JPH1055713A - Ultraviolet irradiation device - Google Patents

Ultraviolet irradiation device

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JPH1055713A
JPH1055713A JP22463196A JP22463196A JPH1055713A JP H1055713 A JPH1055713 A JP H1055713A JP 22463196 A JP22463196 A JP 22463196A JP 22463196 A JP22463196 A JP 22463196A JP H1055713 A JPH1055713 A JP H1055713A
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JP
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discharge lamp
elliptical
lamp
holding member
portion
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Application number
JP22463196A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiromi Kai
Kazuyoshi Suzuki
Takanao Ueno
高尚 上野
広海 甲斐
一好 鈴木
Original Assignee
Ushio Inc
ウシオ電機株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultraviolet irradiation device so as to eliminate the need for positional adjustment of a discharge lamp after installing it. SOLUTION: This device comprises a short arc type discharge lamp 10, an elliptical converging mirror 21 having an opening in its center part, and an elliptical converging mirror holding member 20 for holding the elliptical converging mirror 21. A flange part 15 is provided in a base 13 at one end of the discharge lamp 10. An interfit hole 22 to which the base 13 is interfit is provided in a bottom part of the elliptical converging mirror holding member 20. The base 13 to be interfit to the interfit hole 22 is removably engaged with the elliptical converging mirror holding member 20 by providing a spring 30. The flange part 15 of the base 13 is energized toward the elliptical converging mirror holding member 20.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する利用分野】本発明は、紫外線硬化性樹脂の硬化や、半導体、液晶基板等の露光に用いられる紫外線照射装置に関するものである。 TECHNICAL FIELD The present invention curing or ultraviolet-curing resin, semiconductor, relates ultraviolet irradiation apparatus used for the exposure, such as a liquid crystal substrate.

【0002】 [0002]

【従来の技術】紫外線硬化性樹脂を接着剤として用いた電子部品、光学部品の精密接着や、半導体露光、液晶基板露光、ソーラシミュレータ等に紫外線を含む光を放射する紫外線照射装置が用いられている。 Electronic components, precision adhesion and optical component using the Related Art UV curable resin as an adhesive, the semiconductor exposure, a liquid crystal substrate exposure, ultraviolet irradiation apparatus is used that emits light containing ultraviolet solar simulator or the like there. このような紫外線照射装置の光学系としては、紫外線を含む放射光を効率良く利用するようにショートアーク型の放電ランプと楕円集光鏡とを組み合わせたものが多い。 As such an optical system of the ultraviolet irradiation device, often a combination of a short arc type discharge lamp and the elliptical condensing mirror as the emitted light including an ultraviolet efficiently utilized.

【0003】図8は、電子部品、光学部品の精密接着に使用される紫外線照射装置の光学系の一例であり、楕円集光鏡2により集光されるショートアーク型の放電ランプ1からの紫外線を含む放射光が折り返しミラー3により折り返された後に光ファイバ4の光入射端6に入射し、光出射端7から放出される。 [0003] Figure 8 is an electronic component, an example of an optical system of the ultraviolet irradiation device used for precision bonding of optical components, ultraviolet rays from the discharge lamp 1 of the short arc type which is condensed by the elliptical condensing mirror 2 radiation including enters the light incident end 6 of the optical fiber 4 after being folded by the folding mirrors 3, it is emitted from the light emitting end 7.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】放電ランプ1は、その一端部の口金が雄ネジになっており、不図示のランプ保持部材に設けられた雌ネジ部に上記雄ネジを所定の位置までねじ込むことにより固定される。 Discharge lamp 1 [0005], the mouthpiece of one end has become a male screw is screwed into the female screw portion provided on the lamp holding member (not shown) of the male screw to a predetermined position It is fixed by. しかし、放電ランプ1の雄ネジを介したねじ込みが十分でないまま放電ランプ1が取り付けられたり、何度も放電ランプ1の交換を重ねるうちに上記ランプ保持部材の雌ネジ部に磨耗や変形が生じて、放電ランプ1を所定の位置までねじ込むことができなくなったりすることにより、放電ランプ1 However, threaded through the male screw or the left discharge lamp 1 not enough attached in the discharge lamp 1, even wear and deformation occurs in the female screw portion of the lamp holding member while overlapping the replacement of the discharge lamp 1 again Te, by or can no longer be screwed discharge lamp 1 to a predetermined position, the discharge lamp 1
が所定の位置に設置できない場合がある。 There may not be positioned correctly.

