JPS641879B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS641879B2 JPS641879B2 JP11671383A JP11671383A JPS641879B2 JP S641879 B2 JPS641879 B2 JP S641879B2 JP 11671383 A JP11671383 A JP 11671383A JP 11671383 A JP11671383 A JP 11671383A JP S641879 B2 JPS641879 B2 JP S641879B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- eprom
- ultraviolet
- erasing
- information
- erased
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C17/00—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards
Landscapes
- Read Only Memory (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(a) 発明の技術分野
本発明はEPROM消去装置に係わり、特に書き
込まれた情報を消去した後、ブランクチエツクす
る機能を備えたEPROM消去装置に関する。
込まれた情報を消去した後、ブランクチエツクす
る機能を備えたEPROM消去装置に関する。
(b) 従来技術と問題点
MOS型の不揮発性半導体素子に紫外線を照射
して該素子内に一度書き込まれている情報を消去
して初期化し、再度書込みが可能となるイレイザ
ブル・プログラマブル・ロム（以下EPROMと称
する）は周知である。かかるEPROMは電子機器
のメモリー素子として利用されている。
して該素子内に一度書き込まれている情報を消去
して初期化し、再度書込みが可能となるイレイザ
ブル・プログラマブル・ロム（以下EPROMと称
する）は周知である。かかるEPROMは電子機器
のメモリー素子として利用されている。
従来かかるEPROMに書き込まれている情報
を、例えば設計変更等が生じて消去して初期化す
る必要が起こつた時、かかるEPROM消去装置と
して、EPROMの設置治具に、多数の前記消去す
べきEPROMを載置し、該設置治具上より所定の
距離を隔てて多数の紫外線ランプを設置し、タイ
マー等を用いて所定の時間、紫外線を照射するこ
とでEPROMに書き込まれている情報を消去する
ようにしていた。この場合、消去すべきEPROM
の消去エネルギーの値が予め判明しているので、
用いる紫外線ランプの紫外線強度によつて、該紫
外線ランプの照射時間をタイマー等で制御するこ
とで、消去エネルギーを制御するようにしてい
た。
を、例えば設計変更等が生じて消去して初期化す
る必要が起こつた時、かかるEPROM消去装置と
して、EPROMの設置治具に、多数の前記消去す
べきEPROMを載置し、該設置治具上より所定の
距離を隔てて多数の紫外線ランプを設置し、タイ
マー等を用いて所定の時間、紫外線を照射するこ
とでEPROMに書き込まれている情報を消去する
ようにしていた。この場合、消去すべきEPROM
の消去エネルギーの値が予め判明しているので、
用いる紫外線ランプの紫外線強度によつて、該紫
外線ランプの照射時間をタイマー等で制御するこ
とで、消去エネルギーを制御するようにしてい
た。
しかしかかる従来の装置では紫外線ランプの紫
外線強度が各々ランプによつて異なり、またラン
プを使用し始めた時と所定時間経過した時とでは
紫外線ランプの紫外線照射量が変化する恐れがあ
り、また紫外線ランプの使用した時間を算出する
ような機能を付与していないため、EPROMの消
去エネルギーを制御することが困難で、紫外線の
照射時間をタイマーで設定する際、作業者の勘に
頼つている状態であつた。
外線強度が各々ランプによつて異なり、またラン
プを使用し始めた時と所定時間経過した時とでは
紫外線ランプの紫外線照射量が変化する恐れがあ
り、また紫外線ランプの使用した時間を算出する
ような機能を付与していないため、EPROMの消
去エネルギーを制御することが困難で、紫外線の
照射時間をタイマーで設定する際、作業者の勘に
頼つている状態であつた。
また従来のEPROM消去装置においては、消去
後のEPROMについて、情報が消去されているか
否かを判定するブランクチエツク機能を有してお
らず、そのため消去されたEPROMをEPROM消
去装置より取り出し、ブランクチエツクを行つた
後、消去が不十分であつた時、再びこのEPROM
をEPROM消去装置に設置して消去操作を行う必
要があり、特に多数のEPROMを消去する際、消
去作業が煩雑である欠点を有していた。
後のEPROMについて、情報が消去されているか
否かを判定するブランクチエツク機能を有してお
らず、そのため消去されたEPROMをEPROM消
去装置より取り出し、ブランクチエツクを行つた
後、消去が不十分であつた時、再びこのEPROM
をEPROM消去装置に設置して消去操作を行う必
要があり、特に多数のEPROMを消去する際、消
去作業が煩雑である欠点を有していた。
