JPWO2002061514A1 - Diagnostic device, information collecting device, diagnostic system and remote maintenance system - Google Patents

Diagnostic device, information collecting device, diagnostic system and remote maintenance system Download PDF

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Abstract

診断装置（１０３，１１６，１２４）は、産業用機器（１０１，１０２，１１１〜１１５，１２１〜１２３）から送られてくる情報、あるいは前記産業用機器から定期的に収集した情報に基づいて、前記産業用機器の性能に関する所定の項目について、関連するデータを抽出し、前記産業用機器の異常の有無を早期に診断し、異常があればその原因を分析するとともに、診断結果及び分析結果を外部に通知する。これにより、産業用機器の異常を予測あるいは早期に検知するとともに、その原因を分析することが可能となる。The diagnostic device (103, 116, 124) is based on information sent from the industrial equipment (101, 102, 111 to 115, 121 to 123) or information periodically collected from the industrial equipment. For predetermined items related to the performance of the industrial equipment, extract relevant data, diagnose the presence or absence of abnormality of the industrial equipment at an early stage, analyze the cause of abnormality if any, and analyze the diagnosis result and analysis result. Notify outside. This makes it possible to predict or detect an abnormality in the industrial equipment at an early stage and to analyze the cause.

Description

技術分野
本発明は、診断装置、情報収集装置、診断システム及び遠隔保全システムに係り、更に詳しくは、デバイス製造装置等の産業用機器を診断する診断装置、定期的に産業用機器を診断する情報収集装置、前記診断装置を備えた診断システム、及び遠隔地にある前記診断システムを用いて産業用機器を保全する遠隔保全システムに関する。
背景技術
従来、保守を必要とする産業用機器は、ユーザ側の管理者やベンダー側の保守要員により定期的にメンテナンスが行われ、ハードウエアの各種調整や消耗部品の交換等により、産業用機器の性能維持あるいは回復が行われていた。
また、産業用機器にトラブルが発生すると、ユーザ側の管理者は電話やファックス等によりベンダー側の保守要員にトラブルの状況（現象）を通知していた。そして、連絡を受けたベンダー側の保守要員は、過去の経験やマニュアル、あるいはデータベース等を参照し、トラブルの原因を分析していた。
トラブルの原因が明白で、対策も既知の場合は、ユーザ側の管理者に対応策を指示したり、必要であれば保守要員が現地で機器の調整あるいは部品交換を行っていたが、原因が不明であったり、機器の調整等では解決しない場合には、保守要員は、トラブルが発生した産業用機器、すなわち実機での種々のデータ計測を行い、その計測データを分析しながら原因の絞込みを行っていた。
また、公衆回線を利用して、産業用機器の稼働状態をリモートで監視するシステムも一部では実施されているが、得られる情報が限定されており、一部のトラブルの有無を検知することは可能であるが、原因の分析は、上記と同様に保守要員が行っていた。
しかしながら、最近の産業用機器は、非常に複雑化しているために、トラブルの状況（現象）だけからは、その原因の絞込み、及び特定は困難になってきている。さらに、産業用機器の種類も増加しているために、保守要員が、迅速に原因の分析を行うことが困難になってきている。
しかも、トラブルが生じてからベンダー側に通知されるため、交換部品の調達、保守要員の確保、及び情報収集等に時間を要し、また、原因を特定するために実機での種々の計測を行わなければならず、その間は生産を中止しなければならなかった。
また、多種多様な部品が複雑にかかわりあっているために、小さな異常が大きなトラブルに発展することがあり、トラブルが発生してから対処したのでは、大規模な修理が必要になり、結果的にダウンタイムが非常に長くなって生産性を著しく低下させることとなるおそれもあった。
本発明は、かかる事情の下になされたものであり、その第１の目的は、産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムを極力抑制して生産性の向上に貢献することができる診断装置を提供することにある。
また、本発明の第２の目的は、産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムの低減を図ることが可能な診断システムを提供することにある。
また、本発明の第３の目的は、遠隔地にある産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムの低減を図ることが可能な遠隔保全システムを提供することにある。
また、本発明の第４の目的は、産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムを極力抑制して生産性の向上に貢献することができる情報収集装置を提供することにある。
発明の開示
本発明は、第１の観点からすると、少なくとも１台の産業用機器を診断する診断装置であって、前記産業用機器の情報に基づいて、前記産業用機器における異常の有無の診断を行うとともに、異常が有る場合には異常分析を行う異常診断部と；前記異常診断部による処理結果を外部に通知する異常通知部と；を備える診断装置である。
本明細書において、「産業用機器の情報」とは、例えば産業用機器から送られてくる情報、産業用機器からの指示で計測器から送られてくる情報、あるいは産業用機器から定期的に収集した情報などの産業用機器に関する情報の全てを含む。
これによれば、異常診断部は、産業用機器の情報に基づいて、産業用機器の性能に関する所定の項目について、関連するデータを抽出し、産業用機器の異常の有無を早期に診断し、異常があればその原因を分析する。そして、異常通知部は、診断結果、及び異常分析が行われた場合にはその分析結果をも外部に通知する。
従って、前記産業用機器に重大なトラブルが発生する前に、異常を検知することができ、初期段階での調整や部品交換等により、前記産業用機器の性能及び精度を維持することが可能となり、結果的に生産性の向上を図ることができる。
この場合において、例えば、異常診断部による異常有無の診断方法は、種々考えられ、例えば、前記異常診断部が、異常内容毎に予め定めた診断理由について前記異常の有無の診断を行う場合には、前記異常通知部は、前記異常内容及び診断理由を前記診断結果に付加して外部に通知することとすることができる。
本発明の診断装置では、前記異常診断部が、前記異常分析に際して異常原因の分析及び該異常に対する対策の検討を行う場合には、前記異常通知部は、前記異常分析の結果に異常の原因及びその対策を付加して外部に通知することとすることができる。
本発明の診断装置では、前記異常診断部は、複数の分析ツールを更に備える場合、前記異常分析に際して異常の内容に基づいて前記複数の分析ツールのうちで最適な分析ツールを自動的に選択し、その選択された分析ツールを用いて前記異常分析を行うこととすることができる。
本発明の診断装置では、前記産業用機器の情報は、前記産業用機器のイベント情報、前記産業用機器の稼働履歴情報、前記産業用機器の点検情報、前記産業用機器のエラー情報、前記産業用機器の自己計測情報、及び前記産業用機器の自己診断情報、のうち少なくとも１つを含むこととすることができる。
本発明の診断装置では、前記異常診断及び異常分析は、前記産業用機器における所定の現象の発生頻度に基づいて行われる、あるいは前記産業用機器における所定のイベントの発生の有無に基づいて行われることとすることができる。この他、前記異常診断及び異常分析は、前記産業用機器における所定の情報の経時変化に基づいて行われる、あるいは前記産業用機器における所定の情報に関して、同一産業用機器グループとの比較結果に基づいて行われることとすることもできる。
本発明の診断装置では、前記異常診断は、前記産業用機器における所定の情報の経時変化に基づく異常予測を含むこととすることができる。
本発明の診断装置では、前記異常診断部での診断結果は、異常の程度により複数段階のレベルに分けられることとすることができる。
この場合において、前記レベルの段階数は異常の内容によって異なることとすることができる。
本発明の診断装置では、前記異常通知部は、前記異常診断部による結果を電子メールで前記外部に通知することとすることができる。
この場合において、前記電子メールは、前記結果の内容に応じて自動作成され、対応する前記外部に自動送信されることとすることができる。
本発明の診断装置では、前記異常診断部は、診断時の判定値及び診断方法の妥当性を評価するための診断シミュレーションを更に行うこととすることができる。
本発明の診断装置では、産業用機器としては種々の物が考えられ、例えば前記産業用機器は、デバイス製造装置であることとすることができる。
この場合において、前記デバイス製造装置が、露光装置である場合には、前記異常診断は、アライメント系の精度診断、オートフォーカス系の変動診断、レンズ系の駆動機能診断及び光学特性変動診断、ステージ系の駆動機能診断及び精度診断、搬送系の搬送機能診断、並びに照明系の照度均一性診断及び照度診断の少なくとも一つであることとすることができる。
本発明は、第２の観点からすると、本発明の診断装置と；該診断装置とネットワークで接続される少なくとも１台の産業用機器と；を備える診断システムである。
これによれば、診断装置と産業用機器とは、ネットワークで接続されているために、ほぼリアルタイムで双方向通信を行うことができ、診断装置は、産業用機器のイベントに関する前記異常診断及び異常分析をほぼリアルタイムで行うことが可能となる。従って、産業用機器に重大なトラブルが発生する前に、診断装置からほぼリアルタイムで通知される異常診断結果及び異常分析結果に基づいて、初期段階での調整や部品交換等を行うことにより、産業用機器の性能及び精度を維持することが可能となり、産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムの低減、ひいては生産性の向上を図ることが可能となる。
この場合において、前記ネットワークはＬＡＮであることとすることができる。
本発明の診断システムでは、前記ネットワークには、イントラネットが構築されていることとすることができる。
本発明の診断システムでは、前記ネットワークには、管理者端末が更に接続されていることとすることができる。
本発明の診断システムでは、前記診断装置は、前記産業用機器の情報を定期的に収集及び管理する収集部を更に備えることとすることができる。
本発明の診断システムでは、前記産業用機器は、自己計測を行い、その結果を前記診断装置に通知することとすることができる。
本発明の診断システムでは、前記産業用機器は、自己診断を行い、その結果を前記診断装置に通知することとすることができる。
この場合において、前記自己診断は、前記産業用機器のイベント情報、前記産業用機器の稼働履歴情報、前記産業用機器の点検情報、前記産業用機器のエラー情報、及び前記産業用機器の自己計測情報の少なくとも一つに基づいて行われることとすることができる。
本発明は、第３の観点からすると、本発明の診断システムと；前記診断システムと通信手段で接続され、前記診断システムからの情報に基づいて前記産業用機器を保全する管理サーバと；を備える遠隔保全システムである。
これによれば、診断システムは、産業用機器のイベントに関する前記異常診断及び異常分析をほぼリアルタイムで行い、それらの結果を通信手段を介して管理サーバに即座に通知する。そして、管理サーバは、前記診断結果及び分析結果に基づいて、迅速な対応を関係者に指示する。従って、産業用機器に重大なトラブルが発生する前に、保守要員等による初期段階での調整や部品交換等を行うことができる。これにより、産業用機器の精度を維持することができるとともに、産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムの低減を図ることが可能となり、ひいては生産性の向上を図ることが可能となる。
この場合において、前記診断システムは、所定の条件下でのみ前記管理サーバからのアクセスを許可する認証部を更に備えることとすることができる。
この場合において、前記認証部は、前記産業用機器の情報に関するデータファイルや、前記異常診断及び異常分析に関するデータファイルへの外部からのアクセスに対して、ファイル毎に認証チェックを行うこととすることができる。
本発明の遠隔保全システムでは、前記診断システムを構成する前記診断装置の前記異常通知部は、前記異常診断部による処理結果を、診断結果に応じて異なる外部に通知することとすることができる。
本発明の遠隔保全システムでは、前記管理サーバは、前記診断システムからの情報に基づいて前記産業用機器の異常分析を行うこととすることができる。
本発明の遠隔保全システムでは、前記管理サーバは、前記産業用機器のベンダー側のネットワークに更に接続されていることとすることができる。
本発明の遠隔保全システムでは、前記管理サーバは、更に部品管理システムとリンクされ、前記産業用機器の部品を交換する必要が生じた場合に、前記部品管理システムに前記部品の在庫の有無を確認するとともに、在庫がない場合には発注を指示することとすることができる。
この場合において、前記管理サーバは、前記部品管理システムに対して担当者への前記部品の送付を指示することとすることができる。
本発明の遠隔保全システムでは、前記通信手段は、専用回線を利用したものであることとすることもできるし、あるいは前記通信手段は、公衆回線を利用したものであることすることもできる。後者の場合、前記通信手段は、インターネットを利用したものであることとすることができる。この場合において、前記管理サーバは、電子メールを送受信するためのメールサーバ機能及びＨＴＭＬ形式のファイル等を転送するウエブサーバ機能を有していることとすることができる。
本発明は、第４の観点からすると、少なくとも１台の産業用機器に発生するトラブルを解決するために、前記産業用機器に関する複数の情報を収集するための情報収集装置であって、前記トラブル発生時に限らず、前記複数の情報を定期的に獲得する診断処理部と；前記診断処理部によって獲得された情報を一括管理する管理部と；を備える情報収集装置である。
これによれば、診断処理部は、異常の有無に関係なく、常時、産業用機器に関する複数の情報を獲得し、管理部は、診断処理部が獲得した情報を一括管理する。この結果、予め各種情報の蓄積がなされているため、トラブル発生時の情報収集が容易になり、トラブルの早期解決を図ることができる。そして、結果的に産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムを極力抑制して生産性の向上に貢献することが可能となる。
この場合において、前記診断処理部は、前記情報を処理するとともに、前記管理部が一括管理する情報には、前記診断処理部にて処理された情報が含まれることとすることができる。
この場合において、前記診断処理部による情報の処理は、種々考えられる。例えば、前記診断処理部による情報の処理は、所定情報の発生頻度の検出及び特定情報の経時変化の検出の少なくとも一方を含むこととすることもができる。あるいは、前記診断処理部による情報の処理は、所定イベントの発生の検出を含むこととすることができる。あるいは、前記診断処理部による情報の処理は、同一産業用機器グループとの比較を含むこととすることもできる。
本発明の情報収集装置では、前記診断処理部は、前記情報の獲得のために、前記産業用機器の自己計測機能又は自己診断機能を用いることとすることができる。
本発明の情報収集装置では、前記産業用機器は、デバイス製造装置であることとすることができる。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明の一実施形態を図１〜図２０に基づいて説明する。
図１には、本発明の一実施形態に係る遠隔保全システムの構成が示されている。
この図１に示される遠隔保全システムは、産業用機器を供給しているベンダー１５０と、該ベンダー１５０と専用回線１４０を介して接続されている前記産業用機器のユーザである第１顧客Ｃ１及び第２顧客Ｃ２とを含んで構成された遠隔保全システムである。
前記第１顧客Ｃ１は、第１工場Ｆ１と第２工場Ｆ２の２つの工場を有している。このうち、第１工場Ｆ１には、２台の産業用機器１０１，１０２が設置されている。産業用機器１０１と産業用機器１０２とは、それぞれＬＡＮ１０４に接続されている。また、産業用機器１０１，１０２の情報に基づいて産業用機器１０１，１０２における異常診断及び異常分析を行うための診断装置としての第１工場Ｆ１用の診断サーバ１０３も前記ＬＡＮ１０４に接続されている。
前記第２工場Ｆ２には、５台の産業用機器１１１，１１２，１１３，１１４，１１５が設置されている。各産業用機器１１１〜１１５はそれぞれＬＡＮ１１７に接続されている。また、各産業用機器１１１〜１１５の情報に基づいて各産業用機器１１１〜１１５における異常診断及び異常分析を行うための診断装置としての第２工場Ｆ２用の診断サーバ１１６も前記ＬＡＮ１１７に接続されている。
前記ＬＡＮ１０４と前記ＬＡＮ１１７は、ファイアウォール１０５，１１８をそれぞれ介して第１顧客Ｃ１の社内ＬＡＮ１１０と接続されている。前記ファイアウォール１０５は、前記ＬＡＮ１０４上を流れる通信データが外部に漏れないようにするとともに、外部から不正に情報を取得されないようにする目的で設置されている。前記ファイアウォール１１８も同様に、前記ＬＡＮ１１７上を流れる通信データが外部に漏れないようにするとともに、外部から不正に情報を取得されないようにする目的で設置されている。
前記社内ＬＡＮ１１０には、第１顧客Ｃ１側の管理者端末１０６が接続されている。すなわち、前記診断サーバ１０３及び前記診断サーバ１１６はＬＡＮ間接続により前記管理者端末１０６と通信することができる。また、前記診断サーバ１０３と前記診断サーバ１１６とのサーバ間通信も前記社内ＬＡＮ１１０を介して行うことができる。これは、第１工場Ｆ１での産業用機器の稼動状態と第２工場Ｆ２での産業用機器の稼動状態を互いに知ることができることを意味している。
前記第２顧客Ｃ２は１つの工場を有し、該工場内には、３台の産業用機器１２１，１２２，１２３が設置されている。各産業用機器１２１〜１２３はそれぞれＬＡＮ１２５に接続されている。また、各産業用機器１２１〜１２３の情報に基づいて各産業用機器１２１〜１２３における異常診断及び異常分析を行うための診断装置としての診断サーバ１２４も前記ＬＡＮ１２５に接続されている。
前記ＬＡＮ１２５は、ファイアウォール１２６を介して第２顧客Ｃ２の社内ＬＡＮ１２０と接続されている。前記ファイアウォール１２６は、前記ＬＡＮ１２５上を流れる通信データが外部に漏れないようにするとともに、外部から不正に情報を取得されないようにする目的で設置されている。
前記社内ＬＡＮ１２０には、第２顧客Ｃ２側の管理者端末１２７が接続されている。すなわち、前記診断サーバ１２４はＬＡＮ間接続により管理者端末１２７と通信することができる。
第１顧客Ｃ１の社内ＬＡＮ１１０は、ファイアウォール１０７を介して専用回線１４０と接続されている。ファイアウォール１０７は、前記社内ＬＡＮ１１０上を流れる通信データが外部に漏れないようにするとともに、外部から不正にアクセスされないようにする目的で設置されている。
また、第２顧客Ｃ２の社内ＬＡＮ１２０は、ファイアウォール１２８を介して専用回線１４０と接続されている。ファイアウォール１２８は、前記社内ＬＡＮ１２０上を流れる通信データが外部に漏れないようにするとともに、外部から不正にアクセスされないようにする目的で設置されている。
前記ベンダー１５０側には、第１顧客Ｃ１側に設置されている７台の産業用機器１０１，１０２，１１１〜１１５の遠隔保全を行うための管理サーバ１５１と、第２顧客Ｃ２側に設置されている３台の産業用機器１２１〜１２３の遠隔保全を行うための管理サーバ１５２とが設けられている。これらの管理サーバ１５１，１５２は、ファイアウォール１５３，１５４をそれぞれ介してＬＡＮ１５６と接続されている。ファイアウォール１５３，１５４は、管理サーバ１５１，１５２にそれぞれ格納されているプログラムやデータが、外部から不正に盗まれたり、改ざんされたり、あるいは消去されたりしないようにする目的で設置されている。
さらに、前記管理サーバ１５１，１５２を介して各産業用機器の異常を詳細に分析するための情報分析端末１５５もＬＡＮ１５６に接続されている。また、ＬＡＮ１５６は、ファイアウォール１５７を介してベンダー側の社内ＬＡＮ１３０と接続されている。ファイアウォール１５７は、前記ＬＡＮ１５６上を流れる通信データが外部に漏れないようにするとともに、社内ＬＡＮ１３０上を流れる通信データが前記ＬＡＮ１５６に漏れないようにし、さらに外部から不正にアクセスされないようにする目的で設置されている。なお、前記情報分析端末１５５は、前記管理サーバ１５１，１５２にアクセスすることができるならば、必ずしも前記ＬＡＮ１５６に直接、接続されていなくても良い。
前記社内ＬＡＮ１３０には、ベンダー側の担当者端末１５９が接続されている。すなわち、前記管理サーバ１５１，１５２、及び情報分析端末１５５はＬＡＮ間接続により担当者端末１５９と通信することができる。これは、担当者端末１５９から前記情報分析端末１５５の操作ができることを意味している。さらに、担当者端末１５９は、管理サーバ１５１，１５２に格納されている各種ファイル、及び各種データベース等を参照することができる。また、社内ＬＡＮ１３０には、図示しない保守要員端末も接続されている。すなわち、社内ＬＡＮ１３０にメールサーバを備えることにより、前記診断サーバ１０３，１１６，１２４からベンダー側の担当者端末１５９及び保守要員端末に直接、電子メール等を送付することができる。
前記各ファイアウォールは、ＬＡＮへの不正侵入を防止するためのものであり、複雑な認証機構を利用した専用装置が用いられている。なお、場合によっては、ＩＰアドレスの識別のみを行うルータ、ブリッジ、あるいは両方の機能を有するブルータが用いられたり、アクセス制御を行うプロキシサーバ等が用いられたりすることもある。
なお、前記管理サーバ１５１，１５２は、情報の不正漏洩を防止するために、顧客側で許可されている場合のみ、前記診断サーバ１０３，１１６，１２４にアクセスし、各種ファイルやデータベース等を収集することができる。例えば、第１顧客Ｃ１は、認証部としての前記ファイアウォール１０７にて、ベンダーからの接続要求（アクセス）を許可あるいは拒否することができ、第２顧客Ｃ２は、認証部としての前記ファイアウォール１２８にて、ベンダーからの接続要求（アクセス）を許可あるいは拒否することができる。あるいは、診断サーバにて、各種ファイルやデータベース等にロック機能を設けることにより、外部からのアクセスを拒否あるいは許可することも可能である。これにより、ベンダー側で、詳細分析等に必要な場合のみ、顧客側の情報をダウンロードすることができ、顧客側の情報漏洩に対するセキュリティを高めることができる。
次に、前記診断サーバ１０３，１１６，１２４に送付され異常診断及び異常分析に用いられる前記産業用機器の情報に関して、各産業用機器において行われるデータ処理について説明する。
各産業用機器は、前記データ処理を行うため、図２に示されるように、情報出力部３０１と自己診断部３０２とを備えている。
前記情報出力部３０１は、ログファイル作成機能と、ログファイル送付機能と、装置定数ファイル作成機能と、イベントリアルタイム通知機能と、レシピファイル作成機能とを有している。
前記ログファイル作成機能とは、産業用機器内でのイベント情報、エラー情報、稼動履歴情報、計測データ、設定データ、通信データ等をログファイルとして作成する機能である。
イベントログファイルには、イベントの内容とイベントの発生時間とが含まれている。また、イベントに関連して、イベント発生後、一定時間内での産業用機器の稼動情報をロギングした内容を含むシーケンスログファイルも作成される。
エラーログファイルには、エラーの内容とエラーの発生日時とが含まれている。
さらに、稼動履歴ログファイルには、産業用機器のすべての操作及び動作に関連する情報が発生日時とともに含まれている。
計測データログファイルには、自動的に計測されたデータだけでなく、オペレータの指示により計測されたデータも含まれている。また、定期的に行われる計測だけではなく、試験的に行われる計測等も含まれている。
設定データログファイルには、各種設定データだけでなく、設定日時（又は更新日時）も含まれる。設定データは変更されることがあり、その変更された日だけでなく時間も重要である。その理由は、設定内容が各種計測データに影響を及ぼすことがあり、データ処理やデータ比較の有効性に関係してくるからである。
さらに、通信データログファイルには、送受信データと送受信時刻とが含まれている。
なお、イベントログファイル、シーケンスログファイル、エラーログファイル、計測データログファイル、及び設定データログファイルは、作成された時点でそれぞれの産業用機器の診断サーバに送信される。但し、計測データログファイルは、リアルタイム性を必要としないため、前記診断サーバが収集するのを待っていても良い。なお、前記診断サーバに送信されたファイル、及び前記診断サーバに収集されたファイルは、前記診断サーバに送信後、一定時間が経過すると自動的に削除される。産業用機器が備えるハードディスク等の記憶媒体の容量が診断サーバ等に比べてあまり大きくないからである。
産業用機器１０１，１０２，１１１〜１１５，１２１〜１２３としては、本実施形態では、例えば露光装置が用いられる。この露光装置の情報出力部３０１が作成するエラーログファイルには、アライメント系におけるサーチエラー、オートフォーカス（ＡＦ）系におけるポジショニングエラー、レンズ系（結像系）やレンズコントローラ（ＬＣ）系でのレンズ駆動機構のストロークエラー、ステージ系におけるＺチルト（ＺＴ）駆動エラー，可動レチクルブラインドの追従エラー，ポジショニングエラー，及びステージ駆動エラー、並びに搬送系におけるロードスライダー位置決めエラー、オリエンテーションフラット（ＯＦ）中心位置エラー、ＣＴ位置決めエラー、ＣＯＺ軸エラー、ＬＺ軸エラー等がある。
また、露光装置の情報出力部３０１が作成する計測データログファイルには、プリアライメント精度計測データ、同期精度計測データ、照度計測データ等がある。
さらに、露光装置の情報出力部３０１が作成するイベントログファイルには、レチクル予約処理の開始及び終了、レチクルの異物検査の開始及び終了、レチクル交換処理の開始及び終了、ロット処理の開始及び終了、パイロット露光の開始及び終了、本露光の開始及び終了、待ち状態の開始、エラー発生アラーム等がある。
