the biasing mechanism on the mounting device 31 side is inserted into the concave portion 26f side, and the member presses the pressed surface 26g along the longitudinal direction L. Then, a pressing force toward the open end side of the base part 26 is applied. Therefore, a member that is urged by the urging mechanism is formed by the chamfered portion 26e, the recessed portion 26f, the pressed surface 26g, and the fixing portion 26h.

図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の放電ランプ１のＢＢ線に沿った断面図であり、この図２（Ｂ）に示すように、フランジ部２６ａには一例として９０°間隔で２箇所の開口２７Ａ，２７Ｂ（位置決め部）が形成されている。この開口２７Ａ，２７Ｂに図１の取り付け装置３１側の対応する２つのピン７０Ａ，７０Ｂ（図４参照）が差し込まれることで、放電ランプ１の長手方向Ｌに沿った軸の周りの位置決めが行われる。すなわち、取り付け装置３１に対し、放電ランプ１の長手方向を中心とした回転角が決まる。また、放電ランプ１には発光パワー等が異なる複数の種類があり、種類が異なる毎に開口２７Ａ，２７Ｂの個数及び／又は角度等が異なっている。従って、その開口の個数は１個又は複数個である。具体的に、図２（Ｂ）とは別の種類の放電ランプのフランジ部２６ａには、図２（Ｃ）に示すように、例えば９０°間隔で３箇所に開口２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｃが形成され、対応する取り付け装置には３個のピンが形成されている。これによって、投影露光装置の露光光源の取り付け装置に、仕様と異なる放電ランプが取り付けられることが確実に防止される。   FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line BB of the discharge lamp 1 of FIG. 2A. As shown in FIG. 2B, the flange portion 26a has an interval of 90 ° as an example. Openings 27A and 27B (positioning portions) are formed at locations. The corresponding two pins 70A and 70B (see FIG. 4) on the attachment device 31 side of FIG. 1 are inserted into the openings 27A and 27B, thereby positioning the discharge lamp 1 around the axis along the longitudinal direction L. Is called. That is, the rotation angle about the longitudinal direction of the discharge lamp 1 is determined with respect to the attachment device 31. In addition, the discharge lamp 1 has a plurality of types having different light emission powers, and the number and / or angle of the openings 27A and 27B are different for each type. Therefore, the number of the openings is one or more. Specifically, openings 27A, 27B, and 27C are formed at three locations, for example, at 90 ° intervals, as shown in FIG. 2C, in the flange portion 26a of a discharge lamp of a type different from that shown in FIG. The corresponding mounting device is formed with three pins. Thus, it is possible to reliably prevent a discharge lamp having a different specification from being attached to the exposure light source attachment device of the projection exposure apparatus.

図２（Ａ）に戻り、軸部２６ｂの外面のフランジ部２６ａの近傍から面取り部２６ｅ（凹部２６ｆ）までの部分に、長手方向Ｌに平行な軸の周りに螺旋状に溝部２６ｄが形成されている。溝部２６ｄには、後述の送風装置７１（図９参照）から口金部２６を冷却するための気体（冷却用媒体）が流され、これによってガラス管２５で発生した熱が口金部２６に伝導しても、口金部２６を効率的に冷却でき、結果としてガラス管２５の冷却も行われる。また、溝部２６ｄと図２（Ｂ）の開口２７Ａ，２７Ｂとの位置関係は、開口２７Ａ，２７Ｂに図１の取り付け装置３１の対応するピンを差し込んだ状態で、送風装置７１（図９参照）から溝部２６ｄに対して冷却された気体が効率的に供給されるように設定されている。   Referring back to FIG. 2A, a groove portion 26d is formed in a spiral shape around an axis parallel to the longitudinal direction L in a portion from the vicinity of the flange portion 26a on the outer surface of the shaft portion 26b to the chamfered portion 26e (recessed portion 26f). ing. A gas (cooling medium) for cooling the base part 26 is flowed into the groove part 26d from a blower device 71 (see FIG. 9) described later, whereby heat generated in the glass tube 25 is conducted to the base part 26. However, the base part 26 can be efficiently cooled, and as a result, the glass tube 25 is also cooled. The positional relationship between the groove 26d and the openings 27A and 27B in FIG. 2B is such that the air blower 71 (see FIG. 9) is in a state where the corresponding pins of the mounting device 31 in FIG. 1 are inserted into the openings 27A and 27B. Is set so that the cooled gas is efficiently supplied to the groove 26d.

この陰極ＥＬ２側の口金部２６において、軸部２６ｂと固定部２６ｈとの間には、凹部２６ｆが形成されている。すなわち、軸部２６ｂと固定部２６ｈとの間には、長手方向Ｌに直交する面における断面積が軸部２６ｂよりも小さい小径部２６ｋが設けられているため、図１の取り付け装置３１の付勢機構の一部を容易に差し込むことができる。
この場合、軸部２６ｂ及び小径部２６ｋはそれぞれ長手方向Ｌに平行な軸を中心とした円形断面を有し、その小径部２６ｋの円形断面の直径は、軸部２６ｂの円形断面の直径の１／２以下（例えば１／３程度）であることが望ましい。これによって、その付勢機構の一部を凹部２６ｆに大きく差し込むことができ、被押圧面２６ｇを口金部２６の開放端側に大きい力で容易に付勢できる。In the base part 26 on the cathode EL2 side, a concave part 26f is formed between the shaft part 26b and the fixed part 26h. That is, since the small-diameter portion 26k whose sectional area in the plane orthogonal to the longitudinal direction L is smaller than that of the shaft portion 26b is provided between the shaft portion 26b and the fixed portion 26h, the attachment device 31 of FIG. A part of the biasing mechanism can be easily inserted.
In this case, each of the shaft portion 26b and the small diameter portion 26k has a circular cross section centered on an axis parallel to the longitudinal direction L, and the diameter of the circular cross section of the small diameter portion 26k is 1 of the diameter of the circular cross section of the shaft portion 26b. / 2 or less (for example, about 1/3) is desirable. Thereby, a part of the urging mechanism can be largely inserted into the recess 26f, and the pressed surface 26g can be easily urged toward the open end side of the base part 26 with a large force.

また、溝部２６ｄは面取り部２６ｅを通して凹部２６ｆに連通しているため、冷却用の気体を長手方向Ｌに沿って円滑に流すことができる。この場合、溝部２６ｄは軸部２６ｂの表面に螺旋状に形成されているため、その冷却用の気体によって軸部２６ｂ（口金部２６）の全体を効率的に冷却できる。なお、螺旋状の溝部２６ｄの代わりに、後述するように、軸部２６ｂの表面に長手方向Ｌにほぼ沿って直線状に複数の溝部を設け、これらの複数の溝部に冷却用の気体を流してもよい。   Further, since the groove portion 26d communicates with the concave portion 26f through the chamfered portion 26e, the cooling gas can flow smoothly along the longitudinal direction L. In this case, since the groove portion 26d is formed in a spiral shape on the surface of the shaft portion 26b, the entire shaft portion 26b (cap portion 26) can be efficiently cooled by the cooling gas. Instead of the spiral groove 26d, as will be described later, a plurality of grooves are provided on the surface of the shaft portion 26b in a straight line substantially along the longitudinal direction L, and a cooling gas is allowed to flow through these grooves. May be.

また、ガラス管２５及び口金部２６，２８を含む放電ランプ１全体の長手方向Ｌの長さをＬＴ１、取り付け装置３１によって保持される口金部２６の長手方向Ｌの長さをＬＴ２とすると、長さＬＴ２は次式のように長さＬＴ１の１／５以上で１／４以下（一例としてＬＴ１の０．２２倍程度）であることが望ましい。
ＬＴ１／５≦ＬＴ２≦ＬＴ１／４ …（１）
長さＬＴ２が式（１）の下限以上であることによって、放電ランプ１を口金部２６を介して十分な力で安定に図１の取り付け装置３１で保持することができるとともに、口金部２６の冷却効果を高めることができる。さらに、長さＬＴ２が式（１）の上限以下であることによって、放電ランプ１全体の長さ及び重量を許容範囲内に収めることが容易になる。なお、他方の自由端側の口金部２８の長手方向Ｌの長さＬＴ３は、例えば長さＬＴ１の１／８以上で１／５以下（一例として長さＬＴ１の０．１５倍程度）である。Further, when the length in the longitudinal direction L of the entire discharge lamp 1 including the glass tube 25 and the base portions 26 and 28 is LT1, and the length in the longitudinal direction L of the base portion 26 held by the attachment device 31 is LT2, the length is long. The length LT2 is desirably 1/5 or more and 1/4 or less (for example, about 0.22 times LT1) of the length LT1 as shown in the following equation.
LT1 / 5 ≦ LT2 ≦ LT1 / 4 (1)
When the length LT2 is equal to or greater than the lower limit of the expression (1), the discharge lamp 1 can be stably held by the mounting device 31 of FIG. The cooling effect can be enhanced. Furthermore, when the length LT2 is equal to or less than the upper limit of the expression (1), it becomes easy to keep the length and weight of the entire discharge lamp 1 within an allowable range. The length LT3 in the longitudinal direction L of the base portion 28 on the other free end side is, for example, not less than 1/8 and not more than 1/5 of the length LT1 (as an example, about 0.15 times the length LT1). .

また、口金部２６の軸部２６ｂの表面で図１の取り付け装置３１の対応する部材の開口と嵌合する（接触する）部分の面積は、軸部２６ｂに形成された溝部２６ｄの面積よりも広いことが望ましい。これは、図２（Ａ）において、長手方向Ｌにおける軸部２６ｂの表面（凸部）の幅Ｍ１が、以下のように溝部２６ｄの幅Ｍ２より大きいことを意味する。これによって、溝部２６ｄに冷却用の気体を流すことによる冷却効果を高め、かつ軸部２６ｂに対する保持力を高めることができる。   Further, the area of the portion that fits (contacts) with the opening of the corresponding member of the attachment device 31 in FIG. 1 on the surface of the shaft portion 26b of the base portion 26 is larger than the area of the groove portion 26d formed in the shaft portion 26b. Wide is desirable. This means that in FIG. 2A, the width M1 of the surface (convex portion) of the shaft portion 26b in the longitudinal direction L is larger than the width M2 of the groove portion 26d as follows. Thereby, the cooling effect by flowing the cooling gas through the groove 26d can be enhanced, and the holding force for the shaft 26b can be enhanced.

Ｍ１＞Ｍ２ …（２）
より実用的には、軸部２６ｂの表面で対応する部材の開口と嵌合する部分の面積は、溝部２６ｄの面積の２倍よりも広い（一例として３倍程度である。）ことが望ましい。これは、次式が成立することを意味する。これによって、軸部２６ｂに対する保持力をさらに高め、かつ比較的高い冷却効果も得られる。M1> M2 (2)
More practically, it is desirable that the area of the portion that fits into the opening of the corresponding member on the surface of the shaft portion 26b is larger than twice the area of the groove portion 26d (for example, about three times). This means that the following equation holds. As a result, the holding force for the shaft portion 26b is further increased, and a relatively high cooling effect is also obtained.

Ｍ１＞２・Ｍ２ …（３）
一方、図２（Ａ）の陽極ＥＬ１に接続された口金部２８は、棒状部２５ｃ側から開放端側に順に、棒状部２５ｃの最大直径より僅かに大きい外径の薄い輪帯部２８ｈと、輪帯部２８ｈとほぼ同じ外径、あるいは輪帯部２８ｈより小さい外径を有する円柱状の軸部２８ｃと、軸部２８ｃの開放端側の面を僅かな空間２８ｄを隔てて覆い、かつ軸部２８ｃに嵌合する円筒状のカバー部２８ｂとを備える。さらに、円筒状のカバー部２８ｂには、その外径が軸部２８ｃの１／３程度の円筒状の端子部２８ａが形成されている。軸部２８ｃの表面には、開放端側から輪帯部２８ｈにかけて長手方向Ｌに平行な軸の周りに螺旋状に溝部２８ｆが形成されている。輪帯部２８ｈと軸部２８ｃとの間には、凹部２８ｇが形成されており、軸部２８ｃの溝２８ｆは、この凹部２８ｇに連通している。
また、端子部２８ａの内部には、端子部２８の外部と、カバー部２８ｂの内部、すなわち、空間２８ｄとを連通する流通穴２８ｅが形成されている。円筒状のカバー部２８ｂは、電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属で形成されている。M1> 2 · M2 (3)
On the other hand, the base part 28 connected to the anode EL1 in FIG. 2A is, in order from the bar-shaped part 25c side to the open end side, a thin annular part 28h having an outer diameter slightly larger than the maximum diameter of the bar-shaped part 25c, A cylindrical shaft portion 28c having substantially the same outer diameter as that of the annular zone portion 28h or an outer diameter smaller than that of the annular zone portion 28h, and an open end side surface of the axial portion 28c are covered with a slight space 28d, and the shaft And a cylindrical cover portion 28b fitted to the portion 28c. Further, the cylindrical cover portion 28b is formed with a cylindrical terminal portion 28a whose outer diameter is about 1/3 of the shaft portion 28c. On the surface of the shaft portion 28c, a groove portion 28f is formed spirally around an axis parallel to the longitudinal direction L from the open end side to the ring zone portion 28h. A recess 28g is formed between the annular portion 28h and the shaft portion 28c, and a groove 28f of the shaft portion 28c communicates with the recess 28g.
In addition, a flow hole 28e is formed inside the terminal portion 28a to communicate the outside of the terminal portion 28 and the inside of the cover portion 28b, that is, the space 28d. The cylindrical cover portion 28b is formed of a metal having good electrical conductivity and thermal conductivity.

口金部２８の端子部２８ａには、図８に示す電力ケーブル３３Ｂが接続される。この電力ケーブル３３Ｂには、陽極ＥＬ１に接続される電力線の他に、流通穴２８ｅを通して溝部２８ｆに冷却された気体（冷却用媒体）を供給するための配管も収納されている。このように電力ケーブル３３Ｂは、電力の他に冷却された気体を供給するために使用されるため、用力ケーブルとも呼ぶことができ、端子部２８ａは用力受給端子とも呼ぶことができる。電力ケーブル３３Ｂ及び端子部２８ａがそれぞれ電力及び冷却された気体の受給（供給）用に使用されているため、口金部２８及び電力ケーブル３３Ｂをコンパクトに形成することができる。   A power cable 33 </ b> B shown in FIG. 8 is connected to the terminal portion 28 a of the base portion 28. In addition to the power line connected to the anode EL1, the power cable 33B also stores a pipe for supplying the cooled gas (cooling medium) to the groove 28f through the flow hole 28e. Thus, since the power cable 33B is used to supply a cooled gas in addition to the power, it can also be called a utility cable, and the terminal portion 28a can also be called a utility receiving terminal. Since the power cable 33B and the terminal portion 28a are used for receiving (supplying) electric power and cooled gas, respectively, the base portion 28 and the power cable 33B can be formed compactly.

図２（Ａ）において、電力ケーブル３３Ｂから端子部２８ａ内の流通穴２８ｅに供給された冷却用の気体は、口金部２８の軸部２８ｃの表面の溝部２８ｆとカバー部２８ｂとで形成された流路内を流れた後、軸部２８ｇと輪帯部２８ｈとの間の凹部２８ｇから外側に排気される。この際に、溝部２８ｆ（流路）が螺旋状であるため、口金部２８の全体を効率的に冷却できる。なお、口金部２８においても、溝部２８ｆの代わりに、軸部２８ｃの表面に長手方向Ｌにほぼ平行に設けた複数の溝部を形成しておき、これらの溝部に冷却用の気体を供給してもよい。   In FIG. 2A, the cooling gas supplied from the power cable 33B to the flow hole 28e in the terminal portion 28a is formed by the groove portion 28f on the surface of the shaft portion 28c of the base portion 28 and the cover portion 28b. After flowing through the flow path, the air is exhausted outward from the recess 28g between the shaft portion 28g and the annular zone portion 28h. At this time, since the groove 28f (flow path) is spiral, the entire base 28 can be efficiently cooled. Also in the base part 28, instead of the groove part 28f, a plurality of groove parts provided substantially parallel to the longitudinal direction L are formed on the surface of the shaft part 28c, and a cooling gas is supplied to these groove parts. Also good.

なお、仮に陰極ＥＬ２用の口金部２６の溝部２６ｄに冷却用の気体を供給するのみで、口金部２６及びガラス管２５の冷却を十分に行うことができる場合には、陽極ＥＬ１用の口金部２８には必ずしも冷却用の気体を流す流路を形成しなくともよい。さらに、放電ランプ１において、取り付け装置３１に保持される口金部２６に接続される電極を陽極として、自由端側の口金部２８に接続される電極を陰極とすることも可能である。   If the cooling of the base part 26 and the glass tube 25 can be sufficiently performed only by supplying a cooling gas to the groove part 26d of the base part 26 for the cathode EL2, the base part for the anode EL1. It is not always necessary to form a flow path for the gas for cooling in 28. Further, in the discharge lamp 1, the electrode connected to the base part 26 held by the mounting device 31 can be used as an anode, and the electrode connected to the base part 28 on the free end side can be used as a cathode.

次に、図３は図１の露光光源３０の取り付け装置３１の構成を示し、図４は図３の取り付け装置３１の平面図、図５は図３のＡＡ線に沿う断面図、図６は図３のＢＢ線に沿う断面図である。図３において、ほぼ正方形の平板状のセラミックス製の絶縁板３２の表面に、薄い平板状の底板３６が複数箇所でボルト３５を用いて固定されている。この場合、予め底板３６の表面の３箇所には、円柱状のガイド部材３７Ａ，３７Ｂ，３７Ｃ（図５参照）が、裏面から螺合されたボルト３９Ａによって、底板３６に固定されている。絶縁板３２の表面にはボルト３９Ａを収納する凹部３２ａが形成されているため、絶縁板３２の表面に底板３６を密着させて固定することができる。底板３６の４隅にはボルト４０を通すための開口３６ａが形成され、その開口３６ａを通して絶縁板３２は４箇所でボルト４０（図５参照）によって固定板２９に固定されている。この構成によって、取り付け装置３１は固定板２９に対して絶縁状態で固定されている。   Next, FIG. 3 shows the configuration of the attachment device 31 for the exposure light source 30 in FIG. 1, FIG. 4 is a plan view of the attachment device 31 in FIG. 3, FIG. It is sectional drawing which follows the BB line of FIG. In FIG. 3, a thin flat bottom plate 36 is fixed to a surface of a substantially square flat plate-shaped ceramic insulating plate 32 using bolts 35 at a plurality of locations. In this case, cylindrical guide members 37A, 37B, and 37C (see FIG. 5) are fixed to the bottom plate 36 in advance at three locations on the surface of the bottom plate 36 by bolts 39A screwed from the back surface. Since the concave portion 32 a for accommodating the bolt 39 </ b> A is formed on the surface of the insulating plate 32, the bottom plate 36 can be adhered and fixed to the surface of the insulating plate 32. Openings 36a for passing bolts 40 are formed at the four corners of the bottom plate 36, and the insulating plates 32 are fixed to the fixing plate 29 by bolts 40 (see FIG. 5) through the openings 36a. With this configuration, the attachment device 31 is fixed to the fixing plate 29 in an insulated state.

また、図５に示すように、底板３６の左側の２箇所の隅には断面形状がＬ字型のフレーム４６Ａ，４６Ｂが固定され、底板３６の右側の２箇所の隅には平板状のパネル板４７Ａ，４７Ｂが右側に突き出るように固定され、パネル板４７Ａ，４７Ｂの右端部は平板状のパネル板４７Ｃで連結されている。フレーム４６Ａ，４６Ｂ及びパネル板４７Ａ，４７Ｂの上に、図４に示すようにほぼ正方形の平板状で中央に大きい円形開口４５ａ（図３参照）が形成された上板４５が固定されている。上板４５には、３箇所のガイド部材３７Ａ〜３７Ｃの先端部を通すための３個の小さい開口も形成されている。   Also, as shown in FIG. 5, frames 46A and 46B having an L-shaped cross-section are fixed at the two left corners of the bottom plate 36, and a flat panel is formed at the two right corners of the bottom plate 36. The plates 47A and 47B are fixed so as to protrude rightward, and the right end portions of the panel plates 47A and 47B are connected by a flat panel plate 47C. On the frames 46A and 46B and the panel plates 47A and 47B, as shown in FIG. 4, an upper plate 45 having a substantially square flat plate shape and a large circular opening 45a (see FIG. 3) formed at the center is fixed. The upper plate 45 is also formed with three small openings for passing the tip portions of the three guide members 37A to 37C.

