JPWO2002094498A1 - レーザ加工装置 - Google Patents

Abstract

レーザ加工位置の近傍に吸着用電極（１７）を設けるとともに、該吸着用電極（１７）の外周部に静電容量検出用電極（１８）を設け、前記吸着用電極（１７）と被加工物（１５）との間に電圧を印加した状態で前記静電容量検出用電極（１８）と前記被加工物（１５）との間の静電容量（Ｃ）を検出し、該検出した静電容量（Ｃ）に基づいてレーザ光（１２）の焦点位置（１２ａ）を制御する。

Description

技術分野
この発明は、被加工物にレーザ光を照射することにより、該被加工物に溶接や切断等のレーザ加工を施すレーザ加工装置に関するものである。
背景技術
従来より、この種のレーザ加工装置においては、レーザ光を出射する加工ノズルと被加工物との間の静電容量を検出し、該検出した静電容量に基づいてレーザ光の焦点距離を制御するようにしたものがある。すなわち、被加工物に対する加工ノズルの位置の変化に応じて静電容量が変化するため、この静電容量が一定となるように加工ノズルの位置を制御することにより、レーザ光の焦点距離を常に最適位置に維持しようとするものである。
しかしながら、実際のレーザ加工にあっては、例えば１９９８年溶接学会論文集第１６巻第２号第１６９頁〜第１８０頁「モニタリング基礎条件としてのシールドガスプラズマの影響」に記載されているように、レーザ光を被加工物である金属に照射した場合、金属蒸気が電離して被加工物と加工ノズルとの間にプラズマが発生し、このプラズマが被加工物と加工ノズルとの間の静電容量に大きな影響を与えるようになる。つまり、第１３図に示すように、加工ノズル１と被加工物２との間のプラズマ３は、発生する部分の大きさが１ｍｍ程度と非常に小さいが、レーザ光４の焦点位置近傍で発生した後、加工ガスによって流されるため、加工ノズル１と被加工物２との間に充満してこれらの間を導通させるように作用する。従って、例えば、被加工物２と加工ノズル１との間の距離を一定に維持した場合であっても、発生したプラズマ３の量に応じて静電容量Ｃが変化するようになる。この結果、レーザ光４の焦点距離を最適位置に維持することが困難になり、レーザ加工による加工品質にも多大な影響を及ぼす虞れがある。
このため、例えば特開平４−３５６３９１号公報に示されたレーザ加工装置においては、第１４図に示すように、加工ノズル１と被加工物２との間に直流高電圧５を印加することによってこれら加工ノズル１と被加工物２との間のプラズマ３の発生を抑制するようにしたものが示されている。
しかしながら、この従来技術においても、レーザ出力を高くしたり、加工速度を高くしたりすると、プラズマ発生の抑制効果が低くならざるを得ない。しかも、加工ノズル１が静電容量Ｃを検出するための電極となっている構成に変化がない。結局、第１４図に示した従来技術にあっても、プラズマ３の発生によって静電容量Ｃが変化する事態を完全に防止すること、換言すれば被加工物２に対する加工ノズル１の位置を正確に制御することが困難となり、加工品質の向上を図ることができない。特に、高速で被加工物の切断を行った場合には、プラズマ３の発生量が多くなる。このため、レーザ加工の高速化が困難であるという問題もある。
従って、本発明は、プラズマが発生した場合にも、加工品質の良好なレーザ加工を行うことのできるレーザ加工装置を提供することを目的としている。
発明の開示
上記目的を達成するため、この発明にかかるレーザ加工装置は、被加工物にレーザ光を照射することにより、該被加工物にレーザ加工を施すレーザ加工装置において、レーザ加工位置の近傍に吸着用電極を設けるとともに、該吸着用電極の外周部に静電容量検出用電極を設け、前記吸着用電極と被加工物との間に電圧を印加した状態で前記静電容量検出用電極と前記被加工物との間の静電容量を検出し、該検出した静電容量に基づいてレーザ光の焦点位置を制御することを特徴とする。