また、例えば、レチクル交換処理のイベントログファイルには、開始及び終了時刻、終了状態（正常終了又は異常終了）、発生したエラーの統計データ、等が含まれる。ロット処理のイベントログファイルには、開始及び終了時刻、終了状態（正常終了又は異常終了）、発生したエラーの統計データ、ロット名、品名、工程名、処理ウエハ枚数、等が含まれる。
また、前記ログファイル送付機能とは、前記ログファイル作成機能にて作成された前記各種ログファイルを、リアルタイムで前記診断サーバに送付する機能である。そして、前記装置定数ファイル作成機能とは、メンテナンス時に設定あるいは更新された装置定数をファイリングする機能である。更新されたときは更新イベントを前記診断サーバに通知する。また、前記イベントリアルタイム通知機能とは、予め指定されたイベントが発生した時にイベント発生情報をリアルタイムで前記診断サーバに通知する機能である。さらに、前記レシピファイル作成機能とは、レシピファイルを作成、及び変更する機能である。
前記自己診断部３０２は、自己計測機能と自己診断機能とを有している。
前記自己計測機能とは、一定時間毎、あるいは産業用機器が停止状態のときに、予め設定されている項目の計測を自動的に行う機能である。ここでは、産業用機器によって処理された対象物についての計測（寸法等の計測）も含まれる。また、前記自己診断機能とは、イベント情報、稼働履歴情報、点検情報、エラー情報、及び自己計測情報等のうちの少なくとも一つに基づいて、産業用機器内部の診断を自動的に行う機能である。ここでは、内蔵されている各種性能評価用ツールが利用される。自己計測結果及び自己診断結果は、ファイリングされるとともに、前記診断サーバに送付される。また、自己診断結果を管理者端末に電子メール等で送付することも可能である。さらに、診断サーバが設置されていない場合には、ベンダー側の管理サーバに直接、ファイル転送や電子メール等で送付することも可能である。なお、前記自己計測及び自己診断は、予め設定されているスケジュールに従って自動的に行われるだけでなく、オペレータ、前記管理者端末、前記診断サーバ及び前記管理サーバからの要求により随時、行うことも可能である。
次に、前記診断サーバ１０３，１１６，１２４の機能について、図２を用いて説明する。
前記診断サーバは、図２に示されるように、収集部としての情報収集部３０３，情報分別部３０４，情報保存部３０５及び情報登録部３０６と、異常診断部としての診断部３０７及び情報分析部３０９と、異常通知部としての診断結果通知部３０８と、サーバ保守部３１０等を備えている。
前記情報収集部３０３は、ファイル収集機能、ファイル監視機能、及びイベントリアルタイム受信機能等を有している。
前記ファイル収集機能とは、各産業用機器の情報を日常的に収集及び一括管理する機能であり、具体的には、各産業用機器内に保存されている各種ファイルをスケジュール情報に基づいて定期的に収集したり、収集したファイルの履歴（収集の有無、最終収集ファイル作成日等）を管理したり、収集履歴（収集ファイル名、収集日等）を保存する機能である。なお、収集対象となるファイルはデータベースあるいは定義ファイルに保存されており、設定、変更することができる。さらに、ファイル毎に収集する時間間隔も変更することができる。
また、前記ファイル監視機能とは、前記ファイル収集機能にて収集したファイルの内容を定期的に監視し、最新ファイルを保存する機能である。なお、ファイル種毎に監視する時間間隔を変更することができる。さらに、イベントリアルタイム受信機能とは、リアルタイムで各産業用機器との双方向通信を行う機能である。一例として、受信割り込み処理が利用される。各産業用機器から送付される各種ファイル等は、ここで受信される。
前記情報分別部３０４は、前記情報収集部３０３が各産業用機器から受信あるいは収集した各種ファイル等を点検し、必要な情報（日時、サマリー情報等）のみを抽出して新たなファイルを作成する。すなわち、情報のフィルタリング処理を行う。
前記情報保存部３０５は、前記情報収集部３０３が各産業用機器から受信あるいは収集した各種ファイル等、及び前記情報分別部３０４にて作成されたファイル等を圧縮し、ハードディスク等の記憶媒体に保存する。なお、保存期間は各ファイル毎に設定、及び変更ができるようになっている。アクセスを許可されたベンダーは、ここで保存されたファイル等を、ネットワークを介して容易に収集することができる。保存期間を経過したファイル等は自動的に削除される。
前記情報登録部３０６は、前記情報分別部３０４にて分別された各種情報を、それぞれに対応するデータベースに登録する。ここで登録されたデータは、前記診断部３０７での診断に利用される。また、アクセスを許可されたベンダーは、ここで登録されたデータ等を、ネットワークを介して容易に収集することができ、ベンダー側での簡易分析等に利用される。なお、産業用機器内の各種装置のバージョン情報及び調整情報もデータベースに登録される。また、データベース内に登録された情報は、指定された保存期間が経過すると、自動的に削除される。
前記診断部３０７は、頻度診断機能、経時変化診断機能、装置間比較診断機能、及びイベント診断機能等を有している。診断結果は、異常の程度によりレベル１からレベル３の３段階に分けられる。ここでは、レベル１は最も異常の程度が高く、迅速な対応が要求される異常である。なお、異常のレベルは３段階に限定されるものではなく、診断対象によって異なっていても良い。また、前記診断部３０７は、異常と診断すると診断結果としての異常判定情報を作成する。但し、異常のレベルが低い場合には、異常判定情報を作成しないこともある。
前記頻度診断機能とは、予め設定されている項目に関して、予め設定されている判定期間内での異常の発生頻度に基づいて診断する機能である。なお、判定期間、及び判定値は設定、及び変更が可能である。また、診断対象となる項目も変更可能である。
前記経時変化診断機能とは、予め設定されている項目に関して、予め設定されている判定期間内でのデータの変化量に基づいて診断する機能である。すなわち、図２０に示されるように、データベース等に登録されている過去（判定期間内）のデータから将来（予測日：数日又は数週間先等）におけるデータ値を予測し、その予測値と判定値とを比較して異常の予測及び予測される異常のレベルを診断する。なお、判定期間（又は判定開始日、あるいは判定終了日）、判定値、及び予測日はあらかじめ設定されており、変更が可能である。また、診断対象となる項目も変更可能である。
さらに、前記装置間比較診断機能とは、予め設定されている項目に関して、予め設定されている対象産業用機器、あるいは同一産業用機器グループにおけるデータとの差分に基づいて診断する機能である。なお、対象産業用機器、産業用機器グループ、及び判定値は変更が可能である。また、診断対象となる項目も変更可能である。
前記イベント診断機能とは、特定イベントの発生の有無や、産業用機器からの自己診断結果に基づいて診断する機能である。診断対象となるイベントは変更可能である。
これらの診断機能は、データ毎に、いずれか一つあるいは複数の機能が所定の組み合わせで選択されるように設定されている。また、前記経時変化診断機能は、他の診断と併用される場合もある。なお、異常診断は、産業用機器から情報を受信した時だけでなく、診断する項目によってはスケジュール情報に基づいて定期的に行われる。
また、診断時の診断条件を変更し、マニュアル起動で診断を実行することもできる。これにより、診断時の判定値、及び診断方法の妥当性を評価することが可能となる。但し、マニュアル起動は、一種の診断シミュレーションであるため、異常と診断された場合でも、診断結果は通知されない。また、診断条件は、診断シミュレーション用として設定することが可能であり、自動診断に影響を与えないように診断条件を変更することができる。さらに、診断条件、診断時に使用した情報及び診断結果等は、グラフィカルに表示される。
なお、産業用機器からの受信情報に対して、診断する項目（診断項目）と、その診断に必要なデータ（モニター対象データ）と、モニター対象データが格納されているファイル名については、予め診断データベースに登録されている。例えば、露光装置において、図３に示されるように、受信情報がプリアライメントサーチエラー情報の場合は、エラーログファイル及びエラー情報データベースに格納されているプリアライメントサーチエラーの発生頻度に基づいてアライメント系のプリアライメント精度が診断され、受信情報が照度計測データ情報の場合は、照度データファイル及び照度データベースに格納されている照度データの予測値に基づいて照度低下が診断され、受信情報がウエハ交換情報の場合は、ウエハ交換データファイル及びウエハ交換データベースに格納されているウエハ交換時間のトレンドデータに基づいてウエハ搬送機能低下が診断される。また、異常と診断されたときの対策についても既知の場合はエラー情報データベースに登録されている。
図２に戻り、前記診断結果通知部３０８は、不定期通知機能と、定期通知機能とを有している。
前記不定期通知機能とは、前記診断部３０７において、異常と診断された時に、前記診断部３０７で作成された診断結果としての異常判定情報をリアルタイムで、電子メール等で前記管理サーバ及び管理者端末等に通知する機能である。ここでは、前記異常判定情報は、その内容に応じて、顧客側で対応できる場合は顧客側の担当者端末に通知され、早急な対応が必要な場合はベンダー側の保守要員に通知され、予測される異常の場合や詳細分析が必要とされる異常の場合はベンダー側の担当者端末に通知される。また、前記内容と宛先との関係は、あらかじめデータベースに登録されている。
前記定期通知機能とは、前記診断部３０７での診断結果を、日報等の形で前記管理サーバ及び管理者端末に定期的に通知する機能である。電子メールで通知する場合は、情報の内容に合わせて件名を自動作成し、情報の内容あるいは件名から宛先のアドレスを抽出し、情報の内容に合わせてメール本文を作成し、送信する。件名、宛先、送信日時等は履歴情報として保存される。
前記情報分析部３０９は、前記診断部３０７での診断結果が異常の場合に、その異常の原因を特定するために、種々の分析ツールを用いて異常分析を行い、その分析結果をベンダー側や管理者端末からブラウザ等で参照できるようにＨＴＭＬ形式でファイル化する。なお、本実施形態では、前記管理サーバからの指示により分析ツールが選択され異常分析が行われるようになっているため、異常分析を行うか否かは、ベンダーの担当者が判断するが、異常の内容に基づいて最適の分析ツールを自動的に選択し、異常分析を行うことも可能である。
前記サーバ保守部３１０は、システム設定機能と、システム稼動履歴保存機能とを有している。
前記システム設定機能とは、装置情報や各種条件等の設定（登録、変更、削除）を行う機能である。例えば、前記診断部３０７にて参照される対象産業用機器や産業用機器グループの設定、診断時の判定値、診断方法、判定期間及び分割期間等の診断条件の設定、前記情報保存部３０５にて参照されるデータの保存期間等の設定に利用される機能である。なお、診断条件は、産業用機器毎に設定することができ、未設定の産業用機器についてはデフォルト値が使用される。また、診断方法は産業用機器の情報毎に複数設定することができる。さらに、自動的に診断を行う項目についても設定可能であり、診断無効と設定されている項目については自動診断は実行されない。また、オペレータが、操作しやすいようにグラフィカルユーザーインターフェース（ＧＵＩ）を有している。また、勝手に内容が変更されないように、パスワードが一致しなければ変更できないようになっている。なお、変更履歴はファイルに保存される。
前記システム稼動履歴保存機能とは、診断サーバの稼動履歴をファイルとして保存する機能である。遠隔保全システム自身の稼動診断に利用される。
次に、前記管理サーバ１５１，１５２の機能について図２を用いて説明する。
前記管理サーバは、顧客別にベンダー側に設置されており、図２に示されるように、通知部３１１、集計部３１２、詳細情報収集部３１３、分析操作参照部３１４、サーバ保守部３１５、及び社内システムとのリンク部３１６等を備えている。
前記通知部３１１は、診断サーバの前記診断部３０７での診断結果が異常の場合に、診断サーバの前記診断結果通知部３０８から送られてくる診断結果としての異常判定情報に基づいて、異常情報を一括管理している図示しない管理センターに表示データを送付したり、ベンダー側の担当者端末１５９や図示しない保守要員端末に電子メール等で前記異常判定情報の内容を通知する。電子メールで通知する場合は、情報の内容に応じて自動的に宛先を選択する。
前記集計部３１２は、前記通知部３１１が受信した異常判定情報の履歴を集計したり、定期診断情報の履歴を週報や月報のような定期レポートに編集する。
前記詳細情報収集部３１３は、前記通知部３１１が異常判定情報を受信した場合に、前記通知部３１１の指示により、診断サーバの記憶媒体に保存されている関連するファイルやデータベースのデータ等を、前記診断サーバの情報保存部３０５や情報登録部３０６を介して、ブラウザ等で収集する。なお、収集を実行した履歴はオペレーション履歴として保存される。但し、異常判定情報の内容がすでに既知であり、その原因及び対策が明確な場合には利用されないことがある。
前記分析操作参照部３１４は、診断サーバの前記情報分析部３０９で利用可能な分析ツールを操作し、前記詳細情報収集部３１３が収集したファイルやデータベースに基づいて異常分析を行うとともに、その分析結果をファイルとして出力する。なお、出力結果はブラウザ等で参照できるようになっている。なお、ここでは、前記診断サーバ側に搭載されている分析ツールをリモートアクセスして利用しているが、これに限定されるものではなく、例えば、管理サーバ側にも搭載することができる。但し、前記詳細情報収集部３１３が利用されない場合には、当然、ここでの分析は行われない。
前記サーバ保守部３１５は、システム設定機能と、システム診断機能とを有している。
前記システム設定機能は、管理サーバで使用される各種設定データの登録、変更及び削除を行う機能である。また、前記システム診断機能は、診断サーバから定期的に通知される前記システム稼動履歴の有無をチェックし、遠隔保全システム自身が正常に動作しているか否かを診断する機能である。なお、ハードディスク等の記憶媒体のバックアップを取ることも、前記システム診断機能に含まれる。
前記社内システムとのリンク部３１６は、社内システムにおける消耗品管理システム（不図示）、およびバージョン管理システム（不図示）等と、リンクしている。また、社内システムのウエブサーバ（不図示）に前記異常判定情報の内容を転送し、社内に公開することにより、未解決のトラブルの早期解決を図っている。特に、消耗品管理システムとのリンクにより、産業用機器の部品を交換する必要が生じた場合に、消耗品管理システムに在庫の有無を確認するとともに、在庫がない場合には即座に発注することが可能となる。また、必要な部品を、担当の保守要員に直ちに送付することもできる。
また、前記管理サーバ１５１，１５２は、電子メールを送受信するためのメールサーバ機能、ファイルを送受信するためのＦＴＰサーバ機能、及びＨＴＭＬ形式のファイル等を転送するウエブサーバ機能も有している。
次に、前記情報分析端末１５５の機能について、図２を用いて説明する。
ベンダー側に設置されている前記情報分析端末１５５は、図２に示されるように、詳細分析部３１７を備えており、管理サーバの前記詳細情報収集部３１３が収集したファイルやデータベースのデータ等の詳細情報に基づいて異常分析を行うための、既存ツール分析機能と、簡易ツール分析機能と、詳細ツール分析機能と、ユーザ間比較機能と、を有している。これらの機能は、異常の内容及び程度によって使い分けられる。
前記既存ツール分析機能とは、既存の分析ツールを使用して異常の原因と対策を詳細に分析する機能である。ここでは、目的に応じて専用のアプリケーション・ソフトが利用される。一方、前記簡易ツール分析機能とは、汎用性の高い表計算ソフト等を利用した柔軟性の高いツールを使用して診断サーバに保存されているデータベース等に基づいて、各種データの経時変化グラフやヒストグラム等を表示する機能である。これは、表計算ソフト等のマクロ機能を利用することにより容易に行うことができる。また、前記詳細ツール分析機能とは、管理サーバの前記分析操作参照部３１４を介して前記診断サーバ側に搭載されている分析ツールをリモートアクセスにより利用して異常の原因と対策を詳細に分析するとともに、その分析結果をブラウザ等から参照できるようにファイル化する機能である。さらに、ユーザ間比較機能とは、詳細情報に基づいて、同一の産業用機器を使用している他の顧客におけるデータと比較して異常の原因と対策を分析する機能である。
診断サーバから通知された異常判定情報が、すでにその原因と対策が判明している内容であれば、前記情報分析端末１５５での異常分析は行われない場合がある。例えば、露光装置において、異常判定情報が搬送系におけるロードスライダー動作不良の場合には、スライダー交換という対策がエラー情報データベースに登録されているので、前記情報分析端末１５５での異常分析は行われないことがある。但し、エラー情報データベースに登録されていても、同時期に複数の項目について異常判定情報が通知される場合には、他の要因が考えられるため、前記情報分析端末１５５での異常分析が行われることもある。すなわち、前記情報分析端末１５５での異常分析を行うか否かは、ベンダー側の担当者が判断する。
なお、前記情報分析端末１５５での分析結果は、エラー情報データベースに登録される。分析結果を有効利用するためである。
次に、本実施形態における情報の流れについて、図２を用いて説明する。
ＤＡＴＡ１は、産業用機器のイベント情報、稼動履歴情報、エラー情報、及び計測データ等であり、産業用機器の情報出力部３０１から診断サーバの情報収集部３０３に送信される。
ＤＡＴＡ２は、産業用機器の自己計測データ、及び自己診断結果等であり、産業用機器の自己診断部３０２から診断サーバの情報収集部３０３に送信される。
ＤＡＴＡ３は、産業用機器の自己診断結果等であり、産業用機器の自己診断部３０２から診断サーバの診断結果通知部３０８に送信される。
ＤＡＴＡ４は、診断サーバの情報保存部３０５が圧縮保存したファイル等であり、管理サーバの詳細情報収集部３１３に送信される。
ＤＡＴＡ５は、診断サーバの情報登録部３０６が登録したデータベース等であり、管理サーバの詳細情報収集部３１３に送信される。
ＤＡＴＡ６は、産業用機器の自己診断結果等、及び診断サーバの診断部３０７での診断結果（異常判定情報）等であり、診断サーバの診断結果通知部３０８から管理サーバの通知部３１１に送信される。
ＤＡＴＡ７は、管理サーバの分析操作参照部３１４から診断サーバの情報分析部３０９への分析操作指示、及び診断サーバの情報分析部３０９での分析結果等である。
ＤＡＴＡ８は、管理サーバの詳細情報収集部３１３が診断サーバから収集した前記ＤＡＴＡ４及び前記ＤＡＴＡ５と同一内容であり、管理サーバの詳細情報収集部３１３から情報分析端末の詳細分析部３１７に送信される。
ＤＡＴＡ９は、情報分析端末の詳細分析部３１７から管理サーバの分析操作参照部３１４への分析操作指示、及び診断サーバの情報分析部３０９での分析結果等である。
次に、各産業用機器と診断サーバとの間の通信について説明する。
各産業用機器と診断サーバとは、双方向通信であり、しかもリアルタイム性が要求される。そこで、一例として、第２顧客Ｃ２における各産業用機器１２１〜１２３と診断サーバ１２４との間の通信について説明する。
通信方式としては、診断サーバ１２４を親側、各産業用機器１２１〜１２３を子側とするポーリング・セレクティング方式を用いる。
ポーリング・セレクティング方式では、親側である診断サーバ１２４が通信の主導権を有しており、子側である各産業用機器１２１〜１２３は、親側の指示に基づいて各種情報を情報電文として送受信する。
また、各産業用機器は、識別用のＳＡ（ステーションアドレス）を有しており、診断サーバ１２４は、ＳＡで産業用機器を特定する。本実施形態では、一例として、１台目の産業用機器１２１のＳＡを４０Ｈ、２台目の産業用機器１２２のＳＡを４１Ｈ、３台目の産業用機器１２３のＳＡを４２Ｈとする。ここで、数字の後に付加された「Ｈ」は、１６進数であることを意味する。
診断サーバ１２４は、各産業用機器に対してポーリング電文又はセレクティング電文を送信し、各産業用機器との通信を制御する。
ここで、ポーリング電文とは、図６Ａに示されるように、ＳＡ部、５１Ｈ、０５Ｈ、の３バイトで構成される電文である。例えば、１台目の産業用機器１２１に対するポーリング電文は、ＳＡ部が１台目の産業用機器１２１のＳＡである４０Ｈとなる。
また、セレクティング電文とは、図６Ｂに示されるように、ＳＡ部、４１Ｈ、０５Ｈ、の３バイトで構成される電文である。例えば、２台目の産業用機器１２２に対するセレクティング電文は、ＳＡ部が２台目の産業用機器１２２のＳＡである４１Ｈとなる。
なお、ポーリングとは、診断サーバ１２４が、いずれか１台の産業用機器を指定して、診断サーバ１２４への情報電文の送信を許可することを意味し、セレクティングとは、いずれか１台の産業用機器を指定して、診断サーバ１２４からの送信電文があることを意味する。
また、ポーリング・セレクティング方式で用いられる通信制御キャラクタとして、情報電文の始まりを示すキャラクタをＳＴＸ（０２Ｈ）、情報電文の終わりを示すキャラクタをＥＴＸ（０３Ｈ）、受信電文に対する肯定応答を示すキャラクタをＡＣＫ（１０Ｈ）、受信電文に対する否定応答を示すキャラクタをＮＡＫ（１５Ｈ）、送信終了を示すキャラクタをＥＯＴ（０４Ｈ）、とする。これらは、一般的に用いられている通信制御キャラクタである。
ここで、各産業用機器から診断サーバ１２４に送信する情報電文の構成について説明する。各産業用機器から送信される情報電文は、図６Ｃに示されるように、ＳＴＸ、ＳＡ部、５１Ｈ、情報部、ＥＴＸ、ＢＣＣで構成される可変長電文である。ＢＣＣとは、ブロックチェックコードを意味し、ＳＡ部からＥＴＸまでの排他的論理和の値がセットされる。電文の正当性を担保するために付加されている。ＥＴＸは、情報部が可変長であるために、情報部の終了であることを示すために情報部の後に付加されている。また、情報部は、通信制御キャラクタと区別するためにＡＳＣＩＩコードに変換される。例えば、０〜９は３０Ｈ〜３９Ｈとなる。
次に、診断サーバ１２４から各産業用機器に送信する情報電文の構成について説明する。診断サーバ１２４から送信される情報電文は、図６Ｄに示されるように、ＳＴＸ、ＳＡ部、４１Ｈ、情報部、ＥＴＸ、ＢＣＣで構成される可変長電文である。ＢＣＣとは、上述と同様にブロックチェックコードを意味し、ＳＡ部からＥＴＸまでの排他的論理和の値がセットされる。電文の正当性を担保するために付加されている。ＥＴＸは、情報部が可変長であるために、情報部の終了であることを示すために情報部の後に付加されている。また、情報部は、通信制御キャラクタと区別するためにＡＳＣＩＩコードに変換される。例えば、０〜９は３０Ｈ〜３９Ｈとなる。
次に、ポーリング・シーケンスについて、図４を用いて具体的に説明する。
診断サーバ１２４は、先ず、図４に示されるように、１台目の産業用機器１２１へのポーリング電文（ＰＯＬ１）として、４０Ｈ（ＳＡ部）、５１Ｈ、０５Ｈ、の３バイト電文を送信する。
各産業用機器は、このポーリング電文を受信するが、ＳＡ部が４０Ｈであるため、１台目の産業用機器１２１のみがこのポーリング電文を取り込み、２台目と３台目の産業用機器１２２，１２３は、このポーリング電文を無視する。これにより、診断サーバ１２４と１台目の産業用機器１２１との通信回線が確保される。１台目の産業用機器１２１は、取り込んだ受信電文の２バイト目が５１Ｈであるために、ポーリング電文であると判断し、診断サーバ１２４に送る情報が有るかどうかをチェックし、情報がなければ、図４に示されるように、ＥＯＴ（０４Ｈ）を送信する。
一方、診断サーバ１２４は、ポーリング電文（ＰＯＬ１）を送信後、ＥＯＴ（０４Ｈ）を受信すると、次に、２台目の産業用機器１２２に対するポーリング電文（ＰＯＬ２）として、４１Ｈ（ＳＡ部）、５１Ｈ、０５Ｈの３バイト電文を送信する。各産業用機器は、このポーリング電文を受信するが、ＳＡ部が４１Ｈであるため、２台目の産業用機器１２２のみがこの電文を取り込み、１台目と３台目の産業用機器１２１，１２３は、このポーリング電文を無視する。すなわち、診断サーバ１２４と２台目の産業用機器１２２との通信回線が確保される。
２台目の産業用機器１２２は、取り込んだ受信電文の２バイト目が５１Ｈであるために、ポーリング電文であると判断し、診断サーバ１２４に送る情報が有るかどうかをチェックし、情報があれば、情報電文を作成し、診断サーバ１２４に送信する。
診断サーバ１２４は、ポーリング電文（ＰＯＬ２）を送信後、情報電文を受信すると、受信電文のＳＡからＥＴＸまでの排他的論理和を算出し、ＢＣＣと一致するか否かをチェックする。ここで、もし一致したならば、正しい情報電文を受信したと判断し、図４に示されるように、肯定応答であるＡＣＫ（１０Ｈ）を送信する。もし一致しなければ、情報電文がノイズ等の外乱により壊れていると判断し、否定応答であるＮＡＫ（１５Ｈ）を送信し、情報電文の再送を要求する。なお、情報電文であるか否かは、受信電文の先頭バイトがＳＴＸであるか否かで判別する。
２台目の産業用機器１２２は、情報電文送信後、ＡＣＫ（１０Ｈ）を受信すると、図４に示されるように、ＥＯＴ（０４Ｈ）を送信するが、ＮＡＫ（１５Ｈ）を受信すると、同じ情報電文を再送信する。
診断サーバ１２４は、ＡＣＫ送信後、ＥＯＴ（０４Ｈ）を受信すると、２台目の産業用機器１２２との通信を終了し、３台目の産業用機器１２３に対するポーリング電文（ＰＯＬ３）として、４２Ｈ（ＳＡ部）、５１Ｈ、０５Ｈの３バイト電文を送信する。各産業用機器は、このポーリング電文を受信するが、ＳＡ部が４２Ｈであるため、３台目の産業用機器１２３のみがこのポーリング電文を取り込み、１台目と２台目の産業用機器１２１，１２２は、このポーリング電文を無視する。すなわち、診断サーバ１２４と３台目の産業用機器１２３との通信回線が確保される。
３台目の産業用機器１２３は、取り込んだ受信電文の２バイト目が５１Ｈであるために、ポーリング電文であると判断し、診断サーバ１２４に送る情報が有るかどうかをチェックし、情報がなければ、図４に示されるように、ＥＯＴ（０４Ｈ）を送信する。
一方、診断サーバ１２４は、ポーリング電文（ＰＯＬ３）を送信後、ＥＯＴ（０４Ｈ）を受信すると、次に、１台目の産業用機器１２１に対するポーリング電文（ＰＯＬ１）として、４０Ｈ（ＳＡ部）、５１Ｈ、０５Ｈの３バイト電文を送信する。
このように、１台目の産業用機器１２１と、２台目の産業用機器１２２と、３台目の産業用機器１２３とが、それぞれ順番に診断サーバ１２４との通信回線を確保して情報を送信する。
次に、セレクティング・シーケンスについて、図５を用いて具体的に説明する。
診断サーバ１２４は、１台目の産業用機器１２１に送信したい情報が有れば、図５に示されるように、セレクティング電文（ＳＥＬ１）として、４０Ｈ（ＳＡ部）、４１Ｈ、０５Ｈの３バイト電文を送信する。
各産業用機器は、このセレクティング電文を受信するが、ＳＡ部が４０Ｈであるため、１台目の産業用機器１２１のみがこのセレクティング電文を取り込み、２台目と３台目の産業用機器１２２，１２３は、このセレクティング電文を無視する。すなわち、診断サーバ１２４と１台目の産業用機器１２１との通信回線が確保される。１台目の産業用機器１２１は、取り込んだ受信電文の２バイト目が４１Ｈであるために、セレクティング電文であると判断し、受信可能であることを通知するために、ＡＣＫ（１０Ｈ）を送信する。
