JPS63112330U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63112330U JPS63112330U JP333087U JP333087U JPS63112330U JP S63112330 U JPS63112330 U JP S63112330U JP 333087 U JP333087 U JP 333087U JP 333087 U JP333087 U JP 333087U JP S63112330 U JPS63112330 U JP S63112330U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hanger
- susceptor
- removably
- barrel
- pins
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims 2
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の一部を断面した側
面図、第２図は第１図のＡ―Ａ線断面図、第３図
は第１図のＢ―Ｂ線断面図、第４図は第３図のＣ
―Ｃ線断面図、第５図は従来例の一部を断面した
側面図、第６図は第５図のイ部拡大図、第７図は
第６図のＤ―Ｄ線断面図である。 ２６…石英ハンガー、３２…回転駆動軸、３３
…上ピン、３４…ハンガー金具、３７…下ピン、
４１，４２…板バネ。
面図、第２図は第１図のＡ―Ａ線断面図、第３図
は第１図のＢ―Ｂ線断面図、第４図は第３図のＣ
―Ｃ線断面図、第５図は従来例の一部を断面した
側面図、第６図は第５図のイ部拡大図、第７図は
第６図のＤ―Ｄ線断面図である。 ２６…石英ハンガー、３２…回転駆動軸、３３
…上ピン、３４…ハンガー金具、３７…下ピン、
４１，４２…板バネ。
Claims (1)
- サセプタが反応室の上部に設けられた回転駆動
装置の回転駆動軸に着脱自在かつ揺動自在に吊り
下げられているバレル型気相成長装置において、
一側の吊り下げ連結部材である複数のピンと、同
ピンへ着脱かつ揺動自在に連結された他側の吊り
下げ連結部材であるハンガー金具および石英ハン
ガーと、同ハンガー金具および石英ハンガーの上
面にその一側を接する複数のバネとからなるバレ
ル型気相成長装置のサセプタハンガー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP333087U JPS63112330U (ja) | 1987-01-13 | 1987-01-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP333087U JPS63112330U (ja) | 1987-01-13 | 1987-01-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63112330U true JPS63112330U (ja) | 1988-07-19 |
Family
ID=30782992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP333087U Pending JPS63112330U (ja) | 1987-01-13 | 1987-01-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63112330U (ja) |
-
1987
- 1987-01-13 JP JP333087U patent/JPS63112330U/ja active Pending