JPH0425804Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は円筒鏡面型電子エネルギ分析装置
（以下CMAと記す）等の真空装置における位置合
せ機構に関するものである。

〔従来の技術〕

CMAは二重円筒電極により、電子、イオン等
の荷電粒子を偏向、分離してエネルギ分析を行う
もので、オージエ電子分析装置、２次イオン質量
分析装置、イオン散乱スペクトル分析装置に利用
されている。

第７図は従来のCMAを示す斜視図、第８図は
その方向矢視図である。図において、１は
CMA本体であつて、横型の筒状で超高真空下に
配置され、対物レンズ２から照射される電子ビー
ム３により試料４から発生するオージエ電子５を
偏向、分離するようになっている。６は分析室の
側壁に取付けられたフランジであつて、CMA本
体１からのびるシヤフト７が貫通しており、金属
性のベローズ８によつて真空を維持されている。
シヤフト７の大気側には調整用のナツト９がねじ
付けられている。

CMA本体１は電子ビーム３の照射点に対して
左右方向の首振R_X、上下方向の首振R_Z、および
軸方向の移動Ｙの３つの動きにより最適位置に合
わせられる。上記従来の位置合せ機構では、ま
ず、Ｂ，Ｄ位置のナツト９を緩めておき、Ａ，Ｃ
位置のナツト９を回してＹ方向を調整する。この
ときＡまたはＣ位置のナツト９を多めに回して
R_Zを調整する。次いでＢ，Ｄ位置のナツト９を
回して、その引き加減でR_Xを調整する。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような従来の位置合せ機構
では、ナツト９の行き過ぎ、戻り過ぎ、およびバ
ツクラツシユ等により調整が困難であり、R_Xお
よびR_Zが独立して調整できないため、位置合せ
が困難であるという問題点があつた。一方、
CMA本体１内に設けられたスリツトの調整は外
部可変とされておらず、真空を破つて調整する必
要があるという問題点があつた。

この考案は上記問題点を解決するためのもの
で、簡単な構造および操作により、容易かつ正確
に位置合せが可能であり、かつスリツト調整も外
部から容易に行うことが可能な真空装置における
位置合せ機構を提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案は、真空側と大気側を分離する壁に取
付けられたフランジ、真空側に設けられた被調整
物から前記フランジを貫通して移動可能に伸びる
シヤフト、このシヤフトと前記フランジ間に設け
られた真空シール用のベローズ、前記シヤフトの
大気側に設けられて被調整物と一体の動きをする
ホルダ、このホルダにねじ込まれてフランジ側に
伸びる３個の調整用のねじ、およびこのねじの先
端と係合しかつねじ込みによる先端の移動を許容
するようにフランジに設けられたねじ受部を備
え、前記３個のねじは１個のねじを中心として、
他の２個のねじが直角方向に配置されていること
を特徴とする真空装置における位置合せ機構であ
る。

〔作用〕

この考案の真空装置における位置合せ機構で
は、ホルダは被調整物と一体となつているため、
ホルダにねじ込まれた３個の調整用のねじを同量
回転させると被調整物はＹ方向に移動し、直角方
向に配置された両側のねじを回転させると、R_X
またはR_Z方向に首振りし、位置合せがせ行われ
る。上記の調整はそれぞれ独立して行われる。

また、被調整物はホルダと一体の動きをするた
め、ホルダにスリツト調整機構を設けると、位置
合せによつてスリツトの開度は変化せず、スリツ
トの調整は位置合せとは無関係に大気側から容易
に行うことができる。

〔実施例〕

以下、この考案を図面の実施例に基づいて説明
する。第１図はこの考案の実施例を示す斜視図、
第２図はスリツト調整機構を省略した方向の分
解斜視図、第３図ないし第５図は別のねじ受部の
正面図、第６図は全体の垂直断面図であり、第７
図および第８図と同符号は同一または相当部分を
示す。

被調整物であるCMA本体１は従来のものと同
様に横型の筒状に形成されて超高真空下に配置さ
れ、フランジ６は分析室の側壁に取付けられてい
る。CMA本体１に固着されたシヤフト７はフラ
ンジ６を貫通して大気側に伸び、軸方向に移動可
能に設けられている。フランジ６とシヤフト７の
間にはベローズ８が設けられ、真空シールされて
いる。シヤフト７の大気側にはプレート状のホル
ダ１１が固定されており、ホルダ１１はシヤフト
７によりフランジ６を貫通してCMA本体１と一
体化し、CMA本体１と一体の動きをするように
なつている。

ホルダ１１にはフランジ６に向けて調整用の３
個のねじ１２がねじ込まれており、この３個のね
じ１２はＥ位置を中心に水平方向（Ｆ位置）およ
び垂直方向（Ｇ位置）の直角方向に配置されてい
る。フランジ６にはねじ１２の先端と係合するＶ
字状の溝１３を有するリング状のねじ受部１４が
ねじ１５によりねじ付けられている。CMA本体
１とフランジ６間にはばね１６が設けられ、ねじ
１２がねじ受部１４に押付けられている。

ねじ受部１４は第２図および第３図では２個の
溝１３が水平な一直線上にあり、他の１個がこれ
と直交するように配置されている。第４図では２
個の溝１３が中心を通る傾斜した一直線上にあ
り、他の１個がこれと直交するように配置されて
いる。また第５図では水平な１個の溝１３の延長
上に１個の穴１７が設けられ、他の１個のねじ１
２に対応する部分は平面１８となつている。