一方、診断サーバ１２４は、セレクティング電文（ＳＥＬ１）を送信後、ＡＣＫ（１０Ｈ）を受信すると、情報電文を作成し、１台目の産業用機器１２１に送信する。１台目の産業用機器１２１は、情報電文を受信すると、ＳＡからＥＴＸまでの排他的論理和の値を求め、ＢＣＣと合致するかどうかのチェックを行う。１台目の産業用機器１２１は、ＢＣＣが一致すると、肯定応答としてＡＣＫ（１０Ｈ）を送信する。
診断サーバ１２４は、情報電文送信後、ＡＣＫ（１０Ｈ）を受信すると、ＥＯＴ（０４Ｈ）を送信し、１台目の産業用機器１２１との通信を終了する。次に、診断サーバ１２４は、２台目の産業用機器１２２に送信したい情報があれば、図５に示されるように、セレクティング電文（ＳＥＬ２）として、４１Ｈ（ＳＡ部）、４１Ｈ、０５Ｈの３バイト電文を送信する。
各産業用機器は、このセレクティング電文を受信するが、ＳＡ部が４１Ｈであるため、２台目の産業用機器１２２のみがこの電文を取り込み、１台目と３台目の産業用機器１２１，１２３は、このセレクティング電文を無視する。すなわち、診断サーバ１２４と２台目の産業用機器１２２との通信回線が確保される。２台目の産業用機器１２２は、取り込んだ受信電文の２バイト目が４１Ｈであるために、セレクティング電文であると判断し、受信可能であることを通知するために、ＡＣＫ（１０Ｈ）を送信する。
一方、診断サーバ１２４は、セレクティング電文（ＳＥＬ２）を送信後、ＡＣＫ（１０Ｈ）を受信すると、情報電文を作成し、２台目の産業用機器１２２に送信する。
２台目の産業用機器１２２は、情報電文を受信すると、ＳＡからＥＴＸまでの排他的論理和の値を求め、ＢＣＣと合致するかどうかのチェックを行う。例えば、２台目の産業用機器は、上記の排他的論理和とＢＣＣとが一致しない場合には、図５に示されるように、否定応答としてＮＡＫ（１５Ｈ）を送信する。
診断サーバ１２４は、情報電文送信後、ＮＡＫ（１５Ｈ）を受信すると、図５に示されるように、同一の情報電文を再送する。２台目の産業用機器１２２は、情報電文を受信すると、同様にＳＡからＥＴＸまでの排他的論理和の値を求め、ＢＣＣと合致するかどうかのチェックを行う。
２台目の産業用機器１２２は、上記の排他的論理和とＢＣＣとが一致すると、肯定応答としてＡＣＫ（１０Ｈ）を送信する。診断サーバ１２４は、情報電文の再送信後、ＡＣＫ（１０Ｈ）を受信すると、ＥＯＴ（０４Ｈ）を送信し、２台目の産業用機器１２２との通信を終了する。
このように、ポーリング・セレクティング方式による通信では、ハンドシェイクで互いに情報の正当性の確認をとりながら通信が行われるため、取りこぼしがなく情報のやりとりができる。なお、再送信の回数や、無応答待ち時間等は、システムの構成に応じて自由に設定できるようになっている。
上述したポーリング・セレクティング方式は、第１顧客Ｃ１の第１工場Ｆ１における診断サーバ１０３と産業用機器１０１，１０２間の通信、及び第２工場Ｆ２における診断サーバ１１６と産業用機器１１１〜１１５間の通信にも用いることができる。
なお、診断サーバと各産業用機器との通信は、ポーリング・セレクティング方式に限定されるものではなく、通信回線が空いていれば親子の区別なく送信することができるコンテンション方式（いわゆる早い者勝ち方式）でも良い。但し、コンテンション方式では、電文の衝突が起こり易いため、電文衝突時の対策が必要となってくる。
また、診断サーバと各産業用機器が接続されているＬＡＮにイントラネット環境が構築されていれば、診断サーバと各産業用機器との通信は、ファイル転送等で行っても良い。すなわち、診断サーバと各産業用機器にそれぞれプライベートなＩＰアドレスを設定し、ＴＣＰ／ＩＰプロトコルのアプリケーション・プロトコルであるＦＴＰの各種コマンド（例えば、ＧＥＴやＰＵＴ等）を実行してファイルの転送を行うことができる。この場合は、診断サーバがＦＴＰサーバとしての機能も備えることとなる。
一方、各診断サーバ１０３，１１６，１２４と各管理サーバ１５１，１５２との通信プロトコルは、ＴＣＰ／ＩＰをベースにした上位のアプリケーション・プロトコルとして、ファイル転送のＦＴＰ、仮想端末のｔｅｌｎｅｔ、サーバとブラウザ間のファイル転送のＨＴＴＰ、電子メールのＳＭＴＰ等が利用される。これらはシステム環境によって使い分けられる。
次に、本実施形態に係る遠隔保全システムにおける診断プロセスについて具体的に説明する。なお、図１に示される各産業用機器は、露光装置であるものとする。さらに、通信途中にあるファイアウォールでは、正常に認証され、情報の通過が阻止されないものとする。また前記ＬＡＮ１０４，１１７，１２５には、図示しないコータ・デベロッパーや、自動線幅測定器やパターン座標測定器等の図示しない計測器も接続されている。
図７には、本実施形態に係る遠隔保全システムにおける産業用機器としての露光装置１００が示されている。この露光装置１００は、ステップ・アンド・リピート方式の縮小投影露光装置（いわゆるステッパ）である。
この投影露光装置１００は、照明系ＩＯＰ、マスクとしてのレチクルＲを保持するレチクルステージＲＳＴ、レチクルＲに形成されたパターンの像を感光剤（フォトレジスト）が塗布された基板としてのウエハＷ上に投影する投影光学系ＰＬ、ウエハＷを保持して２次元平面（ＸＹ平面内）を移動するＸＹステージ２０、ＸＹステージ２０を駆動する駆動系２２、及びこれらの制御系等を備えている。制御系は、ＰＣＩバスコントローラ，Ｉ／Ｏインターフェース等を含んで構成されるワークステーション（又はマイクロコンピュータ）から成り、装置全体を統括制御する主制御装置２８を中心として構成されている。
前記主制御装置２８は、ＰＣＩバスコントローラを介してＬＡＮアダプタと接続されており、さらに該ＬＡＮアダプタを介して、診断サーバが接続されているＬＡＮケーブルとつながっている。すなわち、露光装置１００と診断サーバは、ＬＡＮで接続されている。なお、露光装置１００と診断サーバとの間の通信をＲＳ４８５等に準拠したシリアルデータ伝送で行う場合には、ＬＡＮアダプタのかわりにＲＳ４８５通信アダプタ等が用いられる。
前記レチクルステージＲＳＴは、照明系ＩＯＰの図７における下方に配置されている。このレチクルステージＲＳＴ上には不図示のバキュームチャック等の固定手段を介してレチクルＲが固定されており、このレチクルステージＲＳＴは、不図示の駆動系によってＸ軸方向（図７における紙面左右方向）、Ｙ軸方向（図７における紙面直交方向）及びθｚ方向（ＸＹ面に直交するＺ軸回りの回転方向）に微小駆動可能とされている。これにより、このレチクルステージＲＳＴは、レチクルＲのパターンの中心（レチクルセンタ）が投影光学系ＰＬの光軸ＡＸｐとほぼ一致する状態でレチクルＲを位置決め（レチクルアライメント）できるようになっている。図７では、このレチクルアライメントが行われた状態が示されている。
前記投影光学系ＰＬは、レチクルステージＲＳＴの図７における下方に、その光軸ＡＸｐの方向がＸＹ面に直交するＺ軸方向となるように配置されている。この投影光学系ＰＬとしては、ここでは両側テレセントリックな縮小系であって、Ｚ軸方向の共通の光軸ＡＸを有する複数枚のレンズエレメントから成る屈折光学系（図示省略）が用いられている。該レンズエレメントのうちの特定の数枚は、主制御装置２８からの指令に基づいて、図示しない結像特性補正コントローラによって駆動が制御され、投影光学系ＰＬの倍率、ディストーション、コマ収差、及び像面湾曲などを調整できるようになっている。
この投影光学系ＰＬの投影倍率は、例えば１／５（あるいは１／４）などとされている。このため、レチクルＲのパターンとウエハＷ上のショット領域との位置合わせ（アライメント）が行われた状態で、パルス照明光ＩＬによりレチクルＲが均一な照度で照明されると、パターン形成面のパターンが投影光学系ＰＬにより縮小されて、フォトレジストが塗布されたウエハＷ上に投影され、ウエハＷ上の各ショット領域にパターンの縮小像が形成される。
前記ＸＹステージ２０は、実際には不図示のベース上をＹ軸方向に移動するＹステージと、このＹステージ上をＸ軸方向に移動するＸステージとで構成されているが、図７ではこれらが代表的にＸＹステージ２０として示されている。このＸＹステージ２０上にウエハテーブル１８が搭載され、このウエハテーブル１８上に不図示のウエハホルダを介してウエハＷが真空吸着等によって保持されている。
前記ウエハテーブル１８は、ウエハＷを保持するウエハホルダをＺ軸方向及びＸＹ面に対する傾斜方向に微小駆動するもので、Ｚ・チルトステージとも称される。このウエハテーブル１８の上面には、移動鏡２４が設けられており、この移動鏡２４にレーザビームを投射して、その反射光を受光することにより、ウエハテーブル１８のＸＹ面内の位置を計測するレーザ干渉計２６が移動鏡２４の反射面に対向して設けられている。なお、実際には、移動鏡はＸ軸に直交する反射面を有するＸ移動鏡と、Ｙ軸に直交する反射面を有するＹ移動鏡とが設けられ、これに対応してレーザ干渉計もＸ方向位置計測用のＸレーザ干渉計とＹ方向位置計測用のＹレーザ干渉計とが設けられているが、図７ではこれらが代表して移動鏡２４、レーザ干渉計２６として図示されている。なお、Ｘレーザ干渉計及びＹレーザ干渉計は測長軸を複数有する多軸干渉計であり、ウエハテーブル１８のＸ、Ｙ位置の他、回転（ヨーイング（Ｚ軸回りの回転であるθｚ回転）、ピッチング（Ｘ軸回りの回転であるθｘ）、ローリング（Ｙ軸回りの回転であるθｙ））も計測可能となっている。従って、以下の説明ではレーザ干渉計２６によって、ウエハテーブル１８のＸ、Ｙ、θｚ、θｙ、θｘの５自由度方向の位置が計測されるものとする。
レーザ干渉計２６の計測値は主制御装置２８に出力され、主制御装置２８はこのレーザ干渉計２６の出力に基づいて駆動系２２を介してＸＹステージ２０を制御することにより、ウエハテーブル１８が位置決めされる。この他、ウエハＷ表面のＺ方向位置は、例えば特開平６−２８３４０３号公報及びこれに対応する米国特許第５，４４８，３３２号等に開示される送光系５０ａ及び受光系５０ｂを有する斜入射方式の多点焦点位置検出系から成るフォーカスセンサＡＦＳによって計測されるようになっている。このフォーカスセンサＡＦＳの計測値も主制御装置２８に出力されており、主制御装置２８では、フォーカスセンサＡＦＳの出力に基づいて駆動系２２を介してウエハテーブル１８を制御していわゆるフォーカスレベリング制御を行うようになっている。本国際出願で指定した指定国又は選択した選択国の国内法令が許す限りにおいて、上記公報及び米国特許における開示を援用して本明細書の記載の一部とする。
本実施形態の露光装置１００では、上述のようにしてウエハテーブル１８を介してウエハＷがＸ、Ｙ、Ｚ、θｘ、θｙの５自由度方向の位置及び姿勢制御がなされるようになっている。なお、残りのθｚ（ヨーイング）の誤差については、レーザ干渉計２６で計測されたウエハテーブル１８のヨーイング情報に基づいてレチクルステージＲＳＴを回転させることによって補正される。
また、ウエハテーブル１８上には、その表面がウエハＷの表面と同じ高さになるような基準板ＦＰが固定されている。この基準板ＦＰの表面には、いわゆるベースライン計測等に用いられる基準マークを含む各種の基準マークが形成されている。
更に、本実施形態では、投影光学系ＰＬの側面に、ウエハＷに形成されたアライメントマークを検出するマーク検出系としてのオフ・アクシス方式のアライメント検出系ＡＳが設けられている。このアライメント検出系ＡＳは、ＬＳＡ（Ｌａｓｅｒ Ｓｔｅｐ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）系、ＦＩＡ（Ｆｉｌｅｄ Ｉｍａｇｅ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）系、ＬＩＡ（Ｌａｓｅｒ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｉｃ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）系の３種類のアライメントセンサを有しており、基準板ＦＰ上の基準マーク及びウエハ上のアライメントマークのＸ、Ｙ２次元方向の位置計測を行なうことが可能である。
ここで、ＬＳＡ系は、レーザ光をマークに照射して、回折・散乱された光を利用してマーク位置を計測する最も汎用性のあるセンサであり、従来から幅広いプロセスウエハに使用される。ＦＩＡ系は、ハロゲンランプ等のブロードバンド（広帯域）光でマークを照明し、このマーク画像を画像処理することによってマーク位置を計測するセンサであり、アルミ層やウエハ表面の非対称マークに有効に使用される。また、ＬＩＡ系は、回折格子状のマークに周波数をわずかに変えたレーザ光を２方向から照射し、発生した２つの回折光を干渉させて、その位相からマークの位置情報を検出するセンサであり、低段差や表面荒れウエハに有効に使用される。
本実施形態では、これら３種類のアライメントセンサを、適宜目的に応じて使い分け、アライメント検出系ＡＳのいわゆるベースライン計測や、ウエハ上の各ショット領域の正確な位置計測を行なうファインアライメント等を行なうようになっている。この他、アライメント検出系ＡＳとして、コヒーレントな検出光を対象マークに照射し、その対象マークから発生する２つの回折光（例えば同次数）を干渉させて検出するアライメントセンサなども用いることができる。
アライメント検出系ＡＳを構成する各アライメントセンサからの情報ＤＳは、アライメント制御装置１６によりＡ／Ｄ変換され、デジタル化された波形信号を演算処理してマーク位置が検出される。この結果が主制御装置２８に送られるようになっている。
さらに、本実施形態の露光装置１００では、図示が省略されているが、レチクルＲの上方に、例えば特開平７−１７６４６８号公報及びこれに対応する米国特許第５，６４６，４１３号等に開示される、投影光学系ＰＬを介してレチクルＲ上のレチクルマーク（図示省略）と基準板ＦＰ上のマークとを同時に観察するための露光波長を用いたＴＴＲ（Ｔｈｒｏｕｇｈ Ｔｈｅ Ｒｅｔｉｃｌｅ）アライメント系から成る一対のレチクルアライメント顕微鏡が設けられている。これらのレチクルアライメント顕微鏡の検出信号は、アライメント制御装置１６を介して主制御装置２８に供給されるようになっている。なお、本国際出願で指定した指定国又は選択した選択国の国内法令が許す限りにおいて、上記公報及び米国特許における開示を援用して本明細書の記載の一部とする。
上述したように、前記主制御装置２８は、露光装置１００の各部を制御するとともに、各種センサ等からのデータが供給される。前記情報出力部３０１及び前記自己診断部３０２は、前記主制御装置２８の一部を構成し、露光装置１００の各種センサ等から供給される情報に基づいて各種ファイルを作成したり、露光装置１００の各部における状態の自己計測、自己診断を行うとともに、前記ＬＡＮアダプタ及び前記ＬＡＮケーブルを介して診断サーバに各種ファイル等を送信することができる。
前記各露光装置から診断サーバへの情報は、一部コード化されており、そのコードには、情報の種別を示す情報コード、工場を示すＦａｂコード、露光装置を特定するための装置コード、データの種別を示す項目コード、顧客を特定するための顧客コード等がある。
例えば、情報コードは、図８に示されるように、イベントログファイルに「００５」、シーケンスログファイルに「００８」、エラーログファイルに「０１１」、稼動履歴ログファイルに「０１５」、計測データログファイルに「０２５」、設定データログファイルに「０３１」、診断結果ファイルに「１００」、等が設定されている。
また、Ｆａｂコードは、図９に示されるように、第１工場に「００１」、第２工場に「００２」、等が設定されている。
さらに、装置コードは、図１０に示されるように、１台目の露光装置に「００１」、２台目の露光装置に「００２」、３台目の露光装置に「００３」、４台目の露光装置に「００４」、５台目の露光装置に「００５」、等が設定されている。
また、項目コードは、図１１に示されるように、ポジショニングエラーに「００４５」、プリアライメントサーチエラーに「０２８９」、ウエハ交換開始時刻に「０３０１」、ウエハ交換終了時刻に「０３０２」、ウエハ搬送機能に「０４５７」、照度データに「１４２０」、照度低下に「１４７５」、等が設定されている。
顧客コードは、例えば、第１顧客に「１５５３７」、第２顧客に「１８４７３」が設定されている。
上述した各コードの長さや設定内容は一例であり、産業用機器の種類やシステム構成によって異なってくる。また、上記設定内容はデータベース化されており、ファイル作成時やファイル分析時等に参照できるようになっている。
また、診断時において、モニター対象データが正常か異常かの判断基準となる判定値は、あらかじめモニター対象データ毎に設定されており、判定値データベースに登録されている。本実施形態では、一例として、図１２に示されるように、ポジショニングエラー及びプリアライメントサーチエラーの発生頻度は、０．１回以上０．３回未満でレベル３異常、０．３回以上０．５回未満でレベル２異常、０．５回以上でレベル１異常、と判定し、ロードスライダー位置決めエラー、ＣＯＺ軸エラー及びＬＺ軸エラーの発生頻度は、０．２回以上０．４回未満でレベル３異常、０．４回以上０．６回未満でレベル２異常、０．６回以上でレベル１異常、と判定するように判定値データベースに登録されている。但し、これらの判定値は、変更できるようになっている。
次に、露光装置の情報出力部３０１で作成され、前記診断サーバに通知される前記エラーログファイル、前記計測データログファイル、及び前記シーケンスログファイルの構成について説明する。
前記エラーログファイルは、一例として、図１３Ａに示されるように、情報コード部と、工場を特定するためのＦａｂコード部と、露光装置を特定するための装置コード部と、エラーの種別を示す項目コード部と、エラーの発生日時を示す日時部とから構成される。なお、Ｆａｂコード部については、各顧客の各工場毎に診断サーバが設置されているため、必ずしも必要ではないが、本実施形態では、情報の有効性チェック用として前記エラーログファイルにＦａｂコード部を付加している。但し、エラーログファイルは、図１３Ａに示される形式に限定されるものではなく、産業用機器の種類やシステム構成によって異なり、更に他のコード及び情報が付加される場合がある。
前記計測データログファイルは、一例として、図１４Ａに示されるように、情報コード部と、工場を特定するためのＦａｂコード部と、露光装置を特定するための装置コード部と、計測データの種別を示す項目コード部と、計測日時を示す日時部と、計測データを示す計測データ部とから構成される。計測データ部は、計測データの種別によってデータ長が異なっている。なお、Ｆａｂコード部については、各顧客の各工場毎に診断サーバが設置されているため、必ずしも必要ではないが、本実施形態では、前記エラーログファイルと同様な理由で前記計測データログファイルにＦａｂコード部を付加している。但し、計測データログファイルは、図１４Ａに示される形式に限定されるものではなく、産業用機器の種類やシステム構成によって異なり、更に他のコード及び情報が付加される場合がある。
前記シーケンスログファイルは、一例として、図１５Ａに示されるように、情報コード部と、工場を特定するためのＦａｂコード部と、露光装置を特定するための装置コード部と、ロギング開始日時を示す日時部と、シーケンスデータを示すシーケンスデータ部とから構成される。シーケンスデータ部は、可変長であり、複数のイベント項目データと該イベント発生時刻とから構成されている。なお、Ｆａｂコード部については、各顧客の各工場毎に診断サーバが設置されているため、必ずしも必要ではないが、本実施形態では、前記エラーログファイルと同様な理由で前記シーケンスログファイルにＦａｂコード部を付加している。但し、シーケンスログファイルは、図１５Ａに示される形式に限定されるものではなく、産業用機器の種類やシステム構成によって異なり、更に他のコード及び情報が付加される場合がある。
次に、前記診断サーバから前記管理サーバに通知される前記異常判定情報の構成について説明する。
前記異常判定情報は、一例として、図１６Ａに示されるように、情報コード部と、顧客を特定するための顧客コード部と、工場を特定するためのＦａｂコード部と、露光装置を特定するための装置コード部と、異常診断の項目を示す項目コード部と、異常の発生日時を示す日時部と、異常の内容を示す内容部と、から構成される。また、内容部は、異常レベル情報、判定の対象データ情報、及び判定値情報等から構成される。前記異常レベル情報には、レベル１異常の場合は「０１」、レベル２異常の場合は「０２」、レベル３異常の場合は「０３」、レベル１異常予測の場合は「１１」、レベル２異常予測の場合は「１２」、レベル３異常予測の場合は「１３」がセットされる。なお、本実施形態では、管理サーバが、顧客毎に設置されているため、顧客コード部は省略されていても良い。
本実施形態に係る頻度診断の一具体例として、第１顧客Ｃ１の第２工場Ｆ２の露光装置１１２におけるプリアライメント精度悪化の診断の場合について説明する。
露光装置１１２において、主制御装置２８は、プリアライメントサーチ時に、アライメント制御装置１６からのデータに基づいて、プリアライメントサーチエラーを検出すると、情報出力部３０１にてエラーログファイルを作成し、診断サーバ１１６に出力する。
本実施形態において、プリアライメントサーチエラーが発生した場合に、情報出力部３０１にて作成されるエラーログファイルは、図１３Ｂに示されるように、情報コード部にエラーログファイルを示す「０１１」が、Ｆａｂコード部に第２工場を示す「００２」が、装置コード部に２台目を示す「００２」が、項目コード部にプリアライメントサーチエラーを示す「０２８９」が、日時部にエラー発生日時を示す「２０００１２１５１８２１」がセットされている。なお、エラー発生日時は、２０００年１２月１５日１８時２１分を意味している。
第１顧客Ｃ１の第２工場Ｆ２における診断サーバ１１６と各露光装置１１１〜１１５との間の通信が、前述したポーリング・セレクティング方式で行われている場合には、前記エラーログファイルは、図１３Ｃに示されるように、前記情報電文における情報部にセットされて、露光装置１１２から診断サーバ１１６に送信される。なお、実際には、前記情報電文における情報部のデータは、ＡＳＣＩＩコードに変換されている。例えば、情報コードデータ「０１１」は、３０Ｈ、３１Ｈ、３１Ｈの３バイトデータに変換されている。
診断サーバ１１６の情報収集部３０３は、露光装置１１２から情報電文を正常に受信すると、受信した情報電文から情報部を抽出する。そして、情報収集部３０３は、情報部の情報コードが「０１１」であるため、受信した情報がエラーログファイルであると判断し、情報分別部３０４を介してエラー情報ファイルを作成をする。情報分別部３０４で作成されるエラー情報ファイルは、前記エラーログファイルと同一内容である。
前記エラー情報ファイルは、情報保存部３０５にて、圧縮され、記憶媒体に保存されるとともに、情報登録部３０６にて、エラー情報データベースに登録される。該エラー情報データベースのデータレコードは、本実施形態では、一例として、図１７に示されるように、顧客コードフィールドと、Ｆａｂコードフィールドと、装置コードフィールドと、項目コードフィールドと、日時フィールドと、から構成されている。なお、診断サーバ１１６は、第１顧客の第２工場Ｆ２専用であるため、顧客コードフィールドやＦａｂコードフィールドは必ずしも必要ではないが、ベンダー側で前記エラー情報データベースを参照する場合を考慮して、顧客コードフィールド及びＦａｂコードフィールドを設けている。
また、本実施形態では、前記エラー情報データベースは、図１７に示されるように、発生日時順に登録されているが、装置コード順あるいは項目コード順に登録されても良い。更に、装置コード別あるいは項目コード別のエラー情報データベースを作成しても良い。
次に、診断サーバ１１６の診断部３０７は、前記エラー情報ファイルの項目コードが「０２８９」であることから、エラーの内容がプリアライメントサーチエラーであると判断する。さらに、診断部３０７は、前記診断データベースを参照し、受信情報がプリアライメントサーチエラーであることから、前記エラー情報ファイル及び前記エラー情報データベースに格納されているプリアライメントサーチエラーの発生頻度に基づいてプリアライメント精度悪化の診断を行うことを確認する。
そこで、診断部３０７は、前記エラー情報ファイルから装置コード（００２）と日時データ（２０００１２１５１８２１）を抽出する。そして、診断部３０７は、記憶媒体に保存されているイベントログファイルを参照し、２０００年１２月１４日１８時２１分から２０００年１２月１５日１８時２１分までの間（２４時間）に、露光装置１１２において処理されたウエハの枚数Ｎを求める。さらに、診断部３０７は、記憶媒体に保存されている前記エラー情報データベースを参照し、２０００年１２月１４日１８時２１分から２０００年１２月１５日１８時２１分までの間（２４時間）に、露光装置１１２において発生したプリアライメントサーチエラーの件数Ｍを求める。そして、次の（１）式を用いてウエハ１枚あたりのプリアライメントサーチエラーの発生頻度ＭＡを算出する。
ＭＡ＝Ｍ／Ｎ …（１）
さらに、診断部３０７は、記憶媒体に保存されている前記判定値データベース（図１２参照）を検索して、プリアライメントサーチエラー発生頻度の判定値を抽出し、上記（１）式を用いて算出したウエハ１枚当たりのプリアライメントサーチエラーの発生頻度ＭＡと比較する。ここで、例えば、ウエハ１枚当たりのプリアライメントサーチエラーの発生頻度ＭＡが０．２回であれば、レベル３異常の判定値すなわち０．１回を超えており、しかもレベル２異常の判定値すなわち０．３回未満であるため、診断部３０７は、露光装置１１２のレベル３異常と診断し、診断結果としての異常判定情報を作成するとともに、診断結果通知部３０８を介してベンダー側の管理サーバ１５１に通知する。
なお、ウエハ１枚当たりのプリアライメントサーチエラーの発生頻度ＭＡがレベル３異常の判定値未満であっても、所定の期間内におけるウエハ１枚当たりのプリアライメントサーチエラーの発生頻度ＭＡに基づいて、最小二乗法を用いた近似処理にて所定の将来における発生頻度ＭＡを予測し、この予測される発生頻度ＭＡが、レベル３異常の判定値を超えていれば、診断部３０７は、診断結果としての異常判定情報を作成するとともに、診断結果通知部３０８を介してベンダー側の管理サーバ１５１に通知する。
診断部３０７で作成される前記異常判定情報では、図１６Ｂに示されるように、情報コード部に診断結果ファイルを示す「１００」が、顧客コード部に第１顧客Ｃ１を示す「１５５３７」が、Ｆａｂコード部に第２工場を示す「００２」が、装置コード部に２台目の露光装置を示す「００２」が、項目コード部にプリアライメントサーチエラーであることを示す「０２８９」が、日時部に異常発生日時を示す「２０００１２１５１８２１」が、内容部に診断結果がレベル３異常であることを示す「０３」とウエハ１枚当たりのプリアライメントサーチエラー頻度が０．２回であることを示す「０００２」と判定値が０．１回を示す「０００１」とが、セットされる。
診断サーバ１１６の診断結果通知部３０８から送信される前記異常判定情報は、図１のファイアウォール１１８を通過し、第１顧客Ｃ１の社内ＬＡＮ１１０を経由して、ファイアウォール１０７を通過して、専用回線１４０を介し、さらに、ファイアウォール１５８を通過して、ベンダー１５０側の社内ＬＡＮ１３０を経由し、さらにファイアウォール１５７及び１５３を通過して、管理サーバ１５１に到達する。診断サーバ１１６から送信された前記異常判定情報は、ほぼリアルタイムで、管理サーバ１５１に到達する。なお、本実施形態では、専用回線を利用しているが、これに限定されるものではなく、公衆回線を利用することも可能である。さらに、インターネットを利用して、前記異常判定情報を診断サーバ１１６から管理サーバ１５１に送信することも可能である。また、前記異常判定情報は、電子メール等で、第１顧客Ｃ１の管理者端末１０６にも通知される。
