JPS646036U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS646036U JPS646036U JP10062587U JP10062587U JPS646036U JP S646036 U JPS646036 U JP S646036U JP 10062587 U JP10062587 U JP 10062587U JP 10062587 U JP10062587 U JP 10062587U JP S646036 U JPS646036 U JP S646036U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spray
- nozzle
- reciprocates
- drive unit
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- Prior art date
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- Granted
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Landscapes
- Nozzles (AREA)
- Spray Control Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例を示す図、第２
図は本考案の第２の実施例を示す図である。 １……モータ、２，１４……シヤフト、３……
レジスト導入口、４……チツ素導入口、５，１３
……スプレーノズル、６……小孔、７……ノズル
駆動部、８……支持具、９……ウエハ、１０……
モータ制御部、１１……電源、１２……ウエハ搬
送用ベルト、１５，１６……溝、１７……シール
材。
図は本考案の第２の実施例を示す図である。 １……モータ、２，１４……シヤフト、３……
レジスト導入口、４……チツ素導入口、５，１３
……スプレーノズル、６……小孔、７……ノズル
駆動部、８……支持具、９……ウエハ、１０……
モータ制御部、１１……電源、１２……ウエハ搬
送用ベルト、１５，１６……溝、１７……シール
材。
Claims (1)
- 搬入された半導体ウエハに向けてレジストを霧
状に噴出するスプレーノズルと、半導体ウエハの
搬送方向と直交する方向に往復動するノズル駆動
部とを有し、前記スプレーノズルを前記ノズル駆
動部に角変位可能に垂架したことを特徴とするス
プレー式レジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10062587U JPH051068Y2 (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10062587U JPH051068Y2 (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS646036U true JPS646036U (ja) | 1989-01-13 |
| JPH051068Y2 JPH051068Y2 (ja) | 1993-01-12 |
Family
ID=31328869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10062587U Expired - Lifetime JPH051068Y2 (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH051068Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-06-30 JP JP10062587U patent/JPH051068Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH051068Y2 (ja) | 1993-01-12 |