JPS643166Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は真空室にＸ線銃等の棒状体を挿入する
場合の該棒状体の位置調整装置に関する。

従来この種装置では、真空室入口の固定フラン
ジに室外側に向つて３本のねじ棒が回転自在に装
着され、このねじ棒の先端付近に固定フランジと
同心でＸ線銃、電子銃、イオン銃などの棒状体を
取付けた移動フランジが融通嵌挿され、該移動フ
ランジに接触する雌ねじ部材をねじ棒に螺合させ
ていた。しかして、各々の雌ねじ部材を別個に回
すことにより、棒状体の軸線の向きの調整（光軸
合せ）と軸方向移動が行なわれるので、棒状体を
軸方向に移動させる場合、各雌ねじ部材を回す度
に軸線（光軸）がずれるので、光軸の希望の状態
に戻すことが非常に困難であつた。

本考案は前記問題を解決し、全てのねじ棒を一
度に回すことにより棒状体をその軸線がずれるこ
となく、固定移動フランジの中心孔の軸線方向に
移動のできる装置を提供することを目的とする。

以下、本考案の一実施例を図面に基づき説明す
る。第１図、及び第２図において、真空室側のフ
ランジＡの物体挿入孔の周縁に取付けられた固定
フランジ１には、その中心孔の軸方向、かつ円周
方向等間隔で前記室外方向に向つて３本のねじ棒
２が回転自在に装着されている。このねじ棒の先
端付近には前記固定フランジ１と同芯な移動フラ
ンジ３が融通嵌挿されている。移動フランジ３に
はＸ線銃、電子銃、イオン銃などの棒状体Ｂが、
前記室外から室内に挿入されて進退可能となるよ
うに前記固定、移動両フランジ１，３の中心孔を
貫通して取付けられている。また移動フランジ３
に接触係合をして移動フランジ３を移動させる雌
ねじ部材４がねじ棒２に螺設されている。

前記雌ねじ部材４はその外周面にピニオンとな
る外歯７が設けられ、また前記３個のピニオンの
全てに対して同時に噛み合う内歯ギヤ８が設けら
れる。また前記雌ねじ部材４を前記移動フランジ
３との間で挾持する押え板９がねじ９ａによつて
移動フランジ３に取付けられている。前記ねじ棒
２には、それをまわすつまみ２ａが固定フランジ
１に近接した位置に設けられるとともに、該この
ねじ棒２は固定フランジ１に対して止めねじ５に
よつて固定回動自在とされている。なお６は固定
フランジ１と移動フランジ３の間に気密的に取り
付けられたベローシールである。なお、光軸合せ
操作をスムーズに行なうために、雌ねじ部材４と
移動フランジ３及び押え板８との接触部は、雌ね
じ部４において球面、移動フランジ３及び押え板
９において円錐面に形成されている。

次に作動状態において説明する。まず光軸合せ
をする場合は、止めねじ５をゆるめ、内歯ギヤ８
を固定し、ねじ棒２のつまみ２ａを個々に回すこ
とにより、それぞれ固定フランジ１と移動フラン
ジ３との間隔が変えられ、従来と同じように任意
に光軸の向きを調整することができる。次に、光
軸調整を終え、光軸の軸線方向への平行移動調整
をする場合には、各ねじ棒２を止めねじ５で固定
し、内歯ギヤ８をまわすことによつて各雌ねじ部
材４が同時に回転し、精度よくフランジ中心孔の
軸線方向に移動フランジを棒状態Ｂと共に移動さ
せることができる。

なお、本考案は前記表面分析装置の真空室用に
利用されているが、その他の真空装置、例えば電
子顕微鏡の試料観察光学顕微鏡のピント合せ、位
置合せや真空型発光分光分析装置の集光レンズに
よる光軸ピント合せにも適用される。

第３図は第２実施例を示す、即ち、前記内歯ギ
ヤ８に代えて外歯ギヤ８′が移動フランジ３′のボ
ス部３a′に回転自在に支され、外歯ギヤ８′に同
心一体的にハンドルフランジ８a′が設けられ、押
え板９′は移動フランジ３′の外円周付近側面に固
定される。

また第４図は第３実施例を示す。即ち、ねじ棒
２′のねじ部は固定フランジ１′側に設けられ、こ
のねじ部と螺合するめねじ部材よりなるハンドル
１０が固定フランジ１′に回転自在、かつ、軸方
向移動を制限されて支持され、ピニオン４′はね
じ棒２′に固定され、ねじ棒２′は移動フランジ
３″を貫通しない。ハンドル１０を個々に回すこ
とにより光軸合せが可能となる。

本考案は以上の如く、全ピニオンを同時に回す
内歯又は外歯ギヤを設けたので棒状体をその軸線
の向きを変更することなく、固定移動フランジの
中心孔の軸線方向に確実容易に移動させることが
でき、これによつて棒状体の先端の位置調整が極
めて精度よく行なわれることとなつた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の一部切り欠き縦断
面図、第２図は右側面図、第３図、第４図は各々
第２、第３実施例の要部縦断面図である。 Ａ……真空室側フランジ、Ｂ……棒状体、１…
…固定フランジ、２……ねじ棒、３……移動フラ
ンジ、４……雌ねじ部材、５……止ねじ、６……
ベローシール、７……ピニオン、８……内歯ギ
ヤ、９……押え板、８′……外歯ギヤ、１０……
ハンドル。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空室の棒状体挿入孔の周縁に取付けられた固
   定フランジ１にその中心孔の軸方向に平行、かつ
   円周方向等間隔で前記真空室の外方へ向く３本の
   ねじ棒２が回転自在に装着され、該ねじ棒２の先
   端付近に前記固定フランジ１と同芯の移動フラン
   ジ３が係合され、該移動フランジ３には、その中
   心孔および前記固定フランジ１の中心孔を貫通し
   て進退可能となつた真空室挿入棒状体Ｂが取付け
   られるとともに、ピニオン７が前記移動フランジ
   ３とそれに取付けられた押え板９との間に狭持さ
   れて回転自在に係合され、前記ピニオン７の全て
   に対して同時に噛合する内歯又は外歯ギヤ８が設
   けられ、前記ねじ棒２は前記ピニオン７が外周面
   に設けられた雌ねじ部材４または前記固定フラン
   ジ１に回転自在に支持されたハンドル１０の雌ね
   じと螺合されたことを特徴とする真空室挿入棒状
   体の位置調整装置。