管理サーバ１５１の通知部３１１は、診断サーバ１１６から前記異常判定情報を受信すると、その受信内容を電子メール等で担当者端末１５９に転送する。なお、前記異常判定情報は、診断サーバ１１６から直接、担当者端末１５９に電子メール等で送付することも可能である。
管理サーバ１５１の集計部３１２は、前記異常判定情報の内容を異常診断結果履歴データベースに登録する。該異常診断結果履歴データベースのデータレコードは、図１８に示されるように、顧客フィールドと、Ｆａｂフィールドと、装置フィールドと、項目フィールドと、日時フィールドと、診断結果フィールドと、判定データフィールドと、判定値フィールドと、で構成されている。
なお、本実施形態では、前記異常診断結果履歴データベースは、図１８に示されるように、診断日時順に登録されているが、装置コード順あるいは項目コード順に登録されても良い。更に、装置別あるいは項目別の異常診断結果履歴データベースを作成しても良い。
さらに、管理サーバ１５１の詳細情報収集部３１３は、前記異常判定情報のＦａｂコードが「００２」、装置コードが「００２」、項目コードが「０２８９」であることから、診断サーバ１１６の情報保存部３０５や情報登録部３０６を介して、診断サーバ１１６の記憶媒体に保存されている露光装置１１２のイベントログファイルや関連するデータベースからデータをダウンロードし、管理サーバ１５１の記憶媒体に保存する。
担当者は、担当者端末１５９に送付された前記異常判定情報の内容をチェックし、分析の必要があると判断した場合には、情報分析端末１５５を操作し、管理サーバ１５１の記憶媒体に保存されている露光装置１１２の前記イベントログファイルや関連する前記データベース等を分析し、プリアライメントサーチエラーが発生した原因を調査する。そして、担当者は、その原因に応じて、社内システムとのリンク部３１６を介して部品交換の手配を行う。分析結果や対応策は、ベンダー側の社内ＬＡＮ１３０を介して図示しない保守要員端末に通知され、保守要員は必要な場合には即座に対応する。また、同時に、第１顧客Ｃ１側の管理者端末１０６にも分析結果は電子メール等で通知され、第１顧客Ｃ１側の管理者は、その通知に基づいて必要な処置を行う。
以上、説明したように、プリアライメント精度の悪化については、プリアライメントのサーチエラーの発生頻度を常時チェックすることにより、初期段階で異常を検知することができ、さらに、その原因も即座に分析することができるため、早期対応が可能となり、プリアライメントの精度を維持することができる。さらに、プリアライメント精度の悪化による露光装置のダウンタイムを必要最小限に抑制することができ、生産性の向上を図ることが可能となる。
また、エラーの現象、その原因、分析方法、及び対応策については、ベンダー側の社内ＬＡＮ１３０のウエブサーバ上のデータベースに登録され、関係者はブラウザ等で閲覧することができるようになっている。
次に、本実施形態に係る経時変化診断の一具体例として、第２顧客Ｃ２の工場に設置されている露光装置１２１における光学系の照度低下の診断の場合について説明する。
露光装置１２１の情報出力部３０１は、定期メンテナンスが行われると、照度データを含む計測データログファイルを作成し、診断サーバ１２４に送信する。
本実施形態において、情報出力部３０１で作成される計測データログファイルは、図１４Ｂに示されるように、情報コード部に計測データログファイルを示す「０２５」が、Ｆａｂコード部に第１工場を示す「００１」が、装置コード部に１台目を示す「００１」が、項目コード部に照度データを示す「１４２０」が、日時部に計測日時を示す「２０００１２２００９１５」が、計測データ部に露光領域内の複数の計測点での照度データがセットされている。なお、計測日時は、２０００年１２月２０日９時１５分を意味している。
第２顧客Ｃ２における診断サーバ１２４と各露光装置１２１〜１２３との間の通信が、前述したポーリング・セレクティング方式で行われている場合には、計測データログファイルは、図１４Ｃに示されるように、前記情報電文における情報部にセットされて、露光装置１２１から診断サーバ１２４に送信される。なお、実際には、前記情報電文における情報部のデータは、ＡＳＣＩＩコードに変換されている。例えば、情報コードデータ「０２５」は、３０Ｈ、３２Ｈ、３５Ｈの３バイトデータに変換されている。
診断サーバ１２４の情報収集部３０３は、露光装置１２１から情報電文を正常に受信すると、受信した情報電文から情報部を抽出する。そして、情報収集部３０３は、情報部の情報コードが「０２５」であり、さらに、項目コードが「１４２０」であるため、受信した情報が照度データの計測データログファイルであると判断する。そこで、情報収集部３０３は、情報分別部３０４を介して前記情報部から計測日時と計測データを抽出し、照度データファイルを作成する。該照度データファイルには、露光領域内の複数の計測点での照度データと計測日時が含まれている。
前記照度データファイルは、情報保存部３０５にて、圧縮され、記憶媒体に保存されるとともに、情報登録部３０６にて、照度データベースに登録される。
次に、診断サーバ１２４の診断部３０７は、前記診断データベースを参照し、受信情報が照度計測データであることから、前記照度データファイル及び前記照度データベースに格納されている照度データから算出される照度データの予測値に基づいて照度低下の診断を行うことを確認する。そこで、診断部３０７は、前記照度データファイルから照度データを抽出するとともに、前記照度データベースを参照し、予め設定されている期間内に計測された照度データを抽出する。そして、照度データの経時変化を示す近似直線を最小二乗法により算出し、予め設定されている将来（数日又は数週間先等）での照度データＰを予測する。ここでは、露光領域内の複数の計測点での照度データの平均値を用いているが、所定の計測点での照度データを用いても良い。なお、照度ムラの診断の場合には、露光領域内での照度の不均一性に基づいて、診断が行われる。
さらに、診断部３０７は、記憶媒体に保存されている前記判定値データベースから照度データの判定値を検索し、照度データの前記予測値Ｐと比較する。ここで、前記予想値Ｐがレベル３異常の判定値Ｓ以上であり、かつレベル２異常の判定値未満である場合は、診断部３０７は、露光装置１２１のレベル３異常と診断し、異常判定情報を作成し、診断結果通知部３０８を介してベンダー側の管理サーバ１５２に通知する。
前記異常判定情報では、図１６Ｃに示されるように、情報コード部に診断結果ファイルを示す「１００」が、顧客コード部に第２顧客Ｃ２を示す「１８４７３」が、Ｆａｂコード部に第１工場を示す「００１」が、装置コード部に１台目の露光装置を示す「００１」が、項目コード部に照度低下であることを示す「１４７５」が、日時部に異常発生日時「２０００１２２００９１５」が、内容部に診断結果がレベル３異常予測であることを示す「１３」（受信した照度データそのものの値がすでに前記判定値Ｓ以上であれば「０３」）と照度データの前記予想値Ｐと前記判定値Ｓとが、セットされる。なお、異常発生日時は、２０００年１２月２０日９時１５分を意味している。
診断サーバ１２４の診断結果通知部３０８から送信される前記異常判定情報は、図１のファイアウォール１２６を通過し、第２顧客Ｃ２の社内ＬＡＮ１２０を経由し、ファイアウォール１２８を通過して、専用回線１４０を介し、さらに、ファイアウォール１５８を通過して、ベンダー１５０側の社内ＬＡＮ１３０を経由し、さらにファイアウォール１５７及び１５４を通過して、管理サーバ１５２に到達する。また、前記異常判定情報は、電子メール等で、第２顧客Ｃ２の管理者端末１２７にも通知される。
診断サーバ１２４から前記異常判定情報を受信すると、管理サーバ１５２の通知部３１１は、受信内容を電子メール等で担当者端末１５９に転送する。また、集計部３１２は、前記異常判定情報の内容を異常診断結果履歴データベースに登録する。
さらに、詳細情報収集部３１３は、前記異常判定情報の装置コードが「００１」、項目コードが「１４７５」であることから、診断サーバ１２４の情報保存部３０５や情報登録部３０６を介して、診断サーバ１２４の記憶媒体に保存されている露光装置１２１の前記照度データファイルや前記照度データベースからデータをダウンロードし、管理サーバ１５２の記憶媒体に保存する。
担当者は、担当者端末１５９に送付された前記異常判定情報の内容をチェックし、分析の必要があると判断した場合には、情報分析端末１５５を操作し、管理サーバ１５２の記憶媒体に保存されている前記照度データファイル及び前記照度データベース等を参照し、照度の均一性等の詳細データを分析し、照度低下の原因を調査する。そして、担当者は、その原因に応じて、社内システムとのリンク部３１６を介してＢＭＵ（ビームマッチングユニット）やＩＵ（照明ユニット）の部品の手配を行う。分析結果や対応策は、ベンダー側の社内ＬＡＮ１３０を介して図示しない保守要員端末に通知され、保守要員は必要な場合には即座に対応する。また、同時に、第２顧客Ｃ２側の管理者端末１２７にも分析結果は電子メール等で通知され、第２顧客Ｃ２側の管理者は、その通知に基づいて必要な処置を行う。例えば、光学系の清掃等を行う。
以上、説明したように、照度低下については、照度の経時変化を常時チェックし、異常を予測することにより、製品の品質に悪影響を及ぼす前に異常を検知することができ、さらに、その原因も即座に分析することができるため、早期対応が可能となり、露光精度を維持することが可能となる。また、交換が必要となる部品を、交換時期に備えて手配するため、不要な部品の在庫を減らすことができる。しかも、対応時期に余裕があるため、保守要員の手配を予約することができる。さらに、照度低下による露光装置のダウンタイムを極力抑制することができ、生産性の向上を図ることが可能となる。
また、エラーの現象、その原因、分析方法、及び対応策については、ベンダー側の社内ＬＡＮ１３０のウエブサーバ上のデータベースに登録され、関係者はブラウザ等で閲覧することができるようになっている。
さらに、本実施形態に係る装置間比較診断の一具体例として、第１顧客Ｃ１の第１工場Ｆ１に設置されている露光装置１０１におけるウエハ搬送系の搬送機能診断の場合について説明する。なお、ここでは、第１工場Ｆ１に設置されている露光装置１０１，１０２、及び第２工場Ｆ２に設置されている露光装置１１１，１１２，１１３，１１４，１１５はグループ化されているものとする。
露光装置１０１の情報出力部３０１は、ウエハの交換が指示されると、シーケンスログの取得を開始する。そして、所定の時間が経過すると、シーケンスログの取得を停止し、シーケンスログファイルを作成するとともに、作成したシーケンスログファイルを診断サーバ１０３に送信する。
本実施形態において、作成されるシーケンスログファイルは、図１５Ｂに示されるように、情報コード部にシーケンスログファイルを示す「００８」が、Ｆａｂコード部に第１工場を示す「００１」が、装置コード部に１台目を示す装置コード「００１」が、日時部にロギング開始日時を示す「２０００１２２５１３００」が、シーケンスデータ部にウエハ交換開始の項目コード「０３０１」とウエハの交換開始時刻ｔＳ、及びウエハ交換終了の項目コード「０３０２」とウエハの交換終了時刻ｔＦがセットされている。なお、ロギング開始日時は、２０００年１２月２５日１３時００分を意味している。
第１顧客Ｃ１の第１工場Ｆ１における診断サーバ１０３と露光装置１０１，１０２との間の通信が、前述したポーリング・セレクティング方式で行われている場合には、シーケンスログファイルは、図１５Ｃに示されるように、前記情報電文における情報部にセットされて、露光装置１０１から診断サーバ１０３に送信される。なお、実際には、前記情報電文における情報部のデータは、ＡＳＣＩＩコードに変換されている。例えば、情報コードデータ「００８」は、３０Ｈ、３０Ｈ、３８Ｈの３バイトデータに変換されている。
診断サーバ１０３の情報収集部３０３は、露光装置１０１からの情報電文を正常に受信すると、受信した情報電文から情報部を抽出する。そして、情報収集部３０３は、情報部の情報コードが「００８」であるため、受信した情報がシーケンスログファイルであると判断し、情報分別部３０４を介して、前記情報部から必要な情報を抽出し、ウエハ交換データファイルを作成する。該ウエハ交換データファイルは、図１９Ａに示されるように、一例として、情報の種別を示す情報コード部と、工場を特定するためのＦａｂコード部と、露光装置を特定するための装置コード部と、データの種別を示す項目コード部と、ウエハ交換を開始した日付を示す交換日部と、交換を開始した時刻を示す交換開始時刻部と、交換を終了した時刻を示す交換終了時刻と、から構成される。
前記ウエハ交換データファイルは、情報保存部３０５にて、圧縮され、記憶媒体に保存されるとともに、情報登録部３０６にて、ウエハ交換データベースに登録される。ウエハ交換データベースのデータレコードは、図１９Ｂに示されるように、一例として、顧客フィールドと、Ｆａｂフィールドと、装置フィールドと、項目フィールドと、交換日フィールドと、交換開始時刻フィールドと、交換終了時刻フィールドと、から構成される。
次に、診断サーバ１２４の診断部３０７は、前記診断データベースを参照し、受信情報がウエハ交換データであることから、前記ウエハ交換データファイル及び前記ウエハ交換データベースに格納されているウエハ交換時間のトレンドデータに基づいてウエハ搬送機能低下の診断を行うことを確認する。そこで、先ず診断部３０７は、前記ウエハ交換データファイルからウエハの交換開始時刻ｔＳ、及びウエハの交換終了時刻ｔＦを抽出し、次の（２）式によりウエハの交換に要した時間ｔＣ（以下、「ウエハ交換時間」と略述する）を算出する。
ｔＣ＝ｔＦ−ｔＳ …（２）
さらに、診断部３０７は、前記ウエハ交換データベースを参照し、２０００年１２月２４日１３時００分から２０００年１２月２５日１３時００分までの間（２４時間）に行われたウエハ交換に要した時間の平均値、すなわち平均ウエハ交換時間ｔＡＣを算出する。また、予め設定されている装置グループに属する他の露光装置１０２，１１１，１１２，１１３，１１４，１１５についても、それぞれ同様に、２０００年１２月２４日１３時００分から２０００年１２月２５日１３時００分までの間（２４時間）に行われたウエハ交換に要した時間の平均値ｔＢＣ，ｔＣＣ，ｔＤＣ，ｔＥＣ，ｔＦＣ，ｔＧＣを算出する。なお、第２工場に設置されている露光装置１１１〜１１５については、第２工場側の診断サーバ１１６に依頼する。そして、次の（３）式を用いて、グループ内の露光装置全体の平均ウエハ交換時間ｔＴＣを算出する。
ｔＴＣ＝（ｔＡＣ＋ｔＢＣ＋ｔＣＣ＋ｔＤＣ＋ｔＥＣ＋ｔＦＣ＋ｔＧＣ）／７ …（３）
次に、露光装置全体の平均ウエハ交換時間ｔＴＣと診断対象となる露光装置１０１の平均ウエハ交換時間ｔＡＣとの差分ΔｔＣを次の（４）式を用いて算出する。
ΔｔＣ＝｜ｔＴＣ−ｔＡＣ｜ …（４）
さらに、診断部３０７は、記憶媒体に格納されている判定値データベースからウエハ交換時間の判定値を検索し、前記差分ΔｔＣと比較する。ここで、前記差分ΔｔＣがレベル３異常の判定値ＷＳ以上でかつレベル２異常の判定値未満の場合は、露光装置１０１のレベル３異常と診断し、異常判定情報を作成するとともに、診断結果通知部３０８を介してベンダー側の管理サーバ１５１に通知する。
なお、前記差分ΔｔＣがレベル３異常の判定値未満であっても、所定の期間内における差分ΔｔＣに基づいて、最小二乗法を用いた近似処理にて所定の将来における差分ΔｔＣを予測し、この予測される差分ΔｔＣが、レベル３異常の判定値を超えていれば、診断部３０７は、診断結果としての異常判定情報を作成するとともに、診断結果通知部３０８を介してベンダー側の管理サーバ１５１に通知する。
前記異常判定情報では、図１６Ｄに示されるように、情報コード部に診断結果であることを示す「１００」が、顧客コード部に第１顧客Ｃ１を示す「１５５３７」が、Ｆａｂコード部に第１工場を示す「００１」が、装置コードに１台目を示す「００１」が、項目コード部にウエハ搬送系のエラーであることを示す「０４５７」が、日時部に発生日時「２０００１２２５１３００」が、内容部に診断結果がレベル３異常であることを示す「０３」（但し、予測値がレベル３異常であれば「１３」）と前記差分ΔｔＣと前記判定値ＷＳとが、セットされている。なお、異常発生日時は、２０００年１２月２５日１３時００分を意味している。
図１に戻り、診断サーバ１０３からの前記異常判定情報は、ファイアウォール１０５を通過し、第１顧客Ｃ１の社内ＬＡＮ１１０を経由し、ファイアウォール１０７を通過して、専用回線１４０を介し、さらに、ファイアウォール１５８を通過して、ベンダー１５０側の社内ＬＡＮ１３０を経由し、さらにファイアウォール１５７及び１５３を通過して、管理サーバ１５１に到達する。また、前記異常判定情報は、電子メール等で、第１顧客Ｃ１の管理者端末１０６にも通知される。
管理サーバ１５１の通知部３１１は、診断サーバ１０３から前記異常判定情報を受信すると、その受信内容を電子メール等で担当者端末１５９に転送する。また、集計部３１２は、前記異常判定情報の内容を前記異常診断結果履歴データベースに登録する。
詳細情報収集部３１３は、前記異常判定情報のＦａｂコードが「００１」、装置コードが「００１」、項目コードが「０４５７」であることから、診断サーバ１０３の情報保存部３０５や情報登録部３０６を介して、診断サーバ１０３の記憶媒体に保存されている露光装置１０１のウエハ１枚毎の交換時間データ、ウエハ位置の詳細情報（ウエハが露光装置内のどの位置に停滞していたか等）、ウエハの搬送に関連するエラー情報等をダウンロードし、管理サーバ１５１の記憶媒体に保存する。
担当者は、担当者端末１５９に送付された前記異常判定情報の内容をチェックし、分析が必要があると判断した場合には、情報分析端末１５５を操作し、管理サーバ１５１の記憶媒体に保存されている前記ウエハ位置の詳細情報、前記エラー情報等を参照し、問題箇所を限定して原因を調査する。そして、担当者は、その原因に応じて、必要があれば社内システムとのリンク部３１６を介して部品交換の手配を行う。これらの情報は、ベンダー側の社内ＬＡＮ１３０を介して保守要員にも通知され、保守要員は必要な場合には即座に対応する。また、同時に、第１顧客Ｃ１側の管理者端末１０６にも分析結果は電子メール等で通知され、第１顧客Ｃ１側の管理者は、その通知に基づいて必要な処置を行う。
以上のように、ウエハ搬送系の搬送機能については、ウエハ交換に要する時間を他の露光装置の場合と定期的に比較することにより、初期段階で異常を検知することができ、さらに、その原因も即座に分析することができるため、早期対応が可能となり、高いスループットを維持することができる。さらに、ウエハ搬送機能の低下による露光装置のダウンタイムを極力抑制することができ、生産性の向上を図ることが可能となる。
また、エラーの現象、その原因、分析方法、及び対応策については、ベンダー側の社内ＬＡＮ１３０のウエブサーバ上のデータベースに登録され、関係者はブラウザ等で閲覧することができるようになっている。
以上のように、本実施形態に係る遠隔保全システムによると、異常を予測することにより、早期の部品交換やハードウエア調整が可能となり、産業用機器の性能及び精度維持を図ることができる。しかも、タイムリーな部品交換やハードウエア調整、さらにはプロセスに応じたパラメータの最適化により、産業用機器の稼働率を向上させることができる。また、トラブル発生時の対応も迅速に行うことができ、トラブルに起因するダウンタイムを極力抑制することが可能となる。
さらに、ベンダー側は、ネットワークを介して顧客側の産業用機器の各種情報をダウンロードすることが可能なため、ベンダー側で詳細な異常分析を効率的に行うことができる。なお、顧客側は、外部からの接続要求に対して、許可あるいは拒否することが可能なため、情報の不正漏洩を防止することができる。
また、難易度の高いトラブルであっても迅速な対応が可能となり、修理時間の短縮を図ることができるため、産業用機器の稼働率を向上させることが可能となる。
さらに、保守要員は、予め、保守対象である産業用機器の状態を把握しているため定期メンテナンスを効率化できるとともに、定期メンテナンス間隔を延長することも可能である。
また、産業用機器の診断結果に応じて、診断結果を通知する宛先を自動的に選択しているため、担当者及び保守要員の負荷を軽減することができる。
しかも、異常を予測することにより、異常発生を未然に防ぐことができるとともに、対応時期に合わせて交換部品の手配や、保守要員の予約を行うことが可能となる。
さらに、ベンダー側は、収集した各種情報に基づいて、産業用機器の改良や、開発を促進することができる。
また、顧客側とベンダー側との通信手段として、専用回線を利用しているため、情報の不正漏洩を防止することができる。
なお、本実施形態では、診断サーバにて、すべての異常の診断を行っているが、診断の項目によっては、産業用機器側で行っても良い。例えば、上述したプリアライメントの精度についての診断は、産業用機器自身で行うことが可能である。これは、診断サーバの診断部３０７と同等の診断機能が、産業用機器側に備えられることにより可能となる。この場合には、診断結果が産業用機器から診断サーバに通知されるので、診断サーバでは、診断部３０７での診断が行われないこと以外は、上述したのと同様に、関連する各種ファイルやデータベースの収集、及びファイルやデータベース作成等が行われる。どの項目を診断対象とするかは、産業用機器の記憶媒体の容量や、処理時間に依存する。従って、長期間の経時変化で診断する場合や、他の産業用機器との性能比較で診断する場合等は、診断サーバ側で行うほうが効率的である。
また、本実施形態では、顧客側とベンダー側とは、専用回線で接続しているが、公衆回線を用いても良い。但し、この場合は、セキュリティ対策を専用回線の場合よりも強固にする必要がある。
さらに、本発明に係る診断システムでは、無線ＬＡＮを利用して、ＬＡＮ環境を構築することも可能である。
また、本発明に係る遠隔保全システムでは、診断装置と管理サーバとの通信手段として、ＰＨＳや携帯電話を利用しても良い。特に、ＰＨＳでは高速データ通信が可能であり非常に有効である。また、設置場所を容易に移動できるという大きな利点がある。
さらに、本実施形態では、ベンダー側の情報分析端末１５５で詳細分析が行われているが、ユーザ側の管理者端末から診断サーバの情報分析部３０９をアクセスし、ユーザ側の管理者が詳細分析を行うことも可能である。
また、本実施形態では、ベンダー側の担当者が、担当者端末に送付された異常判定情報の内容に基づいて、部品の手配を行うように構成しているが、異常判定情報の内容から一義的に必要な部品を決定できるような場合には、本実施形態のシステムとは別途構築されている図示しない在庫管理システムと本実施形態に係るシステムとをリンクさせておき、在庫管理システム（消耗品管理システムを含む）へ自動的に部品手配の入力がなされるように構成しても良い。
なお、本実施形態では、診断サーバは、異常診断時に異常分析を行う機能を有しているが、予め産業用機器の各種情報の蓄積がなされている場合には、異常分析機能は不要である。すなわち、診断サーバの代わりに、産業用機器の複数の情報をトラブル発生時に限らず、定期的に獲得する診断処理部と、該診断処理部によって獲得された情報を一元管理する管理部とを備える情報収集装置を用いることができる。この場合、診断処理部は、更に産業用機器の複数の情報に基づいて所定情報の発生頻度を検出したり、特定の情報の経時変化を検出したり、あるいは同一産業用機器グループとの比較を行うことにより、本実施形態における、異常診断が可能となる。また、診断処理部は、産業用機器の自己計測機能又は自己診断機能を用いて情報を獲得することも可能である。そして、管理部は、診断処理部が産業用機器から獲得した情報のみではなく、診断処理部にて処理された情報、すなわち、所定情報の発生頻度情報、特定情報の経時変化情報及び同一産業用機器グループとの比較情報等も一元管理する。
この結果、情報収集装置では、予め産業用機器の各種情報の蓄積がなされているため、トラブル発生時の情報収集が容易になり、トラブルの早期解決を図ることができる。そして、結果的に産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムを極力抑制して生産性の向上に貢献することが可能となる。
産業上の利用可能性
以上説明したように、本発明に係る診断装置は、産業用機器の異常予測あるいは早期検知、及びその原因の分析に適している。また、本発明に係る診断システムは、ほぼリアルタイムな産業用機器の異常検知及びその原因の分析に適している。また、本発明に係る遠隔保全システムは、遠隔地にある産業用機器の異常予測あるいは早期検知、及びその原因の分析に適している。また、本発明に係る情報収集装置は、トラブル発生時の情報収集及びトラブルの解決に適している。
【図面の簡単な説明】
図１は、本発明の一実施形態に係る遠隔保全システムの構成を概略的に示す図である。
図２は、一実施形態に係る遠隔保全システムの情報の流れを説明するための図である。
図３は、診断データベースの一例を示す図である。
図４は、ポーリング・シーケンスを説明するための図である。
図５は、セレクティング・シーケンスを説明するための図である。
図６Ａ〜図６Ｄは、ポーリング・セレクティング方式における電文形式を説明するための図である。
図７は、一実施形態に係る露光装置の構成を概略的に示す図である。
図８は、情報の種類と情報コードとの対応を説明するための図である。
図９は、工場とＦａｂコードとの対応を説明するための図である。
図１０は、装置と装置コードとの対応を説明するための図である。
図１１は、データの項目と項目コードとの対応を説明するための図である。
図１２は、判定値データベースを説明するための図である。
図１３Ａ〜図１３Ｃは、エラーログファイルの構成を説明するための図である。
図１４Ａ〜図１４Ｃは、計測データログファイルの構成を説明するための図である。
図１５Ａ〜図１５Ｃは、シーケンスログファイルの構成を説明するための図である。
図１６Ａ〜図１６Ｄは、異常判定情報の構成を説明するための図である。
図１７は、エラー情報データベースを説明するための図である。
図１８は、異常診断結果履歴データベースを説明するための図である。
図１９Ａ、図１９Ｂは、ウエハ交換データファイル、ウエハ交換データベースをそれぞれ説明するための図である。
図２０は、異常診断におけるデータの予測と判定レベルとを説明するための説明図である。Technical field
The present invention relates to a diagnostic apparatus, an information collecting apparatus, a diagnostic system, and a remote maintenance system, and more particularly, to a diagnostic apparatus for diagnosing industrial equipment such as a device manufacturing apparatus, and an information collecting apparatus for periodically diagnosing industrial equipment. The present invention relates to a diagnostic system including the diagnostic device, and a remote maintenance system for maintaining industrial equipment using the diagnostic system at a remote location.