更に紫外線の照射強度を正確に測定して、該紫
外線の照射量を制御していないので、消去すべき
EPROMが破壊するような問題点も生じていた。
外線の照射量を制御していないので、消去すべき
EPROMが破壊するような問題点も生じていた。
(c) 発明の目的
本発明は上記した欠点を除去し、照射される紫
外線の照射エネルギーを精度良く制御出来、かつ
ブランクチエツク機能を付与することで素子の破
壊を生じることなく消去作業が効率良く行い得る
ようにした新規なEPROM消去装置の提供を目的
とするものである。
外線の照射エネルギーを精度良く制御出来、かつ
ブランクチエツク機能を付与することで素子の破
壊を生じることなく消去作業が効率良く行い得る
ようにした新規なEPROM消去装置の提供を目的
とするものである。
(d) 発明の構成
かかる目的を達成するための本発明のEPROM
消去装置は、紫外線ランプと、紫外線受光センサ
ーが組み込まれ、かつ消去すべき情報が書き込ま
れているEPROMを載置する設置治具と、消去す
べきEPROMの規格にもとずいた消去エネルギー
量を示す情報が予め入力されている紫外線照射量
制御回路と、紫外線の照射時間を規定する電子タ
イマーと、消去後のEPROMのブランクチエツク
を行うブランクチエツク用電気回路とからなり、
消去すべき情報が書き込まれているEPROMを載
置した設置治具を紫外線ランプ下に設置して、該
紫外線ランプの照射光をEPROMに照射するとと
もに、前記紫外線の強度を紫外線受光センサで検
知し、該検知情報に基づき予め消去エネルギー情
報が入力されている紫外線照射量制御回路で照射
時間を規定し、該規定した時間で電子タイマーを
自動設定して、消去すべきEPROMに所定の紫外
線強度を有する紫外線を規定時間照射して、該
EPROMに書き込まれている情報を消去した後、
かつ前記ブランクチエツク回路により前記情報の
消去されたEPROMのブランクチエツクを行い、
この情報消去が不充分の場合には再度紫外線照射
量制御回路で照射量を制御しながらブランクチエ
ツク後のEPROMを追加消去するようにしたこと
を特徴とするものである。
消去装置は、紫外線ランプと、紫外線受光センサ
ーが組み込まれ、かつ消去すべき情報が書き込ま
れているEPROMを載置する設置治具と、消去す
べきEPROMの規格にもとずいた消去エネルギー
量を示す情報が予め入力されている紫外線照射量
制御回路と、紫外線の照射時間を規定する電子タ
イマーと、消去後のEPROMのブランクチエツク
を行うブランクチエツク用電気回路とからなり、
消去すべき情報が書き込まれているEPROMを載
置した設置治具を紫外線ランプ下に設置して、該
紫外線ランプの照射光をEPROMに照射するとと
もに、前記紫外線の強度を紫外線受光センサで検
知し、該検知情報に基づき予め消去エネルギー情
報が入力されている紫外線照射量制御回路で照射
時間を規定し、該規定した時間で電子タイマーを
自動設定して、消去すべきEPROMに所定の紫外
線強度を有する紫外線を規定時間照射して、該
EPROMに書き込まれている情報を消去した後、
かつ前記ブランクチエツク回路により前記情報の
消去されたEPROMのブランクチエツクを行い、
この情報消去が不充分の場合には再度紫外線照射
量制御回路で照射量を制御しながらブランクチエ
ツク後のEPROMを追加消去するようにしたこと
を特徴とするものである。
(e) 発明の実施例
以下図面を用いて本発明の一実施例につき詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明のEPROM消去装置のブロツク
図、第２図は本発明のEPROM消去装置におい
て、消去すべきEPROMの設置態様を模式的に示
す平面図である。
図、第２図は本発明のEPROM消去装置におい
て、消去すべきEPROMの設置態様を模式的に示
す平面図である。
第１図および第２図において、１は紫外線ラン
プ群、２は紫外線センサー３が設置され、
EPROM４が多数載置されている設置治具、５は
紫外線強度計、６はＡ−Ｄ変換器、７は紫外線照
射量制御回路、８はブランクチエツク用電気回
路、９はランプ１０と、素子切り替え用スイツチ
１１と、不良素子のアドレス表示器１２とを有す
る操作パネル、１３は電子タイマー、１４は直流
電源である。
プ群、２は紫外線センサー３が設置され、
EPROM４が多数載置されている設置治具、５は
紫外線強度計、６はＡ−Ｄ変換器、７は紫外線照
射量制御回路、８はブランクチエツク用電気回
路、９はランプ１０と、素子切り替え用スイツチ
１１と、不良素子のアドレス表示器１２とを有す
る操作パネル、１３は電子タイマー、１４は直流
電源である。
第１図および第２図に示す如く、EPROMの設
置治具２上に縦、横、所定のピツチに、消去すべ
きEPROM４を多数配設し、所定数のEPROM上
に所定数の紫外線ランプで構成された紫外線ラン
プ群１を設置する。
置治具２上に縦、横、所定のピツチに、消去すべ
きEPROM４を多数配設し、所定数のEPROM上
に所定数の紫外線ランプで構成された紫外線ラン
プ群１を設置する。
次ぎに操作パネル９の素子切り替え用スイツチ
１１を消去すべきEPROMの消去エネルギーに応
じてセツトし、電源１４を入力する。すると紫外
線ランプ群１が照射し始め、この紫外線ランプ群
１の紫外線強度を設置治具２上に設置されている
