JPS639937A

JPS639937A - プラズマ灰化装置

Info

Publication number: JPS639937A
Application number: JP15351686A
Authority: JP
Inventors: Tetsuo Meshigaya; 飯ケ谷　哲雄
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-06-30
Filing date: 1986-06-30
Publication date: 1988-01-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明はプラズマ灰化装置に関し、特にウェハ表面のホ
トレジストを０２プラスマを用いて灰化する装置に係わ
る。

（従来の技術）従来、石英チャンバー内にＩＩのウェハをセットした縦
型の石英ボートを配置した後、前記チャンバー内を真空
（１，２Ｔｏｒｒ）にして０２を封入し、更にプラズマ
を発生させることによりウェハ表面のホトレジストを灰
化除去することが行われている。ところで、従来上記石
英ボートとしては、第４図に示すものが知られている。

図中の１８．１ｂは、夫々馬蹄形の支持具である。前記
支持具１ａ、１ｂ間には、４本の支柱２ａ〜２ｄが一方
の支持具１ｂから下方に突出して設けられている。前記
支柱２ａ〜２ｄには、夫々ウェハを等間隔で水平にセッ
トする満３１．３２・・・が設けられている。

しかしながら、こうした石英ボートを用いた従来のプラ
ズマ灰化装置によれば、ウェハ表面のレジストの灰化を
行なう際、石英ボートを石英チャンバーと一体になる底
板に立てこの状態で底板を石英チャンバーに挿着するた
め、挿着時の石英チャンバー内圧力と大気圧との関係で
石英チャンバー内に空気が舞い上がる。その結果、石英
ボートの最上段にセットしたウェハの良品ベレット収率
が極端に悪いという問題点を有する。その分析をすると
、第１図の（イ）の如く、ＭＯＳデバイス構造の中のゲ
ート酸化膜の電気的耐圧が劣化していることが確認でき
る。但し、ゲート酸化膜圧は２００人の場合である。ま
た、第呑図により、石英ボートの最上段のウェハ表面の
ゴミ（０，５譚）が慢端に多いことが明らかである。

（発明が解決しようとする問題点）本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、ボードの最
上段に位置するウェハの耐圧を向上するとともに、付着
するゴミの量を著しく低減し得るプラズマ灰化装置を提
供することを目的とする。

［発明の目的コ（問題点を解決するための手段）本発明は、チャンバーと、このチャンバー内に配置され
、表面に有機膜を被覆したウェハを水平にセットする縦
型のボートと、このボートの最上段に設けられた石英又
はシリコンからなるダスト用遮閉材とからなり、前記チ
ャンバー内を真空にして酸素プラズマを発生させ、これ
によりつエバ表面の有機膜を灰化することを特徴とし、
前記ボードの最上段に位置するウェハの耐圧向上とゴミ
の低減を図ったものである。

（作用）本発明によれば、ボードの最上段にダスト用遮閉材を設
けるため、ボートをセットした底板をチャンバーに挿着
する際、チャンバーに空気が舞い上がっても、ボートの
最上段に水平にセットしたウェハの表面の耐圧劣化を防
止できるとともに、ゴミの量を著しく低減できる。

（実施例）以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図を参照して
説明する。ここで、第１図は本発明に係るプラズマ灰化
装置の説明図、第２図は同装置の石英ボートの正面図で
ある。

図中の１１は、石英チャンバーである。この石英チャン
バー１１は、０リング１２を介して上下動可能な底板１
３に嵌合している。この底板１３の所定の箇所には、後
記石英ボートの支柱を立てる４つの溝１４・・・が設け
られている。前記石英チャンバー１１の上部には、チャ
ンバー１１内に０２を供給するマスフロコントローラ１
５が設けられている。同チャンバー１１の側部には、流
量計１６、バルブ１７を介して真空ポンプ１８が連結さ
れている。また、同チャンバー１の側部にはオートチュ
ーニング１９、ＲＦ発振器２０が連結されている。同チ
ャンバー１１内には前記底板１３にセットされた石英ボ
ート２１が配置されている。

前記石英ボート２１は、第２図に示す如く、馬蹄形の支
持具２２ａ、２２ｂと、こら支持具２２ａ、２２ｂ間に
一方の支持具２２ｂの下方側へ突出するように設けられ
た４つの支柱２３８〜２３ｄと、前記支持具２２ａの上
部に設けられた硬質石英又はシリコンからなる厚さ０．
５〜１．０１１１１１１円板（遮閉材）２４とから構成
され、前記支柱２３ａ〜２３ｄの夫々にはウェハを水平
にセットする複数の溝２５・・・が等間隔で設けられて
いる。

上記実施例によれば、石英ボート２１の最上段すなわち
支持具２２ａの上部に硬質石英又はシリコンからなる円
板２４を設けた構造となっているため、石英ボート２１
をセットした底板１３を石英チャンバー１１に挿着する
際、チャンバー１１内に空気が舞い上がっても、円板２
４が空気中の塵を遮り、この塵が石英ボート２１の最上
段のウェハに直接舞い降りるのを回避できる。従って、
従来と比べ、ＭＯ３ＬＳＩウェハのゲート酸化膜の電気
的耐圧を第５図（ロ）の如く向上できるとともに、第會
図に示す如くボートの最上段のウェハ表面のゴミの量を
著しく低減できる。後者については、従来０．５ｕＩＩ
ｔ以上のゴミが５００コ／ウエハあったのに対し、本発
明によれば３０コ／ウエハに低減できた。

なお、上記実施例で・は、遮閉材として硬質石英又はシ
リコンからなる円板を用いた場合について述べたが、こ
れに限らず、第３図に示す如く表面が球形状の遮閉材２
４′でもよい。また、上記実施例では遮閉材の厚みを０
．５〜１．０ＩＩＩＩｎとしたが、これに限定されない
。

［発明の効果］以上詳述した如く本発明によれば、従来と比ベボートの
最上段のウェハの良品ベレット収率が向上し、ＭＯ８Ｌ
ＳＩ構造デバイス構造の中のゲート酸化膜の電気的耐圧
を回避したり、ウニ八表面のゴミの凶を著しく低減しえ
る高信頼性のプラズマ灰化装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るプラズマ灰化装置の説
明図、第２図は同装置に係る石英ボートの正面図、第３
図はその他の石英ボートの正面図、第４図は従来の石英
ボートの斜視図、第５５Ａ発明及び従来装置に係る累積
不良率特性図−１第６図は従来装置によるウェハ上のゴ
ミの量の特性図、第７図は本発明装置に係るウェハ上の
ゴミの量の特性図である。１１・・・石英チャンバー、１３・・・底板、１５・・
・マスフロコントローラ、１６・・・流量計、１８・・
・真空ポンプ１．１９・・・オートチューナ、２０・・
・ＲＦ発発器器２１・・・石英ボート、２２ａ、２２ｂ
・・・支持具、２３　ａ　〜２３　ｄ−・・支柱、２４
．２４’　・・・遮閉材、２５・・・溝。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦第４図第５図ウニへ七ノド順　−中第６図発明前　　　　　発明後第７図

Claims

【特許請求の範囲】

チャンバーと、このチャンバー内に配置され、表面に有
機膜を被覆した複数のウェハを水平にセットする縦型の
ボートと、このボートの最上段に設けられた石英又はシ
リコンからなるダスト用遮閉材とからなり、前記チャン
バー内を真空にして酸素プラズマを発生させ、これによ
り前記ウェハ表面の有機膜を灰化することを特徴とする
プラズマ灰化装置。