CMA本体１内には第６図に示すように、円筒
状の外部電極２１およびこれと同心円筒状の内部
電極２２が絶縁体２３によつて間隔を保つて支持
されている。内部電極２２の内側には検出器２４
と対向してスリツト板２５が設けられ、スリツト
棒２６との間にスリツト２７を形成している。ス
リツト棒２６は軸受２８に摺動可能に支持され、
ばね２９を介してアーム３０に連結している。ア
ーム３０の他端にはスリツト棒２６と同方向に連
結棒３１が連結している。連結棒３１は外部電極
２１および内部電極２２間に設けられた軸受３
２，３３に支持されてばね３４によつてフランジ
６側に付勢されており、他端は絶縁体２３を貫通
してシヤフト３５と接続している。シヤフト３５
はホルダ１１に固定された軸受３６を貫通して摺
動可能に伸び、その先端には軸受３６にねじ付け
られたスリツト調整用のつまみ３７が止め輪３８
によつて取付けられるとともに、ばね３９によつ
て連結棒３１側に付勢されている。４０は分析室
の側壁であつて、フランジ６が固定されている。

上記の構成において、Ｅ，Ｆ，Ｇ位置の３個の
ねじ１２を同じ量だけ回転されると、フランジ６
とホルダ１１の間隔が変わり、これにより分析室
に固定されたフランジ６を通してシヤフト７が軸
方向に移動して、CMA本体１はＹ方向に移動す
る。そして、Ｆ位置のねじ１２を回転させると、
CMA本体１はR_X方向に回転し、Ｇ位置のねじ１
２を回転するとR_Z方向に回転し、位置合せが行
われる。このときねじ１２の１または２個を回転
させたとき、その先端は溝１３に沿つて移動して
ねじ１２の変形を防止するとともに、微調整が可
能になる。

溝１３はねじ１２の先端を係合し、かつ上記の
ような逃げを可能とするために設けられるもの
で、これがないとねじ１２がフランジ６の面をス
リツプしてずり落ちるため、溝１３でねじ１２の
先端を受けるようになつている。溝１３はどのよ
うな方向の直線または曲線でもよいが、ばらばら
の方向の場合には溝１３に係合するねじ１２の位
置として２位置を取り得るので好ましくなく、実
用的には第３図または第４図に示すように一直線
上に２個の溝１３を配置し、これらと直角の方向
に他の溝１３を配置すると、ねじ１２の位置は１
位置に限定され、かつ逃げが可能となる。特に第
３図のものは斜方向の動きがなく、理想的なR_X，
R_Zの動きが得られるので好ましい。またねじ１
２は逃げが必要であるため溝１３に代えて３個の
穴では受けることはできないが、第５図に示すよ
うに、１個の溝１３と１個の穴１７を設け、他の
１個のねじ１２に対応する部分には溝も穴も設け
ないで平面１８とすることにより同様の効果が得
られる。

上記の装置ではR_X，R_Zが独立して調整できる
ため、簡単な構造と操作により、オージエピーク
をモニタしながら容易にCMA本体１を最適位置
に合わせることができる。

またCMA本体１はホルダ１１と全く一体関係
にあるので、つまみ３７を回転させるシヤフト３
５が移動し、これによつて連結棒３１、アーム３
０およびスリツト棒２６が軸方向に移動してスリ
ツト２７の開度が調整される。

このようにCMA本体１とホルダ１１は一体関
係にあるため、どのように位置合せを行つてもス
リツト２７の開度には影響はなく、スリツト２７
は独立して大気側から容易に調整可能である。こ
れれに反してスリツト調整機構をフランジ６に設
けると、位置合せによつてスリツト２７の開度は
変わることになり、これを避けるためには複雑な
機構が必要となる。

以上の説明において、ねじ１２の位置は直角方
向であれば、水平および垂直方向に限らず他の方
向でもよい。またねじ受部１４も溝１３に限ら
ず、ねじ１２と係合する類似のものを有していて
もよい。さらにばね１６は大気側に設ける方が好
ましい。この考案はCMAに限らず、他の真空装
置における被調整物の位置合せ機構に適用可能で
ある。

〔考案の効果〕

この考案によれば、被調整物と一体の動きをす
るホルダに調整用のねじを直角に設けたので、簡
単な構造および操作により容易かつ正確に位置合
せを行うことが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例の斜視図、第２図はその方向
の分解斜視図、第３図ないし第５図はねじ受部の
正面図、第６図は全体の垂直断面図、第７図は従
来のCMAの斜視図、第８図はその方向矢視図
である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、１はCMA本体、６はフランジ、７はシヤフ
ト、８はベローズ、１１はホルダ、１２はねじ、
１３は溝、１４はねじ受部、１６はばねである。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空側と大気側を分離する壁に取付けられた
   フランジ、真空側に設けられた被調整物から前
   記フランジを貫通して移動可能に伸びるシヤフ
   ト、このシヤフトと前記フランジ間に設けられ
   た真空シール用のベローズ、前記シヤフトの大
   気側に設けられて被調整物と一体の動きをする
   ホルダ、このホルダにねじ込まれてフランジ側
   に伸びる３個の調整用のねじ、およびこのねじ
   の先端と係合しかつねじ込みによる先端の移動
   を許容するようにフランジに設けられたねじ受
   部を備え、前記３個のねじは１個のねじを中心
   として、他の２個のねじが直角方向に配置され
   ていることを特徴とする真空装置における位置
   合せ機構。 (2) ねじ受部がねじの先端と係合する溝を有する
   ものである実用新案登録請求の範囲第１項記載
   の位置合せ機構。