図３において、上板４５の上面に開口４５ａを覆うようにボルト５１によって輪帯状の位置決め板５０が固定され、位置決め板５０の底面に、ほぼ円筒状の円筒部材５２のフランジ部が例えば４箇所でボルト５３によって固定されている。位置決め板５０の上面５０ａには、図２（Ａ）の放電ランプ１の口金部２６のフランジ部２６ａが載置され、位置決め板５０の中央の円形開口５０ｂ及びこれに続く円筒部材５２の内面には、その口金部２６の軸部２６ｂが嵌合される。従って、位置決め板５０及び円筒部材５２は、一体的に放電ランプ１の口金部２６を保持するための部材となる。円筒部材５２の中心軸に沿った方向を放電ランプ１の移動方向Ｄと呼ぶ。   In FIG. 3, a ring-shaped positioning plate 50 is fixed by bolts 51 so as to cover the opening 45 a on the upper surface of the upper plate 45. And is fixed by a bolt 53. A flange portion 26a of the base portion 26 of the discharge lamp 1 shown in FIG. 2A is placed on the upper surface 50a of the positioning plate 50. On the circular opening 50b at the center of the positioning plate 50 and the inner surface of the cylindrical member 52 that follows this. The shaft portion 26b of the base portion 26 is fitted. Therefore, the positioning plate 50 and the cylindrical member 52 are members for holding the base portion 26 of the discharge lamp 1 integrally. A direction along the central axis of the cylindrical member 52 is referred to as a moving direction D of the discharge lamp 1.

また、位置決め板５０の開口５０ｂとその側面とを連通するように通気孔５０ｃが形成され、通気孔５０ｃに図９の送風装置７１から冷却された気体を供給するための可撓性の高い配管７３の端子が連結されている。さらに、位置決め板５０の上面５０ａには、図４に示すように、図２（Ｂ）の放電ランプ１のフランジ部２６ａの開口２７Ａ，２７Ｂに対応する配置でピン７０Ａ，７０Ｂが固定されている。これによって、位置決め板５０上に放電ランプ１のフランジ部２６ａを常に同じ角度位置で載置することができる。   Further, a vent hole 50c is formed so as to communicate the opening 50b of the positioning plate 50 and its side surface, and a highly flexible pipe for supplying the gas cooled from the blower 71 of FIG. 9 to the vent hole 50c. 73 terminals are connected. Further, as shown in FIG. 4, pins 70A and 70B are fixed to the upper surface 50a of the positioning plate 50 in an arrangement corresponding to the openings 27A and 27B of the flange portion 26a of the discharge lamp 1 of FIG. . As a result, the flange portion 26a of the discharge lamp 1 can always be placed on the positioning plate 50 at the same angular position.

図３において、位置決め板５０、上板４５、及びフレーム４６Ａ，４６Ｂは互いに電気的に導通し、かつ放熱効果を高めるように、電気伝導率及び熱伝導率の良好な金属より形成され、フレーム４６Ａにボルト５５を介して電力ケーブル３３Ａが固定されている。位置決め板５０に図２（Ａ）の口金部２６のフランジ部２６ａが接触するように放電ランプ１を保持することによって、電力ケーブル３３Ａ、フレーム４６Ａ、上板４５、及び位置決め板５０を介して口金部２６に電力が供給される。同様に、円筒部材５２も熱伝導率の良好な金属製である。   In FIG. 3, the positioning plate 50, the upper plate 45, and the frames 46A and 46B are formed of a metal having good electrical conductivity and thermal conductivity so as to be electrically connected to each other and enhance the heat dissipation effect. The power cable 33 </ b> A is fixed via a bolt 55. By holding the discharge lamp 1 such that the flange portion 26 a of the base portion 26 of FIG. 2A contacts the positioning plate 50, the base via the power cable 33 A, the frame 46 A, the upper plate 45, and the positioning plate 50. Power is supplied to the unit 26. Similarly, the cylindrical member 52 is also made of a metal having a good thermal conductivity.

さらに、上板４５上に位置決め板５０（円筒部材５２が連結されている）を固定する際には、予め円筒部材５２を囲むようにカップ状で中央に開口を持つ移動部材４１が移動方向Ｄに沿って移動できる状態で配置される。移動部材４１は、上板４５側から底板３６側に順に、円筒部材５２に近接して配置された輪帯部４１ａと、移動方向Ｄに対して底板３６側が外側にほぼ５°程度開いた円錐の側面状の内面（テーパ面）を持つ傾斜部４１ｂと、傾斜部４１ｂよりもさらに外側に４０°程度開いた円錐の側面状の内面（テーパ面）を持つ収納部４１ｃと、輪帯部４１ａよりも大きい輪帯状で３箇所にガイド部材３７Ａ〜３７Ｃ（図５参照）を通すための開口が形成された駆動部４１ｄとを連結して形成されている。輪帯部４１ａの上端には、図５に示すように、これをパネル板４７Ａ，４７Ｂとほぼ平行に挟むように２箇所に、小さい平板状の昇降部材４８Ａ，４８Ｂが固定されている。   Further, when the positioning plate 50 (the cylindrical member 52 is connected) is fixed on the upper plate 45, the moving member 41 having a cup shape and having an opening in the center so as to surround the cylindrical member 52 in advance is moved in the moving direction D. It is arranged in a state where it can move along. The moving member 41 includes, in order from the top plate 45 side to the bottom plate 36 side, a ring zone portion 41a disposed in the vicinity of the cylindrical member 52, and a cone whose bottom plate 36 side is opened outward by about 5 ° with respect to the moving direction D. An inclined portion 41b having a side-like inner surface (tapered surface), a storage portion 41c having a conical side-like inner surface (tapered surface) that opens about 40 ° further outward than the inclined portion 41b, and an annular portion 41a It is formed by connecting a drive part 41d having an opening for passing guide members 37A to 37C (see FIG. 5) in three places with a larger ring-shaped shape. As shown in FIG. 5, small flat plate-like elevating members 48A and 48B are fixed to the upper end of the annular zone portion 41a at two locations so as to be sandwiched between the upper and lower panels 41A and 47B.

また、図５において、移動部材４１の駆動部４１ｄには等角度間隔に設けられた３箇所の開口を覆うようにボルト４３によって連結部材４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃが固定され、連結部材４２Ａ〜４２Ｃの貫通孔にそれぞれガイド部材３７Ａ〜３７Ｃが挿通されている。
図４に示すように、上板４５の上面に位置決め板５０を囲むように配置された３箇所の開口を覆うように、ボルト３９Ｃを用いてほぼ逆Ｕ字型の止め具３８Ａ，３８Ｂ，３８Ｃが固定され、止め具３８Ａ〜３８Ｃの中央にそれぞれボルト３９Ｂを用いて図５のガイド部材３７Ａ〜３７Ｃの先端が固定されている。さらに、止め具３８Ａ〜３８Ｃと連結部材４２Ａ〜４２Ｃとの間に、それぞれガイド部材３７Ａ〜３７Ｃを覆うように圧縮コイルばね４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ（図５参照）が装着されている。この結果、移動部材４１の駆動部４１ｄには、３箇所の連結部材４２Ａ〜４２Ｃを介して圧縮コイルばね４４Ａ〜４４Ｃによって移動方向Ｄに沿って底板３６側に押圧力Ｆ１が常時加えられている。従って、移動部材４１の輪帯部４１ａに固定された昇降部材４８Ａ，４８Ｂに、後述の切替用リンク機構６３によって上板４５側に向かう駆動力を加えない限り、移動部材４１は円筒部材５２に沿って底板３６側に移動する。In FIG. 5, connecting members 42A, 42B, and 42C are fixed to the driving portion 41d of the moving member 41 by bolts 43 so as to cover three openings provided at equiangular intervals, and the connecting members 42A to 42C. Guide members 37A to 37C are inserted through the through holes, respectively.
As shown in FIG. 4, substantially inverted U-shaped stoppers 38A, 38B, and 38C are used by using bolts 39C so as to cover three openings arranged on the upper surface of the upper plate 45 so as to surround the positioning plate 50. Are fixed, and the tips of the guide members 37A to 37C in FIG. 5 are fixed to the centers of the stoppers 38A to 38C using bolts 39B, respectively. Further, compression coil springs 44A, 44B, and 44C (see FIG. 5) are mounted between the stoppers 38A to 38C and the connecting members 42A to 42C so as to cover the guide members 37A to 37C, respectively. As a result, the pressing force F1 is constantly applied to the drive unit 41d of the moving member 41 along the moving direction D by the compression coil springs 44A to 44C via the three connecting members 42A to 42C. . Accordingly, the moving member 41 does not move to the cylindrical member 52 unless a driving force toward the upper plate 45 side is applied to the elevating members 48A and 48B fixed to the ring zone 41a of the moving member 41 by the switching link mechanism 63 described later. Along the bottom plate 36 side.

また、図３において、円筒部材５２の側面の上板４５と底板３６とのほぼ中間位置に、ガイド部材３７Ａ〜３７Ｃと同じ角度で３箇所の矩形の窓部５２ａ，５２ｂ，５２ｃ（図５参照）が形成されている。さらに、円筒部材５２の下端部に窓部５２ａ〜５２ｃと同じ角度で３箇所の凸部５２ｄ，５２ｅ，５２ｆが形成され、凸部５２ｄ〜５２ｆにそれぞれ軸５６の周りに回転可能にほぼＬ字型の固定用アーム５５Ａ，５５Ｂ，５５Ｃ（図６参照）が固定されている。固定用アーム５５Ａ〜５５Ｃにはそれぞれ代表的にコイルばね６２Ａで示すように、円筒部材５２に対して外側に回転するような小さいトルクが常時付与されている。   In FIG. 3, three rectangular windows 52a, 52b, and 52c (see FIG. 5) are provided at approximately the middle position between the upper plate 45 and the bottom plate 36 on the side surface of the cylindrical member 52 at the same angle as the guide members 37A to 37C. ) Is formed. Further, three convex portions 52d, 52e, and 52f are formed at the lower end portion of the cylindrical member 52 at the same angle as the window portions 52a to 52c, and the convex portions 52d to 52f are substantially L-shaped so as to be rotatable around the shaft 56, respectively. The mold fixing arms 55A, 55B, and 55C (see FIG. 6) are fixed. A small torque that rotates outward with respect to the cylindrical member 52 is constantly applied to the fixing arms 55A to 55C, as typically shown by a coil spring 62A.

図７（Ａ）は図３の固定用アーム５５Ａの平面断面図、図７（Ｂ）はその固定用アーム５５Ａの正面図であり、固定用アーム５５Ａを構成するフレーム５７の一端は軸５６を中心とする回転中心Ａの周りに回転可能であり、フレーム５７の他端には回転軸６０を介してローラ６１が固定され、フレーム５７の中間の屈曲部には小型軸受け５８を介してローラ５９が固定されている。従って、ローラ５９及び６１はそれぞれ回転可能であり、固定用アーム５５Ａを軸５６の反時計周りに回転することによって、ローラ６１が固定対象面（本例では図２（Ａ）の放電ランプ１の口金部２６の被押圧面２６ｇ）に付勢される。   7A is a plan sectional view of the fixing arm 55A shown in FIG. 3, and FIG. 7B is a front view of the fixing arm 55A. One end of the frame 57 constituting the fixing arm 55A is connected to the shaft 56. A roller 61 is fixed to the other end of the frame 57 via a rotary shaft 60, and a roller 59 via a small bearing 58 is attached to a middle bent portion of the frame 57. Is fixed. Accordingly, the rollers 59 and 61 are respectively rotatable, and by rotating the fixing arm 55A counterclockwise about the shaft 56, the roller 61 is fixed to the surface to be fixed (in this example, the discharge lamp 1 of FIG. 2A). The pressed surface 26g) of the base part 26 is biased.

図３の状態では、移動部材４１が円筒部材５２に沿って最も上板４５に近い位置にあり、固定用アーム５５Ａ〜５５Ｃの屈曲部のローラ５９は移動部材４１の収納部４１ｃに付勢され、ローラ６１は円筒部材５２の窓部５２ａ〜５２ｃの外側に出ている。従って、図２（Ａ）の放電ランプ１の口金部２６の軸部２６ｂ及び固定部２６ｈは、位置決め板５０の開口５０ｂ及び円筒部材５２の内面に沿って移動方向Ｄに自由に移動できる。   In the state of FIG. 3, the moving member 41 is located closest to the upper plate 45 along the cylindrical member 52, and the rollers 59 of the bent portions of the fixing arms 55 </ b> A to 55 </ b> C are urged by the storage portion 41 c of the moving member 41. The roller 61 protrudes outside the window portions 52 a to 52 c of the cylindrical member 52. Therefore, the shaft portion 26b and the fixing portion 26h of the base portion 26 of the discharge lamp 1 of FIG. 2A can freely move in the movement direction D along the opening 50b of the positioning plate 50 and the inner surface of the cylindrical member 52.

図９は、図３の状態から移動部材４１を円筒部材５２に沿って最も底板３６に近い位置まで降下させた状態の一例を示し、この図９において、固定用アーム５５Ａ（他の固定用アーム５５Ｂ，５５Ｃも同様）のローラ５９は、移動部材４１の傾斜部４１ｂに接触して円筒部材５２の内側に付勢されている。この結果、固定用アーム５５Ａには軸５６の反時計周りにトルクが付与され、固定用アーム５５Ａの他端側のローラ６１は円筒部材５２の窓部５２ａを通して内側に差し込まれる。図９の状態では、円筒部材５２内に放電ランプ１の口金部２６の軸部２６ｂ及び固定部２６ｈが嵌合しているため、固定用アーム５５Ａのローラ６１は口金部２６の凹部２６ｆ内に差し込まれ、さらに固定部２６ｈの上面である被押圧面２６ｇに接触する。この状態では、圧縮コイルばね４４Ａ，４４Ｂ等の押圧力が移動部材４１及び固定用アーム５５Ａを介して被押圧面２６ｇ（口金部２６）に加えられるため、口金部２６のフランジ部２６ａが取り付け装置３１の位置決め板５０の上面５０ａに押し付けられ、口金部２６ひいては放電ランプ１は取り付け装置３１によって安定に保持される。従って、固定用アーム５５Ａ〜５５Ｃが、口金部２６（固定部２６ｈ）に底板３６側への押圧力を付与する部材の一部を構成している。   9 shows an example of a state in which the moving member 41 is lowered from the state of FIG. 3 along the cylindrical member 52 to a position closest to the bottom plate 36. In FIG. 9, the fixing arm 55A (another fixing arm) is shown. 55B and 55C are also in contact with the inclined portion 41b of the moving member 41 and are urged to the inside of the cylindrical member 52. As a result, torque is applied to the fixing arm 55A in the counterclockwise direction of the shaft 56, and the roller 61 on the other end side of the fixing arm 55A is inserted inward through the window portion 52a of the cylindrical member 52. In the state of FIG. 9, since the shaft portion 26 b and the fixing portion 26 h of the base portion 26 of the discharge lamp 1 are fitted in the cylindrical member 52, the roller 61 of the fixing arm 55 </ b> A is placed in the concave portion 26 f of the base portion 26. Further, it is inserted into contact with the pressed surface 26g which is the upper surface of the fixed portion 26h. In this state, since the pressing force of the compression coil springs 44A, 44B and the like is applied to the pressed surface 26g (the base part 26) via the moving member 41 and the fixing arm 55A, the flange part 26a of the base part 26 is attached to the attachment device. It is pressed against the upper surface 50 a of the positioning plate 50 of 31, and the base portion 26 and thus the discharge lamp 1 is stably held by the mounting device 31. Therefore, the fixing arms 55 </ b> A to 55 </ b> C constitute part of a member that applies a pressing force toward the bottom plate 36 to the base portion 26 (fixing portion 26 h).

ここで、固定用アーム５５Ａ〜５５Ｃによる口金部２６（固定部２６ｈ）への押圧力を解除するために、移動部材４１の昇降部材４８Ａ，４８Ｂを上板４５側に引き上げる切替用リンク機構６３の構成につき説明する。
図３において、パネル板４７Ｃのほぼ中央に絶縁材料からなる回転レバー部６４が固定され、パネル板４７Ｃの内側の回転レバー部６４の先端に移動方向Ｄに直交する駆動方向Ｅに移動可能に可動ロッド６５が連結され、可動ロッド６５の先端に平面視がほぼＵ字型の分岐部材６６が固定されている。本例では、一例として回転レバー部６４をオペレータが手動で回転することによって、それに連動して可動ロッド６５が駆動方向Ｅに移動する。なお、可動ロッド６５を移動する機構は任意であり、例えば回転レバー部６４を用いることなく、延長した可動ロッド６５をオペレータが直接操作してもよい。また、駆動方向Ｅは移動方向Ｄに直交していなくともよく、例えば移動方向Ｄにほぼ平行であってもよい。Here, in order to release the pressing force to the base part 26 (fixing part 26h) by the fixing arms 55A to 55C, the switching link mechanism 63 for pulling up the lifting members 48A and 48B of the moving member 41 to the upper plate 45 side. The configuration will be described.
In FIG. 3, a rotating lever portion 64 made of an insulating material is fixed substantially at the center of the panel plate 47C, and is movable at the tip of the rotating lever portion 64 inside the panel plate 47C so as to be movable in a driving direction E perpendicular to the moving direction D. A rod 65 is connected, and a branch member 66 having a substantially U shape in plan view is fixed to the tip of the movable rod 65. In this example, as an example, when the operator manually rotates the rotary lever portion 64, the movable rod 65 moves in the driving direction E in conjunction with the rotation. Note that the mechanism for moving the movable rod 65 is arbitrary. For example, the operator may directly operate the extended movable rod 65 without using the rotating lever portion 64. Further, the drive direction E does not have to be orthogonal to the movement direction D, and may be substantially parallel to the movement direction D, for example.

図５において、一例として回転レバー部６４を支持するパネル板４７Ａ〜４７Ｃはともに絶縁材料から形成されている。そして、分岐部材６６の２箇所の先端部には軸６６Ａ，６６Ｂを介して回転可能に細長いリンク部材６７Ａ，６７Ｂの一端が連結され、リンク部材６７Ａ，６７Ｂの他端にローラ６９Ａ，６９Ｂが回転可能に連結され、移動部材４１の上端の輪帯部４１ａに固定された昇降部材４８Ａ，４８Ｂに底面側からローラ６９Ａ，６９Ｂが接触可能である。さらに、パネル板４７Ａ，４７Ｂの上部に軸６８Ｃ，６８Ｄを介して回転可能に細長いリンク部材６８Ａ，６８Ｂの一端が固定され、リンク部材６８Ａ，６８Ｂの他端は軸６７Ｃ，６７Ｄを介してリンク部材６７Ａ，６７Ｂの中間位置（リンク部材の一端部と他端部との間の位置）に連結されている（図３参照）。このように、回転レバー部６４、可動ロッド６５、分岐部材６６、リンク部材６７Ａ，６７Ｂ、リンク部材６８Ａ，６８Ｂ、及びローラ６９Ａ，６９Ｂを含んで切替用リンク機構６３が構成されている。   In FIG. 5, as an example, the panel plates 47 </ b> A to 47 </ b> C that support the rotating lever portion 64 are all formed of an insulating material. Then, one end of an elongated link member 67A, 67B is connected to the two tip portions of the branch member 66 via shafts 66A, 66B, and the rollers 69A, 69B are rotated to the other end of the link members 67A, 67B. Rollers 69A and 69B can contact the elevating members 48A and 48B that are connected to each other and fixed to the annular zone 41a at the upper end of the moving member 41 from the bottom surface side. Further, one end of an elongated link member 68A, 68B is fixed to the upper part of the panel plates 47A, 47B via a shaft 68C, 68D, and the other end of the link member 68A, 68B is linked to the link member via a shaft 67C, 67D. It is connected to an intermediate position between 67A and 67B (position between one end and the other end of the link member) (see FIG. 3). As described above, the switching link mechanism 63 includes the rotating lever portion 64, the movable rod 65, the branching member 66, the link members 67A and 67B, the link members 68A and 68B, and the rollers 69A and 69B.

なお、移動部材４１と切替用リンク機構６３のリンク機構との機械的な干渉を確実に防止するために、図５に示すように、移動部材４１の収納部４１ｃ及び駆動部４１ｄの点線で囲まれた２箇所の端部１４７Ａ及び１４８Ｂを削除してもよい。
図１０（Ａ）及び（Ｂ）は、図３において、切替用リンク機構６３の手前側のリンク部材６７Ｂ，６８Ｂ等を表示した図に相当し、かつ取り付け装置３１に放電ランプ１の口金部２６が保持されている状態を示し、図１０（Ａ）のように、回転レバー部６４を操作して可動ロッド６５を駆動方向Ｅに沿って右端部まで移動した状態では、リンク部材６７Ｂ（図５のリンク部材６７Ａも同様）がほぼ可動ロッド６５に平行になり、移動部材４１は移動方向Ｄに沿って最下端まで降下する。この結果、図３の固定用アーム５５Ａのローラ６１が口金部２６の固定部２６ｈを下方に付勢して、口金部２６は安定に保持される。In order to reliably prevent mechanical interference between the moving member 41 and the link mechanism of the switching link mechanism 63, as shown in FIG. 5, it is surrounded by the dotted lines of the storage portion 41c and the drive portion 41d of the moving member 41. The two end portions 147A and 148B may be deleted.
10 (A) and 10 (B) correspond to a diagram in which the link members 67B, 68B, etc. on the near side of the switching link mechanism 63 in FIG. 3 are shown, and the cap 26 of the discharge lamp 1 is attached to the mounting device 31. 10A, in the state where the movable rod 65 is moved to the right end portion along the driving direction E by operating the rotary lever portion 64 as shown in FIG. The same applies to the link member 67A), which is substantially parallel to the movable rod 65, and the moving member 41 descends along the moving direction D to the lowest end. As a result, the roller 61 of the fixing arm 55A in FIG. 3 urges the fixing portion 26h of the base portion 26 downward, so that the base portion 26 is stably held.