【0005】図8に示した光学系の場合、光ファイバ4 In the case of the optical system shown in FIG. 8, the optical fiber 4
への集光精度を良くするためには、ショートアーク型放電ランプ1のアークの位置が楕円集光鏡2の楕円の焦点位置に正確に配置する必要があるので、上記のような場合には、放電ランプ1と楕円集光鏡2の位置関係を調整しなければならない。 In order to improve the light collecting accuracy to, since the position of the arc discharge lamp of the short arc type 1 needs to be accurately positioned at the focal point of the ellipse of the elliptical condensing mirror 2, in the case as described above You must adjust the positional relationship between the discharge lamp 1 and the elliptical condensing mirror 2. 通常、楕円集光鏡2は紫外線照射装置の不図示の筐体に固定されているので、上記の位置関係の調整は、例えば、実開平1−44518号に示された位置調節機構を用いて放電ランプ1の位置を調整することにより行われる。 Usually, the elliptical condensing mirror 2 is fixed to a housing (not shown) of the ultraviolet irradiation apparatus, adjustment of the positional relationship, for example, by using a position adjusting mechanism shown in real-Open No. 1-44518 performed by adjusting the position of the discharge lamp 1.

【0006】具体的な手順は以下のとおりである。 [0006] The specific procedure is as follows. (1)ファイバ4の光出射端7からの放射光が照射される位置に、照度モニタを設置する。 (1) to a position radiated light is emitted from the light emitting end 7 of the fiber 4, installing the illuminance monitor. (2)位置調節機構部における筐体カバーを外し、位置調節機構を露出させる。 (2) Remove the housing cover at the position adjusting mechanism, exposing the position adjusting mechanism. (3)放電ランプ1を点灯し、シャッタ5を開ける。 (3) the discharge lamp 1 lights, opening the shutter 5. (4)照度モニタにより表示される放射光の照度が最大になるように、位置調節機構を手動で駆動して、放電ランプ1の位置を調整する。 (4) As the illuminance of the radiation to be displayed by the illuminance monitor is maximized, by driving the position adjusting mechanism manually adjusts the position of the discharge lamp 1.

【0007】このように放電ランプ1の位置調整時には、放電ランプ1を点灯させてファイバ4の光出射端7 [0007] During positioning of such discharge lamp 1, the light emitting end 7 of the discharge lamp 1 to light the by fiber 4
から紫外線を含む放射光を放出させて行うので、調整作業中の作業者に対し、遮光カバー等の紫外線被曝対策をする必要がある。 Is performed by emitting radiation containing ultraviolet rays, to the operator in the adjustment work, it is necessary to ultraviolet radiation measures such as light shielding cover. また、照度モニタに表示される値を観察しながら手動で行うので、調整にある程度の熟練を要する。 Also, is performed manually while observing the value displayed in the illuminance monitor, it requires a certain skill on the adjustment.

【0008】本発明は以上のような事情によりなされたものであって、その課題は、放電ランプを取りつけた後、当該放電ランプの位置調整が不要な紫外線照射装置を提供することにある。 The present invention was made by the foregoing circumstances and has as its object, after attaching the discharge lamp is that the position adjustment of the discharge lamp to provide an unnecessary ultraviolet irradiation apparatus.