この発明によれば、レーザ光の照射によって発生したプラズマが吸着用電極および被加工物に吸着されることになり、当該プラズマが静電容量検出用電極と被加工物との間に充満する事態を有効に防止することができる。
つぎの発明にかかるレーザ加工装置は、上記の発明において、レーザ光を出射する加工ノズルを導体によって形成し、かつこの加工ノズルの先端を前記吸着用電極として機能させることを特徴とする。
この発明によれば、加工ノズルが吸着用電極として機能する。
つぎの発明にかかるレーザ加工装置は、上記の発明において、前記吸着用電極の被加工物に対向する部位を平面状に構成しかつこの平面状に構成した部分の外径をその中心から５ｍｍ以上確保したことを特徴とする。
この発明によれば、レーザ加工位置から静電容量検出用電極までの間に十分な距離を確保することができる。
つぎの発明にかかるレーザ加工装置は、被加工物にレーザ光を照射することにより、該被加工物にレーザ加工を施すレーザ加工装置において、レーザ加工に伴って発生するプラズマの量を検出し、該検出したプラズマ量に基づいてレーザ加工条件を制御することを特徴とする。
この発明によれば、レーザ加工に伴って発生したプラズマ量に応じてレーザ加工条件を制御することができる。
つぎの発明にかかるレーザ加工装置は、上記の発明において、レーザ光を出射する加工ノズルの先端に電流検出用電極を設けるとともに、この電流検出用電極と被加工物との間に流れる電流値を前記プラズマ量として検出する検出手段を設けたことを特徴とする。
この発明によれば、電流検出用電極と被加工物の間に流れる電流値をプラズマ量として検出している。
つぎの発明にかかるレーザ加工装置は、上記の発明において、前記電流値が予め設定した第１の閾値を越えた場合に加工状態異常検出信号を出力する異常検出信号出力手段を設けたことを特徴とする。
この発明によれば、電流値が第１の閾値を越えた場合に加工状態異常検出信号が出力される。
つぎの発明にかかるレーザ加工装置は、上記の発明において、前記異常検出信号出力手段から加工状態異常検出信号が出力された場合に加工速度を下げるおよび／またはレーザ出力を高くすることを特徴とする。
この発明によれば、異常検出信号出力手段から加工状態異常検出信号が出力された場合に加工速度が低下するおよび／またはレーザ出力が高められる。
つぎの発明にかかるレーザ加工装置は、上記の発明において、前記電流値が前記加工ノズルと前記被加工物とを短絡させた場合の電流値に達した場合に前記被加工物に接触したことを示す接触検出信号を出力する接触検出信号出力手段を設けたことを特徴とする。
この発明によれば、加工ノズルと被加工物とが接触した場合に接触検出信号が出力される。
つぎの発明にかかるレーザ加工装置は、上記の発明において、前記電流値が予め設定した上限許容値を下回るように加工速度および／またはレーザ出力を制御することを特徴とする。
この発明によれば、電流検出用電極と被加工物との間に流れる電流値が常に上限許容値を下回るように、換言すればプラズマの発生が上限許容値を下回るように、加工速度および／またはレーザ出力が制御される。
つぎの発明にかかるレーザ加工装置は、上記の発明において、前記電流値が最小となるように前記被加工物に対する前記加工ノズルの位置を制御することを特徴とする。
この発明によれば、電流値が最小となるように、つまりプラズマ量が最小となるように被加工物に対する加工ノズルの位置が制御される。
発明を実施するための最良の形態
以下に添付図面を参照して、この発明にかかるレーザ加工装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。