これに対して、図１０（Ｂ）のように、回転レバー部６４を操作して可動ロッド６５に付勢力Ｆ３を与えて駆動方向Ｅに沿って左端部まで移動した状態では、リンク部材６８Ｂの回転によってリンク部材６７Ｂの先端部のローラ６９Ｂ（図５のローラ６９Ａも同様）は上昇し、これによって昇降部材４８Ｂ及び移動部材４１が上昇する。この結果、図３に示すようにコイルばね６２Ａによって固定用アーム５５Ａが外側に収納部４１ｃに接触するまで回転し、ローラ６１が円筒部材５２の窓部５２ａの外に出るため、口金部２６の固定部２６ｈを円筒部材５２から引き抜いて、放電ランプ１を取り付け装置３１から取り外すことができる。   On the other hand, as shown in FIG. 10B, in the state where the rotating lever portion 64 is operated to apply the urging force F3 to the movable rod 65 and move to the left end portion along the driving direction E, the link member 68B As a result of the rotation, the roller 69B at the front end of the link member 67B (the same applies to the roller 69A in FIG. 5) rises, thereby raising the elevating member 48B and the moving member 41. As a result, as shown in FIG. 3, the fixing arm 55 </ b> A rotates by the coil spring 62 </ b> A until it comes into contact with the storage portion 41 c, and the roller 61 comes out of the window portion 52 a of the cylindrical member 52. The discharge lamp 1 can be detached from the attachment device 31 by pulling out the fixing portion 26 h from the cylindrical member 52.

このように図５の切替用リンク機構６３を用いることによって、取り付け装置３１に対する放電ランプ１の口金部２６の固定と解除とを、容易に切り替えることができる。なお、切替用リンク機構６３の他に、図３の移動部材４１を移動方向Ｄに沿って上昇させる任意の機構を用いることができる。例えば、図５のリンク部材６８Ａ，６８Ｂの先端部に直接ローラ６９Ａ，６９Ｂを固定し、オペレータがリンク部材６８Ａ，６８Ｂを回転することによって移動部材４１の昇降部材４８Ａ，４８Ｂを上昇させるような機構も用いることができる。   As described above, by using the switching link mechanism 63 of FIG. 5, the fixing and releasing of the base portion 26 of the discharge lamp 1 with respect to the attachment device 31 can be easily switched. In addition to the switching link mechanism 63, any mechanism that raises the moving member 41 of FIG. 3 along the moving direction D can be used. For example, a mechanism in which the rollers 69A and 69B are directly fixed to the distal ends of the link members 68A and 68B in FIG. 5 and the operator lifts the elevating members 48A and 48B of the moving member 41 by rotating the link members 68A and 68B. Can also be used.

上述のように本例の取り付け装置３１は、図３〜図６に示す絶縁板３２、底板３６、上板４５、フレーム４６Ａ，４６Ｂ、及びパネル板４７Ａ〜４７Ｃからなるフレーム機構と、位置決め板５０及び円筒部材５２からなり放電ランプ１の口金部２６を保持する部材と、口金部２６の固定部２６ｈに押圧力を付与するための固定用アーム５５Ａ〜５５Ｃと、移動部材４１、ガイド部材３７Ａ〜３７Ｃ、連結部材４２Ａ〜４２Ｃ、コイルばね６２Ａ等、及び圧縮コイルばね４４Ａ〜４４Ｃ（弾性部材）を含み固定用アーム５５Ａ〜５５Ｃに付勢力を与える機構と、この機構による固定用アーム５５Ａ〜５５Ｃに対する付勢力を解除するための切替用リンク機構６３と、図８の口金部２８側の電力ケーブル３３Ｂと、電力ケーブル３３Ｂに冷却された気体を供給する気体供給装置（不図示）と、図３の配管７３と、配管７３に冷却された気体を供給する図９の送風装置７１とを含んで構成されている。   As described above, the attachment device 31 of this example includes the frame mechanism including the insulating plate 32, the bottom plate 36, the upper plate 45, the frames 46A and 46B, and the panel plates 47A to 47C and the positioning plate 50 shown in FIGS. And a member comprising the cylindrical member 52 and holding the base portion 26 of the discharge lamp 1, fixing arms 55A to 55C for applying a pressing force to the fixing portion 26h of the base portion 26, a moving member 41, and guide members 37A to 37A. 37C, a coupling member 42A to 42C, a coil spring 62A and the like, and a compression coil spring 44A to 44C (elastic member) and a mechanism for applying a biasing force to the fixing arms 55A to 55C, and a fixing arm 55A to 55C by this mechanism The switching link mechanism 63 for releasing the urging force, the power cable 33B on the cap portion 28 side in FIG. 8, and the power cable 33B are cooled. Gas supply device for supplying gas (not shown), a pipe 73 of FIG. 3, is configured to include a blower 71 for supplying Figure 9 a gas which has been cooled to the pipe 73.

図９において、送風装置７１は、取り入れ口７２から取り込んだ気体（例えば空気）の除塵を行うフィルタ部７１ａと、フィルタ部７１ａから供給された気体を冷却する冷却部７１ｂと、冷却部７１ｂから供給された気体を配管７３側に所定流量で供給する送風部７１ｃとを備えている。なお、例えば円筒部材５２の外面に温度センサを設け、この温度センサの計測結果に基づいて冷却部７１ｂにおける設定温度を制御してもよい。   In FIG. 9, the blower device 71 is supplied from a filter unit 71a that removes dust (for example, air) taken in from an intake 72, a cooling unit 71b that cools the gas supplied from the filter unit 71a, and a cooling unit 71b. And a blower 71c for supplying the generated gas to the pipe 73 side at a predetermined flow rate. For example, a temperature sensor may be provided on the outer surface of the cylindrical member 52, and the set temperature in the cooling unit 71b may be controlled based on the measurement result of the temperature sensor.

次に、本例の図２（Ａ）の放電ランプ１を図３の取り付け装置３１に着脱する際の動作の一例につき図８〜図１０を参照して説明する。
図８は、放電ランプ１を取り付け装置３１に装着した状態を示す図、図９は図８中の放電ランプ１の口金部２６及び取り付け装置３１を示す拡大図、図１０（Ａ）及び（Ｂ）は図３に対応させて切替用リンク機構６３の動作を示す図である。Next, an example of the operation when the discharge lamp 1 of FIG. 2A of this example is attached to and detached from the attachment device 31 of FIG. 3 will be described with reference to FIGS.
FIG. 8 is a diagram showing a state in which the discharge lamp 1 is mounted on the mounting device 31, FIG. 9 is an enlarged view showing the base portion 26 and the mounting device 31 of the discharge lamp 1 in FIG. 8, and FIGS. () Is a diagram showing the operation of the switching link mechanism 63 corresponding to FIG. 3.

先ず、取り付け装置３１に放電ランプ１を装着する際には、図１０（Ｂ）に示すように（この段階では取り付け装置３１に口金部２６は装着されていない。）、オペレータが切替用リンク機構６３を操作して付勢力Ｆ３によってローラ６９Ｂを押し上げ、昇降部材４８Ｂを介して移動部材４１を上板４５側に上昇させて、固定用アーム５５Ａ（図６の他の固定用アーム５５Ｂ，５５Ｃも同様）の先端部（図３のローラ６１）を円筒部材５２の窓部５２ａから引く抜く。この状態で、オペレータが、位置決め板５０の開口及び円筒部材５２の内面に図２（Ａ）の放電ランプ１の口金部２６の固定部２６ｈ及び軸部２６ｂを嵌合させる。この際に、口金部２６には図２（Ａ）に示すように面取り部２６ｉ及び２６ｅが形成されているため、固定部２６ｈ及び軸部２６ｂを円滑に位置決め板５０の開口及び円筒部材５２の内面に差し込むことができる。   First, when the discharge lamp 1 is attached to the attachment device 31, as shown in FIG. 10B (at this stage, the cap portion 26 is not attached to the attachment device 31), the operator can change the link mechanism. 63, the roller 69B is pushed up by the urging force F3, the moving member 41 is raised to the upper plate 45 side via the elevating member 48B, and the fixing arm 55A (the other fixing arms 55B and 55C in FIG. The tip of the same (roller 61 in FIG. 3) is pulled out from the window 52 a of the cylindrical member 52. In this state, the operator fits the fixing portion 26 h and the shaft portion 26 b of the base portion 26 of the discharge lamp 1 of FIG. 2A to the opening of the positioning plate 50 and the inner surface of the cylindrical member 52. At this time, since the chamfered portions 26i and 26e are formed in the base portion 26 as shown in FIG. 2A, the fixing portion 26h and the shaft portion 26b can be smoothly opened to the opening of the positioning plate 50 and the cylindrical member 52. Can be inserted into the inner surface.

次に、図１０（Ａ）に示すように、オペレータが切替用リンク機構６３を操作してローラ６９Ｂを降下させると、圧縮コイルばね４４Ａ（及び図５の圧縮コイルばね４４Ｂ，４４Ｃ）の押圧力Ｆ１によって移動部材４１は底板３６側に付勢される。この際に、図３に示すように、固定用アーム５５Ａのローラ５９が移動部材４１の収納部４１ｃから傾斜部４１ｂに移動し、押圧力Ｆ１によって固定用アーム５５Ａには軸５６を中心とした反時計周りのトルクが作用する。そして、図８に示すように、固定用アーム５５Ａのローラ６１が円筒部材５２の窓部５２ａを通して口金部２６の凹部２６ｆ側に差し込まれ、さらにローラ６１は口金部２６の被押圧面２６ｇを底板３６側に付勢する。この状態で、円筒部材５２の内面に沿った口金部２６の移動方向Ｄと、放電ランプ１の長手方向とは一致している。そして、口金部２６のフランジ部２６ａが位置決め板５０の上面５０ａに密着し、口金部２６の軸部２６ｂが位置決め板５０の開口５０ｂ及び円筒部材５２の内面に嵌合した状態で、放電ランプ１は取り付け装置３１によって安定に保持される。   Next, as shown in FIG. 10A, when the operator operates the switching link mechanism 63 to lower the roller 69B, the pressing force of the compression coil spring 44A (and the compression coil springs 44B and 44C in FIG. 5). The moving member 41 is urged toward the bottom plate 36 by F1. At this time, as shown in FIG. 3, the roller 59 of the fixing arm 55A moves from the storage portion 41c of the moving member 41 to the inclined portion 41b, and the fixing arm 55A is centered on the shaft 56 by the pressing force F1. Counterclockwise torque acts. Then, as shown in FIG. 8, the roller 61 of the fixing arm 55A is inserted into the concave portion 26f side of the base portion 26 through the window portion 52a of the cylindrical member 52, and the roller 61 further presses the pressed surface 26g of the base portion 26 to the bottom plate. Energize to 36 side. In this state, the moving direction D of the base portion 26 along the inner surface of the cylindrical member 52 coincides with the longitudinal direction of the discharge lamp 1. Then, the discharge lamp 1 in a state where the flange portion 26 a of the base portion 26 is in close contact with the upper surface 50 a of the positioning plate 50 and the shaft portion 26 b of the base portion 26 is fitted to the opening 50 b of the positioning plate 50 and the inner surface of the cylindrical member 52. Is stably held by the attachment device 31.

図８において、さらに他方の口金部２８の端子部２８ａに可撓性の高い電力ケーブル３３Ｂが連結される。電力ケーブル３３Ｂから端子部２８ａには電力が供給されるとともに、電力ケーブル３３Ｂ内の配管を介して口金部２８の溝部２８ｆとカバー部２８ｂとの間の流路に冷却された気体が供給される。供給された気体は、軸部２８ｃと輪帯部２８ｈとの間に形成された凹部２８ｇを介して排気され、口金部２８は効率的に冷却される。   In FIG. 8, a highly flexible power cable 33 </ b> B is connected to the terminal portion 28 a of the other cap portion 28. Power is supplied from the power cable 33B to the terminal portion 28a, and the cooled gas is supplied to the flow path between the groove portion 28f of the base portion 28 and the cover portion 28b through the piping in the power cable 33B. . The supplied gas is exhausted through a concave portion 28g formed between the shaft portion 28c and the annular zone portion 28h, and the base portion 28 is efficiently cooled.

また、取り付け装置３１で保持される口金部２６には、電力ケーブル３３Ａ、フレーム４６Ａ、上板４５、及び位置決め板５０を介して電力が供給され、ガラス管２５内で発光が行われる。さらに、図８の要部を拡大した図９に示すように、送風装置７１から配管７３を介して位置決め板５０の通気孔５０ｃに冷却された気体が供給される。供給された気体は、矢印７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃで示すように、通気孔５０ｃ、口金部２６の溝部２６ｄと円筒部材５２との間の流路、及び凹部２６ｆを経て、円筒部材５２の窓部５２ａ（及び他の２箇所の窓部）の外に排気される。これによって、口金部２６及びガラス管２５が効率的に冷却される。   Further, power is supplied to the base portion 26 held by the attachment device 31 via the power cable 33 </ b> A, the frame 46 </ b> A, the upper plate 45, and the positioning plate 50, and light emission is performed in the glass tube 25. Further, as shown in FIG. 9 in which the main part of FIG. 8 is enlarged, the cooled gas is supplied from the blower 71 to the vent hole 50c of the positioning plate 50 through the pipe 73. As shown by arrows 74A, 74B, and 74C, the supplied gas passes through the vent hole 50c, the flow path between the groove portion 26d of the base portion 26 and the cylindrical member 52, and the concave portion 26f, and then the window portion of the cylindrical member 52. 52a (and other two windows) are exhausted. Thereby, the base part 26 and the glass tube 25 are efficiently cooled.

次に、例えば放電ランプ１を交換するために、図８の取り付け装置３１から放電ランプ１を取り外す場合には、図１０（Ｂ）に示すように、オペレータが切替用リンク機構６３を操作して、ローラ６９Ｂ及び昇降部材４８Ｂを介して移動部材４１を上板４５側に上昇させて、固定用アーム５５Ａの先端部（図３のローラ６１）を円筒部材５２の窓部５２ａの外に出す。この後、オペレータが、口金部２６を位置決め板５０及び円筒部材５２から引き抜くことによって、取り付け装置３１から容易に放電ランプ１を取り外すことができる。   Next, when the discharge lamp 1 is removed from the mounting device 31 shown in FIG. 8 to replace the discharge lamp 1, for example, the operator operates the switching link mechanism 63 as shown in FIG. 10B. Then, the moving member 41 is raised to the upper plate 45 side via the roller 69B and the elevating member 48B, and the distal end portion (the roller 61 in FIG. 3) of the fixing arm 55A is brought out of the window portion 52a of the cylindrical member 52. Thereafter, the operator can easily remove the discharge lamp 1 from the attachment device 31 by pulling out the base portion 26 from the positioning plate 50 and the cylindrical member 52.

このように本例の放電ランプ１及び取り付け装置３１を備えた露光光源３０によれば、切替用リンク機構６３によって、固定用アーム５５Ａ〜５５Ｃによる放電ランプ１の口金部２６の固定部２６ｈに対する押圧を解除するのみで、取り付け装置３１に対する放電ランプ１の取り外し及び装着を容易に短時間に行うことができる。また、切替用リンク機構６３によって、その固定用アーム５５Ａ〜５５Ｃによる固定部２６ｈに対する口金部２６の移動方向Ｄ（放電ランプ１の長手方向Ｌと等しい）への押圧を開始するだけで、放電ランプ１は、圧縮コイルばね４４Ａ〜４４Ｃの付勢力によって定まるほぼ一定の押圧力で位置決め板５０に押圧されて固定される。従って、その圧縮コイルばね４４Ａ〜４４Ｃのばね定数等を調整することによって容易に、放電ランプ１を取り付け装置３１に固定する際の押圧力を目標とする範囲内に設定できる。   As described above, according to the exposure light source 30 including the discharge lamp 1 and the attachment device 31 of this example, the switching link mechanism 63 presses the fixing portion 55h of the base portion 26 of the discharge lamp 1 by the fixing arms 55A to 55C. It is possible to easily remove and attach the discharge lamp 1 to and from the attachment device 31 in a short time simply by canceling. Further, the discharge link mechanism 63 simply starts pressing the cap portion 26 against the fixing portion 26h in the moving direction D (equal to the longitudinal direction L of the discharge lamp 1) by the fixing arms 55A to 55C. 1 is pressed and fixed to the positioning plate 50 with a substantially constant pressing force determined by the urging forces of the compression coil springs 44A to 44C. Therefore, the pressing force when fixing the discharge lamp 1 to the mounting device 31 can be easily set within a target range by adjusting the spring constants of the compression coil springs 44A to 44C.

また、図９の送風装置７１から口金部２６の溝部２６ｄに冷却用の気体を供給すると、その気体が口金部２６の表面に沿って固定部２６ｈ側に流れるため、簡単な機構で放電ランプ１の冷却を効率的に行うことができる。
また、本例の取り付け装置３１は、図９に示すように、移動方向Ｄに対して傾斜した内面（テーパ面）を持つ傾斜部４１ｂを有し、圧縮コイルばね４４Ａ〜４４Ｃの弾性力が作用して移動方向Ｄに沿って移動する移動部材４１と、傾斜部４１ｂの内面と当接して移動部材４１の移動方向Ｄの移動を口金部２６の凹部２６ｆへの挿入方向の移動に変換し、先端のローラ６１が凹部２６ｆに挿入される固定用アーム５５Ａ〜５５Ｃとを有し、固定用アーム５５Ａによって被押圧面２６ｇを付勢しているため、容易に口金部２６に移動方向Ｄの押圧力を与えることができる。Further, when the cooling gas is supplied from the blower device 71 of FIG. 9 to the groove portion 26d of the base portion 26, the gas flows to the fixing portion 26h side along the surface of the base portion 26. Can be efficiently cooled.
Further, as shown in FIG. 9, the attachment device 31 of this example includes an inclined portion 41 b having an inner surface (tapered surface) inclined with respect to the moving direction D, and the elastic force of the compression coil springs 44 </ b> A to 44 </ b> C acts. Then, the moving member 41 that moves along the moving direction D and the movement of the moving member 41 in the moving direction D in contact with the inner surface of the inclined portion 41b are converted into movement in the insertion direction into the recess 26f of the base portion 26, The front roller 61 has fixing arms 55A to 55C to be inserted into the recess 26f, and the pressing surface 26g is urged by the fixing arm 55A, so that the base 26 can be easily pressed in the moving direction D. Pressure can be applied.

なお、移動部材４１に押圧力Ｆ１を与える部材としては、圧縮コイルばね４４Ａ〜４４Ｃの他に、引っ張りコイルばね、又は板ばね等も使用できる。また、固定用アーム５５Ａ〜５５Ｃは、口金部２６の周囲に等角度間隔で複数個（ここでは３個）配置されているため、口金部２６を均一な力で取り付け装置３１に保持できる。なお、例えば１つの固定用アーム５５Ａのみで口金部２６を固定することも可能である。   In addition to the compression coil springs 44 </ b> A to 44 </ b> C, a tension coil spring, a leaf spring, or the like can be used as a member that applies the pressing force F <b> 1 to the moving member 41. Further, since a plurality (three in this case) of the fixing arms 55 </ b> A to 55 </ b> C are arranged at equal angular intervals around the base part 26, the base part 26 can be held on the attachment device 31 with a uniform force. For example, the base part 26 can be fixed by only one fixing arm 55A.

また、図８において、本例の口金部２８側の電力ケーブル３３Ｂには、電力供給用のケーブルと冷却された気体を供給する配管とが並列に収納されている。しかしながら、その電力ケーブル３３Ｂとして、電力と冷却用気体とを導く導電体で形成された柔軟性のある管状ケーブルを用いてもよい。これによって、電力ケーブル３３Ｂの構成を簡略化できる。   In FIG. 8, a power supply cable and a pipe for supplying a cooled gas are accommodated in parallel in the power cable 33 </ b> B on the base portion 28 side of this example. However, as the power cable 33B, a flexible tubular cable formed of a conductor that guides the power and the cooling gas may be used. Thereby, the configuration of the power cable 33B can be simplified.

次に、上記の図８及び図９に示す放電ランプ１及び取り付け装置３１を備えた露光光源を、図１の投影露光装置の露光光源３０として使用する場合の製造方法又は使用方法（稼働方法）の一例につき説明する。
その製造方法の一例は、図１の放電ランプ１の２つの電極間の放電により発生した光によってウエハＷにレチクルＲのパターンの像を露光する投影露光装置の製造方法であって、放電ランプ１を保持するための図８に示す取り付け装置３１に、放電ランプ１の一方の口金部２６を介して放電ランプ１を装着するステップＳ１と、放電ランプ１の他方の口金部２８の端子部２８ａに電力ケーブル３３Ｂ（用力ケーブル）を接続するステップＳ２と、そのように装着された放電ランプ１の口金部２６を取り付け装置３１に装着された状態で冷却するステップＳ３とを備えている。これによって、放電ランプ１を効率的に冷却できる。Next, a manufacturing method or a usage method (operation method) when the exposure light source including the discharge lamp 1 and the attachment device 31 shown in FIGS. 8 and 9 is used as the exposure light source 30 of the projection exposure apparatus of FIG. An example will be described.
An example of the manufacturing method is a method of manufacturing a projection exposure apparatus that exposes an image of a pattern of a reticle R onto a wafer W by light generated by discharge between two electrodes of the discharge lamp 1 of FIG. 8 is attached to the attachment device 31 shown in FIG. 8 via the one cap portion 26 of the discharge lamp 1 and the terminal portion 28a of the other cap portion 28 of the discharge lamp 1 is attached to the terminal portion 28a. A step S2 for connecting the power cable 33B (utility cable) and a step S3 for cooling the cap part 26 of the discharge lamp 1 mounted in this manner while being mounted on the mounting device 31 are provided. Thereby, the discharge lamp 1 can be efficiently cooled.