【0009】 [0009]

【課題を解決するための手段】本発明による紫外線照射装置は、ショートアーク型の放電ランプと、中央部に開口を有する楕円集光鏡と、該楕円集光鏡を保持する楕円集光鏡保持部材とを備えた紫外線照射装置において、上記放電ランプの一端にフランジ型の口金を設け、 上記楕円集光鏡保持部材の底部には上記口金が嵌合する嵌合孔が形成され、一方、上記楕円集光鏡保持部材には、上記嵌合孔に嵌合した上記口金に離脱可能に係合し、該口金のフランジ部を上記楕円集光鏡保持部材側に付勢する付勢部材を設けたものである。 Means for Solving the Problems] ultraviolet irradiation apparatus according to the present invention, a short arc type discharge lamp, and elliptical condensing mirror having an opening in the center, holding elliptical condensing mirror that holds the elliptical condensing mirror in the ultraviolet irradiation apparatus and a member, the cap flange type provided at one end of the discharge lamp, a fitting hole in which the cap is fitted is formed in a bottom portion of the elliptical condensing mirror holding member, whereas, the the elliptical condensing mirror holding member is provided with a biasing member detachably engaged with the cap fitted to the fitting hole, urging the flange portion of the mouth gold in the elliptical condensing mirror holding member side those were.

【0010】 [0010]

【発明の実施の形態】図1に本発明の紫外線照射装置の光学系を示す。 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Figure 1 shows an optical system of the ultraviolet irradiation apparatus of the present invention. 10はショートアーク型の放電ランプであり、内部に陰極11と陽極12からなる一対の電極を有する。 10 is a short arc type discharge lamp, having a pair of electrodes consisting of a cathode 11 and an anode 12 therein. 放電ランプ10の陽極12側の口金13はフランジ部15が設けられている。 Mouthpiece 13 of the anode 12 side of the discharge lamp 10 is a flange portion 15 is provided. 口金13は一対の電極と所定の位置関係にあるように高精度に機械加工されている。 Cap 13 is machined with high precision so that a predetermined positional relationship and a pair of electrodes. 一方、放電ランプ10の陰極11側の口金14には電力供給用のケーブルC1が接続されている。 On the other hand, the cable C1 for power supply is connected to the base 14 of the cathode 11 side of the discharge lamp 10.

【0011】20は集光鏡ブラケットであり、内部に楕円集光鏡21を保持する。 [0011] 20 is a focusing mirror bracket, for holding the elliptical condensing mirror 21 therein. 集光鏡ブラケット20の底部中央には嵌合孔22が設けられていて、嵌合孔22に放電ランプ10の口金13の小径部16を挿入することにより、放電ランプ10が定置される。 The bottom center of the condensing mirror bracket 20 have fitting hole 22 is provided, by inserting the small diameter portion 16 of the base 13 of the discharge lamp 10 into the fitting hole 22, the discharge lamp 10 is placed. ここで嵌合孔22 Here, the fitting hole 22
は、楕円集光鏡21の楕円の2つの焦点を通る光軸L上に放電ランプ10のアークの位置が位置するよう放電ランプ10が定置されるように、設けられる。 , As the discharge lamp 10 is placed so that the arc of the position of the optical axis discharged onto L lamp 10 passing through the two foci of the ellipse of the elliptical condensing mirror 21 is located, is provided. なお、楕円集光鏡21はランプ点灯時に放射光が光ファイバFの光入射端Finに入射するように位置調整されている。 Note that the elliptical condensing mirror 21 is adjusted in position so synchrotron radiation during lamp operation is incident on the light incident end Fin of the optical fiber F. また、Stはシャッタである。 In addition, St is a shutter.

【0012】30は定置された放電ランプ10を固定するための固定用板バネであり、バネ取付け台31により集光鏡ブラケット20の下側表面に取りつけられている。 [0012] 30 is a fixing plate spring for fixing the discharge lamp 10, which is stationary, is mounted on the lower surface of the focusing mirror bracket 20 by a spring mount 31.