第１図は、この発明の実施の形態であるレーザ加工装置の構成を例示する図である。ここで例示するレーザ加工装置は、レーザ発振器１０から加工ヘッド１１に導かれたレーザ光１２を加工ノズル１３から出射するとともに、加工ガス供給通路１４を通じてレーザ光１２と同軸上に酸素や空気等の加工ガスを供給することにより、鉄板等の被加工物１５に対して切断や溶接等のレーザ加工を施すものである。このレーザ加工装置においては、加工ヘッド１１にレーザ光１２を焦点位置１２ａで集光させるためのレンズ１６が設けてあり、該レンズ１６によって集光されるレーザ光１２の焦点位置１２ａを被加工物１５に合致させた場合にレーザ加工を良好に行うことができる。
上記加工ヘッド１１には、加工ノズル１３の先端部に吸着用電極１７を設けてあるとともに、該吸着用電極１７の外周部に静電容量検出用電極１８を設けてある。
吸着用電極１７は、被加工物１５と対向する部位が平面状となるように構成したものである。この吸着用電極１７の直径は、プラズマ１９の発生する大きさに比べて十分に大きな面積を持つように設定してある。具体的には、プラズマ１９の直径が１ｍｍ程度であるため、吸着用電極１７として直径を１０ｍｍ程度に設定してある。吸着用電極１７としては、加工ノズル１３の先端域に専用の導体を設けることによって構成してもよい。しかしながら、加工ノズル１３が絶縁されている場合には、加工ノズル１３を導体で構成し、その先端面を吸着用電極１７として機能させることが可能である。
この吸着用電極１７には、被加工物１５との間に抵抗２０と直流電源２１とを直列に接続してある。第１図においては、吸着用電極１７に直流電源２１の負極を接続しているが、吸着用電極１７を直流電源２１の正極に接続してもよい。この被加工物１５と吸着用電極１７とを接続する回路中には、抵抗２０に流れる電流（以下、プラズマ電流Ｉｐという）を検出するための検出手段２２を設けてある。具体的には、抵抗２０の電圧を増幅器２３により増幅し、この増幅した電圧をプラズマ電流信号Ｐｃとして検出するようにしている。
第２図は、薄鋼板をレーザ加工によって切断する場合に抵抗２０に流れるプラズマ電流Ｉｐと加工速度との関係を実験結果に基づいて示した図である。なお、レーザ出力は３Ｋｗで一定としてある。この結果によれば、まず、吸着用電極１７に加える電圧を１００Ｖ以上とした場合に、プラズマ電流Ｉｐを高速まで良好に検出できることがわかる。また、吸着用電極１７が負極側となるように電圧を印加した場合にプラズマ電流Ｉｐの値が高いことがわかる。もちろん吸着用電極１７が正極側となるように電圧を印加した場合であっても同様にプラズマ電流Ｉｐは流れるため、増幅器２３の感度を適宜調整すれば測定することができる。
検出手段２２の検出したプラズマ電流信号Ｐｃは、加工制御部２４に与えられる。加工制御部２４は、検出手段２２から与えられたプラズマ電流信号Ｐｃに基づいて、加工速度、レーザ出力、レーザ光１２の焦点位置１２ａ、加工ガスの圧力等のレーザ加工条件を制御するものである。なお、検出手段２２の増幅器２３は、抵抗２０の電圧を分圧したものを増幅してもよい。また抵抗２０は、加工ノズル１３が被加工物１５に接触した場合にも直流電源２１の電圧ＶＢによって焼けたりしないように十分に抵抗値の高いものを使用してある。
一方、静電容量検出用電極１８は、絶縁体によって構成した支持部材２５の先端部に取り付けたもので、該支持部材２５を介して吸着用電極１７の外周部となる位置に固定してある。この静電容量検出用電極１８には、被加工物１５との間に静電容量センサ２６を設けてある。静電容量センサ２６は、静電容量検出用電極１８と被加工物１５との間の静電容量Ｃを検出し、その検出結果を焦点位置制御装置２７に与えるものである。焦点位置制御装置２７は、静電容量センサ２６から与えられた検出結果に応じて被加工物１５に対する加工ヘッド１１の位置制御を行う部分である。
上記のように構成したレーザ加工装置においては、レーザ光１２を被加工物１５に照射して切断や溶接等のレーザ加工を行っている間、静電容量センサ２６の検出結果に基づいて焦点位置制御装置２７がモータ２８が駆動し、ネジ２９を介して加工ヘッド１１を適宜上下動させることにより、静電容量検出用電極１８と被加工物１５との間の静電容量Ｃが一定となるように制御を行う。