この場合、そのステップＳ１は、さらに取り付け装置３１の位置決め板５０の開口５０ｂ及び円筒部材５２の内面に口金部２６の一部（軸部２６ｂ及び固定部２６ｈ）を挿入するステップＳ１１と、取り付け装置３１に挿入された口金部２６に対して放電ランプ１を保持するための押圧力（保持力）を付勢するステップＳ１２と、取り付け装置３１の円筒部材５２と口金部２６の溝部２６ｄとの間に冷却用気体の流路を形成するステップＳ１３とを含むことができる。   In this case, the step S1 further includes a step S11 for inserting a part of the base portion 26 (the shaft portion 26b and the fixing portion 26h) into the opening 50b of the positioning plate 50 and the inner surface of the cylindrical member 52 of the attachment device 31, and the attachment device. Between step S12 for urging a pressing force (holding force) for holding the discharge lamp 1 against the base part 26 inserted into the base 31 and the cylindrical member 52 of the attachment device 31 and the groove part 26d of the base part 26 Step S13 of forming a cooling gas flow path can be included.

さらに、そのステップＳ３は、そのステップＳ１３で形成された流路に図９の送風装置７１から冷却用気体を供給するステップ３１を含むことができる。このようにほぼ密閉された流路に冷却用気体を流すことによって、口金部２６をより効率的に冷却できる。
また、さらに電力ケーブル３３Ｂが接続された口金部２８を、電力ケーブル３３Ｂを介して供給された冷却用液体により冷却するステップＳ４を含むこともできる。これによって、口金部２８も冷却され、ひいては放電ランプ１のガラス管２５も効率的に冷却できる。Further, the step S3 can include a step 31 of supplying a cooling gas from the blower 71 of FIG. 9 to the flow path formed in the step S13. By flowing the cooling gas through the substantially sealed flow path as described above, the base part 26 can be cooled more efficiently.
Further, step S4 may be included in which the cap portion 28 to which the power cable 33B is connected is cooled by the cooling liquid supplied via the power cable 33B. As a result, the base portion 28 is also cooled, and consequently the glass tube 25 of the discharge lamp 1 can be efficiently cooled.

次に、本発明の放電ランプの実施形態の他の種々の例につき図１１〜図１８を参照して説明する。以下で説明する種々の放電ランプもそれぞれ図３及び図４の取り付け装置３１に容易に着脱できるとともに、必要に応じて固定する力を容易に目標とする範囲内に設定できる。そして、それらの放電ランプを取り付け装置３１に装着して構成される光源は、図１の露光装置の露光光源３０として使用できる。また、図１１（Ａ）〜（Ｄ）、図１２（Ａ）〜（Ｄ）、図１３（Ａ）〜（Ｃ）、図１４（Ａ）、（Ｂ）、及び図１５（Ａ）、（Ｂ）に示す放電ランプ１Ａ〜１Ｏは、いずれも、その一方の口金部の軸部の表面の溝部（又はその表面自体）と、対応する図３の取り付け装置３１の円筒部材５２との間に形成される流路に冷却用媒体（気体又は液体）を流すものであり、図１５（Ｃ）、（Ｄ）に示す放電ランプ１Ｐ，１Ｑは、その一方の口金部の軸部の内部を通過するように、フランジ部近傍と固定部（被付勢部）との間に備えられた流体路に冷却用媒体を流すものであり、図１８（Ａ）、（Ｂ）に示す放電ランプ１ＡＡ、１ＡＢは、その一方の口金部に、嵌合部として機能する部分と、冷却用媒体が接触する部分とを分けたものである。以下、図１１〜図１８において、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に対応する部分には同一又は類似の符号を付してその詳細な説明を省略又は簡略化する。   Next, various other examples of the embodiment of the discharge lamp of the present invention will be described with reference to FIGS. Various discharge lamps described below can be easily attached to and detached from the attachment device 31 shown in FIGS. 3 and 4, and the fixing force can be easily set within a target range as required. And the light source comprised by mounting | wearing those attachment lamps to the attachment apparatus 31 can be used as the exposure light source 30 of the exposure apparatus of FIG. Also, FIGS. 11A to 11D, FIGS. 12A to 12D, FIGS. 13A to 13C, FIGS. 14A and 14B, and FIGS. Each of the discharge lamps 1A to 1O shown in B) is between the groove portion (or the surface itself) of the surface of the shaft portion of one of the cap portions and the corresponding cylindrical member 52 of the attachment device 31 of FIG. The cooling medium (gas or liquid) is made to flow through the formed flow path, and the discharge lamps 1P and 1Q shown in FIGS. 15C and 15D pass through the inside of the shaft portion of one of the cap portions. Thus, the cooling medium is caused to flow through a fluid path provided between the vicinity of the flange portion and the fixed portion (biased portion), and the discharge lamp 1AA shown in FIGS. 18 (A) and 18 (B). 1AB separates the part which functions as a fitting part, and the part which a cooling medium contacts in the one base part. In the following, in FIGS. 11 to 18, the same or similar reference numerals are given to portions corresponding to FIGS. 2A and 2B, and detailed description thereof is omitted or simplified.

先ず、図１１（Ａ）の放電ランプ１Ａは、内部で発光部が形成されるバルブ部２５ａを含むガラス管２５Ａを長手方向に挟むように、その発光部を形成するための陰極及び陽極（不図示）がそれぞれ接続された口金部２６Ａ及び２８を固定して構成され、一方の口金部２６Ａが図３（Ａ）の取り付け装置３１によって固定される。なお、そのガラス管２５Ａの棒状部２５Ａｂ，２５Ａｃの段差形状は、図２（Ａ）の放電ランプ１のガラス管２５の棒状部２５ｂ，２５ｃと僅かに異なっているが、発光する照明光の波長及び出力はほぼ同じである。   First, the discharge lamp 1A shown in FIG. 11A has a cathode and an anode (not used) for forming a light emitting portion so that a glass tube 25A including a bulb portion 25a in which the light emitting portion is formed is sandwiched in the longitudinal direction. The base portions 26A and 28 connected to each other are fixed, and the base portion 26A is fixed by the attachment device 31 of FIG. The stepped shapes of the rod-like portions 25Ab and 25Ac of the glass tube 25A are slightly different from those of the rod-like portions 25b and 25c of the glass tube 25 of the discharge lamp 1 shown in FIG. And the output is almost the same.

また、図１１（Ａ）の放電ランプ１Ａの口金部２６Ａは、その軸部２６ｂ（嵌合部）に形成された溝部２６Ａｄが、図２（Ａ）の口金部２６の溝部２６ｄとは逆周りの螺旋状に（例えばねじ用の溝状に）形成されている点と、その軸部２６ｂの先端に凹部２６ｆとほぼ同じ断面形状の円柱状の先端部２６ｊが形成されている点とが、図２（Ａ）の口金部２６と異なっている。溝部２６Ａｄのフランジ部２６ａ（当接部）側の始点と開口２７Ｂとの位置関係は、口金部２６Ａを図３の取り付け装置３１に装着したときに、図９の送風装置７１から図３の位置決め板５０の通気孔５０ｃに供給された冷却された気体（冷却用媒体）が、溝部２６Ａｄの始点に流入するように設定されている。これによって、口金部２６Ａひいては放電ランプ１Ａが効率的に冷却される。   Further, in the base part 26A of the discharge lamp 1A of FIG. 11A, the groove part 26Ad formed in the shaft part 26b (fitting part) is opposite to the groove part 26d of the base part 26 of FIG. Are formed in a spiral shape (for example, in the shape of a groove for a screw), and a point in which a cylindrical tip portion 26j having substantially the same cross-sectional shape as the concave portion 26f is formed in the tip portion of the shaft portion 26b. It is different from the base part 26 of FIG. The positional relationship between the starting point of the groove portion 26Ad on the flange portion 26a (contact portion) side and the opening 27B is such that when the base portion 26A is attached to the attachment device 31 in FIG. 3, the positioning from the blower device 71 in FIG. The cooled gas (cooling medium) supplied to the vent 50c of the plate 50 is set to flow into the starting point of the groove 26Ad. As a result, the cap portion 26A and thus the discharge lamp 1A are efficiently cooled.

次に、図１１（Ｂ）の放電ランプ１Ｂは、ガラス管２５Ａを口金部２６Ｂ及び２８で挟んで構成され、口金部２６Ｂの軸部２６ｂのフランジ部２６ａの近傍にリング状の切り欠き部２６ｃ（溝部）が形成され、この切り欠き部２６ｃに溝部２６Ａｄが連通している点が、図１１（Ａ）の放電ランプ１Ａと異なっている。この結果、放電ランプ１Ｂの口金部２６Ｂを図３の取り付け装置３１に装着した場合、溝部２６Ａｄの始点と開口２７Ｂとの位置関係に関係なく、図９の送風装置７１から図３の位置決め板５０の通気孔５０ｃに供給された冷却された気体が、切り欠き部２６ｃを介して溝部２６Ａｄに流入する。これによって、溝部２６Ａｄの加工が容易になる。   Next, the discharge lamp 1B of FIG. 11B is configured by sandwiching the glass tube 25A between the base portions 26B and 28, and a ring-shaped notch 26c in the vicinity of the flange portion 26a of the shaft portion 26b of the base portion 26B. A (groove part) is formed, and the groove part 26Ad communicates with the notch part 26c, which is different from the discharge lamp 1A of FIG. As a result, when the cap portion 26B of the discharge lamp 1B is mounted on the mounting device 31 of FIG. 3, the air blowing device 71 of FIG. 9 to the positioning plate 50 of FIG. 3 regardless of the positional relationship between the starting point of the groove 26Ad and the opening 27B. The cooled gas supplied to the air vent 50c flows into the groove 26Ad through the notch 26c. This facilitates the processing of the groove 26Ad.

次に、図１１（Ｃ）の放電ランプ１Ｃは、その口金部２６Ｃの軸部２６ｂのフランジ部２６ａの近傍にリング状の切り欠き部２６Ｃｃが形成され、この切り欠き部２６Ｃｃと凹部２６ｆ（段部）とを連通するように、軸部２６ｂの表面に、ガラス管２５Ａの長手方向Ｌに平行に複数の溝部２６Ｃｄが形成されている点が、図１１（Ａ）の放電ランプ１Ａと異なっている。この結果、放電ランプ１Ｃの口金部２６Ｃを図３の取り付け装置３１に装着した場合、図９の送風装置７１から図３の位置決め板５０の通気孔５０ｃに供給された冷却された気体（冷却用媒体）が、切り欠き部２６Ｃｃ及び溝部２６Ｃｄを介して凹部２６ｆ側に流れる。これによって、放電ランプ１Ｃが効率的に冷却される。   Next, in the discharge lamp 1C of FIG. 11C, a ring-shaped notch 26Cc is formed in the vicinity of the flange portion 26a of the shaft portion 26b of the base portion 26C, and the notch 26Cc and the recess 26f (step) 11A is different from the discharge lamp 1A in FIG. 11A in that a plurality of groove portions 26Cd are formed on the surface of the shaft portion 26b in parallel with the longitudinal direction L of the glass tube 25A so as to communicate with each other. Yes. As a result, when the cap portion 26C of the discharge lamp 1C is mounted on the attachment device 31 of FIG. 3, the cooled gas (cooling gas) supplied from the blower device 71 of FIG. 9 to the vent hole 50c of the positioning plate 50 of FIG. Medium) flows to the recess 26f side through the notch 26Cc and the groove 26Cd. Thereby, the discharge lamp 1C is efficiently cooled.

次に、図１１（Ｄ）の放電ランプ１Ｄは、その口金部２６Ｄのフランジ部２６Ｄａに溝部Ｄ１が設けられ、軸部２６ｂの表面に長手方向Ｌに沿って、長手方向Ｌに平行な軸を中心とする複数のリング状の切り欠き部２６Ｄｋが形成され、これらの切り欠き部２６Ｄｋの間の軸部２６ｂに交互に例えば１８０°異なる間隔で溝部Ｄ２が形成されている点が、図１１（Ａ）の放電ランプ１Ａと異なっている。この結果、放電ランプ１Ｄの口金部２６Ｄを図３の取り付け装置３１に装着した場合、図９の送風装置７１から図３の位置決め板５０の通気孔５０ｃに供給された冷却された気体が、溝部Ｄ１、切り欠き部２６Ｄｋ、及び溝部Ｄ２を介して軸部２６ｂの表面を流れるとともに、溝部Ｄ１からガラス管２５Ａ側に排気される。これによって、口金部２６Ｄ及びガラス管２５Ａ、ひいては放電ランプ１Ｄが効率的に冷却される。   Next, in the discharge lamp 1D of FIG. 11D, the groove portion D1 is provided in the flange portion 26Da of the base portion 26D, and an axis parallel to the longitudinal direction L is formed on the surface of the shaft portion 26b along the longitudinal direction L. A plurality of ring-shaped notches 26Dk as the center are formed, and grooves D2 are alternately formed at intervals of, for example, 180 ° on the shaft portions 26b between these notches 26Dk. This is different from the discharge lamp 1A of A). As a result, when the cap portion 26D of the discharge lamp 1D is mounted on the mounting device 31 of FIG. 3, the cooled gas supplied from the blower device 71 of FIG. 9 to the vent hole 50c of the positioning plate 50 of FIG. It flows on the surface of the shaft part 26b through D1, the notch part 26Dk, and the groove part D2, and is exhausted from the groove part D1 to the glass tube 25A side. As a result, the cap portion 26D and the glass tube 25A, and thus the discharge lamp 1D are efficiently cooled.

次に、図１２（Ａ）の放電ランプ１Ｅは、その口金部２６Ｅの軸部２６ｂの表面に長手方向Ｌに沿って、長手方向Ｌに平行な軸を中心とする複数のリング状の切り欠き部２６Ｅｋ（横溝）が形成され、これらの切り欠き部２６Ｅｋの間の軸部２６ｂが複数の放熱用のフィンとして作用する点が、図１１（Ａ）の放電ランプ１Ａと異なっている。この結果、放電ランプ１Ｅの口金部２６Ｅを図３の取り付け装置３１に装着した場合、図９の送風装置７１から図３の位置決め板５０の通気孔５０ｃに供給された冷却された気体が、切り欠き部２６Ｅｋを介して軸部２６ｂの表面を流れて、放電ランプ１Ｅが効率的に冷却される。   Next, the discharge lamp 1E of FIG. 12A has a plurality of ring-shaped notches centered on an axis parallel to the longitudinal direction L along the longitudinal direction L on the surface of the shaft portion 26b of the base portion 26E. A portion 26Ek (lateral groove) is formed, and the shaft portion 26b between the notches 26Ek acts as a plurality of heat-dissipating fins, which is different from the discharge lamp 1A of FIG. As a result, when the cap portion 26E of the discharge lamp 1E is mounted on the mounting device 31 of FIG. 3, the cooled gas supplied from the blower device 71 of FIG. 9 to the vent hole 50c of the positioning plate 50 of FIG. The discharge lamp 1E is efficiently cooled by flowing on the surface of the shaft portion 26b through the notch portion 26Ek.

次に、図１２（Ｂ）の放電ランプ１Ｆは、その口金部２６Ｆの軸部２６ｂの表面に長手方向Ｌに沿って、長手方向Ｌに平行な軸を中心とする複数のリング状の切り欠き部２６Ｆｋが形成され、これらの切り欠き部２６Ｆｋの間の軸部２６ｂの９０°間隔の４箇所にそれぞれ溝部Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３（４番目の溝部は不図示）が形成されている点が、図１１（Ａ）の放電ランプ１Ａと異なっている。放電ランプ１Ｆの口金部２６Ｆを図３の取り付け装置３１に装着した場合、図９の送風装置７１から図３の位置決め板５０の通気孔５０ｃに供給された冷却された気体が、切り欠き部２６Ｆｋ及び溝部Ｆ１等を介して軸部２６ｂの表面を凹部２６ｆ側に流れるため、放電ランプ１Ｆは効率的に冷却される。   Next, the discharge lamp 1F of FIG. 12B has a plurality of ring-shaped notches centered on an axis parallel to the longitudinal direction L along the longitudinal direction L on the surface of the shaft portion 26b of the cap portion 26F. The portion 26Fk is formed, and the groove portions G1, G2, G3 (the fourth groove portion is not shown) are formed at four positions at 90 ° intervals of the shaft portion 26b between the cutout portions 26Fk. This is different from the discharge lamp 1A of FIG. When the cap portion 26F of the discharge lamp 1F is mounted on the mounting device 31 of FIG. 3, the cooled gas supplied from the blower device 71 of FIG. 9 to the vent hole 50c of the positioning plate 50 of FIG. 3 is notched portion 26Fk. In addition, since the surface of the shaft portion 26b flows toward the concave portion 26f via the groove portion F1 and the like, the discharge lamp 1F is efficiently cooled.

次に、図１２（Ｃ）の放電ランプ１Ｇは、その口金部２６Ｇの軸部２６ｂのフランジ部２６ａの近傍に切り欠き部２６ｃが形成され、この切り欠き部２６ｃに連通するように、軸部２６ｂの表面に回転方向が異なる２つの螺旋状の溝部２６ｄ及び２６Ｇｄが交差して形成されている点が、図１１（Ｂ）の放電ランプ１Ｂと異なっている。
一方、図１２（Ｄ）の放電ランプ１Ｈは、その口金部２６Ｈの軸部２６ｂのフランジ部２６ａの近傍に切り欠き部２６ｃが形成され、この切り欠き部２６ｃに連通するように、軸部２６ｂの表面に多条ねじ（本例では２条ねじ）状に螺旋状の複数の平行な溝部２６Ｈｄが形成されている点が、図１１（Ｂ）の放電ランプ１Ｂと異なっている。これらの放電ランプ１Ｇ（又は１Ｈ）は、２つの溝部２６ｄ，２６Ｇｄ（又は複数の溝部２６Ｈｄ）に沿って冷却された気体が流れるため、特に冷却効果に優れている。Next, in the discharge lamp 1G of FIG. 12C, a notch portion 26c is formed in the vicinity of the flange portion 26a of the shaft portion 26b of the base portion 26G, and the shaft portion is communicated with the notch portion 26c. It differs from the discharge lamp 1B of FIG. 11 (B) in that two spiral grooves 26d and 26Gd having different rotational directions are formed on the surface of 26b.
On the other hand, in the discharge lamp 1H of FIG. 12D, a notch portion 26c is formed in the vicinity of the flange portion 26a of the shaft portion 26b of the base portion 26H, and the shaft portion 26b is communicated with the notch portion 26c. 11 is different from the discharge lamp 1B of FIG. 11B in that a plurality of parallel groove portions 26Hd spirally formed in a multi-threaded screw shape (two-threaded screw in this example) are formed on the surface of the discharge lamp 1B. These discharge lamps 1G (or 1H) are particularly excellent in cooling effect because the cooled gas flows along the two groove portions 26d and 26Gd (or the plurality of groove portions 26Hd).

次に、図１３（Ａ）の放電ランプ１Ｉは、その口金部２６Ｉの軸部２６ｂの先端部の図３の固定用アーム５５Ａ等によって付勢される部分のうち、被押圧面２６Ｉｇがガラス管２５Ａの長手方向に垂直な平面に対して緩やかに傾斜している点と、被押圧面２６Ｉｇとともに固定部２６ｈを挟む面取り部２６Ｉｉが、被押圧面２６Ｉｇとほぼ対称に緩やかに傾斜している点とが、図１１（Ａ）の放電ランプ１Ａと異なっている。その放電ランプ１Ｉの口金部２６Ｉを図３の取り付け装置３１に装着したときに、被押圧面２６Ｉｇに対する固定用アーム５５Ａ等からの付勢力を高めることができる場合がある。この場合には、放電ランプ１Ｉをより安定に保持できる。   Next, in the discharge lamp 1I of FIG. 13A, the pressed surface 26Ig of the tip portion of the shaft portion 26b of the base portion 26I is urged by the fixing arm 55A of FIG. A point that is gently inclined with respect to a plane perpendicular to the longitudinal direction of 25A, and a chamfered portion 26Ii that sandwiches the fixed portion 26h together with the pressed surface 26Ig is gently inclined almost symmetrically with the pressed surface 26Ig. Is different from the discharge lamp 1A of FIG. When the base portion 26I of the discharge lamp 1I is attached to the attachment device 31 of FIG. 3, the urging force from the fixing arm 55A or the like against the pressed surface 26Ig may be increased. In this case, the discharge lamp 1I can be held more stably.