Background art
Conventionally, industrial equipment that requires maintenance is regularly maintained by an administrator on the user side or maintenance personnel on the vendor side, and the performance of the industrial equipment is adjusted through various adjustments of hardware and replacement of consumable parts. Maintenance or recovery was taking place.
Further, when a trouble occurs in the industrial equipment, the manager on the user side notifies the maintenance staff on the vendor side of the trouble state (phenomenon) by telephone, fax or the like. Then, the maintenance personnel on the vendor side who received the notification analyzed the cause of the trouble by referring to past experiences, manuals, databases, or the like.
If the cause of the trouble is obvious and the countermeasures are already known, the user's administrator was instructed to take countermeasures, and if necessary, the maintenance staff adjusted the equipment or replaced parts on site. If it is not clear or if the problem cannot be solved by adjusting the equipment, the maintenance staff will measure various data on the industrial equipment in which the trouble occurred, that is, the actual equipment, and narrow down the cause while analyzing the measured data. I was going.
In addition, although some systems use public lines to remotely monitor the operating status of industrial equipment, the available information is limited and it is necessary to detect the presence or absence of some problems. Although it is possible, the cause was analyzed by maintenance personnel as described above.
However, since recent industrial equipment has become very complicated, it is difficult to narrow down and identify the cause only from the situation (phenomenon) of the trouble. Furthermore, the increasing number of types of industrial equipment has made it difficult for maintenance personnel to quickly analyze the cause.
In addition, the vendor is notified after a trouble has occurred, so it takes time to procure replacement parts, secure maintenance personnel, collect information, and perform various measurements on the actual machine to identify the cause. Had to be done, during which time production had to be stopped.
In addition, since a variety of parts are involved in complex relations, small abnormalities can lead to major troubles.Troubleshooting after a trouble has occurred requires large-scale repairs. In addition, there is a possibility that the downtime becomes very long and productivity is remarkably reduced.
The present invention has been made under such circumstances, and a first object of the present invention is to provide a diagnostic apparatus capable of contributing to an improvement in productivity by minimizing downtime caused by a trouble in industrial equipment. To provide.
A second object of the present invention is to provide a diagnostic system capable of reducing downtime caused by a trouble in industrial equipment.
A third object of the present invention is to provide a remote maintenance system capable of reducing downtime caused by a trouble in a remote industrial device.
A fourth object of the present invention is to provide an information collecting apparatus capable of contributing to an improvement in productivity by minimizing downtime caused by a trouble in industrial equipment.
Disclosure of the invention
According to a first aspect of the present invention, there is provided a diagnostic device for diagnosing at least one industrial device, wherein the diagnostic device diagnoses the presence or absence of an abnormality in the industrial device based on information on the industrial device. A diagnosis unit that performs a failure analysis when there is a failure; and a failure notification unit that notifies a processing result by the failure diagnosis unit to the outside.
In the present specification, "information of industrial equipment" refers to, for example, information sent from industrial equipment, information sent from a measuring instrument in accordance with instructions from industrial equipment, or periodically sent from industrial equipment. Includes all information on industrial equipment, such as collected information.
According to this, the abnormality diagnosis unit, based on the information of the industrial equipment, for a predetermined item related to the performance of the industrial equipment, extract relevant data, early diagnoses the presence or absence of an abnormality of the industrial equipment, Analyze the cause of any abnormalities. Then, the abnormality notification unit notifies the outside of the diagnosis result and the analysis result when abnormality analysis is performed.
Therefore, before a serious trouble occurs in the industrial equipment, it is possible to detect an abnormality, and it is possible to maintain the performance and accuracy of the industrial equipment by adjusting or replacing parts at an initial stage. As a result, productivity can be improved.
In this case, for example, various methods of diagnosing the presence / absence of an abnormality by the abnormality diagnosing unit are conceivable. The abnormality notification unit may add the abnormality content and the diagnosis reason to the diagnosis result and notify the external result.
In the diagnostic device of the present invention, when the abnormality diagnosis unit analyzes the cause of the abnormality and examines a countermeasure for the abnormality during the abnormality analysis, the abnormality notification unit includes the cause of the abnormality in the result of the abnormality analysis. The countermeasure can be added to notify outside.
In the diagnosis device of the present invention, when the abnormality diagnosis unit further includes a plurality of analysis tools, the abnormality analysis unit automatically selects an optimal analysis tool from among the plurality of analysis tools based on the content of the abnormality during the abnormality analysis. The abnormality analysis may be performed using the selected analysis tool.
In the diagnostic device of the present invention, the information on the industrial equipment includes event information on the industrial equipment, operation history information on the industrial equipment, inspection information on the industrial equipment, error information on the industrial equipment, and error information on the industrial equipment. And at least one of self-measurement information of the industrial equipment and self-diagnosis information of the industrial equipment.
In the diagnosis device according to the aspect of the invention, the abnormality diagnosis and the abnormality analysis are performed based on a frequency of occurrence of a predetermined phenomenon in the industrial device, or based on presence / absence of a predetermined event in the industrial device. It can be. In addition, the abnormality diagnosis and the abnormality analysis are performed based on a temporal change of predetermined information in the industrial device, or based on a result of comparison with the same industrial device group with respect to the predetermined information in the industrial device. Can also be performed.
In the diagnosis device according to the aspect of the invention, the abnormality diagnosis may include an abnormality prediction based on a temporal change of predetermined information in the industrial device.
In the diagnostic device according to the aspect of the invention, the diagnosis result of the abnormality diagnosis unit may be divided into a plurality of levels according to the degree of abnormality.
In this case, the number of levels can be different depending on the content of the abnormality.
In the diagnosis device according to the aspect of the invention, the abnormality notification unit may notify a result of the abnormality diagnosis unit to the outside by e-mail.
In this case, the electronic mail may be automatically created according to the content of the result, and may be automatically transmitted to the corresponding outside.
In the diagnosis device according to the aspect of the invention, the abnormality diagnosis unit may further perform a diagnosis simulation for evaluating a determination value at the time of diagnosis and the validity of the diagnosis method.
In the diagnostic apparatus of the present invention, various types of industrial equipment can be considered. For example, the industrial equipment can be a device manufacturing apparatus.
In this case, when the device manufacturing apparatus is an exposure apparatus, the abnormality diagnosis includes an alignment system accuracy diagnosis, an autofocus system fluctuation diagnosis, a lens system driving function diagnosis and an optical characteristic fluctuation diagnosis, and a stage system. And at least one of a drive function diagnosis and an accuracy diagnosis, a transfer function diagnosis of a transfer system, and an illuminance uniformity diagnosis and an illuminance diagnosis of an illumination system.
According to a second aspect, the present invention is a diagnostic system including the diagnostic device of the present invention; and at least one industrial device connected to the diagnostic device via a network.
According to this, since the diagnostic device and the industrial equipment are connected via the network, bidirectional communication can be performed in almost real time, and the diagnostic device performs the abnormality diagnosis and the abnormality related to the event of the industrial equipment. The analysis can be performed almost in real time. Therefore, before a serious trouble occurs in the industrial equipment, adjustments and parts replacement at the initial stage are performed based on the abnormality diagnosis result and the abnormality analysis result which are notified from the diagnostic device in almost real time. It is possible to maintain the performance and accuracy of the industrial equipment, to reduce downtime due to troubles in industrial equipment, and to improve productivity.
In this case, the network can be a LAN.
In the diagnostic system of the present invention, an intranet may be constructed in the network.
In the diagnostic system of the present invention, an administrator terminal may be further connected to the network.
In the diagnostic system of the present invention, the diagnostic device may further include a collection unit that periodically collects and manages information on the industrial equipment.
In the diagnostic system according to the aspect of the invention, the industrial device may perform self-measurement and notify a result of the measurement to the diagnostic device.
In the diagnostic system according to the aspect of the invention, the industrial device may perform a self-diagnosis and notify a result of the self-diagnosis to the diagnostic device.
In this case, the self-diagnosis includes event information of the industrial equipment, operation history information of the industrial equipment, inspection information of the industrial equipment, error information of the industrial equipment, and self-measurement of the industrial equipment. It can be performed based on at least one of the information.
According to a third aspect of the present invention, there is provided a diagnostic system according to the present invention; and a management server connected to the diagnostic system via communication means and maintaining the industrial equipment based on information from the diagnostic system. It is a remote maintenance system.
According to this, the diagnostic system performs the abnormality diagnosis and the abnormality analysis on the event of the industrial equipment almost in real time, and immediately notifies the management server of the result through the communication unit. Then, the management server instructs the concerned person to take prompt action based on the diagnosis result and the analysis result. Therefore, before a serious trouble occurs in the industrial equipment, it is possible to perform adjustment, replacement of parts, and the like at an initial stage by maintenance personnel and the like. As a result, the accuracy of the industrial equipment can be maintained, and downtime due to the trouble of the industrial equipment can be reduced, and thus the productivity can be improved.
In this case, the diagnostic system may further include an authentication unit that permits access from the management server only under predetermined conditions.
In this case, the authentication unit performs an authentication check for each file with respect to an external access to the data file relating to the information of the industrial equipment and the data file relating to the abnormality diagnosis and abnormality analysis. Can be.
In the remote maintenance system according to the aspect of the invention, the abnormality notification unit of the diagnosis device included in the diagnosis system may notify a processing result of the abnormality diagnosis unit to a different external device according to the diagnosis result.
In the remote maintenance system according to the present invention, the management server may perform an abnormality analysis on the industrial equipment based on information from the diagnostic system.
In the remote maintenance system according to the present invention, the management server may be further connected to a network of a vendor of the industrial equipment.
In the remote maintenance system according to the present invention, the management server is further linked to a parts management system, and when the parts of the industrial equipment need to be replaced, the parts management system checks whether the parts are in stock. When there is no stock, an order can be given.
In this case, the management server can instruct the parts management system to send the parts to a person in charge.
In the remote maintenance system according to the present invention, the communication means may use a dedicated line, or the communication means may use a public line. In the latter case, the communication means may use the Internet. In this case, the management server may have a mail server function for transmitting and receiving electronic mail and a web server function for transferring files in HTML format and the like.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an information collecting apparatus for collecting a plurality of pieces of information on an industrial device in order to solve a problem occurring in at least one industrial device. An information collecting apparatus comprising: a diagnostic processing unit that periodically acquires the plurality of pieces of information irrespective of a time of occurrence; and a management unit that collectively manages information acquired by the diagnostic processing unit.
According to this, the diagnostic processing unit always acquires a plurality of pieces of information on the industrial equipment regardless of the presence or absence of the abnormality, and the management unit collectively manages the information acquired by the diagnostic processing unit. As a result, since various types of information are stored in advance, information collection at the time of occurrence of a trouble becomes easy, and it is possible to solve the trouble early. As a result, it is possible to minimize downtime caused by troubles in industrial equipment and contribute to improvement in productivity.
In this case, the diagnosis processing unit may process the information, and the information managed by the management unit may include the information processed by the diagnosis processing unit.
In this case, the information processing by the diagnosis processing unit may be variously considered. For example, the processing of the information by the diagnosis processing unit may include at least one of detection of a frequency of occurrence of the predetermined information and detection of a change with time of the specific information. Alternatively, the processing of the information by the diagnostic processing unit may include detecting occurrence of a predetermined event. Alternatively, the processing of the information by the diagnostic processing unit may include a comparison with the same industrial equipment group.
In the information collection device of the present invention, the diagnostic processing unit may use a self-measurement function or a self-diagnosis function of the industrial device to acquire the information.
In the information collection device of the present invention, the industrial equipment may be a device manufacturing device.
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 1 shows a configuration of a remote maintenance system according to an embodiment of the present invention.
The remote maintenance system shown in FIG. 1 includes a vendor 150 that supplies industrial equipment, and a first customer C1 and a user of the industrial equipment that are connected to the vendor 150 via a dedicated line 140. This is a remote maintenance system including a second customer C2.
The first customer C1 has two factories, a first factory F1 and a second factory F2. Among them, the first factory F1 is provided with two industrial devices 101 and 102. The industrial equipment 101 and the industrial equipment 102 are connected to the LAN 104, respectively. Further, a diagnostic server 103 for a first factory F1 as a diagnostic device for performing abnormality diagnosis and abnormality analysis on the industrial devices 101 and 102 based on information of the industrial devices 101 and 102 is also connected to the LAN 104. .
Five industrial devices 111, 112, 113, 114, and 115 are installed in the second factory F2. Each of the industrial devices 111 to 115 is connected to the LAN 117. Further, a diagnostic server 116 for a second factory F2 as a diagnostic device for performing abnormality diagnosis and abnormality analysis in each of the industrial devices 111 to 115 based on information of each of the industrial devices 111 to 115 is also connected to the LAN 117. ing.
The LAN 104 and the LAN 117 are connected to the in-house LAN 110 of the first customer C1 via firewalls 105 and 118, respectively. The firewall 105 is provided for the purpose of preventing communication data flowing on the LAN 104 from leaking to the outside and preventing unauthorized acquisition of information from the outside. Similarly, the firewall 118 is provided for the purpose of preventing communication data flowing on the LAN 117 from leaking to the outside and preventing illegal information from being acquired from outside.
The in-house LAN 110 is connected to an administrator terminal 106 on the first customer C1 side. That is, the diagnostic server 103 and the diagnostic server 116 can communicate with the administrator terminal 106 through a LAN connection. In addition, communication between the diagnostic server 103 and the diagnostic server 116 can be performed via the in-house LAN 110. This means that the operating state of the industrial equipment at the first factory F1 and the operating state of the industrial equipment at the second factory F2 can be known from each other.
The second customer C2 has one factory, and three industrial devices 121, 122, and 123 are installed in the factory. Each of the industrial devices 121 to 123 is connected to the LAN 125. Further, a diagnostic server 124 as a diagnostic device for performing abnormality diagnosis and abnormality analysis in each of the industrial devices 121 to 123 based on information of each of the industrial devices 121 to 123 is also connected to the LAN 125.
The LAN 125 is connected to the in-house LAN 120 of the second customer C2 via the firewall 126. The firewall 126 is provided for the purpose of preventing communication data flowing on the LAN 125 from leaking to the outside and preventing unauthorized acquisition of information from the outside.
An administrator terminal 127 of the second customer C2 is connected to the in-house LAN 120. That is, the diagnostic server 124 can communicate with the administrator terminal 127 through the LAN connection.
The in-house LAN 110 of the first customer C1 is connected to a dedicated line 140 via a firewall 107. The firewall 107 is installed for the purpose of preventing communication data flowing on the in-house LAN 110 from leaking to the outside and preventing unauthorized access from outside.
The in-house LAN 120 of the second customer C2 is connected to a dedicated line 140 via a firewall 128. The firewall 128 is provided for the purpose of preventing communication data flowing on the in-house LAN 120 from leaking to the outside and preventing unauthorized access from outside.
On the vendor 150 side, a management server 151 for performing remote maintenance of the seven industrial devices 101, 102, 111 to 115 installed on the first customer C1 side, and installed on the second customer C2 side. A management server 152 for performing remote maintenance of the three industrial devices 121 to 123 is provided. These management servers 151 and 152 are connected to the LAN 156 via firewalls 153 and 154, respectively. The firewalls 153 and 154 are provided for the purpose of preventing programs and data stored in the management servers 151 and 152 from being stolen, falsified, or erased from the outside.
Further, an information analysis terminal 155 for analyzing the abnormality of each industrial device in detail via the management servers 151 and 152 is also connected to the LAN 156. In addition, the LAN 156 is connected to the in-house LAN 130 on the vendor side via the firewall 157. The firewall 157 is installed for the purpose of preventing communication data flowing on the LAN 156 from leaking to the outside, preventing communication data flowing on the in-house LAN 130 from leaking to the LAN 156, and preventing unauthorized access from the outside. Have been. The information analysis terminal 155 does not necessarily need to be directly connected to the LAN 156 as long as it can access the management servers 151 and 152.
The in-house LAN 130 is connected to a vendor terminal 159. That is, the management servers 151 and 152 and the information analysis terminal 155 can communicate with the person in charge terminal 159 through LAN connection. This means that the information analysis terminal 155 can be operated from the person in charge terminal 159. Further, the staff member terminal 159 can refer to various files and various databases stored in the management servers 151 and 152. Further, a maintenance staff terminal (not shown) is also connected to the in-house LAN 130. That is, by providing a mail server in the in-house LAN 130, it is possible to directly send an e-mail or the like from the diagnostic servers 103, 116, and 124 to the terminal 159 and the terminal of the maintenance staff on the vendor side.
Each of the firewalls is for preventing unauthorized intrusion into the LAN, and a dedicated device using a complicated authentication mechanism is used. In some cases, a router that only identifies an IP address, a bridge, or a brouter that has both functions may be used, or a proxy server that performs access control may be used.
The management servers 151 and 152 access the diagnostic servers 103, 116 and 124 and collect various files and databases only when permitted by the customer in order to prevent unauthorized leakage of information. be able to. For example, the first customer C1 can permit or deny a connection request (access) from a vendor at the firewall 107 as an authentication unit, and the second customer C2 can at the firewall 128 as an authentication unit. The connection request (access) from the vendor can be permitted or denied. Alternatively, it is possible to reject or permit external access by providing a lock function for various files, databases, and the like in the diagnostic server. This allows the vendor to download information on the customer side only when necessary for detailed analysis and the like, thereby increasing security against information leakage on the customer side.
Next, a description will be given of data processing performed in each industrial device with respect to the information of the industrial device transmitted to the diagnostic servers 103, 116, and 124 and used for abnormality diagnosis and abnormality analysis.
As shown in FIG. 2, each industrial device includes an information output unit 301 and a self-diagnosis unit 302 for performing the data processing.
The information output unit 301 has a log file creation function, a log file sending function, a device constant file creation function, an event real-time notification function, and a recipe file creation function.
The log file creation function is a function for creating event information, error information, operation history information, measurement data, setting data, communication data, and the like in an industrial device as a log file.
The event log file contains the content of the event and the time at which the event occurred. In addition, in association with the event, a sequence log file containing the contents of logging the operation information of the industrial equipment within a certain time after the occurrence of the event is also created.
The error log file contains the content of the error and the date and time when the error occurred.
Further, the operation history log file includes information related to all operations and operations of the industrial equipment, together with the date and time of occurrence.
The measurement data log file includes not only data automatically measured, but also data measured by an instruction of an operator. Further, not only the measurement performed periodically, but also the measurement performed experimentally is included.
The setting data log file includes not only various setting data but also setting date and time (or update date and time). The configuration data is subject to change, and time is important as well as the date of the change. The reason is that the setting content may affect various measurement data, and this affects the effectiveness of data processing and data comparison.
Further, the communication data log file includes transmission / reception data and transmission / reception time.
The event log file, the sequence log file, the error log file, the measurement data log file, and the setting data log file are transmitted to the diagnostic server of each industrial device when they are created. However, since the measurement data log file does not require real-time processing, the measurement data log file may wait for collection by the diagnostic server. The files transmitted to the diagnostic server and the files collected by the diagnostic server are automatically deleted after a certain period of time after being transmitted to the diagnostic server. This is because the capacity of a storage medium such as a hard disk included in the industrial equipment is not so large as compared with a diagnostic server or the like.
In the present embodiment, for example, an exposure apparatus is used as the industrial devices 101, 102, 111 to 115, 121 to 123. An error log file created by the information output unit 301 of the exposure apparatus includes a search error in an alignment system, a positioning error in an autofocus (AF) system, and a lens in a lens system (imaging system) and a lens controller (LC) system. Stroke error of drive mechanism, Z tilt (ZT) drive error in stage system, tracking error of movable reticle blind, positioning error, and stage drive error, load slider positioning error in transport system, orientation flat (OF) center position error, There are CT positioning error, COZ axis error, LZ axis error and the like.
The measurement data log file created by the information output unit 301 of the exposure apparatus includes pre-alignment accuracy measurement data, synchronization accuracy measurement data, illuminance measurement data, and the like.
Further, the event log file created by the information output unit 301 of the exposure apparatus includes the start and end of a reticle reservation process, the start and end of a reticle foreign matter inspection, the start and end of a reticle exchange process, the start and end of a lot process, There are start and end of pilot exposure, start and end of main exposure, start of waiting state, error occurrence alarm, and the like.
Further, for example, the event log file of the reticle exchange process includes start and end times, an end state (normal end or abnormal end), statistical data of an error that has occurred, and the like. The lot processing event log file includes start and end times, end states (normal end or abnormal end), statistical data of errors that have occurred, lot names, product names, process names, the number of processed wafers, and the like.
Further, the log file sending function is a function of sending the various log files created by the log file creating function to the diagnostic server in real time. The device constant file creation function is a function of filing the device constant set or updated during maintenance. When it has been updated, an update event is notified to the diagnostic server. The event real-time notification function is a function for notifying the diagnostic server of event occurrence information in real time when a predetermined event occurs. Further, the recipe file creation function is a function of creating and changing a recipe file.
The self-diagnosis unit 302 has a self-measurement function and a self-diagnosis function.
The self-measurement function is a function for automatically measuring a preset item at regular intervals or when the industrial equipment is in a stopped state. Here, measurement (measurement of dimensions, etc.) of an object processed by the industrial equipment is also included. Further, the self-diagnosis function is a function of automatically performing a diagnosis inside the industrial device based on at least one of event information, operation history information, inspection information, error information, self-measurement information, and the like. is there. Here, various built-in performance evaluation tools are used. The self-measurement result and the self-diagnosis result are filed and sent to the diagnosis server. It is also possible to send a self-diagnosis result to an administrator terminal by e-mail or the like. Further, when a diagnostic server is not installed, it is also possible to directly send the file to the management server on the vendor side by file transfer or electronic mail. The self-measurement and self-diagnosis can be performed not only automatically according to a preset schedule, but also at any time according to a request from the operator, the administrator terminal, the diagnostic server, and the management server. It is.
Next, the functions of the diagnostic servers 103, 116, and 124 will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 2, the diagnostic server includes an information collection unit 303, an information classification unit 304, an information storage unit 305, and an information registration unit 306 as a collection unit, a diagnosis unit 307 as an abnormality diagnosis unit, and an information analysis unit. 309, a diagnosis result notification unit 308 as an abnormality notification unit, a server maintenance unit 310, and the like.
The information collecting unit 303 has a file collecting function, a file monitoring function, an event real-time receiving function, and the like.
The file collecting function is a function of collecting and managing information of each industrial device on a daily basis. Specifically, various files stored in each industrial device are periodically stored based on schedule information. It is a function that collects files, manages the history of collected files (whether there is a collection, the date of the last collection file creation, etc.), and saves the collection history (collection file name, collection date, etc.). The files to be collected are stored in a database or a definition file, and can be set and changed. In addition, the time interval for collecting files can be changed.
The file monitoring function is a function of periodically monitoring the contents of the file collected by the file collecting function and storing the latest file. The monitoring time interval can be changed for each file type. Further, the event real-time reception function is a function for performing bidirectional communication with each industrial device in real time. As an example, a reception interruption process is used. Various files and the like sent from each industrial device are received here.
The information sorting unit 304 checks various files and the like received or collected from each industrial device by the information collecting unit 303, extracts only necessary information (date and time, summary information, and the like), and creates a new file. . That is, information filtering processing is performed.
The information storage unit 305 compresses various files and the like received or collected from the respective industrial devices by the information collection unit 303 and the files and the like created by the information classification unit 304 and stores them in a storage medium such as a hard disk. I do. The storage period can be set and changed for each file. The vendor permitted to access can easily collect the files and the like stored here via the network. Files and the like whose storage period has elapsed are automatically deleted.
The information registration unit 306 registers the various types of information sorted by the information sorting unit 304 in the corresponding databases. The data registered here is used for diagnosis by the diagnosis unit 307. Further, a vendor permitted to access can easily collect data and the like registered here via a network, and are used for simple analysis on the vendor side. Note that version information and adjustment information of various devices in the industrial equipment are also registered in the database. Further, the information registered in the database is automatically deleted when a designated storage period has elapsed.
The diagnosis unit 307 has a frequency diagnosis function, a temporal change diagnosis function, an inter-device comparison diagnosis function, an event diagnosis function, and the like. Diagnosis results are classified into three levels from level 1 to level 3 depending on the degree of abnormality. Here, Level 1 has the highest degree of abnormality and is an abnormality that requires a quick response. The level of the abnormality is not limited to three levels, and may be different depending on the diagnosis target. When the diagnosis unit 307 diagnoses an abnormality, the diagnosis unit 307 creates abnormality determination information as a diagnosis result. However, when the level of the abnormality is low, the abnormality determination information may not be created.
The frequency diagnosis function is a function of diagnosing a preset item based on the frequency of occurrence of an abnormality within a preset determination period. Note that the determination period and the determination value can be set and changed. Further, the items to be diagnosed can also be changed.
The time-dependent change diagnosis function is a function of diagnosing a preset item based on a data change amount within a preset determination period. That is, as shown in FIG. 20, a data value in the future (forecast date: several days or weeks ahead, etc.) is predicted from past (within the determination period) data registered in the database or the like, and the predicted value and The abnormality is predicted and the level of the predicted abnormality is diagnosed by comparison with the determination value. The determination period (or the determination start date or the determination end date), the determination value, and the prediction date are set in advance and can be changed. Further, the items to be diagnosed can also be changed.
Further, the inter-apparatus comparison diagnosis function is a function of diagnosing a preset item based on a difference between preset target industrial equipment or data in the same industrial equipment group. The target industrial equipment, industrial equipment group, and determination value can be changed. Further, the items to be diagnosed can also be changed.
The event diagnosis function is a function of diagnosing based on the presence / absence of a specific event and a self-diagnosis result from an industrial device. The event to be diagnosed can be changed.