紫外線センサー３で検知し、その出力を紫外線強
度計５に入力して紫外線の強度を算出する。この
紫外線強度計の出力信号をＡ−Ｄ変換器６に入力
して、デジタル信号の出力信号に変換した後、該
出力信号を紫外線照射量制御回路７に入力する。
１１を消去すべきEPROMの消去エネルギーに応
じてセツトし、電源１４を入力する。すると紫外
線ランプ群１が照射し始め、この紫外線ランプ群
１の紫外線強度を設置治具２上に設置されている
紫外線センサー３で検知し、その出力を紫外線強
度計５に入力して紫外線の強度を算出する。この
紫外線強度計の出力信号をＡ−Ｄ変換器６に入力
して、デジタル信号の出力信号に変換した後、該
出力信号を紫外線照射量制御回路７に入力する。
この紫外線照射量制御回路７には消去すべき
EPROM４の消去エネルギー値が予め入力されて
おり、この入力されている消去エネルギー値と紫
外線強度計５より出力された信号とより紫外線の
照射時間を算出して、その算出した紫外線照射時
間を電子タイマー１３に入力して電子タイマー１
３を自動設定する。このようにして紫外線ランプ
群を用いて、消去すべきEPROMに紫外線を設定
した照射時間に応じて照射し、設定した照射時間
が経過すると、紫外線ランプ群に対する電力供給
が遮断されると共にブランクチエツク用電気回路
８が動作し、消去が不完全であると再度消去指令
を紫外線照射量制御回路７へ出力して、再び消去
作業を繰り返す。このようにして消去作業を繰り
返した後、再びブランクチエツク用電気回路８を
動作させて、ブランクチエツクをした後、消去が
完了していると、操作パネル９の消去完了表示ラ
ンプ１０が点灯して消去完了を表示する。消去が
不十分であると、操作パネル９の不良素子表示器
１２を動作させ、消去されない不良のEPROMが
設置されている設置治具上の位置を示すアドレス
信号を表示し、不良素子の設置治具上の位置を確
認する。
EPROM４の消去エネルギー値が予め入力されて
おり、この入力されている消去エネルギー値と紫
外線強度計５より出力された信号とより紫外線の
照射時間を算出して、その算出した紫外線照射時
間を電子タイマー１３に入力して電子タイマー１
３を自動設定する。このようにして紫外線ランプ
群を用いて、消去すべきEPROMに紫外線を設定
した照射時間に応じて照射し、設定した照射時間
が経過すると、紫外線ランプ群に対する電力供給
が遮断されると共にブランクチエツク用電気回路
８が動作し、消去が不完全であると再度消去指令
を紫外線照射量制御回路７へ出力して、再び消去
作業を繰り返す。このようにして消去作業を繰り
返した後、再びブランクチエツク用電気回路８を
動作させて、ブランクチエツクをした後、消去が
完了していると、操作パネル９の消去完了表示ラ
ンプ１０が点灯して消去完了を表示する。消去が
不十分であると、操作パネル９の不良素子表示器
１２を動作させ、消去されない不良のEPROMが
設置されている設置治具上の位置を示すアドレス
信号を表示し、不良素子の設置治具上の位置を確
認する。
かかるEPROM消去装置によれば、EPROMの
消去に用いる消去エネルギーが、精度良く制御さ
れ、その制御された消去エネルギーで消去時間が
自動的に設定され、また消去後のブランクチエツ
ク作業も手間をとることがなくなるので、
EPROMの消去作業が高信頼度で実施でき、
EPROMの消去作業の能率も向上する。
消去に用いる消去エネルギーが、精度良く制御さ
れ、その制御された消去エネルギーで消去時間が
自動的に設定され、また消去後のブランクチエツ
ク作業も手間をとることがなくなるので、
EPROMの消去作業が高信頼度で実施でき、
EPROMの消去作業の能率も向上する。
また以上述べた本実施例の他の実施例として、
消去作業の終了を表示する表示ランプの代わりに
ブザーを用いて消去作業の終了を表示しても差し
支えない。
消去作業の終了を表示する表示ランプの代わりに
ブザーを用いて消去作業の終了を表示しても差し
支えない。
(f) 発明の効果
以上述べたように本発明のEPROM消去装置に
よれば、EPROMの消去作業に用いる紫外線の照
射量が制御され、また消去作業後のEPROMのブ
ランクチエツクが自動的に実施され、消去作業が
効率良く実施できる効果を生じる。
よれば、EPROMの消去作業に用いる紫外線の照
射量が制御され、また消去作業後のEPROMのブ
ランクチエツクが自動的に実施され、消去作業が
効率良く実施できる効果を生じる。
第１図は本発明のEPROM消去装置の電気回路
を示すブロツク図、第２図は本発明のEPROM消
去装置の設置治具上に於けるEPROMの設置態様
を示す平面図である。 図に於いて、１は紫外線ランプ群、２は
EPROMの設置治具、３は紫外線センサー、４は
EPROM、５は紫外線強度計、６はＡ−Ｄ変換
器、７は紫外線照射量制御回路、８はブランクチ
エツク用電気回路、９は操作パネル、１０は表示
ランプ、１１は素子切り替えスイツチ、１２は不
良素子のアドレス表示器、１３は電子タイマー、
１４は直流電源を示す。
を示すブロツク図、第２図は本発明のEPROM消
去装置の設置治具上に於けるEPROMの設置態様
を示す平面図である。 図に於いて、１は紫外線ランプ群、２は
EPROMの設置治具、３は紫外線センサー、４は
EPROM、５は紫外線強度計、６はＡ−Ｄ変換
器、７は紫外線照射量制御回路、８はブランクチ