ここで、このレーザ加工装置にあっても、レーザ出力が高く、高速で加工を行った場合には、被加工物１５と加工ノズル１３との間にプラズマ１９が発生する。このプラズマ１９は、レーザ光１２とともに供給される加工ガスの作用により、被加工物１５と加工ノズル１３との間において焦点位置１２ａから外側へ広がるように高速で流れることになる。しかしながら、このレーザ加工装置では、被加工物１５と吸着用電極１７との間に直流電源２１による電圧を印加しているため、第３図に示すように、電離したプラズマ１９のうち、金属蒸気のプラスイオンが吸着用電極１７に引き付けられる一方、電子のマイナスイオンが被加工物１５に引き付けられることになる。しかも、プラズマ１９の発生する大きさに比べて十分に大きな面積を持つように吸着用電極１７の大きさを設定してあるため、上述した吸着作用が広範囲に亘って有効となるばかりか、吸着用電極１７や被加工物１５に吸着されなかったイオンに関しても、互いに結合して自然消滅するようになり、静電容量検出用電極１８と被加工物１５との間にプラズマ１９が充満する事態を招来する虞れがない。この結果、静電容量検出用電極１８と被加工物１５との間の静電容量Ｃに基づいて加工ヘッド１１の位置制御を行うようにしたレーザ加工装置によれば、プラズマ１９の発生によってもこれらの間の静電容量Ｃが変化することはなく、被加工物１５に対する加工ヘッド１１の位置に応じてのみ静電容量Ｃが変化することになる。従って、レーザ光１２の焦点位置１２ａを常に最適位置に正確に維持できるようになり、レーザ加工を高速で実施した場合であっても、その加工品質が向上することになる。
第４図は、上述したレーザ加工装置においてレーザ光１２を出力した場合のプラズマ電流Ｉｐと静電容量センサ２６との関係を示した図である。第４図（ａ）においてｔ１からｔ２においてレーザ光１２をＯＮすると、第４図（ｂ）に示すように、レーザ光１２のＯＮ状態においてプラズマ電流Ｉｐが流れる。
レーザ光１２をＯＮした後、第１３図に示した従来のレーザ加工装置においては、第４図（ｄ）の比較例で示すように、発生したプラズマ１９が加工ノズル１３と被加工物１５との間を導通させるように作用するため、プラズマ電流Ｉｐに応じて静電容量Ｃに変化が生じるようになる。
これに対して、この実施の形態のレーザ加工装置によれば、プラズマ１９が吸着用電極１７および被加工物１５に吸着され、静電容量検出用電極１８と被加工物１５との間にプラズマ１９が到達しないため、第４図（ｃ）に示すように、プラズマ電流Ｉｐに応じて静電容量Ｃが変化することはない。すなわち、プラズマ１９を引き付けるに十分な大きさの吸着用電極１７を設け、かつこの吸着用電極１７と被加工物１５との間に電圧を印加することにより、プラズマ１９を効果的に吸着して静電容量検出用電極１８と被加工物１５との間にプラズマ１９が充満する事態を防止することができ、これらの間の静電容量Ｃを正確に測定することが可能になる。繰り返すが、プラズマ１９の発生する部分は１ｍｍ程度とごく小さく、これに対して吸着用電極１７の直径を中心から５ｍｍ以上確保してある。従って、吸着用電極１７と被加工物１５との間においてプラズマ１９を確実に吸着し、静電容量検出用電極１８と被加工物１５との間への影響を防止することができる。
