JPS645033U - - Google Patents

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JPS645033U
JPS645033U JP9966187U JP9966187U JPS645033U JP S645033 U JPS645033 U JP S645033U JP 9966187 U JP9966187 U JP 9966187U JP 9966187 U JP9966187 U JP 9966187U JP S645033 U JPS645033 U JP S645033U
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JP
Japan
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clean room
air
air conditioner
bypass pipe
pipe
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JP9966187U
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  • Central Air Conditioning (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係る一実施例の概略図、第2
図は第2実施例の概略図である。 2,24……高性能フイルタ、3……供給管路
、4……空調機、6……排出管路、8……第1の
バイパス管路、9……第2のバイパス管路、10
……滅菌ガス発生手段(ホルマリンガス発生器)
、11……循環フアン。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 空調機により調和された空気を高性能フイ
    ルタを介してクリーンルームへ供給する供給管路
    と、クリーンルーム内の空気を排出する排出管路
    と、クリーンルーム内の空気を前記空調機へ戻す
    第1のバイパス管路と、クリーンルーム内の空気
    を前記空調機を経由せずに再びクリーンルーム内
    へ戻す第2のバイパス管路とを備え、該第2のバ
    イパス管路には滅菌ガス発生手段及び循環フアン
    を設けたことを特徴とするクリーンルームの滅菌
    空調装置。 (2) 第2のバイパス管路は、このバイパス管路
    を構成する部材がケーシング内に収納されて空気
    循環ユニツトを形成した実用新案登録請求の範囲
    第1項記載のクリーンルームの滅菌空調装置。
JP9966187U 1987-06-29 1987-06-29 Expired JPH0354340Y2 (ja)

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JP9966187U JPH0354340Y2 (ja) 1987-06-29 1987-06-29

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JPS645033U true JPS645033U (ja) 1989-01-12
JPH0354340Y2 JPH0354340Y2 (ja) 1991-11-29

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US11112143B2 (en) 2017-06-06 2021-09-07 Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd. Fan filter unit, sterilization apparatus and clean room

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JPH0354340Y2 (ja) 1991-11-29

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