【0013】図2に放電ランプ固定前の状態を、図3に放電ランプ固定後の状態を示す。 [0013] The state before the discharge lamp fixing 2 shows a state after the discharge lamp fixed to FIG. ここで図2(a),図3(a)は断面図であり、図2(b),図3(b)は集光鏡ブラケット20の下側表面から集光鏡ブラケット2 Here, FIG. 2 (a), FIG. 3 (a) is a sectional view, FIG. 2 (b), the FIG. 3 (b) collecting mirror bracket 2 from the lower surface of the focusing mirror bracket 20
0を見た図である。 0 is a view of the. 図2、図3に示すように、固定用板バネ30は図2,3において下側にふくらんだ凸形状であり、その一端部が90度上方に折れ曲がっている。 Figure 2, as shown in FIG. 3, the fixing plate spring 30 is a convex shape bulging to the lower side in FIG. 2 and 3, one end portion is bent 90 degrees upwards. また固定用板バネ30には取付け用長穴34とランプ固定用穴35が設けられている。 The mounting slot 34 and the lamp fixing holes 35 is provided on the fixing plate spring 30. 固定用板バネ30は、バネ取付け台31、取付け用長穴34を貫通して集光鏡ブラケット20と接続しているネジ32により、集光鏡ブラケット20に取り付けられ、取付け用長穴34の長さ方向に取付け用長穴34の長さの分だけ移動可能になっている。 Fixing plate spring 30, the spring mount 31, by screws 32 extending through the mounting slot 34 is connected to the collector mirror bracket 20, attached to the collector mirror bracket 20, a mounting slot 34 and it is movable by the length of the mounting slot 34 in the longitudinal direction.

【0014】図2においては、放電ランプ10の口金1 [0014] In Figure 2, the mouthpiece 1 of the discharge lamp 10
3はバネ30のランプ固定用穴35を貫通しているので、放電ランプ10は固定されていない。 Since 3 extends through the lamp fixing holes 35 of the spring 30, the discharge lamp 10 is not fixed. 一方、図3のように、固定用板バネ30を矢印Aの方向に押し込むと、ランプ固定用穴35の直径の小さい部分が口金13 On the other hand, as shown in FIG. 3, when pushing the fixing plate spring 30 in the direction of arrow A, a small portion of the diameter of the lamp fixing holes 35 are die 13
の溝部17に入り込み、放電ランプ10は、固定用板バネ30によって矢印Bの方向の力を受けて集光鏡ブラケット20に押しつけられ、集光鏡ブラケット20の底面と口金13のフランジ部15の下面により規定される位置に固定される。 Of enters the groove 17, the discharge lamp 10 receives a force in the arrow B by the fixing plate spring 30 is pressed against the collector mirror bracket 20, the flange portion 15 of the bottom surface and the base 13 of the focusing mirror bracket 20 It is fixed to a position defined by the lower surface. この規定される位置は、放電ランプ1 This defined the position, the discharge lamp 1
0のアークの位置が、楕円集光鏡21の楕円の焦点(2 Arc position of 0, the ellipse foci of the elliptical condensing mirror 21 (2
つの焦点のうち、ファイバ側ではない方の焦点)の光軸L方向における位置と等しくなるように設定されている。 One of the focal point are set to be equal to the position in the optical axis L direction of the focal point) towards non-fiber-side.

【0015】すなわち、固定用板バネ30が図2の状態にあるとき、集光鏡ブラケット20の嵌合孔22に放電ランプ10の口金13の小径部16を嵌合して、放電ランプ10のアークの位置が光軸L上に位置するように、 [0015] That is, when the fixing plate spring 30 is in the state of FIG. 2, fitted to the small diameter portion 16 of the base 13 of the discharge lamp 10 into the fitting hole 22 of the collector mirror bracket 20, the discharge lamp 10 as the position of the arc is located on the optical axis L,
放電ランプ10を定置する。 The discharge lamp 10 is stationary. 次に、固定用板バネ30を図3の矢印Aの方向に押し込むことにより、放電ランプ10は図3の矢印Bの方向に押しつけられ、放電ランプ10のアークの位置が楕円集光鏡21の楕円の焦点(2 Then, by pushing the fixing plate spring 30 in the direction of arrow A in FIG. 3, the discharge lamp 10 is pushed in the direction of arrow B in FIG. 3, arc position of the discharge lamp 10 is of an elliptical condensing mirror 21 the focus of the ellipse (2
つの焦点のうち、ファイバ側ではない方の焦点)に位置するよう保持・固定される。 One of the focus is held and fixed so as to be positioned at the focal) towards non-fiber-side. ここで、ネジ32の締めつけ具合を調整することにより、固定用板バネ30の放電ランプ10を押しつける力を調整することが可能となる。 Here, by adjusting the tightening degree of the screws 32, it is possible to adjust the force of pressing the discharge lamp 10 of the fixing plate spring 30.

