JPS646043U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案一実施例を示すプローブカード
の要部断面図、第２図はガイド孔のパターン図、
第３図はバツクリングビームプローブの断面図、
第４図は従来例を示すプローブカードの平面図、
第５図は従来例におけるプローバーの取付状態を
示す断面図、第６図ａ，ｂはプローバーの側面図
、第７図ａ，ｂ，ｃは検査ポイントのパターン図
である。 １……樹脂製基板、１ａ……透孔、１ｂ……コ
ネクタ、１ｃ……伝送線路、２……被測定物、３
……プローバー、３ａ……触針部、４……基板、
４ａ……伝送線路、４ｂ……透孔、５……ガイド
板、５ａ，５ｂ……板部材、５ｃ……ガイド孔、
６……支持板、６ａ……嵌合孔、７……支柱、８
……バツクリングビームプローブ、８ａ……針部
、８ｂ……基部、８ｃ……針先、８ｄ……絶縁コ
ーテイング、９……リード線。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被測定物からの検出信号をテスタに伝送す
   るためのコネクタを備えたプローブカードにおい
   て、 上記コネクタにリード線を介して接続した複数
   のバツクリングビームプローブと、各バツクリン
   グビームプローブの絶縁コーテイングされた可撓
   性のある針部を被測定物の検査ポイントのパター
   ンに対応配置したガイド孔に摺動自在に嵌合する
   ガイド板と、このガイド板に平行配置されて上記
   各バツクリングビームプローブの基部を嵌合支持
   する支持板とを設けたプローブカード。 (2) 上記ガイド板は、中空板で構成してなる実
   用新案登録請求の範囲第１項記載のプローブカー
   ド。