These diagnostic functions are set so that one or a plurality of functions are selected in a predetermined combination for each data. Further, the time-dependent change diagnosis function may be used in combination with another diagnosis. The abnormality diagnosis is performed not only when information is received from industrial equipment, but also periodically based on schedule information depending on items to be diagnosed.
Further, the diagnosis conditions at the time of diagnosis can be changed, and the diagnosis can be executed by manual activation. This makes it possible to evaluate the determination value at the time of diagnosis and the validity of the diagnosis method. However, since the manual activation is a kind of diagnosis simulation, even if an abnormality is diagnosed, the diagnosis result is not notified. In addition, the diagnosis condition can be set for a diagnosis simulation, and the diagnosis condition can be changed so as not to affect the automatic diagnosis. Further, the diagnosis conditions, information used during the diagnosis, the diagnosis results, and the like are graphically displayed.
For information received from the industrial equipment, items to be diagnosed (diagnosis items), data necessary for the diagnosis (monitoring target data), and a file name in which the monitoring target data is stored are diagnosed in advance. Registered in the database. For example, in the exposure apparatus, as shown in FIG. 3, when the received information is pre-alignment search error information, an alignment system is determined based on the frequency of occurrence of pre-alignment search errors stored in an error log file and an error information database. If the pre-alignment accuracy is diagnosed and the received information is the illuminance measurement data information, the illuminance drop is diagnosed based on the predicted value of the illuminance data stored in the illuminance data file and the illuminance database, and the received information is replaced with the wafer replacement information In the case of (1), the deterioration of the wafer transfer function is diagnosed based on the wafer exchange time trend data stored in the wafer exchange data file and the wafer exchange database. If a measure to be taken when an abnormality is diagnosed is also known, it is registered in the error information database.
Returning to FIG. 2, the diagnosis result notifying unit 308 has an irregular notification function and a periodic notification function.
The irregular notification function means that when the diagnosis unit 307 diagnoses an abnormality, the abnormality determination information as a diagnosis result created by the diagnosis unit 307 is sent in real time by e-mail or the like to the management server and the administrator. This is a function to notify a terminal or the like. Here, the abnormality determination information is reported to the customer terminal in the event that the customer can respond, and to the maintenance staff of the vendor in the case where immediate response is required, according to the content of the abnormality determination information. In the case of an abnormality that is performed or an abnormality that requires detailed analysis, the terminal in charge of the vendor is notified. The relationship between the content and the destination is registered in a database in advance.
The periodic notification function is a function for periodically notifying the management server and the administrator terminal of the diagnosis result of the diagnosis unit 307 in the form of a daily report or the like. When notifying by e-mail, a subject is automatically created in accordance with the content of the information, a destination address is extracted from the content of the information or the subject, a mail body is created in accordance with the content of the information, and transmitted. The subject, destination, transmission date and time, etc. are stored as history information.
The information analysis unit 309 performs an abnormality analysis using various analysis tools in order to identify the cause of the abnormality when the diagnosis result of the diagnosis unit 307 is abnormal. Create a file in HTML format so that the administrator terminal can refer to it with a browser or the like. In the present embodiment, since an analysis tool is selected and an abnormality analysis is performed according to an instruction from the management server, a person in charge of the vendor determines whether or not to perform the abnormality analysis. It is also possible to automatically select the optimal analysis tool based on the contents of the above and perform an abnormality analysis.
The server maintenance unit 310 has a system setting function and a system operation history saving function.
The system setting function is a function for setting (registering, changing, and deleting) device information and various conditions. For example, the setting of the target industrial equipment or the industrial equipment group referred to by the diagnosis unit 307, the determination value at the time of diagnosis, the diagnosis method, the setting of the diagnosis condition such as the determination period and the division period, and the like, This function is used to set the storage period of data to be referred to. The diagnostic conditions can be set for each industrial device, and default values are used for unset industrial devices. In addition, a plurality of diagnostic methods can be set for each piece of information on industrial equipment. Further, an item to be automatically diagnosed can be set, and no automatic diagnosis is performed for an item set to be invalid. In addition, it has a graphical user interface (GUI) so that the operator can easily operate it. Also, in order to prevent the contents from being changed without permission, the password cannot be changed unless they match. The change history is stored in a file.
The system operation history storage function is a function of storing the operation history of the diagnostic server as a file. Used for operation diagnosis of the remote maintenance system itself.
Next, the functions of the management servers 151 and 152 will be described with reference to FIG.
The management server is installed on the vendor side for each customer, and as shown in FIG. 2, a notification unit 311, an aggregation unit 312, a detailed information collection unit 313, an analysis operation reference unit 314, a server maintenance unit 315, and an in-house A link unit 316 to the system is provided.
When the diagnosis result of the diagnosis unit 307 of the diagnosis server is abnormal, the notification unit 311 performs the abnormality information based on the abnormality determination information as the diagnosis result sent from the diagnosis result notification unit 308 of the diagnosis server. The display data is sent to a management center (not shown) which collectively manages the abnormality determination information, or the contents of the abnormality determination information are notified to the vendor terminal 159 or a maintenance staff terminal (not shown) by e-mail or the like. When notifying by e-mail, the destination is automatically selected according to the content of the information.
The counting unit 312 counts the history of the abnormality determination information received by the notification unit 311 and edits the history of the periodic diagnosis information into a periodic report such as a weekly report or a monthly report.
When the notifying unit 311 receives the abnormality determination information, the detailed information collecting unit 313 transmits, based on an instruction from the notifying unit 311, data of a related file or database stored in a storage medium of the diagnostic server, and the like. The information is collected by a browser or the like via the information storage unit 305 and the information registration unit 306 of the diagnostic server. Note that the history of executing the collection is stored as an operation history. However, if the content of the abnormality determination information is already known and its cause and countermeasure are clear, it may not be used.
The analysis operation reference unit 314 operates an analysis tool that can be used in the information analysis unit 309 of the diagnostic server, performs an abnormality analysis based on the files and databases collected by the detailed information collection unit 313, and analyzes the analysis results. Is output as a file. The output result can be referred to by a browser or the like. Here, the analysis tool mounted on the diagnostic server side is used by remote access, but the present invention is not limited to this. For example, the analysis tool can be mounted on the management server side. However, if the detailed information collecting unit 313 is not used, the analysis is not performed here.
The server maintenance unit 315 has a system setting function and a system diagnosis function.
The system setting function is a function for registering, changing, and deleting various setting data used in the management server. Further, the system diagnosis function is a function for checking whether or not the system operation history periodically notified from the diagnosis server is present and diagnosing whether the remote maintenance system itself is normally operating. The backup of a storage medium such as a hard disk is also included in the system diagnosis function.
The link unit 316 with the in-house system is linked to a consumables management system (not shown), a version management system (not shown), and the like in the in-house system. Further, the contents of the abnormality determination information are transferred to a web server (not shown) of the in-house system, and are disclosed to the inside of the company, whereby an unsolved trouble is promptly solved. In particular, when it is necessary to replace parts of industrial equipment due to a link with the consumables management system, check if the consumables management system has stock, and if there is no stock, order immediately. Becomes possible. Necessary parts can be immediately sent to the maintenance staff in charge.
The management servers 151 and 152 also have a mail server function for transmitting and receiving electronic mail, an FTP server function for transmitting and receiving files, and a web server function for transferring files in HTML format.
Next, the function of the information analysis terminal 155 will be described with reference to FIG.
The information analysis terminal 155 installed on the vendor side includes a detailed analysis unit 317 as shown in FIG. 2, and stores information such as files and database data collected by the detailed information collection unit 313 of the management server. It has an existing tool analysis function, a simple tool analysis function, a detailed tool analysis function, and a user comparison function for performing an abnormality analysis based on detailed information. These functions are properly used depending on the content and degree of the abnormality.
The existing tool analysis function is a function of analyzing the cause of an abnormality and a countermeasure in detail using an existing analysis tool. Here, dedicated application software is used depending on the purpose. On the other hand, the simple tool analysis function is based on a database or the like stored in a diagnostic server using a highly flexible tool using versatile spreadsheet software or the like, and a graph of a change over time of various data and This function is for displaying a histogram or the like. This can be easily performed by using a macro function such as spreadsheet software. Further, the detailed tool analysis function is to analyze the cause of the abnormality and the countermeasures in detail by using an analysis tool mounted on the diagnosis server side by remote access via the analysis operation reference unit 314 of the management server. In addition, it is a function to file the analysis result so that it can be referred to from a browser or the like. Further, the inter-user comparison function is a function of comparing the cause of the abnormality and the countermeasure based on the detailed information with comparison with data of another customer using the same industrial equipment.
If the abnormality determination information notified from the diagnosis server is a content whose cause and countermeasure are already known, the information analysis terminal 155 may not perform the abnormality analysis. For example, in the exposure apparatus, when the abnormality determination information indicates that the operation of the load slider in the transport system is defective, a countermeasure of replacing the slider is registered in the error information database, so that the information analysis terminal 155 does not perform the abnormality analysis. Sometimes. However, even if the information is registered in the error information database, if the abnormality determination information is notified for a plurality of items at the same time, other factors may be considered, so that the information analysis terminal 155 performs the abnormality analysis. Sometimes. That is, whether or not to perform the abnormality analysis in the information analysis terminal 155 is determined by the person in charge on the vendor side.
In addition, the analysis result in the information analysis terminal 155 is registered in the error information database. This is for effectively utilizing the analysis results.
Next, the flow of information in the present embodiment will be described with reference to FIG.
DATA1 is event information, operation history information, error information, measurement data, and the like of the industrial equipment, and is transmitted from the information output unit 301 of the industrial equipment to the information collection unit 303 of the diagnostic server.
DATA2 is the self-measurement data of the industrial device, the self-diagnosis result, and the like, and is transmitted from the self-diagnosis unit 302 of the industrial device to the information collection unit 303 of the diagnostic server.
DATA3 is a self-diagnosis result of the industrial equipment and the like, and is transmitted from the industrial equipment self-diagnosis unit 302 to the diagnosis result notification unit 308 of the diagnostic server.
DATA4 is a file or the like compressed and stored by the information storage unit 305 of the diagnostic server, and is transmitted to the detailed information collection unit 313 of the management server.
DATA5 is a database or the like registered by the information registration unit 306 of the diagnostic server, and is transmitted to the detailed information collection unit 313 of the management server.
DATA6 is a self-diagnosis result of the industrial equipment, a diagnosis result (abnormality determination information) of the diagnosis unit 307 of the diagnosis server, and the like, and is transmitted from the diagnosis result notification unit 308 of the diagnosis server to the notification unit 311 of the management server. You.
DATA7 is an analysis operation instruction from the analysis operation reference unit 314 of the management server to the information analysis unit 309 of the diagnostic server, an analysis result of the information analysis unit 309 of the diagnostic server, and the like.
DATA8 has the same content as DATA4 and DATA5 collected from the diagnostic server by the detailed information collection unit 313 of the management server, and is transmitted from the detailed information collection unit 313 of the management server to the detailed analysis unit 317 of the information analysis terminal.
DATA 9 is an analysis operation instruction from the detailed analysis unit 317 of the information analysis terminal to the analysis operation reference unit 314 of the management server, an analysis result of the information analysis unit 309 of the diagnostic server, and the like.
Next, communication between each industrial device and the diagnostic server will be described.
Each of the industrial devices and the diagnostic server are two-way communication and are required to have real-time characteristics. Thus, as an example, communication between the industrial devices 121 to 123 and the diagnostic server 124 in the second customer C2 will be described.
As a communication method, a polling / selecting method using the diagnostic server 124 as a master and the industrial devices 121 to 123 as slaves is used.
In the polling / selecting method, the parent diagnostic server 124 has the initiative in communication, and each of the child industrial devices 121 to 123 transmits various types of information to the information To send and receive.
Further, each industrial device has an SA (station address) for identification, and the diagnostic server 124 specifies the industrial device with the SA. In the present embodiment, as an example, the SA of the first industrial device 121 is 40H, the SA of the second industrial device 122 is 41H, and the SA of the third industrial device 123 is 42H. Here, "H" added after the number means that it is a hexadecimal number.
The diagnostic server 124 transmits a polling message or a selecting message to each industrial device, and controls communication with each industrial device.
Here, as shown in FIG. 6A, the polling message is a message composed of three bytes of SA part, 51H and 05H. For example, the polling message for the first industrial device 121 is 40H in which the SA section is the SA of the first industrial device 121.
Also, as shown in FIG. 6B, the selecting message is a message composed of 3 bytes of the SA part, 41H and 05H. For example, the selecting message for the second industrial device 122 is 41H whose SA is the SA of the second industrial device 122.
The polling means that the diagnostic server 124 designates one of the industrial devices and permits the transmission of the information message to the diagnostic server 124. The selecting is one of the industrial devices. Means that there is a transmission message from the diagnostic server 124.
As communication control characters used in the polling / selecting method, a character indicating the start of the information message is STX (02H), a character indicating the end of the information message is ETX (03H), and a character indicating an acknowledgment to the received message is a character. ACK (10H), a character indicating a negative response to the received message is NAK (15H), and a character indicating the end of transmission is EOT (04H). These are commonly used communication control characters.
Here, the configuration of the information message transmitted from each industrial device to the diagnostic server 124 will be described. As shown in FIG. 6C, the information message transmitted from each industrial device is a variable-length message composed of STX, SA unit, 51H, information unit, ETX, and BCC. BCC means a block check code, and the value of the exclusive OR from the SA unit to ETX is set. It is added to ensure the legitimacy of the message. The ETX is added after the information section to indicate that the information section has ended because the information section has a variable length. Further, the information part is converted into an ASCII code to distinguish it from the communication control character. For example, 0-9 becomes 30H-39H.
Next, the configuration of an information message transmitted from the diagnostic server 124 to each industrial device will be described. As shown in FIG. 6D, the information message transmitted from the diagnosis server 124 is a variable-length message composed of STX, SA unit, 41H, information unit, ETX, and BCC. BCC means a block check code as described above, and the value of the exclusive OR from the SA section to ETX is set. It is added to ensure the legitimacy of the message. The ETX is added after the information section to indicate that the information section has ended because the information section has a variable length. Further, the information part is converted into an ASCII code to distinguish it from the communication control character. For example, 0-9 becomes 30H-39H.
Next, the polling sequence will be specifically described with reference to FIG.
First, as shown in FIG. 4, the diagnostic server 124 transmits a 3-byte message of 40H (SA unit), 51H, and 05H as a polling message (POL1) to the first industrial device 121.
Each industrial device receives this polling message, but since the SA section is 40H, only the first industrial device 121 takes in this polling message and the second and third industrial devices 122. , 123 ignore this polling message. Thereby, a communication line between the diagnostic server 124 and the first industrial device 121 is secured. Since the second byte of the received received message is 51H, the first industrial device 121 determines that the received message is a polling message, checks whether there is information to be sent to the diagnostic server 124, and finds no information. For example, as shown in FIG. 4, EOT (04H) is transmitted.
On the other hand, when the diagnostic server 124 receives the EOT (04H) after transmitting the polling message (POL1), the diagnostic server 124 next determines the polling message (POL2) for the second industrial device 122 as 41H (SA section), 51H. , 05H of the three-byte message. Each industrial device receives this polling message, but since the SA section is 41H, only the second industrial device 122 takes in the message and the first and third industrial devices 121, 123 ignores this polling message. That is, a communication line between the diagnostic server 124 and the second industrial device 122 is secured.
Since the second byte of the received received message is 51H, the second industrial device 122 determines that the received message is a polling message, checks whether there is information to be sent to the diagnostic server 124, and checks the information. For example, an information message is created and transmitted to the diagnostic server 124.
When transmitting the polling message (POL2) and receiving the information message, the diagnostic server 124 calculates the exclusive OR of SA to ETX of the received message and checks whether or not it matches the BCC. Here, if they match, it is determined that a correct information telegram has been received, and ACK (10H) as an acknowledgment is transmitted as shown in FIG. If they do not match, it is determined that the information message is broken due to disturbance such as noise, and a negative response NAK (15H) is transmitted to request retransmission of the information message. Note that whether or not the received message is an information message is determined based on whether or not the first byte of the received message is STX.
After receiving the ACK (10H) after transmitting the information message, the second industrial device 122 transmits EOT (04H) as shown in FIG. 4, but receives the NAK (15H) and receives the same information. Resend the message.
Upon receiving the EOT (04H) after transmitting the ACK, the diagnostic server 124 ends the communication with the second industrial device 122, and as a polling message (POL3) for the third industrial device 123, 42H ( SA section), and transmits a 3-byte message of 51H and 05H. Each industrial device receives this polling message, but since the SA section is 42H, only the third industrial device 123 takes in the polling message and the first and second industrial devices 121. , 122 ignore this polling message. That is, a communication line between the diagnostic server 124 and the third industrial device 123 is secured.
Since the second byte of the received received message is 51H, the third industrial device 123 determines that the received message is a polling message, checks whether there is information to be sent to the diagnostic server 124, and finds no information. For example, as shown in FIG. 4, EOT (04H) is transmitted.
On the other hand, when the diagnostic server 124 receives the EOT (04H) after transmitting the polling message (POL3), the diagnosis server 124 next sets 40H (SA section) and 51H as the polling message (POL1) for the first industrial device 121. , 05H of the three-byte message.
As described above, the first industrial device 121, the second industrial device 122, and the third industrial device 123 respectively secure communication lines with the diagnostic server 124 in order, and Send
Next, the selecting sequence will be specifically described with reference to FIG.
If there is information to be transmitted to the first industrial device 121, the diagnostic server 124, as shown in FIG. 5, as a selecting message (SEL1), includes 3 bytes of 40H (SA section), 41H, and 05H. Send a message.
Each industrial device receives the selecting message, but since the SA section is 40H, only the first industrial device 121 takes in the selecting message and the second and third industrial devices receive the selecting message. The devices 122 and 123 ignore this selecting message. That is, a communication line between the diagnostic server 124 and the first industrial device 121 is secured. The first industrial device 121 determines that the received received message is a selecting message because the second byte of the received message is 41H, and sends ACK (10H) to notify that the message can be received. Send.
On the other hand, upon receiving the ACK (10H) after transmitting the selecting message (SEL1), the diagnostic server 124 creates an information message and transmits it to the first industrial device 121. Upon receiving the information message, the first industrial device 121 obtains the value of the exclusive OR from SA to ETX, and checks whether the value matches the BCC. When the BCCs match, the first industrial device 121 transmits ACK (10H) as an acknowledgment.
Upon receiving the ACK (10H) after transmitting the information message, the diagnostic server 124 transmits EOT (04H) and ends the communication with the first industrial device 121. Next, if there is information to be transmitted to the second industrial device 122, the diagnostic server 124 converts the information of 41H (SA unit), 41H, and 05H into a selecting message (SEL2) as shown in FIG. Send a 3-byte message.
Each industrial device receives this selecting message, but since the SA section is 41H, only the second industrial device 122 takes in this message and the first and third industrial devices 121. , 123 ignore this selecting message. That is, a communication line between the diagnostic server 124 and the second industrial device 122 is secured. Since the second byte of the received received message is 41H, the second industrial device 122 determines that the received message is a selecting message, and sends ACK (10H) to notify that reception is possible. Send.
On the other hand, upon receiving the ACK (10H) after transmitting the selecting message (SEL2), the diagnostic server 124 creates an information message and transmits it to the second industrial device 122.
Upon receiving the information message, the second industrial device 122 obtains the value of the exclusive OR from SA to ETX and checks whether the value matches the BCC. For example, when the above-described exclusive OR does not match the BCC, the second industrial device transmits NAK (15H) as a negative response as shown in FIG.
Upon receiving the NAK (15H) after transmitting the information message, the diagnostic server 124 resends the same information message as shown in FIG. Upon receiving the information message, the second industrial device 122 similarly obtains the value of the exclusive OR from SA to ETX and checks whether the value matches the BCC.
When the exclusive OR and the BCC match, the second industrial device 122 transmits ACK (10H) as an acknowledgment. After receiving the ACK (10H) after retransmitting the information message, the diagnostic server 124 transmits EOT (04H) and terminates communication with the second industrial device 122.
As described above, in the communication by the polling / selecting method, since the communication is performed while confirming the validity of the information by handshaking, the information can be exchanged without any loss. The number of retransmissions, the non-response waiting time, and the like can be freely set according to the system configuration.
The polling / selecting method described above performs communication between the diagnostic server 103 and the industrial devices 101 and 102 in the first factory F1 of the first customer C1, and communication between the diagnostic server 116 and the industrial devices 111 to 115 in the second factory F2. Can also be used for communication.
The communication between the diagnostic server and each industrial device is not limited to the polling / selection method, but may be a contention method (so-called early person) in which transmission is possible without discrimination between a parent and a child if the communication line is free. Winning system). However, in the contention method, since a collision of a message is likely to occur, a countermeasure at the time of a message collision is required.
In addition, if an intranet environment is established in the LAN connecting the diagnostic server and each industrial device, the communication between the diagnostic server and each industrial device may be performed by file transfer or the like. That is, a private IP address is set for each of the diagnostic server and each industrial device, and various commands (for example, GET, PUT, etc.) of the FTP, which is an application protocol of the TCP / IP protocol, are executed to transfer files. be able to. In this case, the diagnostic server also has a function as an FTP server.
On the other hand, the communication protocol between each of the diagnostic servers 103, 116, and 124 and each of the management servers 151 and 152 is an upper-level application protocol based on TCP / IP, such as FTP for file transfer, telnet for virtual terminals, and server and browser. HTTP for file transfer between them, SMTP for e-mail, and the like are used. These are used properly depending on the system environment.
Next, a diagnosis process in the remote maintenance system according to the present embodiment will be specifically described. Each of the industrial devices shown in FIG. 1 is an exposure apparatus. Furthermore, it is assumed that a firewall in the middle of communication is properly authenticated and information is not blocked. The LANs 104, 117, and 125 are also connected to a coater / developer (not shown) and measuring instruments (not shown) such as an automatic line width measuring instrument and a pattern coordinate measuring instrument.
FIG. 7 shows an exposure apparatus 100 as industrial equipment in the remote maintenance system according to the present embodiment. The exposure apparatus 100 is a step-and-repeat type reduction projection exposure apparatus (so-called stepper).
The projection exposure apparatus 100 includes an illumination system IOP, a reticle stage RST for holding a reticle R as a mask, and an image of a pattern formed on the reticle R on a wafer W as a substrate coated with a photosensitive agent (photoresist). A projection optical system PL for projection, an XY stage 20 that holds a wafer W and moves on a two-dimensional plane (within an XY plane), a drive system 22 that drives the XY stage 20, and a control system for these components are provided. The control system includes a workstation (or microcomputer) including a PCI bus controller, an I / O interface, and the like, and is mainly configured by a main controller 28 that controls the entire apparatus.
The main controller 28 is connected to a LAN adapter via a PCI bus controller, and further connected to a LAN cable to which a diagnostic server is connected via the LAN adapter. That is, the exposure apparatus 100 and the diagnostic server are connected by a LAN. When communication between the exposure apparatus 100 and the diagnostic server is performed by serial data transmission based on RS485 or the like, an RS485 communication adapter or the like is used instead of the LAN adapter.
The reticle stage RST is arranged below the illumination system IOP in FIG. A reticle R is fixed on the reticle stage RST via fixing means such as a vacuum chuck (not shown), and the reticle stage RST is moved in the X-axis direction (the horizontal direction in FIG. 7) by a driving system (not shown). , In the Y-axis direction (the direction perpendicular to the plane of FIG. 7) and in the θz direction (the direction of rotation about the Z-axis perpendicular to the XY plane). Thereby, reticle stage RST can position reticle R (reticle alignment) in a state where the center of the pattern of reticle R (reticle center) substantially matches optical axis AXp of projection optical system PL. FIG. 7 shows a state in which the reticle alignment has been performed.
The projection optical system PL is arranged below the reticle stage RST in FIG. 7 so that the direction of the optical axis AXp is the Z-axis direction orthogonal to the XY plane. Here, as the projection optical system PL, a dioptric system (not shown) composed of a plurality of lens elements having a common optical axis AX in the Z-axis direction, which is a telecentric reduction system on both sides, is used here. The driving of a specific number of the lens elements is controlled by an imaging characteristic correction controller (not shown) based on a command from the main controller 28, and the magnification, distortion, coma, and image of the projection optical system PL are adjusted. Surface curvature and the like can be adjusted.
The projection magnification of the projection optical system PL is, for example, 1/5 (or 1/4). Therefore, when the reticle R is illuminated with uniform illuminance by the pulse illumination light IL in a state where the pattern of the reticle R is aligned with the shot area on the wafer W, the pattern on the pattern forming surface is Is reduced by the projection optical system PL, projected onto the wafer W coated with the photoresist, and a reduced image of the pattern is formed in each shot area on the wafer W.
The XY stage 20 is actually composed of a Y stage that moves on a base (not shown) in the Y-axis direction and an X stage that moves on the Y stage in the X-axis direction. Are representatively shown as an XY stage 20. A wafer table 18 is mounted on the XY stage 20, and a wafer W is held on the wafer table 18 by vacuum suction or the like via a wafer holder (not shown).
The wafer table 18 minutely drives a wafer holder that holds the wafer W in the Z-axis direction and the tilt direction with respect to the XY plane, and is also called a Z-tilt stage. A movable mirror 24 is provided on the upper surface of the wafer table 18, and the position of the wafer table 18 in the XY plane is measured by projecting a laser beam onto the movable mirror 24 and receiving the reflected light. A laser interferometer 26 is provided to face the reflecting surface of the movable mirror 24. Actually, the moving mirror is provided with an X moving mirror having a reflecting surface orthogonal to the X axis and a Y moving mirror having a reflecting surface orthogonal to the Y axis. An X laser interferometer for measuring the direction position and a Y laser interferometer for measuring the Y direction position are provided, and these are shown as a movable mirror 24 and a laser interferometer 26 in FIG. The X laser interferometer and the Y laser interferometer are multi-axis interferometers having a plurality of length measuring axes. , Pitching (rotation around the X-axis, θx) and rolling (rotation around the Y-axis, θy) can also be measured. Therefore, in the following description, it is assumed that the position of the wafer table 18 in the directions of five degrees of freedom of X, Y, θz, θy, and θx is measured by the laser interferometer 26.
The measurement value of the laser interferometer 26 is output to the main controller 28. The main controller 28 controls the XY stage 20 via the drive system 22 based on the output of the laser interferometer 26, so that the wafer table 18 Positioned. In addition, the position in the Z direction of the surface of the wafer W is determined by obliquely having a light transmitting system 50a and a light receiving system 50b disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-283403 and US Pat. No. 5,448,332 corresponding thereto. The measurement is performed by a focus sensor AFS including an incident type multi-point focal position detection system. The measurement value of the focus sensor AFS is also output to the main controller 28, and the main controller 28 controls the wafer table 18 via the drive system 22 based on the output of the focus sensor AFS to perform so-called focus leveling control. Is supposed to do it. To the extent permitted by the national laws of the designated or designated elected States in this International Application, the disclosures in the above publications and U.S. patents are incorporated herein by reference.