一方、図１３（Ｂ）の放電ランプ１Ｊは、その口金部２６Ｊの被押圧面２６Ｊｇが、図１３（Ａ）の被押圧面２６Ｉｇとは逆方向に傾斜して、固定部２６ｈがお椀型である点が、図１１（Ａ）の放電ランプ１Ａと異なっている。図３の固定用アーム５５Ａ等の支持方法等によっては、その放電ランプ１Ｊの口金部２６Ｊを図３の取り付け装置３１に装着したときに、被押圧面２６Ｊｇに対する固定用アーム５５Ａ等からの付勢力を高めることができる場合がある。この場合にも、放電ランプ１Ｊをより安定に保持できる。   On the other hand, in the discharge lamp 1J of FIG. 13B, the pressed surface 26Jg of the cap portion 26J is inclined in the opposite direction to the pressed surface 26Ig of FIG. 13A, and the fixing portion 26h is bowl-shaped. There is a difference from the discharge lamp 1A of FIG. Depending on the method of supporting the fixing arm 55A and the like in FIG. 3, when the base portion 26J of the discharge lamp 1J is mounted on the attachment device 31 in FIG. 3, the urging force from the fixing arm 55A and the like against the pressed surface 26Jg May be able to increase. Also in this case, the discharge lamp 1J can be held more stably.

また、図１３（Ｃ）の放電ランプ１Ｋは、その口金部２６Ｋの固定部２６Ｋｈの形状が小さい点が、図１１（Ａ）の放電ランプ１Ａと異なっている。これによって、図３の取り付け装置３１の構成を小型化できる場合がある。
次に、図１４（Ａ）の放電ランプ１Ｌは、その口金部２６Ｌの軸部２６ｂのフランジ部２６ａの近傍に切り欠き部２６ｃが形成され、この切り欠き部２６ｃに連通するように、軸部２６ｂの表面に回転方向が異なる２つの多条ねじ（例えば２条ねじ等）の螺旋状の複数の溝部２６Ｌｄ及び２６Ｈｄが交差して形成されている点が、図１１（Ｂ）の放電ランプ１Ｂと異なっている。Further, the discharge lamp 1K in FIG. 13C is different from the discharge lamp 1A in FIG. 11A in that the shape of the fixing portion 26Kh of the base portion 26K is small. Thereby, the structure of the attachment apparatus 31 of FIG. 3 may be reduced in size.
Next, in the discharge lamp 1L of FIG. 14A, a notch portion 26c is formed in the vicinity of the flange portion 26a of the shaft portion 26b of the base portion 26L, and the shaft portion is communicated with the notch portion 26c. The discharge lamp 1B shown in FIG. 11B is formed by intersecting a plurality of spiral grooves 26Ld and 26Hd of two multi-threads (for example, two-threads) having different rotation directions on the surface of 26b. Is different.

一方、図１４（Ｂ）の放電ランプ１Ｍは、その口金部２６Ｍの軸部２６ｂのフランジ部２６ａの近傍に切り欠き部２６ｃが形成され、この切り欠き部２６ｃに連通するように、軸部２６ｂの表面に多条ねじ（例えば２条ねじ）状の螺旋状の複数の平行な溝部２６Ｌｄと、多条ねじ（例えば３条ねじ）状で長いピッチの螺旋状の複数の平行な溝部２６Ｍｄとが交差するように形成されている点が、図１１（Ｂ）の放電ランプ１Ｂと異なっている。これらの放電ランプ１Ｌ及び１Ｍによれば、冷却用媒体が流れる溝部が増加しているため、特に冷却効果に優れている。   On the other hand, in the discharge lamp 1M of FIG. 14B, a notch 26c is formed in the vicinity of the flange 26a of the shaft 26b of the base 26M, and the shaft 26b is communicated with the notch 26c. A plurality of spiral parallel grooves 26Ld in the form of multiple threads (for example, 2 threads) and a plurality of spiral parallel grooves 26Md in the form of multiple threads (for example, 3 threads) with a long pitch It is different from the discharge lamp 1B of FIG. 11B in that it is formed so as to intersect. According to these discharge lamps 1L and 1M, since the number of grooves through which the cooling medium flows increases, the cooling effect is particularly excellent.

次に、図１５（Ａ）の放電ランプ１Ｎは、その口金部２６Ｎの軸部２６ｂの先端部の図３の固定用アーム５５Ａ等によって付勢される部分において、３箇所の固定部２６ｈ１，２６ｈ２，２６ｈ３が設けられている点が、図１１（Ｂ）の放電ランプ１Ｂと異なっている。その放電ランプ１Ｎの口金部２６Ｎを図３の取り付け装置３１に装着したときに、図６の３箇所の固定用アーム５５Ａ〜５５Ｃがそれぞれ固定部２６ｈ１〜２６ｈ３を長手方向に付勢するため、放電ランプ１Ｎが取り付け装置３１に安定に保持される。この場合には、図１１（Ｂ）の放電ランプ１Ｂ等に比べて、口金部２６Ｎを軽量化できる。   Next, the discharge lamp 1N shown in FIG. 15A has three fixing portions 26h1 and 26h2 at the portion urged by the fixing arm 55A shown in FIG. 3 at the tip of the shaft portion 26b of the base portion 26N. , 26h3 is different from the discharge lamp 1B of FIG. When the base portion 26N of the discharge lamp 1N is mounted on the attachment device 31 of FIG. 3, the three fixing arms 55A to 55C of FIG. 6 respectively bias the fixing portions 26h1 to 26h3 in the longitudinal direction, so that the discharge The lamp 1N is stably held by the mounting device 31. In this case, the cap portion 26N can be reduced in weight compared to the discharge lamp 1B and the like in FIG.

一方、図１５（Ｂ）の放電ランプ１Ｏは、その口金部２６Ｏの軸部２６ｂの表面が矩形状の多数の凸部２６ｎを除いて凹部２６ｍとされている点が、図１１（Ａ）の放電ランプ１Ａと異なっている。図１５（Ｂ）のＡＡ線に沿う断面図である図１６（Ａ）に示すように、口金部２６Ｏの軸部２６ｂの凸部２６ｎの間は溝部となっている。その結果、放電ランプ１Ｏの口金部２６Ｏを図３の取り付け装置３１に装着した場合、図９の送風装置７１から図３の位置決め板５０の通気孔５０ｃに供給された冷却された気体が、その軸部２６ｂの凸部２６ｎの間の溝部を流れて、放電ランプ１Ｏが効率的に冷却される。この場合、凸部２６ｎの数を少なくすることにより流通抵抗を小さくでき、供給される気体の流量を多くしたい状況により適している。   On the other hand, the discharge lamp 1O of FIG. 15B has a point that the surface of the shaft portion 26b of the base portion 26O is a concave portion 26m except for a large number of rectangular convex portions 26n. Different from the discharge lamp 1A. As shown in FIG. 16A, which is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 15B, there is a groove between the convex portions 26n of the shaft portion 26b of the base portion 26O. As a result, when the cap portion 26O of the discharge lamp 1O is mounted on the mounting device 31 of FIG. 3, the cooled gas supplied from the blower device 71 of FIG. 9 to the vent hole 50c of the positioning plate 50 of FIG. The discharge lamp 1O is efficiently cooled by flowing through the groove between the convex portions 26n of the shaft portion 26b. In this case, the flow resistance can be reduced by reducing the number of convex portions 26n, which is more suitable for a situation where it is desired to increase the flow rate of the supplied gas.

次に、図１５（Ｃ）の放電ランプ１Ｐは、その口金部２６Ｐの軸部２６ｂのフランジ部２６ａの近傍（本例ではフランジ部２６ａに接する位置）にリング状の切り欠き部２６Ｐｃ（溝部）が形成され、この切り欠き部２６Ｐｃに連通するように、軸部２６ｂの内部を通過するように、かつフランジ部２６ａ（切り欠き部２６Ｐｃ）から凹部２６ｆに至るように長手方向Ｌに平行に複数の貫通穴よりなる流体路２６Ｐｄが備えられている（本例では、形成されている）点が、図１１（Ｂ）の放電ランプ１Ｂと異なっている。各流体路２６Ｐｄはそれぞれ切り欠き部２６Ｐｃに連通する開口Ｐ１と、凹部２６ｆ（面取り部２６ｅ）に連通する開口Ｐ２とを有している。図１５（Ｃ）のＢＢ線に沿う断面図である図１６（Ｂ）に示すように、口金部２６Ｐの軸部２６ｂにおいて、複数の流体路２６Ｐｄはほぼ同一円周上に配置されている。その結果、放電ランプ１Ｐの口金部２６Ｐを図３の取り付け装置３１に装着すると、図９の送風装置７１から図３の位置決め板５０の通気孔５０ｃに供給された冷却された気体が、切り欠き部２６Ｐｃ及び複数の流体路２６Ｐｄを介して軸部２６ｂの内部を凹部２６ｆ側に流れるため、放電ランプ１Ｐは効率的に冷却される。   Next, the discharge lamp 1P of FIG. 15C has a ring-shaped notch 26Pc (groove) in the vicinity of the flange portion 26a of the shaft portion 26b of the cap portion 26P (in this example, a position in contact with the flange portion 26a). Are formed in parallel with each other in the longitudinal direction L so as to pass through the inside of the shaft portion 26b so as to communicate with the notch portion 26Pc and from the flange portion 26a (notch portion 26Pc) to the recess portion 26f. 11 is different from the discharge lamp 1B shown in FIG. 11B in that a fluid path 26Pd including the through holes is provided (formed in this example). Each fluid passage 26Pd has an opening P1 that communicates with the notch 26Pc and an opening P2 that communicates with the recess 26f (the chamfer 26e). As shown in FIG. 16B, which is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 15C, in the shaft portion 26b of the base portion 26P, the plurality of fluid paths 26Pd are arranged on substantially the same circumference. As a result, when the base part 26P of the discharge lamp 1P is mounted on the attachment device 31 of FIG. 3, the cooled gas supplied from the blower device 71 of FIG. 9 to the vent hole 50c of the positioning plate 50 of FIG. Since the inside of the shaft portion 26b flows toward the concave portion 26f via the portion 26Pc and the plurality of fluid paths 26Pd, the discharge lamp 1P is efficiently cooled.

一方、図１５（Ｄ）の放電ランプ１Ｑは、その口金部２６Ｑの軸部２６ｂのフランジ部２６ａの近傍の内部にリング状の切り欠き部２６Ｒｃ（図１７参照）が形成され、この切り欠き部２６Ｒｃに連通して軸部２６ｂの内部を通過するように、かつフランジ部２６ａ近傍から凹部２６ｆに至るように、螺旋状に流体路２６Ｑｄが備えられている（本例では、形成されている）点が、図１１（Ｂ）の放電ランプ１Ｂと異なっている。流体路２６Ｑｄの一端は、（切り欠き部２６Ｒｃを介して）フランジ部２６ａの近傍の軸部２６ｂの表面に設けられた開口Ｑ１に連通し、流体路２６Ｑｄの他端は凹部２６ｆ（面取り部２６ｅ）に設けられた開口Ｑ２に連通している。図１５（Ｄ）のＣＣ線に沿う断面図である図１６（Ｃ）に示すように、流体路２６Ｑｄは、口金部２６Ｑの軸部２６ｂの内部を周回している。その結果、放電ランプ１Ｑの口金部２６Ｑを図３の取り付け装置３１に装着すると、図９の送風装置７１から図３の位置決め板５０の通気孔５０ｃに供給された冷却された気体が、開口Ｑ１、軸部２６ｂの内部の流体路２６Ｑｄ、及び開口Ｑ２を介して凹部２６ｆ側に流れるため、放電ランプ１Ｑは効率的に冷却される。   On the other hand, in the discharge lamp 1Q of FIG. 15D, a ring-shaped cutout portion 26Rc (see FIG. 17) is formed in the vicinity of the flange portion 26a of the shaft portion 26b of the base portion 26Q, and this cutout portion. A fluid passage 26Qd is provided in a spiral shape so as to pass through the inside of the shaft portion 26b so as to communicate with 26Rc and reach from the vicinity of the flange portion 26a to the recess portion 26f (formed in this example). This is different from the discharge lamp 1B of FIG. One end of the fluid passage 26Qd communicates with the opening Q1 provided on the surface of the shaft portion 26b in the vicinity of the flange portion 26a (via the notch portion 26Rc), and the other end of the fluid passage 26Qd has a recess 26f (the chamfered portion 26e). ) Communicated with the opening Q2 provided at the top. As shown in FIG. 16C, which is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 15D, the fluid passage 26Qd circulates inside the shaft portion 26b of the base portion 26Q. As a result, when the base portion 26Q of the discharge lamp 1Q is mounted on the mounting device 31 of FIG. 3, the cooled gas supplied from the blower device 71 of FIG. 9 to the vent hole 50c of the positioning plate 50 of FIG. The discharge lamp 1Q is efficiently cooled because it flows to the recess 26f side through the fluid path 26Qd inside the shaft portion 26b and the opening Q2.

なお、図１５（Ｄ）の放電ランプ１Ｑの口金部２６Ｑを製造する場合には、一例として、図１７に示すように、外側面に切り欠き部２６Ｒｃ及び螺旋状の流体路２６Ｑｄが形成された軸部２６Ｒｂと、この軸部よりも僅かに断面形状が小さい固定部２６Ｒｈとを備えた棒状の主口金部２６Ｒの外面に対して、円筒状で上端近傍に開口Ｑ１が形成された副口金部２６Ｓを嵌合させた後、例えば一例として口金部２６Ｒ及び２６Ｓを溶着させればよい。なお、固定方法として、ネジ止めや接着するようにしても良い。
なお、流体路２６Ｑｄは、口金部２６Ｑの外側面ではなく、副口金部２６Ｓの内側面に形成してもよい。When manufacturing the cap portion 26Q of the discharge lamp 1Q of FIG. 15D, as shown in FIG. 17, as an example, a notch 26Rc and a spiral fluid path 26Qd are formed on the outer surface. A secondary base part that is cylindrical and has an opening Q1 in the vicinity of the upper end thereof with respect to the outer surface of the rod-like main base part 26R having a shaft part 26Rb and a fixing part 26Rh having a slightly smaller cross-sectional shape than the shaft part. After fitting 26S, for example, the base portions 26R and 26S may be welded as an example. As a fixing method, screwing or bonding may be used.
The fluid passage 26Qd may be formed not on the outer surface of the base portion 26Q but on the inner surface of the sub-base portion 26S.

次に、図１８（Ａ）の口金部２６ＡＡを持つ放電ランプ１ＡＡは、図１１（Ａ）の放電ランプ１Ａの軸部２６ｂに対して、長手方向と直交する方向の断面形状が互いに異なる２つの部分を備えている点が異なっている。すなわち、図１８（Ａ）に示すように、放電ランプ１ＡＡの口金部２６ＡＡには、図１１（Ａ）の軸部２６ｂに比べて、長手方向の長さが短い嵌合部としての軸部分２６ｂ１と、その下部の小径部２６ｋまでの間に軸部２６ｂ１よりも直径（長手方向と直交する方向における外形形状）の小さい円柱状のロッド部２６ｂ２とが形成されている。   Next, the discharge lamp 1AA having the base portion 26AA of FIG. 18A has two cross-sectional shapes different from each other in the direction orthogonal to the longitudinal direction with respect to the shaft portion 26b of the discharge lamp 1A of FIG. The difference is that it has parts. That is, as shown in FIG. 18A, the base portion 26AA of the discharge lamp 1AA has a shaft portion 26b1 as a fitting portion having a shorter length in the longitudinal direction than the shaft portion 26b of FIG. A cylindrical rod portion 26b2 having a smaller diameter (outer shape in a direction perpendicular to the longitudinal direction) than the shaft portion 26b1 is formed between the lower diameter portion 26k and the lower portion.

長手方向におけるロッド部２６ｂ２の長さは、軸部分２６ｂ１の長さに比べて長く、さらには、ロッド部２６ｂ２の表面積は、軸部分２６ｂの表面積に比べて広い。
これに伴い、口金部２６ＡＡを図３の取り付け装置３１に装着したときに、図９の送風装置７１から図３の位置決め板５０の通気孔５０ｃに供給された冷却された気体（冷却用媒体）が、冷却部として作用するロッド部２６ｂ２の表面に流れるように、通気孔５０ｃは、ロッド部２６ｂ２のうち、軸部分２６ｂ１の近傍に対向するように配置される。そして、通気孔５０ｃから供給された気体は、ロッド部２６ｂ２の軸部分２６ｂ１側から小径部２６ｋに向かって流れる。本実施形態の放電ランプ１ＡＡを取り付け装置３１に装着する場合には、予め通気孔５０ｃの位置がロッド部２６ｂ２に対向するように調整しておけばよい。なお、本実施形態では、通気孔５０ｃから供給される気体は、直接、軸部分２６ｂ１に接触することがないが、ロッド部２６ｂ２を介して、軸部分２６ｂ１を冷却することが可能である。この他の構成は、図１１（Ａ）の放電ランプ１Ａと同様である。The length of the rod portion 26b2 in the longitudinal direction is longer than the length of the shaft portion 26b1, and the surface area of the rod portion 26b2 is larger than the surface area of the shaft portion 26b.
Accordingly, the cooled gas (cooling medium) supplied from the blower device 71 of FIG. 9 to the vent hole 50c of the positioning plate 50 of FIG. 3 when the base portion 26AA is attached to the attachment device 31 of FIG. However, the vent hole 50c is disposed so as to face the vicinity of the shaft portion 26b1 in the rod portion 26b2 so that it flows on the surface of the rod portion 26b2 acting as a cooling portion. And the gas supplied from the vent 50c flows toward the small diameter part 26k from the shaft part 26b1 side of the rod part 26b2. When the discharge lamp 1AA of the present embodiment is mounted on the mounting device 31, it is sufficient to adjust in advance so that the position of the vent 50c faces the rod portion 26b2. In the present embodiment, the gas supplied from the vent 50c does not directly contact the shaft portion 26b1, but the shaft portion 26b1 can be cooled via the rod portion 26b2. Other configurations are the same as those of the discharge lamp 1A shown in FIG.

この結果、放電ランプ１ＡＡの口金部２６ＡＡを図３の取り付け装置３１に装着したときに、短い軸部分２６ｂ１によって放電ランプ１ＡＡの位置決めが行われるとともに、図９の送風装置７１から図３の位置決め板５０の通気孔５０ｃに供給された冷却された気体（冷却用媒体）が、口金部２６ＡＡのロッド部２６ｂ２の表面に送風される。これによって、口金部２６ＡＡひいては放電ランプ１ＡＡが効率的に冷却される。
なお、図１８（Ｂ）の放電ランプ１ＡＢの口金部２６ＡＢで示すように、軸部２６ｂの下方のロッド部２６ｂ２の表面に螺旋状の溝部２６Ａｄを形成してもよい。これによって、ロッド部２６ｂ２の気体との接触面積が大きくなるため、口金部２６ＡＢに対する冷却効果が大きくなる。As a result, when the cap portion 26AA of the discharge lamp 1AA is mounted on the mounting device 31 of FIG. 3, the discharge lamp 1AA is positioned by the short shaft portion 26b1, and the positioning plate of FIG. The cooled gas (cooling medium) supplied to the 50 air holes 50c is blown to the surface of the rod portion 26b2 of the base portion 26AA. As a result, the base portion 26AA and thus the discharge lamp 1AA are efficiently cooled.
In addition, as shown by the cap portion 26AB of the discharge lamp 1AB in FIG. 18B, a spiral groove portion 26Ad may be formed on the surface of the rod portion 26b2 below the shaft portion 26b. As a result, the contact area between the rod portion 26b2 and the gas increases, and the cooling effect on the base portion 26AB increases.

図１８（Ａ）の口金部２６ＡＡにおいて、ロッド部２６ｂ２の直径と小径部２６ｆの直径を同じに形成してもよい。
また、ロッド部２６ｂ２の表面には、図１１（Ａ）〜（Ｄ）、図１２（Ａ）〜（Ｄ）、図１４（Ａ）、（Ｂ）、図１５（Ａ）、（Ｂ）の軸部２６ｂに形成された立体構造を適用できることは言うまでもない。
図１８（Ａ）、（Ｂ）の放電ランプ１ＡＡ、１ＡＢでは、取り付け装置３１の円筒部材５２に嵌合する部分（軸部分２６ｂ１）に、溝が形成されていなくともロッド部２６ｂ２の表面に送風される気体によって、効率的に冷却することができる。In the base part 26AA of FIG. 18A, the diameter of the rod part 26b2 and the diameter of the small diameter part 26f may be formed the same.
Further, on the surface of the rod portion 26b2, FIGS. 11 (A) to (D), FIGS. 12 (A) to (D), FIGS. 14 (A) and 14 (B), FIGS. 15 (A) and 15 (B). Needless to say, the three-dimensional structure formed on the shaft portion 26b can be applied.
In the discharge lamps 1AA and 1AB shown in FIGS. 18A and 18B, the air is blown to the surface of the rod portion 26b2 even if a groove is not formed in the portion (the shaft portion 26b1) fitted to the cylindrical member 52 of the mounting device 31. The gas to be cooled can be efficiently cooled.