【0016】なお、放電ランプ10の口金13や集光鏡ブラケット20の嵌合孔22の形状は、図1、図2、図3に示す形状に限られるものではなく、例えば、図4に示すように構成してもよい。 [0016] The shape of the fitting hole 22 of the die 13 and the collector mirror bracket 20 of the discharge lamp 10, FIG. 1, FIG. 2 is not limited to the shape shown in FIG. 3, for example, shown in FIG. 4 it may be configured to. 図4に示す構造においては、フランジ部15は、その下面と集光鏡ブラケット2 In the structure shown in FIG. 4, the flange portion 15, a lower surface and a condensing mirror bracket 2
2の底面とにより、放電ランプ10のアークの光軸L方向の位置を規定するとともに、嵌合孔22に嵌合されることにより、放電ランプ10のアークの位置が光軸L上に位置するように放電ランプ10を定置する。 By a second bottom surface, as well as defining the position of the optical axis L direction of the arc of the discharge lamp 10, by being fitted into the fitting hole 22, the arc position of the discharge lamp 10 is positioned on the optical axis L to position the discharge lamp 10 as.

【0017】図1にもどり、40は電力供給用部材であり、電力供給用のケーブルC2が接続されている。 [0017] Returning to Figure 1, 40 is a member for power supply, the cable C2 for power supply is connected. すなわち、ケーブルC1,C2により放電ランプ10に電力が供給される。 That is, power is supplied to the discharge lamp 10 by a cable C1, C2.

【0018】図5は電力供給用部材40の詳細を示す図である。 [0018] FIG. 5 is a diagram showing details of the power supply member 40. 41は、電力供給用のケーブルC2が接続され、底部が球面状になっているランプ固定用ホルダであり、電気絶縁性材料であるホルダ保持部材47上に設置されている。 41 is the connection cable C2 for power supply, a lamp fixing holder bottom is in a spherical shape and is mounted on the holder holding member 47 is electrically insulating material. ランプ固定用ホルダ41にはすり割り部4 Slotted portion to the lamp fixing holder 41 4
2が設けられおり、すり割り部42には、放電ランプ1 2 are provided, the slit portion 42, the discharge lamp 1
0の口金13の先端が挿入される固定部43が設けられている。 Fixing unit 43 is provided with the tip of 0 mouthpiece 13 is inserted. 44は締めつけ軸であり、締めつけ軸44に接続されたレバー45が図5のように垂直方向に起こされたとき、すり割り部42を締めつける。 44 is a clamping shaft, when the lever 45 connected to the clamping shaft 44 is raised in the vertical direction as shown in FIG. 5, tighten the slotted portion 42.

【0019】図6はすり割りの締め付けについて説明するための図であり、ランプ固定用ホルダ41および締めつけ軸44の断面構造を示している。 FIG. 6 is a diagram for explaining the tightening of slitting, it shows the sectional structure of the lamp fixing holders 41 and the tightening shaft 44. 締めつけ軸44は先端が雄ネジ状になっており、段部Cを有する。 The clamping shaft 44 and the tip become like a male thread has a step portion C. また、 Also,
ランプ固定用ホルダ41の締めつけ軸44挿入部分は、 Tightening shaft 44 inserted portion of the lamp fixing holder 41,
締めつけ軸44の雄ネジ状部分の直径より大きく、かつ、段部Cより直径の小さい穴部Dと、上記雄ネジ状部分と係合する雌ネジ状のネジ穴部Eからなる。 Greater than the diameter of the male threaded portion of the clamping shaft 44 and the small hole portion D in diameter than the stepped station C, a consist female screw shape of the screw hole portion E to be engaged with the male threaded portion.