In the exposure apparatus 100 of the present embodiment, the position and orientation of the wafer W in the directions of five degrees of freedom of X, Y, Z, θx, and θy are controlled via the wafer table 18 as described above. . The remaining error of θz (yawing) is corrected by rotating reticle stage RST based on yawing information of wafer table 18 measured by laser interferometer 26.
On the wafer table 18, a reference plate FP whose surface is the same as the surface of the wafer W is fixed. On the surface of the reference plate FP, various reference marks including a reference mark used for so-called baseline measurement or the like are formed.
Further, in the present embodiment, an off-axis type alignment detection system AS as a mark detection system for detecting an alignment mark formed on the wafer W is provided on a side surface of the projection optical system PL. The alignment detection system AS has three types of alignment sensors: an LSA (Laser Step Alignment) system, an FIA (Filled Image Alignment) system, and an LIA (Laser Interferometric Alignment) system. It is possible to measure the position of the alignment mark on the wafer in the two-dimensional X and Y directions.
Here, the LSA system is the most versatile sensor that irradiates a mark with laser light and measures the position of the mark by using diffracted and scattered light, and is conventionally used for a wide range of process wafers. The FIA system is a sensor that illuminates a mark with broadband (broadband) light such as a halogen lamp and measures the mark position by processing the mark image, and is effectively used for an asymmetric mark on an aluminum layer or a wafer surface. You. The LIA system is a sensor that irradiates a diffraction grating mark with laser light whose frequency is slightly changed from two directions, interferes the two generated diffraction lights, and detects mark position information from the phase. Yes, it is effectively used for low step and rough surface wafers.
In the present embodiment, these three types of alignment sensors are properly used according to the purpose, and so-called baseline measurement of the alignment detection system AS or fine alignment for accurately measuring the position of each shot area on the wafer is performed. It has become. In addition, as the alignment detection system AS, an alignment sensor that irradiates a target mark with coherent detection light and interferes and detects two diffracted lights (for example, the same order) generated from the target mark can be used.
Information DS from each alignment sensor constituting the alignment detection system AS is A / D-converted by the alignment control device 16, and a digitized waveform signal is arithmetically processed to detect a mark position. The result is sent to the main controller 28.
Further, although not shown, the exposure apparatus 100 of the present embodiment is disclosed above the reticle R, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-176468 and US Pat. No. 5,646,413 corresponding thereto. A pair of a TTR (Through The Reticle) alignment system using an exposure wavelength for simultaneously observing a reticle mark (not shown) on the reticle R and a mark on the reference plate FP via the projection optical system PL. Reticle alignment microscope is provided. The detection signals of these reticle alignment microscopes are supplied to the main controller 28 via the alignment controller 16. In addition, as far as the national law of the designated country designated in the international application or the selected elected country permits, the disclosure in the above-mentioned gazettes and U.S. patents is incorporated herein by reference.
As described above, the main controller 28 controls each unit of the exposure apparatus 100, and receives data from various sensors and the like. The information output unit 301 and the self-diagnosis unit 302 constitute a part of the main control unit 28, and create various files based on information supplied from various sensors of the exposure apparatus 100, In addition to performing self-measurement and self-diagnosis of the state of each unit, various files and the like can be transmitted to a diagnostic server via the LAN adapter and the LAN cable.
The information from each of the exposure apparatuses to the diagnostic server is partially coded, and the codes include an information code indicating the type of information, a Fab code indicating a factory, an apparatus code for specifying the exposure apparatus, and data. Item code indicating the type of the customer, a customer code for specifying the customer, and the like.
For example, as shown in FIG. 8, the information code is “005” in the event log file, “008” in the sequence log file, “011” in the error log file, “015” in the operation history log file, and the measurement data log. “025” is set in the file, “031” is set in the setting data log file, “100” is set in the diagnostic result file, and the like.
In the Fab code, as shown in FIG. 9, “001” is set in the first factory, “002” is set in the second factory, and the like.
Further, as shown in FIG. 10, the apparatus code is “001” for the first exposure apparatus, “002” for the second exposure apparatus, “003” for the third exposure apparatus, and “003” for the third exposure apparatus. Is set to "004" for the fifth exposure apparatus, "005" is set to the fifth exposure apparatus, and the like.
As shown in FIG. 11, the item codes are "0045" for a positioning error, "0289" for a pre-alignment search error, "0301" for a wafer exchange start time, "0302" for a wafer exchange end time, and wafer transfer. “0457” is set for the function, “1420” is set for the illuminance data, “1475” is set for the illuminance decrease, and the like.
As the customer code, for example, “15537” is set for the first customer and “18473” is set for the second customer.
The lengths and setting contents of the respective codes described above are examples, and vary depending on the type of industrial equipment and the system configuration. The setting contents are stored in a database and can be referred to when creating a file or analyzing a file.
Further, at the time of diagnosis, a determination value serving as a criterion for determining whether the monitoring target data is normal or abnormal is set in advance for each monitoring target data and registered in the determination value database. In the present embodiment, as an example, as shown in FIG. 12, the occurrence frequency of the positioning error and the pre-alignment search error is 0.1 to less than 0.3 times, level 3 abnormal, 0.3 to 0. A level 2 abnormality is determined when less than 5 times, and a level 1 error is determined when 0.5 times or more. The occurrence frequency of the load slider positioning error, COZ axis error and LZ axis error is 0.2 times or more and less than 0.4 times. It is registered in the determination value database such that a level 3 abnormality, a level 2 abnormality when 0.4 times or more and less than 0.6 times, and a level 1 abnormality when 0.6 times or more. However, these determination values can be changed.
Next, configurations of the error log file, the measurement data log file, and the sequence log file created by the information output unit 301 of the exposure apparatus and notified to the diagnostic server will be described.
The error log file includes, as an example, as shown in FIG. 13A, an information code portion, a Fab code portion for specifying a factory, a device code portion for specifying an exposure device, and an error type. It is composed of an item code part and a date and time part indicating the date and time when the error occurred. The Fab code section is not always necessary because a diagnostic server is installed at each factory of each customer, but in the present embodiment, the Fab code section is included in the error log file for checking the validity of information. Is added. However, the error log file is not limited to the format shown in FIG. 13A, but differs depending on the type of industrial equipment and the system configuration, and may have other codes and information added.
As an example, the measurement data log file includes, as shown in FIG. 14A, an information code section, a Fab code section for specifying a factory, an apparatus code section for specifying an exposure apparatus, and a type of measurement data. , An item code part indicating measurement date and time, and a measurement data part indicating measurement data. The data length of the measurement data section differs depending on the type of the measurement data. Note that the Fab code section is not necessarily required because a diagnostic server is installed at each factory of each customer, but in the present embodiment, the Fab data section is stored in the measurement data log file for the same reason as the error log file. The Fab code part is added. However, the measurement data log file is not limited to the format shown in FIG. 14A, differs depending on the type of industrial equipment and the system configuration, and may have other codes and information added.
The sequence log file, as an example, as shown in FIG. 15A, shows an information code part, a Fab code part for specifying a factory, a device code part for specifying an exposure apparatus, and a logging start date and time. It consists of a date and time part and a sequence data part indicating sequence data. The sequence data section is variable in length and includes a plurality of event item data and the event occurrence times. Note that the Fab code section is not always necessary because a diagnostic server is installed at each factory of each customer, but in the present embodiment, the Fab log section is stored in the sequence log file for the same reason as the error log file. The code part is added. However, the sequence log file is not limited to the format shown in FIG. 15A, differs depending on the type of industrial equipment and the system configuration, and may include other codes and information.
Next, a configuration of the abnormality determination information notified from the diagnosis server to the management server will be described.
As an example, as shown in FIG. 16A, the abnormality determination information includes an information code portion, a customer code portion for specifying a customer, a Fab code portion for specifying a factory, and an exposure device. , An item code section indicating an abnormality diagnosis item, a date and time section indicating the date and time of occurrence of the abnormality, and a content section indicating the content of the abnormality. In addition, the content part includes abnormal level information, target data information for determination, determination value information, and the like. The abnormal level information includes “01” for level 1 abnormal, “02” for level 2 abnormal, “03” for level 3 abnormal, “11” for level 1 abnormal prediction, level 2 “12” is set for abnormal prediction, and “13” is set for level 3 abnormal prediction. In the present embodiment, since the management server is installed for each customer, the customer code section may be omitted.
As a specific example of the frequency diagnosis according to the present embodiment, a case will be described in which the pre-alignment accuracy is deteriorated in the exposure apparatus 112 of the second factory F2 of the first customer C1.
In the exposure device 112, when the pre-alignment search detects a pre-alignment search error based on the data from the alignment control device 16 during the pre-alignment search, the information output unit 301 creates an error log file, and the diagnostic server Output to 116.
In this embodiment, when a pre-alignment search error occurs, the error log file created by the information output unit 301 has “011” indicating the error log file in the information code part, as shown in FIG. 13B. In the Fab code part, “002” indicating the second factory is shown in the device code part, “002” indicating the second device is shown in the device code part, “0289” indicating the pre-alignment search error is shown in the item code part, and the date and time of the error occurrence is shown in the date and time part. Is set. The error occurrence date and time means 18:21 on December 15, 2000.
When the communication between the diagnostic server 116 and each of the exposure apparatuses 111 to 115 in the second factory F2 of the first customer C1 is performed by the above-described polling / selecting method, the error log file is shown in FIG. 13C, the information is set in the information section of the information message and transmitted from the exposure apparatus 112 to the diagnosis server 116. Actually, the data of the information part in the information telegram is converted into an ASCII code. For example, the information code data “011” is converted into 3-byte data of 30H, 31H, 31H.
When the information collection unit 303 of the diagnosis server 116 receives the information message from the exposure apparatus 112 normally, it extracts the information part from the received information message. Then, since the information code of the information section is “011”, the information collection section 303 determines that the received information is an error log file, and creates an error information file via the information classification section 304. The error information file created by the information classification unit 304 has the same contents as the error log file.
The error information file is compressed by the information storage unit 305 and stored in a storage medium, and is registered in the error information database by the information registration unit 306. In the present embodiment, as an example, the data record of the error information database includes, as shown in FIG. 17, a customer code field, a Fab code field, a device code field, an item code field, and a date / time field. It is configured. Since the diagnostic server 116 is dedicated to the second factory F2 of the first customer, the customer code field and the Fab code field are not necessarily required, but in consideration of the case where the vendor refers to the error information database, A customer code field and a Fab code field are provided.
In the present embodiment, the error information database is registered in the order of occurrence date and time as shown in FIG. 17, but may be registered in the order of device code or item code. Further, an error information database for each device code or each item code may be created.
Next, since the item code of the error information file is “0289”, the diagnosis unit 307 of the diagnosis server 116 determines that the content of the error is a pre-alignment search error. Further, the diagnosis unit 307 refers to the diagnosis database, and since the received information is a pre-alignment search error, based on the occurrence frequency of the pre-alignment search error stored in the error information file and the error information database. Confirm that diagnosis of deterioration of pre-alignment accuracy is performed.
Therefore, the diagnosis unit 307 extracts the device code (002) and the date and time data (20001151821) from the error information file. Then, the diagnosis unit 307 refers to the event log file stored in the storage medium, and from 18:21 on December 14, 2000 to 18:21 on December 15, 2000 (24 hours), The number N of wafers processed by the exposure device 112 is obtained. Further, the diagnosis unit 307 refers to the error information database stored in the storage medium, and operates from 18:21 on December 14, 2000 to 18:21 on December 15, 2000 (24 hours). , The number M of pre-alignment search errors occurring in the exposure apparatus 112 is determined. Then, the frequency MA of occurrence of a pre-alignment search error per wafer is calculated using the following equation (1).
MA = M / N (1)
Further, the diagnosis unit 307 searches the determination value database (see FIG. 12) stored in the storage medium, extracts a determination value of the frequency of occurrence of a pre-alignment search error, and calculates the value using the above equation (1). Is compared with the pre-alignment search error occurrence frequency MA per wafer. Here, for example, if the frequency MA of occurrence of the pre-alignment search error per wafer is 0.2, the judgment value of the level 3 abnormality is exceeded, ie, 0.1, and the judgment value of the level 2 abnormality is exceeded. That is, since the number is less than 0.3, the diagnosis unit 307 diagnoses the level 3 abnormality of the exposure apparatus 112, creates abnormality determination information as a diagnosis result, and manages the vendor side via the diagnosis result notification unit 308. The server 151 is notified.
Even if the frequency MA of the pre-alignment search error per wafer is less than the determination value of the level 3 abnormality, based on the frequency MA of the pre-alignment search error per wafer within a predetermined period, The occurrence frequency MA in the predetermined future is predicted by an approximation process using the least square method, and if the predicted occurrence frequency MA exceeds the determination value of the level 3 abnormality, the diagnosis unit 307 determines the diagnosis result as The abnormality determination information is created, and is notified to the management server 151 on the vendor side via the diagnosis result notification unit 308.
In the abnormality determination information created by the diagnosis unit 307, as shown in FIG. 16B, “100” indicating the diagnosis result file in the information code part, “15537” indicating the first customer C1 in the customer code part, “002” indicating the second factory in the Fab code portion, “002” indicating the second exposure apparatus in the device code portion, and “0289” indicating the pre-alignment search error in the item code portion is the date and time. In the section, "2000001215821" indicating the date and time of occurrence of abnormality is shown, and in the content section, "03" indicating that the diagnosis result is level 3 abnormality, and the frequency of the pre-alignment search error per wafer is 0.2. “0002” and “0001” indicating that the determination value is 0.1 times are set.
The abnormality determination information transmitted from the diagnosis result notification unit 308 of the diagnosis server 116 passes through the firewall 118 of FIG. 1, passes through the in-house LAN 110 of the first customer C1, passes through the firewall 107, and passes through the dedicated line 140 Through the firewall 158, through the in-house LAN 130 of the vendor 150, and further through the firewalls 157 and 153 to reach the management server 151. The abnormality determination information transmitted from the diagnosis server 116 reaches the management server 151 almost in real time. In the present embodiment, a dedicated line is used. However, the present invention is not limited to this, and a public line may be used. Further, it is also possible to transmit the abnormality determination information from the diagnostic server 116 to the management server 151 using the Internet. Further, the abnormality determination information is also notified to the administrator terminal 106 of the first customer C1 by e-mail or the like.
When receiving the abnormality determination information from the diagnostic server 116, the notification unit 311 of the management server 151 transfers the received content to the responsible terminal 159 by e-mail or the like. The abnormality determination information can be sent directly from the diagnostic server 116 to the person in charge terminal 159 by e-mail or the like.
The counting unit 312 of the management server 151 registers the contents of the abnormality determination information in the abnormality diagnosis result history database. As shown in FIG. 18, the data record of the abnormality diagnosis result history database includes a customer field, a Fab field, a device field, an item field, a date and time field, a diagnosis result field, a judgment data field, and a judgment data field. And a value field.
In the present embodiment, the abnormality diagnosis result history database is registered in the order of the diagnosis date and time as shown in FIG. 18, but may be registered in the order of the device code or the item code. Further, an abnormality diagnosis result history database for each device or each item may be created.
Further, since the Fab code of the abnormality determination information is “002”, the device code is “002”, and the item code is “0289”, the detailed information collection unit 313 of the management server 151 The data is downloaded from the event log file of the exposure apparatus 112 or the related database stored in the storage medium of the diagnostic server 116 via the 305 or the information registration unit 306, and stored in the storage medium of the management server 151.
The person in charge checks the contents of the abnormality determination information sent to the person in charge terminal 159, and if it is determined that analysis is necessary, operates the information analysis terminal 155 and saves the information in the storage medium of the management server 151. The event log file of the exposed exposure apparatus 112 and the related database are analyzed to investigate the cause of the occurrence of the pre-alignment search error. Then, the person in charge arranges replacement of the parts via the link unit 316 with the in-house system according to the cause. The analysis result and the countermeasure are notified to a maintenance staff terminal (not shown) via the in-house LAN 130 of the vendor, and the maintenance staff immediately responds when necessary. At the same time, the analysis result is also notified to the administrator terminal 106 of the first customer C1 by e-mail or the like, and the administrator of the first customer C1 performs necessary processing based on the notification.
As described above, regarding the deterioration of the pre-alignment accuracy, an abnormality can be detected at an early stage by constantly checking the frequency of occurrence of the pre-alignment search error, and the cause can be immediately analyzed. Therefore, early response is possible, and the accuracy of pre-alignment can be maintained. Further, downtime of the exposure apparatus due to deterioration of the pre-alignment accuracy can be suppressed to a necessary minimum, and productivity can be improved.
Further, the phenomenon of the error, its cause, the analysis method, and the countermeasure are registered in a database on a web server of the in-house LAN 130 of the vendor side, so that the related persons can browse with a browser or the like.
Next, as a specific example of the temporal change diagnosis according to the present embodiment, a case of diagnosing a decrease in the illuminance of the optical system in the exposure apparatus 121 installed in the factory of the second customer C2 will be described.
When the periodic maintenance is performed, the information output unit 301 of the exposure apparatus 121 creates a measurement data log file including the illuminance data and transmits the measurement data log file to the diagnostic server 124.
In the present embodiment, as shown in FIG. 14B, the measurement data log file created by the information output unit 301 has “025” indicating the measurement data log file in the information code part, and the first factory in the Fab code part. “001” indicates the first device in the device code part, “1420” indicates the illuminance data in the item code part, “200012200915” indicates the measurement date and time in the date and time part, and the measurement data part is exposed. Illuminance data at a plurality of measurement points in the area is set. The measurement date and time means 9:15 on December 20, 2000.
When the communication between the diagnostic server 124 and each of the exposure apparatuses 121 to 123 in the second customer C2 is performed by the polling / selecting method described above, the measurement data log file is as shown in FIG. 14C. Then, the information is set in the information section of the information message and transmitted from the exposure apparatus 121 to the diagnostic server 124. Actually, the data of the information part in the information telegram is converted into an ASCII code. For example, the information code data “025” is converted into 3-byte data of 30H, 32H, and 35H.
When the information collection unit 303 of the diagnosis server 124 receives the information message from the exposure apparatus 121 normally, it extracts the information part from the received information message. Then, since the information code of the information part is “025” and the item code is “1420”, the information collecting unit 303 determines that the received information is the measurement data log file of the illuminance data. Therefore, the information collection unit 303 extracts the measurement date and time and the measurement data from the information unit via the information classification unit 304, and creates an illuminance data file. The illuminance data file includes illuminance data and measurement dates and times at a plurality of measurement points in the exposure area.
The illuminance data file is compressed in the information storage unit 305 and stored in a storage medium, and is registered in the illuminance database by the information registration unit 306.
Next, the diagnostic unit 307 of the diagnostic server 124 refers to the diagnostic database, and since the received information is the illuminance measurement data, the illuminance calculated from the illuminance data file and the illuminance data stored in the illuminance database. Confirm that the diagnosis of illuminance reduction is made based on the predicted value of the data. Thus, the diagnosis unit 307 extracts illuminance data from the illuminance data file and refers to the illuminance database to extract illuminance data measured within a preset period. Then, an approximate straight line indicating a temporal change of the illuminance data is calculated by the least square method, and the illuminance data P in a preset future (several days or weeks ahead, etc.) is predicted. Here, the average value of the illuminance data at a plurality of measurement points in the exposure area is used, but the illuminance data at a predetermined measurement point may be used. In the case of illuminance unevenness diagnosis, the diagnosis is performed based on the illuminance non-uniformity in the exposure area.
Further, the diagnosis unit 307 searches for the determination value of the illuminance data from the determination value database stored in the storage medium, and compares it with the predicted value P of the illuminance data. Here, when the predicted value P is equal to or more than the determination value S of the level 3 abnormality and less than the determination value of the level 2 abnormality, the diagnosis unit 307 diagnoses the exposure apparatus 121 as a level 3 abnormality, and determines the abnormality. The information is created and notified to the management server 152 on the vendor side via the diagnosis result notification unit 308.
In the abnormality determination information, as shown in FIG. 16C, “100” indicating the diagnosis result file is displayed in the information code section, “18473” indicating the second customer C2 is displayed in the customer code section, and the first factory is stored in the Fab code section. "001" indicating the first exposure device in the device code portion, "1475" indicating that the illuminance is low in the item code portion, and the abnormality occurrence date and time "200012200915" in the date and time portion. "13" indicating that the diagnosis result is a level 3 abnormality prediction in the content part ("03" if the value of the received illuminance data itself is already equal to or greater than the determination value S) and the expected value P of the illuminance data The determination value S is set. The date and time of occurrence of the abnormality means 9:15 on December 20, 2000.
The abnormality determination information transmitted from the diagnosis result notification unit 308 of the diagnostic server 124 passes through the firewall 126 of FIG. 1, passes through the in-house LAN 120 of the second customer C2, passes through the firewall 128, and passes through the dedicated line 140. Via the firewall 158, via the in-house LAN 130 of the vendor 150, and further through the firewalls 157 and 154 to reach the management server 152. Further, the abnormality determination information is also notified to the manager terminal 127 of the second customer C2 by e-mail or the like.
Upon receiving the abnormality determination information from the diagnosis server 124, the notification unit 311 of the management server 152 transfers the received content to the responsible terminal 159 by e-mail or the like. Further, the counting unit 312 registers the contents of the abnormality determination information in the abnormality diagnosis result history database.
Further, since the device code of the abnormality determination information is “001” and the item code is “1475”, the detailed information collection unit 313 diagnoses the abnormality via the information storage unit 305 and the information registration unit 306 of the diagnosis server 124. Data is downloaded from the illuminance data file or the illuminance database of the exposure apparatus 121 stored in the storage medium of the server 124 and stored in the storage medium of the management server 152.
The person in charge checks the contents of the abnormality determination information sent to the person in charge terminal 159, and if it is determined that analysis is necessary, operates the information analysis terminal 155 and saves the information in the storage medium of the management server 152. The detailed data such as the uniformity of the illuminance is analyzed with reference to the illuminance data file and the illuminance database, and the cause of the decrease in the illuminance is investigated. Then, the person in charge arranges BMU (beam matching unit) and IU (lighting unit) parts via the link unit 316 with the in-house system according to the cause. The analysis result and the countermeasure are notified to a maintenance staff terminal (not shown) via the in-house LAN 130 of the vendor, and the maintenance staff immediately responds when necessary. At the same time, the analysis result is also notified to the manager terminal 127 of the second customer C2 by e-mail or the like, and the manager of the second customer C2 performs necessary measures based on the notification. For example, the optical system is cleaned.
As described above, regarding the decrease in the illuminance, the aging of the illuminance is constantly checked, and by predicting the abnormality, the abnormality can be detected before adversely affecting the quality of the product. Since the analysis can be performed immediately, an early response is possible, and the exposure accuracy can be maintained. In addition, since parts that need to be replaced are arranged in preparation for the replacement time, the inventory of unnecessary parts can be reduced. In addition, since there is enough time for the response, it is possible to make a reservation for the maintenance staff. Further, downtime of the exposure apparatus due to a decrease in illuminance can be suppressed as much as possible, and productivity can be improved.
Further, the phenomenon of the error, its cause, the analysis method, and the countermeasure are registered in a database on a web server of the in-house LAN 130 of the vendor side, so that the related persons can browse with a browser or the like.
Further, as a specific example of the inter-apparatus comparison diagnosis according to the present embodiment, a case of the transfer function diagnosis of the wafer transfer system in the exposure apparatus 101 installed in the first factory F1 of the first customer C1 will be described. Here, the exposure apparatuses 101 and 102 installed in the first factory F1 and the exposure apparatuses 111, 112, 113, 114 and 115 installed in the second factory F2 are grouped. .
The information output unit 301 of the exposure apparatus 101 starts acquiring a sequence log when a wafer replacement is instructed. Then, when a predetermined time has elapsed, acquisition of the sequence log is stopped, a sequence log file is created, and the created sequence log file is transmitted to the diagnostic server 103.
In the present embodiment, as shown in FIG. 15B, the sequence log file to be created has “008” indicating the sequence log file in the information code part, and “001” indicating the first factory in the Fab code part, and In the code part, the device code “001” indicating the first device, in the date and time part, “2000122251300” indicating the logging start date and time, and in the sequence data part, the item code “0301” of wafer replacement start and the wafer replacement start time t S , And the wafer exchange end item code “0302” and the wafer exchange end time t F Is set. The logging start date and time means 13:00 on December 25, 2000.
When the communication between the diagnostic server 103 and the exposure apparatuses 101 and 102 in the first factory F1 of the first customer C1 is performed by the polling / selection method described above, the sequence log file is as shown in FIG. 15C. As shown, the information is set in the information section of the information message and transmitted from the exposure apparatus 101 to the diagnostic server 103. Actually, the data of the information part in the information telegram is converted into an ASCII code. For example, the information code data “008” is converted into 3-byte data of 30H, 30H, and 38H.
Upon receiving the information message from the exposure apparatus 101 normally, the information collection unit 303 of the diagnosis server 103 extracts the information part from the received information message. Then, since the information code of the information section is “008”, the information collection section 303 determines that the received information is a sequence log file, and transmits necessary information from the information section via the information separation section 304. Extract and create a wafer exchange data file. As shown in FIG. 19A, the wafer exchange data file includes, as an example, an information code portion indicating a type of information, a Fab code portion for specifying a factory, and an apparatus code portion for specifying an exposure apparatus. An item code portion indicating the type of data, an exchange date portion indicating the date when the wafer exchange was started, an exchange start time portion indicating the time when the exchange was started, and an exchange end time indicating the time when the exchange was completed. Be composed.