一方、上記レーザ加工装置においては、レーザ光１２を被加工物１５に照射して切断や溶接等のレーザ加工を行っている間、検出手段２２の検出したプラズマ電流信号Ｐｃに基づいて加工制御部２４が、加工速度、レーザ出力、レーザ光１２の焦点位置１２ａ、加工ガスの圧力等、レーザ加工条件を制御している。ここで、第１図に示したレーザ加工装置では、レーザ加工に伴って発生したプラズマ１９が吸着用電極１７および被加工物１５に吸着された時に抵抗２０と直流電源２１との直列体にプラズマ電流Ｉｐが流れる。抵抗２０にプラズマ電流Ｉｐが流れると、当該抵抗２０に電圧が生じることになり、これを増幅器２３で増幅したものがプラズマ電流信号Ｐｃとして検出される。プラズマ電流信号Ｐｃは、第２図に示したように、プラズマ量に応じて変化する信号である。この抵抗２０と直流電源２１との直列体を、吸着用電極１７と被加工物１５との間に接続すると、上述したように、プラズマ１９を効果的に吸着することができるとともに、プラズマ電流Ｉｐをプラズマ電流信号Ｐｃとして検出することができる。
第５図は、上述した加工制御部２４の詳細構成を例示したブロック図である。図からも明らかなように、加工制御部２４には、検出手段２２から与えられたプラズマ電流信号Ｐｃと比較電圧３０ａ，３１ａとを比較し、該プラズマ電流信号Ｐｃが比較電圧以上となった場合にそれぞれ検出信号を出力する２つの比較器３０，３１を設けてある。
加工制御部２４に設けた第１の比較器３０は、吸着用電極１７と被加工物１５とが接触した場合に接触検出信号をレーザコントローラ３２に出力するものである。接触検出信号が与えられたレーザコントローラ３２では、吸着用電極１７と被加工物１５とが接触した場合に必要となる制御を行う。吸着用電極１７と被加工物１５とが接触した場合に流れる電流は、プラズマ電流Ｉｐに比べてはるかに高いものであるため、比較電圧３０ａとして十分に高い電圧を設定することができる。従って、吸着用電極１７と被加工物１５との接触検出を明確に行うことができるようになる。この接触検出は、加工ヘッド１１の被加工物１５からの高さを修正する時や、加工中の異常状態による加工ノズル１３の被加工物１５への接触の検出等、重要な検出機能の一つとして使用することができる。例えば、接触検出信号が出力された時点で加工ヘッド１１と被加工物１５との相対高さを「０」に設定することで、該加工ヘッド１１の位置制御をより正確に行うことが可能になる。
第６図は、プラズマ電流信号Ｐｃと加工ヘッド１１の高さとの関係を示したグラフである。図からも明らかなように、加工ヘッド１１の高さを下げていくと、吸着用電極１７が被加工物１５に触れた時点でプラズマ電流信号Ｐｃが、非接触時に比べて十分高いものとなる。従って、これが接触検出信号として出力され、レーザコントローラ３２が吸着用電極１７と被加工物１５との接触状態を検出することができる。
加工制御部２４に設けた第２の比較器３１は、加工状態に異常が発生した場合に加工状態異常検出信号をレーザコントローラ３２に出力するものである。
例えば、第７図において、加工速度を低速のｆ１から高速のｆ２に変化させると、プラズマ１９の発生量が増え、プラズマ電流信号ＰｃがＰｃ１からＰｃ２へと増加する。この場合、加工状態に異常があると、プラズマ１９の発生量がより多くなるため、Ｐｃ３のようにプラズマ電流信号Ｐｃが通常時よりも増加することになる。
いま、低速加工速度ｆ１の時の比較電圧および高速加工速度ｆ２の時の比較電圧をそれぞれＰｃ１０，Ｐｃ２０に予め設定してあるものとすると、低速加工速度ｆ１の時に出力されるプラズマ電流信号Ｐｃ１はこの比較電圧Ｐｃ１０を下回っているため、加工状態異常検出信号が出力されることはない。高速加工速度ｆ２の時においてもプラズマ電流信号がＰｃ２であれば、加工状態異常検出信号が出力されることはない。しかしながら、加工状態に異常が発生してプラズマ電流信号がＰｃ３となると、比較電圧Ｐｃ２０を越えた範囲で加工状態異常検出信号がレーザコントローラ３２に出力されることになる。
第２の比較器３１から加工状態異常検出信号が与えられたレーザコントローラ３２は、正常な加工状態に復帰させるため、種々のレーザ加工条件の変更を行う。例えば、加工速度を下げる、レーザ出力を上げる、焦点位置１２ａを変更する、加工ガス圧を変更する等である。但し、これらのレーザ加工条件を変更しても異常状態が継続する場合には、レーザ加工を停止したり中止したりすることも可能である。これらレーザ加工条件の変更やレーザ加工の停止／中止の判断は、レーザコントローラ３２に予め格納されたプログラムにより、自動的に実施されることになる。