【0020】すなわち、締めつけ軸44の雄ネジ状先端がランプ固定用ホルダ41のネジ穴部Eに係合するように締めつけ軸44を回転させると、締めつけ軸44は矢印Fの方向に進もうとするが、段部Cより矢印Fの方向への進行が規制されているので、結果として、ランプ固定用ホルダ41のネジ穴部E側の部分が矢印G方向の力を受け、すり割り部42が締まり、固定部43に挿入された放電ランプ10の先端部が締め付けられる。 [0020] That is, the male threaded tip of the tightening shaft 44 turns the clamping shaft 44 to engage a threaded hole portion E of the lamp fixing holder 41, the clamping shaft 44 attempts Susumo in the direction of the arrow F Suruga, since the progress of the step portion C in the direction of arrow F is restricted, as a result, the screw hole portion E side of the portion of the lamp fixing holder 41 under the force of the arrow G direction, slotted portion 42 tightens, the distal end portion of the inserted discharge lamps 10 to the fixing portion 43 is tightened.

【0021】図5にもどり、一体となっているランプ固定用ホルダ41、締めつけ軸44、レバー45はネジ固定部材46により、ホルダ保持部材47に固定されている。 [0021] Returning to FIG. 5, the lamp fixing holder 41 are integrated, tightening shaft 44, the lever 45 by a screw fixing member 46 is fixed to the holder holding member 47.

【0022】ランプ固定用ホルダ41の底部が球面状になっているのは以下の理由による。 [0022] The bottom portion of the lamp fixing holder 41 is in a spherical shape for the following reason. 図7はランプ固定用ホルダの形状の違いによる作用について説明する図である。 Figure 7 is a diagram illustrating the operation due to the difference in shape of the lamp fixing holder. 図7(a)のように、ランプ固定用ホルダ41の底部が平面状であるとき、放電ランプ10の口金13の先端部が傾いている場合には、すり割り42を締め付けると、図7(b)のように、口金13の先端部の傾きに応じてランプ固定用ホルダ41も傾く。 As shown in FIG. 7 (a), the time base of the lamp fixing holder 41 is flat, if the tip of the ferrule 13 of the discharge lamp 10 is inclined, when tightening the slit 42, FIG. 7 ( as in b), the lamp fixing holder 41 according to the inclination of the front end portion of the base 13 also tilts. その際、Hを支点にして、放電ランプ10に対して矢印I方向に力を及ぼす。 At that time, by the H to the fulcrum, it exerts a force in the arrow I direction with respect to the discharge lamp 10. 放電ランプ10は図3に示す固定用板バネ30により図7の矢印B方向に力を受け、集光鏡ブラケット20 Discharge lamp 10 receives a force in the direction of arrow B in FIG. 7 by the fixing leaf springs 30 shown in FIG. 3, focusing mirror bracket 20
に押しつけられて固定されているが、上記矢印I方向の力により矢印B方向の力が一部相殺され、放電ランプ1 In it are to be fixed against, the arrow I direction of the force by the arrow B direction of the force is partially offset, the discharge lamp 1
0の固定が不十分になってしまう。 0 of fixed becomes insufficient.

【0023】一方、図7(c)のように、ランプ固定用ホルダ41の底部が球面状であれば放電ランプ10の口金13の先端部が傾いていても、すり割り42を締め付けた際、ランプ固定用ホルダ41は口金13の先端部の傾きに応じて傾くだけであり、図7(b)のように、放電ランプ10に対して矢印I方向に力を及ぼすことはない。 Meanwhile, as shown in FIG. 7 (c), the time base of the lamp fixing holder 41 be inclined tip portion of the base 13 of the discharge lamp 10 if spherical, tightened the slit 42, lamp fixing holder 41 is only tilted according to the inclination of the front end portion of the mouthpiece 13, as shown in FIG. 7 (b), the does not exert a force in the arrow I direction with respect to the discharge lamp 10. よって、放電ランプ10の挿入が不十分になることはない。 Therefore, there is no possibility that the insertion of the discharge lamp 10 becomes insufficient.