The wafer exchange data file is compressed by the information storage unit 305 and stored in a storage medium, and is registered in the wafer exchange database by the information registration unit 306. As shown in FIG. 19B, the data record of the wafer exchange database includes, for example, a customer field, a Fab field, an equipment field, an item field, an exchange date field, an exchange start time field, and an exchange end time field. And
Next, the diagnostic unit 307 of the diagnostic server 124 refers to the diagnostic database, and since the received information is the wafer exchange data, the trend of the wafer exchange time stored in the wafer exchange data file and the wafer exchange database is determined. Confirm that the diagnosis of the deterioration of the wafer transfer function is performed based on the data. Therefore, first, the diagnosis unit 307 determines the wafer replacement start time t from the wafer replacement data file. S , And the wafer exchange end time t F And the time t required for wafer replacement by the following equation (2): C (Hereinafter abbreviated as “wafer replacement time”).
t C = T F -T S … (2)
Further, the diagnosis unit 307 refers to the wafer exchange database and performs the necessary information for the wafer exchange performed between 13:00 on December 24, 2000 and 13:00 on December 25, 2000 (24 hours). Average value of the measured time, that is, the average wafer exchange time t AC Is calculated. Similarly, the other exposure apparatuses 102, 111, 112, 113, 114, and 115 belonging to the preset apparatus group are similarly set from 13:00 on December 24, 2000 to 13:25 on December 25, 2000, respectively. Average value t of time required for wafer exchange performed until 0:00 (24 hours) BC , T CC , T DC , T EC , T FC , T GC Is calculated. For the exposure apparatuses 111 to 115 installed in the second factory, a request is made to the diagnostic server 116 in the second factory. Then, using the following equation (3), the average wafer exchange time t of the entire exposure apparatus in the group TC Is calculated.
t TC = (T AC + T BC + T CC + T DC + T EC + T FC + T GC ) / 7… (3)
Next, the average wafer exchange time t of the entire exposure apparatus TC Wafer exchange time t of exposure apparatus 101 to be diagnosed AC Δt C Is calculated using the following equation (4).
Δt C = | T TC -T AC ｜… (4)
Further, the diagnosis unit 307 searches the judgment value database stored in the storage medium for the judgment value of the wafer replacement time, and C Compare with Here, the difference Δt C Is greater than or equal to the determination value WS for the level 3 abnormality and less than the determination value for the level 2 abnormality, the exposure apparatus 101 is diagnosed as a level 3 abnormality, abnormality determination information is created, and the vendor is notified via the diagnosis result notification unit 308. To the management server 151 on the side.
Note that the difference Δt C Is less than the level 3 abnormality determination value, the difference Δt within a predetermined period. C , A predetermined future difference Δt in an approximation process using the least squares method. C And the predicted difference Δt C If the value exceeds the level 3 abnormality determination value, the diagnosis unit 307 creates abnormality determination information as a diagnosis result and notifies the management server 151 on the vendor side via the diagnosis result notification unit 308.
In the abnormality determination information, as shown in FIG. 16D, “100” indicating the diagnosis result is displayed in the information code portion, “15537” indicating the first customer C1 is displayed in the customer code portion, and “15537” is displayed in the Fab code portion. “001” indicating one factory, “001” indicating the first device in the device code, “0457” indicating an error of the wafer transfer system in the item code portion, and occurrence date “200012251300” in the date and time portion are indicated. "03" indicating that the diagnosis result is level 3 abnormal in the content part (however, if the predicted value is level 3 abnormal, "13") and the difference Δt C And the determination value WS are set. The date and time of occurrence of an abnormality means 13:00 on December 25, 2000.
Returning to FIG. 1, the abnormality determination information from the diagnostic server 103 passes through the firewall 105, passes through the in-house LAN 110 of the first customer C1, passes through the firewall 107, passes through the dedicated line 140, and further passes through the firewall 158. To the management server 151 via the in-house LAN 130 of the vendor 150, and further through the firewalls 157 and 153. Further, the abnormality determination information is also notified to the administrator terminal 106 of the first customer C1 by e-mail or the like.
Upon receiving the abnormality determination information from the diagnostic server 103, the notification unit 311 of the management server 151 transfers the received content to the responsible terminal 159 by e-mail or the like. Further, the counting unit 312 registers the contents of the abnormality determination information in the abnormality diagnosis result history database.
Since the Fab code of the abnormality determination information is “001”, the device code is “001”, and the item code is “0457”, the detailed information collection unit 313 determines that the information storage unit 305 and the information registration unit 306 of the diagnostic server 103 , Exchange time data for each wafer of the exposure apparatus 101 stored in the storage medium of the diagnostic server 103, detailed information on the wafer position (eg, where the wafer is stagnated in the exposure apparatus, etc.), Error information related to the transfer of the wafer is downloaded and stored in the storage medium of the management server 151.
The person in charge checks the contents of the abnormality determination information sent to the person in charge terminal 159, and if it is determined that analysis is necessary, operates the information analysis terminal 155 and saves the information in the storage medium of the management server 151. By referring to the detailed information on the wafer position, the error information, and the like, the problem location is limited and the cause is investigated. Then, according to the cause, the person in charge arranges component replacement via the link unit 316 with the in-house system, if necessary. These pieces of information are also notified to the maintenance staff via the vendor's in-house LAN 130, and the maintenance staff immediately responds when necessary. At the same time, the analysis result is also notified to the administrator terminal 106 of the first customer C1 by e-mail or the like, and the administrator of the first customer C1 performs necessary processing based on the notification.
As described above, with respect to the transfer function of the wafer transfer system, an abnormality can be detected at an initial stage by periodically comparing the time required for wafer exchange with the case of another exposure apparatus, and furthermore, the cause of the abnormality can be detected. Can be analyzed immediately, so that early response is possible and high throughput can be maintained. Furthermore, downtime of the exposure apparatus due to a decrease in the wafer transfer function can be suppressed as much as possible, and productivity can be improved.
Further, the phenomenon of the error, its cause, the analysis method, and the countermeasure are registered in a database on a web server of the in-house LAN 130 of the vendor side, so that the related persons can browse with a browser or the like.
As described above, according to the remote maintenance system according to the present embodiment, by predicting an abnormality, component replacement and hardware adjustment can be performed at an early stage, and performance and accuracy of industrial equipment can be maintained. In addition, the operating rate of industrial equipment can be improved by timely replacement of parts, adjustment of hardware, and optimization of parameters according to processes. In addition, it is possible to quickly respond to the occurrence of a trouble, and it is possible to minimize downtime caused by the trouble.
Further, since the vendor can download various types of information on the industrial equipment on the customer side via the network, the vendor can efficiently perform detailed abnormality analysis. Since the customer side can permit or reject a connection request from the outside, it is possible to prevent unauthorized leakage of information.
In addition, even if the trouble has a high degree of difficulty, quick response is possible, and the repair time can be shortened, so that the operation rate of the industrial equipment can be improved.
Further, since the maintenance staff has previously grasped the state of the industrial equipment to be maintained, the efficiency of the periodic maintenance can be improved, and the periodic maintenance interval can be extended.
Further, since the destination for notifying the diagnosis result is automatically selected according to the diagnosis result of the industrial equipment, the load on the person in charge and the maintenance staff can be reduced.
In addition, by predicting the abnormality, the occurrence of the abnormality can be prevented beforehand, and replacement parts can be arranged and maintenance personnel can be reserved according to the response time.
Further, the vendor can promote the improvement and development of industrial equipment based on the collected various information.
Further, since a dedicated line is used as a communication means between the customer side and the vendor side, it is possible to prevent unauthorized leakage of information.
In the present embodiment, the diagnosis server diagnoses all abnormalities. However, depending on the items of the diagnosis, the diagnosis may be performed on the industrial device side. For example, the diagnosis of the accuracy of the pre-alignment described above can be performed by the industrial equipment itself. This is made possible by providing a diagnostic function equivalent to that of the diagnostic unit 307 of the diagnostic server on the industrial device side. In this case, since the diagnosis result is notified from the industrial device to the diagnosis server, in the diagnosis server, similar to the above, various related files and Collection of a database, creation of a file and a database, and the like are performed. Which items are to be diagnosed depends on the capacity of the storage medium of the industrial equipment and the processing time. Therefore, when diagnosing with a long-term change over time or when diagnosing by comparing performance with other industrial equipment, it is more efficient to perform the diagnosis on the diagnostic server side.
In this embodiment, the customer side and the vendor side are connected by a dedicated line, but a public line may be used. However, in this case, security measures need to be strengthened more than in the case of a dedicated line.
Furthermore, in the diagnostic system according to the present invention, it is possible to construct a LAN environment using a wireless LAN.
Further, in the remote maintenance system according to the present invention, a PHS or a mobile phone may be used as communication means between the diagnostic device and the management server. In particular, PHS is very effective because high-speed data communication is possible. There is also a great advantage that the installation place can be easily moved.
Further, in the present embodiment, the detailed analysis is performed by the information analysis terminal 155 on the vendor side, but the information analysis unit 309 of the diagnostic server is accessed from the administrator terminal on the user side, and the administrator on the user side performs the detailed analysis. It is also possible to do.
In this embodiment, the person in charge at the vendor side arranges the parts based on the contents of the abnormality determination information sent to the person in charge terminal. When it is possible to determine the necessary parts in a system, an inventory management system (not shown) constructed separately from the system of the present embodiment is linked to the system according to the present embodiment, and the inventory management system (consumable (Including a product management system) may be automatically input for parts arrangement.
In the present embodiment, the diagnostic server has a function of performing abnormality analysis at the time of abnormality diagnosis. However, if various types of information on industrial equipment have been stored in advance, the abnormality analysis function is not required. . That is, instead of the diagnostic server, a diagnostic processing unit is provided that periodically obtains a plurality of pieces of information of the industrial equipment, not only when a trouble occurs, but also includes a management unit that centrally manages the information obtained by the diagnostic processing unit. An information collection device can be used. In this case, the diagnostic processing unit further detects the frequency of occurrence of the predetermined information based on a plurality of pieces of information of the industrial equipment, detects a change over time of specific information, or compares the information with the same industrial equipment group. By doing so, the abnormality diagnosis according to the present embodiment becomes possible. The diagnostic processing unit can also acquire information using a self-measurement function or a self-diagnosis function of the industrial device. Then, the management unit is not limited to the information obtained from the industrial equipment by the diagnostic processing unit, but also the information processed by the diagnostic processing unit, that is, the occurrence frequency information of the predetermined information, the time-dependent change information of the specific information, and the same industrial It also centrally manages comparison information with device groups.
As a result, in the information collecting apparatus, various kinds of information of the industrial equipment are stored in advance, so that it is easy to collect information when a trouble occurs, and it is possible to solve the trouble early. As a result, it is possible to minimize downtime caused by troubles in industrial equipment and contribute to improvement in productivity.
Industrial applicability
As described above, the diagnostic device according to the present invention is suitable for predicting an abnormality or early detection of an industrial device and analyzing the cause thereof. Further, the diagnostic system according to the present invention is suitable for almost real-time detection of an abnormality of industrial equipment and analysis of its cause. Further, the remote maintenance system according to the present invention is suitable for predicting an abnormality or early detection of an industrial device located in a remote place, and analyzing the cause thereof. Further, the information collecting apparatus according to the present invention is suitable for collecting information when a trouble occurs and solving the trouble.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a remote maintenance system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram for explaining a flow of information of the remote maintenance system according to the embodiment.
FIG. 3 is a diagram illustrating an example of the diagnostic database.
FIG. 4 is a diagram for explaining a polling sequence.
FIG. 5 is a diagram for explaining the selecting sequence.
6A to 6D are diagrams for explaining a message format in the polling / selecting method.
FIG. 7 is a diagram schematically illustrating a configuration of an exposure apparatus according to an embodiment.
FIG. 8 is a diagram for explaining the correspondence between information types and information codes.
FIG. 9 is a diagram for explaining the correspondence between factories and Fab codes.
FIG. 10 is a diagram for explaining the correspondence between devices and device codes.
FIG. 11 is a diagram for explaining the correspondence between data items and item codes.
FIG. 12 is a diagram for explaining the determination value database.
FIGS. 13A to 13C are diagrams for explaining the configuration of the error log file.
14A to 14C are diagrams for explaining the configuration of the measurement data log file.
FIGS. 15A to 15C are diagrams for explaining the configuration of the sequence log file.
16A to 16D are diagrams for explaining the configuration of the abnormality determination information.
FIG. 17 is a diagram for explaining the error information database.
FIG. 18 is a diagram for explaining the abnormality diagnosis result history database.
FIGS. 19A and 19B are diagrams for explaining a wafer exchange data file and a wafer exchange database, respectively.
FIG. 20 is an explanatory diagram for explaining data prediction and determination levels in abnormality diagnosis.

Claims (44)

少なくとも１台の産業用機器を診断する診断装置であって、
前記産業用機器の情報に基づいて、前記産業用機器における異常の有無の診断を行うとともに、異常が有る場合には異常分析を行う異常診断部と；
前記異常診断部による処理結果を外部に通知する異常通知部と；を備える診断装置。A diagnostic device for diagnosing at least one industrial device,
An abnormality diagnosis unit that diagnoses the presence or absence of an abnormality in the industrial device based on the information of the industrial device, and performs an abnormality analysis when there is an abnormality;
An abnormality notification unit that notifies a processing result by the abnormality diagnosis unit to the outside. 請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部は、異常内容毎に予め定めた診断理由について前記異常の有無の診断を行い、
前記異常通知部は、前記異常内容及び診断理由を前記診断結果に付加して外部に通知することを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 1,
The abnormality diagnosis unit diagnoses the presence or absence of the abnormality for a diagnosis reason predetermined for each abnormality content,
The diagnostic device, wherein the abnormality notifying unit adds the abnormality content and the diagnosis reason to the diagnosis result and notifies the diagnosis result to the outside. 請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部は、前記異常分析に際して異常原因の分析及び該異常に対する対策の検討を行い、
前記異常通知部は、前記異常分析の結果に異常の原因及びその対策を付加して外部に通知することを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 1,
The abnormality diagnosis unit analyzes the cause of the abnormality and examines measures for the abnormality during the abnormality analysis,
The diagnostic device, wherein the abnormality notification unit notifies the external by adding a cause of the abnormality and a countermeasure to the result of the abnormality analysis. 請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部は、複数の分析ツールを更に備え、前記異常分析に際して異常の内容に基づいて前記複数の分析ツールのうちで最適な分析ツールを自動的に選択し、その選択された分析ツールを用いて前記異常分析を行うことを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 1,
The abnormality diagnosis unit further includes a plurality of analysis tools, and automatically selects an optimal analysis tool from among the plurality of analysis tools based on the content of the abnormality during the abnormality analysis, and selects the selected analysis tool. A diagnostic device for performing the abnormality analysis using the diagnostic device. 請求項１に記載の診断装置において、
前記産業用機器の情報は、前記産業用機器のイベント情報、前記産業用機器の稼働履歴情報、前記産業用機器の点検情報、前記産業用機器のエラー情報、前記産業用機器の自己計測情報、及び前記産業用機器の自己診断情報、のうち少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１に記載の診断装置。The diagnostic device according to claim 1,
The information of the industrial equipment is event information of the industrial equipment, operation history information of the industrial equipment, inspection information of the industrial equipment, error information of the industrial equipment, self-measurement information of the industrial equipment, The diagnostic device according to claim 1, wherein the diagnostic device includes at least one of self-diagnosis information of the industrial device. 請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断及び異常分析は、前記産業用機器における所定の情報の発生頻度に基づいて行われることを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 1,
The diagnostic apparatus according to claim 1, wherein the abnormality diagnosis and the abnormality analysis are performed based on a frequency of occurrence of predetermined information in the industrial equipment. 請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断及び異常分析は、前記産業用機器における所定のイベントの発生の有無に基づいて行われることを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 1,
The diagnostic apparatus according to claim 1, wherein the abnormality diagnosis and the abnormality analysis are performed based on whether or not a predetermined event has occurred in the industrial equipment. 請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断及び異常分析は、前記産業用機器における所定の情報の経時変化に基づいて行われることを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 1,
The diagnostic apparatus according to claim 1, wherein the abnormality diagnosis and the abnormality analysis are performed based on a change over time of predetermined information in the industrial equipment. 請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断及び異常分析は、前記産業用機器における所定の情報に関して、同一産業用機器グループとの比較結果に基づいて行われることを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 1,
The diagnostic apparatus according to claim 1, wherein the abnormality diagnosis and the abnormality analysis are performed on predetermined information in the industrial equipment based on a comparison result with the same industrial equipment group. 請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断は、前記産業用機器における所定の情報の経時変化に基づく異常予測を含むことを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 1,
The diagnosis device according to claim 1, wherein the abnormality diagnosis includes an abnormality prediction based on a temporal change of predetermined information in the industrial device. 請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部での診断結果は、異常の程度により複数段階のレベルに分けられることを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 1,
A diagnosis device wherein the diagnosis result of the abnormality diagnosis unit is divided into a plurality of levels according to the degree of abnormality. 請求項１１に記載の診断装置において、
前記レベルの段階数は異常の内容によって異なることを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 11,
A diagnostic apparatus, wherein the number of levels varies depending on the nature of the abnormality. 請求項１に記載の診断装置において、
前記異常通知部は、前記異常診断部による結果を電子メールで前記外部に通知することを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 1,
The diagnosis device, wherein the abnormality notification unit notifies the outside of the result of the abnormality diagnosis unit by an electronic mail. 請求項１３に記載の診断装置において、
前記電子メールは、前記結果の内容に応じて自動作成され、対応する前記外部に自動送信されることを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 13,
The diagnostic apparatus according to claim 1, wherein the electronic mail is automatically created according to the content of the result, and is automatically transmitted to the corresponding outside. 請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部は、診断時の判定値及び診断方法の妥当性を評価するための診断シミュレーションを更に行うことを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 1,
The diagnostic apparatus, wherein the abnormality diagnostic unit further performs a diagnostic simulation for evaluating a determination value at the time of diagnosis and a validity of a diagnostic method. 請求項１に記載の診断装置において、
前記産業用機器は、デバイス製造装置であることを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 1,
A diagnostic apparatus, wherein the industrial equipment is a device manufacturing apparatus. 請求項１６に記載の診断装置において、
前記デバイス製造装置は露光装置であり、前記異常診断は、アライメント系の精度診断、オートフォーカス系の変動診断、レンズ系の駆動機能診断及び光学特性変動診断、ステージ系の駆動機能診断及び精度診断、搬送系の搬送機能診断、並びに照明系の照度均一性診断及び照度診断、の少なくとも１つであることを特徴とする診断装置。The diagnostic device according to claim 16,
The device manufacturing apparatus is an exposure apparatus, and the abnormality diagnosis includes alignment system accuracy diagnosis, autofocus system fluctuation diagnosis, lens system driving function diagnosis and optical characteristic fluctuation diagnosis, stage system driving function diagnosis and accuracy diagnosis, A diagnostic device, which is at least one of a transport function diagnosis of a transport system, and an illuminance uniformity diagnosis and an illuminance diagnosis of an illumination system. 請求項１〜１７のいずれか一項に記載の診断装置と；
該診断装置とネットワークで接続される少なくとも１台の産業用機器と；を備える診断システム。A diagnostic device according to any one of claims 1 to 17;
A diagnostic system comprising: the diagnostic device and at least one industrial device connected via a network. 請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記ネットワークはＬＡＮであることを特徴とする診断システム。The diagnostic system according to claim 18,
A diagnostic system, wherein the network is a LAN. 請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記ネットワークには、イントラネットが構築されていることを特徴とする診断システム。The diagnostic system according to claim 18,
A diagnostic system, wherein an intranet is constructed in the network. 請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記ネットワークには、管理者端末が更に接続されていることを特徴とする診断システム。The diagnostic system according to claim 18,
A diagnostic system, wherein an administrator terminal is further connected to the network. 請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記診断装置は、前記産業用機器の情報を定期的に収集及び管理する収集部を更に備えることを特徴とする診断システム。The diagnostic system according to claim 18,
The diagnostic system further includes a collection unit that periodically collects and manages information on the industrial equipment. 請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記産業用機器は、自己計測を行い、その結果を前記診断装置に通知することを特徴とする診断システム。The diagnostic system according to claim 18,
A diagnostic system, wherein the industrial device performs self-measurement and notifies a result of the measurement to the diagnostic device. 請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記産業用機器は、自己診断を行い、その結果を前記診断装置に通知することを特徴とする診断システム。The diagnostic system according to claim 18,
A diagnostic system, wherein the industrial device performs a self-diagnosis and notifies a result of the self-diagnosis to the diagnostic device. 請求項２４に記載の診断システムにおいて、
前記自己診断は、前記産業用機器のイベント情報、前記産業用機器の稼働履歴情報、前記産業用機器の点検情報、前記産業用機器のエラー情報、及び前記産業用機器の自己計測情報の少なくとも１つに基づいて行われることを特徴とする診断システム。The diagnostic system according to claim 24,
The self-diagnosis is at least one of event information of the industrial equipment, operation history information of the industrial equipment, inspection information of the industrial equipment, error information of the industrial equipment, and self-measurement information of the industrial equipment. A diagnostic system characterized in that the diagnostic system is performed based on the following. 請求項１８に記載の診断システムと；
前記診断システムと通信手段で接続され、前記診断システムからの情報に基づいて前記産業用機器を保全する管理サーバと；を備える遠隔保全システム。A diagnostic system according to claim 18;
A management server connected to the diagnostic system by communication means and maintaining the industrial equipment based on information from the diagnostic system. 請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記診断システムは、所定の条件下でのみ前記管理サーバからのアクセスを許可する認証部を更に備えることを特徴とする遠隔保全システム。27. The remote maintenance system according to claim 26,
The remote maintenance system according to claim 1, wherein the diagnosis system further includes an authentication unit that permits access from the management server only under predetermined conditions. 請求項２７に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記認証部は、前記産業用機器の情報に関するデータファイルや、前記異常診断及び異常分析に関するデータファイルへの外部からのアクセスに対して、ファイル毎に認証チェックを行うことを特徴とする遠隔保全システム。The remote maintenance system according to claim 27,
The remote maintenance system, wherein the authentication unit performs an authentication check for each file with respect to an external access to a data file relating to the information of the industrial equipment and a data file relating to the abnormality diagnosis and abnormality analysis. . 請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記診断システムを構成する前記診断装置の前記異常通知部は、前記異常診断部による処理結果を、診断結果に応じて異なる外部に通知することを特徴とする遠隔保全システム。27. The remote maintenance system according to claim 26,
The remote maintenance system according to claim 1, wherein the abnormality notification unit of the diagnosis device that configures the diagnosis system notifies a processing result of the abnormality diagnosis unit to a different outside according to the diagnosis result. 請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、前記診断システムからの情報に基づいて前記産業用機器の異常分析を行うことを特徴とする遠隔保全システム。27. The remote maintenance system according to claim 26,
The remote maintenance system, wherein the management server performs an abnormality analysis on the industrial equipment based on information from the diagnostic system. 請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、前記産業用機器のベンダー側のネットワークに更に接続されていることを特徴とする遠隔保全システム。27. The remote maintenance system according to claim 26,
The management server is further connected to a network of a vendor of the industrial equipment, wherein the maintenance server is further connected to a network. 請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、更に部品管理システムとリンクされ、前記産業用機器の部品を交換する必要が生じた場合に、前記部品管理システムに前記部品の在庫の有無を確認するとともに、在庫がない場合には発注を指示することを特徴とする遠隔保全システム。27. The remote maintenance system according to claim 26,
The management server is further linked with a parts management system, and when it becomes necessary to replace parts of the industrial equipment, the parts management system checks whether the parts are in stock, and when there is no stock, Is a remote maintenance system characterized by ordering. 請求項３２に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、前記部品管理システムに対して担当者への前記部品の送付を指示することを特徴とする遠隔保全システム。The remote maintenance system according to claim 32,
The remote management system according to claim 1, wherein the management server instructs the parts management system to send the parts to a person in charge. 請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記通信手段は、専用回線を利用したものであることを特徴とする遠隔保全システム。27. The remote maintenance system according to claim 26,
A remote maintenance system, wherein the communication means uses a dedicated line. 請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記通信手段は、公衆回線を利用したものであることを特徴とする遠隔保全システム。27. The remote maintenance system according to claim 26,
A remote maintenance system, wherein the communication means uses a public line. 請求項３５に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記通信手段は、インターネットを利用したものであることを特徴とする遠隔保全システム。36. The remote maintenance system according to claim 35,
A remote maintenance system according to claim 1, wherein said communication means uses the Internet. 請求項３６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、電子メールを送受信するためのメールサーバ機能及びＨＴＭＬ形式のファイル等を転送するウエブサーバ機能を有していることを特徴とする遠隔保全システム。37. The remote maintenance system according to claim 36,
A remote maintenance system, wherein the management server has a mail server function for transmitting and receiving electronic mail and a web server function for transferring files in HTML format and the like. 少なくとも１台の産業用機器に発生するトラブルを解決するために、前記産業用機器に関する複数の情報を収集するための情報収集装置であって、
前記トラブル発生時に限らず、前記複数の情報を定期的に獲得する診断処理部と；
前記診断処理部によって獲得された情報を一括管理する管理部と；を備える情報収集装置。An information collection device for collecting a plurality of pieces of information on the industrial device, in order to solve a problem occurring in at least one industrial device,
A diagnostic processing unit that periodically acquires the plurality of pieces of information, not only when the trouble occurs;
A management unit that collectively manages the information obtained by the diagnostic processing unit. 請求項３８に記載の情報収集装置において、
前記診断処理部は、前記情報を処理するとともに、前記管理部が一括管理する情報には、前記診断処理部にて処理された情報が含まれることを特徴とする情報収集装置。39. The information collection device according to claim 38,
The information processing apparatus, wherein the diagnosis processing unit processes the information, and the information collectively managed by the management unit includes information processed by the diagnosis processing unit. 請求項３９に記載の情報収集装置において、
前記診断処理部による情報の処理は、所定情報の発生頻度の検出及び特定情報の経時変化の検出の少なくとも一方を特徴とする情報収集装置。The information collection device according to claim 39,
An information collecting apparatus characterized in that the information processing by the diagnostic processing unit is at least one of detection of occurrence frequency of predetermined information and detection of change with time of specific information. 請求項３９に記載の情報収集装置において、
前記診断処理部による情報の処理は、所定イベントの発生の検出を含むことを特徴とする情報収集装置。The information collection device according to claim 39,
The information processing apparatus according to claim 1, wherein the processing of the information by the diagnosis processing unit includes detection of occurrence of a predetermined event. 請求項３９に記載の情報収集装置において、
前記診断処理部による情報の処理は、同一産業用機器グループとの比較を含むことを特徴とする情報収集装置。The information collection device according to claim 39,
The information processing apparatus according to claim 1, wherein the processing of the information by the diagnosis processing unit includes a comparison with the same industrial equipment group. 請求項３８に記載の情報収集装置において、
前記診断処理部は、前記情報の獲得のために、前記産業用機器の自己計測機能又は自己診断機能を用いることを特徴とする情報収集装置。39. The information collection device according to claim 38,
The information collection device, wherein the diagnostic processing unit uses a self-measurement function or a self-diagnosis function of the industrial device to acquire the information. 請求項３８〜４３のいずれか一項に記載の情報収集装置において、
前記産業用機器は、デバイス製造装置であることを特徴とする情報収集装置。The information collection device according to any one of claims 38 to 43,
The information collecting apparatus, wherein the industrial equipment is a device manufacturing apparatus.
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