次に、図２、図１１〜図１６、及び図１８の放電ランプ１及び放電ランプ１Ａ〜１Ｑは、発光部を形成するガラス管２５（又は２５Ａ）と、このガラス管に連結された口金部２６（又は２６Ａ〜２６Ｑ）とを備えた放電ランプであって、その口金部は、長手方向Ｌ（第１の方向）に平行な第１の軸に沿ってそのガラス管から離れる方向に、順に、その第１の軸を中心とする第１の半径（Ｒ１とする）以上の半径を有する円盤形状を包含する形状を有するフランジ部２６ａ（又は２６Ｄａ）と、その第１の軸を中心とするその半径Ｒ１より小さな第２の半径（Ｒ２とする）を有する円柱形状に外接する形状を有する軸部２６ｂとを有するとも言うことができる。さらに、それらの放電ランプは、その第１の軸を中心としてその半径Ｒ２より小さな第３の半径（Ｒ３とする）を有する円柱形状を包含する形状を有する小径部２６ｋと、その第１の軸を中心として、その半径Ｒ１より小さくかつその半径Ｒ３より大きな第４の半径（Ｒ４とする）を有する円盤形状を包含する形状を有する付勢対象となる部分（被押圧面２６ｇ（２６Ｉｇ等）及び固定部２６ｈ（２６ｈ１〜２６ｈ３等）を含む部分）と、を有するとともに、その軸部２６ｂの外周またはその近傍に、その軸部２６ｂと空気（雰囲気気体）との接触面積を増大せしめるための立体的な構造としての溝部２６ｄ等（又は流体路２６Ｐｄ，２６Ｑｄ等）を有するとも言うことができる。   Next, the discharge lamp 1 and the discharge lamps 1A to 1Q shown in FIGS. 2, 11 to 16 and 18 are a glass tube 25 (or 25A) forming a light emitting portion and a cap portion connected to the glass tube. 26 (or 26A to 26Q), the cap portion of which is in order in a direction away from the glass tube along a first axis parallel to the longitudinal direction L (first direction). The flange portion 26a (or 26Da) having a shape including a disk shape having a radius equal to or larger than the first radius (referred to as R1) centered on the first axis, and centered on the first axis It can also be said that it has a shaft portion 26b having a shape circumscribing a cylindrical shape having a second radius (R2) smaller than the radius R1. Further, the discharge lamps include a small-diameter portion 26k having a shape including a cylindrical shape having a third radius (referred to as R3) smaller than the radius R2 around the first axis, and the first axis. A portion to be energized (a pressed surface 26g (26Ig, etc.)) having a shape including a disk shape having a fourth radius (referred to as R4) smaller than the radius R1 and larger than the radius R3. 3D for increasing the contact area between the shaft portion 26b and the air (atmosphere gas) on the outer periphery of the shaft portion 26b or in the vicinity thereof, and a fixed portion 26h (portion including 26h1 to 26h3). It can also be said that the groove portion 26d or the like (or the fluid passage 26Pd, 26Qd or the like) as a typical structure is provided.

この場合、図９の送風装置７１から図３の位置決め板５０の通気孔５０ｃを介してその立体的な構造の周囲又は内部に冷却された気体（又は液体）を供給することで、その軸部２６ｂ、ひいては放電ランプを効率的に冷却できる。
この場合、フランジ部２６ａ等、及び付勢対象となる部分が、円盤形状を包含する形状を有するとは、それらの外面の少なくとも一部が円盤形状に内接するとともに、それらの内部に貫通孔（ねじ穴を含む）又は開いた穴等が形成されていてもよいことを意味する。また、その軸部２６ｂがその円柱形状に外接するとは、軸部２６ｂの形状が、その円柱形状に対しその半径方向に、はみ出さない形状であって、かつ軸部２６ｂの外形端（外側面）が、複数箇所で、その円柱形状の側面に接することを言う。また、その立体的な構造が、その軸部２６ｂと空気との接触面積を増大せしめるとは、その軸部２６ｂの空気との接触面積を、その半径Ｒ２を有する円柱形状の側面よりも大きくすることを言う。この場合、その立体的な構造がその軸部２６ｂ内に設けられる流体路２６Ｐｄ，２６Ｑｄであるときには、その立体的な構造が、その軸部２６ｂと空気との接触面積を増大せしめるとは、その軸部２６ｂの側面の面積と、その流体路２６Ｐｄ，２６Ｑｄの内面の面積との和が、その半径Ｒ２を有する円柱形状の側面の面積よりも、大きくなることを言う。In this case, by supplying the cooled gas (or liquid) around or inside the three-dimensional structure from the air blower 71 of FIG. 9 through the vent hole 50c of the positioning plate 50 of FIG. 26b, and thus the discharge lamp can be efficiently cooled.
In this case, when the flange portion 26a and the like and the portion to be urged have a shape including a disk shape, at least a part of their outer surfaces are inscribed in the disk shape, and through holes ( It means that an open hole or the like may be formed. Further, the shaft portion 26b circumscribes the cylindrical shape means that the shape of the shaft portion 26b is a shape that does not protrude in the radial direction with respect to the columnar shape, and the outer end (outside surface) of the shaft portion 26b. ) Is in contact with the cylindrical side surface at a plurality of locations. Further, the fact that the three-dimensional structure increases the contact area between the shaft portion 26b and the air means that the contact area between the shaft portion 26b and the air is larger than the cylindrical side surface having the radius R2. Say that. In this case, when the three-dimensional structure is the fluid passages 26Pd and 26Qd provided in the shaft portion 26b, the three-dimensional structure increases the contact area between the shaft portion 26b and air. It means that the sum of the area of the side surface of the shaft portion 26b and the area of the inner surface of the fluid passages 26Pd, 26Qd becomes larger than the area of the cylindrical side surface having the radius R2.

また、その立体的な構造が、図２（Ａ）の螺旋状の溝部２６ｄ、図１１（Ｃ）の縦方向の溝部２６Ｃｄ、図１５（Ｂ）の多数の凸部２６ｎのような、軸部２６ｂの外周に設けられた凹凸形状である場合には、その加工が容易である。
また、立体的な構造が、図１５（Ｃ）、（Ｄ）の流体路２６Ｐｄ，２６Ｑｄのような軸部２６ｂの内部に設けられた流体路である場合には、放電ランプ１Ｐ，１Ｑの口金部２６Ｐ，２６Ｑの軸部２６ｂと図３の取り付け装置３１の円筒部材５２との接触面積を増大させて、口金部２６Ｐ，２６Ｑをより安定に保持できるとともに、放電ランプ１Ｐ，１Ｑの冷却も効率的に行うことができる。Further, the three-dimensional structure is a shaft portion such as a spiral groove portion 26d in FIG. 2A, a longitudinal groove portion 26Cd in FIG. 11C, and a number of convex portions 26n in FIG. In the case of the concavo-convex shape provided on the outer periphery of 26b, the processing is easy.
When the three-dimensional structure is a fluid path provided inside the shaft portion 26b such as the fluid paths 26Pd and 26Qd in FIGS. 15C and 15D, the caps of the discharge lamps 1P and 1Q are provided. The contact area between the shaft portion 26b of the portions 26P and 26Q and the cylindrical member 52 of the mounting device 31 in FIG. 3 can be increased, so that the base portions 26P and 26Q can be held more stably, and cooling of the discharge lamps 1P and 1Q is also efficient. Can be done automatically.

また、図１５（Ｃ）、（Ｄ）に示すように、軸部２６ｂのフランジ部２６ａの近傍の外側面及び軸部２６ｂの小径部２６ｋ側の端部の近傍に、それぞれ流体路２６Ｐｄ，２６Ｑｄに連通する開口Ｐ１，Ｑ１及び開口Ｐ２及びＱ２が形成された場合には、フランジ部２６ａから凹部２６ｆに至る軸部２６ｂのほぼ全体を効率的に冷却できる。
なお、上述した立体的な構造は、取り付け装置３１に放電ランプが装着された際に、冷却用の媒体（例えば、気体）が接触する冷却部と言うことができる。この冷却部は、立体的な構造に限らず、図１８（Ａ）のロッド部２６ｂ２のように、嵌合部としての軸部分２６ｂ１の直径よりも小さい直径で形成され、かつなだらかな表面を有するものも含まれる。Further, as shown in FIGS. 15C and 15D, fluid passages 26Pd and 26Qd are respectively provided on the outer surface of the shaft portion 26b in the vicinity of the flange portion 26a and in the vicinity of the end portion on the small diameter portion 26k side of the shaft portion 26b. When the openings P1 and Q1 and the openings P2 and Q2 communicated with each other are formed, almost the entire shaft portion 26b extending from the flange portion 26a to the recess portion 26f can be efficiently cooled.
Note that the above-described three-dimensional structure can be said to be a cooling unit with which a cooling medium (for example, gas) contacts when the discharge lamp is attached to the attachment device 31. The cooling portion is not limited to a three-dimensional structure, and is formed with a diameter smaller than the diameter of the shaft portion 26b1 as the fitting portion and has a gentle surface, like the rod portion 26b2 in FIG. Also included.

さらに、図２、図１１〜図１６、及び図１８の放電ランプ１及び放電ランプ１Ａ〜１Ｑは、長手方向に伸びるように形成されたガラス管２５（又は２５Ａ）と、このガラス管の長手方向側の端部に、一端部が連結された口金部２６（又は２６Ａ〜２６Ｑ）とを備えた放電ランプである。さらに、口金部に設けられたフランジ部２６ａは、長手方向と直交する方向に突出して形成されていると言うことができる。また、嵌合部２６ｂは、フランジ部２６ａと口金部２６の開放端（ガラス管に連結された端部を一端部と定義したので、ここでは、他端部と言うこともできる）との間に設けられ、長手方向と直交する方向に関する外形形状がフランジ部２６ａの外形形状よりも小さい形状を有すると言うことができる。なお、本実施形態では、長手方向と直交する方向に関して、フランジ部の外形形状は円形であり、また、嵌合部２６ｂの外形形状も円形である。   Further, the discharge lamp 1 and the discharge lamps 1A to 1Q of FIGS. 2, 11 to 16, and 18 are a glass tube 25 (or 25A) formed so as to extend in the longitudinal direction and the longitudinal direction of the glass tube. It is a discharge lamp provided with the cap part 26 (or 26A-26Q) by which the one end part was connected to the edge part of the side. Furthermore, it can be said that the flange part 26a provided in the base part is formed to protrude in a direction orthogonal to the longitudinal direction. Further, the fitting portion 26b is between the flange portion 26a and the open end of the base portion 26 (the end portion connected to the glass tube is defined as one end portion, and can be referred to as the other end portion herein). It can be said that the outer shape in the direction perpendicular to the longitudinal direction is smaller than the outer shape of the flange portion 26a. In the present embodiment, the outer shape of the flange portion is circular with respect to the direction orthogonal to the longitudinal direction, and the outer shape of the fitting portion 26b is also circular.

また、小径部２６ｋは、フランジ部２６ａと口金部２６の開放端との間に設けられ、長手方向と直交する方向に関する外形形状が嵌合部２６ｂよりも小さい形状を有すると言うことができる。また、固定部２６ｈは、フランジ部２６ａと口金部２６の開放端との間に設けられ、長手方向と直交する方向に関する外形形状がフランジ部２６ａの外形形状より小さく、かつ小径部２６ｋよりも大きい形状を有すると言うことができる。 また、上記の実施の形態の投影露光装置は、露光光源、複数のレンズ等から構成される照明光学系、及び投影光学系を露光装置本体に組み込み光学調整をして、多数の機械部品からなるレチクルステージやウエハステージを露光装置本体に取り付けて配線や配管を接続し、更に総合調整（電気調整、動作確認等）をすることにより製造することができる。なお、その投影露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。   The small-diameter portion 26k is provided between the flange portion 26a and the open end of the base portion 26, and it can be said that the outer shape in the direction orthogonal to the longitudinal direction is smaller than that of the fitting portion 26b. The fixing portion 26h is provided between the flange portion 26a and the open end of the base portion 26, and the outer shape in the direction orthogonal to the longitudinal direction is smaller than the outer shape of the flange portion 26a and larger than the small diameter portion 26k. It can be said that it has a shape. In addition, the projection exposure apparatus of the above-described embodiment includes an illumination optical system composed of an exposure light source, a plurality of lenses, and the like, and the projection optical system is incorporated in the exposure apparatus main body and optically adjusted to include a large number of mechanical parts. It can be manufactured by attaching a reticle stage or wafer stage to the exposure apparatus main body, connecting wiring and piping, and performing overall adjustment (electrical adjustment, operation check, etc.). The projection exposure apparatus is preferably manufactured in a clean room in which the temperature, cleanliness, etc. are controlled.

本実施形態によれば、取り付け装置（保持装置）３１の切替用リンク機構（切替機構）６３によって、その固定用アーム（付勢部材）によるその放電ランプの固定部（被付勢部）２６ｈに対する押圧を解除するのみで、その取り付け装置３１に対するその放電ランプの取り外し及び装着を容易に短時間に行うことができる。また、その切替用リンク機構６３によって、その固定用アームによるその固定部２６ｈに対するその第１方向への押圧を開始するだけで、容易にその放電ランプは、目標とする範囲内のほぼ一定の押圧力でその取り付け装置３１に固定される。また、その気体供給装置から媒体を供給すると、その媒体がその口金部材の表面に沿ってその固定部２６ｈ側に流れるため、簡単な機構で放電ランプの冷却を効率的に行うことができる。   According to this embodiment, the switching link mechanism (switching mechanism) 63 of the attachment device (holding device) 31 is used to fix the discharge lamp fixing portion (biased portion) 26h by the fixing arm (biasing member). By simply releasing the pressing, the discharge lamp can be easily detached and attached to the mounting device 31 in a short time. Moreover, the discharge lamp can easily be pushed to a substantially constant range within the target range simply by starting the pressing in the first direction against the fixing portion 26h by the fixing arm by the switching link mechanism 63. It is fixed to the attachment device 31 by pressure. Further, when the medium is supplied from the gas supply device, the medium flows to the fixing portion 26h side along the surface of the base member, so that the discharge lamp can be efficiently cooled with a simple mechanism.

なお、上記の実施形態の露光装置を用いて半導体デバイス等のマイクロデバイスを製造する場合、マイクロデバイスは、図１９に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ２０２、デバイスの基材である基板を製造するステップ２０３、前述した実施形態の投影露光装置（露光装置）によりマスク（レチクル）のパターンを基板に露光する工程、露光した基板を現像する工程、現像した基板の加熱（キュア）及びエッチング工程などを含む基板処理ステップ２０４、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程などの加工プロセスを含む）２０５、並びに検査ステップ２０６等を経て製造される。   When a microdevice such as a semiconductor device is manufactured using the exposure apparatus of the above-described embodiment, the microdevice is designed in step 201 for designing the function / performance of the microdevice, as shown in FIG. Step 202 for producing a mask (reticle) based thereon, step 203 for producing a substrate as a base material of the device, and a step of exposing the pattern of the mask (reticle) to the substrate by the projection exposure apparatus (exposure apparatus) of the above-described embodiment Developing the exposed substrate, substrate processing step 204 including heating (curing) and etching process of the developed substrate, device assembly step (including processing processes such as dicing process, bonding process, and packaging process) 205, and It is manufactured through the inspection step 206 and the like.

なお、本発明の光源装置は、上述のステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置（ステッパー等）の他に、ステップ・アンド・スキャン方式の走査露光型の投影露光装置（スキャニング・ステッパー等）の露光光源にも適用できる。また、本発明の光源装置は、国際公開第９９／４９５０４号パンフレット、国際公開第２００４／０１９１２８号パンフレット等に開示される液浸型露光装置の露光光源にも適用することができる。また、本発明の光源装置は、投影光学系を使用しないプロキシミティ方式若しくはコンタクト方式の露光装置の光源装置、又は露光装置以外の機器の光源にも適用することができる。   The light source device of the present invention is not limited to the above-described step-and-repeat type projection exposure apparatus (such as a stepper), but also a step-and-scan type scanning exposure type projection exposure apparatus (such as a scanning stepper). It can also be applied to an exposure light source. The light source device of the present invention can also be applied to an exposure light source of an immersion type exposure apparatus disclosed in International Publication No. 99/49504, International Publication No. 2004/019128, etc. The light source device of the present invention can also be applied to a light source device of a proximity type or contact type exposure device that does not use a projection optical system, or a light source of equipment other than the exposure device.

なお、上述の実施形態においては、転写用のパターンが形成されたレチクル（マスク）を用いたが、このレチクルに代えて、例えば米国特許第６，７７８，２５７号明細書に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターンまたは反射パターンを形成する電子マスクを用いてもよい。
また、本発明は、半導体デバイス製造用の露光装置に限らず、液晶表示素子やプラズマディスプレイなどを含むディスプレイの製造に用いられる、デバイスパターンをガラスプレート上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられるデバイスパターンをセラミックスウエハ上に転写する露光装置、並びに撮像素子（ＣＣＤなど）、有機ＥＬ、マイクロマシーン、ＭＥＭＳ(Microelectromechanical Systems)、及びＤＮＡチップなどの製造に用いられる露光装置などにも適用することができる。また、半導体素子などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装置及びＥＵＶ露光装置などで使用されるマスクを製造するために、ガラス基板又はシリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。In the above-described embodiment, a reticle (mask) on which a transfer pattern is formed is used. Instead of this reticle, for example, as disclosed in US Pat. No. 6,778,257. In addition, an electronic mask that forms a transmission pattern or a reflection pattern based on electronic data of a pattern to be exposed may be used.
Further, the present invention is not limited to an exposure apparatus for manufacturing a semiconductor device, but is used for manufacturing a display including a liquid crystal display element, a plasma display, and the like. An exposure apparatus for transferring a device pattern onto a glass plate and a thin film magnetic head. Applicable to exposure equipment that transfers device patterns used in ceramics onto ceramic wafers, as well as exposure equipment used to manufacture imaging devices (CCD, etc.), organic EL, micromachines, MEMS (Microelectromechanical Systems), and DNA chips. can do. Further, the present invention is applied not only to a micro device such as a semiconductor element but also to an exposure apparatus that transfers a circuit pattern to a glass substrate or a silicon wafer in order to manufacture a mask used in an optical exposure apparatus and an EUV exposure apparatus. Applicable.

また、例えば、図１３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の固定部２６ｈの被押圧面の形状をその他の各放電ランプに適用することが可能である。
このように本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。また、明細書、特許請求の範囲、図面、及び要約を含む２００６年９月１日付け提出の日本国特願２００６−２３７２５２、２００７年１月１５日付け提出の日本国特願２００７−００６４６２、及び２００７年５月１１日付け提出の日本国特願２００７−１２７４５１の全ての開示内容は、そっくりそのまま引用して本願に組み込まれている。Further, for example, the shape of the pressed surface of the fixing portion 26h in FIGS. 13A, 13B, and 13C can be applied to each of the other discharge lamps.
As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various configurations can be taken without departing from the gist of the present invention. In addition, the Japanese Patent Application No. 2006-237252 filed on September 1, 2006, including the description, claims, drawings, and abstract, the Japanese Patent Application No. 2007-006462 filed on January 15, 2007, The entire disclosure of Japanese Patent Application No. 2007-127451 filed on May 11, 2007 is incorporated herein by reference in its entirety.

本発明の光源装置によれば、保持装置（取り付け機構）に対する放電ランプの装着等を容易に短時間に行うことができる。また、簡単な機構で放電ランプの冷却を効率的に行うことができるため、露光装置の露光光源等に好適である。   According to the light source device of the present invention, it is possible to easily attach the discharge lamp to the holding device (attachment mechanism) in a short time. Further, since the discharge lamp can be efficiently cooled with a simple mechanism, it is suitable for an exposure light source of an exposure apparatus.