【0024】以上のように、上記紫外線照射装置においては、放電ランプ10の陽極側の口金13を放電ランプ10の一対の電極と所定の位置関係にあるようにフランジ部15を設けておく一方で、楕円集光鏡21を保持する集光鏡ブラケット20に上記口金13と嵌合する嵌合孔22を設けたので、嵌合孔22に放電ランプ10の口金13を挿入することにより放電ランプ10が所定位置、すなわち、放電ランプ10のアークの位置が楕円集光鏡21の楕円の焦点を通る光軸L上に定置され、集光鏡ブラケット21の下部に設けられた固定用板バネ30 [0024] As described above, in the ultraviolet irradiation device, while keep the flange portion 15 so that the cap 13 on the anode side of the discharge lamp 10 in a predetermined positional relationship and a pair of electrodes of the discharge lamp 10 is provided , it is provided with the fitting hole 22 for mating with the ferrule 13 to the condensing mirror bracket 20 for holding the elliptical condensing mirror 21, a discharge by inserting the mouthpiece 13 of the discharge lamp 10 into the fitting hole 22 lamp 10 There predetermined position, i.e., the discharge arc of the position of the lamp 10 is placed on the optical axis L passing through the focal point of the ellipse of the elliptical condensing mirror 21, the fixing plate spring 30 provided in the lower portion of the collector mirror bracket 21
により、放電ランプ10のアークの位置が楕円集光鏡2 The arc of the position of the discharge lamp 10 is elliptical condensing mirror 2
1の楕円の焦点位置となるように簡便に固定することができる。 Can easily be fixed so that the focal position of one of the ellipse.

【0025】よって、従来のようにランプを点灯させて照度モニタをモニタしながら放電ランプ10の位置合わせを行う必要はなく、位置合わせ時に必要であった遮光カバーが不要となった。 [0025] Therefore, there is no need to conventionally turns on the lamp as aligning the discharge lamp 10 while monitoring the illuminance monitor, the light-shielding cover was required during the alignment becomes unnecessary.

【0026】さらに、集光鏡ブラケット20のはめあい部22に放電ランプ10の端部13を挿入すると、端部13の先端部はケーブルC2と接続された電力供給用部材40の固定部43に挿入され、レバー45を傾けることにより、すり割り構造の固定部43が端部13の先端部を締め付けるので、放電ランプ10への電力の供給手段も簡便に放電ランプ10と接続できる。 Furthermore, when inserting the end 13 of the discharge lamp 10 to the fitting portion 22 of the condensing mirror bracket 20, inserted into the fixing portion 43 of the tip portion power supply member 40 connected to the cable C2 of the end portion 13 is, by tilting the lever 45, since the fixing portion 43 of the slotted structure clamps the leading end of the end portion 13, the supply means of the electric power to the discharge lamp 10 can be connected with simple discharge lamp 10.

【0027】特に、図1のように、固定用板バネ30が放電ランプ10を固定していない状態(図1の破線の状態)で、レバー45を垂直にしようするときにレバー4 [0027] In particular, as shown in FIG. 1, with the fixing plate spring 30 is not fixed to the discharge lamp 10 (dashed in the state of FIG. 1), the lever 4 when private lever 45 vertically
5が固定用板バネ30にぶつかるように構成しておけば、放電ランプ10の固定がされないまま、放電ランプ10が電力供給用部材40に固定されるという不具合も防止することができる。 If 5 Oke configured to strike the fixing plate spring 30, without being fixed to the discharge lamp 10, the discharge lamp 10 can be prevented a problem that is fixed to the power supply member 40.

【0028】 [0028]