第８図は、こうしたレーザコントローラ３２の動作例を示したものである。すなわち、低速加工速度ｆ１から高速加工速度ｆ２に変更した後、加工状態異常検出信号が出力された場合に、上記レーザコントローラ３２によって加工速度がｆ３に引き下げられた状態を示す。これに伴ってプラズマ電流信号Ｐｃが比較電圧Ｐｃ２０を下回り、正常な加工状態に復帰した。第８図において、Ｐｃ３は、加工速度をｆ２に維持した場合に加工状態が異常のままとなり、プラズマ電流信号Ｐｃが増加してしまう状態を示している。この状態では、加工状態異常検出信号がレーザコントローラ３２に対して出力され続けることになる。
第９図および第１０図は、上述した２つの比較器３０，３１からの検出信号によらず、検出手段２２から出力されたプラズマ電流信号Ｐｃに基づいてレーザコントローラ３２が実施するレーザ加工条件の制御例を示したものである。
第９図においては、加工ヘッド１１の高さを適宜変化させ、プラズマ電流信号Ｐｃが最小値となった時点の加工ヘッド１１の高さを最適焦点位置としてレーザ加工を行うようにしている。この最適焦点位置は、被加工物１５の高さや湾曲度合い、加工レンズ１６の状態によって微妙に変化するものである。従前においては、人間が試行錯誤を繰り返すことによって上述した最適焦点位置を設定するようにしていた。しかしながら、レーザ加工中において最適焦点位置を設定することは困難であるため、停止状態で単発的に穴明けを実施し、これを目視して調整する方法を適用しているのが現状である。
これに対して上記レーザ加工装置によれば、常にプラズマ電流信号Ｐｃが最小値となるように加工ヘッド１１の高さを制御すれば、これが最適焦点位置となるため、レーザ加工中においてもこれを正確に設定することが可能であり、加工品質を著しく向上させることができるようになる。
一方、第１０図においては、加工速度をｆ１からｆ２に増加させる場合に、比較電圧Ｐｃ３０に対してプラズマ電流信号Ｐｃが増加することになるため、レーザ出力をＬｐ１からＬｐ２のように徐々に上げ、比較電圧Ｐｃ４０もそれに見合って徐々に増加させるようにしている。レーザ出力が最大になり、Ｌｐ３でレーザ加工を実施する場合、プラズマ電流信号Ｐｃがさらに増加しようとするのを防ぐため、加工速度をｆ３に下げ、安定した加工状態を維持するように自動制御する。
このように上記レーザ加工装置によれば、検出手段２２の検出したプラズマ電流信号Ｐｃに基づいて加工制御部２４が加工状態を判断し、レーザ加工条件を適宜制御することにより、適正なレーザ加工を行うことができるようになる。
第１１図は、実際に設計した加工ヘッド１１の先端部分を示す断面図である。この加工ヘッド１１では、絶縁体で構成した支持部材２５の先端に静電容量Ｃを検出するための静電容量検出用電極１８を設けてある。銅等の導体で構成される加工ノズル１３を支持部材２５と共に加工ヘッド１１に固定する。加工ノズル１３を導体によって構成しているため、その先端部が吸着用電極１７として機能する。加工ノズル１３の先端が静電容量検出用電極１８により僅かに突出しているのは、被加工物１５に接触した場合に静電容量検出用電極１８の損傷を防止するためである。上記のように構成した加工ヘッド１１においては、加工ノズル１３と被加工物１５との間に所定の電圧を印加すれば、第１図に示したレーザ加工装置を具現化することができる。すなわち、プラズマ１９が発生した場合にも静電容量検出用電極１８と被加工物１５との間の静電容量Ｃを正確に検出することが可能になるため、検出した静電容量Ｃに基づいてレーザ光１２の焦点位置１２ａを制御し、加工品質の良好なレーザ加工を行うことができる。また、吸着用電極１７と被加工物１５との間に流れるプラズマ電流Ｉｐに応じてレーザ加工条件を制御すれば、加工品質の良好なレーザ加工を行うことが可能になる。