Claims (96)

発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された口金部材とを備えた放電ランプであって、
前記放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材に前記口金部材を介して着脱可能に保持され、
前記口金部材は、
前記保持部材と当接して前記保持部材に対する前記発光部の第１方向における位置を規定する当接部と、
前記当接部を前記第１方向に沿って前記保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部と、
前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部と、
前記嵌合部に備えられ、前記当接部近傍から前記被付勢部に至る冷却用媒体の流路を前記保持部材との間で構成する溝部と
を有することを特徴とする放電ランプ。A discharge lamp comprising a glass member that forms a light emitting part, and a base member connected to the glass member,
The discharge lamp is detachably held via a cap member on a holding member provided separately from the discharge lamp,
The base member is
An abutting part that abuts the holding member and defines a position of the light emitting part in the first direction relative to the holding member;
A biased portion to which a pressing force pressing the contact portion against the holding member along the first direction is biased;
A fitting portion provided between the abutting portion and the biased portion, and fitted with the holding member;
A discharge lamp comprising: a groove portion provided in the fitting portion and configured to form a flow path of a cooling medium from the vicinity of the contact portion to the biased portion with the holding member. 前記被付勢部は、前記口金部材の開放端近傍に備えられた凹部を含むことを特徴とする請求項１に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 1, wherein the biased portion includes a recess provided in the vicinity of an open end of the base member. 前記溝部は、前記凹部に連通していることを特徴とする請求項２に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 2, wherein the groove portion communicates with the concave portion. 前記被付勢部は、前記口金部材の開放端近傍に備えられた段部を含むことを特徴とする請求項１に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 1, wherein the biased portion includes a step portion provided in the vicinity of an open end of the base member. 前記段部は、前記第１方向と直交する面における前記嵌合部の断面積よりも小さい断面積を有する小径部を含むことを特徴とする請求項４に記載の放電ランプ。   5. The discharge lamp according to claim 4, wherein the step portion includes a small diameter portion having a cross-sectional area smaller than a cross-sectional area of the fitting portion on a surface orthogonal to the first direction. 前記嵌合部と前記小径部とは、いずれも前記第１方向と平行な軸を中心とした円形断面を有し、
前記小径部の直径は、前記嵌合部の直径の１／２以下であることを特徴とする請求項５に記載の放電ランプ。The fitting portion and the small diameter portion both have a circular cross section centered on an axis parallel to the first direction,
6. The discharge lamp according to claim 5, wherein a diameter of the small diameter portion is 1/2 or less of a diameter of the fitting portion. 前記溝部は、前記段部に連通していることを特徴とする請求項４から請求項６のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge groove according to any one of claims 4 to 6, wherein the groove portion communicates with the step portion. 前記嵌合部は、前記第１方向と直交する方向における前記発光部の前記保持部材に対する位置を規定することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to any one of claims 1 to 7, wherein the fitting portion defines a position of the light emitting portion with respect to the holding member in a direction orthogonal to the first direction. 前記ガラス部材は、前記口金部材と連結する棒状部を有し、
前記嵌合部の太さは、前記棒状部の太さと略同一であることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の放電ランプ。The glass member has a rod-like portion connected to the base member,
The discharge lamp according to any one of claims 1 to 8, wherein a thickness of the fitting portion is substantially the same as a thickness of the rod-like portion. 前記溝部は、前記第１方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to any one of claims 1 to 9, wherein the groove is formed in a spiral shape around an axis along the first direction. 前記放電ランプの前記当接部に少なくとも一つの位置決め部が形成されたことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to any one of claims 1 to 10, wherein at least one positioning portion is formed at the contact portion of the discharge lamp. 前記位置決め部は、前記嵌合部における前記溝部の形成位置に対応した位置に設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 11, wherein the positioning portion is provided at a position corresponding to a position where the groove portion is formed in the fitting portion. 前記口金部の前記第１方向の長さは、前記放電ランプの全長の１／５以上で１／４以下であることを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載の放電ランプ。   13. The length in the first direction of the base portion is 1/5 or more and ¼ or less of the entire length of the discharge lamp, according to any one of claims 1 to 12. Discharge lamp. 前記嵌合部が前記保持部材と嵌合する部分の面積は、前記嵌合部に備えられた前記溝部の面積よりも広いことを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載の放電ランプ。   14. The area of the portion where the fitting portion is fitted to the holding member is wider than the area of the groove portion provided in the fitting portion. The described discharge lamp. 前記嵌合部が前記保持部材と嵌合する部分の面積は、前記嵌合部に備えられた前記溝部の面積の２倍よりも広いことを特徴とする請求項１４に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 14, wherein an area of a portion where the fitting portion is fitted to the holding member is larger than twice an area of the groove portion provided in the fitting portion. 前記放電ランプは、前記口金部材とは異なる位置で前記ガラス部材に連結された第２口金部材を有し、
前記第２口金部材は、内部に冷却用媒体が流通する流路が設けられていることを特徴とする請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載の放電ランプ。The discharge lamp has a second base member connected to the glass member at a position different from the base member,
The discharge lamp according to any one of claims 1 to 15, wherein the second base member is provided with a flow path through which a cooling medium flows. 前記第２口金部材に設けられた前記流路は、前記第１方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されたことを特徴とする請求項１６記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 16, wherein the flow path provided in the second base member is formed in a spiral shape around an axis along the first direction. 前記口金部材と前記第２口金部材とは、前記放電ランプ点灯用の電力の供給を受けるためのそれぞれ異なる極性に対応した電力受給部であり、
前記第２口金部材は、放電ランプ点灯用の電力とともに、前記冷却用媒体が供給される用力受給端子を備えることを特徴とする請求項１６または請求項１７に記載の放電ランプ。The base member and the second base member are power receiving units corresponding to different polarities for receiving the supply of power for lighting the discharge lamp,
The discharge lamp according to claim 16 or 17, wherein the second base member includes a power receiving terminal to which the cooling medium is supplied together with electric power for lighting the discharge lamp. 前記第２口金部材は、前記口金部材に対して前記ガラス部材を挟んで前記第１方向に沿った反対側に設けられたことを特徴とする請求項１６から請求項１８のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The said 2nd nozzle | cap | die member is provided in the other side along the said 1st direction on both sides of the said glass member with respect to the said nozzle | cap | die member, The one of Claim 16-18 characterized by the above-mentioned. The described discharge lamp. 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された第１口金部材と、前記第１口金部材とは別の位置で前記ガラス部材に連結された第２口金部材とを備えた放電ランプであって、
前記放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材に前記第１口金部材を介して着脱可能に保持され、
前記第１口金部材は、
前記保持部材と当接して前記保持部材に対する前記発光部の第１方向における位置を規定する当接部と、
前記当接部に対して前記ガラス部材とは前記第１方向に沿った反対側に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部と、
前記嵌合部に備えられて、冷却用媒体の流路を前記保持部材との間で構成する溝部とを備え、
前記第２口金部材は、前記第２口金部材を冷却する冷却用媒体が流通する流路を備えることを特徴とする放電ランプ。A discharge lamp comprising a glass member forming a light emitting portion, a first base member connected to the glass member, and a second base member connected to the glass member at a position different from the first base member Because
The discharge lamp is detachably held via a first base member on a holding member provided separately from the discharge lamp,
The first base member is:
An abutting part that abuts the holding member and defines a position of the light emitting part in the first direction relative to the holding member;
The glass member is provided on the opposite side along the first direction with respect to the contact portion, and a fitting portion that fits the holding member;
Provided in the fitting portion, comprising a groove portion that forms a cooling medium flow path with the holding member,
The discharge lamp according to claim 1, wherein the second base member includes a flow path through which a cooling medium for cooling the second base member flows. 前記嵌合部は、前記第１方向と直交する方向における前記発光部の前記保持部材に対する位置を規定することを特徴とする請求項２０に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 20, wherein the fitting portion defines a position of the light emitting portion with respect to the holding member in a direction orthogonal to the first direction. 前記ガラス部材は、前記第１口金部材と連結する棒状部を有し、
前記嵌合部の太さは、前記棒状部の太さと略同一であることを特徴とする請求項２０または請求項２１に記載の放電ランプ。The glass member has a rod-like portion connected to the first base member,
The thickness of the said fitting part is substantially the same as the thickness of the said rod-shaped part, The discharge lamp of Claim 20 or Claim 21 characterized by the above-mentioned. 前記溝部は、前記第１方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項２０から請求項２２のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to any one of claims 20 to 22, wherein the groove is formed in a spiral shape around an axis along the first direction. 前記放電ランプの前記当接部に少なくとも一つの位置決め部が形成されたことを特徴とする請求項２０から請求項２３のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to any one of claims 20 to 23, wherein at least one positioning portion is formed at the contact portion of the discharge lamp. 前記位置決め部は、前記嵌合部における前記溝部の形成位置に対応した位置に設けられていることを特徴とする請求項２４に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 24, wherein the positioning portion is provided at a position corresponding to a position where the groove portion is formed in the fitting portion. 前記第１口金部の前記第１方向の長さは、前記放電ランプの全長の１／５以上で１／４以下であることを特徴とする請求項２０から請求項２５のいずれか一項に記載の放電ランプ。   26. The length of the first base portion in the first direction is not less than 1/5 and not more than 1/4 of the entire length of the discharge lamp. The described discharge lamp. 前記嵌合部が前記保持部材と嵌合する部分の面積は、前記嵌合部に備えられた前記溝部の面積よりも広いことを特徴とする請求項２０から請求項２６のいずれか一項に記載の放電ランプ。   27. The area of the portion where the fitting portion is fitted to the holding member is wider than the area of the groove portion provided in the fitting portion. The described discharge lamp. 前記嵌合部が前記保持部材と嵌合する部分の面積は、前記嵌合部に備えられた前記溝部の面積の２倍よりも広いことを特徴とする請求項２７に記載の放電ランプ。   28. The discharge lamp according to claim 27, wherein an area of a portion where the fitting portion is fitted with the holding member is larger than twice an area of the groove portion provided in the fitting portion. 前記第２口金部材は、冷却用媒体が流通する流路を備えることを特徴とする請求項２０から請求項２８のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to any one of claims 20 to 28, wherein the second base member includes a flow path through which a cooling medium flows. 前記第１口金部材と、前記発光部と、前記第２口金部材とは前記第１方向に沿って配置され、
前記第２口金部材に設けられた前記流路は、前記第１方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されたことを特徴とする請求項２９に記載の放電ランプ。The first base member, the light emitting portion, and the second base member are disposed along the first direction,
30. The discharge lamp according to claim 29, wherein the flow path provided in the second base member is formed in a spiral shape around an axis along the first direction. 前記第１口金部材と前記第２口金部材とは、放電ランプ点灯用の電力の供給を受けるためのそれぞれ異なる極性に対応した電力受給端子であり、
前記第２口金部材は、前記放電ランプ点灯用の電力とともに、前記冷却用媒体が供給される用力受給端子を備えることを特徴とする請求項２０から請求項３０のいずれか一項に記載の放電ランプ。The first base member and the second base member are power receiving terminals corresponding to different polarities for receiving a supply of power for lighting a discharge lamp,
The discharge according to any one of claims 20 to 30, wherein the second base member includes a power receiving terminal to which the cooling medium is supplied together with the electric power for lighting the discharge lamp. lamp. 互いに離間した第１及び第２電極間で放電することにより発光する放電ランプであって、
前記第１電極と接続された第１口金部材と、前記第２電極と接続された第２口金部材とを備え、
前記第１口金部材には、前記第１口金部材を冷却する冷却媒体が流動する第１流路が形成され、前記第２口金部材には前記第２口金部材を冷却する冷却媒体が流動する第２流路が形成されていることを特徴とする放電ランプ。A discharge lamp that emits light by discharging between the first and second electrodes spaced apart from each other;
A first base member connected to the first electrode; and a second base member connected to the second electrode;
The first base member is formed with a first flow path through which a cooling medium for cooling the first base member flows, and a cooling medium for cooling the second base member flows through the second base member. A discharge lamp characterized in that two flow paths are formed. 前記第１口金部材と、前記第１電極と、前記第２電極と、前記第２口金部材とは同一の一軸上に配置され、
前記第１流路と前記第２流路とは、前記一軸を周回する螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項３２に記載の放電ランプ。The first base member, the first electrode, the second electrode, and the second base member are disposed on the same axis,
The discharge lamp according to claim 32, wherein the first flow path and the second flow path are formed in a spiral shape that circulates around the one axis. 前記第２口金部材は、前記第２口金部材を冷却する冷却媒体と、放電用の電力とが供給される用力受給端子を備えることを特徴とする請求項３２または請求項３３に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 32 or 33, wherein the second base member includes a power receiving terminal to which a cooling medium for cooling the second base member and power for discharge are supplied. . 発光部を形成するガラス部材と該ガラス部材に連結された口金部材とを有する放電ランプと、前記口金部材を介して前記放電ランプを保持する保持部材を有する保持装置とを備えた光源装置であって、
前記放電ランプが備える前記口金部材は、
前記保持部材と当接して前記保持部材に対する前記発光部の第１方向における位置を規定する当接部と、
前記当接部を前記第１方向に沿って前記保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部と、
前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部と、
前記嵌合部に備えられ、前記当接部近傍から前記被付勢部に至る冷却用媒体の流路を前記保持部材との間で構成する溝部とを有し、
前記保持装置は、
前記保持部材と、
前記被付勢部に前記押圧力を付勢する付勢部材と、
前記付勢部材による前記当接部の前記保持部材への押圧と、該押圧の解除とを切り替える切替機構と、
前記口金部材を冷却するための前記冷却用媒体を前記溝部を介して前記流路に供給する媒体供給装置と
を有することを特徴とする光源装置。A light source device comprising a discharge lamp having a glass member forming a light emitting portion and a base member connected to the glass member, and a holding device having a holding member for holding the discharge lamp through the base member. And
The base member provided in the discharge lamp is:
An abutting part that abuts the holding member and defines a position of the light emitting part in the first direction relative to the holding member;
A biased portion to which a pressing force pressing the contact portion against the holding member along the first direction is biased;
A fitting portion provided between the abutting portion and the biased portion, and fitted with the holding member;
A groove portion that is provided in the fitting portion and configures a flow path of a cooling medium from the vicinity of the contact portion to the biased portion with the holding member;
The holding device is
The holding member;
A biasing member that biases the pressing force against the biased portion;
A switching mechanism that switches between the pressing of the abutting portion by the biasing member to the holding member and the release of the pressing;
A light source device comprising: a medium supply device that supplies the cooling medium for cooling the base member to the flow path through the groove. 前記放電ランプの前記被付勢部は、前記付勢部材によって前記当接部を前記保持部材に押圧する際に、前記付勢部材の少なくとも一部が挿入される段部を有することを特徴とする請求項３５に記載の光源装置。   The biased portion of the discharge lamp includes a step portion into which at least a part of the biasing member is inserted when the abutting portion is pressed against the holding member by the biasing member. The light source device according to claim 35. 前記口金部に備えられた前記溝部は、前記第１方向に沿った軸を周回する螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項３５または請求項３６に記載の光源装置。   37. The light source device according to claim 35 or claim 36, wherein the groove portion provided in the base portion is formed in a spiral shape that goes around an axis along the first direction. 前記放電ランプの前記当接部に少なくとも一つの位置決め部が形成され、
前記保持装置の前記保持部材に前記位置決め部と係合する少なくとも一つの凸部が形成されたことを特徴とする請求項３５から請求項３７のいずれか一項に記載の光源装置。At least one positioning portion is formed on the contact portion of the discharge lamp;
The light source device according to any one of claims 35 to 37, wherein the holding member of the holding device is formed with at least one convex portion that engages with the positioning portion. 前記放電ランプの前記当接部に少なくとも一つの位置決め部が形成され、
前記保持装置の前記保持部材に前記位置決め部と係合する少なくとも一つの凸部が形成され、
前記位置決め部と前記凸部とは、前記放電ランプを前記保持装置に装着した状態において前記媒体供給装置と前記溝部とが連通する位置で係合することを特徴とする請求項３５から請求項３７のいずれか一項に記載の光源装置。At least one positioning portion is formed on the contact portion of the discharge lamp;
The holding member of the holding device is formed with at least one convex portion that engages with the positioning portion,
The positioning portion and the convex portion are engaged with each other at a position where the medium supply device and the groove portion communicate with each other in a state where the discharge lamp is mounted on the holding device. The light source device according to any one of the above. 前記保持装置は、
弾性部材と、
前記第１方向に対して傾斜したテーパ面を有し、前記弾性部材の弾性力が作用して前記第１方向に沿って移動する移動子と、
前記テーパ面と当接して前記移動子の前記第１方向の移動を前記段部への挿入方向の移動に変換し、少なくとも一部が前記段部に挿入される前記付勢部材としてのアーム部材とを有することを特徴とする請求項３６に記載の光源装置。The holding device is
An elastic member;
A moving element having a tapered surface inclined with respect to the first direction and moving along the first direction by the elastic force of the elastic member;
The arm member as the urging member that is in contact with the tapered surface and converts the movement of the moving element in the first direction into movement in the insertion direction into the stepped portion, and at least a part of which is inserted into the stepped portion. The light source device according to claim 36, comprising: 前記移動子は、前記放電ランプの前記口金部材の少なくとも一部を囲むように配置される円筒状の部材を含み、
前記アーム部材は、前記口金部材の周りに略等角度間隔で複数個配置されることを特徴とする請求項４０に記載の光源装置。The moving element includes a cylindrical member disposed so as to surround at least a part of the base member of the discharge lamp,
41. The light source device according to claim 40, wherein a plurality of the arm members are arranged around the base member at substantially equal angular intervals. 前記保持装置の前記切替機構は、
回転可能に配置されたレバー部材と、
前記レバー部材の回転角に応じて前記移動子を前記第１方向に移動するリンク機構とを有することを特徴とする請求項４０または請求項４１に記載の光源装置。The switching mechanism of the holding device is:
A lever member arranged rotatably,
42. The light source device according to claim 40, further comprising a link mechanism that moves the movable element in the first direction according to a rotation angle of the lever member. 前記放電ランプは、前記口金部材とは異なる位置で前記ガラス部材と連結された第２口金部材を有し、
前記第２口金部材の内部に冷却用媒体が流通する流路が設けられたことを特徴とする請求項３５から請求項４２のいずれか一項に記載の光源装置。The discharge lamp has a second base member connected to the glass member at a position different from the base member,
43. The light source device according to any one of claims 35 to 42, wherein a flow path through which a cooling medium flows is provided inside the second base member. 前記口金部材と、前記発光部と、前記第２口金部材とは前記第１方向に沿って配置され、
前記第２口金部材は、前記第１方向に沿った軸を周回する螺旋状に形成された流路を有することを特徴とする請求項４３に記載の光源装置。The base member, the light emitting portion, and the second base member are disposed along the first direction,
44. The light source device according to claim 43, wherein the second base member has a spirally formed flow path that goes around an axis along the first direction. 前記第２口金部材は、前記冷却用媒体と前記放電ランプ点灯用の電力とが供給される用力受給端子を備えることを特徴とする請求項４３または請求項４４に記載の光源装置。   45. The light source device according to claim 43 or 44, wherein the second base member includes a power receiving terminal to which the cooling medium and power for lighting the discharge lamp are supplied. 前記用力受給端子と係合可能な用力供給端子と、
前記用力供給端子に電力と冷却用媒体とを導く導電体で形成された柔軟性のある管状ケーブルとを備えることを特徴とする請求項４３から請求項４５のいずれか一項に記載の光源装置。A power supply terminal engageable with the power reception terminal;
The light source device according to any one of claims 43 to 45, further comprising: a flexible tubular cable formed of a conductor that guides electric power and a cooling medium to the power supply terminal. . 発光部を形成するガラス部材と、
該ガラス部材の第１方向側に連結され、前記第１方向と直交する第２方向に延在する当接部と、前記第１方向に沿った力が付勢される被付勢部と、前記当接部と前記被付勢部との間に備えられた嵌合部と、前記嵌合部に備えられた溝部とを有する口金部材と、を備え、
前記口金部材は、
前記被付勢部に付勢された前記第１方向の力により前記当接部と当接して前記発光部の前記第１方向の位置を規定するとともに、前記嵌合部と嵌合することにより前記第１方向と直交する方向の位置を規定し、かつ前記保持部材と前記溝部との間に形成された流路に冷却用媒体を供給する保持装置に保持可能であることを特徴とする放電ランプ。A glass member forming a light emitting part;
A contact portion connected to the first direction side of the glass member and extending in a second direction orthogonal to the first direction; a biased portion to which a force along the first direction is biased; A fitting member provided between the abutting part and the biased part, and a base member having a groove part provided in the fitting part,
The base member is
By abutting on the abutting portion by the force in the first direction biased by the biased portion to define the position of the light emitting portion in the first direction, and by fitting with the fitting portion Discharging characterized in that it can be held in a holding device that defines a position in a direction perpendicular to the first direction and supplies a cooling medium to a flow path formed between the holding member and the groove. lamp. 前記口金部材の前記被付勢部は、前記口金部材に前記第１方向の力を作用させるための付勢部材の少なくとも一部が挿入される段部を有することを特徴とする請求項４７に記載の放電ランプ。   48. The step according to claim 47, wherein the biased portion of the base member has a step portion into which at least a part of a biasing member for applying a force in the first direction to the base member is inserted. The described discharge lamp. 前記溝部は、前記第１方向に沿った軸を周回する螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項４７または請求項４８に記載の放電ランプ。   49. The discharge lamp according to claim 47, wherein the groove is formed in a spiral shape that goes around an axis along the first direction. 前記当接部は、前記保持部材に形成された少なくとも一つの凸部に係合する少なくとも一つの位置決め部を有することを特徴とする請求項４７から請求項４９のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge according to any one of claims 47 to 49, wherein the contact portion has at least one positioning portion that engages with at least one convex portion formed on the holding member. lamp. 前記位置決め部の位置は、前記保持装置が前記冷却用媒体を供給する位置に応じて設定されていることを特徴とする請求項５０に記載の放電ランプ。   51. The discharge lamp according to claim 50, wherein the position of the positioning portion is set according to a position where the holding device supplies the cooling medium. 前記放電ランプは、前記口金部材が設けられた位置とは異なる位置に設けられた第２口金部材を有し、