【発明の効果】本発明の紫外線照射装置によれば、放電ランプの一方の端部を段差を有するフランジ構造として、楕円集光鏡の開口部の下方にある楕円集光鏡保持部材の底部には上記フランジ構造の端部が嵌合する嵌合部が設け、上記放電ランプの端部を上記楕円集光鏡の開口部を貫通して上記楕円集光鏡保持部材の底部の嵌合部に嵌合させると、上記放電ランプのアークの位置が上記楕円集光鏡の焦点位置に略一致するようにしたので、従来のようにランプを点灯させて照度モニタに表示される値を観察しながら放電ランプの位置合わせを行う必要はなく、位置合わせ作業中の作業者に対する遮光カバー等の紫外線被曝対策が不要となった。 According to the ultraviolet irradiation apparatus of the present invention, one end portion of the discharge lamp as a flange structure having a step, the bottom of the elliptical condensing mirror holding member located below the opening of the elliptical condensing mirror the fitting portion is provided in which the end portion of the flange structure is fitted, the end of the discharge lamp to the fitting portion of the bottom portion of the through to the elliptical condensing mirror holding member openings of the elliptical condensing mirror When is fitted, the position of the arc of the discharge lamp so as to substantially coincide with the focal point of the elliptical condensing mirror, while conventionally turns on the lamp as observing the value displayed on the illuminance monitor it is not necessary to align the discharge lamp, UV radiation measures such as light shielding cover for workers in the positioning operation becomes unnecessary.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の紫外線照射装置の光学系を示す図である。 1 is a diagram showing an optical system of the ultraviolet irradiation apparatus of the present invention.

【図2】放電ランプ固定前の状態を示す図である。 2 is a diagram showing a state before the discharge lamp fixing.

【図3】放電ランプ固定後の状態を示す図である。 3 is a diagram showing a state after the discharge lamp fixing.

【図4】口金と嵌合孔の別の形状を示す図である。 4 is a diagram showing another shape of the mouthpiece and the fitting hole.

【図5】電力供給用部材の詳細を示す図である。 5 is a diagram showing details of the power supply member.

【図6】すり割りの締め付けについて説明するための図である。 6 is a diagram for explaining the tightening of the slit.

【図7】ランプ固定用ホルダの形状の違いによる作用について説明する図である。 7 is a diagram illustrating the operation due to the difference in shape of the lamp fixing holder.

【図8】紫外線照射装置の光学系の一例を示す図である。 8 is a diagram showing an example of an optical system of the ultraviolet irradiation device.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

10 放電ランプ 11 陰極 12 陽極 13 口金 15 フランジ部 16 小径部 17 溝部 20 集光鏡ブラケット 21 楕円集光鏡 22 嵌合孔 30 固定用板バネ 31 バネ取付け台 32 バネ取付台固定ネジ 34 取付け用長穴 35 ランプ固定用穴 40 電力供給用部材 41 ランプ固定用ホルダ 42 すり割り部 43 固定部 44 締めつけ軸 45 レバー 46 ネジ固定部材 47 ホルダ保持部材 10 the discharge lamp 11 cathode 12 anode 13 mouthpiece 15 flange 16 small diameter portion 17 the groove 20 focusing mirror bracket 21 elliptical condensing mirror 22 fitting hole 30 fixing plate spring 31 spring mount 32 spring mount fixing screw 34 fitting length hole 35 lamp fixing hole 40 power supply member 41 lamp fixing holder 42 slotted portion 43 fixed portion 44 clamping shaft 45 lever 46 screwed member 47 holder holding member

Claims (1)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 ショートアーク型の放電ランプと、 中央部に開口を有する楕円集光鏡と、 該楕円集光鏡を保持する楕円集光鏡保持部材とを備えた紫外線照射装置において、 上記放電ランプの一端にフランジ型の口金を設け、 上記楕円集光鏡保持部材の底部には上記口金が嵌合する嵌合孔が形成され、 一方、上記楕円集光鏡保持部材には、上記嵌合孔に嵌合した上記口金に離脱可能に係合し、該口金のフランジ部を上記楕円集光鏡保持部材側に付勢する付勢部材を設けたことを特徴とする紫外線照射装置。 And 1. A short-arc type discharge lamp, and elliptical condensing mirror having an opening in the center, in the ultraviolet irradiation apparatus and a elliptical condensing mirror holding member for holding the elliptical collector mirror, the discharge the mouthpiece of the flange type provided at one end of the lamp, the bottom of the elliptical condensing mirror holding member is formed a fitting hole in which the cap is fitted, while the above-described elliptical condensing mirror holding member, the fitting detachably engaged with the cap fitted to the hole, the ultraviolet irradiation apparatus, wherein a flange portion of the mouth gold provided a biasing member for biasing the elliptical condensing mirror holding member side.
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