このように、本実施の形態のレーザ加工装置によれば、プラズマ１９が発生した場合にもこれの影響を受けずに静電容量Ｃを正確に検出し、これに基づく正確な焦点距離１２ａの制御を行うことが可能である。逆に、発生したプラズマ１９を積極的に加工条件の制御に用いることにより、人間が判断して行動することができない短時間のうちに加工状態の異常を検出して自動的に制御することができるようになる。
これらにより、従前においてはプラズマ１９の発生によって到底実現することのできない高レーザ出力で高速なレーザ加工、より具体的にはレーザ出力３Ｋｗ、加工速度３０ｍ／分以上というレーザ加工を実現することができ、しかも加工品質を同時に向上させることが可能になった。
第１２図は、実際に設計した加工ヘッド１１の他の例を示す概念図である。この加工ヘッド１１では、絶縁体で構成した支持部材２５にリング状の静電容量検出用電極１８を設けてある。加工ノズル１３を導体によって構成しているため、その先端部が吸着用電極１７として機能する。上記のように構成した加工ヘッド１１においても、加工ノズル１３と被加工物１５との間に所定の電圧を印加すれば、第１図に示したレーザ加工装置を具現化することができる。しかも、加工ノズル１３の外周部にリング状に静電容量検出用電極１８を設ければよいため、構造が簡単となるばかりでなく、既存の加工ヘッド１１への適用もきわめて容易となる。
以上説明したように、この発明によれば、レーザ光の照射によって発生したプラズマが吸着用電極および被加工物に吸着されることになり、当該プラズマが静電容量検出用電極と被加工物との間に充満する事態を有効に防止することができる。このため、これら静電容量検出用電極と被加工物との間の静電容量に基づいてレーザ光の焦点位置を正確に制御することが可能になり、プラズマが発生した場合であっても、加工品質の良好なレーザ加工を行うことが可能になる。
つぎの発明によれば、加工ノズルが吸着用電極として機能するため、吸着用電極を容易に構成することが可能になる。
つぎの発明によれば、レーザ加工位置から静電容量検出用電極までの間に十分な距離を確保することができるため、プラズマの吸着効率を向上させることができるとともに、吸着できなかったプラズマを自然消滅させることが可能になり、上述した作用効果が一層顕著となる。
つぎの発明によれば、レーザ加工に伴って発生したプラズマ量に応じてレーザ加工条件を制御することができるため、加工品質の良好なレーザ加工を行うことが可能になる。
つぎの発明によれば、電流検出用電極と被加工物の間に流れる電流値をプラズマ量として検出しているため、容易に、かつ正確にプラズマ量を検出することができる。
つぎの発明によれば、電流値が第１の閾値を越えた場合に加工状態異常検出信号が出力されるため、加工状態異常を検出することができる。
つぎの発明によれば、異常検出信号出力手段から加工状態異常検出信号が出力された場合に加工速度が低下するおよび／またはレーザ出力が高められるため、加工状態異常を自動的に正常状態に復旧することができる。
つぎの発明によれば、加工ノズルと被加工物とが接触した場合に接触検出信号が出力されるため、これら加工ノズルと被加工物とが接触したことを検出することができる。
つぎの発明によれば、電流検出用電極と被加工物との間に流れる電流値が常に上限許容値を下回るように、換言すればプラズマの発生が上限許容値を下回るように、加工速度および／またはレーザ出力が制御されるため、加工品質の良好なレーザ加工を行うことが可能になる。
つぎの発明によれば、電流値が最小となるように、つまりプラズマ量が最小となるように被加工物に対する加工ノズルの位置が制御されるため、加工品質の良好なレーザ加工を行うことが可能になる。
産業上の利用可能性
