JPS642076U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS642076U JPS642076U JP9576887U JP9576887U JPS642076U JP S642076 U JPS642076 U JP S642076U JP 9576887 U JP9576887 U JP 9576887U JP 9576887 U JP9576887 U JP 9576887U JP S642076 U JPS642076 U JP S642076U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- susceptor support
- semiconductor
- substrate
- vapor phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の気相成長半導体製造装置のサ
セプタの部分の縦断面図。第２図は測定のための
熱電対取付を示す部分断面図。第３図は従来例に
係る気相成長半導体製造装置のサセプタ近傍の縦
断面図。 １……サセプタ、２……サセプタ支柱、３……
ヒータ、４……反射膜、５……回転機構部、６…
…反射板、７……熱電対、８……基板受け凹部、
１０……頂板部、１６……側面板。
セプタの部分の縦断面図。第２図は測定のための
熱電対取付を示す部分断面図。第３図は従来例に
係る気相成長半導体製造装置のサセプタ近傍の縦
断面図。 １……サセプタ、２……サセプタ支柱、３……
ヒータ、４……反射膜、５……回転機構部、６…
…反射板、７……熱電対、８……基板受け凹部、
１０……頂板部、１６……側面板。
Claims (1)
- 複数の基板受け凹部８を側面板に設けた有蓋円
筒形のサセプタ１と、サセプタ１の頂板部１０の
中心裏面を支持する鉛直のサセプタ支柱２と、サ
セプタ支柱２の下端に接続部１３を介して接続さ
れた回転機構部５と、サセプタ１の側面板１１の
内方に設けられ基板を加熱するためのヒータ３と
よりなり、半導体結晶薄膜を気相反応により基板
の上に合成堆積させる半導体製造装置に於て、サ
セプタ支柱２の表面に１μｍ〜１０００μｍ厚さ
のＭｏ又はＴａの反射膜をコーテイングした事を
特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9576887U JPS642076U (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9576887U JPS642076U (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS642076U true JPS642076U (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=30960733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9576887U Pending JPS642076U (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS642076U (ja) |
-
1987
- 1987-06-22 JP JP9576887U patent/JPS642076U/ja active Pending