エツク用電気回路、９は操作パネル、１０は表示
ランプ、１１は素子切り替えスイツチ、１２は不
良素子のアドレス表示器、１３は電子タイマー、
１４は直流電源を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 紫外線ランプと、紫外線受光センサーが組み
込まれ、かつ消去すべき情報が書き込まれている
EPROMを載置する設置治具と、消去すべき
EPROMの規格にもとずいた消去エネルギー量を
示す情報が予め入力されている紫外線照射量制御
回路と、紫外線の照射時間を規定する電子タイマ
ーと、消去後のEPROMのブランクチエツクを行
うブランクチエツク用電気回路とからなり、 消去すべき情報が書き込まれているEPROMを
載置した設置治具を紫外線ランプ下に設置して、
該紫外線ランプの照射光をEPROMに照射すると
ともに、前記紫外線の強度を紫外線受光センサで
検知し、該検知情報に基づき、予め消去エネルギ
ー情報が入力されている紫外線照射量制御回路で
照射時間を規定し、該規定した時間で電子タイマ
ーを自動設定して、消去すべきEPROMに所定の
紫外線強度を有する紫外線を規定時間照射して、
該EPROMに書き込まれている情報を消去した
後、かつ前記ブランクチエツク回路により前記情
報の消去されたEPROMのブランクチエツクを行
い、この情報消去が不充分の場合には再度紫外線
照射量制御回路で照射量を制御しながらブランク
チエツク後のEPROMを追加消去するようにした
ことを特徴とするEPROM消去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58116713A JPS607696A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | Ｅｐｒｏｍ消去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58116713A JPS607696A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | Ｅｐｒｏｍ消去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS607696A JPS607696A (ja) | 1985-01-16 |
| JPS641879B2 true JPS641879B2 (ja) | 1989-01-12 |
Family
ID=14693967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58116713A Granted JPS607696A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | Ｅｐｒｏｍ消去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607696A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10005270B2 (en) | 2016-08-09 | 2018-06-26 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Vacuum jigs including ultraviolet light sensors and methods of operating the same |
| CN115295051A (zh) * | 2022-07-22 | 2022-11-04 | 广东利扬芯片测试股份有限公司 | 一种晶圆uv擦除设备的控制方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5823677B2 (ja) * | 1976-05-18 | 1983-05-17 | 三菱電機株式会社 | 記憶消去装置 |
| JPS5330838A (en) * | 1976-09-03 | 1978-03-23 | Fujitsu Ltd | Erasing method of erasable rom |
| JPS56101697A (en) * | 1980-01-14 | 1981-08-14 | Nec Corp | Erasure device |
| JPS5880193A (ja) * | 1981-11-06 | 1983-05-14 | Mitsubishi Electric Corp | メモリの記憶内容消去方法 |
| JPS5884699U (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-08 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 半導体メモリ消去装置 |
-
1983
- 1983-06-27 JP JP58116713A patent/JPS607696A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS607696A (ja) | 1985-01-16 |
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