以上のように、本発明にかかるレーザ加工装置によれば、加工品質の良好なレーザ加工を行う用途に適している。
【図面の簡単な説明】
第１図は、この発明の実施の形態であるレーザ加工装置の構成を例示する図であり、第２図は、薄鋼板をレーザ加工によって切断する場合に抵抗に流れるプラズマ電流と加工速度との関係を実験結果に基づいて示した図であり、第３図は、図１に示したレーザ加工装置の動作を説明するための要部概念図であり、第４図は、図１に示したレーザ加工装置においてレーザ光を出力した場合のプラズマ電流と静電容量センサとの関係を示した図であり、第５図は、図１に示した加工制御部の詳細構成を例示したブロック図であり、第６図は、加工ヘッドの高さとプラズマ電流信号との関係を示す図であり、第７図および第８図は、それぞれ加工速度とプラズマ電流信号と加工状態異常検出信号との関係を示す図であり、第９図は、加工ヘッドの高さとプラズマ電流信号との関係を示す図であり、第１０図は、レーザ出力とプラズマ電流信号と加工速度との関係を示す図であり、第１１図は、実際に設計した加工ヘッドの先端部分を示す断面図であり、第１２図は、実際に設計した加工ヘッドの他の例を示す概念図であり、第１３図は、従来のレーザ加工装置の動作を説明するための要部概念図であり、第１４図は、従来のレーザ加工装置を示した構成図である。

Claims (10)

1. 被加工物にレーザ光を照射することにより、該被加工物にレーザ加工を施すレーザ加工装置において、
   レーザ加工位置の近傍に吸着用電極を設けるとともに、該吸着用電極の外周部に静電容量検出用電極を設け、
   前記吸着用電極と被加工物との間に電圧を印加した状態で前記静電容量検出用電極と前記被加工物との間の静電容量を検出し、該検出した静電容量に基づいてレーザ光の焦点位置を制御することを特徴とするレーザ加工装置。
2. レーザ光を出射する加工ノズルを導体によって形成し、かつこの加工ノズルの先端を前記吸着用電極として機能させることを特徴とする請求の範囲第１項に記載のレーザ加工装置。
3. 前記吸着用電極の被加工物に対向する部位を平面状に構成し、かつこの平面状に構成した部分の外径をその中心から５ｍｍ以上確保したことを特徴とする請求の範囲第１項に記載のレーザ加工装置。
4. 被加工物にレーザ光を照射することにより、該被加工物にレーザ加工を施すレーザ加工装置において、
   レーザ加工に伴って発生するプラズマの量を検出し、該検出したプラズマ量に基づいてレーザ加工条件を制御することを特徴とするレーザ加工装置。
5. レーザ光を出射する加工ノズルの先端に電流検出用電極を設けるとともに、この電流検出用電極と被加工物との間に流れる電流値を前記プラズマ量として検出する検出手段を設けたことを特徴とする請求の範囲第４項に記載のレーザ加工装置。
6. 前記電流値が予め設定した第１の閾値を越えた場合に加工状態異常検出信号を出力する異常検出信号出力手段を設けたことを特徴とする請求の範囲第５項に記載のレーザ加工装置。
7. 前記異常検出信号出力手段から加工状態異常検出信号が出力された場合に加工速度を下げるおよび／またはレーザ出力を高くすることを特徴とする請求の範囲第６項に記載のレーザ加工装置。
8. 前記電流値が前記加工ノズルと前記被加工物とを短絡させた場合の電流値に達した場合に前記被加工物に接触したことを示す接触検出信号を出力する接触検出信号出力手段を設けたことを特徴とする請求の範囲第５項に記載のレーザ加工装置。
9. 前記電流値が予め設定した上限許容値を下回るように加工速度および／またはレーザ出力を制御することを特徴とする請求の範囲第５項に記載のレーザ加工装置。
10. 前記電流値が最小となるように前記被加工物に対する前記加工ノズルの位置を制御することを特徴とする請求の範囲第５項に記載のレーザ加工装置。

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