前記第２口金部材の内部に冷却用媒体が流通する流路が設けられたことを特徴とする請求項４７から請求項５１のいずれか一項に記載の放電ランプ。The discharge lamp has a second base member provided at a position different from the position where the base member is provided,
52. The discharge lamp according to any one of claims 47 to 51, wherein a flow path through which a cooling medium flows is provided inside the second base member. 前記口金部材と、前記発光部と、前記第２口金部材とは前記第１方向に沿って配置され、
前記第２口金部材は、前記第１方向に沿った軸を周回する螺旋状に形成された前記流路を有することを特徴とする請求項５２に記載の放電ランプ。The base member, the light emitting portion, and the second base member are disposed along the first direction,
53. The discharge lamp according to claim 52, wherein the second base member has the flow path formed in a spiral shape that circulates along an axis along the first direction. 前記第２口金部材は、前記冷却用媒体と前記放電ランプ点灯用の電力とが供給される用力受給端子を備えることを特徴とする請求項５２または請求項５３に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 52 or 53, wherein the second base member includes a power receiving terminal to which the cooling medium and power for lighting the discharge lamp are supplied. 光源装置から発生した露光光によって感光基板にパターンを露光する露光装置であって、
前記光源装置として請求項３５から請求項４６のいずれか一項に記載の光源装置を用いることを特徴とする露光装置。An exposure apparatus that exposes a pattern on a photosensitive substrate with exposure light generated from a light source device,
47. An exposure apparatus using the light source apparatus according to any one of claims 35 to 46 as the light source apparatus. 放電ランプの２つの電極間の放電により発生した光によって感光基板にパターンを露光する露光装置の製造方法であって、
前記放電ランプを保持するための保持装置に、前記放電ランプの前記２つの電極のうちの一方に対応して設けられた第１口金部材を介して前記放電ランプを装着する段階と、
前記放電ランプの他方の電極に対応して設けられた第２口金部材に用力ケーブルを接続する段階と、
前記装着された前記放電ランプの前記第１口金部材を前記保持装置に装着された状態で冷却する段階とを備えることを特徴とする露光装置の製造方法。An exposure apparatus manufacturing method for exposing a pattern on a photosensitive substrate with light generated by discharge between two electrodes of a discharge lamp,
Mounting the discharge lamp on a holding device for holding the discharge lamp via a first cap member provided corresponding to one of the two electrodes of the discharge lamp;
Connecting a utility cable to a second cap member provided corresponding to the other electrode of the discharge lamp;
And a step of cooling the first base member of the mounted discharge lamp in a state of being mounted on the holding device. 前記放電ランプを装着する段階は、
前記保持装置に設けられた開口部に前記第１口金部の一部を挿入する段階と、
前記保持装置に挿入された前記第１口金部に対して前記放電ランプを保持するための保持力を付勢する段階と
前記保持装置と前記第１口金部材との間に冷却用媒体の流路を形成する段階とを含み、
前記冷却する段階は、前記流路に冷却用媒体を供給する段階を含むことを特徴とする請求項５６に記載の露光装置の製造方法。The step of mounting the discharge lamp includes
Inserting a part of the first base into an opening provided in the holding device;
Urging a holding force for holding the discharge lamp with respect to the first base inserted into the holding device; and a flow path of a cooling medium between the holding device and the first base member Forming a step,
57. The method of manufacturing an exposure apparatus according to claim 56, wherein the step of cooling includes a step of supplying a cooling medium to the flow path. 前記用力ケーブルが接続された前記第２口金部材を、前記用力ケーブルを介して供給された冷却用媒体により冷却する段階を含むことを特徴とする請求項５６または請求項５７に記載の露光装置の製造方法。   58. The exposure apparatus according to claim 56, further comprising a step of cooling the second base member connected to the utility cable with a cooling medium supplied via the utility cable. Production method. 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された口金部材とを備えた放電ランプであって、
前記放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材に前記口金部材を介して着脱可能に保持され、
前記口金部材は、
前記保持部材と当接して前記保持部材に対する前記発光部の第１方向における位置を規定する当接部と、
前記当接部を前記第１方向に沿って前記保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部と、
前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部と、
前記嵌合部の内部を通過するように、前記当接部近傍と前記被付勢部との間に備えられた冷却用媒体の流路となる流体路と
を有することを特徴とする放電ランプ。A discharge lamp comprising a glass member that forms a light emitting part, and a base member connected to the glass member,
The discharge lamp is detachably held via a cap member on a holding member provided separately from the discharge lamp,
The base member is
An abutting part that abuts the holding member and defines a position of the light emitting part in the first direction relative to the holding member;
A biased portion to which a pressing force pressing the contact portion against the holding member along the first direction is biased;
A fitting portion provided between the abutting portion and the biased portion, and fitted with the holding member;
A discharge lamp having a fluid path serving as a flow path for a cooling medium provided between the vicinity of the abutting portion and the biased portion so as to pass through the inside of the fitting portion. . 前記嵌合部の前記当接部の近傍の外側面に溝部が形成され、前記溝部に前記流体路に連通する開口が備えられたことを特徴とする請求項５９に記載の放電ランプ。   60. The discharge lamp according to claim 59, wherein a groove portion is formed on an outer surface of the fitting portion in the vicinity of the contact portion, and an opening communicating with the fluid path is provided in the groove portion. 前記嵌合部の前記当接部の近傍の外側面に前記流体路に連通する開口が備えられたことを特徴とする請求項５９に記載の放電ランプ。   60. The discharge lamp according to claim 59, wherein an opening communicating with the fluid path is provided on an outer surface of the fitting portion in the vicinity of the contact portion. 前記嵌合部は、前記流体路が外側面に形成された第１部材を覆うように、円筒状の第２部材を嵌合させて構成されることを特徴とする請求項５９から請求項６１のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The fitting portion is configured by fitting a cylindrical second member so that the fluid path covers the first member formed on the outer surface. The discharge lamp according to any one of the above. 請求項５９から請求項６２のいずれか一項に記載の放電ランプと、前記口金部材を介して前記放電ランプを保持する前記保持部材を有する保持装置とを備えた光源装置であって、
前記保持装置は、
前記被付勢部に前記押圧力を付勢する付勢部材と、
前記口金部材を冷却するための媒体を前記流体路に供給する媒体供給装置と
を有することを特徴とする光源装置。A light source device comprising: the discharge lamp according to any one of claims 59 to 62; and a holding device having the holding member that holds the discharge lamp via the cap member,
The holding device is
A biasing member that biases the pressing force against the biased portion;
A light source device comprising: a medium supply device that supplies a medium for cooling the base member to the fluid path. 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された口金部材とを備えた放電ランプであって、
前記口金部材は、
第１の方向に平行な第１の軸に沿ってガラス部材から離れる方向に、順に、
前記第１の軸を中心とする第１の半径以上の半径を有する円盤形状を包含する形状を有する当接部と、
前記第１の軸を中心とする前記第１の半径より小さな第２の半径を有する円柱形状に外接する形状を有する嵌合部と、
前記第１の軸を中心として前記第２の半径より小さな第３の半径を有する円柱形状を包含する形状を有する小径部と、
前記第１の軸を中心として、前記第１の半径より小さくかつ前記第３の半径より大きな第４の半径を有する円盤形状を包含する形状を有する被付勢部と、を有するとともに、
前記嵌合部の外周またはその近傍に、前記嵌合部と空気との接触面積を増大せしめるための立体構造を有することを特徴とする放電ランプ。A discharge lamp comprising a glass member that forms a light emitting part, and a base member connected to the glass member,
The base member is
In a direction away from the glass member along a first axis parallel to the first direction,
A contact portion having a shape including a disk shape having a radius equal to or larger than a first radius centered on the first axis;
A fitting portion having a shape circumscribing a cylindrical shape having a second radius smaller than the first radius around the first axis;
A small diameter portion having a shape including a cylindrical shape having a third radius smaller than the second radius around the first axis;
And a biased portion having a shape including a disk shape having a fourth radius smaller than the first radius and larger than the third radius around the first axis.
A discharge lamp having a three-dimensional structure for increasing a contact area between the fitting portion and air at or near the outer periphery of the fitting portion. 前記立体構造は、前記嵌合部の外周に設けられた凹凸形状であることを特徴とする請求項６４に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 64, wherein the three-dimensional structure is an uneven shape provided on an outer periphery of the fitting portion. 前記立体構造は、前記嵌合部の内部に設けられた流体路であることを特徴とする請求項６４に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 64, wherein the three-dimensional structure is a fluid path provided inside the fitting portion. 前記嵌合部の前記当接部の近傍の外側面及び前記嵌合部の前記小径部側端部の近傍に、前記流体路に連通する開口が形成されたことを特徴とする請求項６６に記載の放電ランプ。   66. An opening communicating with the fluid path is formed in an outer surface of the fitting portion in the vicinity of the contact portion and in the vicinity of the end portion on the small diameter portion side of the fitting portion. The described discharge lamp. 発光部を備え、第１方向に伸びるように形成されたガラス部材と、前記ガラス部材の前記第１方向側の端部に、一端部が連結される第１口金部材とを備えた放電ランプであって、
前記第１口金部材は、
前記第１方向と直交する直交方向に突出した突出部と、
前記突出部と前記第１口金部材の他端部との間に設けられ、前記直交方向に関する外形形状が、前記突出部の外形形状より小さい第１軸部と、
前記突出部と前記第１口金部材の他端部との間に設けられ、前記直交方向に関する外形形状が、前記第１軸部より小さい第２軸部と、
前記突出部と前記第１口金部材の他端部との間に設けられ、前記直交方向に関する外形形状が、前記突出部の外形形状より小さく、かつ前記第２軸部よりも大きい第３軸部と、
前記第１軸部の外周面の少なくとも一部に設けられ、冷却用媒体と接触可能な冷却部とを備えることを特徴とする放電ランプ。A discharge lamp comprising a light emitting portion, a glass member formed to extend in a first direction, and a first base member having one end connected to an end portion on the first direction side of the glass member. There,
The first base member is:
A protruding portion protruding in an orthogonal direction orthogonal to the first direction;
A first shaft provided between the protrusion and the other end of the first base member, the outer shape of the orthogonal direction being smaller than the outer shape of the protrusion;
A second shaft portion provided between the projecting portion and the other end portion of the first base member, the outer shape of the orthogonal direction being smaller than the first shaft portion;
A third shaft portion provided between the projecting portion and the other end portion of the first base member, and having an outer shape related to the orthogonal direction smaller than the outer shape of the projecting portion and larger than the second shaft portion. When,
A discharge lamp comprising: a cooling portion provided on at least a part of an outer peripheral surface of the first shaft portion and capable of contacting a cooling medium. 前記第１軸部は、前記第１方向に伸びる円柱形状で形成されることを特徴とする請求項６８に記載の放電ランプ。   69. The discharge lamp of claim 68, wherein the first shaft portion is formed in a columnar shape extending in the first direction. 前記第１軸部は、前記直交方向に関する外形形状が互いに異なる２つの部分を有することを特徴とする請求項６８に記載の放電ランプ。   69. The discharge lamp according to claim 68, wherein the first shaft portion has two portions having different outer shapes in the orthogonal direction. 前記第１軸部は、第１部分と、前記直交方向に関する外形形状が、前記第１部分より小さい形状を有する第２部分とを有することを特徴とする請求項７０に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 70, wherein the first shaft portion includes a first portion and a second portion having an outer shape with respect to the orthogonal direction that is smaller than the first portion. 前記第１軸部は、前記直交方向に関する外形形状が円形で形成された第１部分と、前記冷却部を備えた第２部分とを有することを特徴とする請求項７０に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 70, wherein the first shaft portion includes a first portion formed in a circular outer shape with respect to the orthogonal direction, and a second portion including the cooling portion. 前記第１口金部材は、前記一端部から前記他端部に順に、前記突出部と、前記第１軸部の前記第１部分と、前記第１軸部の前記第２部分と、前記第２軸部と、前記第３軸部とを備えることを特徴とする請求項７２に記載の放電ランプ。   The first base member includes, in order from the one end portion to the other end portion, the protruding portion, the first portion of the first shaft portion, the second portion of the first shaft portion, and the second portion. The discharge lamp according to claim 72, further comprising a shaft portion and the third shaft portion. 前記第３軸部は、前記直交方向に関する外形形状が、前記第１軸部と同じか、あるいは前記第１軸部より小さいことを特徴とする請求項６８から請求項７３のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The outer shape of the third shaft portion in the orthogonal direction is the same as that of the first shaft portion or smaller than the first shaft portion. The described discharge lamp. 前記第３軸部は、前記直交方向に突出した複数の凸部を有することを特徴とする請求項６８から請求項７４のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to any one of claims 68 to 74, wherein the third shaft portion has a plurality of protrusions protruding in the orthogonal direction. 前記第３軸部は、前記ガラス部材側に形成された表面を有することを特徴とする請求項６８から請求項７４のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to any one of claims 68 to 74, wherein the third shaft portion has a surface formed on the glass member side. 前記表面は、前記第１方向に直交する平面であることを特徴とする請求項７６に記載の放電ランプ。   77. The discharge lamp according to claim 76, wherein the surface is a plane perpendicular to the first direction. 前記表面は、前記第１方向に直交する平面に対して傾斜している面であることを特徴とする請求項７６に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to claim 76, wherein the surface is a surface inclined with respect to a plane orthogonal to the first direction. 前記冷却部は、前記第１口金部材の前記一端部側から前記他端部側に向かう溝部を有することを特徴とする請求項６８から請求項７８のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to any one of claims 68 to 78, wherein the cooling section includes a groove section from the one end portion side to the other end portion side of the first base member. 前記溝部は、前記第１方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項７９に記載の放電ランプ。   80. The discharge lamp according to claim 79, wherein the groove is formed in a spiral shape around an axis along the first direction. 前記溝部は、前記第１方向に沿って形成されていることを特徴とする請求項７９に記載の放電ランプ。   80. The discharge lamp according to claim 79, wherein the groove is formed along the first direction. 前記冷却部は、前記第１軸部の外周面の少なくとも一部に設けられた凹凸形状を有することを特徴とする請求項６８から請求項７８のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to any one of claims 68 to 78, wherein the cooling part has a concavo-convex shape provided on at least a part of an outer peripheral surface of the first shaft part. 前記突出部は、輪帯状に形成されることを特徴とする請求項６８から請求項８２のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to any one of claims 68 to 82, wherein the protrusion is formed in a ring shape. 前記突出部は、前記第１方向に伸びる複数の開口を有することを特徴とする請求項６８から請求項８２のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to any one of claims 68 to 82, wherein the protrusion has a plurality of openings extending in the first direction. 前記突出部は、前記第１方向に伸びる複数の溝を有することを特徴とする請求項６８から請求項８２のいずれか一項に記載の放電ランプ。   The discharge lamp according to any one of claims 68 to 82, wherein the protrusion has a plurality of grooves extending in the first direction. 前記第１口金部材に対して、前記ガラス部材を挟んで前記第１方向に沿った反対側に設けられる第２口金部材を備え、
前記第２口金部材は、前記第１方向に沿って形成された溝部を有することを特徴とする請求項６８から請求項８５のいずれか一項に記載の放電ランプ。A second base member provided on the opposite side of the first base member along the first direction across the glass member;
The discharge lamp according to any one of claims 68 to 85, wherein the second base member has a groove formed along the first direction. 前記第１口金部材に対して、前記ガラス部材を挟んで前記第１方向に沿った反対側に設けられる第２口金部材を備え、
前記第２口金部材は、前記第１方向に沿った軸の周りに形成された螺旋状の溝部を有することを特徴とする請求項８６に記載の放電ランプ。A second base member provided on the opposite side of the first base member along the first direction across the glass member;
The discharge lamp according to claim 86, wherein the second base member has a spiral groove formed around an axis along the first direction. 前記第２口金部材は、前記溝部を覆うカバーを備えることを特徴とする請求項８６または請求項８７に記載の放電ランプ。   88. The discharge lamp according to claim 86 or 87, wherein the second base member includes a cover that covers the groove. 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された口金部材とを備えた放電ランプであって、
前記放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材に前記口金部材を介して着脱可能であり、
前記口金部材は、
前記保持部材と当接して前記保持部材に対する前記発光部の第１方向における位置を規定する当接部と、
前記当接部を前記第１方向に沿って前記保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部と、
前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部と、
前記当接部と前記被付勢部との間に設けられ、前記当接部近傍から前記被付勢部に至る冷却用媒体の流路を前記保持部材との間で構成する冷却部と
を有することを特徴とする放電ランプ。A discharge lamp comprising a glass member that forms a light emitting part, and a base member connected to the glass member,
The discharge lamp is detachable via a cap member to a holding member provided separately from the discharge lamp,
The base member is
An abutting part that abuts the holding member and defines a position of the light emitting part in the first direction relative to the holding member;
A biased portion to which a pressing force pressing the contact portion against the holding member along the first direction is biased;
A fitting portion provided between the abutting portion and the biased portion, and fitted with the holding member;
A cooling unit that is provided between the abutting part and the biased part and configures a cooling medium flow path from the vicinity of the abutting part to the biased part with the holding member; A discharge lamp comprising: 前記冷却部は、前記第１方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成された溝部を有することを特徴とする請求項８９に記載の放電ランプ。   90. The discharge lamp according to claim 89, wherein the cooling unit has a groove formed in a spiral shape around an axis along the first direction. 前記放電ランプは、前記口金部材とは異なる位置で前記ガラス部材に連結された第２口金部材を有し、
前記第２口金部材は、内部に冷却用媒体が流通する流路が設けられていることを特徴とする請求項８９または請求項９０に記載の放電ランプ。The discharge lamp has a second base member connected to the glass member at a position different from the base member,
The discharge lamp according to claim 89 or 90, wherein the second base member is provided with a flow path through which a cooling medium flows. 前記第２口金部材に設けられた前記流路は、前記第１方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されたことを特徴とする請求項９１記載の放電ランプ。   92. The discharge lamp according to claim 91, wherein the flow path provided in the second base member is formed in a spiral shape around an axis along the first direction. 発光部を形成するガラス部材と、該ガラス部材に連結された第１口金部材と、前記第１口金部材とは別の位置で前記ガラス部材に連結された第２口金部材とを備えた放電ランプであって、
前記放電ランプは、該放電ランプとは別個に設けられた保持部材に前記第１口金部材を介して着脱可能であり、
前記第１口金部材は、
前記保持部材と当接して前記保持部材に対する前記発光部の第１方向における位置を規定する当接部と、
前記当接部に対して前記ガラス部材とは前記第１方向に沿った反対側に備えられ、前記保持部材と嵌合する嵌合部と、
前記保持部材との間で構成する冷却用媒体の流路とを備え、
前記第２口金部材は、前記第２口金部材を冷却する冷却用媒体が流通する流路を備えることを特徴とする放電ランプ。A discharge lamp comprising a glass member forming a light emitting portion, a first base member connected to the glass member, and a second base member connected to the glass member at a position different from the first base member Because
The discharge lamp can be attached to and detached from the holding member provided separately from the discharge lamp via the first base member,
The first base member is:
An abutting part that abuts the holding member and defines a position of the light emitting part in the first direction relative to the holding member;
The glass member is provided on the opposite side along the first direction with respect to the contact portion, and a fitting portion that fits the holding member;
A cooling medium flow path configured between the holding member and
The discharge lamp according to claim 1, wherein the second base member includes a flow path through which a cooling medium for cooling the second base member flows. 前記第１口金部材に設けられた前記流路は、前記第１方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されたことを特徴とする請求項９３に記載の放電ランプ。   94. The discharge lamp according to claim 93, wherein the flow path provided in the first base member is formed in a spiral shape around an axis along the first direction. 前記第２口金部材に設けられた前記流路は、前記第１方向に沿った軸の周りに螺旋状に形成されたことを特徴とする請求項９３または請求項９４に記載の放電ランプ。   95. The discharge lamp according to claim 93 or 94, wherein the flow path provided in the second base member is formed in a spiral shape around an axis along the first direction. 発光部を形成するガラス部材と該ガラス部材に連結された口金部材とを有する放電ランプと、前記口金部材を介して前記放電ランプを保持する保持部材を有する保持装置とを備えた光源装置であって、
前記放電ランプが備える前記口金部材は、
前記保持部材と当接して前記保持部材に対する前記発光部の第１方向における位置を規定する当接部と、
前記当接部を前記第１方向に沿って前記保持部材に押圧する押圧力が付勢される被付勢部と、
前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記保持部材に対し、前記発光部の前記第１方向と直交する方向における位置を規定する規定部と、
前記当接部と前記被付勢部との間に備えられ、前記当接部近傍から前記被付勢部に至る冷却用媒体の流路を前記保持部材との間で構成する冷却部とを有し、
前記保持装置は、
前記保持部材と、
前記被付勢部に前記押圧力を付勢する付勢部材と、
前記付勢部材による前記当接部の前記保持部材への押圧と、該押圧の解除とを切り替える切替機構と、
前記口金部材を冷却するための前記冷却用媒体を前記流路に供給する媒体供給装置と
を有することを特徴とする光源装置。A light source device comprising a discharge lamp having a glass member forming a light emitting portion and a base member connected to the glass member, and a holding device having a holding member for holding the discharge lamp through the base member. And
The base member provided in the discharge lamp is:
An abutting part that abuts the holding member and defines a position of the light emitting part in the first direction relative to the holding member;
A biased portion to which a pressing force pressing the contact portion against the holding member along the first direction is biased;
A defining portion provided between the abutting portion and the biased portion and defining a position of the light emitting portion in a direction perpendicular to the first direction with respect to the holding member;
A cooling unit provided between the abutting part and the biased part and configured to form a cooling medium flow path from the vicinity of the abutting part to the biased part with the holding member; Have
The holding device is
The holding member;
A biasing member that biases the pressing force against the biased portion;
A switching mechanism for switching between the pressing of the contact portion by the biasing member to the holding member and the release of the pressing;
A light source device comprising: a medium supply device that supplies the cooling medium for cooling the base member to the flow path.
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